DE102008063133A1 - vacuum pump - Google Patents

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Thomas Dr. Dreifert
Peter Birch
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Abstract

Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Schrauben-Vakuumpumpe handelt, weist ein Pumpengehäuse (14) auf, in dem Pumpelemente (10) angeordnet sind. Das Pumpengehäuse (14) weist einen ersten Flansch (48) auf, der mit einem zweiten Flansch (50) eines Pumpelements (10), wie eines Getriebegehäuses, verbunden ist. In einer der beiden Flanschflächen (52) der Flanschverbindung (44) ist eine Dichtnut (54) vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist. Innerhalb der Dichtnut (54) ist ein umlaufender Schutzkanal (60) vorgesehen. Der Schutzkanal (60) ist über einen Gaskanal (62) und einen Verbindungskanal (64), beispielsweise mit einer Gasquelle oder eine Unterdruckwelle, verbunden. Durch das Vorsehen des Schutzkanals (60) erfolgt ein Schutz des in der Dichtnut (54) angeordneten Dichtelements.A vacuum pump, which is in particular a screw vacuum pump, has a pump housing (14) in which pumping elements (10) are arranged. The pump housing (14) has a first flange (48) which is connected to a second flange (50) of a pumping element (10), such as a transmission housing. In one of the two flange surfaces (52) of the flange connection (44), a sealing groove (54) is provided, in which a sealing element, such as an O-ring, is arranged. Within the sealing groove (54) has a circumferential protective channel (60) is provided. The protection channel (60) is connected via a gas channel (62) and a connection channel (64), for example with a gas source or a vacuum wave. By providing the protective channel (60), protection of the sealing element arranged in the sealing groove (54) takes place.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben-Vakuumpumpe.The The invention relates to a vacuum pump, in particular a screw vacuum pump.

Vakuumpumpen, wie Schrauben-Vakuumpumpen, weisen einen durch ein Pumpengehäuse gebildeten Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum sind Pumpelemente angeordnet. Bei Schrauben-Vakuumpumpen sind zwei sich in entgegengesetzte Richtungen drehende schraubenförmige Pumpelemente vorgesehen. Die Pumpelemente sind von Wellen getragen, die in Gehäuseelementen gelagert sind. Das Pumpengehäuse, das den Schöpfraum ausbildet, und zumindest ein Gehäuseelement, das den Schöpfraum verschließt und beispielweise als Getriebegehäuse fungiert, sind über eine Flanschverbindung miteinander verbunden. Zwischen einem ersten Flansch, der an dem Pumpgehäuse, und einem zweiten Flansch, der an dem Gehäuseelement angeordnet ist, ist eine Dichtung vorgesehen. Hierzu ist in einer der beiden Flanschflächen eine Dichtnut vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist.vacuum pumps, such as screw vacuum pumps, have one formed by a pump housing Creation room on. In the pump chamber are pumping elements arranged. In screw vacuum pumps, two are in opposite directions Direction rotating helical pumping elements provided. The pumping elements are carried by shafts that are in housing elements are stored. The pump housing, which is the pump chamber forms, and at least one housing element that the pump chamber closes and, for example, as a transmission housing are, via a flange with each other connected. Between a first flange attached to the pump housing, and a second flange disposed on the housing member is, a seal is provided. This is in one of the two Flange surfaces provided a sealing groove in which a sealing element, like an O-ring, is arranged.

Insbesondere beim Fördern von aggressiven oder explosiven Medien muss eine sehr hohe Dichtigkeit gewährleistet sein. Ferner besteht beim Fördern von aggressiven Medien die Gefahr, dass der O-Ring angegriffen wird und hierdurch Undichtigkeiten entstehen.Especially when pumping aggressive or explosive media be guaranteed a very high density. It also exists When pumping aggressive media, there is a risk that the O-ring is attacked and thereby leaks arise.

Aus EP 1 620 649 ist es bekannt, innerhalb der Dichtnut eine zweite, als Schutzkanal dienende Nut in der Flanschfläche anzuordnen. Der Schutzkanal hat somit einen geringeren Umfang als die Dichtnut. Über eine Querbohrung ist der Schutzkanal mit einem Gas-Zuführkanal verbunden. Ferner ist der Schutzkanal mit weiteren Querbohrungen verbunden, durch die Gas aus dem Schutzkanal in den Schöpfraum strömt. Gemäß der EP 1 620 649 wird dem inneren Schutzkanal ununterbrochen Gas zugeführt, das durch den Schutzkanal und die Verbindungskanäle in den Schöpfraum strömt. Es wird somit über den Schutzkanal und die Verbindungskanäle sog. Purge-Gas dem Schöpfraum zugeführt. Wenngleich durch den in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Schutzkanal ein guter Schutz für das Dichtelement realisiert werden kann, weist diese Anordnung den Nachteil auf, dass stets eine Förderung von Purge-Gas notwendig ist, um sicherzustellen, dass der Schutzkanal während des Betriebs mit Gas gefüllt ist. Eine Unterbrechung der Gaszufuhr in den Schutzkanal kann dazu führen, dass insbesondere durch die Verbindungskanäle von der Pumpe zu förderndes Gas in den Schutzkanal und von diesem zu der Dichtung gelangt. Erfordert ein Pumpprozess beispielsweise nur eine geringe oder keine Zufuhr an Purge-Gas, ist dies mit der in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Konstruktion nicht möglichOut EP 1 620 649 It is known to arrange a second, serving as a protective channel groove in the flange within the sealing groove. The protective channel thus has a smaller circumference than the sealing groove. Via a transverse bore of the protective channel is connected to a gas supply channel. Furthermore, the protective channel is connected to further transverse bores through which gas flows from the protective channel into the pump chamber. According to the EP 1 620 649 Gas is continuously supplied to the inner protection channel, which flows through the protection channel and the connection channels into the suction chamber. It is thus fed via the protection channel and the connecting channels so-called. Purge gas the pump chamber. Although by the in EP 1 620 649 proposed protection channel, a good protection for the sealing element can be realized, this arrangement has the disadvantage that always a promotion of purge gas is necessary to ensure that the protective channel is filled during operation with gas. A disruption of the gas supply into the protective channel can lead, in particular, to the gas to be delivered through the connecting channels from the pump to the protective channel and from there to the seal. For example, if a pumping process requires only a small or no supply of purge gas, this is the same as in EP 1 620 649 proposed construction not possible

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben-Vakuumpe, zu schaffen, bei der ein Flansch-Dichtelement auf einfache Weise zuverlässig geschützt ist.task The invention is to a vacuum pump, in particular a screw Vakuumpe to create, in a flange sealing element in a simple manner reliable is protected.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The Solution of the problem is carried out according to the invention by the features of claim 1.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse auf, das einen Schöpfraum ausbildet, in dem Pumpelemente angeordnet sind. Das Pumpengehäuse ist mit einem ersten Flansch versehen, über den ein Gehäuseelement, wie Gehäusedeckel oder ein Getriebegehäuse, mit dem Pumpengehäuse verbunden wird. Das Gehäuseelement weist hierzu einen zweiten Flansch auf. In zumindest einer der beiden aneinander anliegenden Flanschflächen ist eine umlaufende Dichtnut angeordnet. In dieser ist ein Dichtelement, wie ein O-Ring, vorgesehen. Innerhalb der Dichtnut ist ein ebenfalls umlaufender Schutzkanal in zumindest einer der beiden Flanschflächen angeordnet. Erfindungsgemäß ist der Schutzkanal mit einem Gaskanal verbunden. Der Gaskanal ist nicht mit dem Schöpfraum verbunden. Bei einer ersten bevorzugten Ausführungsform kann der Gaskanal mit einer Gasquelle zum Zuführen von Schutzgas in den Schutzkanal verbunden sein. Bei einem in sich geschlossenen Schutzkanal gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist es möglich, in diesen Schutzgas einzuleiten und unter einem vorgegebenen Druck zu halten. Somit ist auf einfache Weise ein Schutz für das in der Dichtnut vorgesehene Dichtelement realisiert. Insbesondere ist hierbei sichergestellt, dass kein oder allenfalls nur eine geringe Menge an Schutzgas in den Schöpfraum gelangt. Es ist sodann bei dieser Ausführungsform insbesondere möglich, über einen zusätzlichen Kanal Purge-Gas dem Schöpfraum zuzuführen. Die Menge an zugeführtem Purge-Gas kann somit sehr exakt geregelt werden.The Vacuum pump according to the invention has a pump housing on, which forms a pump chamber, in the pumping elements are arranged. The pump housing is with a first Flange over which a housing element, as housing cover or a gear housing, with is connected to the pump housing. The housing element has a second flange for this purpose. In at least one of the two abutting flange surfaces is a circumferential Sealing groove arranged. In this is a sealing element, such as an O-ring, intended. Within the sealing groove is a likewise circumferential protective channel arranged in at least one of the two flange surfaces. According to the invention, the protective channel is provided with a Gas channel connected. The gas channel is not with the pump chamber connected. In a first preferred embodiment For example, the gas channel may have a gas source for supplying inert gas be connected in the protection channel. In a self-contained Protection channel according to a preferred embodiment is it possible to introduce into this shielding gas and under to maintain a predetermined pressure. Thus, in a simple way a protection for the intended in the sealing groove sealing element realized. In particular, this ensures that no or at most only a small amount of inert gas in the pump chamber arrives. It is then in this embodiment in particular possible, via an additional channel Purge gas to the pump chamber. The amount On supplied purge gas can thus be controlled very accurately become.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist es möglich, einen Verbindungskanal in dem Gehäuseelement vorzusehen, sofern es sich um ein Gehäuseelement handelt, in dem zumindest ein Lagerelement angeordnet ist. Der Verbindungskanal stellt eine Verbindung zwischen dem Schutzkanal und dem Lagerelement dar, so dass eine ggf. sehr geringe Menge an Schutzgas in das Lagerelement strömt und somit das Lagerelement vor Beschädigungen, beispielsweise durch ein aggressives zu förderndes Medium, schützt. Bei dieser Ausführungsform ist es insbesondere bevorzugt, in dem Gehäuseelement oder dem Pumpengehäuse einen gesonderten Zuführkanal zum Zuführen von Purge-Gas in den Schöpfraum vorzusehen. Hierdurch ist wieder eine genaue Regelung der Menge an zugeführtem Purge-Gas, die ggf. auch null sein kann, möglich.at a preferred embodiment of the invention it is possible to provide a connection channel in the housing element, if it is a housing element in which at least one Bearing element is arranged. The connection channel connects between the protective channel and the bearing element, so that a possibly very small amount of inert gas flows into the bearing element and thus the bearing element from damage, for example through an aggressive medium to be promoted, protects. In this embodiment it is particularly preferred in the housing member or the pump housing a separate feed channel for feeding purge gas into to provide the scoop space. This is again an accurate Control of the amount of supplied purge gas, which may also be can be zero, possible.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist anstelle eines Verbindungskanals zwischen dem Schutzkanal und den Lagerelementen in dem Gehäuseelement ein gesonderter Zuführkanal vorgesehen, über den Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement zugeführt wird. Hierbei ist es bevorzugt, dass der Zuführkanal sowie der Schutzkanal mit derselben Gasquelle verbunden sind.In a further embodiment is on Provided a connection channel between the protective channel and the bearing elements in the housing element, a separate feed channel, is supplied via the inert gas to the at least one bearing element. In this case, it is preferred that the feed channel and the protective channel are connected to the same gas source.

Sofern in dem Gehäuseelement mehrere, insbesondere zwei Lagerelemente angeordnet sind, ist es bevorzugt, dass für jedes Lagerelement gesonderte Verbindungskanäle vorgesehen sind. Hierdurch ist es möglich, kurze Wege zu realisieren. Bevorzugt ist es wiederum, dass sämtliche Zuführkanäle zum Zuführen von Schutzgas zu dem Schutzkanal sowie zu den Lagerelementen mit einer gemeinsamen Gasquelle verbunden sind.Provided in the housing element more, in particular two bearing elements are arranged, it is preferred that for each bearing element separate connection channels are provided. hereby is it possible to realize short ways. Is preferred in turn, that all feed channels for supplying protective gas to the protective channel and to the bearing elements are connected to a common gas source.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der mit dem Schutzkanal verbundene Gaskanal mit einer Unterdruckquelle verbunden. Hierdurch kann ggf. in den Schutzkanal eindringendes Gas abgeführt werden. Der Schutzkanal, der in dieser Ausführungsform wiederum keinen Verbindungskanal zum Schöpfraum aber auch keinen Verbindungskanal zu Lagerelementen aufweist, kann somit unter einem definierten Unterdruck gehalten werden. Auch hierdurch ist sichergestellt, dass zu fördernde aggressive Medien nicht zu dem Dichtelement, wie dem O-Ring, gelangen und dieses beschädigen. Der Unterdruck in dem Schutzkanal kann dadurch erzeugt werden, dass der Schutzkanal mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, wie beispielsweise einem Einlassbereich, verbunden ist. Bei dem Einlassbereich handelt es sich um denjenigen Bereich der Vakuumpumpe, der in Förderrichtung vor den Pumpelementen angeordnet ist. Ebenso ist es möglich, eine gesonderte Unterdruckquelle vorzusehen, die entweder einen eigenen Antrieb aufweist oder mit dem Antrieb der Vakuumpumpe verbunden ist.at Another preferred embodiment is with connected to the protective duct gas channel connected to a vacuum source. hereby may possibly be discharged into the protective channel penetrating gas become. The protection channel used in this embodiment again no connecting channel to the scooping room but also has no connection channel to bearing elements, can thus under be kept a defined negative pressure. This is also true ensure that aggressive media to be promoted are not get to the sealing element, such as the O-ring, and this damage. The negative pressure in the protective channel can be generated by the protection channel with a vacuum area of the vacuum pump, such as For example, an inlet area is connected. At the inlet area this is the area of the vacuum pump that is in the conveying direction is arranged in front of the pumping elements. It is also possible to provide a separate source of negative pressure, either a separate Drive has or is connected to the drive of the vacuum pump.

Vorzugsweise ist die Dichtnut und der mindestens eine Schutzkanal in derselben Flanschfläche angeordnet. Hierdurch ist die Fertigung vereinfacht. Ferner ist es bevorzugt, dass der Schutzkanal einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut aufweist.Preferably is the sealing groove and the at least one protective channel in the same Flange surface arranged. As a result, the production is simplified. Further it is preferred that the protection channel has a constant radial Distance from the sealing groove.

Bei einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein weiterer Schutzkanal vorgesehen, der die Dichtnut umgibt. Die Dichtnut liegt somit zwischen zwei Schutzkanälen. Auch der zweite Schutzkanal ist, wie vorstehend beschrieben, vorzugsweise mit einer Gasquelle oder einer Unterdruckwelle verbunden, wobei das vorstehend beschriebene Vorsehen von Verbindungskanälen zu Lagerelementen von dem inneren und/oder dem äußeren Schutzkanal ausgehen kann. Durch das Vorsehen von zwei Schutzkanälen, zwischen denen die Dichtnut vorgesehen ist, ist der Schutz des Dichtelements weiter verbessert.at Another particularly preferred embodiment another protective channel is provided which surrounds the sealing groove. The Sealing groove is thus between two protective channels. Also the second protection channel is preferably as described above connected to a gas source or a vacuum wave, wherein the above-described provision of connecting channels to bearing elements of the inner and / or the outer Protective channel can go out. By providing two protection channels, between which the sealing groove is provided, is the protection of the sealing element further improved.

Bevorzugt ist es, dass als Purge-Gas, das insbesondere über einen gesonderten Purge-Gaskanal unmittelbar dem Schöpfraum und nicht durch den Schutzkanal hindurch dem Schöpfraum zugeleitet wird, Luft, Stickstoff, Argon oder gemischte Gase zu verwenden. Vorzugsweise wird das Purge-Gas dem Schöpfraum bei einem Druck im Bereich von 0,1 bis 5 bar zugeführt.Prefers is it that as a purge gas, in particular over a separate purge gas channel directly to the pump chamber and is not fed through the protection channel through the pump chamber, To use air, nitrogen, argon or mixed gases. Preferably The purge gas enters the pump chamber at a pressure in the range supplied from 0.1 to 5 bar.

Die in der Dichtnut angeordnete Dichtung, bei der es sich insbesondere um einen O-Ring handelt, aber auch ein Dichtelement mit rechteckigem oder quadratischem Querschnitt, oder ein flaches Dichtelement vorgesehen sein kann, weist vorzugsweise elastomeres Material, wie beispielsweise Viton, auf.The arranged in the sealing groove seal, which in particular is an O-ring, but also a sealing element with rectangular or square cross section, or provided a flat sealing element may preferably comprise elastomeric material, such as Viton, up.

Ferner ist es bevorzugt, dass das Dichtelement PTFE-Material aufweist oder aus PTFE besteht. Ggf. kann das Dichtelement aus Metall und/oder Kupfer und/oder Aluminium hergestellt sein bzw. entsprechende Bestandteile aufweisen.Further it is preferred that the sealing element comprises PTFE material or made of PTFE. Possibly. can the sealing element made of metal and / or Made of copper and / or aluminum or corresponding components exhibit.

Die vorstehend beschriebenen unterschiedlichen bevorzugten Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Flanschdichtungen können nicht nur zwischen einem Pumpengehäuse und einem Pumpelement, das beispielsweise Lagerelemente trägt und als Getriebegehäuse dient, angeordnet sein. Entsprechende Flanschdichtungen sind bei Vakuumpumpen, die insbesondere zum Fördern von aggressivem oder explosivem Medium eingesetzt werden, stets als Dichtung vorteilhaft, wobei es sich insbesondere um Dichtungen zwischen zwei Gehäuseteilen handelt, die vorzugsweise mittels Flanschen abgedichtet werden.The various preferred embodiments described above of flange gaskets according to the invention can not only between a pump housing and a pumping element, for example, bearing bearing elements and as a transmission housing serves, be arranged. Corresponding flange seals are included Vacuum pumps, especially for pumping aggressive or explosive medium, always advantageous as a seal, which are in particular seals between two housing parts, which are preferably sealed by means of flanges.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.following the invention is based on preferred embodiments with reference to the accompanying drawings in more detail explained.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine schematische Schnittansicht einer Schrauben-Vakuumpumpe, 1 a schematic sectional view of a screw vacuum pump,

2 eine schematische Draufsicht auf einen Flansch eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in 1, 2 a schematic plan view of a flange of a housing element in the direction of the arrow II in 1 .

3 eine schematische Schnittansicht der in 2 dargestellten Ausführungsform entlang der Linie III-III, 3 a schematic sectional view of in 2 illustrated embodiment along the line III-III,

4 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in 1 in einer weiteren Ausführungsform, 4 a schematic plan view of a further embodiment of a flange of a housing element in the direction of the arrow II in 1 in a further embodiment,

5 eine schematische Schnittansicht der in 4 dargestellten Ausführungsform entlang des Schnitts V, 5 a schematic sectional view of in 4 illustrated embodiment along the section V,

6 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in 1 in einer weiteren Ausführungsform, und 6 a schematic plan view of a further embodiment of a flange of a housing element in the direction of the arrow II in 1 in a further embodiment, and

7 eine schematische Schnittansicht der in 6 dargestellten Ausführungsform entlang des Schnitts VII. 7 a schematic sectional view of in 6 illustrated embodiment along the section VII.

Die schematisch in 1 dargestellte Schrauben-Vakuumpumpe weist zwei schraubenförmige Pumpelemente 10 auf, die in einem Schöpfraum 12 angeordnet sind. Der Schöpfraum 12 ist im Wesentlichen durch das Pumpengehäuse 14 ausgebildet. Das Pumpengehäuse 14 ist auf der in 1 linken Seite über ein als Gehäusedeckel ausgebildetes Gehäuseelement 16 verschlossen. Der Deckel 16 weist eine Einlassöffnung 18 auf, durch die das zu fördernde Medium in den Schöpfraum 12 eingesaugt wird. Der Deckel 16 ist mit dem Pumpengehäuse 14 über eine Flanschverbindung abdichtend verbunden.The schematic in 1 illustrated screw vacuum pump has two helical pumping elements 10 on that in a scoop room 12 are arranged. The scoop space 12 is essentially through the pump housing 14 educated. The pump housing 14 is on the in 1 left side via a housing cover designed as a housing element 16 locked. The lid 16 has an inlet opening 18 through, through which the medium to be pumped into the pump chamber 12 is sucked in. The lid 16 is with the pump housing 14 sealingly connected via a flange connection.

Das durch die Einlassöffnung 18 in Richtung eines Pfeils 22 eingesaugte Fördermedium wird durch eine im Pumpengehäuse 14 vorgesehene Auslassöffnung 24 in Richtung eines Pfeils 26 ausgestoßen.That through the inlet opening 18 in the direction of an arrow 22 sucked in fluid is through a pump housing 14 provided outlet opening 24 in the direction of an arrow 26 pushed out.

Die beiden Pumpelemente 10 sind jeweils von einer Welle 28, 30 getragen. Die beiden Wellen 28, 30 sind über Lagerelemente 32, 34 einerseits in einem Gehäuseelement 36 gelagert, das als Getriebegehäuse dient, und andererseits in einem Gehäuseelement 38 gelagert, das als Gehäusedeckel ausgebildet ist. Eine der Wellen, die Welle 28, ist zum Antrieb mit einem Elektromotor 40 verbunden. Ferner ist die Welle 28 mit einem Zahnrad 42 fest verbunden, das mit einem mit der Welle 30 fest verbundenen Zahnrad 43 kämmt. Hierdurch ist ein Synchronlauf der beiden Pumpelemente 10 in entgegengesetzter Richtung gewährleistet.The two pumping elements 10 are each of a wave 28 . 30 carried. The two waves 28 . 30 are about bearing elements 32 . 34 on the one hand in a housing element 36 stored, which serves as a transmission housing, and on the other hand in a housing element 38 stored, which is designed as a housing cover. One of the waves, the wave 28 , is to drive with an electric motor 40 connected. Further, the wave 28 with a gear 42 firmly connected, with one with the shaft 30 firmly connected gear 43 combs. This is a synchronous operation of the two pumping elements 10 guaranteed in the opposite direction.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Gehäuse der Vakuumpumpe vier Teile, die Gehäuseelemente 16, 36, 38 und das Pumpengehäuse 14, auf. Die einzelnen Gehäuseteile sind über Flanschverbindungen 20, 44, 46 miteinander verbunden. In jeder der Flanschverbindungen 20, 44, 46 kann eine erfindungsgemäß ausgestaltete Dichtungsanordnung, d. h. eine Kombination aus einer ein Dichtelement aufweisenden Dichtnut und einem Schutzkanal, vorgesehen sein. In den nachstehend anhand der 2 bis 7 beschriebenen Ausführungsformen wird die Ausgestaltung der Dichtungsanordnung anhand der Flanschverbindung 44 näher erläutert. Die Flanschverbindung 44 stellt eine Verbindung zwischen einem ersten Flansch 48 des Pumpengehäuses 14 und einem zweiten Flansch 50 des Gehäuseelements 36 dar.In the illustrated embodiment, the housing of the vacuum pump has four parts, the housing elements 16 . 36 . 38 and the pump housing 14 , on. The individual housing parts are via flange connections 20 . 44 . 46 connected with each other. In each of the flange connections 20 . 44 . 46 can be provided according to the invention designed a seal assembly, ie a combination of a sealing element having a sealing groove and a protective channel. In the following, based on the 2 to 7 described embodiments, the embodiment of the seal assembly based on the flange connection 44 explained in more detail. The flange connection 44 provides a connection between a first flange 48 of the pump housing 14 and a second flange 50 of the housing element 36 represents.

Bei einer ersten bevorzugten Ausführungsform (2 und 3) ist in einer Flanschfläche 52 eine umlaufende, in sich geschlossene, im Wesentlichen ovale Dichtnut 54 angeordnet. In der Dichtnut 54 ist ein nicht dargestellter O-Ring zur Dichtung der beiden einander gegenüberliegenden Flansche 48, 50 vorgesehen.In a first preferred embodiment ( 2 and 3 ) is in a flange surface 52 a circumferential, self-contained, substantially oval sealing groove 54 arranged. In the sealing groove 54 is an unillustrated O-ring for sealing the two opposing flanges 48 . 50 intended.

Durch die beiden im Gehäuseelement 36 vorgesehenen Öffnungen 56 sind die beiden Wellen 28, 30 geführt und in den Lagerelementen 32 gelagert. Wie ferner aus 3 ersichtlich ist, sind zur Verbindung der beiden Flansche 44, 48 Bohrungen 58 zum Vorsehen von Schrauben oder Bolzen vorgesehen.Through the two in the housing element 36 provided openings 56 are the two waves 28 . 30 guided and in the bearing elements 32 stored. As further out 3 it can be seen, are for connecting the two flanges 44 . 48 drilling 58 provided for providing screws or bolts.

Erfindungsgemäß ist innerhalb der Dichtnut 54 in der Flanschfläche 52 ein ebenfalls umlaufender, als Nut ausgebildeter Schutzkanal 60 vorgesehen.According to the invention is within the sealing groove 54 in the flange surface 52 a likewise encircling, designed as a groove protection channel 60 intended.

Mit dem Schutzkanal 60 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Gaskanäle 62 verbunden. Die beiden Gaskanäle 62 sind beide mit einem gemeinsamen Querverbindungskanal 64 verbunden.With the protection channel 60 are in the illustrated embodiment, two gas channels 62 connected. The two gas channels 62 are both with a common cross-connection channel 64 connected.

Der Kanal 64 kann mit einer nicht dargestellten Gasquelle verbunden werden, um gemäß dem ersten dargestellten Ausführungsbeispiel (2, 3) in dem Schutzkanal 60 einen Überdruck zu erzeugen. Hierbei ist zu berücksichtigen, dass der Schutzkanal 60 in dem in 2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel in sich geschlossen ist und keinen Auslass aufweist. Ebenso kann der Kanal 64 mit einer Unterdruckquelle verbunden sein, um in dem Kanal 60 einen Unterdruck zu erzeugen. Hierbei kann es sich um eine gesonderte Unterdruckquelle aber auch um einen Einlassbereich der Vakuumpumpe, d. h. um den durch den Gehäusedeckel 16 verschlossenen Bereich, zur Erzeugung eines Unterdrucks handeln.The channel 64 can be connected to a gas source, not shown, according to the first illustrated embodiment ( 2 . 3 ) in the protection channel 60 to generate an overpressure. It should be noted that the protection channel 60 in the 2 and 3 illustrated embodiment is closed in itself and has no outlet. Likewise, the channel 64 be connected to a vacuum source to in the channel 60 to generate a negative pressure. This may be a separate source of negative pressure, but also an inlet region of the vacuum pump, ie, that through the housing cover 16 closed area, act to generate a negative pressure.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (4 und 5) sind identische oder ähnliche Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.In a further preferred embodiment ( 4 and 5 ) are identical or similar components with the same reference numerals.

Zusätzlich zu der anhand der 2 und 3 beschriebenen Ausgestaltung des zweiten Flansches 44 sind in dem Gehäuseelement 36 zwei Verbindungskanäle 66 vorgesehen. Die Verbindungskanäle 66 verbinden den Schutzkanal 60 mit den Lagerelementen 32. Dies hat zur Folge, dass über den Querkanal 64, der in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Gasquelle verbunden ist, Schutzgas durch die Gaskanäle 62 in den Schutzkanal 60 gelangt und aus dem Schutzkanal 60 durch die Verbindungskanäle 66 im Bereich des Lagerelements 32 ausströmt. Hierdurch erfolgt ein zusätzlicher Schutz der Lagerelemente 32.In addition to that on the basis of 2 and 3 described embodiment of the second flange 44 are in the housing element 36 two connection channels 66 intended. The connection channels 66 connect the protection channel 60 with the bearing elements 32 , As a result, over the cross channel 64 , which is connected in this embodiment with a gas source, inert gas through the gas channels 62 in the protection channel 60 passes and out of the protective channel 60 through the Ver connection channels 66 in the area of the bearing element 32 flows. This provides additional protection of the bearing elements 32 ,

Bei einer weiteren alternativen Ausführungsform (6 und 7) sind ähnliche oder identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.In a further alternative embodiment ( 6 and 7 ) are similar or identical components with the same reference numerals.

Anstelle der in 4 und 5 gezeigten Verbindungskanäle 66 sind in diesem Ausführungsbeispiel in dem Gehäuseelement 36 Zuführkanäle 70 vorgesehen.Instead of in 4 and 5 shown connection channels 66 are in this embodiment in the housing element 36 supply channels 70 intended.

Die Zuführkanäle 70 sind unmittelbar mit dem Querkanal 64 verbunden und dienen ebenfalls zur Zufuhr von Schutzgas zu den Lagerelementen 32.The feed channels 70 are directly with the cross channel 64 connected and also serve to supply inert gas to the bearing elements 32 ,

In sämtlichen dargestellten Ausführungsbeispielen ist es möglich, insbesondere in dem Pumpengehäuse 14 einen Zuführkanal zum Zuführen von Purge-Gas in den Schöpfraum 12 vorzusehen.In all illustrated embodiments, it is possible, in particular in the pump housing 14 a feed channel for feeding purge gas into the pump chamber 12 provided.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (13)

Vakuumpumpe, insbesondere Schrauben-Vakuumpumpe, mit in einem einen Schöpfraum (12) ausbildenden Pumpengehäuse (14) angeordneten mindestens einen Pumpelement (10), einem an dem Pumpengehäuse (14) vorgesehenen ersten Flansch (48), einem Gehäuseelement (36), das zur Verbindung mit dem ersten Flansch (48) eine zweiten Flansch (50) aufweist, einer in einer der beiden aneinander anliegenden Flanschflächen (52) vorgesehenen, umlaufenden Dichtnut (54), in der ein Dichtelement angeordnet ist, und einem von der Dichtnut (54) umgebenen, umlaufenden Schutzkanal (60), dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal mit einem Gaskanal (62) verbunden ist, wobei weder der Schutzkanal (60) noch der Gaskanal (62) mit dem Schöpfraum (12) verbunden ist.Vacuum pump, in particular screw vacuum pump, with in a one pump chamber ( 12 ) forming pump housing ( 14 ) arranged at least one pumping element ( 10 ), one on the pump housing ( 14 ) provided first flange ( 48 ), a housing element ( 36 ) for connection to the first flange ( 48 ) a second flange ( 50 ), one in one of the two abutting flange surfaces ( 52 ), circumferential sealing groove ( 54 ), in which a sealing element is arranged, and one of the sealing groove ( 54 ), surrounding protective channel ( 60 ), characterized in that the protective channel with a gas channel ( 62 ), whereby neither the protection channel ( 60 ) nor the gas channel ( 62 ) with the pump chamber ( 12 ) connected is. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) mit einer Gasquelle zum Zuführen eines Schutzgases in den Schutzkanal (60) verbunden ist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the gas channel ( 62 ) with a gas source for supplying a protective gas into the protective channel ( 60 ) connected is. Vakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mindestens ein Lagerelement (32) angeordnet ist.Vacuum pump according to claim 2, characterized in that in the housing element ( 36 ) at least one bearing element ( 32 ) is arranged. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) mit einem Verbindungskanal (66) zum Zuführen von Schutzgas zu dem Lagerelement (32) verbunden ist.Vacuum pump according to claim 3, characterized in that the protective channel ( 60 ) with a connection channel ( 66 ) for supplying protective gas to the bearing element ( 32 ) connected is. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen in dem Gehäuseelement (36) angeordneten gesonderten Zuführkanal (70) zum Zuführen von Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement (32), wobei der Zuführkanal (70) und der Gaskanal (62) mit derselben Gasquelle verbunden sind.Vacuum pump according to claim 3, characterized by a in the housing element ( 36 ) arranged separate feed channel ( 70 ) for supplying protective gas to the at least one bearing element ( 32 ), wherein the feed channel ( 70 ) and the gas channel ( 62 ) are connected to the same gas source. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mehrere Lagerelemente (32) angeordnet sind, die über einen gemeinsamen Verbindungskanal oder gesonderte Verbindungskanäle (66) mit dem Schutzkanal (60) verbunden sind.Vacuum pump according to claim 3 or 4, characterized in that in the housing element ( 36 ) several bearing elements ( 32 ) are arranged, which via a common connection channel or separate connection channels ( 66 ) with the protection channel ( 60 ) are connected. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (60) mit einer Unterdruckquelle zum Absaugen von Gas aus dem Schutzkanal (60) verbunden ist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the gas channel ( 60 ) with a vacuum source for extracting gas from the protective channel ( 60 ) connected is. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) zur Erzeugung des Unterdrucks mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, insbesondere deren Einlassbereich, verbunden ist.Vacuum pump according to claim 7, characterized in that the gas channel ( 62 ) is connected for generating the negative pressure with a negative pressure region of the vacuum pump, in particular its inlet region. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtnut (54) und der Schutzkanal (60) in derselben Flanschfläche (52) angeordnet sind.Vacuum pump according to one of claims 1 to 8, characterized in that the sealing groove ( 54 ) and the protection channel ( 60 ) in the same flange surface ( 52 ) are arranged. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut (54) aufweist.Vacuum pump according to one of claims 1 to 9, characterized in that the protective channel ( 60 ) a constant radial distance to the sealing groove ( 54 ) having. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch mehrere, insbesondere zwei mit dem Schutzkanal (60) verbundene Gaskanäle (62).Vacuum pump according to one of Claims 1 to 10, characterized by a plurality, in particular two, with the protective channel ( 60 ) connected gas channels ( 62 ). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch einen im Pumpengehäuse (14) angeordneten, unmittelbar mit dem Schöpfraum verbundenen Purge-Gaskanal.Vacuum pump according to one of claims 1 to 11, characterized by a pump housing ( 14 ), directly connected to the pumping chamber purge gas channel. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch einen weiteren, die Dichtnut (54) umgebenden Schutzkanal (60).Vacuum pump according to one of claims 1 to 12, characterized by a further, the sealing groove ( 54 ) surrounding protective channel ( 60 ).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012076204A3 (en) * 2010-12-10 2013-01-10 Ateliers Busch Sa Vacuum pump for applications in vacuum packaging machines
RU2575511C2 (en) * 2010-12-10 2016-02-20 Ателье Буш Са Vacuum pump of vacuum-driven packing machine

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017006206A1 (en) * 2017-06-30 2019-01-03 Ralf Steffens Positive displacement compressor system for R-718

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1620649A1 (en) 2003-05-08 2006-02-01 The BOC Group plc Improvements in seal assemblies
GB2442738A (en) * 2006-10-09 2008-04-16 Boc Group Plc Barrier fluid channel protecting seal in vacuum pump.

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1141552B1 (en) * 1999-01-11 2004-11-17 E.I. Du Pont De Nemours And Company Screw compressor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1620649A1 (en) 2003-05-08 2006-02-01 The BOC Group plc Improvements in seal assemblies
EP1620649B1 (en) * 2003-05-08 2006-08-23 The BOC Group plc Improvements in seal assemblies
GB2442738A (en) * 2006-10-09 2008-04-16 Boc Group Plc Barrier fluid channel protecting seal in vacuum pump.

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012076204A3 (en) * 2010-12-10 2013-01-10 Ateliers Busch Sa Vacuum pump for applications in vacuum packaging machines
CN103249915A (en) * 2010-12-10 2013-08-14 阿特利耶博世股份有限公司 Vacuum pump for applications in vacuum packaging machines
RU2575511C2 (en) * 2010-12-10 2016-02-20 Ателье Буш Са Vacuum pump of vacuum-driven packing machine
CN103249915B (en) * 2010-12-10 2016-03-30 阿特利耶博世股份有限公司 For the vacuum pump in vacuum package machine
US9638181B2 (en) 2010-12-10 2017-05-02 Ateliers Busch Sa Vacuum pump for applications in vacuum packaging machines

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