DE102008056416A1 - Wirbelstromsensorarray zur zerstörungsfreien Positionsdetektion von elektrisch leitfähigen Objekten - Google Patents

Wirbelstromsensorarray zur zerstörungsfreien Positionsdetektion von elektrisch leitfähigen Objekten Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Wirbelstromsonde, insbesondere zur Abtastung einer Fläche und/oder zur Positionsbestimmung von leitfähigen Objekten (o1, o2) innerhalb der Fläche einsetzbare Wirbelstromsonde, umfassend mindestens ein mehrere Zeilenspulenanordnungen (z1, z2, ..., zm) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Zeilenspulen (z1-1, ..., z1-n, z2-1, ..., zm-n) umfassendes Zeilenspulenarray (za) und mindestens ein mehrere Spaltenspulenanordnungen (s1, s2, ..., sn) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Spaltenspulen (s1-1, ..., s1-m, s2-1, ..., sn-m) umfassendes Spaltenspulenarray (sa), wobei mindestens eines der Zeilenspulenarrays zur zeilenweisen Anregung und mindestens eines der Spaltenspulenarrays zur spaltenweisen Anregung elektrisch mit einer Spannungsquelle (q) verbindbar sind oder verbunden sind und wobei durch zeilenweise und spaltenweise Spulenanregungen in der Wirbelstromsonde induzierte Spannungssignale messbar und bevorzugt auch zur Charakterisierung der Fläche, insbesondere zur Positionsbestimmung der leitfähigen Objekte innerhalb der Fläche, auswertbar sind.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Wirbelstromsonde, mit der eine zerstörungsfreie Positionsdetektion von elektrisch leitfähigen Objekten, insbesondere eine Positionsdetektion von leitfähigen Materialien auf einem nichtleitenden Träger (z. B. Kunststoffträger) möglich ist.
  • Wirbelstromsonden bzw. Wirbelstromprüfsonden zur Bestimmung von Materialeigenschaften, wie beispielsweise Eigenspannungen von Proben, sind bereits aus dem Stand der Technik bekannt. Bei diesen Wirbelstromsonden (somit auch bei der erfindungsgemäßen Wirbelstromsonde, die nachfolgend im Detail beschrieben wird) werden durch eine Spule (Anregungsspule), die ein wechselndes Magnetfeld erzeugt, im zu untersuchenden, leitfähigen Material Wirbelströme induziert. Bei der Messung wird dann mittels der Wirbelstromsonde die durch das Magnetfeld im Material induzierte Wirbelstromdichte detektiert. Dazu wird eine zweite Spule der Wirbelstromsonde, die Messspule, verwendet. Alternativ kann zur Messung der induzierten Ströme jedoch auch die Anregungsspule selbst verwendet werden.
  • Techniken, die zur Positionsbestimmung von leitfähigen Materialien auf nichtleitenden Trägern eingesetzt werden können, sind das Durchstrahlen der leitfähigen Materialien mit Röntgenstrahlung oder auch das Abscannen der Oberfläche mit elektromagnetischen Sensoren (Metalldetektoren). Diese Techniken sind wohlbekannt, werden aber häufig aus wirtschaftlichen Gründen nicht eingesetzt.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ausgehend vom oben beschriebenen Stand der Technik, eine Wirbelstromsonde so weiterzubilden und zur Verfügung zu stellen, dass mittels der Wirbelstromsonde eine einfache und schnelle Positionsbestimmung von leitfähigen Materialien bzw. leitfähigen Objekten auf nichtleitenden Trägern möglich ist.
  • Diese Aufgabe wird durch die Wirbelstromsonde gemäß Anspruch 1 gelöst.
  • Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein entsprechendes Wirbelstrom-Abtastverfahren zur Verfügung zu stellen.
  • Diese Aufgabe wird durch das Abtastverfahren gemäß Anspruch 16 gelöst.
  • Vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Wirbelstromsonde bzw. des erfindungsgemäßen Abtastverfahrens lassen sich jeweils den abhängigen Ansprüchen entnehmen. Erfindungsgemäße Verwendungen sind im Anspruch 21 beschrieben.
  • Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung nun zunächst allgemein beschrieben, dem schließt sich ein Ausführungsbeispiel an. Hierbei muss die vorliegende Erfindung nicht genau in derjenigen Kombination von Einzelmerkmalen, wie sie in dem noch zu beschreibenden, speziellen Ausführungsbeispiel ausgebildet ist, realisiert werden, sondern kann, im Rahmen des durch die unabhängigen Ansprüche gegebenen Schutzumfangs (auf Basis des allgemeinen Fachwissens des Fachmanns), auch in einer anderen Kombination von Einzelmerkmalen realisiert werden. Insbesondere müssen einzelne Merkmale, die beim Ausführungsbeispiel gezeigt sind, nicht in Kombination mit anderen einzelnen Merkmalen des Ausführungsbeispiels realisiert werden, sondern können auch unabhängig von letzteren im Rahmen der vorliegenden Erfindung realisiert sein.
  • Grundgedanke des Lösungsweges der vorliegenden Erfindung ist das kreuzweise Übereinanderlegen zweier Arrays von Spulen, eines ersten Arrays (nachfolgend auch: Zeilenspulenarray) und eines zweiten Arrays (nachfolgend auch: Spaltenspulenarray). Jedes dieser Arrays besteht aus einer Mehrzahl einzelner Zeilen bzw. Spalten von jeweils mehreren Einzelspulen (jede dieser Zeilen bzw. Spalten wird nachfolgend als Zeilenspulenanordnung bzw. Spaltenspulenanordnung bezeichnet). Jede einzelne Zeile des Zeilenspulenarrays bzw. jede einzelne Spalte des Spaltenspulenarrays weist somit eine Mehrzahl von Einzelspulen auf, wobei die Einzelspulen einer Zeile des Zeilenspulen arrays bzw. diejenigen einer Spalte des Spaltenspulenarrays elektrisch jeweils in Reihe geschaltet sind (die in den Zeilen bzw. Zeilenspulenanordnungen angeordneten Einzelspulen werden nachfolgend auch als Zeilenspulen bezeichnet, die in den Spalten bzw. den Spaltenspulenanordnungen angeordneten Einzelspulen auch als Spaltenspulen).
  • Die einzelnen Spulen des Zeilenspulenarrays werden zeilenweise angeregt (d. h. es werden aufgrund der Reihenschaltung jeweils alle Einzelspulen einer Zeile gleichzeitig angeregt, wobei dann die einzelnen Zeilen zeitlich nacheinander angeregt werden können, z. B. mit Hilfe eines Multiplexers). Ebenso wird das Spaltenspulenarray spaltenweise angeregt, d. h. die einzelnen Spaltenspulenanordnungen werden z. B. zeitlich nacheinander angeordnet, wobei jeweils die Einzelspulen der gerade angeregten Spaltenspulenanordnung gleichzeitig angeregt werden.
  • Die durch das zeilenweise und spaltenweise Anregen der einzelnen Spulen in dem untersuchten Gegenstand induzierten Wirbelströme werden dann mit der Wirbelstromsonde gemessen und ausgewertet.
  • Die erfindungsgemäße Wirbelstromsonde kann in einer ersten vorteilhaften Variante so realisiert werden, dass alle Einzelspulen (des Zeilenspulenarrays bzw. des Spaltenspulenarrays) als kombinierte Anregungs- und Messspulen eingesetzt werden: Mit ihnen wird dann sowohl zeilenweise bzw. spaltenweise die vorbeschriebene Anregung durch Verbindung des jeweiligen Arrays mit einer geeigneten Wechselspannungsquelle, als auch die entsprechende Erfassung der in dem vermessenen Objekt bzw. einer vermessenen Fläche induzierten Wirbelströme vorgenommen. Bei einer dergestaltigen Ausbildung weist die erfindungsgemäße Wirbelstromsonde dann genau ein Spaltenspulenarray und genau ein darüber gelegtes bzw. in das Spaltenspulenarray verschachteltes Zeilenspulenarray auf.
  • Diese Konfiguration kann insbesondere dadurch realisiert werden, dass die Zeilenspulenanordnungen des Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulenanordnungen des Spaltenspulenarrays ineinandergeschachtelt (wie nachfolgend noch näher beschrieben) auf ein und derselben Seite einer Leiterplatte angeordnet werden. Zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Wirbelstromsonde ist somit die herkömmliche Leiterplattentechnologie einsetzbar.
  • In einer zweiten vorteilhaften Variante ist es jedoch auch möglich, die erfindungsgemäße Wirbelstromsonde mit zwei Zeilenspulenarrays und mit zwei Spaltenspulenarrays zu versehen. Jeweils ein Zeilenspulenarray und ein Spaltenspulenarray werden dann (vorzugsweisen ineinandergeschachtelt, es sind aber auch einander nebengeordnete Anordnungen denkbar) in ein und derselben Ebene angeordnet, wobei die beiden mit jeweils einem Zeilenspulenarray und Spaltenspulenarray versehenen Ebenen dann beabstandet voneinander ausgebildet werden. Eine der Ebenen kann dann als Anregungsebene eingesetzt werden, d. h. die Zeilenspulenanordnungen und die Spaltenspulenanordnungen in dieser Ebene werden mit einer Wechselspannungsquelle verbunden und zur Erzeugung des Untersuchungsmagnetfeldes eingesetzt, während die Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen der zweiten Ebene (Messebene) dann zum Nachweis der induzierten Wirbelströme eingesetzt werden. Wie nachfolgend noch näher beschrieben, hat diese Variante insbesondere den Vor teil, dass aufgrund der Separierung der Anregungsspulen und der Messspulen eine bessere thermische Kompensation erfolgen kann; zudem ist eine bessere Flächenausnutzung durch die einzelnen Spulen möglich. Diese Variante kann insbesondere in der Multilayer-Leiterplattentechnologie realisiert sein: Die Spulen in der Anregungsebene werden dann auf ein und derselben Seite (der Oberseite) einer ersten, oberen Leiterplatte angeordnet, die Spulen in der Messebene auf der Oberseite einer weiteren, zweiten Leiterplatte, die dann unterhalb der ersten Leiterplatte und parallel zu dieser in Sandwichtechnik angeordnet wird. Die entsprechenden Verdrahtungen bzw. elektrischen Anschlüsse der Einzelspulen beider Ebenen können dann auf der Unterseite der zweiten Leiterplatte realisiert werden.
  • In einer besonders bevorzugten Variante können die Einzelspulen der Wirbelstromsonde als ineinandergewickelte Zeilen- und Spaltenspulen realisiert werden: Jede Zeilenspule ist dann als ebene erste Spirale ausgebildet, in die jeweils genau eine als ebene zweite Spirale ausgebildete Spaltenspule so hineingewickelt ist, dass die Windungen der ersten Spirale (Zeilenspulenspirale) und diejenigen der zweiten Spirale (Spaltenspulenspirale) versetzt zueinander und von einem gemeinsamen Spiralzentrum nach außen gesehen jeweils abwechselnd verlaufen. Die Zeilenspule und ihre zugeordnete Spaltenspule bilden somit zwei ineinandergeschachtelte, ineinandergewickelte und in einer gemeinsamen Ebene verlaufende konzentrische Spiralen aus. Vorteilhafterweise geschieht die Realisierung in Form von archimedischen Spiralen (gleicher Abstand von Wicklung zu Wicklung).
  • Zur Anregung und/oder Messsignalauswertung können das oder die Zeilenspulenarray(s) und das oder die Spaltenspulenarray(s) mit einem Multiplexer verbunden werden. Die einzelnen Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen werden dabei zeilenweise bzw. spaltenweise mit den Anschlüssen des Multiplexers verbunden, so dass die einzelnen Zeilen bzw. Spalten nacheinander durch Multiplexen anregbar sind. Entsprechend können bei der Messsignalerfassung die Zeilen bzw. Spalten einzeln nacheinander erfasst werden.
  • Beispielsweise mit den Signalausgängen des Multiplexers kann dann eine Messsignal-Auswerteeinheit, die beispielsweise in Form eines Personal Computers PC mit geeigneten Softwareprogrammen bzw. Algorithmen realisiert sein kann, verbunden werden. Wie nachfolgend noch näher beschrieben, kann mittels unterschiedlicher Algorithmen das erfasste Feld von Messsignalen dahingehend ausgewertet werden, dass die Positionen von leitfähigen Objekten innerhalb einer vermessenen Fläche bestimmt werden. Mit Hilfe der Auswertealgorithmen ist es somit möglich, die zeilenweise durch die Zeilenspulenanordnungen erfassten Summensignale der Einzelspulen der jeweiligen Zeilen bzw. die entsprechenden Spalten-Summensignale der einzelnen Spaltenspulen der Spaltenspulenanordnungen so auszuwerten, dass Orte, an denen leitfähige Objekte bzw. Strukturen angeordnet sind, bestimmt werden können.
  • Im einfachsten Fall kann die Auswertung dadurch vorgenommen werden, dass Kreuzungspunkte von lokalen Zeilenmaxima und von lokalen Spaltenmaxima bestimmt werden, d. h. es werden diejenigen Zeilenspulenanordnungen bestimmt, bei denen das Summensignal der Zeilenspulen ein lokales Maximum aufweist, es werden diejenigen Spaltenspulenanordnungen bestimmt, bei denen das Summensignal der Spaltenspulen ein lokales Maximum aufweist, und es werden die Kreuzungspunkte der so bestimmten Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen als diejenigen Orte identifiziert, an denen leitfähige Objekte/Strukturen vorhanden sind (oder, je nach Anzahl vorhandener Objekte/Strukturen, zumindest zu erwarten sind).
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltungsvariante ist jeweils ein elektrischer Anschluss der Zeilenspulenanordnungen und der Spaltenspulenanordnungen mit einer Signalauswerteschaltung (z. B. dem Multiplexer und einer nachfolgenden Messsignal-Auswerteeinheit) verbunden und der jeweils andere elektrische Anschluss der Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen mit einem Masseanschluss. Hierbei können insbesondere alle Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen ein und denselben Masseanschluss verwenden, was bei der Herstellung in Leiterplattentechnologie vorteilhaft ist.
  • Ein wesentlicher Aspekt der vorliegenden Erfindung ist somit die Schaltung des Zeilenspulenarrays und des Spaltenspulenarrays (bzw. des aus diesen beiden Arrays gebildeten Gesamtarrays). Die Zeilen und die Spalten werden jeweils komplett als Reihenschaltung angeregt. Als Rohdaten ergeben sich somit Summensignale für jede Zeile und jede Spalte. Die Ergebnismatrix wird dann mittels spezieller Algorithmen gebildet.
  • Das erfindungsgemäße Gesamtarray aus Zeilenspulenarray und Spaltenspulenarray besteht somit aus einer Matrix mit einer definierten Anzahl von Spulen.
  • Vorteilhafterweise handelt es sich um spiralförmige Spulen, die in Leiterplattentechnologie hergestellt werden können; das Ansteuerungs- und Verschaltungskonzept der vorliegenden Erfindung lässt sich jedoch auch auf mit anderen Technologien herstellbare Spulen einfach übertragen (gewickelte Spulen, in Dünnschichttechnik hergestellte Spulen oder in Keramiktechnologie hergestellte Spulen). Dabei können auch ferritische Kernmaterialien zusätzlich eingesetzt werden.
  • In jedem Messpunkt des Arrays können sich zwei ineinandergewickelte, spiralförmige Spulen befinden. Dabei gehört jeweils eine der beiden Spulen zu einer Zeilenspulenanordnung innerhalb des Zeilenspulenarrays (bzw. zu einem Zeilensensor) und die andere zu einer Spaltenspulenanordnung innerhalb eines Spaltenspulenarrays (bzw. zu einem Spaltensensor). Jeweils alle Sensoren (bzw. Zeilenspulen) einer Zeile der Zeilenspulenarrays werden elektrisch miteinander in Reihenschaltung verbunden. Genauso werden alle Sensoren (bzw. Spaltenspulen) einer Spalte des Spaltenspulenarrays elektrisch miteinander in Serie verschaltet. Jede Zeile und Spalte kann dann mit einem ihrer Anschlüsse über den vorbeschriebenen Multiplexer an eine Messelektronik, die beispielsweise als Einsteckkarte eines PCs ausgebildet sein kann, angeschlossen werden.
  • Der jeweils andere Anschluss jedes Zeilen- und Spaltensensors wird dann auf Masse geschaltet, wobei vorteilhafterweise wie vorbeschrieben für alle Zeilen und Spalten ein und derselbe Masseanschluss verwendet werden kann.
  • Durch zeitversetztes Durchschalten (Multiplexen) jeder einzelnen Zeile des Zeilespulenarrays und Spalte des Spaltenspulenarrays wird somit ein Summensignal über alle Einzelspulen der jeweiligen Zeile bzw. Spalte gemessen.
  • Bei Verwendung eines einzelnen Zeilenspulenarrays und eines einzelnen Spaltenspulenarrays erfolgen Anregung und Messwertaufnahme jeweils an ein und derselben Spule. Alternativ dazu ist es jedoch auch möglich, die anregenden Spulen und die messwertaufnehmenden Spulen zu trennen und z. B. übereinander in zwei beabstandeten Ebenen anzuordnen.
  • Nach Abschluss eines Messzyklus liegt für jede Spalte und Zeile ein Messsignal vor. In denjenigen Zeilen, in denen sich ein zu ortendes leitfähiges Objekt befindet, ist das Messsignal signifikant verschieden zu den anderen Zeilen (je nach genauer Spulenkonfiguration bzw. -geometrie kann insbesondere ein lokales Maximum des Signals vorliegen). Genauso verhält es sich mit den Messsignalen aus den Spalten. Aufgrund dieser Informationen können diejenigen Zeilen und Spalten separiert werden, auf denen sich ein zu ortendes Objekt befindet, wodurch die Positionsbestimmung des Objektes auf dem Raster des Arrays möglich ist.
  • Da fertigungsbedingt die einzelnen Spulen leicht unterschiedliche elektrische Eigenschaften haben können, ist es für eine sichere Detektion vorteilhaft, vor der eigentlichen Messung am Prüfobjekt einen Nullabgleich durchzuführen. Dies kann dadurch geschehen, dass alle Zeilen und Spalten an Luft gemessen und normiert werden.
  • Bereits mit dem einfachsten Auswertealgorithmus (Suche nach lokalen Maxima) können zwei leitfähige Objekte auf einem nicht leitfähigen Trägermaterial von der Größe des Arrays sicher detektiert werden (bei dieser einfachsten Variante können sich beim Vorhandensein von mehr als zwei leitfähigen Objekten ggf. Mehrdeutigkeiten ergeben). Die Ortsauflösung richtet sich hierbei nach dem Abstand zwischen den Einzelspulen in Zeilen- bzw. Spaltenrichtung. Die Ortsauflösung kann leicht erhöht werden, indem die Spulen in Zeilen- oder Spaltenrichtung zueinander versetzt angeordnet werden. Des Weiteren kann die Ortsauflösung auch dadurch erhöht werden, dass das Gesamtarray in kleineren Schritten als dem Abstand zwischen den Einzelspulen in Zeilen- und in Spaltenrichtung entsprechend über das zu scannende Objekt bewegt wird (man erhält somit insgesamt mehr Messwerte als der Anzahl der Einzelspulen entsprechend).
  • Die einfachste Möglichkeit der Erhöhung derjenigen Anzahl von leitfähigen Objekten, die sicher detektiert werden kann, besteht in einer Variation der Scanlinienlage und Erhöhung der Anzahl derselben durch Drehen des Gesamtarrays während der Messung.
  • Durch geeignete Auswertealgorithmen kann damit eine größere Anzahl von leitfähigen Objekten sicher geortet werden; die Objekte können dabei auch unterschiedliche Leitfähigkeiten aufweisen.
  • Im einfachsten Fall können, z. B. in Leiterplattentechnologie gefertigt, genau ein Zeilenspulenarray und genau ein Spaltenspulenarray, die dann in ein und derselben Ebene ineinandergeschachtelt angeordnet sind, verwendet werden (Verwendung der Einzelspulen als Anregungs- und Messspulen). Durch eine Separie rung von Anregungs- und Messspulen ist es jedoch möglich, die thermische Kompensation zu verbessern:
    Es werden dann ein Anregungs-Zeilenspulenarray und ein Anregungs-Spaltenspulenarray (die in einer gemeinsamen Ebene ausgebildet werden) und ein Mess-Zeilenspulenarray und ein Mess-Spaltenspulenarray (die ebenfalls in einer gemeinsamen Ebene, die beabstandet von der Anregungsebene ist, ausgebildet werden) verwendet. Durch diese räumliche Trennung der Mess- und der Anregungsspulen wird verhindert, dass die Anregungs- bzw. Sendespulen ihre thermische Wirkung in die Empfangs- bzw. Messspulen einstreuen. Eine solche Separierung kann durch eine Multilayer-Leiterplattentechnologie realisiert sein, bei der auf der Oberseite einer oberen Lage die Anregungsspulen und auf der Oberseite einer unteren Lage die Messspulen angeordnet sind. Auf der Unterseite der unteren Lage kann dann die Verdrahtung bzw. die Gesamtheit der Anschlüsse der einzelnen Spulen an die Messelektronik ausgebildet sein.
  • Durch die Trennung in eine Anregungsebene und in eine Messebene ist auch eine bessere Flächenausnutzung der einzelnen Spulen innerhalb ihres jeweiligen Arrays möglich: Die Wicklungen der Einzelspulen lassen sich weiter zum Spulenzentrum nach innen führen. Dies liegt daran, dass es aufgrund der Multilayertechnologie durch Einsatz von sog. „blind vias” möglich wird, die sichtbare Viaanzahl zu minimieren.
  • Die vorliegende Erfindung hat insbesondere den Vorteil, dass flächige Detektoren mit einer großen Pixelanzahl mit geringem technischem Aufwand realisiert werden können. Durch die vorbeschriebene Verschaltung mit einem Multiplexer ist es insbesondere möglich, ein Array aufzubauen, bei dem nur so viele Kanäle wie Zeilen und Spalten vorhanden sind (z. B. im Falle von acht Zeilenspulenanordnungen und acht Spaltenspulenanordnungen bzw. von acht Zeilensensoren und acht Spaltensensoren sind es sechzehn Kanäle), benötigt werden. Dadurch kann der Schaltungsaufwand entscheidend minimiert werden; ebenso ergeben sich Verkürzungen in der notwendigen Messzeit.
  • Die vorliegende Erfindung kann insbesondere für Chipkarten eingesetzt werden, die aus einem nichtleitenden Kunststoffträger mit eingebettetem Mikrochip bestehen. So können beispielsweise zur Qualitätssicherung oder Prozessüberwachung Vorhandensein und Positionsgenauigkeit des Chips auf dem Kunststoffträger bestimmt werden.
  • Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben.
  • Es zeigen:
  • 1 ein Beispiel für einen schaltungstechnischen Aufbau eines acht Zeilenspulenanordnungen umfassenden Zeilenspulenarrays und eines acht Spaltenspulenanordnungen umfassenden Spaltenspulenarrays, die an einen 16 × 2-Kanal-Multiplexer angekoppelt sind, wobei jeweils ein Kanal zur Anregung und ein Kanal zum Auslesen verwendet wird;
  • 2 eine einzelne Zeilenspule, in die eine Spaltenspule hineingewickelt ist (beide Spulen befinden sich in ein und derselben Ebene auf einer Leiterplatte);
  • 3 eine Variante des Ausführungsbeispiels, bei dem durch Gegeneinanderversetzen der einzelnen Zeilenspulenanordnungen die zu scannende Fläche besser abgedeckt werden kann;
  • 4 die Darstellung von Messergebnissen mit dem gezeigten Ausführungsbeispiel.
  • 1 zeigt eine erfindungsgemäße Wirbelstromsonde mit einem Zeilenspulenarray za und einem Spaltenspulenarray sa. Das Zeilenspulenarray za besteht aus m Zeilenspulenanordnungen z1, ..., zm, wobei jede dieser Zeilenspulenanordnungen jeweils n einzelne Zeilenspulen aufweist. So bilden die Zeilenspulen z1-1, z1-2, ..., z1-n die Zeilenspulen der ersten Zeilenspulenanordnung z1, die Zeilenspulen z2-1 bis z2-n die Zeilenspulen der zweiten Zeilenspulenanordnung usw. bis hin zu den Zeilenspulen zm-1 bis zm-n der tuten Zeilenspulenanordnung.
  • Die einzelnen Zeilenspulen jeder Zeilenspulenanordnung sind elektrisch miteinander in Reihe geschaltet. Die Zeilenspulen z1-1, ..., z1-n, ..., zm-1, ..., zm-n sind in Form eines regelmäßigen, zweidimensionalen Gitters, also an den Kreuzungspunkten eines rechteckigen Gitters angeordnet. Da im gezeigten Fall n = 8 und m = 8 ist (m Zeilenspulenanordnungen mit jeweils n einzelnen Zeilenspulen, wobei jeweils benachbarte Zeilenspulenanordnungen konstante Abstände voneinander aufweisen und parallel zueinander angeordnet sind), ist das gezeigte Zeilenspulenarray als quadratische Gitter ausgebildet.
  • Auf entsprechende Art und Weise ist aus n = 8 Spaltenspulenanordnungen s1 bis sn mit jeweils m = 8 einzelnen Spaltenspulen ein regelmäßiges, quadratisches Spaltenspulenarray sa aufgebaut. Das Spaltenspulenarray kann als um 90° verdrehtes zweites „Zeilen” spulenarray angesehen werden, dass dem Zeilenspulenarray überlagert ist.
  • Die Abstände benachbarter Spaltenspulenanordnungen entsprechen dabei den Abständen benachbarter Zeilenspulenanordnungen, und das Spaltenspulenarray sa bzw. dessen Gitter ist (vgl. auch 2) so integriert mit dem Zeilenspulenarray za in ein und derselben Ebene auf der Oberfläche einer Leiterplatte (nicht gezeigt) ausgebildet, dass die Kreuzungspunkte des Zeilengitters und des Spaltengitters, also diejenigen Punkte des Zeilenspulenarrays und des Spaltenspulenarrays, an denen die Zeilenspulen bzw. die Spaltenspulen angeordnet sind, aufeinanderfallen. Diese Anordnung wurde dadurch realisiert, dass jeweils eine Zeilenspule und eine Spaltenspule zusammen als zwei ineinandergeschachtelte, ineinandergewickelte und in einer gemeinsamen Ebene auf der Oberfläche der Leiterplatte verlaufende konzentrische, archimedische Spiralen ausgebildet sind (vgl. 2).
  • Jede Reihenschaltung von Zeilenspulen (also jede Zeilenspulenanordnung) und jede Reihenschaltung von Spaltenspulen (also jede Spaltenspulenanordnung) weist einen ersten elektrischen Anschluss 4 und einen zweiten elektrischen Anschluss 5 auf.
  • Die zweiten elektrischen Anschlüsse 5z-1, ..., 5z-m sämtlicher Zeilenspulenanordnungen und die zweiten elektrischen Anschlüsse 5s-1 bis 5s-n sämtlicher Spaltenspulenanordnungen sind elektrisch miteinander und mit einem einzigen, also ein und demselben Masse anschluss 8 verbunden, sämtliche zweite Anschlüsse befinden sich somit auf Erdpotential.
  • Jede der Zeilenspulenanordnungen und jede der Spaltenspulenanordnungen ist mit ihrem ersten elektrischen Anschluss 4 mit jeweils zwei Eingangsanschlüssen 6 eines Multiplexer 3 verbunden (aus Übersichtlichkeitsgründen sind nur 4 × 2 dieser Anschlüsse eingezeichnet): So ist beispielsweise der erste Anschluss 4z-1 der ersten Zeilenspulenanordnung z1 mit dem Sendeanschluss S9A und ebenso mit dem Empfangsanschluss S9B des Multiplexers 3 verbunden. Der erste Anschluss 4z-(m-1) der (m-1)-ten Zeilenspulenanordnung ist mit dem Sendeanschluss S14A und mit dem Empfangsanschluss S14B des Multiplexers 3 verbunden. Ebenso ist der erste Anschluss 4s-n der n-ten Spaltenspulenanordnung sn mit dem Sendeanschluss S1A und dem Empfangsanschluss S1B verbunden usw. Da hier insgesamt acht Zeilenspulenanordnungen und acht Spaltenspulenanordnungen ausgebildet sind, sind somit 16 × 2 = 32 Multiplexeranschlüsse 6 notwendig, von denen die Anschlüsse S1A bis S16A als Anregungs- bzw. Sendeanschlüsse und die Anschlüsse S1B bis S16B als Mess- bzw. Empfangsanschlüsse eingesetzt werden.
  • Die Einzelspulen des Zeilenspulenarrays und diejenigen des Spaltenspulenarrays werden im gezeigten Fall somit als kombinierte Anregungs- und Messspulen eingesetzt; über die sechzehn Sendekanäle S1A bis S16A werden die einzelnen Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen zeilen- bzw. spaltenweise mit geeigneten Wechselspannungen beaufschlagt, gleichzeitig bzw. im gleichen Zeitfenster werden die in der untersuchten Fläche induzierten Wirbelströme mittels der sechzehn Empfangskanäle S1B bis S16B zeilenweise bzw. spaltenweise erfasst.
  • Lediglich als Skizze angedeutet ist eine Spannungsquelle q, die (über den Multiplexer 3 und dessen Sende- bzw. Anregungsanschlüsse S1A bis S16A) mit den einzelnen Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen verbunden ist. Durch Anlegen einer geeigneten Wechselspannungsfolge mit dieser Spannungsquelle q wird dann die vorbeschriebene zeilen- und spaltenweise Anregung durchgeführt.
  • Die erfassten bzw. gemessenen Signale werden dann vom Multiplexer 3 über dessen Ausgangsanschlüsse einer Messsignal-Auswerteeinheit 7, die hier in Form eines Personal Computers mit in den Speicher geladenen Auswerteprogrammen bzw. entsprechenden Auswertealgorithmen ausgebildet ist, übermittelt. Die Signalübertragung an den PC 7 kann mit Hilfe einer Steckkarte, auf der auch der Multiplexer 3 angeordnet ist, erfolgen.
  • Die vorstehende aufgezeigte Ausführungsvariante hat insbesondere den Vorteil, dass die Realisierung der Wirbelstromsonde mit einer geringen Kanalzahl erfolgen kann: Anstelle der Verwendung von so vielen Multiplexer-Kanälen wie Einzelspulen ist es hier lediglich notwendig, so viele Multiplexer-Kanäle, wie es Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen gibt, einzusetzen (hier sind somit lediglich sechzehn Multiplexer-Kanäle zum Anregen und sechzehn Multiplexer-Kanäle zum Messen notwendig). Hierdurch werden sowohl Schaltungsaufwand als auch Messzeit entsprechend verkürzt.
  • Selbstverständlich ist es jedoch auch möglich, zwei verschiedene Multiplexer einzusetzen, einen zum Senden und einen zum Empfangen (es sind dann je Multiplexer nur sechzehn Kanäle notwendig).
  • 2 zeigt ein Beispiel für die integrierte Ausformung der einzelnen Zeilenspulen und Spaltenspulen der in 1 beschriebenen Wirbelstromsonde. Wie die Figur zeigt, sind die Zeilenspulen als ebene erste Spiralen 1 ausgebildet und die Spaltenspulen als ebene zweite Spiralen 2, die jeweils in die ersten Spiralen so hineingewickelt sind, dass die Windungen der ersten Spiralen und diejenigen der zweiten Spiralen versetzt zueinander und vom gemeinsamen Spiralzentrum nach außen gesehen jeweils abwechselnd verlaufen.
  • Jeweils eine Zeilenspule und eine Spaltenspule bilden somit zusammen ein Spiralpaar von zwei ineinandergeschachtelten, ineinandergewickelten und in der gemeinsamen Ebene auf dem Leitersubstrat verlaufenden konzentrischen Spiralen. Die Anzahl der Wicklungen einer einzelnen Spule beträgt hier jeweils sechs.
  • 3 zeigt eine Variante der in 1 beschriebenen erfindungsgemäßen Wirbelstromsonde. Gezeigt sind hier insgesamt 8 × 8 Zeilenspulen und 8 × 8 Spaltenspulen, die jeweils, wie in 2 gezeigt, ineinandergewickelt ausgebildet sind. Die 3 skizziert darüber hinaus die Leitungsführung zum Anschluss der einzelnen Zeilenspulenanordnungen und Spaltenspulenanordnungen an den Multiplexer 3.
  • Im Gegensatz zu dem in 1 gezeigten Fall sind hier jeweils benachbarte Zeilenspulenanordnungen bzw. die einzelnen Zeilenspulen dieser Anordnungen in Zeilenrichtung seitlich versetzt gegeneinander angeordnet. Der Versatz beträgt hier jeweils etwa 50 der Ausdehnung der einzelnen Spulen in. Zeilen- bzw. Spaltenrichtung. Durch den Versatz in Zeilenrichtung ergibt sich eine zickzackförmige Anordnung der Einzelspulen einer jeden Spaltenspulenanordnung.
  • Durch die gezeigte, versetzte Anordnung der Spulen kann die zu scannende Fläche besser abgedeckt werden.
  • 4 skizziert schließlich die Darstellung eines Messergebnisses, das mit der in 1 und 2 gezeigten Sonde bei Vorhandensein zweier leitfähiger Objekte o1 und o2 auf einer Fläche erhalten wurde. 4a) skizziert die Anordnung der beiden Objekte o1, o2 sowie das darüber angeordnete Zeilenspulenarray und Spaltenspulenarray der Wirbelstromsonde gemäß 1.
  • Wie 4b) und 4c) zeigen, treten bei denjenigen Zeilenspulenanordnungen (vgl. 4b)), auf deren Höhe jeweils eines der Objekte angeordnet ist, Signalmaxima auf. Dies sind hier die dritte Zeile z3 und die siebte Zeile z7.
  • Entsprechend treten bei denjenigen Spaltenspulenanordnungen, die den geringsten Abstand zu den Orten o1 und o2 der Objekte aufweisen, erhöhte Signalwerte auf (vgl. 4c)); dies sind hier die vierte und die fünfte Spalte s4 und s5.
  • Durch geeignete Auswertung (beispielsweise Suche nach lokalen Maxima in den zweidimensional aufgetragenen Messergebnissen des Gesamtarrays, vgl. 4d)) kann somit die Lage der beiden Objekte o1 und o2 innerhalb der untersuchten Fläche bestimmt werden.

Claims (21)

  1. Wirbelstromsonde, insbesondere zur Abtastung einer Fläche und/oder zur Positionsbestimmung von leitfähigen Objekten (o1, o2) innerhalb der Fläche einsetzbare Wirbelstromsonde, umfassend mindestens ein mehrere Zeilenspulenanordnungen (z1, z2, ..., zm) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Zeilenspulen (z1-1, ..., z1-n, z2-1, ..., zm-n) umfassendes Zeilenspulenarray (za) und mindestens ein mehrere Spaltenspulenanordnungen (s1, s2, ..., sn) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Spaltenspulen (s1-1, ..., s1-m, s2-1, ..., sn-m) umfassendes Spaltenspulenarray (sa), wobei mindestens eines der Zeilenspulenarrays zur zeilenweisen Anregung und mindestens eines der Spaltenspulenarrays zur spaltenweisen Anregung elektrisch mit einer Spannungsquelle (q) verbindbar ist oder verbunden ist und wobei durch zeilenweise und spaltenweise Anregung der Spule in der Wirbelstromsonde induzierte Spannungssignale messbar und bevorzugt auch zur Charakterisierung der Fläche, insbesondere zur Positionsbestimmung der leitfähigen Objekte innerhalb der Fläche, auswertbar sind.
  2. Wirbelstromsonde nach dem vorhergehenden Anspruch gekennzeichnet durch ein, bevorzugt genau ein Zeilenspulenarray (za), dessen Zeilenspulen jeweils als kombinierte Anregungs- und Messspulen ausgebildet und/oder einsetzbar sind, mit denen zeilenweise gleichzeitig sowohl eine Anregung, als auch eine Messung durchführbar ist und/oder ein, bevorzugt genau ein Spaltenspulenarray (sa), dessen Spaltenspulen jeweils als kombinierte Anregungs- und Messspulen ausgebildet und/oder einsetzbar sind, mit denen spaltenweise gleichzeitig sowohl eine Anregung, als auch eine Messung durchführbar ist.
  3. Wirbelstromsonde nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die Zeilenspulen des Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulen des Spaltenspulenarrays auf ein und derselben Seite einer Leiterplatte angeordnet sind.
  4. Wirbelstromsonde nach Anspruch 1 gekennzeichnet durch zwei, bevorzugt genau zwei Zeilenspulenarrays, wobei die Zeilenspulen des ersten Zeilenspulenarrays jeweils als Anregungsspulen ausgebildet und/oder einsetzbar sind, mit denen zeilenweise eine Anregung durchführbar ist, und wobei die Zeilenspulen des zweiten Zeilenspulenarrays jeweils als Messspulen ausgebildet und/oder ein setzbar sind, mit denen zeilenweise eine Messung durchführbar ist, und/oder zwei, bevorzugt genau zwei Spaltenspulenarrays, wobei die Spaltenspulen des ersten Spaltenspulenarrays jeweils als Anregungsspulen ausgebildet und/oder einsetzbar sind, mit denen spaltenweise eine Anregung durchführbar ist, und wobei die Spaltenspulen des zweiten Spaltenspulenarrays jeweils als Messspulen ausgebildet und/oder einsetzbar sind, mit denen spaltenweise eine Messung durchführbar ist.
  5. Wirbelstromsonde nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die Zeilenspulen des ersten Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulen des ersten Spaltenspulenarrays in einer ersten Ebene, der Anregungsebene, angeordnet sind und dass die Zeilenspulen des zweiten Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulen des zweiten Spaltenspulenarrays in einer zweiten Ebene, der Messebene, angeordnet sind, wobei die zweite Ebene beabstandet von der ersten Ebene und bevorzugt parallel zu dieser liegt.
  6. Wirbelstromsonde nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die Zeilenspulen des ersten Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulen des ersten Spaltenspulenarrays auf ein und derselben Seite einer ersten Leiterplatte angeordnet sind und dass die Zeilenspulen des zweiten Zeilenspulenarrays und die Spaltenspulen des zweiten Spaltenspulenarrays auf ein und derselben Seite einer weiteren, beabstandet und bevorzugt parallel zur ersten Leiterplatte angeordneten Leiterplatte angeordnet sind.
  7. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass die Spulen mindestens eines Zeilenspulenarrays und die Spulen mindestens eines Spaltenspulenarrays in zwei zueinander parallelen Ebenen, bevorzugt in ein und derselben Ebene angeordnet sind.
  8. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine, bevorzugt mehrere, bevorzugt alle Zeilenspulen der Wirbelstromsonde zumindest abschnittsweise als ebene erste Spirale(n) (1) ausgebildet ist/sind, in die jeweils genau eine zumindest abschnittsweise als ebene zweite Spirale (2) ausgebildete Spaltenspule der Wirbelstromsonde so hinein gewickelt ist, dass die Windungen der ersten Spirale und diejenigen der zweiten Spirale versetzt zueinander und von einem gemeinsamen Spiralzentrum nach außen gesehen jeweils abwechselnd verlaufen, dass also die Zeilenspule und ihre zugehörige Spaltenspule (1, 2) zwei ineinander geschachtelte, ineinander ge wickelte und in einer gemeinsamen Ebene verlaufende konzentrische Spiralen ausbilden.
  9. Wirbelstromsonde nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Zeilenspule und ihre hinein gewickelte Spaltenspule in Form zweier ineinander verlaufender archimedischer Spiralen, also zweier Spiralen mit gleichem Abstand von Wicklung zu Wicklung, ausgebildet sind.
  10. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden gekennzeichnet durch einen Multiplexer (3), wobei jeweils einer der beiden elektrischen Anschlüsse (4, 5) der Zeilenspulenanordnungen eines Zeilenspulenarrays und der Spaltenspulenanordnungen eines Spaltenspulenarrays elektrisch mit mindestens einem der, bevorzugt mit zweien der Eingangsanschlüsse (6) des Multiplexers (3) verbindbar ist oder verbunden ist und/oder eine mit den Zeilenspulenanordnungen eines Zeilenspulenarrays und den Spaltenspulenanordnungen eines Spaltenspulenarrays elektrisch verbundene Messsignal-Auswerteeinheit (7), insbesondere eine mit der Signalausgangsseite des Multiplexers elektrisch verbundene Messsignal-Auswerteeinheit (7), mit der die in der Wirbelstromsonde induzierten Spannungssignale zur Charakterisierung der Fläche auswertbar sind.
  11. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Zeilenspulenanordnungen eines Zeilenspulenarrays und/oder die einzelnen Spaltenspulenanordnungen eines Spaltenspulenarrays nacheinander so durchschaltbar sind, dass zeitlich aufeinander folgend Summensignale der Zeilenspulen der einzelnen Zeilenspulenanordnungen und/oder Summensignale der Spaltenspulen der einzelnen Spaltenspulenanordnungen generierbar sind, wobei die Durchschaltung bevorzugt durch Multiplexen mit Hilfe des Multiplexers (3) realisierbar ist.
  12. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass bei der Auswertung der induzierten Spannungssignale diejenigen Orte in der Fläche bestimmbar sind, an denen sowohl an der nächstliegenden Zeile eines Zeilenspulenarrays ein lokales Maximum der Summensignale der Zeilenspulen der Zeilenspulenanordnungen dieses Zeilenspulenarrays, als auch an der nächstliegende Spalte eines Spaltenspulenarrays ein lokales Maximum der Summensignale der Spaltenspulen der Spaltenspulenanordnungen dieses Spaltenspulenarrays vorliegt, wobei die Auswertung bevorzugt mittels der Messsignal-Auswerteeinheit (7) durchführbar ist.
  13. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass jeweils einer der beiden elektrischen Anschlüsse (4, 5) der Zeilenspulenanordnungen eines Zeilenspulenarrays und der Spaltenspulenanordnungen eines Spaltenspulenarrays elektrisch mit einem Masseanschluss (8) verbindbar ist oder verbunden ist, wobei die Zeilenspulenanordnungen und die Spaltenspulenanordnungen bevorzugt an ein und denselben Masseanschluss anschließbar sind oder angeschlossen sind.
  14. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Windungen mindestens einer Zeilenspule und/oder mindestens einer Spaltenspule mindestens 5, bevorzugt mindestens 10, bevorzugt mindestens 20, bevorzugt mindestens 50 beträgt.
  15. Wirbelstromsonde nach einem der vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Zeilenspulen mindestens zweier benachbarter, bevorzugt aller jeweils benachbarter Zeilenspulenanordnungen mindestens eines Zeilenspulenarrays versetzt gegeneinander angeordnet sind und/oder die einzelnen Spaltenspulen mindestens zweier benachbarter, bevorzugt aller jeweils benachbarter Spaltenspulenanordnungen mindestens eines Spaltenspulenarrays versetzt gegeneinander angeordnet sind.
  16. Wirbelstrom-Abtastverfahren zur Abtastung einer Fläche, insbesondere zur Positionsbestimmung von leitfähigen Objekten (o1, o2) innerhalb der Fläche, wobei ein mehrere Zeilenspulenanordnungen (z1, z2, ..., zm) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Zeilenspulen (z1-1, ..., z1-n, z2-1, ..., zm-n) umfassendes Zeilenspulenarray (za) elektrisch mit einer Spannungsquelle (q) verbunden wird, wobei ein mehrere Spaltenspulenanordnungen (s1, s2, ..., sn) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Spaltenspulen (s1-1, ..., s1-m, s2-1, ..., sn-m) umfassendes Spaltenspulenarray (sa) elektrisch mit der Spannungsquelle (q) verbunden wird, wobei das verbundene Zeilenspulenarray zeilenweise und das verbundene Spaltenspulenarray spaltenweise mit einer Wechselspannung angeregt werden, und wobei durch die zeilenweise und spaltenweise Spulenanregungen in der Wirbelstromsonde induzierte Spannungssignale gemessen und zur Charakterisierung der Fläche, insbesondere zur Positionsbestimmung der leitfähigen Objekte innerhalb der Fläche, ausgewertet werden.
  17. Wirbelstrom-Abtastverfahren nach dem vorhergehenden Anspruch dadurch gekennzeichnet, dass die induzierten Spannungssignale mittels des Zeilenspulenarrays und mittels des Spaltenspulenarrays auch gemessen werden oder dass die Anregung mittels des als Anregungs-Zeilenspulenarray ausgebildeten Zeilenspulenarrays und mittels des als Anregungs-Spaltenspulenarray ausgebildeten Spaltenspulenarrays durchgeführt wird und dass die hierdurch induzierten Spannungssignale mittels eines weiteren Mess-Zeilenspulenarrays und eines weiteren Mess-Spaltenspulenarrays gemessen werden, wobei bevorzugt das Mess-Zeilenspulenarray wie das Anregungs-Zeilenspulenarray und das Mess-Spaltenspulenarray wie das Anregungs-Spaltenspulenarray ausgebildet wird.
  18. Wirbelstrom-Abtastverfahren nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche dadurch gekennzeichnet, dass durch ein zeitversetztes Durchschalten oder Multiplexen jeder einzelnen Zeile und Spalte der Arrays angeregt und gemessen wird.
  19. Wirbelstrom-Abtastverfahren nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Arrays zwischen einzelnen Messabtastungen der Messung mit einer Schrittweite über die Fläche bewegt werden, die kleiner als der Abstand benachbarter Zeilenspulenanordnungen eines zur Messung und/oder Anregung verwendeten Zeilenspulenarrays und/oder benachbarter Spaltenspulenanordnungen eines zur Messung und/oder Anregung verwendeten Spaltenspulenarrays ist.
  20. Wirbelstrom-Abtastverfahren nach einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche dadurch gekennzeichnet, dass die Arrays während der Messung um eine zur Fläche senkrecht stehende Achse gedreht werden.
  21. Verwendung einer Wirbelstromsonde oder eines Wirbelstrom-Abtastverfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Positionsbestimmung von leitfähigen Objekten auf einem nichtleitenden Träger, insbesondere zur Positionsbestimmung von einem auf einem und/oder integriert in einem Kunststoffträger angeordneten Mikrochip.
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