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Stand der Technik
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Die
Erfindung geht aus von einem Sensor gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
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Solche
Sensoren sind allgemein bekannt. Beispielsweise ist aus der Druckschrift
DE 43 33 753 A1 ein
kapazitiver Drucksensor mit zwei druckempfindlichen Membranen auf
die zu bestimmende Drücke einwirken und auf der Elektroden
angeordnet sind und einem Träger auf dem sich Gegenelektroden
befinden bekannt, wobei durch die Elektroden und die Gegenelektroden
zwei elektrische Kondensatoren gebildet werden. Die Membranen sind
zu beiden Seiten des Trägers angeordnet, wobei die zu messenden
Drücke jeweils auf dem Träger abgewandten Seiten
der Membranen einwirken und die Membranen über einen Abstandshalter
miteinander verbunden sind, so dass bei gleichen Drücken
keine Auslenkung der Elektroden relativ zu den Gegenelektroden erzeugt
wird, da sich die Drücke über den Abstandshalter
kompensieren, und lediglich bei ungleichen Drücken eine
Auslenkung der Elektroden relativ zu den Gegenelektroden erzeugt
wird. Diese Auslenkung wird durch Vermessung einer Änderung der
elektrischen Kapazität der Kondensatoren detektiert. Nachteilig
an diesem kapazitiven Drucksensor ist, dass einerseits zusätzlich
zu den Membranen und Elektroden ein Träger mit Gegenelektroden
in den Sensorbereich zwischen den Membranen eingebracht und dort
abgedichtet werden muss, wodurch die Herstellungskosten und der
Fertigungsaufwand vergleichsweise hoch ist und andererseits die
Messgenauigkeit des Sensors durch eine Auslenkung des Trägers
und durch eine mögliche Kompression des Abstandshalters
reduziert wird.
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Ferner
ist aus der noch unveröffentlichten Druckschrift
DE 10 2007 029 414.1 ein
kapazitiver Drucksensor mit einer ersten Elektrode und einer zweiten
Elektrode bekannt, wobei die erste Elektrode in eine bewegliche
Membran und die zweite Elektrode in ein der Membran gegenüberliegendes
Gegenelement integriert sind, wobei zur Erfassung eines Drucksignals
die erste Elektrode seitlich über die zweite Elektrode
bewegt wird. In vielen Anwendungsgebieten ist die Differenzdruckmessung
zweier unterschiedlicher Drücke in zwei getrennten Druckräumen von
großer Bedeutung. Beispielsweise wird im Fahrzeugbereich
mittels eines Differenzdrucksensors der Abgasdruck vor und hinter
dem Partikelfilter verglichen. Bei der Verwendung zweier Absolutdrucksensoren
zur Messung der zwei Drücke und der anschließenden
Differenzbildung zur Bestimmung eines Differenzdrucks ist der Messfehler
bei im Vergleich zum Messbereich der Absolutdrucksensoren kleinen
Differenzdrücken relativ groß. Zusätzlich
addieren sich die Messfehler beider Absolutdrucksensoren bei der
Differenzbildung.
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Offenbarung der Erfindung
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Der
erfindungsgemäße Sensor und das erfindungsgemäße
Verfahren zum Betrieb eines Sensors gemäß den
nebengeordneten Ansprüchen haben gegenüber dem
Stand der Technik den Vorteil, dass ein vergleichsweise kostengünstiger
und bauraumkompakter Sensor realisierbar ist, welcher bei der Messung
von Differenzdrücken im Vergleich zum Stand der Technik
eine deutlich höhere Messgenauigkeit aufweist. Dies wird
dadurch erreicht, dass zur Bestimmung des Differenzdrucks zwischen
dem ersten und dem zweiten Druckraum die elektrische Kapazität
unmittelbar zwischen der ersten und der zweiten Elektrode gemessen
wird. Ein erster Druck im ersten Druckraum bewirkt eine erste Deformation
der ersten Membran und somit eine erste Auslenkungsbewegung der
ersten Elektrode in Abhängigkeit des ersten Drucks, während
ein zweiter Druck im zweiten Druckraum eine zweite Deformation der
zweiten Membran und somit eine zweite Auslenkungsbewegung der zweiten
Elektrode in Abhängigkeit des zweite Drucks bewirkt. Aufgrund
der direkten mechanischen Verbindung der ersten Elektrode mit der
ersten Membran und der zweiten Elektrode mit der zweiten Membran
ist daher eine relative Auslenkung zwischen der ersten und der zweiten
Membran unmittelbar durch Vermessung der elektrischen Kapazität messbar,
während bei einer identischen Auslenkung der ersten und
der zweiten Membran die erste und die zweite Elektrode parallel
zueinander entsprechend identisch bewegt werden, so dass der Abstand zwischen
erster und zweiter Elektrode im Wesentlichen konstant bleibt und
somit keine Änderung der elektrischen Kapazität
messbar ist. Eine Differenzbildung zwischen zwei Drucksignalen ist
vollständig einsparbar. Zudem werden keine Trägerelemente
zur Befestigung der Gegenelektroden benötigt, so dass der
Sensor kostengünstiger und bauraumkompakter realisierbar
ist. Beispielsweise sind die erste und die zweite Membran nebeneinander
angeordnet und auf ihren Rückseiten, d. h. auf den dem
ersten und zweiten Druckraum abgewandten Seiten, starr mit der ersten
und zweiten Elektrode verbunden, welche im Wesentlichen parallel
zur ersten und zweiten Membran ausgebildet sind und sich gegenseitig
zur Bildung eines elektrischen Kondensators mit der zu messenden
elektrischen Kapazität überlappen. Der erfindungsgemäße
Drucksensor ermöglicht ebenfalls eine Richtungserkennung,
d. h. eine Erkennung ob der erste Druck größer
ist als der zweite Druck oder umgekehrt. Durch die räumliche
Trennung der erste Membran von der ersten Elektrode und der zweiten Membran
von der zweiten Elektrode wird eine Anordnung der ersten und zweiten
Elektrode in einer Atmosphäre ermöglicht, welche
unabhängig ist von den auf die ersten und zweite Membran
einwirkenden Druckatmosphären im ersten und zweiten Druckraum.
Auf diese Weise sind beispielsweise dielektrische Eigenschaften
zwischen der ersten und zweiten Elektrode konstant zu halten, wodurch
ein vergleichsweise präzises Erfassen des Druckunterschieds
zwischen ersten und zweiten Druck ermöglicht wird.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen,
sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen zu entnehmen.
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Gemäß einer
bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste und die
zweite Membran unabhängig voneinander bewegbar vorgesehen sind,
so dass besonders vorteilhaft unterschiedliche Drücke im
ersten Druckraum und im zweiten Druckraum zu unterschiedlichen ersten
und zweite Deformationen und daher auch zu unterschiedlichen ersten
und zweiten Auslenkungsbewegungen führen. Durch die unterschiedliche
erste und zweite Auslenkungsbewegung wird der Abstand zwischen der
ersten und der zweiten Elektrode verändert, so dass die Differenz
der ersten und der zweiten Auslenkungsbewegung mittels Vermessung
der elektrischen Kapazität zwischen der ersten und der
zweiten Elektrode bestimmbar ist.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der Sensor
einen dritten Druckraum aufweist, wobei die Wandung des dritten Druckraums sowohl
die erste Membran, als auch die zweite Membran umfasst und wobei
vorzugsweise die erste und die zweite Elektrode im dritten Druckraum
angeordnet sind. Besonders vorteilhaft wird somit eine vergleichsweise
bauraumkompakte Realisierung des Sensors ermöglicht. Ferner
ist im dritten Druckraum ein Referenzdruck einstellbar, welcher das
Deformationsverhalten der ersten Membran und das Deformationsverhalten
der zweiten Membran gleichermaßen beeinflusst, so dass
eine Abweichung des Referenzdrucks einen im Vergleich zum Stand der
Technik deutlich geringeren Einfluss auf die Differenzdruckmessung
hat. Insbesondere bei der Verwendung von zwei getrennten Absolutdrucksensoren zur
Bestimmung eines Differenzdrucks führen Abweichungen des
Referenzdrucks zu vergleichsweise großen Messfehlern. Ferner
weist der dritte Druckraum insbesondere keine Anbindung an den ersten und
zweiten Druckraum, so dass ein Eindringen von Partikeln und Schmutz,
wodurch die Gefahr einer Verfälschung der elektrischen
Kapazität zwischen der ersten und zweiten Elektrode bestünde,
vermieden wird. Der dritte Druckraum weist vorzugsweise eine vorgegebene
Gas- bzw. Druckatmosphäre oder ein Vakuum auf.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der erste
und der zweite Druckraum eine gemeinsame Rotationsymmetrieachse
aufweisen und insbesondere der erste und der zweite Druckraum jeweils
als entlang Rotationssymmetrieachse angeordnete Zylinder ausgebildet
sind, so dass besonders vorteilhaft der Sensor in einfacher Weise
und besonders bauraumkompakt zwischen die Enden zweier Druckleitungen
anschließbar ist, welche den zu messenden ersten Druck
im ersten Druckraum und den zu messenden zweiten Druck im zweiten
Druckraum einstellen. Insbesondere im Hinblick auf eine Anwendung
im Fahrzeugbereich ist eine derartig kompakte Anschlussmöglichkeit
besonders vorteilhaft.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste
Membran eine zur Rotationssymmetrieachse senkrechte erste Flächennormale
und die zweite Membran eine zur Rotationssymmetrieachse senkrechte
zweite Flächennormale aufweisen, wobei die erste und die
zweite Flächennormale zueinander parallel ausgerichtet
sind, so dass besonders vorteilhaft eine erste Druckerhöhung
im ersten Druckraum zur einer ersten Deformation führt,
welche parallel zu einer zweiten Deformation in Folge einer zweiten
Druckerhöhung im zweiten Druckraum ist und somit eine identische
erste und zweite Druckerhöhung im Wesentlichen eine identische
erste und zweite Deformation bewirkt.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste
Elektrode wenigstens eine erste Elektrodenfläche und die
zweite Elektrode wenigstens eine zweite Elektrodenfläche aufweist,
wobei die erste Elektrodenfläche im Wesentlichen parallel
zur ersten Membran und die zweite Elektrodenfläche im Wesentlichen
parallel zur zweiten Membran ausgerichtet ist und wobei insbesondere
die erste und die zweite Elektrodenfläche zueinander deckungsgleich
ausgebildet sind, so dass besonders vorteilhaft die elektrische
Kapazität unmittelbar zwischen der ersten und zweiten Elektrodenfläche
messbar ist. Alternativ ist vorgesehen, dass die erste und die zweite
Elektrodenfläche einen elektrischen Platten- oder Zylinderkondensator
umfassen, welcher konzentrisch um die Rotationssymmetrieachse gebogen
ist, und somit der Abstand zwischen den Kondensatorplatten des elektrischen
Kondensators in Form der ersten und zweiten Elektrodenfläche
durch eine Veränderung der elektrischen Kapazität
des elektrischen Kondensators vergleichsweise präzise bestimmbar
ist. Die Empfindlichkeit des Sensors ist weitgehend durch geometrische
Parameter des Sensoraufbaus bestimmt. Hierzu gehören beispielsweise
Höhe- und Seitenwanddicke, Positionierung und Design der
Elektroden bzw. Elektrodenflächen.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste
Elektrode eine Mehrzahl von ersten Elektrodenflächen und
die zweite Elektrode eine Mehrzahl von zweiten Elektrodenflächen
umfassen und wobei die Mehrzahl von ersten Elektrodenflächen
und die Mehrzahl von zweiten Elektrodenflächen bevorzugt
als ineinandergreifende Fingerstrukturen ausgebildet sind. Besonders
vorteilhaft wird somit das Sensorsignal erhöht, da durch
die Mehrzahl von ersten und zweiten Elektrodenflächen eine
Mehrzahl von elektrischen Kondensatoren gebildet wird. Eine erste
bzw. zweite Deformation bewirkt daher eine elektrische Kapazitätsänderung
zwischen der Mehrzahl von Paaren von ersten und zweiten Elektrodenflächen,
so dass die Ausgangssignalhöhe des Sensors in vorteilhafter
Weise erhöht wird. Vorzugsweise wird somit auch das Signal-Rausch-Verhältnis
verbessert.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste
Membran rotationssymmetrisch und insbesondere konzentrisch um den
ersten Druckraum und die zweite Membran rotationssymmetrisch und
insbesondere konzentrisch um den zweiten Druckraum angeordnet sind,
so dass besonders vorteilhaft eine Erhöhung des ersten
bzw. zweiten Drucks im ersten bzw. zweiten Druckraum zu einer ersten
bzw. zweiten Deformation der ersten bzw. zweiten Membran in einer
bezüglich der Rotationssymmetrieachse radialen Richtung
bewirkt. Bewegungen der ersten oder zweiten Membran aufgrund von
Trägheitskräften oder Erschütterungen werden
somit kompensiert.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass die erste
und die zweite Elektrode rotationssymmetrisch und insbesondere konzentrisch
um die Rotationssymmetrieachse ausgebildet sind, so dass in besonders
einfacher Weise eine Kopplung zwischen erste Membran und erster Elektrode
und zweiter Membran und zweiter Elektrode herstellbar ist, welche
eine radiale erste und zweite Deformation unmittelbar in eine messbare
radiale erste und zweite Auslenkungsbewegung umsetzt.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der Sensor
einen elektrischen Schwingkreis aufweist, wobei der elektrische Schwingkreis
vorzugsweise von einer Spule und einem elektrischen Kondensator
in Form der ersten und zweiten Elektrode vorgesehen ist: Besonders bevorzugt
bewirkt eine Veränderung der elektrischen Kapazität
somit eine Verschiebung der Resonanzfrequenz des elektrischen Schwingkreises,
so dass der Sensor drahtlos ausgelesen werden kann. Dies geschieht
beispielsweise mittels eines externen elektromagnetischen Feldes,
welches durch eine externe Spule angeregt wird und den Schwingkreis
des Sensors zu Schwingungen anregt. Besonders vorteilhaft sind somit
keine elektrischen Leitungen zum Auslesen des Sensors notwendig,
so dass insbesondere Beschädigungen derartiger Leitungen
durch aggressive Medien beispielsweise in den Druckräumen
vermeidbar sind.
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Ein
weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren
zum Betrieb eines Sensors, wobei zur Bestimmung eines Differenzdrucks zwischen
einem ersten Druck im ersten Druckraum und einem zweiten Druck im
zweiten Druckraum die elektrische Kapazität zwischen der
ersten und der zweiten Elektrode gemessen wird. Besonders vorteilhaft
ist somit, wie oben bereits detailiert ausgeführt, eine
im Vergleich zum Stand der Technik erheblich präzisere
Vermessung eines Differenzdrucks zwischen dem ersten und dem zweiten
Druck mit einem vergleichsweise bauraumkompakten und kostengünstig
produzierbaren Sensor möglich.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass in Abhängigkeit
eines ersten Drucks im ersten Druckraum eine erste Auslenkungsbewegung
der ersten Elektrode und in Abhängigkeit eines zweiten
Drucks im zweiten Druckraum eine zur ersten Auslenkungsbewegung
parallele zweite Auslenkungsbewegung der zweiten Elektrode erzeugt
wird. Besonders vorteilhaft führen die erste Deformation
der ersten Membran und die zweite Deformation der zweiten Membran
somit unmittelbar zu einer Bewegung der ersten und der zweiten Elektroden
und bei einer ungleichen ersten und zweiten Deformation zu einer
Veränderung des Abstands zwischen der ersten und der zweiten
Elektrode, wodurch sich die elektrische Kapazität zwischen
der ersten und der zweiten Elektrode messbar verändert.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass bei einer
identischen Änderung des ersten und zweiten Drucks eine
im Wesentlichen identische erste und zweite Auslenkungsbewegung
erzeugt wird, wobei die elektrische Kapazität im Wesentlichen
konstant gehalten wird, so dass besonders vorteilhaft lediglich
eine Druckdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Druck zu einer
Veränderung des Abstands zwischen der ersten und der zweiten
Elektrode und somit zur einer messbaren Änderung der elektrischen
Kapazität zwischen der ersten und der zweiten Elektrode
führt, während eine identische Druckänderung
im Wesentlichen keine Kapazitätsänderung bewirkt.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden
Beschreibung näher erläutert.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Es
zeigen
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1a, 1b und 1c schematische Schnittansichten
eines Sensors gemäß einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung und
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2 eine
schematische Schnittansicht eines Sensors gemäß einer
zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung
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In
den 1a, 1b und 1c sind schematische
Schnittansichten eines Sensors 1 gemäß einer
ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt,
wobei der Sensor 1 einen ersten Druckraum 10 und
einen zweiten Druckraum 20 aufweist, wobei der erste und
der zweite Druckraum 10, 20 als einseitig offene
Hohlzylinder ausgebildet sind, welche um eine gemeinsame vorzugsweise
Rotationssymmetrieachse 2 rotationssymmetrisch ausgebildet
sind. Im ersten Druckraum 10 herrscht ein zu messender
erster Druck und im zweiten Druckraum 20 ein zu messender
zweiter Druck. Die Wandung des ersten Druckraums 10 umfasst
eine erste Membran 11, welche eine zur Rotationssymmetrieachse 2 senkrechte
erste Flachennormale aufweist und derart flexibel ausgebildet ist,
dass eine erste Deformation der ersten Membran 11 in einer
Richtung parallel zur ersten Flächennormalen und insbesondere
in einer radialer Richtung 4 von der Rotationssymmetrieachse 2 wegweisend
in Abhängigkeit des ersten Drucks ermöglicht wird.
Analog umfasst die die Wandung des zweiten Druckraums 20 eine
im Wesentlichen identisch aufgebaute zweite Membran 21.
Die erste Membran 11 ist konzentrisch um den ersten Druckraum 10 und
die zweite Membran 21 konzentrisch um den zweiten Druckraum 20 angeordnet.
Auf einer dem ersten Druckraum 10 abgewandten Seite der
ersten Membran 11 und einer dem zweiten Druckraum 20 abgewandten
Seite der zweiten Membran 21 ist ein gemeinsamer dritter
Druckraum 3 angeordnet, welche in einer weiteren Ausführungsform vorzugsweise
einen bekannten Referenzdruck aufweist. Der dritte Druckraum 3 ist
insbesondere konzentrisch um die Rotationssymmetrieachse 2 angeordnet.
Die erste Membran 11 ist mit einer ersten Elektrode 12 mechanisch
gekoppelt, welche im dritten Druckraum 3 angeordnet ist,
während die zweite Membran 21 mit einer ebenfalls
im dritten Druckraum 3 angeordneten zweiten Elektrode 12 gekoppelt
ist. Die erste Deformation führt somit zu einer ersten Auslenkungsbewegung 14 der
ersten Elektrode 12 in radialer Richtung 4, während
die zweite Deformation zu einer zweiten Auslenkungsbewegung 24 der
zweiten Elektrode 22 in radialer Richtung 4 führt.
Die erste Elektrode 12 weist eine erste Elektrodenfläche 15 und
die zweite Elektrode 22 eine zweite Elektrodenfläche 25 auf,
wobei die erste und die zweite Elektrodenfläche 15, 25 im
Wesentlichen parallel zur ersten und zweiten Membran 11 ausgerichtet
sind und wobei die erste und die zweite Elektrodenfläche 15, 25 in
radialer Richtung 4 voneinander beabstandet und deckungsgleich
angeordnet sind. Die erste und zweite Elektrode 12, 22 bzw.
die erste und zweite Elektrodenfläche 15, 25 umfassen
somit einen elektrischen Kondensator, insbesondere einen um die
Rotationssymmetrieachse 2 konzentrisch gekrümmten
Zylinderkondensator, wobei der elektrische Kondensator eine elektrische
Kapazität aufweist, welche abhängig vom Abstand 5 zwischen
der ersten und der zweiten Elektrodenfläche 15, 25 parallel
zur radialen Richtung 4 ist. Der Abstand 5 zwischen
der ersten und der zweiten Elektrodenfläche 15, 25 hängt
durch die Kopplung der ersten Elektrode 12 mit der ersten Membran 11 und
der zweiten Elektrode 22 mit der zweiten Membran 21 von
der ersten und der zweiten Deformation ab. Die erste und die zweite
Membran 11, 21, sowie die erste und die zweite
Elektrode 12, 22 sind derart ähnlich
ausgebildet, dass eine erste Deformation der ersten Membran 11 in
Folge einer ersten Druckänderung des ersten Drucks eine
erste Auslenkungsbewegung 14 der ersten Elektrodenfläche 15 in
radialer Richtung 4 erzeugt, welche im Wesentlichen gleich
einer zweiten Auslenkungsbewegung 24 der zweiten Elektrodenfläche 25 in
radialer Richtung 5 ist, welche durch eine zweite Deformation der
zweiten Membran 21 aufgrund einer zur ersten Druckänderung
identischen zweiten Druckänderung des zweiten Drucks erzeugt
wird, so dass der Abstand 4 bei identischen ersten und
zweiten Druckänderungen im Wesentlichen konstant bleibt.
Die erste Membran 11 bzw. die erste Elektrode 12 ist
von der zweiten Membran 21 bzw. von der zweiten Elektrode 22 jedoch
vollständig unabhängig, so dass eine in 1c (erster
Druck ist größer als der zweite Druck) dargestellte
ungleiche erste und zweite Druckänderung zu ungleichen
ersten und zweiten Deformationen und somit auch zu ungleichen ersten
und zweiten Auslenkungsbewegungen 14, 25 führen,
so dass eine Vermessung der elektrischen Kapazität die
Bestimmung der Druckdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten
Druck ermöglicht. Vorzugsweise umfasst der Sensor einen
Hochdruckdifferenzdrucksensor, welche besonders bevorzugt im Fahrzeugbereich
eingesetzt wird. In einer weiteren Ausführungsform sind
die ersten und zweiten Elektroden 12, 22 nicht
vollflächig konzentrisch um die Rotationssymmetrieachse 2 ausgebildet,
sondern weisen insbesondere parallel zur Rotationssymmetrieachse 2 oder
parallel zur radialen Richtung 4 Schlitze oder Ausnehmungen
auf, wodurch vorzugsweise die Expansions- und Kompressionsfähigkeit
der ersten und zweiten Elektroden 12, 22 bei der
ersten und zweiten Auslenkungsbewegung 14, 24 verbessert
werden. In eine weiteren Ausführungsform sind im dritten
Druckraum 3 weitere Festelektroden angeordnet, welche zusätzlich
eine Absolutdruckmessung des ersten Drucks und/oder des zweiten
Drucks ermöglichen, wobei in diesem Fall im dritten Druckraum 3 ein
bekannter Referenzdruck eingestellt wird.
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In
der 2 ist eine schematische Schnittansicht eines Sensors
gemäß einer zweiten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die zweite Ausführungsform
im Wesentlichen identisch der ersten Ausführungsform illustriert
in den 1a, 1b und 1c ist,
wobei im Unterschied zur ersten Ausführungsform die erste
Elektrode 12 eine Mehrzahl von ersten Elektrodenflächen 15' und die
zweite Elektrode 22 eine Mehrzahl von zweiten Elektrodenflächen 25' umfassen.
Die Mehrzahl von ersten Elektrodenflächen 15' und
die Mehrzahl von zweiten Elektrodenfläche 15' sind
jeweils in radialer Richtung 4 zueinander deckungsgleich
und voneinander beabstandet ausgebildet, wobei die Mehrzahl von
ersten Elektrodenflächen 15' und die Mehrzahl von
zweiten Elektrodenflächen 25' in Form ineinandergreifende
Fingerstrukturen angeordnet sind, so dass eine Mehrzahl von Elektrodenpaaren 6 aus
ersten und zweiten Elektrodenflächen 15, 25 mit
dem gleichen Abstand erzeugt werden und eine Druckdifferenz zwischen
dem ersten und dem zweiten Druck durch eine Vermessung einer Mehrzahl
von elektrischen Kapazitäten zwischen der Mehrzahl von
Elektrodenpaaren 6 ermöglicht wird.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 4333753
A1 [0002]
- - DE 102007029414 [0003]