DE102008041310A1 - Optical element e.g. lens, for projection illumination system, has damping unit with sensor element detecting movement of element, and actuator element damping element by producing force or moment based on movement of element - Google Patents

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Abstract

The element (1) has a damping unit (2) with a sensor element (3) e.g. optical sensor element, detecting movement of the element in degree of freedom. The damping unit has an actuator element (4) that is indirectly operatable on the element and stays in effective connection with the sensor element. The actuator element damps the element by producing force or moment in the degree of freedom based on movement of the element detected by the sensor element. A reinforcement element e.g. electronic amplifier, is provided between the sensor element and the actuator element. An independent claim is also included for a method for manufacturing a semiconductor component using a projection illumination system.

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Element mit einer Dämpfungseinrichtung.The The invention relates to an optical element with a damping device.

Die US 6,580,570 B2 beschreibt eine Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elements mit einer das optische Bauteil haltende Innenfassung und mit einer Außenfassung, wobei die Innenfassung über drei um den Umfang verteilt angeordnete Festkörpergelenke mit der Außenfassung verbunden ist.The US 6,580,570 B2 describes a device for supporting an optical element with an optical component holding the inner frame and with an outer frame, wherein the inner frame is connected via three circumferentially spaced solid joints with the outer frame.

Eine Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung, bei der das optische Element über eine Mehrzahl von Laschen mit einem steifen Zwischenring gekoppelt ist, der über Stellglieder oder passive Entkoppler mit einer Fassung zum Anschluss an ein Gehäuse und/oder an weitere Fassungen verbunden ist, ist aus der US 6,229,657 B1 bekannt.An assembly of an optical element and a socket, wherein the optical element is coupled via a plurality of tabs with a rigid intermediate ring, which is connected via actuators or passive decouplers with a socket for connection to a housing and / or to other versions, is from the US 6,229,657 B1 known.

Des weiteren beschreibt die US 6,191,898 B1 eine optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere ein Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element, das in einem Innenring gelagert ist, der mit einer Außenfassung verbunden ist. Zur Verschiebung des optischen Elements ist eine Manipulatoreinrichtung vorgesehen, die senkrecht zur optischen Achse liegt.Furthermore, the describes US Pat. No. 6,191,898 B1 an optical imaging device, in particular a lens, with at least one optical element which is mounted in an inner ring which is connected to an outer frame. For displacement of the optical element, a manipulator device is provided which is perpendicular to the optical axis.

In Lithographieobjektiven, für welche die beschriebenen Vorrichtungen besonders häufig eingesetzt werden, führen Schwingungen der optischen Elemente zu Bewegungen des Bildpunktes und damit zu einer Verschlechterung der Abbildungsqualität. Insbesondere wenn, wie dies beim oben genannten Stand der Technik zumindest teilweise der Fall ist, die optischen Elemente manipuliert werden können, treten zwischen dem starren Außenring und dem manipulierten Innenring große Schwingungsamplituden auf. Aufgrund ihrer Position im Strahlengang ist die Bildbewegung besonders gegenüber diesen Schwingungen sehr empfindlich.In Lithography lenses, for which the devices described are used especially frequently, cause vibrations the optical elements to movements of the pixel and thus to a deterioration of the image quality. Especially if, as in the above-mentioned prior art, at least partially The case is, the optical elements can be manipulated step between the rigid outer ring and the manipulated inner ring large vibration amplitudes. Because of her position in the beam path, the image movement is particularly opposite very sensitive to these vibrations.

Ein System zur Dämpfung von Schwingungen, die auf ein optisches Element in einer Abbildungsvorrichtung wirken, ist in der US 6,700,715 B1 beschrieben. Dabei werden auftretende Schwingungen durch in das optische Element integrierte Sensoren detektiert und in Form eines adaptronischen Regelkreises werden durch Aktivierung von piezoelektrischen Elementen als Aktuatoren den durch die Schwingungen oder Deformationen eingebrachten Eigenfrequenzen entgegengesetzt wirkende Frequenzen eingeleitet. Nachteilig ist hierbei der relativ hohe Aufwand des Systems.A system for damping vibrations that act on an optical element in an imaging device is disclosed in US Pat US 6,700,715 B1 described. In this case, occurring vibrations are detected by integrated into the optical element sensors and in the form of an adaptronic control circuit are introduced by activation of piezoelectric elements as actuators to the introduced by the vibrations or deformations natural frequencies opposite acting frequencies. The disadvantage here is the relatively high cost of the system.

Die US 6,750,949 B2 beschreibt ein optisches System mit mehreren optischen Elementen und mit einer Einrichtung zum Erfassen der Lage des optischen Elements, die an einer Messstruktur angebracht ist, welche über eine Feder und einen Dämpfer auf einer Grundplatte gelagert ist.The US 6,750,949 B2 describes an optical system with a plurality of optical elements and with a device for detecting the position of the optical element, which is attached to a measuring structure which is mounted on a base plate via a spring and a damper.

Hinsichtlich des Dämpfens von Schwingungen bei Gehäusen von Objektiven wird des weiteren auf die US 6,327,024 B1 und die US 2005/0035684 A1 verwiesen.With regard to the damping of vibrations in housings of lenses is further on the US 6,327,024 B1 and the US 2005/0035684 A1 directed.

Ein prinzipielles Problem, das bei sämtlichen der bekannten Vorrichtungen zur Schwingungsdämpfung auftritt, ist der verhältnismäßig große Bauraum, den dieselben beanspruchen.One principle problem that in all the known Vibration damping devices occurs is the relatively large space, to claim the same.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein optisches Element zu schaffen, bei welchem die im Betrieb auftretenden Schwingungen mit einfachen und insbesondere im vorhandenen Bauraum realisierbaren Mitteln erreicht werden kann.It is therefore an object of the present invention, an optical element to create, in which the vibrations occurring during operation with simple and especially in the existing space feasible Means can be achieved.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch ein optisches Element mit einer Dämpfungseinrichtung, welche wenigstens ein die Bewegungen des optischen Elements in wenigstens einem Freiheitsgrad erfassendes Sensorelement und wenigstens ein mit dem Sensorelement in Wirkverbindung stehendes, auf das optische Element zumindest mittelbar wirkendes Aktorelement aufweist, das anhand der von dem Sensorelement erfassten Bewegungen oder Verformungen des optischen Elements das optische Element durch Erzeugen einer Kraft oder eines Moments in wenigstens einem Frei heitsgrad dämpft.According to the invention this object is achieved by an optical element having a Damping device, which at least one of the movements of the optical element detecting in at least one degree of freedom Sensor element and at least one standing with the sensor element in operative connection, on the optical element at least indirectly acting actuator element which, based on the detected by the sensor element movements or Deformations of the optical element, the optical element by generating a force or a moment in at least one degree of freedom attenuates.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, dass die Dämpfungseinrichtung vollkommen berührungslos arbeitet und daher keine Reibungskräfte oder statischen Kräfte erzeugt. Des weiteren kann die Dämpfungseinrichtung einen sehr einfachen Aufbau aufweisen und dadurch problemlos für die verschiedensten optischen Elemente und insbesondere auch für unterschiedliche Einbauorte verwendet werden.One particular advantage of the solution according to the invention is that the damping device completely works without contact and therefore no frictional forces or static forces generated. Furthermore, the damping device a have very simple structure and thus easily for the most diverse optical elements and in particular for different installation locations are used.

Bei sämtlichen erfindungsgemäßen Anordnungen kann ein Dämpfungsbezugspunkt, also der Punkt bzw. ein physikalisches Bauteil oder ein imaginärer Raumpunkt, der nicht feststehen muss, bezüglich dessen die Bewegungen des optischen Elements minimiert bzw. gedämpft werden sollen, ein Punkt auf dem Objektiv oder das gesamte Objektiv oder ein Punkt auf der oder die gesamte Objektivaufnahme oder ein nicht beweglicher Raumpunkt sein. Falls nicht die Bewegung sondern die Verformung des optischen Elementes gedämpft werden soll, kann sich der Dämpfungsbezugspunkt auch auf dem optischen Element befinden.at all inventive arrangements can an attenuation reference point, so the point or a physical component or an imaginary point in space, the does not have to be firm concerning which movements the optical element should be minimized or attenuated, a point on the lens or the entire lens or a point on the or the entire lens mount or a non-movable Be a point in space. If not the movement but the deformation the optical element is to be damped, the Damping reference point also located on the optical element.

Ein Messsystem weist ganz allgemein wenigstens ein Sensorelement auf, das die Bewegungen des optischen Elements in mindestens einem Freiheitsgrad bezüglich des Dämpfungsbezugspunktes misst. Dazu hat wenigstens ein Sensorelement seinen Messpunkt an dem optischen Element selbst oder auf einem Körper bzw. einem Punkt, von dessen Bewegung man auf die Bewegung des optischen Elements schließen kann, und wenigstens ein Sensorelement hat seinen Bezugspunkt auf dem Dämpfungsbezugspunkt oder auf einem Punkt bzw. Körper von dessen Bewegung man auf die Bewegung des Dämpfungsbezugspunkts schließen kann. Hierbei sind die Messrichtungen auch umkehrbar.A measuring system generally has at least one sensor element which controls the movements of the optical element in at least one Measures the degree of freedom with respect to the attenuation reference point. For this purpose, at least one sensor element has its measuring point on the optical element itself or on a body or a point whose movement can be inferred to the movement of the optical element, and at least one sensor element has its reference point on the attenuation reference point or on a point or Body whose movement can be deduced from the movement of the damping reference point. Here, the measuring directions are also reversible.

Allgemein weist ein Aktorelement mindestens einen Aktor auf, der in mindestens einem Freiheitsgrad eine Kraft oder ein Moment erzeugen kann. Der wenigstens eine Aktor hat mindestens zwei Anbindungspunkte, denen er gemäß dem Gesetz von Actio und Reactio entgegen gesetzte Kräfte und/oder Momente aufprägt. Ein Aktorsystem weist mindestens ein Aktorelement auf, das die Bewegungen des optischen Elements in mindestens einem Freiheitsgrad durch Aufbringen einer Kraft oder eines Momentes bezüglich des Dämpfungsbezugspunktes dämpft. Dazu ist mindestens ein Aktorelement mit mindestens einem Ende an das zu dämpfende optische Element oder an einen Punkt bzw. Körper angebunden, dessen durch die Aktorkraft aufgeprägte Bewegungen die Bewegung des optischen Elementes manipuliert. Mindestens ein weiteres Ende des Aktorelements stützt sich an einem weiteren Körper oder Punkt oder ebenfalls an dem optischen Element, wobei es im letztgenannten Fall möglich ist, Verformungen des optischen Elements zu dämpfen.Generally has an actuator element at least one actuator, in at least a degree of freedom can generate a force or a moment. Of the At least one actuator has at least two connection points to which he is contrary to the law of Actio and Reactio imposes set forces and / or moments. One Actuator system has at least one actuator element that controls the movements of the optical Elements in at least one degree of freedom by applying a Force or moment with respect to the attenuation reference point attenuates. For this purpose, at least one actuator element with at least one end to the optical element to be attenuated or to connected to a point or body, whose by the actuator force imprinted movements the movement of the optical element manipulated. Support at least one other end of the actuator element on another body or point or likewise on the optical element, it being possible in the latter case is to dampen deformation of the optical element.

Besonders vorteilhaft ist, wenn der Betrag der von dem Aktorelement erzeugten Kraft oder der Betrag des von dem Aktorelement erzeugten Moments zu dem Betrag der Geschwindigkeit der Bewegung des optischen Elements im wesentlichen proportional und entgegengerichtet ist.Especially is advantageous if the amount of generated by the actuator element Force or the amount of torque generated by the actuator element to the amount of speed of movement of the optical element is substantially proportional and opposite.

Im wesentlichen handelt es sich um eine Kraft bzw. um ein Moment, die zu der Geschwindigkeit des Sensorelements und somit zu der Geschwindigkeit der Schwingung proportional ist, so dass die Dämpfung der Schwingung des optischen Elements mit einer im wesentlichen linearen Kennlinie stattfindet.in the Essentially, it is a force or a moment, the to the speed of the sensor element and thus to the speed the oscillation is proportional, so the damping of the Oscillation of the optical element with a substantially linear Characteristic curve takes place.

In einer sehr vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Sensorelement einen elektrischen Leiter und ein gegenüber dem elektrischem Leiter bewegliches, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignetes Bauteil aufweist. Auch das Aktorelement kann in einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung einen elektrischen Leiter und ein gegenüber dem elektrischem Leiter bewegliches, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignetes Bauteil aufweisen.In a very advantageous development of the invention can be provided be that the sensor element is an electrical conductor and a relation to the electric conductor movable, for generating a magnetic field having suitable component. Also, the actuator element can in a advantageous development of the invention, an electrical conductor and a movable relative to the electrical conductor, to Have generating a magnetic field suitable component.

Bei dieser Ausgestaltung des Sensorelements und/oder des Aktorelements der erfindungsgemäßen Dämpfungseinrichtung mit dem elektrischen Leiter und dem gegenüber demselben beweglichen, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteil wird durch die Relativbewegung zwischen dem zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteil und dem elektrischen Leiter des Sensors eine Span nung induziert, die in dem elektrischen Leiter des Aktorelementes einen Strom erzeugt, der wiederum in dem Magnetfeld des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils eine Kraft erzeugt, die der Bewegung des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils entgegenwirkt und diese Bewegung somit dämpft. Gegebenenfalls kann diese Kraft auch in ein Moment umgewandelt werden.at this embodiment of the sensor element and / or the actuator element the damping device according to the invention with the electrical conductor and opposite it movable, suitable for generating a magnetic field component by the relative movement between to generate a magnetic field suitable component and the electrical conductor of the sensor clamping voltage induced in the electrical conductor of the actuator element a Electricity generated, in turn, in the magnetic field of generating a magnetic field suitable component generates a force that the movement of the Counteracts generating a magnetic field suitable component and thus dampens this movement. If necessary, this force also be transformed into a moment.

Eine einfache Ausführungsform des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils kann darin bestehen, dass dieses als Permanentmagnet ausgebildet ist.A simple embodiment of generating a magnetic field suitable component may be that this is designed as a permanent magnet is.

Wenn in einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung zwischen dem Sensorelement und dem Aktorelement ein Verstärkungselement vorgesehen ist, so wird hierdurch eine Verstärkung des von dem Sensorelement erfassten Signals erreicht, wodurch eine erhebliche Reduzierung des Bauraums erzielt werden kann, den eine solche Dämpfungseinrichtung erfordert, was insbesondere beim Einsatz des optischen Elements in einem Lithographieobjektiv äußerst vorteilhaft ist.If in an advantageous embodiment of the invention between the Sensor element and the actuator element, a reinforcing element is provided, so this is a gain of the reached by the sensor element detected signal, whereby a considerable Reduction of the space can be achieved, which requires such a damping device, which is particularly extreme when using the optical element in a lithography objective is advantageous.

Wenn in einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen ist, dass das Sensorelement und das Aktorelement durch unterschiedliche Bauteile gebildet sind, so ergeben sich sehr gute Voraussetzungen für den Einsatz des oben beschriebenen Verstärkungselements und es ist außerdem möglich, das Sensorelement vollkommen unabhängig von dem Aktorelement auszulegen und umgekehrt.If is provided in an alternative embodiment of the invention, that the sensor element and the actuator element by different Components are formed, so there are very good conditions for the use of the reinforcing element described above and it is also possible to use the sensor element completely interpreted independently of the actuator element and vice versa.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Dämpfungselement mit mechanischer Verstärkung ausgeführt ist. Eine solche mechanische Verstärkung vergrößert die Messgröße des Sensorlementes und oder die Kraft bzw. das Moment des Aktorelementes. Es kann die erreichbare Dämpfung erheblich erhöhen und/oder den für die Dämpfungseinrichtung erforderlichen Bauraum verringern.In a further advantageous embodiment of the invention can be provided be that the damping element designed with mechanical reinforcement is. Such a mechanical reinforcement increases the measured variable of the sensor element and / or Force or the moment of the actuator element. It can be the achievable one Significantly increase damping and / or the for reduce the damping device required space.

Alternativ oder zusätzlich kann das Verstärkungselement als e lektronischer Verstärker ausgebildet sein, um die erreichbare Dämpfung zu erhöhen. Der besondere Vorteil eines elektronischen Verstärkers liegt in der sehr geringen erzielbaren Baugröße.alternative or in addition, the reinforcing element as e lektronischer amplifier be designed to reach the achievable Increase damping. The special advantage of a electronic amplifier is in the very low achievable Size.

Des weiteren kann vorgesehen sein, dass das Sensorelement und das Aktorelement durch ein und dasselbe Bauteil gebildet sind. Dabei ruft die Spannung die in dem elektrischen Leiter induziert wird einen Strom und damit auch die Kraftwirkung hervor. Demnach bildet dieser elektrische Leiter zusammen mit dem zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteil Sensor und Aktor zugleich.Furthermore, it can be provided that the sensor element and the actuator element by a and the same component are formed. The voltage which is induced in the electrical conductor causes a current and thus also the force effect. Accordingly, this electrical conductor together with the suitable for generating a magnetic field component sensor and actuator at the same time.

Dies stellt eine besonders einfache Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar, die mit einer äußerst geringen Anzahl an Bauteilen realisiert werden kann.This represents a particularly simple embodiment of the present invention Invention that with a very low Number of components can be realized.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Sensorelement als optischer Sensor ausgestaltet ist, dies hat den Vorteil, dass der Sensor die Bewegungen seines Messpunktes auch von einer größeren Entfernung messen kann oder dass der Messpunkt große Bewegungen ausführen kann.In a further advantageous embodiment of the invention can be provided be that the sensor element is designed as an optical sensor, This has the advantage that the sensor detects the movements of its measuring point can also measure from a greater distance or that the measuring point is making large movements can.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen werden, dass das Sensorelement als absolut messender Beschleunigungssensor mit nachgeschaltetem Integrierer ausgebildet ist, dies hat den Vorteil, dass diese Sensoren in sehr kleinen Abmessungen verfügbar sind. Absolut messend in diesem Zusammenhang bedeutet, dass die Beschleunigung gegenüber einem Punkt gemessen wird, der sich nicht bewegt. Möchte man dabei die Beschleunigung des optischen Elements bezüglich eines Dämpfungsbezugspunktes messen, der nicht raumfest ist, kann man zwei absolut messende Beschleunigungssensoren verwenden, von denen der eine die absolute Beschleunigung des optischen Elementes misst und der andere die Beschleunigung des Dämpfungsbezugspunktes und die Differenz daraus bilden.In a further advantageous embodiment of the invention can be provided be that the sensor element as absolute measuring accelerometer is formed with downstream integrator, this has the advantage that these sensors are available in very small dimensions are. Absolutely measuring in this context means that the Acceleration is measured against a point that does not move. Do you want the acceleration of the optical element with respect to an attenuation reference point which is not fixed in space, you can use two absolute measuring accelerometers one of which is the absolute acceleration of the optical element measures and the other the acceleration of the attenuation reference point and form the difference.

Um eine unmittelbare Dämpfung der Schwingungen zwischen dem optischen Element und einem dasselbe aufnehmenden Halteelement zu erreichen, kann in einer sehr vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung vorgesehen sein, dass das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil an dem optischen Element und der elektrische Leiter an einem Halteelement für das optische Element angebracht sind. Dadurch wird die in dem elektrischen Leiter erzeugte Wärme vorteilhafterweise von dem optischen Element ferngehalten.Around an immediate damping of the oscillations between the can achieve optical element and a receiving same holding element, can provided in a very advantageous embodiment of the invention be that the component suitable for generating a magnetic field on the optical element and the electrical conductor on a holding element are mounted for the optical element. This will the heat generated in the electrical conductor advantageously kept away from the optical element.

Hierbei kann das Halteelement Teil einer Fassung für das optische Element sein.in this connection the retaining element part of a socket for the optical Be element.

In einer anderen vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil an einem Bauteil einer Fassung für das optische Element und der elektrische Leiter an einem anderen Bauteil der Fassung für das optische Element angebracht sind. Eine solche Integration der Dämpfungseinrichtung in die Fassung des optischen Elements kann sowohl aus Bauraumgründen als auch aus Gründen einer besseren Dämpfung der Schwingungen an ihrem Entstehungsort bzw. zur Dämpfung von Verformungen des optischen Elements eingesetzt werden.In Another advantageous embodiment of the invention can be provided be that the component suitable for generating a magnetic field on a component of a socket for the optical element and the electrical conductor to another component of the socket for the optical element are mounted. Such integration of Damping device in the socket of the optical element can be used for space reasons as well as for reasons a better damping of vibrations at their place of origin or for damping deformations of the optical element be used.

Um Schwingungen in mehreren Richtungen dämpfen zu können, kann in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen sein, dass zur Dämpfung mehrerer Freiheitsgrade des optischen Elements mehrere Dämpfungseinrichtungen vorgesehen sind.Around To be able to damp vibrations in several directions, may be provided in a further embodiment of the invention, that for damping a plurality of degrees of freedom of the optical element a plurality of damping devices are provided.

Eine Fassung mit wenigstens einem erfindungsgemäßen optischen Element ist in Anspruch 19 angegeben.A Version with at least one invention The optical element is specified in claim 19.

Anspruch 20 betrifft ein Lithographieobjektiv mit wenigstens einem erfindungsgemäßen optischen Element.claim 20 relates to a lithographic objective with at least one inventive optical element.

Anspruch 21 bezieht sich auf eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem und mit einem derartigen Lithographieobjektiv.claim 21 refers to a projection exposure machine with a Illumination system and with such a lithography lens.

Mittels einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage lässt sich besonders vorteilhaft ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, wie in Anspruch 22 angegeben, durchführen.through Such a projection exposure apparatus is particularly suitable Advantageously, a method for the production of semiconductor devices, such as specified in claim 22, perform.

Nachfolgend sind Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung prinzipmäßig dargestellt.following Embodiments of the invention with reference to the drawing shown in principle.

Es zeigt:It shows:

1 das erfindungsgemäße optische Element mit einer Dämpfungseinrichtung in einer ersten Ausführungsform; 1 the optical element according to the invention with a damping device in a first embodiment;

2 das erfindungsgemäße optische Element mit einer Dämpfungseinrichtung in einer zweiten Ausführungsform, wobei das optische Element in einer Fassung untergebracht ist; 2 the optical element according to the invention with a damping device in a second embodiment, wherein the optical element is housed in a socket;

3 das erfindungsgemäße optische Element mit einer Dämpfungseinrichtung in einer dritten Ausführungsform; 3 the optical element according to the invention with a damping device in a third embodiment;

4 eine erste Ausführungsform eines Verstärkungselements für die Dämpfungseinrichtung des erfindungsgemäßen optischen Elements; 4 a first embodiment of a reinforcing element for the damping device of the optical element according to the invention;

5 eine zweite Ausführungsform eines Verstärkungselements für die Dämpfungseinrichtung des erfindungsgemäßen optischen Elements; 5 a second embodiment of a reinforcing element for the damping device of the optical element according to the invention;

6 eine Seitenansicht einer Dämpfungseinrichtung des erfindungsgemäßen optischen Elements; 6 a side view of a damping device of the optical element according to the invention;

7 einen Schnitt durch die Dämpfungseinrichtung nach der Linie VII-VII aus 5; 7 a section through the damping device according to the line VII-VII 5 ;

8 einen Schnitt durch ein erfindungsgemäßes Lithographieobjektiv einer Projektionsbelichtungsanlage; 8th a section through an inventive lithographic objective of a projection exposure system;

9 eine erste Ausführung bei der Anordnung des Sensorelements gegenüber dem optischen Element; 9 a first embodiment in the arrangement of the sensor element relative to the optical element;

10 eine zweite Ausführung bei der Anordnung des Sensorelements gegenüber dem optischen Element; 10 a second embodiment in the arrangement of the sensor element relative to the optical element;

11 eine dritte Ausführung bei der Anordnung des Sensorelements gegenüber dem optischen Element; 11 a third embodiment in the arrangement of the sensor element relative to the optical element;

12 eine erste Ausführung eines Messsystems, das ein Sensorelement gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst; 12 a first embodiment of a measuring system comprising a sensor element according to the present invention;

13 eine zweite Ausführung eines Messsystems, das zwei Sensorelemente gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst; 13 a second embodiment of a measuring system comprising two sensor elements according to the present invention;

14 eine dritte Ausführung eines Messsystems, das ein Sensorelement gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst; 14 a third embodiment of a measuring system comprising a sensor element according to the present invention;

15 eine vierte Ausführung eines Messsystems, das ein Sensorelement gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst; 15 a fourth embodiment of a measuring system comprising a sensor element according to the present invention;

16 eine erste Ausführungsform des Aktorelements gemäß der vorliegenden Erfindung; 16 a first embodiment of the actuator element according to the present invention;

17 eine zweite Ausführungsform des Aktorelements gemäß der vorliegenden Erfindung; 17 a second embodiment of the actuator element according to the present invention;

18 eine dritte Ausführungsform des Aktorelements gemäß der vorliegenden Erfindung; und 18 a third embodiment of the actuator element according to the present invention; and

19 eine vierte Ausführungsform des Aktorelements gemäß der vorliegenden Erfindung. 19 A fourth embodiment of the actuator element according to the present invention.

1 zeigt in einer sehr schematischen Darstellung ein optisches Element 1 mit einer an demselben angebrachten Dämpfungseinrichtung 2. Bei dem optischen Element 1 handelt es sich im vorliegenden Fall um eine Linse, es könnte sich jedoch auch um einen Spiegel oder um ein anderes optisches Element 1 handeln. 1 shows in a very schematic representation of an optical element 1 with a damping device attached thereto 2 , In the optical element 1 This is a lens in the present case, but it could also be a mirror or some other optical element 1 act.

Die Dämpfungseinrichtung 2 weist ganz allgemein wenigstens ein die Bewegungen des optischen Elements 1 in wenigstens einem Freiheitsgrad erfassendes Sensorelement 3 und wenigstens ein mit dem Sensorelement 3 in Wirkverbindung stehendes, auf das optische Element 1 zumindest mittelbar wirkendes Aktorelement 4 auf, das anhand der von dem Sensorelement 3 erfassten Bewegungen des optischen Elements 1 das optische Element 1 durch Erzeugen einer Kraft oder eines Moments in wenigstens einem Freiheitsgrad dämpft.The damping device 2 generally indicates at least one of the movements of the optical element 1 in at least one degree of freedom sensing sensor element 3 and at least one with the sensor element 3 in operative connection to the optical element 1 at least indirectly acting actuator element 4 based on that of the sensor element 3 detected movements of the optical element 1 the optical element 1 attenuates by generating a force or moment in at least one degree of freedom.

In der in 1 dargestellten Ausführungsform sind das Sensorelement 3 und das Aktorelement 4 durch ein und dasselbe Bauteil gebildet, d. h. das Sensorelement 3 wirkt zugleich als Aktorelement 4 bzw. umgekehrt. So weist die Dämpfungseinrichtung 2 und damit auch das Sensorelement 3 und das Aktorelement 4 einen elektrischen Leiter 5 und ein gegenüber dem elektrischen Leiter 5 bewegliches, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignetes Bauteil 6 auf. Bei der in 1 dargestellten Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2 ist der elektrische Leiter 5 als Spule ausgebildet und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 ist als Permanentmagnet ausgebildet. Als Permanentmagnete können beispielsweise Samarium-Kobalt-Magnete verwendet werden, da dieses Material nicht ausgast und keine Verschmutzungen erzeugt, wohingegen für die elektrischen Leiter 5 beispielsweise Aluminium geeignet ist, da es sich hierbei um einen guten elektrischen Leiter handelt, der darüber hinaus bei der Verwendung in einem Lithographie-Objektiv nicht zu Schwierigkeiten führt. Statt eines Permanentmagneten könnte selbstverständlich auch ein Elektromagnet als das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 eingesetzt werden. Des weiteren könnte, entgegen der Darstellung, das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 auch in Form eines Topfmagneten ausgeführt sein, in dessen Hohlraum sich der elektrische Leiter 5 befindet.In the in 1 illustrated embodiment, the sensor element 3 and the actuator element 4 formed by one and the same component, ie the sensor element 3 at the same time acts as an actuator element 4 or vice versa. So has the damping device 2 and thus also the sensor element 3 and the actuator element 4 an electrical conductor 5 and one opposite the electrical conductor 5 movable, suitable for generating a magnetic field component 6 on. At the in 1 illustrated embodiment of the damping device 2 is the electrical conductor 5 formed as a coil and the suitable for generating a magnetic field component 6 is designed as a permanent magnet. For example, samarium-cobalt magnets can be used as permanent magnets, since this material does not degas and does not generate soiling, whereas for the electrical conductors 5 For example, aluminum is suitable, since this is a good electrical conductor, which also does not lead to difficulties when used in a lithography lens. Of course, instead of a permanent magnet, an electromagnet could also be the component which is suitable for generating a magnetic field 6 be used. Furthermore, contrary to the illustration, the component suitable for generating a magnetic field could be used 6 be executed in the form of a pot magnet in the cavity, the electrical conductor 5 located.

Das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 ist im vorliegenden Fall an dem optischen Element 1 angebracht und taucht in den elektrischen Leiter 5 ein. Wenn sich also das optische Element 1 bewegt, führt das zum Erzeugen eines Magnet felds geeignete Bauteil 6 gegenüber dem elektrischen Leiter 5 eine der Bewegung des optischen Elements 1 entsprechende Bewegung aus, wodurch in dem elektrischen Leiter 5 eine Spannung induziert wird, die in dem von dem zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteil 6 erzeugten Magnetfeld einen Strom und dadurch eine Kraft erzeugt, die der Bewegung des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 entgegengerichtet ist und dadurch die Bewegung des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 und somit des optischen Elements 1 dämpft.The component suitable for generating a magnetic field 6 is in the present case on the optical element 1 attached and immersed in the electrical conductor 5 one. So if the optical element 1 moves, leads to generating a magnetic field suitable component 6 opposite the electrical conductor 5 one of the movement of the optical element 1 corresponding movement, whereby in the electrical conductor 5 a voltage is induced in the component suitable for generating a magnetic field 6 generated magnetic field generates a current and thereby a force corresponding to the movement of the device suitable for generating a magnetic field 6 is opposite and thereby the movement of the device suitable for generating a magnetic field 6 and thus the optical element 1 attenuates.

Mit anderen Worten, der elektrische Leiter 5 und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 ermitteln zunächst die Bewegungen bzw. Schwingungen des optischen Elements 1 und wirken damit als Sensorelement 3. Durch die Erzeugung der der Bewegung des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 entgegenwirkenden Kraft wirken der elektrische Leiter 5 und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 als Aktorelement 4 und dämpfen die Bewegungen bzw. Schwingungen des optischen Elements 1.In other words, the electrical conductor 5 and the component suitable for generating a magnetic field 6 first determine the movements or vibrations of the optical element 1 and thus act as a sensor element 3 , By generating the the movement of the device suitable for generating a magnetic field 6 counteracting force act the electrical conductor 5 and the component suitable for generating a magnetic field 6 as actuator element 4 and dampen the movements or vibrations of the optical element 1 ,

Die durch das Magnetfeld des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 erzeugte Kraft ist vorzugsweise im wesentlichen zu der Geschwindigkeit des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 und damit zu der Geschwindigkeit der Schwingung des optischen Elements 1 proportional, so dass das optische Element 1 mit einer im wesentlichen linearen Kennlinie gedämpft wird. Bei der Dämpfungseinrichtung 2 in ihrer einfachsten Ausführungsform handelt es sich also um ein passives Bauteil, das ohne jegliche externe Elektronik auskommt. Bei einigen Ausführungsformen kann das Aktorelement 4 auch über ein Moment auf das optische Element 1 einwirken. Ganz allgemein ist die von dem Aktorelement 4 erzeugte Kraft oder das von dem Aktorelement 4 erzeugte Moment zu der Geschwindigkeit der Bewegung des optischen Elements 1 proportional.The by the magnetic field of the device suitable for generating a magnetic field 6 The force generated is preferably substantially equal to the velocity of the device capable of generating a magnetic field 6 and thus to the speed of oscillation of the optical element 1 proportional, so the optical element 1 is attenuated with a substantially linear characteristic. In the damping device 2 in its simplest embodiment, it is therefore a passive component that manages without any external electronics. In some embodiments, the actuator element 4 also for a moment on the optical element 1 act. In general, that of the actuator element 4 generated force or that of the actuator element 4 generated moment to the speed of movement of the optical element 1 proportional.

2 zeigt eine Fassung 7, welche zum Halten des optischen Elements 1 dient. Die Fassung 7 weist in an sich bekannter Weise einen Außenring 8 und einen Innenring 9 auf, an welchem das op tische Element 1 angebracht ist. Der Außenring 8 bildet damit, wie auch der Innenring 9, ein Halteelement für das optische Element 1. Die Verbindung zwischen dem Innenring 9 und dem optischen Element 1 kann in an sich bekannter Weise erfolgen. Bei dieser Art der Verbindung des optischen Elements 1 mit dem Innenring 7 können diese beiden Teile hinsichtlich ihrer Schwingungen gegenüber dem Außenring 8 als ein Bauteil und damit als Einmassenschwinger angesehen werden. Im allgemeinen kann bei hinreichend starrer Verbindung zwischen dem optischen Element 1 und dem Innenring 9 der Innenring 9 als zu dem optischen Element 1 gehörend angesehen werden. 2 shows a version 7 which is used to hold the optical element 1 serves. The version 7 has an outer ring in a conventional manner 8th and an inner ring 9 on which the optical element 1 is appropriate. The outer ring 8th forms with it, as well as the inner ring 9 , a holding element for the optical element 1 , The connection between the inner ring 9 and the optical element 1 can be done in a conventional manner. In this type of connection of the optical element 1 with the inner ring 7 Both of these parts can vibrate with respect to the outer ring 8th be regarded as a component and thus as a compound oscillator. In general, with a sufficiently rigid connection between the optical element 1 and the inner ring 9 the inner ring 9 as to the optical element 1 belonging to be viewed.

Um die Schwingungen des optischen Elements 1, welche aufgrund dieser starren Verbindung auf den Innenring 9 und von dort auf den Außenring 8 übertragen werden, zu dämpfen, sind zwischen dem Innenring 9 und dem Außenring 8 zwei Dämpfungseinrichtungen 2 vorgesehen, welche jeweils ein Sensorelement 3 und ein Aktorelement 4 aufweisen. Mittels der Dämpfungseinrichtungen 2 ist es auch möglich, von außen auf den Außenring 8 übertragene Schwingungen, die sich über den Innenring 9 auf das optische Element 1 übertragen, zu dämpfen, indem angestrebt wird, die relative Bewegung zwischen dem Außenring 8 und dem optischen Element 1 so weit wie möglich zu reduzieren. Bei der in 2 dargestellten Ausführungsform sind das Sensorelement 3 und das Aktorelement 4 durch unterschiedliche Bauteile gebildet. Die beiden Sensorelemente 3 sind im Prinzip wie unter Bezugnahme auf 1 beschrieben ausgeführt, d. h. sie weisen den elektrischen Leiter 5 und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 auf, welche relativ zueinander beweglich sind. Im vorliegenden Fall ist das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 an dem Innenring 9 und somit an dem optischen Element 1 und der elektrische Leiter 5 an dem Außenring 8 und damit an einem Halteelement für das optische Element 1 angebracht.To the vibrations of the optical element 1 , which due to this rigid connection on the inner ring 9 and from there to the outer ring 8th are transmitted, to dampen, are between the inner ring 9 and the outer ring 8th two damping devices 2 provided, which in each case a sensor element 3 and an actuator element 4 exhibit. By means of the damping devices 2 It is also possible from the outside to the outer ring 8th transmitted vibrations that extend across the inner ring 9 on the optical element 1 The aim is to dampen the relative movement between the outer ring 8th and the optical element 1 to reduce as much as possible. At the in 2 illustrated embodiment, the sensor element 3 and the actuator element 4 formed by different components. The two sensor elements 3 are in principle as with reference to 1 described running, ie they have the electrical conductor 5 and the component suitable for generating a magnetic field 6 on which are movable relative to each other. In the present case, the component suitable for generating a magnetic field is 6 on the inner ring 9 and thus on the optical element 1 and the electrical conductor 5 on the outer ring 8th and thus on a holding element for the optical element 1 appropriate.

Die beiden Aktorelemente 4 sind ebenfalls zwischen dem Außenring 8 und dem Innenring 9 vorgesehen und sind in der Lage, durch Aufbringen einer entsprechenden Kraft bzw. eines Moments den Innenring 9 mit dem optischen Element 1 gegenüber dem Außenring 8 zu bewegen und auf diese Weise die von den Sensorelementen 3 erfassten Bewegungen des optischen Elements 1 bzw. des Innenrings 9 zu dämpfen. Dabei stützen sich die Aktorelemente 4 an dem Außenring 8 ab. Die Aktorelemente 4, allgemein gesprochen das wenigstens eine Aktorelement 4, steht mit dem Sensorelement 3 auf nicht dargestellte Art und Weise in Wirkverbindung und wirkt zumindest mittelbar auf das optische Element 1.The two actuator elements 4 are also between the outer ring 8th and the inner ring 9 provided and are able by applying a corresponding force or a moment the inner ring 9 with the optical element 1 opposite the outer ring 8th to move and in this way the of the sensor elements 3 detected movements of the optical element 1 or the inner ring 9 to dampen. The actuator elements are based on this 4 on the outer ring 8th from. The actuator elements 4 , Generally speaking, the at least one actuator element 4 , stands with the sensor element 3 in a manner not shown in operative connection and acts at least indirectly on the optical element 1 ,

Diese Ausführungsform, bei welcher für zwei unterschiedliche Bewegungsrichtungen bzw. für zwei Freiheitsgrade des optischen Elements 1 zwei Dämpfungseinrichtungen 2 vorgesehen sind, kann auch bei sämtlichen anderen hierin beschriebenen Ausführungsformen vorgesehen sein. Allgemein gesprochen können zur Dämpfung mehrerer Freiheitsgrade des optischen Elements 1 mehrere Dämpfungseinrichtungen 2 vorgesehen sein.This embodiment, in which for two different directions of movement or for two degrees of freedom of the optical element 1 two damping devices 2 may also be provided in all other embodiments described herein. Generally speaking, for damping a plurality of degrees of freedom of the optical element 1 several damping devices 2 be provided.

In einer nicht dargestellten Ausführungsform könnte das zu Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 auch direkt an dem optischen Element 1 und der elektrische Leiter 5 an einem Halteelement für das optische Element 1 angebracht sein. Des weiteren ist es bei sämtlichen Ausführungsformen auch möglich, den elektrischen Leiter 5 an dem optischen Element 1 anzubringen und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 entweder starr zu lagern oder an einem Halteelement für das optische Element 1 anzubringen. Die Anbringung des zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteil 6 an dem optischen Element 1 hat insbesondere bei der zu einem späteren Zeitpunkt beschriebenen aktiven Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2 den Vorteil, dass keine elektrischen Leitungen zu dem optischen Element 1 geführt werden müssen.In an embodiment not shown, the component suitable for generating a magnetic field could be 6 also directly on the optical element 1 and the electrical conductor 5 on a holding element for the optical element 1 to be appropriate. Furthermore, it is also possible in all embodiments, the electrical conductor 5 on the optical element 1 to attach and suitable for generating a magnetic field component 6 either rigidly mounted or on a holding element for the optical element 1 to install. The attachment of the suitable for generating a magnetic field component 6 on the optical element 1 has in particular in the described at a later time active embodiment of the damping device 2 the advantage that no electrical wires to the optical element 1 must be led.

In 3 ist die Trennung zwischen dem Sensorelement 3 und dem Aktorelement 4 nochmals dargestellt. Dabei weist sowohl das Sensorelement 3 als auch das Aktorelement 4 jeweils den elektrischen Leiter 5 bzw. 13 und das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 auf. Bei dem Sensorelement 3 dienen diese beiden Teile jedoch zum Erfassen der Bewegungen des optischen Elements 1 in wenigstens einem Freiheitsgrad, wohingegen sie bei dem Aktorelement 4 zum Dämpfen der von dem Sensorelement 3 erfassten Bewegungen des optischen Elements 1 durch Erzeugen einer Kraft oder eines Moments in wenigstens einem Freiheitsgrad dienen.In 3 is the separation between the sensor element 3 and the actuator element 4 shown again. In this case, both the sensor element 3 as well as the actuator element 4 each the electrical conductor 5 respectively. 13 and that for generating a mag suitable field component 6 on. In the sensor element 3 However, these two parts serve to detect the movements of the optical element 1 in at least one degree of freedom, whereas in the actuator element 4 for damping the sensor element 3 detected movements of the optical element 1 serve by generating a force or a moment in at least one degree of freedom.

4 zeigt eine Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2, bei der eine mechanischen Verstärkung appliziert wurde Der Verstärker besteht aus zwei Hebelelementen 11 und 12, die ein mechanisches Verstärkungselement 10 bilden und zwischen denen der Hebel drehbar gelagert ist und somit der Übersetzungsmechanismus realisiert wurde. Das Hebelelement 12 ist, mit der Dämpfungseinrichtung 2 verbunden. Die Dämpfungseinrichtung 2 ist also über das Hebelelement 12 mit dem an dem Innenring 9 angebrachten optischen Element 1 verbunden. Durch die mechanische Übersetzung des Weges des Innenringes 9 kann die Dämpfungskonstante der Dämpfungseinrichtung 2 erhöht und auf diese Weise der erforderliche Bauraum bei gleicher Dämpfung verringert werden. Ein solcher mechanischer Verstärker ist besonders wirkungsvoll, da sich die wirksame Dämpfungskonstante im Quadrat des durch die Hebelelemente 11 und 12 erzeugten Übersetzungsverhältnisses ändert. 4 shows an embodiment of the damping device 2 in which a mechanical reinforcement was applied The amplifier consists of two lever elements 11 and 12 which is a mechanical reinforcing element 10 form and between which the lever is rotatably mounted and thus the translation mechanism has been realized. The lever element 12 is, with the damping device 2 connected. The damping device 2 So is about the lever element 12 with the on the inner ring 9 attached optical element 1 connected. By the mechanical translation of the way of the inner ring 9 can the damping constant of the damping device 2 increases and in this way the required space can be reduced with the same attenuation. Such a mechanical amplifier is particularly effective because the effective damping constant squared by the lever elements 11 and 12 generated gear ratio changes.

Eine weitere Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2 für das optische Element 1 ist in 5 dargestellt. Hierbei weist die Dämpfungseinrichtung 2 ein als elektronischer Verstärker ausgebildetes Verstärkungselement 10 auf. Außerdem ist zusätzlich zu dem elektrischen Leiter 5 ein weiterer elektrischen Leiter 13 vorgesehen, der im vorliegenden Fall als zweiter elektrischer Leiter 13 bezeichnet wird. Hierbei dient der erste elektrische Leiter 5 zum Sensieren der Bewegung des in diesem Fall nicht dargestellten zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 und kann daher auch als „Sensorspule" bezeichnet werden, wohingegen der zweite elektrische Leiter 13 zur Erzeugung einer Gegenkraft für das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 dient und daher auch als „Aktorspule" bezeichnet werden kann. Der erste elektrische Leiter 5 ist also dem Sensorelement 3 und der zweite elektrische Leiter 13 ist dem Aktorelement 4 zugeordnet. In der dargestellten Ausführungsform des Verstärkungselements 10 sind die beiden elektrischen Leiter 5 und 13 in Bewegungsrichtung des für das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 hintereinander angeordnet. Gegebenenfalls könnte für die beiden elektrischen Leiter 5 und 13 dasselbe zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil verwendet werden.Another embodiment of the damping device 2 for the optical element 1 is in 5 shown. Here, the damping device 2 a reinforcing element designed as an electronic amplifier 10 on. In addition, in addition to the electrical conductor 5 another electrical conductor 13 provided, in the present case as a second electrical conductor 13 referred to as. Here, the first electrical conductor is used 5 for sensing the movement of the component, not shown in this case, for generating a magnetic field 6 and can therefore also be referred to as a "sensor coil", whereas the second electrical conductor 13 for generating a counterforce for the component suitable for generating a magnetic field 6 serves and therefore also as "Aktorspule" the first electrical conductor 5 So is the sensor element 3 and the second electrical conductor 13 is the actuator element 4 assigned. In the illustrated embodiment of the reinforcing element 10 are the two electrical conductors 5 and 13 in the direction of movement of the component suitable for generating a magnetic field 6 arranged one behind the other. Optionally, could for the two electrical conductors 5 and 13 the same component suitable for generating a magnetic field can be used.

Die Aktorspule, also der zweite elektrische Leiter 13, ist vorzugsweise als eine eine stromproportionale Kraft erzeugende Tauchspule ausgeführt, bei deren Auslegung lediglich die zulässige Abwärme und die maximalen Kräfte und aufgrund der elektronischen Verstärkung nicht mehr die Dämpfungskonstante den Bauraum bestimmen. Die Sensorspule, also der erste elektrische Leiter 5, kann ebenfalls als Tauchspule ausgeführt sein und erzeugt eine Spannung, die von der Geschwindigkeitsamplitude der Schwingung des mit derselben zusammenarbeitenden zum Erzeugen eines Magnetfelds geeigneten Bauteils abhängt. Diese Spannung wird in dem Verstärkungselement 10 verstärkt und an den elektrischen Leiter 13 des Aktorelements 4 weitergegeben. Entscheidend für die Ausgestaltung des Sensorelementes 3, also in diesem Fall des zweiten elektrischen Leiters 5, ist das Signal-Rausch-Verhältnis.The actuator coil, so the second electrical conductor 13 is preferably designed as a plunger coil generating a current-proportional force, in the design of which only the permissible waste heat and the maximum forces and, due to the electronic amplification, the damping constant no longer determine the installation space. The sensor coil, so the first electrical conductor 5 , may also be embodied as a plunger coil and generates a voltage that depends on the velocity amplitude of the vibration of the same cooperating to generate a magnetic field component. This tension is in the reinforcing element 10 strengthened and connected to the electrical conductor 13 of the actuator element 4 passed. Decisive for the design of the sensor element 3 , So in this case the second electrical conductor 5 , is the signal-to-noise ratio.

Alternativ ist es auch möglich, Beschleunigungssensoren mit nachgeschaltetem Integrierer oder Wegsensoren mit nachgeschaltetem Differenzierer für das Verstärkungselement 10 in seiner Ausgestaltung als elektronischer Verstärker zu verwenden. Hierbei kann gegebenenfalls auf in Lithographieobjektiven bereits vorhandene Bauteile zurückgegriffen werden.Alternatively, it is also possible to use acceleration sensors with a downstream integrator or displacement sensors with a downstream differentiator for the reinforcing element 10 to use in its embodiment as an electronic amplifier. In this case, it is optionally possible to resort to components already present in lithographic lenses.

Aufgrund der zu erwartenden geringen Ströme kann die Elektronik des Verstärkungselements 10 auch aus einfachen Operationsverstärkerschaltungen bestehen. Des weiteren kann das Verstärkungselement 10 gegebenenfalls direkt in die Fassung 7 integriert werden, wenn das optische Element 1 in einer Fassung 7 gehalten ist. Dann ist für das manipulierte optische Element 1 lediglich eine Niederspannungsversorgung erforderlich, wobei die zu erwartende Verlustwärme hinreichend gering ist. Wenn die beiden elektrischen Leiter 5 und 13 an ein und demselben Ort platziert werden und die Bandbreite der Sensorspule und der Elektronik er heblich höher als die dominanten Eigenfrequenzen ist, so können eventuelle Stabilitätsprobleme der aktiven Dämpfung vermieden werden. Insofern ist auch ein Reglerentwurf nicht erforderlich.Due to the expected low currents, the electronics of the reinforcing element 10 also consist of simple operational amplifier circuits. Furthermore, the reinforcing element 10 if necessary directly into the version 7 be integrated when the optical element 1 in a version 7 is held. Then is for the manipulated optical element 1 only a low-voltage supply required, the expected heat loss is sufficiently low. If the two electrical conductors 5 and 13 be placed in the same place and the bandwidth of the sensor coil and the electronics he considerably higher than the dominant natural frequencies, so any stability problems of the active damping can be avoided. In this respect, a controller design is not required.

Die 6 und 7 zeigen eine weitere Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2 zur Dämpfung der Schwingungen des optischen Elements 1, bei der die Sensorfunktion und die Aktorfunktion in einem elektrischen Leiter 5 und einem zu Erzeugung eines Magnetfelds geeigneten Bauteils 6 integriert ist. Hierbei ist das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 in nicht dargestellter Weise an dem Außenring der hier ebenfalls nicht dargestellten Fassung angebracht und der elektrische Leiter 5 ist als Blech ausgeführt. Das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil 6 besteht dabei aus zwei Eisen 6a, die auf einem Permanentmagneten 6b angebracht sind und dessen Wirkung verstärken. Der Stromverlauf ist durch die gestrichelte, der Verlauf des Magnetfelds durch die strichpunktierte Linie dargestellt. Besondere Vorteile dieser Ausführungsform der Dämpfungseinrichtung 2 ist deren geringe Größe und insbesondere die geringe Bauhöhe von im vorliegenden Fall nur 20 mm.The 6 and 7 show a further embodiment of the damping device 2 for damping the vibrations of the optical element 1 in which the sensor function and the actuator function in an electrical conductor 5 and a device suitable for generating a magnetic field 6 is integrated. Here, the component suitable for generating a magnetic field is 6 mounted in a manner not shown on the outer ring of the socket also not shown here and the electrical conductor 5 is designed as a sheet metal. The component suitable for generating a magnetic field 6 consists of two iron 6a on a permanent magnet 6b attached and strengthen its effect. The current flow is through the dashed, the course of the magnetic field through the dash-dotted Li never pictured. Particular advantages of this embodiment of the damping device 2 is their small size and in particular the low height of in the present case only 20 mm.

In 8 ist auf äußerst schematische Weise ein Lithographieobjektiv 14 dargestellt, welches ein Gehäuse 15 aufweist, in dem mehrere optische Elemente angeordnet sind, darunter auch eines oder mehrere der oben beschriebenen optischen Elemente 1 mit der Dämpfungseinrichtung 2, die jedoch nicht erkennbar ist. Das Lithographieobjektiv 14 ist Teil einer Projektionsbelichtungsanlage 16, welche zur Herstellung von Halbleiterbauelementen dient und ein an der Oberseite des Lithographieobjektivs 14 angebrachtes Beleuchtungssystem 17 mit einer Lichtquelle 18 aufweist, die einen Strahlengang 19 durch das Lithographieobjektiv 14 sendet, mit welchem ein Reticle 20 in an sich bekannter Weise auf einen sich unterhalb des Lithographieobjektivs 14 befindlichen Wafer 21 abgebildet wird. Die optischen Elemente, die im vorliegenden Fall allesamt als Linsen ausgeführt sind, sind mittels jeweiliger Fassungen 5 in dem Gehäuse 15 des Lithographieobjektives 14 gehalten. Statt wie in sämtlichen Figuren dargestellt als Linsen könnten die optischen Elemente 1 auch als Spiegel, als sogenann te Beamsplitter oder als andersartige optische Elemente ausgebildet sein.In 8th is a lithographic objective in a very schematic way 14 shown, which is a housing 15 in which a plurality of optical elements are arranged, including one or more of the optical elements described above 1 with the damping device 2 which is not recognizable. The lithography lens 14 is part of a projection exposure system 16 , which is used for the production of semiconductor devices and one at the top of the lithography lens 14 attached lighting system 17 with a light source 18 having a beam path 19 through the lithography lens 14 sends, with which a reticle 20 in a conventional manner to a below the lithography lens 14 located wafer 21 is shown. The optical elements, which in the present case are all designed as lenses, are by means of respective versions 5 in the case 15 of the lithography lens 14 held. Instead of as shown in all figures as lenses, the optical elements could 1 also be designed as a mirror, as so-called beam splitter or as different optical elements.

Die 9 bis 11 zeigen verschiedene Ausführungen bei der Anordnung des Sensorelements 3 gegenüber dem optischen Element 1. Das Sensorelement 3 weist mindestens einen Sensor auf, der die Bewegung, die Auslenkung, die Geschwindigkeit oder die Beschleunigung des optischen Elements 1 in mindestens einem Freiheitsgrad misst. Der Messwert ist dabei die Bewegung des Messpunktes relativ zu einem Bezugspunkt. Falls mehrere Sensoren vorhanden sind, wie dies bei den Ausführungen der 9 und 11 der Fall ist, so können diese im Überlagerungsprinzip die Bewegung des optischen Elements 1 bestimmen, wie in 9 dargestellt, oder diese in Differenzanordnung messen, wie gemäß 11. Dadurch ist eine Fehlerkompensation möglich.The 9 to 11 show different embodiments in the arrangement of the sensor element 3 opposite to the optical element 1 , The sensor element 3 has at least one sensor, which determines the movement, the deflection, the speed or the acceleration of the optical element 1 measures in at least one degree of freedom. The measured value is the movement of the measuring point relative to a reference point. If several sensors are present, as in the embodiments of 9 and 11 the case is, they can in the overlay principle, the movement of the optical element 1 determine how in 9 shown, or measure them in difference arrangement, as shown in FIG 11 , As a result, an error compensation is possible.

Bei sämtlichen dieser Anordnungen kann ein Dämpfungsbezugspunkt 22, also der Punkt bzw. ein physikalisches Bauteil oder ein imaginärer Raumpunkt, der nicht feststehen muss, bezüglich dessen die Bewegungen des optischen Elements 1 minimiert bzw. gedämpft werden sollen, ein Punkt auf dem Objektiv 14 oder das gesamte Objektiv 14 oder ein Punkt auf der oder die gesamte Objektivaufnahme oder ein nicht beweglicher Raumpunkt sein. In 10 ist der Dämpfungsbezugspunkt 22 an einem beliebigen festen Körper bzw. der festen Welt 23 angeordnet. Dieser feste Körper 23 kann beispielsweise auch durch das Lithographieobjektiv 14 gebildet werden. Falls nicht die Bewegung sondern die Verformung des optischen Elementes 1 gedämpft werden soll, kann sich der Dämpfungsbezugspunkt 22 auch auf dem optischen Element 1 befinden. Der Dämpfungsbezugspunkt 22 steht, wie nachfolgend deutlich wird, mit einem Messpunkt bzw. einer Anmessfläche 24 in Zusammenhang, der sich bei der Ausführungsform gemäß 10 auf dem optischen Element 1 befindet.In all of these arrangements, an attenuation reference point 22 , ie the point or a physical component or an imaginary point in space, which does not have to be fixed, with respect to which the movements of the optical element 1 be minimized or attenuated, a point on the lens 14 or the entire lens 14 or a point on the or all of the lens mount or a non-moving point in space. In 10 is the attenuation reference point 22 on any solid body or the solid world 23 arranged. This solid body 23 For example, by the lithography lens 14 be formed. If not the movement but the deformation of the optical element 1 should be attenuated, the attenuation reference point 22 also on the optical element 1 are located. The attenuation reference point 22 stands, as will become clear below, with a measuring point or an Anmessfläche 24 in connection, which in the embodiment according to 10 on the optical element 1 located.

Das Sensorelement 3 kann zur Messung von Weg, Geschwindigkeit oder Beschleunigung aufgeführt sein, wobei bei einer Wegmessung das erhaltene Signal differenziert und bei einer Beschleunigungsmessung integriert werden muss. Als Sensorelemente 3 kommen neben den detailliert beschriebenen Sensorelementen 3 auch optische, kapazitive, Wirbelstrom-, nach dem Lorentzprinzip arbeitende, analoge oder digitale Sensorelemente 3 mit analogem oder digitalem Ausgang in Frage.The sensor element 3 can be listed for the measurement of path, speed or acceleration, wherein in a path measurement, the signal obtained must be differentiated and integrated in an acceleration measurement. As sensor elements 3 come next to the detailed sensor elements 3 Also optical, capacitive, eddy current, working according to the Lorentz principle, analog or digital sensor elements 3 with analog or digital output in question.

Die 12 bis 15 zeigen verschiedene Ausführungen eines Meßsystems, welches das Sensorelement 3 umfasst. Ein Messsystem weist ganz allgemein wenigstens ein Sensorelement 3 auf, das die Bewegungen des optischen Elements 1 in mindestens einem Freiheitsgrad bezüglich des Dämpfungsbezugspunktes 22 misst. Dazu hat wenigstens ein Sensorelement 3 seinen Messpunkt 24 an dem optischen Element 1 selbst oder auf einem Körper bzw. einem Punkt, von dessen Bewegung man auf die Bewegung des optischen Elements 1 schließen kann, und wenigstens ein Sensorelement 3 hat seinen Bezugspunkt auf dem Dämpfungsbezugspunkt 22 oder auf einem Punkt bzw. Körper von dessen Bewegung man auf die Bewegung des Dämpfungsbezugspunkts 22 schließen kann. Hierbei sind die Messrichtungen auch umkehrbar.The 12 to 15 show various embodiments of a measuring system, which the sensor element 3 includes. A measuring system generally has at least one sensor element 3 on that the movements of the optical element 1 in at least one degree of freedom with respect to the attenuation reference point 22 measures. For this purpose has at least one sensor element 3 his measuring point 24 on the optical element 1 itself or on a body or a point, from whose movement one moves on the movement of the optical element 1 can close, and at least one sensor element 3 has its reference point on the attenuation reference point 22 or on a point or body of its movement on the movement of the attenuation reference point 22 can close. Here, the measuring directions are also reversible.

Bei den Ausführungsformen gemäß der 12 und 13 liegt der Dämpfungsbezugspunkt 22 jeweils auf dem Außenring 8. Bei der Ausführungsform gemäß 14 sind durch jeweilige Ausfräsungen 25 mehrere Festkörpergelenke 25 erzeugt worden, die ermöglichen, dass ein äußerer und ein innerer Teil des Innenrings 9 der Fassung 7 beweglich zueinander sind. Der Innenring 9 bildet dabei gleichzeitig den Dämpfungsbezugspunkt 22 und den Messpunkt bzw. die Anmessfläche 24. Bei der Ausführungsform von 15 ist das eine Sensorelement 3 an dem Außenring 8 und das andere Sensorelement 3 an dem festen Körper 23 bzw. der festen Welt angeordnet. Damit befindet sich der Dämpfungsbezugspunkt 22 auf der festen Welt.In the embodiments according to the 12 and 13 is the attenuation reference point 22 each on the outer ring 8th , In the embodiment according to 14 are by respective cutouts 25 several solid joints 25 have been produced, which allow an outer and an inner part of the inner ring 9 the version 7 are movable to each other. The inner ring 9 at the same time forms the attenuation reference point 22 and the measuring point or the measuring surface 24 , In the embodiment of 15 this is a sensor element 3 on the outer ring 8th and the other sensor element 3 on the solid body 23 or the fixed world. This is the attenuation reference point 22 on the firm world.

Die 16 bis 19 zeigen verschiedene Ausführungsformen des Aktorelements 4. Hierbei ist dem Aktorelement 4 gemäß 16 eine freie Masse 27 als Reaktionsmasse zugeordnet. Bei der Ausführungsform von 17 stützt sich das Aktorelement 4 einerseits an dem optischen Element 1 und andererseits an dem festen Körper 23 ab. Die schematische Darstellung von 18 stellt die Anordnung des optischen Elements 1 innerhalb der Fassung 7 und die Beaufschlagung desselben durch zwei Aktorelemente 4 dar, die sich einerseits an dem optischen Element 1 und andererseits an einem Bauteil der Fassung 7 abstützen. Eine Ausführungsform des Aktorelements 4 als pneumatischer Aktor ist in 19 dargestellt. Prinzipiell kann jedes Aktorelement 4 mit jedem Sensorelement 3 kombiniert werden. Als Aktorelemente 4 kommen insbesondere magnetische, nach dem Lorentz-Prinzip arbeitende, elektrostatische, pneumatische, Piezo-, magnetorestriktive oder mechanische Aktorelemente 4 in Frage.The 16 to 19 show various embodiments of the actuator element 4 , Here is the actuator element 4 according to 16 a free mass 27 assigned as reaction mass. In the embodiment of 17 the actuator element is supported 4 on the one hand to the optical element 1 and others on the part of the solid body 23 from. The schematic representation of 18 represents the arrangement of the optical element 1 within the version 7 and the admission of the same by two actuator elements 4 on the one hand on the optical element 1 and on the other hand on a component of the socket 7 support. An embodiment of the actuator element 4 as a pneumatic actuator is in 19 shown. In principle, every actuator element 4 with each sensor element 3 be combined. As actuator elements 4 In particular magnetic, working according to the Lorentz principle, electrostatic, pneumatic, piezoelectric, magnetorestrictive or mechanical actuator elements 4 in question.

Allgemein weist ein Aktorelement 4 mindestens einen Aktor auf, der in mindestens einem Freiheitsgrad eine Kraft oder ein Moment erzeugen kann. Der wenigstens eine Aktor hat mindestens zwei Anbindungspunkte, denen er gemäß dem Gesetz von Actio und Reactio entgegen gesetzte Kräfte und/oder Momente aufprägt. Ein Aktorsystem weist mindestens ein Aktorelement 4 auf, das die Bewegungen des optischen Elements 1 in mindestens einem Freiheitsgrad durch Aufbringen einer Kraft oder eines Momentes bezüglich des Dämpfungsbezugspunktes 22 dämpft. Dazu ist mindestens ein Aktorelement 4 mit mindestens einem Ende an das zu dämpfende optische Element 1 oder an einen Punkt bzw. Körper angebunden, dessen durch die Aktorkraft aufgeprägte Bewegungen die Bewegung des optischen Elementes 1 manipuliert. Mindestens ein weiteres Ende des Aktorelements 4 stützt sich an einem weiteren Körper oder Punkt oder ebenfalls an dem optischen Element 1, wobei es im letztgenannten Fall möglich ist, Verformungen des optischen Elements 1 zu dämpfen.Generally, an actuator element 4 at least one actuator, which can generate a force or a moment in at least one degree of freedom. The at least one actuator has at least two attachment points to which he imposes opposing forces and / or moments according to the law of Actio and Reactio. An actuator system has at least one actuator element 4 on that the movements of the optical element 1 in at least one degree of freedom by applying a force or moment with respect to the attenuation reference point 22 attenuates. For this purpose, at least one actuator element 4 with at least one end to the optical element to be damped 1 or attached to a point or body whose movements impressed by the actuator force, the movement of the optical element 1 manipulated. At least one other end of the actuator element 4 rests on another body or point or also on the optical element 1 , wherein it is possible in the latter case, deformations of the optical element 1 to dampen.

Falls die Kräfte bzw. Momente des Aktorelements 4 nicht nur abhängig von seinem Ansteuersignal sondern auch von der Relativbewegung der oben beschriebenen Anbindungspunkte abhängig sind, so kann das Sollsignal die Eigencharakteristik des Aktorelements 4 bereits enthalten, um die Auswirkungen der Eigencharakteristik auf das optische Element 1 zu kompensieren. Für diese Kompensation kann die relative Bewegung der oben beschriebenen Anbindungspunkte mit einem weiteren Meßsystem gemessen werden, für das dann die oben beschriebenen Anbindungspunkte Messpunkt bzw. Bezugspunkt sind.If the forces or moments of the actuator element 4 are dependent not only on its drive signal but also on the relative movement of the connection points described above, the setpoint signal, the characteristic of the actuator element 4 already included the effects of the intrinsic characteristic on the optical element 1 to compensate. For this compensation, the relative movement of the connection points described above can be measured with a further measuring system, for which then the connection points described above are measuring point or reference point.

Dem unter Bezugnahme auf 5 erläuterten, als elektronischem Verstärker ausgebildeten Verstärkungselement 10 kann ein nicht dargestelltes Reglerelement vor-, nach- oder parallel geschaltet sein. Als Reglerelement wird eine Prozesseinheit angesehen, die aus mindestens einem Signal eines Messsystems mindestens einen Eingang für ein Aktorsystem bestimmt, so dass die sich daraus ergebende Kraft des Aktorsystems über ein größeres Frequenzband die Schwingungsbewegung des optischen Elements 1 bezüglich des Dämpfungsbezugpunkts 22 dämpft. Diese Einheit kann rein elektrisch oder in einer Hybridform mechanisch-elektrisch arbeiten. Insbesondere elektrisch kann sie wiederum rein analog, rein digital oder ebenfalls in einer Hybridform ausgestaltet sein. Ausführungsbeispiele für ein derartiges Reglerelement sind ein PID-Regler, ein Fuzzyregler, ein Zustandsregler, ein adaptiver Regler oder ein geschwindigkeitsproportionaler Kraftregler mit einem Filter zweiter Ordnung.With reference to 5 explained, designed as an electronic amplifier reinforcing element 10 an unillustrated control element can be connected upstream, downstream or in parallel. As a controller element, a process unit is considered, which determines at least one signal of a measuring system at least one input for an actuator system, so that the resulting force of the actuator system over a larger frequency band, the oscillatory motion of the optical element 1 with respect to the attenuation reference point 22 attenuates. This unit can operate purely electrically or mechanically-electrically in a hybrid form. In particular, it can in turn be purely analog, purely digital or likewise designed in a hybrid form. Exemplary embodiments of such a controller element are a PID controller, a fuzzy controller, a state controller, an adaptive controller or a speed-proportional force controller with a second-order filter.

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Claims (22)

Optisches Element (1) mit einer Dämpfungseinrichtung (2), welche wenigstens ein die Bewegungen des optischen Elements (1) in wenigstens einem Freiheitsgrad erfassendes Sensorelement (3) und wenigstens ein mit dem Sensorelement (3) in Wirkverbindung stehendes, auf das optische Element (1) zumindest mittelbar wirkendes Aktorelement (4) aufweist, das anhand der von dem Sensorelement (3) erfassten Bewegungen des optischen Elements (1) das optische Element (1) durch Erzeugen einer Kraft oder eines Moments in wenigstens einem Freiheitsgrad dämpft.Optical element ( 1 ) with a damping device ( 2 ), which at least one of the movements of the optical element ( 1 ) in at least one degree of freedom sensing sensor element ( 3 ) and at least one with the sensor element ( 3 ) is in operative connection with the optical element ( 1 ) at least indirectly acting actuator element ( 4 ) based on that of the sensor element ( 3 ) detected movements of the optical element ( 1 ) the optical element ( 1 ) attenuates by generating a force or moment in at least one degree of freedom. Optisches Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Sensorelement (3) und dem Aktorelement (4) ein Verstärkungselement (10) vorgesehen ist.Optical element according to claim 1, characterized in that between the sensor element ( 3 ) and the actuator element ( 4 ) a reinforcing element ( 10 ) is provided. Optisches Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (3) und das Aktorelement (4) durch ein und dasselbe Bauteil gebildet sind.Optical element according to claim 1 or 2, characterized in that the sensor element ( 3 ) and the actuator element ( 4 ) are formed by one and the same component. Optisches Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (3) und das Aktorelement (4) durch unterschiedliche Bauteile gebildet sind.Optical element according to claim 1 or 2, characterized in that the sensor element ( 3 ) and the actuator element ( 4 ) are formed by different components. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Betrag der von dem Aktorelement (4) erzeugten Kraft oder der Betrag des von dem Aktorelement (4) erzeugten Moments zu dem Betrag der Geschwindigkeit der Bewegung des optischen Elements (1) im wesentlichen proportional und entgegengerichtet ist.Optical element according to one of claims 1 to 4, characterized in that the amount of the of the actuator element ( 4 ) or the amount of the actuator element ( 4 ) to the amount of speed of movement of the optical element (FIG. 1 ) is substantially proportional and opposite. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (3) einen elektrischen Leiter (5) und ein gegenüber dem elektrischem Leiter (5) bewegliches, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignetes Bauteil (6) aufweist.Optical element according to one of claims 1 to 5, characterized in that the sensor element ( 3 ) an electrical conductor ( 5 ) and one opposite the electrical conductor ( 5 ) movable, suitable for generating a magnetic field component ( 6 ) having. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktorelement (4) einen elektrischen Leiter (5, 13) und ein gegenüber dem elektrischem Leiter (5, 13) bewegliches, zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignetes Bauteil (6) aufweist.Optical element according to one of claims 1 to 6, characterized in that the actuator element ( 4 ) an electrical conductor ( 5 . 13 ) and one opposite the electrical conductor ( 5 . 13 ) movable, suitable for generating a magnetic field component ( 6 ) having. Optisches Element nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil (6) an dem optischen Element (1) und der elektrische Leiter (3) an einem Halteelement (8, 9) für das optische Element (1) angebracht sind.Optical element according to claim 6 or 7, characterized in that the component suitable for generating a magnetic field ( 6 ) on the optical element ( 1 ) and the electrical conductor ( 3 ) on a holding element ( 8th . 9 ) for the optical element ( 1 ) are mounted. Optisches Element nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Halteelement (8, 9) Teil einer Fassung (7) für das optische Element (1) ist.Optical element according to claim 8, characterized in that the holding element ( 8th . 9 ) Part of a version ( 7 ) for the optical element ( 1 ). Optisches Element nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil (6) an einem Bauteil (8, 9) einer Fassung (7) für das optische Element (1) und der elektrische Leiter (5) an einem anderen Bauteil (8, 9) der Fassung (7) für das optische Element (1) angebracht sind.Optical element according to claim 6 or 7, characterized in that the component suitable for generating a magnetic field ( 6 ) on a component ( 8th . 9 ) of a version ( 7 ) for the optical element ( 1 ) and the electrical conductor ( 5 ) on another component ( 8th . 9 ) of the version ( 7 ) for the optical element ( 1 ) are mounted. Optisches Element nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das zum Erzeugen eines Magnetfelds geeignete Bauteil (6) als Permanentmagnet ausgebildet ist.Optical element according to one of claims 6 to 10, characterized in that the component suitable for generating a magnetic field ( 6 ) is designed as a permanent magnet. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement (3) als optisches Sensorelement (3) ausgebildet ist.Optical element according to one of claims 1 to 5, characterized in that the sensor element ( 3 ) as an optical sensor element ( 3 ) is trained. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement als absolut messender Beschleunigungssensor ausgebildet ist.Optical element according to one of the claims 1 to 5, characterized in that the sensor element as absolute measuring acceleration sensor is formed. Optisches Element nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass aus zwei absolut messenden Beschleunigungssensoren Relativbeschleunigungen zwischen dem optischen Element und einem beweglichen Bezugspunkt generiert werden.Optical element according to Claim 14, characterized that of two absolute measuring acceleration sensors relative accelerations between the optical element and a movable reference point to be generated. Optisches Element nach einem der Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkungselement (10) als mechanischer Verstärker ausgebildet ist.Optical element according to one of claims 2 to 14, characterized in that the reinforcing element ( 10 ) is designed as a mechanical amplifier. Optisches Element nach einem der Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkungselement (10) als elektronischer Verstärker ausgebildet ist.Optical element according to one of claims 2 to 14, characterized in that the reinforcing element ( 10 ) is designed as an electronic amplifier. Optisches Element nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass zur Dämpfung mehrerer Freiheitsgrade des optischen Elements (1) mehrere Dämpfungseinrichtungen (2) vorgesehen sind.Optical element according to one of claims 1 to 16, characterized in that for damping a plurality of degrees of freedom of the optical element ( 1 ) a plurality of damping devices ( 2 ) are provided. Optisches Element nach einem der Ansprüche 6 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrische Leiter (3) als Spule ausgebildet ist.Optical element according to one of claims 6 to 17, characterized in that the electrical conductor ( 3 ) is formed as a coil. Fassung mit wenigstens einem optischen Element nach einem der Ansprüche 1 bis 18.Version with at least one optical element after one of claims 1 to 18. Lithographieobjektiv mit wenigstens einem optischen Element nach einem der Ansprüche 1 bis 19.Lithographic lens with at least one optical Element according to one of claims 1 to 19. Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem und mit einem Lithographieobjektiv nach Anspruch 20 zur Herstellung von Halbleiterbauelementen.Projection exposure machine with a Be illumination system and with a lithography lens according to claim 20 for the production of semiconductor devices. Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Verwendung einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 21.Process for the production of semiconductor devices using a projection exposure apparatus according to claim 21st
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