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Die
Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zum Messen eines Drucks.
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Sensoranordnungen
zum Messen eines Drucks können
einen ölgefüllten Raum
aufweisen, in dem das Sensorelement angeordnet ist. Der Raum wird
auf einer Seite von einer Membran abgeschlossen, auf die ein Druck
einwirkt. Der Druck wird über das Öl auf den
Sensor übertragen.
Die Abdichtung des ölgefüllten Raums,
insbesondere an der Seite der Membran, kann nicht vollständig gewährleistet werden.
Die Membran ist herkömmlich
an einem Gehäuseteil
aus Metall angebracht. Dieser Gehäuseteil aus Metall wird dann
an einem Gehäuseteil
aus Kunststoff angebracht, der den ölgefüllten Raum umgibt. Um die Anordnung
abzudichten, wird eine Gummidichtung zwischen dem Kunststoffgehäuse und der
Membran beziehungsweise dem Metallgehäuse angeordnet. Die Gummidichtung
kann insbesondere mit steigendem Alter eine verlässliche Abdichtung des ölgefüllten Raums
nicht sicherstellen.
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Es
ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Sensoranordnung anzugeben,
die funktionssicher arbeitet.
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Diese
Aufgabe wird gelöst
durch eine Sensoranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
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Eine
Sensoranordnung umfasst mindestens ein Sensorelement zum Messen
eines Drucks eines Mediums. Die Sensoranordnung weist einen aus
Vergussmaterial gebildeten Gehäusekörper zur
Aufnahme des mindestens einen Sensorelements auf. An dem Gehäusekörper ist
eine Membran befestigt. Die Membran umgibt zusammen mit dem Gehäusekörper einen
Hohlraum, in dem das mindestens eine Sensorelement angeordnet ist.
Der Hohlraum enthält ein
Druckübertragungsmedium.
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Der
Gehäusekörper kann
aus Kunststoff gebildet sein. Der Gehäusekörper kann einen Gehäuserahmen
und eine Abschlussplatte aufweisen. Das Sensorelement ist in dieser
Ausführungsform
mit der Abschlussplatte gekoppelt und die Membran an dem Gehäuserahmen
befestigt. Dadurch kann die Sensoranordnung relativ einfach hergestellt
werden.
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Der
Gehäusekörper kann
einstückig
ausgebildet sein. Dadurch müssen
weniger Koppelstellen gegenüber
dem Druckübertragungsmedium
abgedichtet werden. Die Sensoranordnung kann eine Klebeverbindung
umfassen, die die Abschlussplatte an dem Gehäuserahmen befestigt. Die Sensoranordnung
kann eine Schweißverbindung
umfassen, die die Abschlussplatte an dem Gehäuserahmen befestigt. So kann
die Abschlussplatte dauerhaft und gegenüber dem Druckübertragungsmedium
abgedichtet an dem Gehäuserahmen
befestigt werden.
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Die
Membran umfasst in einer Ausführungsform
ein Vergussmaterial, insbesondere einen Kunststoff. Die Membran
ist dadurch möglichst
einfach mit dem Gehäusekörper verbindbar.
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Die
Sensoranordnung kann eine Klebeverbindung umfassen, die die Membran
an dem Gehäusekörper befestigt.
Die Sensoranordnung kann eine Schweißverbindung umfassen, die die
Membran an dem Gehäusekörper befestigt.
So kann die Membran dauerhaft und gegenüber dem Druckübertragungsmedium
abgedichtet an dem Gehäusekörper befestigt
werden.
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Die
Membran kann mindestens einen Bereich aufweisen, der zur Befestigung
der Membran in den Gehäusekörper reicht.
Der mindestens eine Bereich kann eine Strukturierung aufweisen,
um die Reibung zwischen dem mindestens einen Bereich und dem Gehäusekörper zu
erhöhen.
Dadurch kann die Membran bereits während der Herstellung des Gehäusekörpers an
dem Gehäusekörper befestigt werden.
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Die
Membran und der Gehäusekörper können einstückig ausgebildet
sein. Diese Ausführungsform
weist eine besonders hohe Dichtheit gegenüber dem Druckübertragungsmedium
auf.
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Der
Gehäusekörper kann
von mindestens einer Schicht umgeben sein, die ein Metall aufweist. Die
Membran kann von mindestens einer weiteren Schicht bedeckt sein,
die ein Metall aufweist. Dadurch können der Gehäusekörper beziehungsweise die
Membran gegenüber
Umweltmedien und insbesondere einem Gaseintritt in den Hohlraum
geschützt werden.
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Der
Gehäusekörper kann
eine Ausnehmung umgeben und das mindestens eine Sensorelement eingerichtet
sein, einen Differenzdrucks zwischen der Ausnehmung und dem Hohlraum
zu messen. So kann ein Differenzdrucksensor gebildet werden.
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Weitere
Merkmale, Vorteile und Weiterbildungen ergeben sich aus den nachfolgenden
in Verbindung mit den 1 bis 4 erläuterten
Beispielen. Es zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung einer Sensoranordnung gemäß einer
Ausführungsform,
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2A bis 2D eine
schematische Darstellung einer Sensoranordnung gemäß einer
weiteren Ausführungsform,
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3 eine
schematische Darstellung einer Sensoranordnung gemäß einer
Ausführungsform, bei
der der Gehäusekörper einstückig ausgebildet
ist,
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4 eine
schematische Darstellung einer Sensoranordnung gemäß einer
Ausführungsform, die
eingerichtet ist, einen Differenzdruck zu messen.
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1 zeigt
eine Sensoranordnung 100. Ein Gehäusekörper 102 weist einen
Gehäuserahmen 106 und
eine Abschlussplatte 107 auf. An der Abschlussplatte 107 ist
ein Sensorelement 101 angeordnet, das elektrisch leitfähig mit
einem Leiterrahmen 110 gekoppelt ist. Das Sensorelement 101 ist eingerichtet,
den Druck eines Mediums zu messen. Das Sensorelement 101 umfasst
beispielsweise ein Halbleitersubstrat. Das Sensorelement 101 kann über den
Leiterrahmen 110 mit elektronischen Bauteilen gekoppelt
sein, beispielsweise einer Auswerteeinheit, die Signale des Sensorelements 101 auswertet.
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An
dem Gehäuserahmen 106 ist
eine Membran 103 befestigt. Der Gehäuserahmen 106, die
Abschlussplatte 107 und die Membran 103 umgeben
einen Hohlraum 105. Der Hohlraum 105 ist mit einem Druckübertragungsmedium 104 gefüllt. Der
Hohlraum 105 ist in einer Ausführungsform vollständig mit dem
Druckübertragungsmedium
gefüllt.
Das Druckübertragungsmedium 104 ist
in einer Ausführungsform nicht
kompressibel, das Druckübertragungsmedium 104 insbesondere
eine inkompressible Flüssigkeit, beispielsweise
ein Öl.
Das Druckübertragungsmedium 104 kann über ein
Befüllrohr 109,
das durch die Abschlussplatte 107 in den Hohlraum 105 reicht,
in den Hohlraum 105 gefüllt
werden. Das Befüllrohr 109 kann
auch an einer anderen Stelle der Sensoranordnung angeordnet sein.
Das Druckübertragungsmedium 104 kann
auch über
eine andere Form in den Hohlraum eingebracht werden, beispielsweise über ein
Loch in dem Gehäusekörper, das
später
verschlossen wird, oder bevor der Gehäusekörper verschlossen wird. Das
Befüllrohr 109 ist
nach dem Befüllen
verschlossen worden.
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Ein
Medium, dessen Druck gemessen werden soll, beziehungsweise ein Druck
der von der Sensoranordnung 100 bestimmt werden soll, wird
in Betrieb an die Membran 103 geführt und über das Druckübertragungsmedium
an das Sensorelement 101 übertragen. Die Membran weist
eine möglichst geringe
Eigensteifigkeit auf, um den Druck des zu messenden Mediums möglichst
nicht zu verfälschen.
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Der
Gehäusekörper 102 ist
aus einem Vergussmaterial gebildet, insbesondere Kunststoff. Der Gehäusekörper 102,
also der Gehäuserahmen 106 und
die Abschlussplatte 107, umfassen ein Material, dass sich
in einem Spritzgussverfahren oder einem Moldverfahren verarbeiten
lässt.
Das Vergussmaterial ist in einem Zustand viskos, so dass es in eine Form
eingebracht werden kann. Das Vergussmaterial härtet zu einem weiteren Zustand
aus, in dem es die endgültige
Form des Gehäuseköpers aufweist und
beibehält.
Der Gehäuserahmen 106 und
die Abschlussplatte 107 umfassen einen Kunststoff, beispielsweise
einen Thermoplastkunststoff, der möglichst stabil gegenüber dem
Druckübertragungsmedium
ist. Der Kunststoff ist möglichst
alterungsstabil und weist eine geringe Wärmeausdehnung auf. Das Material,
aus dem der Gehäusekörper gebildet
ist, wird von dem Druckübertragungsmedium
möglichst nicht
beschädigt
und das Druckübertragungsmedium 104 kann
möglichst
nicht in den Gehäusekörper 102 eindringen.
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Der
Gehäuserahmen 106 und
die Abschlussplatte 107 können über eine Schweißverbindung
gekoppelt sein. Die Einzelteile des Gehäusekörpers 102 können auch über eine
andere Verbindung gefügt
sein, beispielsweise über
eine Klebeverbindung. Die Außenseite
des Gehäusekörpers 102, die
auf der zum Hohlraum 105 entgegengesetzten Seite des Gehäusekörpers liegt,
kann von einer Metallschicht bedeckt werden. Diese Metallschicht,
die beispielsweise Stahl umfasst, schützt den Gehäusekörper vor Umwelteinflüssen. Die
metallische Beschichtung verhindert möglichst, dass Medien, insbesondere
Gase, in den Gehäusekörper und
den Hohlraum 105 eindringen können. So wird das Risiko, dass
Luft oder andere Gase durch den Kunststoff diffundieren und sich
im Druckübertragungsmedium
lösen,
möglichst
klein gehalten. Es kann auch ein Material für den Gehäusekörper gewählt werden, dass entsprechend
diffusionsdicht ist. Der Gehäuserahmen 106 und
die Abschlussplatte 107 können aus einem Kunststoff gefertigt
sein, der gegenüber
einem Eintritt von Gasen genügend
dicht ist, um möglichst gut
zu verhindern, dass Medien, insbesondere Gase, in den Gehäusekörper und
den Hohlraum 105 eindringen können.
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Die
Membran 103 weist einen Bereich 108 auf, der in
den Gehäuserahmen 106 geführt ist,
um die Membran an dem Gehäusekörper 102 zu
befestigen. Der Bereich 108 ist beispielsweise während eines
Spritzgussverfahrens, in dem der Gehäuserahmen 106 gefertigt
ist, direkt in den Gehäuserahmen 106 eingespritzt.
Der Bereich 108 ist strukturiert, um die Befestigung an
dem Gehäusekörper zu
verbessern. Beispielsweise ist das Ende des Bereichs 108, das
in dem Gehäuserahmen 106 endet,
umgebogen. Der Bereich 108 kann einen Widerhacken umfassen, oder
eine andere Geometrie, die die Membran an dem Gehäusekörper befestigt.
Die Membran kann in dem Bereich 108 aufgeraut sein, um
die Reibung zwischen der Membran und dem Gehäuserahmen 106 zu erhöhen. Die
Aufrauung kann über
ein Ätzen
der Oberfläche,
beispielsweise einem chemischen Ätzvorgang,
oder eine Prägung
an dem Bereich 108 angebracht sein. Die Befestigung der
Membran 103 mit dem Gehäusekörper 102 kann
zusätzlich
mit einem Dichtmaterial abgedichtet sein.
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Die
Membran 103 kann aus einem Metall gefertigt sein. Die Membran 103 kann
auch aus einem Kunststoff gefertigt sein. Die Membran ist aus einem Material
gefertigt, dass eine entsprechende Volumensteifigkeit und ein entsprechendes
E-Modul aufweist, um einen Druck möglichst unverfälscht an
das Druckübertragungsmedium 105 abgeben
zu können. Umfasst
die Membran einen Kunststoff, kann die Membran auf der dem Hohlraum 105 entgegengesetzten
Seite metallisch beschichtet sein. Die Membran 103 ist
gasdicht, um ein Diffundieren von Luft und anderen Gasen in das Öl durch
die Membran 103 zu verhindern. Die Membran umfasst dazu
einen entsprechend gasdichten Kunststoff, einen metallisch beschichteten
Kunststoff oder ist aus Metall gebildet.
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2A zeigt
eine Sensoranordnung 200, die eingerichtet ist, einen Druck
eines Mediums zu messen. Der Druck des Medi ums liegt in Betrieb
an einer Membran 203 an und wird über diese auf ein Druckübertragungsmedium 204 übertragen.
Das Druckübertragungsmedium 204 ist
in einem Hohlraum 205 eingeordnet, der von einem Gehäusekörper 202 und der
Membran 203 umgeben ist. Der Gehäusekörper 202 umfasst einen
Gehäuserahmen 206 und
eine Abschlussplatte 207. Ein Sensorelement 201 zum Messen
des Drucks, der von dem Druckübertragungsmedium 204 übertragen
wird, ist an der Abschlussplatte 207 angeordnet. Über einen
Leiterrahmen 210, der in den Hohlraum 205 reicht
und der elektrisch leitfähig
mit dem Sensorelement 201 gekoppelt ist, kann das Sensorelement 201 von
außerhalb
der Sensoranordnung elektrisch kontaktiert werden. Die Membran 203 und
der Gehäusekörper 202 beziehungsweise
der Gehäuserahmen 206 weisen eine
Verbindung 208 auf. Ein Befüllrohr 209 reicht
in den Hohlraum 205. Über
das Befüllrohr 209 ist
das Druckübertragungsmedium
in den Hohlraum 205 einfüllbar. Das Befüllrohr 209 wird
nach dem der Hohlraum 205 mit Druckübertragungsmedium 204 gefüllt ist,
verschlossen, beispielsweise verlötet.
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Der
Gehäusekörper 202 ist
aus Kunststoff gebildet. Die Membran 203 umfasst ein Material, dass
sich in einem Spritzgussverfahren oder einem Moldverfahren verarbeiten
lässt.
Das Vergussmaterial ist in einem Zustand viskos, so dass es in eine Form
eingebracht werden kann. Das Vergussmaterial härtet zu einem weiteren Zustand
aus, in dem es die endgültige
Form der Membran aufweist und beibehält. Insbesondere umfasst das
Vergussmaterial einen Kunststoff. Die Membran 203 kann
lediglich aus Kunststoff gebildet sein, sie kann lediglich aus Metall
gebildet sein oder sowohl aus Kunststoff als auch Metall. Der Gehäusekörper 202 und
die Membran 203 weisen eine genügend hohe Dichtheit gegenüber Diffusion
von Fluiden und Gasen auf, um ein Eindringen von Fluiden oder Gasen
in den Hohlraum 205 zu verhindern.
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2B zeigt
eine vergrößerte Detailansicht eines
Ausschnitts der 2A. In der gezeigten Ausführungsform
sind die Membran 203 und der Gehäuserahmen 206 einstückig ausgebildet.
Die Membran 203 und der Gehäusekörper 206 sind aus
Kunststoff gebildet. Es ist keine weitere Verbindung zwischen der
Membran 203 und dem Gehäusekörper nötig. Die Membran 203 und
der Gehäuserahmen 206 sind
von einer Metallschicht bedeckt. Die Membran 203 ist von einer
Metallschicht 211 bedeckt, die eine Dicke 213 aufweist.
Der Gehäuserahmen 206 ist
von einer Metallschicht 212 bedeckt. Die Dicke 213 der
Metallschicht 211 ist beispielsweise 25 μm. Die Metallschicht 211 und
die Metallschicht 212 können
gleich dick ausgebildet sein. Die Metallschicht 211 und
die Metallschicht 212 sind dick genug ausgebildet, um ein
Eindringen eines Gases oder einer Flüssigkeit bis zum Gehäusekörper beziehungsweise
dem Gehäuserahmen
beziehungsweise der Membran zu verhindern. Die Metallschicht 211 ist
dünn genüg ausgebildet,
um eine genügend
hohe Elastizität
der Membran zu gewährleisten.
Die Membran 203 weist eine Dicke 214 auf. Die
Dicke der Membran liegt in einem Bereich zwischen 10 und 150 μm. Vorzugsweise
liegt die Dicke 214 in einem Bereich von etwa 10 μm, wenn die
Membran 203 von einer Metallschicht bedeckt wird.
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Die
Membran 203 und der Gehäuserahmen 206 sind
beispielsweise in einem gemeinsamen Spritzgussprozess hergestellt.
Der Hohlraum, der von der Membran 203 und dem Gehäuserahmen 206 umschlossen
wird, kann mit Öl
gefüllt
sein, bevor die Abschlussplatte 207 auf den Gehäuserahmen 206 aufgebracht
wird. Beispielsweise wird im Vakuum Öl eingefüllt und daraufhin über eine
Reibschweißverbindung
die Abschlussplatte 207 an dem Gehäuserahmen 206 befestigt.
In diesem Ausführungsbeispiel muss
kein Befüllrohr 209 an
dem Gehäusekörper angeordnet
sein.
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2C zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel
der Verbindung 208. Zwischen dem Gehäuserahmen 206 und
der Membran 203 ist eine Klebeverbindung 215 angeordnet.
Die Klebeverbindung 215 befestigt die Membran 203 an
dem Gehäuserahmen 206.
Die Membran 203 ist von der Metallschicht 211 bedeckt.
Der Gehäu serahmen 206 beziehungsweise der
Gehäusekörper 202 ist
in dieser Ausführungsform
nicht von einer Metallschicht deckt. Der Gehäusekörper 202 weist einen
Kunststoff auf, der genügend
dicht gegenüber
einer Mediendiffusion ist. Beispielsweise umfasst der Gehäusekörper Polytetrafluorethylen
oder mindestens ein anderes Polymer, das genügend dicht gegenüber einer
Fluiddiffusion ist.
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Die
Membran 203 ist aus Kunststoff gebildet. Da sowohl der
Gehäuserahmen 206 als
auch die Membran 203 aus einem Kunststoff gebildet sind,
ist die Klebeverbindung 215 relativ einfach realisierbar. Durch
die metallische Schicht 211 auf der Membran 203 ist
die Membran vor einer Diffusion von Flüssigkeiten oder Gasen geschützt und
lässt sich
gut über die
Klebeverbindung 215 mit dem Gehäuserahmen 206 aus
Kunststoff koppeln. Umfasst die Membran einen Kunststoff, der genügend dicht
gegenüber
einer Diffusion von Fluiden insbesondere Gasen ist, kann auf die
metallische Schicht 211 verzichtet werden. Die Fügung zwischen
der Membran 203 und dem Gehäuserahmen 206 kann
auch anders realisiert werden, beispielsweise über eine Schweißverbindung,
insbesondere einer Reibschweißverbindung.
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2D zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel
der Verbindung 208. Die Membran 203 ist über eine
Schweißverbindung 216 an
dem Gehäuserahmen 206 befestigt.
Der Gehäuserahmen 206 ist
im gezeigten Ausführungsbeispiel
aus einem Kunststoff und von der Metallschicht 212 bedeckt.
Die Membran 203 ist im gezeigten Ausführungsbeispiel eine Membran
aus Metall, sie kann auch aus einer Keramik gebildet sein. Die Verbindung
zwischen der Membran 203 und dem Gehäuserahmen 206 kann
auch eine Klebeverbindung sein. In einem weiteren Ausführungsbeispiel
ist die metallische Membran auf der Seite des Hohlraums beziehungsweise
des Gehäusekörpers mit
einer Kunststoffschicht bedeckt. So kann die Fügung der Membran mit dem Kunststoffgehäuse vereinfacht
werden, da Kunststoff auf Kunststoff befestigt ist. Der Gehäusekörper und
die Kunststoffschicht können Polytetrafluorethylen
oder mindestens ein anderes Polymer umfassen, das genügend dicht
gegenüber
einer Fluiddiffusion ist.
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3 zeigt
eine Sensoranordnung 300. Ein Gehäusekörper 302, der einstückig aus
Kunststoff gebildet ist, umgibt einen Hohlraum 305. Der
Hohlraum 305 wird auf einer Seite nicht von dem Gehäusekörper umschlossen.
An dieser Seite wird der Hohlraum 305 von einer Membran 303 abgeschlossen.
Innerhalb des Hohlraums ist ein Sensorelement 301 angeordnet.
Das Sensorelement 301 ist mit dem Gehäusekörper 302 gekoppelt.
Das Sensorelement ist elektrisch leitfähig mit einem Leiterrahmen 310 gekoppelt.
Der Leiterrahmen 310 kann beispielsweise zu einem Steckverbinder
führen,
so dass die Sensoranordnung mit weiteren Bauelementen elektrisch leitfähig gekoppelt
werden kann, beispielsweise mit einer Auswerteschaltung. Die Auswerteschaltung
ist eingerichtet, die Signale des Sensorelements auszuwerten, beispielsweise
analoge Signale in digitale Signale zu wandeln. Die Auswerteschaltung
kann Teil einer Motorsteuerung einer Brennkraftmaschine eins Kraftfahrzeugs
sein.
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Der
Hohlraum 305, der von dem Gehäuserahmen 302 und
der Membran 303 umschlossen wird, ist mit einem Druckübertragungsmedium 304, beispielsweise
ein Öl,
gefüllt.
Die Membran 303 weist einen Bereich 308 auf, der
in den Gehäusekörper 302 reicht.
Die Membran 303 ist durch den Bereich 308 an dem
Gehäusekörper 302 befestigt.
Die Reibung zwischen der Membran an dem Bereich 308 und
dem Gehäusekörper 302 ist
so hoch, dass die Membran an dem Gehäuseköper befestigt ist. Die Membran 308 und
der Gehäusekörper 302 können beschichtet
sein, um die Dichtheit gegenüber
Fluiden und insbesondere Gasen zu erhöhen, beispielsweise mit einer
Fluoridbeschichtung oder einer Polymerbeschichtung. Der Gehäusekörper und/oder
die Membran können
Polytetrafluorethylen oder mindestens ein anderes Polymer umfassen,
das genügend
dicht gegenüber
einer Fluiddiffusion ist. Eine weitere Beschichtung, um die Dichtheit gegenüber Fluiden
und insbesondere Gasen zu erhöhen,
ist dann nicht erforderlich.
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4 zeigt
eine Sensoranordnung 400, die eingerichtet ist, einen Differenzsdruck
zu messen. Der Druck eines Mediums liegt in Betrieb an einer Membran 403 an
und wird über
diese auf ein Druckübertragungsmedium 404 übertragen.
Das Druckübertragungsmedium 404 ist
in einem Hohlraum 405 eingeordnet, der von einem Gehäusekörper 402 und der
Membran 403 umgeben ist. Ein Sensorelement 401 ist
in dem Hohlraum 405 angeordnet. Der Gehäusekörper umgibt eine Ausnehmung 406.
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Das
Sensorelement ist so in dem Hohlraum angeordnet, dass es mit einer
Seite an die Ausnehmung anschließt. Das Sensorelement steht
mit einer Seite in Kontakt mit der Ausnehmung und mit einer weiteren
Seite mit dem Druckübertragungsmedium. Das
Sensorelement ist eingerichtet, den Druckunterschied zu messen zwischen
dem Druck, der an der Membran 403 anliegt, und einem weiteren
Druck, der in der Ausnehmung vorherrscht. Durch die Sensoranordnung
kann ein Differenzdruck gemessen werden. Über einen Leiterrahmen 410,
der in den Hohlraum 405 reicht und der elektrisch leitfähig mit
dem Sensorelement 401 gekoppelt ist, kann das Sensorelement 401 von
außerhalb
der Sensoranordnung elektrisch kontaktiert werden.
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- 100
- Sensoranordnung
- 101
- Sensorelement
- 102
- Gehäusekörper
- 103
- Membran
- 104
- Druckübertragungsmedium
- 105
- Hohlraum
- 106
- Gehäuserahmen
- 107
- Abschlussplatte
- 108
- Befestigungsbereich
- 109
- Befüllrohr
- 110
- Leiterrahmen
- 200
- Sensoranordnung
- 201
- Sensorelement
- 202
- Gehäusekörper
- 203
- Membran
- 204
- Druckübertragungsmedium
- 205
- Hohlraum
- 206
- Gehäuserahmen
- 207
- Abschlussplatte
- 208
- Verbindung
- 209
- Befüllrohr
- 210
- Leiterrahmen
- 211
- Metallschicht
- 212
- Metallschicht
- 213
- Dicke
- 214
- Dicke
- 215
- Klebeverbindung
- 216
- Schweißverbindung
- 300
- Sensoranordnung
- 301
- Sensorelement
- 302
- Gehäusekörper
- 303
- Membran
- 304
- Druckübertragungsmedium
- 305
- Hohlraum
- 308
- Befestigungsbereich
- 310
- Leiterrahmen
- 400
- Sensoranordnung
- 401
- Sensorelement
- 402
- Gehäusekörper
- 403
- Membran
- 404
- Druckübertragungsmedium
- 405
- Hohlraum
- 406
- Ausnehmung
- 410
- Leiterrahmen