DE102008028708A1 - Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops - Google Patents

Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops Download PDF

Info

Publication number
DE102008028708A1
DE102008028708A1 DE102008028708A DE102008028708A DE102008028708A1 DE 102008028708 A1 DE102008028708 A1 DE 102008028708A1 DE 102008028708 A DE102008028708 A DE 102008028708A DE 102008028708 A DE102008028708 A DE 102008028708A DE 102008028708 A1 DE102008028708 A1 DE 102008028708A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detector
light source
reference light
specific
long
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102008028708A
Other languages
English (en)
Inventor
Dieter Huhse
Mirko Liedtke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss MicroImaging GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss MicroImaging GmbH filed Critical Carl Zeiss MicroImaging GmbH
Priority to DE102008028708A priority Critical patent/DE102008028708A1/de
Publication of DE102008028708A1 publication Critical patent/DE102008028708A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/0295Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Empfindlichkeit hochempfindlicher Lichtdetektoren, beispielsweise Photovervielfacher, nimmt mit zunehmender Betriebsdauer ab. Dadurch sind gleichartige Messungen mit demselben Detektor, die zu unterschiedlichen Zeiten durchgeführt werden, nicht quantitativ vergleichbar. Um die Messergebnisse vergleichbar zu machen, ist es bekannt, den Detektor zu kalibrieren, was bisher entweder ungenau oder aufwendig ist. Die Erfindung soll die Kalibrierung mit geringem Aufwand so ermöglichen, dass unterschiedliche Messungen mit hoher Genauigkeit miteinander vergleichbar sind. Indem der Detektor mittels einer hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung langzeitstabilen Referenzlichtquelle beleuchtet und währenddessen ein Messsignal des Detektors als referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert aufgenommen wird, kann mit geringem Aufwand und hoher Genauigkeit ein aktueller Empfindlichkeitswert bestimmt werden. Die Empfindlichkeit wird direkt durch die Signalstärke des Detektors relativ zur quasi konstanten Lichtintensität der Referenzlichtquelle wiedergegeben. Die Kalibrierung kann auch vollständig automatisch durchgeführt werden. Laser-Scanning-Mikroskopie.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops (LSM).
  • Hochempfindliche Lichtdetektoren wie Photovervielfacher (engl. „photomultiplier”; PMT), insbesondere aus GaAsP, oder Lawinenphotodioden (engl. „avalanche photodiode”; APD) weisen nur eine begrenzte Lebensdauer auf. Mit zunehmender Betriebsdauer nimmt ihre Empfindlichkeit ab. Aufgrund des Rückgangs der Detektorempfindlichkeit mit der Detektorbetriebsdauer sind gleichartige Messungen (beispielsweise an derselben Probe), die zu unterschiedlichen Zeiten mit demselben Detektor durchgeführt werden, nicht mit ausreichender Genauigkeit quantitativ vergleichbar.
  • Auch an sich gleichartige Messungen, die jedoch mit verschiedenen LSM derselben Baureihe (also mit verschiedenen Detektoren) durchgeführt werden, sind aufgrund von produktionsbedingten Schwankungen der Empfindlichkeit zwischen den Detektoren nicht mit ausreichender Genauigkeit quantitativ vergleichbar. Das gilt auch für Messungen mit mehreren Detektoren in demselben LSM, sei es in mehreren Detektionskanälen oder mittels eines ortsauflösenden Detektors, der mehrere Detektionselemente in demselben Detektionskanal aufweist. Darüber hinaus können äußere Einflüsse, beispielsweise unterschiedliche Umgebungsbedingungen, die Empfindlichkeit der Detektoren und damit die Vergleichbarkeit zweier Messungen (sowohl mit demselben LSM zu verschiedenen Zeitpunkten als auch mit zwei unterschiedlichen LSM oder Detektoren) beeinträchtigen.
  • Wäre die tatsächliche Detektorempfindlichkeit während einer Messung bekannt, so könnten die Messwerte durch eine entsprechend Korrektur normalisiert werden. Dadurch würden verschiedene Messungen (desselben oder verschiedener Detektoren) miteinander vergleichbar. Es ist jedoch aufwendig, die tatsächlich vorliegende Empfindlichkeit bei einem in einem LSM eingebauten Detektor zu messen.
  • Um eine bessere Vergleichbarkeit der Messergebnisse zu erreichen, ist es bekannt, einen LSM-Detektor mittels einer Referenzprobe bekannter Beschaffenheit zu kalibrieren, beispielsweise aus WO 98/49537 . Die Referenzprobe wird mittels eines Lasers des LSM mit einer grob definierten Lichtintensität bestrahlt. Am Detektor wird währenddessen ein detektorspezifisches Referenzsignal aufgenommen. Aus einer Relation zwischen der Stärke des Referenzsignals und der eingestrahlten Lichtintensität in Verbindung mit der Probenbeschaffenheit kann die derzeitige Empfindlichkeit des Detektors ermittelt werden. Anhand dieses Empfindlichkeitswerts können die Messwerte des Detektors korrigiert werden. Dadurch sind zwar Messwerte verschiedener Detektoren oder auch desselben Detektors von verschiedenen Messzeitpunkten vergleichbar. Diese Art der Kalibrierung ist jedoch aufwendig und fehleranfällig. Zudem kann sie nicht automatisch durchgeführt werden.
  • Eine andere Möglichkeit zur Kalibrierung eines LSM-Detektors ist aus EP 1 089 061 B1 bekannt. In einem LSM ist neben einem Beleuchtungsstrahlengang und einem Detektionsstrahlengang mit einem Detektor zusätzlich ein zur Referenzmessung dienender Referenzstrahlengang vorgesehen. Aus dem Beleuchtungsstrahlengang kann Referenzlicht in den Referenzstrahlengang eingekoppelt und von dort wieder auf den Detektor im Detektionsstrahlengang geleitet werden. Zur Kalibrierung muss das Referenzlicht gleichzeitig sowohl durch den regulären Detektor als auch durch eine besondere Referenz-Detektionseinrichtung im Referenzstrahlengang aufgenommen werden. Der Referenzstrahlengang ist dementsprechend komplex. Entsprechend aufwendig ist auch der Kalibriervorgang.
  • Eine bessere Vergleichbarkeit zwischen den einzelnen lichtempfindlichen Elementen eines Photosensors hat EP 1 821 509 A2 zum Ziel. Zu diesem Zweck wird vorgeschlagen, die lichtempfindlichen Elemente mittels einer Referenzlichtquelle, beispielsweise einer Leuchtdiode, zu beleuchten und dabei die Varianzen zwischen den einzelnen lichtempfindlichen Elementen zu bestimmen. Die Varianzen stellen relative Empfindlichkeitswerte zwischen den einzelnen Sensorelementen dar. Dadurch können die Empfindlichkeitsunterschiede zwischen den Elementen des Photosensors korrigiert werden. Eine genügende Vergleichbarkeit zwischen zu verschiedenen Zeitpunkten (und unter verschiedenen Umgebungsbedingungen) durchgeführten Messungen wird durch dieses Verfahren jedoch nicht erreicht.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Kalibrierung eines LSM-Detektors mit geringem Aufwand zu ermöglichen, wobei unterschiedliche Messungen mit hoher Genauigkeit miteinander vergleichbar sein sollen.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, welches die in Anspruch 1 angegebenen Merkmale aufweist, und durch ein LSM, welches die in Anspruch 10 angegebenen Merkmale aufweist.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der zu kalibrierende Detektor mittels einer hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung langzeitstabilen Referenzlichtquelle beleuchtet und währenddessen ein Messsignal des Detektors als referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert aufgenommen und gespeichert wird. Die Erfindung wird vorzugsweise zur Kalibrierung von Photovervielfachern und Lawinenphotodioden eingesetzt.
  • Im Sinne der Erfindung ist eine Lichtquelle langzeitstabil, wenn sie eine langfristige Schwankung der optischen Ausgangsleistung von maximal 3% aufweist. Der Begriff der langfristigen Schwankung bezieht sich dabei auf Zeiträume von Jahren oder Jahrzehnten.
  • Die Verwendung einer langzeitstabilen Lichtquelle ermöglicht die Bestimmung eines aktuellen Empfindlichkeitswerts, ohne dass deren Intensität/Leistung bekannt zu sein braucht. Die Empfindlichkeit wird durch die Signalstärke des Detektors relativ zur quasi konstanten Lichtintensität der Referenzlichtquelle wiedergegeben. Die nahezu konstante Lichtintensität der Referenzlichtquelle am Ort des Detektors (gewährleistet durch die Langzeitstabilität der Lichtquelle) dient dabei gleichsam als Maßstab für die Detektorempfindlichkeit. Voraussetzung für die Vergleichbarkeit ist lediglich, dass bei jeder Referenzmessung derselbe Messzustand des Detektors und dieselbe Referenzlichtquelle verwendet werden und dass der Strahlengang, über den der Detektor mit der Referenzlichtquelle beleuchtet wird, immer identisch ist.
  • Ein besonderer Referenzstrahlengang ist nicht erforderlich, das Kalibrierverfahren selbst ist außerdem einfach. Beispielsweise kann die Referenzlichtquelle mit geringem Aufwand anstelle einer Probe in einer definierten Position vor dem Mikroskopobjektiv angeordnet werden, um den Detektor durch das Objektiv und den weiteren Detektionsstrahlengang zu beleuchten, und die automatische Referenzmessung ausgelöst werden.
  • Die Kalibrierung kann auch vollständig automatisch durchgeführt werden, beispielsweise zu festgelegten Zeitpunkten vor und/oder nach einer regulären Messung, wenn das Licht der Referenzlichtquelle entweder im Verlauf des regulären Detektionsstrahlengangs zum Detektor eingekoppelt wird, beispielsweise mittels eines Strahlvereinigers, oder wenn die Referenzlichtquelle neben einem Ende des Detektionsstrahlengangs im Bereich des Detektors so angeordnet ist, dass sie den Detektor unter einem kleinen Winkel zum Detektionsstrahlengang beleuchtet. Die letztgenannte Alternative hat zusätzlich den Vorteil, dass die Kalibrierung unabhängig von der aktuellen Konfiguration des Detektionsstrahlengangs ist, beispielsweise hinsichtlich der Position von Filtern. Die Referenzlichtquelle kann dabei fest im LSM platziert oder in einem externen Lichtmodul angeordnet sein, das über einen Lichtwellenleiter nach Bedarf oder permanent an das LSM anschließbar ist.
  • Besonders bevorzugt sind Ausführungsformen, in denen die hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung langzeitstabile Referenzlichtquelle hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung auch kurzzeitstabil ist. Die Kurzzeitstabilität hat den Vorteil, dass die Referenzmessung nur wenig Zeit beansprucht, beispielsweise 0,1 s oder weniger, da sie dann nicht durch kurzzeitige Schwankungen der Lichtintensität beeinträchtigt wird. Außerdem sind die Referenzmessung und in der Folge die Empfindlichkeitskorrektur der Messwerte dadurch mit hoher Genauigkeit möglich.
  • Im Sinne der Erfindung ist eine Lichtquelle kurzzeitstabil, wenn sie eine kurzfristige Schwankung der optischen Ausgangsleistung von maximal 0,5% aufweist. Der Begriff der kurzfristigen Schwankung bezieht sich dabei auf Zeiträume von Sekunden oder Minuten.
  • Der referenzlichtquellenspezifische und detektorspezifische Referenzwert wird beim regulären Messen verwendet, indem der Detektor in einem Messzustand, der in einem Bereich eines bei der Ermittlung des Referenzwerts verwendeten Messzustands liegt, betrieben (beispielsweise wird im Falle eines PMT bei der Referenzmessung dieselbe Hochspannung angelegt wie bei den regulären Messungen), ein Messwert aufgenommen, anhand des Referenzwerts korrigiert und gespeichert wird. Die Korrektur kann unmittelbar während der Messung geschehen, beispielsweise durch analoge oder digitale Signalverarbeitung, oder im Nachhinein, beispielsweise mittels Software. Die korrigierten Messwerte sind dann mit hoher Genauigkeit miteinander vergleichbar, auch wenn sie aus Messungen zu unterschiedlichen Zeitpunkten und mit unterschiedlichen Umgebungsbedingungen stammen, weil sie alle auf dasselbe Referenzniveau normalisiert sind, nämlich auf die Antwort des Detektors auf die kurz- und langzeitkonstante Lichtintensität der Referenzlichtquelle.
  • Der referenzlichtquellenspezifische und detektorspezifische Referenzwert erlaubt es auch, einen Austauschzeitpunkt für den Detektor zu ermitteln. Dazu ist es zweckmäßig, den Referenzwert mit einem vorgegebenen Schwellwert zu vergleichen, und bei Unterschreiten des Schwellwerts eine Warnung oder Aufforderung zum Austausch auszugeben. Es ist auch möglich, mehrere in genügenden zeitlichen Abständen ermittelte Referenzwerte in die Zukunft zu extrapolieren. Auf diesem Wege kann prognostiziert werden, wann die Empfindlichkeit des Detektors den Schwellwert unterschreiten wird. Dies kann dazu dienen, rechtzeitig einen Wartungstermin zu planen.
  • Als lang- und kurzzeitstabile Lichtquelle wird vorzugsweise eine temperaturstabilisierte und entweder stromstabilisierte oder lichtgeregelte Leuchtdiode verwendet. Leuchtdioden weisen eine deutlich höhere Lebensdauer auf als übliche LSM-Detektoren. Ihre Lichtintensität unterliegt dabei sowohl kurz- als auch langfristig nur geringen Schwankungen. Sie können daher über die gesamte Lebensdauer eines LSM-Detektors als Referenzlichtquelle verwendet werden.
  • Zudem sind Leuchtdioden kostengünstig verfügbar und weisen einen hohen Wirkungsgrad auf. Anstelle von Leuchtdioden kann als Referenzlichtquelle auch jede andere hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung lang- und kurzzeitstabile Lichtquelle verwendet werden. Beispielsweise kann anstelle einer Leuchtdiode auch eine temperaturstabilisierte und entweder stromstabilisierte oder lichtgeregelte Laserdiode verwendet werden, wenn diese hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung lang- und kurzzeitstabil ist und entsprechende Abschwächungsmittel vorgesehen sind, um eine Schädigung des Detektors durch die hohe Lichtintensität zu vermeiden.
  • In besonderen Ausführungsformen kann die Leuchtdiode als Mehrfarbenleuchtdiode ausgebildet sein. Das ermöglicht eine Kalibrierung mit mehreren Referenzwellenlängen bei geringem Platzbedarf der Referenzlichtquelle.
  • Vorteilhafterweise ist eine Emissionswellenlänge der Leuchtdiode an eine Empfindlichkeitskurve des Detektors angepasst. Dadurch ist die Bestimmung des Referenzwerts und damit die spätere Messwertkorrektur mit hoher Genauigkeit möglich.
  • Um verschiedene Arbeitspunkte auf der Kennlinie des Detektors nutzen zu können ist es von Vorteil, die Folge der Verfahrensschritte mehrfach durchzuführen, wobei der Detektor bei jeder Durchführung in einem unterschiedlichem Messzustand betrieben wird und für jeden Messzustand ein separater referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert aufgenommen und gespeichert wird. An Arbeitspunkten, die zwischen den Messzuständen der separaten Referenzwerte liegen, können die Referenzwerte zur Korrektur interpoliert werden. Diese Art der Kalibrierung ist vorteilhaft, wenn die Kalibrierung in kurzen zeitlichen Intervallen von beispielsweise einer Stunde wiederholt durchgeführt wird. Es ist dann nicht erforderlich, bei der eigentlichen Messung genau denselben Messzustand des Detektors zu verwenden wie bei der Referenzmessung. Auch braucht bei den wiederholten Referenzmessungen nicht immer exakt dieselbe Menge von Messzuständen eingestellt zu werden.
  • Das erfindungsgemäße Laser-Scanning-Mikroskop weist zweckmäßigerweise einen Detektor, einen Laser und daneben eine langzeitstabile und vorzugsweise auch kurzzeitstabile Referenzlichtquelle auf, die zur Beleuchtung des Detektors während eines Kalibrierdurchgangs angeordnet ist. Der Laser dient als reguläre Messlichtquelle. Es können auch mehrere Laser als reguläre Messlichtquellen vorhanden sein. Die Referenzlichtquelle ist von allen Messlichtquellen verschieden. Zweckmäßigerweise ist das LSM mit einer Steuereinheit ausgerüstet, die zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Kalibrier- und eines erfindungsgemäßen Betriebsverfahrens eingerichtet ist. Der Benutzer hat somit die Wahl, welches Verfahren durchgeführt werden soll. Insbesondere kann die Kalibrierung vorteilhafterweise vor und/oder nach jeder Messung oder im Zeitintervall eingestellt werden.
  • Die Erfindung umfasst auch ein Computerprogramm, das zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens eingerichtet ist sowie eine ebensolche Steuereinheit.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
  • In den Zeichnungen zeigen:
  • 1 ein Laser-Scanning-Mikroskop mit Referenzlichtquelle,
  • 2 ein Ablaufdiagramm des Kalibrierverfahrens,
  • 3 ein Ablaufdiagramm des Messverfahrens,
  • 4 eine alternative Anordnung von Referenzlichtquelle und Detektor und
  • 5 eine weitere mögliche Anordnung von Referenzlichtquelle und Detektor.
  • In allen Zeichnungen haben übereinstimmende Teile gleiche Bezugszeichen.
  • 1 zeigt ein Laser-Scanning-Mikroskop 1 in einer schematischen Darstellung. Es besteht aus einer Mikroskopeinheit M und einer Scaneinheit S, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung Z aufweisen, sowie aus einem Lasermodul L. Die Scaneinheit S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskops als auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskops angeschlossen werden. Die Mikroskopeinheit M weist ein Objektiv 4 und eine Tubuslinse 9 zum Beobachten einer Probe 5 auf.
  • Die Scaneinheit S enthält eine Kollimationsoptik 16, einen Umlenkspiegel 17, ein Scanning-Objektiv 22, einen Scanner 23, einen Hauptstrahlteiler 24 und eine Abbildungsoptik 25 für die Detektion. Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein Überwachungsstrahlengang in Richtung einer Monitordiode 19, der ein Neutralfilter 20 vorgeordnet ist, ausgeblendet. Ein Umlenkspiegel 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die von der Probe 5 kommende Strahlung in Richtung der senkrecht zur optischen Achse verstellbaren und in ihrem Durchmesser veränderbaren Lochblende 29, der ein Emissionsfilter 30 und einen geeigneten Detektor 31, beispielsweise ein Photovervielfacher, nachgeordnet sind. Eine externe Steuereinheit 34 ist mit lokalen Ansteuerungseinheiten 10, 35 und 38 für die Monitordiode 19, eine Referenzlichtquelle 11 beziehungsweise die verstellbare Lochblende 29 verbunden. Die Referenzlichtquelle 11 ist eine Leuchtdiode, deren Emissionsspektrum mit der Empfindlichkeitskurve des Detektors 31 nahezu übereinstimmt. Leuchtet sie, wird ihr Licht durch eine Optik 12 kollimiert und über den Hauptstrahlteiler 24 in den Detektionsstrahlengang zum Detektor 31 eingekoppelt. Die Referenzlichtquelle 11 ist mit einer Temperaturstabilisierung (nicht abgebildet) versehen und wird von der Ansteuerungseinheit 10 stromgeregelt. Dadurch weist ihre optische Ausgangsleistung nahezu keine kurz- oder langfristigen Schwankungen auf. Die Referenzlichtquelle 11 kann von der Steuereinheit 34 aus ein- und ausgeschaltet werden.
  • Das separate Lasermodul L enthält einen Laser 13 als Messlichtquelle, dessen Laserstrahl nach dem Austreten aus dem Diodenlaser 13 zunächst frei propagiert und durch ein akustooptisches Bauelement 32, beispielsweise ein AOTF, hindurchtritt. Der Laserstrahl wird dann durch eine Koppeloptik 33 und eine Lichtleitfaser 14 in den Beleuchtungsstrahlengang der Scaneinheit S eingekoppelt. Zweckmäßigerweise werden die Referenzlichtquelle 11 und die Messlichtquelle 13 nur alternativ eingeschaltet. Zu diesem Zweck kann der Laserstrahl mittels des akustooptischen Bauelements 32 ausgeblendet werden.
  • Die Steuereinheit 34 führt eine Kalibrierung des Detektors 31 auf manuelle Anweisung des Benutzers oder automatisch vor einem Messdurchgang aus. Es ist auch denkbar, die Kalibrierung stattdessen nach einem Messdurchgang oder davor und danach auszuführen. Alternativ oder zusätzlich kann die Kalibrierung intervallweise erfolgen, beispielsweise stündlich.
  • Der Detektor 31 gibt ein elektrisches Signal IMess, dass für eine gegebene Hochspannung proportional zur einfallenden Lichtleistung PMess ist. Hinzukommt ein Dunkelstrom I0: IMess = I0 + k·PMess.
  • Der Faktor k hängt von der Hochspannung, mit welcher der beispielhafte PMT-Detektor 31 betrieben wird, und der Nutzungsdauer sowie den Umgebungsbedingungen und der Vorgeschichte des Detektors 31 ab.
  • Im Fall der erfindungsgemäße Referenzmessung mit der zwar unbekannten, aber quasi konstanten optischen Leistung PLED der Referenzlichtquelle 11 ergibt sich: ILED = I0 + k·PLED.
  • Der unbekannte Faktor k kann anhand der Referenzmessung ersetzt werden, so dass sich für eine kalibrierte Messung ergibt: PMess = PLED·(IMess – I0)/(ILED – I0).
  • Ist der absolute Wert der optischen Leistung nicht relevant, kann PLED beispielsweise willkürlich auf den Wert Eins gesetzt werden, so dass sich für einen individuellen Detektor über alle Zeiten vergleichbare Messungen ergeben. Um Messungen zwischen unterschiedlichen Detektoren vergleichen zu können, wird PLED einmalig bestimmt, beispielsweise bei der Produktion des LSM 1. Dadurch ist eine absolute Empfindlichkeitskorrektur möglich. Die normalisierten Messwerte mehrerer auf diese Weise kalibrierter Detektoren 31 sind dadurch mit hoher Genauigkeit quantitativ vergleichbar.
  • Die Referenzmessung (Kalibrierung) kann beispielsweise unmittelbar vor und/oder nach jedem Messzyklus, oder aber auch nur in bestimmten Abständen erfolgen, beispielsweise einmal pro Stunde oder jeweils nur beim Anschalten des Gerätes. Zur Referenzkorrektur werden am zweckmäßigerweise der Dunkelstrom I0 sowie das Referenzsignal ILED (also die Antwort des Photodetektors auf das bekannte Referenzsignal der LED) bestimmt. Das Referenzsignal sollte dabei möglichst für die gleiche Hochspannung am PMT wie bei der späteren eigentlichen Messung aufgenommen werden. Alternativ (beispielsweise, wenn nur einmal pro Stunde kalibriert werden soll) kann die Referenz auch für eine begrenzte Anzahl verschiedener Hochspannungen bestimmt werden. Für die Zwischenwerte wird dann der Referenzwert durch eine geeignete Formel (linear, quadratisch oder vorzugsweise exponentiell) interpoliert. Um über einen großen Bereich von Hochspannungen die Referenzmessung zu ermöglichen, ohne den sinnvollen Messbereich des Detektors 31 zu verlassen, kann man auch mit einer der jeweiligen Hochspannung angepassten Referenzlichtleistung eine Referenzmessung durchführen.
  • In 2 sind die Schritte des Kalibrierverfahrens schematisch dargestellt. Zur Referenzmessung wird der Detektor 31 mit dem Licht der temperaturstabilisierten Referenzleuchtdiode 11 beleuchtet. Der Strom durch die LED 11 wird von der Ansteuerungseinheit 10 mittels einer geeigneter elektronischen Schaltung konstant gehalten, und die Antwort des Detektors 31 auf dieses bekannte Lichtsignal wird bestimmt und als referenzlichtquellen- und detektorspezifischer Referenzwert gespeichert. Dies kann für mehrere Arbeitspunkte auf der Kennlinie des Detektors 31 erfolgen, beispielsweise im Hochspannungsbereich von 500 V bis 1000 V in Schritten von 50 V oder 100 V. An jedem Arbeitspunkt wird ein referenzlichtquellen- und detektorspezifischer Referenzwert ermittelt und gespeichert. Die Kalibrierung kann zusätzlich auch mit einer oder mehreren anderen Lichtintensitäten der Referenzlichtquelle 11 durchgeführt werden. Es liegen dann mehrere Lichtintensitäts-/Antwortsignal-Wertepaare für jeden Arbeitspunkt vor.
  • 3 zeigt die Schritte einer regulären Messung. Mit dem im Kalibrierdurchgang erhaltenen, referenzlichtquellen- und detektorspezifischen Referenzwert ILED (oder auch mehreren Lichtintensitäts-/Antwortsignal-Wertepaaren) können die Messwerte IMess des Detektors 31 entsprechend der jeweiligen, den derzeitigen äußeren Umständen (Temperatur, Alter des Detektors usw.) entsprechenden Empfindlichkeit des Detektors 31 normalisiert werden. Damit die Messungen des LSM 1 untereinander vergleichbar sind, erfolgt die Normalisierung gemäß: PMess = (IMess – I0)/(ILED – I0).
  • In 4 ist eine alternative Ausführungsform dargestellt. Die Referenzlichtquelle 11 ist neben einem Ende des Detektionsstrahlengangs im Bereich des Detektors 31 so angeordnet, dass sie den Detektor 31 unter einem kleinen Winkel zum Detektionsstrahlengang von beispielsweise 10° beleuchtet. Bis zu 30° sind alternativ möglich. Die Optik 12 bildet die Referenzlichtquelle 11 auf den Detektor 31 ab. In alternativen Ausführungsformen (nicht abgebildet) kann auf eine Optik 12 verzichtet werden, wenn sich (wie bei einer LED) die Abstrahlcharakteristik der Referenzlichtquelle 11 mit zunehmendem Betriebsalter nicht ändert.
  • 5 zeigt eine weitere Ausführungsform, bei welcher die Referenzlichtquelle 11 in die Scaneinheit S integriert ist. Hier wird der permanent schräggestellte Emissionsfilter 30 benutzt, um das Licht der Referenzlichtquelle 11 unter den gleichen Bedingungen wie das Probenlicht auf den Detektor 31 zu lenken. Dadurch werden mögliche Fehler aufgrund verschiedener Einfallswinkel von Probenlicht und Referenzlicht ausgeschlossen. Zweckmäßigerweise muss der Emissionsfilter das gesamte Spektrum der LED reflektieren, um Messfehler aufgrund leichter spektraler Änderungen des Referenzlichts auszuschließen.
  • In alternativen Ausführungsformen (nicht abgebildet) kann die Referenzlichtquelle 11, beispielsweise einschließlich ihrer Ansteuerungseinheit 10, in einem separaten Modul (nicht abgebildet) angeordnet sein, das mittels eines Lichtwellenleiters an die Scaneinheit S angebunden ist. Das Referenzlicht kann dann entweder durch Einkopplung in den Detektionsstrahlengang, beispielsweise wie in 1 und 5, oder direkt, beispielsweise wie in 4, zum Detektor 31 geleitet werden.
  • Es ist auch denkbar, dass die Referenzlichtquelle 11 in einem Spezialaufsatz für das Mikroskopobjektiv 4 angeordnet ist. Durch einen solchen Aufsatz sind die Position der Referenzlichtquelle 11 und damit der Strahlengang des Referenzlichts zum Detektor 31 mechanisch definiert und daher mit geringem Aufwand genau rekonstruierbar. Allerdings ist ein solcher Aufsatz nur zur manuellen Kalibrierung geeignet.
  • In weiteren Ausführungsformen (nicht dargestellt) kann das Licht der Referenzlichtquelle 11 über einen ein- und ausklappbaren Spiegel auf den Detektor 31 geleitet werden (ähnlich wie in 4, aber ohne spektrale Änderungen durch den Emissionsfilter 30).
  • Anstelle einer einzelnen Referenzlichtquelle 11 können auch mehrere verwendet werden, beispielsweise verschiedenfarbige Leuchtdioden. Da beispielsweise Photovervielfacher spektral unterschiedlich altern (die Empfindlichkeit sinkt beispielsweise am stärksten im roten Spektralbereich), kann der Detektor 31 nacheinander mit den einzelnen Farben beleuchtet werden. Dies kann auch für mehrere Arbeitspunkte und/oder mehrere Lichtintensitäten durchführt werden. Anstelle mehrerer Leuchtdioden mit verschiedenen Emissionswellenlängen kann auch eine Mehrfarbenleuchtdiode verwendet werden.
  • Die Erfindung ist nicht nur für GaAsP-Photovervielfacher geeignet, sondern für alle PMT in allen LSM-Systemen, also auch Multialkali-PMT usw. Sie ist auch für andere Detektoren, beispielsweise CCD-Kameras geeignet, um beispielsweise das System zu bewerten und Koppeleffizienzen zu überwachen.
  • 1
    Laser-Scanning-Mikroskop
    4
    Objektiv
    5
    Probe
    9
    Tubuslinse
    10
    Ansteuerungseinheit für Referenzlichtquelle 11
    11
    Referenzlichtquelle
    12
    Optik
    13
    Laser
    14
    Lichtleitfaser
    15
    Lichtmodulationssektion
    16
    Kollimationsoptik
    17
    Umlenkspiegel
    18
    Teildurchlässiger Spiegel
    19
    Monitordiode
    20
    Neutralfilter
    22
    Scanning-Objektiv
    23
    Scanner
    24
    Hauptstrahlteiler
    25
    Abbildungsoptik
    27
    Umlenkprisma
    29
    Lochblende
    30
    Emissionsfilter
    31
    Empfängerelement
    32
    Akustooptisches Bauelement
    33
    Einkoppeloptik
    34
    Zentrale Steuereinheit
    35
    Ansteuerungseinheit für Monitordiode 19
    38
    Ansteuerungseinheit für Lochblende 29
    M
    Mikroskopeinheit
    S
    Scaneinheit
    L
    Lasermodul
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - WO 98/49537 [0005]
    • - EP 1089061 B1 [0006]
    • - EP 1821509 A2 [0007]

Claims (15)

  1. Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors (31) eines Laser-Scanning-Mikroskops (1), gekennzeichnet durch Ausführung folgender Schritte: – Beleuchten des Detektors (31) mittels einer hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung langzeitstabilen Referenzlichtquelle (11) und Aufnehmen eines Messsignals des Detektors (31) als referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert, – Speichern des Referenzwerts.
  2. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Folge der Verfahrensschritte mehrfach durchgeführt wird, wobei der Detektor (31) bei jeder Durchführung in einem unterschiedlichem Messzustand betrieben wird und für jeden Messzustand ein separater referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert aufgenommen und gespeichert wird.
  3. Betriebsverfahren für ein Laser-Scanning-Mikroskop (1) mit einem Detektor (31), wobei ein referenzlichtquellenspezifischer und detektorspezifischer Referenzwert verwendet wird und folgende Schritte ausgeführt werden: – Betreiben des Detektors (31) in einem Messzustand der in einem Bereich eines bei der Ermittlung des Referenzwerts verwendeten Messzustands liegt, – Aufnehmen eines Messwerts, – Korrigieren des Messwerts anhand des Referenzwerts und – Speichern des korrigierten Messwerts.
  4. Laser-Scanning-Mikroskop (1) mit einem Detektor (31), einem Laser (13) und einer langzeitstabilen Referenzlichtquelle (11), die zur Beleuchtung des Detektors (31) während eines Kalibrierdurchgangs angeordnet ist.
  5. Laser-Scanning-Mikroskop (1) mit einer Steuereinheit (34), die eingerichtet ist zur Durchführung eines Verfahrens zur Kalibrierung nach einem der Ansprüche 1 bis 2 und zur Durchführung eines Betriebsverfahrens nach Anspruch 3.
  6. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Detektor (31) ein Photovervielfacher oder eine Lawinenphotodiode ist.
  7. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung langzeitstabile Referenzlichtquelle hinsichtlich ihrer optischen Ausgangsleistung auch kurzzeitstabil ist.
  8. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die langzeitstabile Referenzlichtquelle (11) eine langfristige Schwankung der optischen Ausgangsleistung von maximal 3% oder die lang- und kurzzeitstabile Referenzlichtquelle (11) eine kurzfristige Schwankung der optischen Ausgangsleistung von maximal 0,5% und eine langfristige Schwankung der optischen Ausgangsleistung von maximal 3% aufweist.
  9. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die lang- und kurzzeitstabile Referenzlichtquelle (11) eine temperaturstabilisierte und entweder stromstabilisierte oder lichtgeregelte Leuchtdiode ist.
  10. Gegenstand nach Anspruch 9, wobei eine Emissionswellenlänge der Leuchtdiode an eine Empfindlichkeitskurve des Detektors (11) angepasst ist.
  11. Gegenstand nach Anspruch 9 oder 10, wobei die Leuchtdiode eine Mehrfarbenleuchtdiode ist.
  12. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Licht der Referenzlichtquelle (11) beim Beleuchten in einen regulären Detektionsstrahlengang zum Detektor (31) einkoppelbar ist oder eingekoppelt wird oder neben einem Ende des Detektionsstrahlengangs im Bereich des Detektors (31) so angeordnet ist, dass sie den Detektor (31) unter einem kleinen Winkel zum Detektionsstrahlengang beleuchtet.
  13. Lichtquellenspezifisches und detektorspezifisches Referenzsignal, ermittelt in einem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2.
  14. Computerprogramm, eingerichtet zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Verfahrensansprüche.
  15. Steuereinheit, programmtechnisch eingerichtet zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Verfahrensansprüche.
DE102008028708A 2008-06-17 2008-06-17 Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops Withdrawn DE102008028708A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008028708A DE102008028708A1 (de) 2008-06-17 2008-06-17 Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008028708A DE102008028708A1 (de) 2008-06-17 2008-06-17 Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102008028708A1 true DE102008028708A1 (de) 2009-12-24

Family

ID=41334813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102008028708A Withdrawn DE102008028708A1 (de) 2008-06-17 2008-06-17 Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102008028708A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103398779A (zh) * 2013-07-11 2013-11-20 华北水利水电大学 一种恒照度透射色敏测量装置
CN107063092A (zh) * 2017-06-05 2017-08-18 北京理工大学 一种大视场快速扫描的双光源同轴标定系统及调整方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049537A1 (en) 1997-04-25 1998-11-05 Akzo Nobel N.V. Photobleachable luminescent layers for calibration and standardization in optical microscopy
US6583424B2 (en) * 2001-06-25 2003-06-24 Agilent Technologies Inc. Scanning system with calibrated detection and method
DE10228477A1 (de) * 2002-06-26 2004-01-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Spektraldetektors
EP1089061B1 (de) 1999-09-15 2006-04-19 Leica Microsystems CMS GmbH Laserscanmikroskop und Verfahren zur Referenzkorrektur bei einem Laserscanmikroskop
US7157681B1 (en) * 2003-12-16 2007-01-02 Wolfgang Tetzlaff Photomultiplier tube gain stabilization for radiation dosimetry system
EP1821509A2 (de) 2006-01-07 2007-08-22 Leica Microsystems CMS GmbH Vorrichtung, Mikroskop mit Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Photosensor-Chips

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049537A1 (en) 1997-04-25 1998-11-05 Akzo Nobel N.V. Photobleachable luminescent layers for calibration and standardization in optical microscopy
EP1089061B1 (de) 1999-09-15 2006-04-19 Leica Microsystems CMS GmbH Laserscanmikroskop und Verfahren zur Referenzkorrektur bei einem Laserscanmikroskop
US6583424B2 (en) * 2001-06-25 2003-06-24 Agilent Technologies Inc. Scanning system with calibrated detection and method
DE10228477A1 (de) * 2002-06-26 2004-01-15 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Spektraldetektors
US7157681B1 (en) * 2003-12-16 2007-01-02 Wolfgang Tetzlaff Photomultiplier tube gain stabilization for radiation dosimetry system
EP1821509A2 (de) 2006-01-07 2007-08-22 Leica Microsystems CMS GmbH Vorrichtung, Mikroskop mit Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Photosensor-Chips

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103398779A (zh) * 2013-07-11 2013-11-20 华北水利水电大学 一种恒照度透射色敏测量装置
CN103398779B (zh) * 2013-07-11 2016-01-20 华北水利水电大学 一种恒照度透射色敏测量装置
CN107063092A (zh) * 2017-06-05 2017-08-18 北京理工大学 一种大视场快速扫描的双光源同轴标定系统及调整方法
CN107063092B (zh) * 2017-06-05 2019-02-05 北京理工大学 一种大视场快速扫描的双光源同轴标定系统及调整方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19615366B4 (de) Verfahren und Einrichtung zum Nachweis physikalischer, chemischer, biologischer oder biochemischer Reaktionen und Wechselwirkungen
DE112011103113B4 (de) Reflektivitätsmessverfahren, Membrandickenmessvorrichtung und Membrandickenmessverfahren
DE2739585C2 (de) Spektrophotometer
DE102011114874B4 (de) Mikroskop umfassend eine Auswerteschaltung für einen optoelektronischen Detektor zum Aufzeichnen insbesondere von Fluoreszenzereignissen
DE10010213B4 (de) Optische Meßvorrichtung, insbesondere zur Qualitätsüberwachung bei kontinuierlichen Prozessen
EP2505973B1 (de) Handfarbmessgerät
DE102010045856A1 (de) Optisches Abbildungssystem zur multispektralen Bildgebung
DE2940325A1 (de) Strahlungsmengenmesser
EP2011092B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen untersuchung von wertdokumenten
WO1990007723A1 (de) Spektralmikroskop mit einem photometer
DE102005056663A1 (de) Spektroskop vom Lichtleitfaser-Typ und damit ausgerüstetes Spektroskopsystem
DE102009022394A1 (de) System und Verfahren zum computergestützten Durchführen mindestens eines Tests bei einem Scanmikroskop
EP0966657B1 (de) Hadamard-spektrometer
EP0174496A2 (de) Verfahren zur Bestimmung der Strahlungswellenlänge und der wellenlängenkorrigierten Strahlungsleistung monochromatischer Lichtquellen, sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102006000976A1 (de) Vorrichtung, Mikroskop mit Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Photosensor-Chips
DE10136863A1 (de) Vorrichtung zur wahlweisen Messung von insbesondere Lumineszenz- und/oder Fluoreszenzstrahlung
DE102009058807A1 (de) Sensor zur Prüfung von Wertdokumenten
DE102008028708A1 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Detektors eines Laser-Scanning-Mikroskops
EP1650589B1 (de) Mikroskop mit einer Vorrichtung zur Erkennung optischer Bauteile
DE102005024271B4 (de) Gitterspektrometersystem und Verfahren zur Messwerterfassung
DE102007061213A1 (de) Anordnung zum Bestimmen des Reflexionsgrades einer Probe
EP0670485B1 (de) Verfahren zur Bestimmung der Extinktion oder Transmission und Photometer
EP1379845A2 (de) Vorrichtung zur simultanen detektion von strahlungen unterschiedlicher wellenlänge
DE102018216213A1 (de) Lichtmesseinrichtung und Lichtmessverfahren
DE19649221A1 (de) Mehrkanal-Spektrophotometer

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH, 07745 JENA, DE

Effective date: 20130204

R012 Request for examination validly filed
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee