DE102008022237A1 - Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together - Google Patents

Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together Download PDF

Info

Publication number
DE102008022237A1
DE102008022237A1 DE102008022237A DE102008022237A DE102008022237A1 DE 102008022237 A1 DE102008022237 A1 DE 102008022237A1 DE 102008022237 A DE102008022237 A DE 102008022237A DE 102008022237 A DE102008022237 A DE 102008022237A DE 102008022237 A1 DE102008022237 A1 DE 102008022237A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
slurry
peg
sic
water
abrasion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102008022237A
Other languages
German (de)
Inventor
Hans Müller
Wolfgang Dr.-Ing. Schuldes
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Scholz Recycling Nl Erfur GmbH
Scholz Recycling Nl Erfurt GmbH
Original Assignee
Scholz Recycling Nl Erfur GmbH
Scholz Recycling Nl Erfurt GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Scholz Recycling Nl Erfur GmbH, Scholz Recycling Nl Erfurt GmbH filed Critical Scholz Recycling Nl Erfur GmbH
Priority to DE102008022237A priority Critical patent/DE102008022237A1/en
Publication of DE102008022237A1 publication Critical patent/DE102008022237A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/12Devices for exhausting mist of oil or coolant; Devices for collecting or recovering materials resulting from grinding or polishing, e.g. of precious metals, precious stones, diamonds or the like
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/007Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Treatment Of Sludge (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in a container (H1) at room temperature for acquiring electrical conductivity. A cationic flocculating agent (HS1) is also mixed together and kept homogeneous continuously by agitator. Silicon carbide is chopped with grit (P1) as pellet like filter cakes, and with additives including cast-chip, gypsum or lime. The slurry (A1) is obtained as grinding suspension from mechanical processing of silicon, glass or quartz by wire cutting technology and comprises a suspension of silicon carbide, grit and polyethylene glycol.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufbereitung einer nach der mechanischen Bearbeitung von Silizium, Glas, Keramik oder Quarz mittels Drahtschneidetechnik anfallenden Schleifsuspension (Slurry), bestehend aus einer Suspension von Siliziumcarbit (SiC), Abrieb und Polyethylenglykol (PEG).The The invention relates to a process for the preparation of a after mechanical machining of silicon, glass, ceramic or quartz grinding slurry obtained by means of wire cutting technology, consisting of a suspension of silicon carbide (SiC), abrasion and polyethylene glycol (PEG).

Beim abrasiven Trennen von harten bis sehr harten Werkstoffen mittels Präzisionsdrahtsägen werden Schleifsuspensionen, bevorzugt unter Verwendung von SiC als Schneidkörnung eingesetzt. Mit zunehmender Gebrauchsdauer wird die Schleifsuspension in seiner Schneidleistung und -qualität derart beeinträchtigt, dass es unbrauchbar wird und so als Altslurry in großen Mengen anfällt und entsorgt werden muss. Die Abgabe verbleibender, deponiepflichtiger Rückstände stellt ein großes, kostenintensives Problem dar. Die zumeist dann einzudampfenden Rückstände und erfordern eine Deponierung.At the abrasive separation of hard to very hard materials by means of Precision wire saws become grinding suspensions, preferably used by using SiC as Schneidkörnung. With increasing service life, the grinding suspension in his Cutting performance and quality are so affected, that it becomes unusable and so as Altslurry in large Quantities accrues and must be disposed of. The charge remaining, Landfilled landfills represents a large, costly problem dar. The most then evaporated residues and require a landfill.

Durch den Eintrag von Abrieb und dem kristallinen Verschleiß von SiC beim Trennsägen mit Draht steigt die Dichte der Slurry und ab einer bestimmten Höhe verändern sich die Sägeeigenschaften drastisch zu Lasten der Qualität der herzustellenden Erzeugnisse. Um eine bestimmte Konstanz im Säge-Prozessablauf zu halten, wird nach dem Stand der Technik nach jedem Sägevorgang ein technologisch festgelegter Teil des mit Fremdstoffen belasteten Slurry entfernt und frisches Slurry der Schneidflüssigkeit zugegeben. So offenbart US 5,799,643 ein derartiges Verfahren eine Mischeinrichtung zum Zumischen von frischem Slurry zu gebrauchtem Slurry, Versorgungs- und Messeinrichtungen für Schneidmittel und Schneidflüssigkeit. Nachteilig ist bei einer solchen Zumischung, dass ein definiertes Mischungsverhältnis in der erhaltenen Slurrymischung nur schwer oder nicht einstellbar ist.The introduction of abrasion and the crystalline wear of SiC during wire sawing increases the density of the slurry and, at a certain height, the sawing properties change drastically at the expense of the quality of the products to be produced. In order to maintain a certain consistency in the sawing process, according to the state of the art, after each sawing process a technologically determined part of the slurry loaded with foreign substances is removed and fresh slurry is added to the cutting fluid. So revealed US 5,799,643 such a method a mixing device for mixing fresh slurry to used slurry, supply and measuring devices for cutting means and cutting fluid. A disadvantage of such an admixture is that a defined mixing ratio in the slurrymix obtained is difficult or impossible to adjust.

In der Offenlegungsschrift DE 10032819 A1 wird ein Slurry-Management-System beschrieben, welches eine Wiederaufbereitungseinheit für Altslurry und für Schneidflüssigkeit, eine Mischeinheit mit zentraler Schneidflüssigkeitsvorlage, zur Bereitstellung von frischem Slurry und eine Slurryvorlageeinheit für die Slurrymischung sowie ein Ringleitungsversorgungssystem für die Drahtsägeeinrichtung enthält. Mit einer solchen Lösung wird unter hohem apparativem Einsatz von Trenn-, Misch- und Wägetechnik eine permanente Herstellung und Einsatz von Slurry speziell für die Anwendung beim Sägen von Halbleiterscheiben dargestellt. Die Schneidflüssigkeit wird unter Vakuum verdampft, vom Feststoffanteil getrennt und über Kondensator rückgewonnen. Der anfallende Siliziumabrieb, Metallabrieb und abgenutztes SiC werden entsorgt. Bei Verwendung von PEG als Schneidflüssigkeit ist dieses Verfahren wegen thermischer Behandlung und damit verbundenen Zerfallserscheinungen ungeeignet.In the published patent application DE 10032819 A1 A slurry management system is described which includes a recycle unit for waste slurry and for cutting fluid, a mixing unit with central cutting fluid reservoir, for providing fresh slurry, and a slurry presentation unit for the slurry mixing and a loop supply system for the wire saw. With such a solution, a permanent production and use of slurry especially for the application in the sawing of semiconductor wafers is shown under high equipment use of separation, mixing and weighing technology. The cutting fluid is evaporated under vacuum, separated from the solids and recovered via condenser. The resulting silicon abrasion, metal abrasion and worn SiC are disposed of. When using PEG as the cutting fluid, this method is unsuitable for thermal treatment and related decay phenomena.

Auch ist bekannt, Altslurry zu zentrifugieren und die rückgewonnenen Schleifkörper in frischer Schneidflüssigkeit zu dispergieren ( JP 1-316170 ). Nachteiligerweise verbleibt der Abrieb damit in der Dispersion und diese muss alsbald entsorgt werden.It is also known to centrifuge Altslurry and to disperse the recovered abrasive particles in fresh cutting fluid ( JP 1-316170 ). Disadvantageously, the abrasion thus remains in the dispersion and this must be disposed of as soon as possible.

Die Offenlegungsschrift DE 19743721 A1 beschreibt ein Verfahren zum Wiederaufarbeiten einer Schleifsuspension. Hier wird aus Altslurry durch Vakuumverdampfung oberhalb der Siedetemperatur der Schneidflüssigkeit, SiC mit Abrieb thermisch abgetrennt und die Schneidflüssigkeit kondensiert rückgewonnen. Durch Klassierverfahren wird SiC und Abrieb getrennt und das SiC nachfolgend wieder in Schneidflüssigkeit dispergiert. Auch hier reichern sich die verbrauchten SiC im System ständig an und gleichzeitig ist PEG als Schneidflüssigkeit wegen vorgeschriebener thermischer Behandlung nicht anwendbar.The publication DE 19743721 A1 describes a process for reprocessing a grinding slurry. Here is separated from Altslurry by vacuum evaporation above the boiling temperature of the cutting fluid, SiC with abrasion and thermally recovered the cutting fluid condensed. SiC and abrasion are separated by classifying and the SiC is subsequently redispersed in cutting fluid. Here, too, the consumed SiC accumulate in the system constantly and at the same time PEG is not applicable as a cutting fluid due to prescribed thermal treatment.

Aus Veröffentlichungen ist bekannt, dass es bei den in industrieller Anwendung befindlichen Technologien zur Behandlung von Altslurry letztlich zu einer teilweisen oder vollständigen Entsorgung kommt.Out Publications are known to be among those in industrial Applying technologies for the treatment of Altslurry ultimately to a partial or complete disposal comes.

Es besteht die Aufgabe mit einem Verfahren wirtschaftlich günstig große Mengen, gebrauchtes Slurry, welches als Schleif- und Schneidmittel bei der Glasbearbeitung zur Waverherstellung in der Fotovoltaikproduktion anfällt, derart aufzuarbeiten, dass eine vollständige Wiederverwendung sämtlicher Bestandteile im wirtschaftlichen Kreislauf erfolgen kann.It the task with a procedure is economically favorable large quantities, used slurry, which is used as grinding and cutting means in glass processing for wafer production in Photovoltaic production accrues to work up, that a complete reuse of all Components can be made in the economic cycle.

Slurry auf der Basis von Polyethylenglykol (PEG) und Siliziumcarbit (SiC) soll schonend getrennt und aufbereitet werden, um gleichzeitig eine rückstandsfreie und vollwertige Wiederverwendung des Polymers in der Glasindustrie als auch die Herstellung eines SiC-Zuschlagstoffes in der passenden Form für die Metallurgie, vor allem durch rückstands- und emissionsfreie technologische Verfahren, zu erreichen.slurry based on polyethylene glycol (PEG) and silicon carbide (SiC) should be gently separated and processed, at the same time one Residue-free and full-value reuse of the polymer in the glass industry as well as the production of a SiC aggregate in the right shape for metallurgy, especially through residue and emission-free technological processes, to reach.

Diese Aufgabe wird durch die in dem Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale und Verfahrensschritte gelöst.These The object is achieved by the features specified in the patent claim 1 and procedural steps solved.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.advantageous Refinements and developments of the invention will become apparent the dependent claims.

Realisiert wird die Aufgabe erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Aufarbeitung von gebrauchter, bei der mechanischen Bearbeitung von Silizium, Glas, Quarz oder Keramik verwendeten Slurry, bestehend aus einer Schneidflüssigkeit PEG in der ein Schneidkorn SiC und Abrieb dispergiert sind, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass in einem ersten Verfahrensschritt die annähernd nicht leitende Slurry durch Zugabe von Wasser und kathionischem Flockungsmittel durch übliche Filtration schonend in eine Fest- und eine Flüssigkomponente getrennt wird und in einem weitern Verfahrensschritt die Festkomponente SiC und Abrieb zerkleinert und mit Zusatzstoffen gemischt und gepresst, brikettiert oder in Formen gebracht wird.implemented the object is achieved by a method for reprocessing used, during mechanical processing consisting of silicon, glass, quartz or ceramic used slurry from a cutting fluid PEG in the a cutting grain SiC and abrasion are dispersed, which characterized is that in a first step the approximate non-conductive slurry by adding water and cationic Flocculant gently by conventional filtration in a Solid and a liquid component is separated and in one weitern process step, the solid component SiC and abrasion comminuted and mixed with additives and pressed, briquetted or in forms is brought.

Der Abrieb stammt überwiegend vom Schneidgut, wie Silizium, Glas, Quarz oder Keramik, und auch vom Schneiddraht und Schleifkorn.Of the Abrasion comes mainly from the cutting material, such as silicon, Glass, quartz or ceramic, and also from the cutting wire and abrasive grain.

Die Flüssigkomponente Recycling-PEG wird in weiteren Verfahrensschritten mittels Destillation und nachfolgender azeotroper Destillation/Absorption auf die notwendige Reinheit von 99,98 Masse-% PEG gebracht.The Liquid Component Recycling PEG is used in further process steps by distillation and subsequent azeotropic distillation / absorption brought to the necessary purity of 99.98 mass% PEG.

Im ersten Verfahrensschritt wird der Ansatz von Slurry und Wasser auf eine elektrische Leitfähigkeit von zwischen 320 und 360 μS/cm gebracht und im Verhältnis 1:1,7 bis 2,5 intensiv gemischt.in the The first step in the process involves the application of slurry and water an electrical conductivity of between 320 and 360 μS / cm brought and in the ratio 1: 1.7 to 2.5 mixed intensively.

Vorzugsweise wird separat davon der Ansatz von Wasser und kathionischem Flockungsmittel im Verhältnis 1:0,02 ebenfalls intensiv ca. 10–15 min gemischt, agglomeriert und nachfolgend mit dem Ansatz von Slurry und Wasser in einem Behälter zusammengebracht und dort mittels Rührwerk homogen gehalten. Über ein in den Behälter reichendes Tauchrohr wird der Slurry-Ansatz bevorzugt bei Raumtemperatur in eine bekannte Bandfilterpresse mit den Stufen Voreindickung und Haupteindickung eingebracht und es gelingt überraschend exakt, schonend und sauber in Festkomponente und Flüssigkomponente zu trennen.Preferably separately is the approach of water and cationic flocculant in the ratio 1: 0,02 also intensive about 10-15 mixed, agglomerated and subsequently with the batch of slurry and water in a container and there together kept homogeneous by means of a stirrer. About a in the tank reaching dip tube is the slurry approach preferably at room temperature in a known belt filter press with introduced the stages pre-thickening and main thickening and it succeeds surprisingly accurate, gentle and clean in solid component and liquid component.

Das anfallende Recycling-PEG wird überraschend als eine klare Flüssigkeit gewonnen.The accumulating recycled PEG is surprisingly clear Gained liquid.

In weitern Verfahrensschritten werden die Festkomponente SiC und Abrieb und die Flüssigkomponente PEG unabhängig voneinander in technischen Verfahren für einen jeweiligen industriellen Einsatz vorbereitet.In Further process steps are the solid component SiC and abrasion and the liquid component PEG independently in technical processes for a respective industrial Prepared for use.

Der aus der Filterpresse erhaltene Filterkuchen aus SiC und Abrieb wird intensiv gleichmäßig zerkleinert. Bevorzugt sollte dabei eine grundlegend vorhandene Agglomeratstruktur erhalten werden.Of the filter cake obtained from the filter press from SiC and abrasion is intensively crushed evenly. Preferred should while a basically existing agglomerate structure can be obtained.

Die so zerkleinerte Festkomponente wird als Zusatzstoff mit Gussspänen intensiv gemischt, dann gepresst und als stabile Formstücke Gießereien als Zuschlagstoff bereitgestellt.The so crushed solid component is used as additive with cast shavings mixed intensively, then pressed and as stable shaped pieces Foundries provided as aggregate.

Der zerkleinerten Festkomponente kann anstelle von Gussspänen aber auch ein Bindemittel, wie Gips, zugemischt und in Formen gebracht, Gießereien als Zuschlagstoff bereitgestellt werden.Of the crushed solid component may instead of cast shavings but also a binder, such as gypsum, mixed in and brought into forms, Foundries are provided as an aggregate.

Die Aufbereitung der Flüssigkomponente Recycling-PEG wird in zwei Destillations-Verfahrensstufen vorgenommen. In der ersten Stufe erfolgt unter Normaldruck oder unter Vakuum eine Eindampfung mit üblicher Technik bei bis zu 140°C über eine Zeit bis der azeotrope Punkt des binären Systems PEG-Wasser mit 97,6 Masse-% erreicht wird. In der zweiten Stufe wird als Azeotropdestillation/Absorption ein Hilfsstoff, wie Essigsäureester, oder ein Mol-Sieb, wie Ceolit-Natrium-A, verwendet. Mit diesem Verfahren wird überraschend ein PEG wiedergewonnen, bei welchem die chemischen Kettenverbindungen unbeschädigt bleiben und eine Reinheit von 99,98 Masse-% PEG erzielt wird. Dieses Produkt ist wie vorliegend in der Industrie, insbesondere der Glasindustrie, uneingeschränkt verwendbar.The Preparation of the liquid component Recycling PEG will be in made two distillation process steps. In the first stage is carried out under atmospheric pressure or under vacuum evaporation using conventional technology at up to 140 ° C over a period until the azeotropic Point of the binary system PEG water reached 97.6 mass% becomes. In the second stage is called azeotropic distillation / absorption an adjuvant, such as acetic acid ester, or a mole sieve, such as ceolite sodium A, used. This procedure is surprising recovered a PEG in which the chemical chain compounds remain undamaged and a purity of 99.98% by mass PEG is achieved. This product is as in the industry, in particular the glass industry, fully usable.

Mit den erfindungsgemäß kombinierten Verfahrensstufen zur schonenden Trennung von gebrauchter Schleifsuspension (Slurry), in die Festkomponente Siliziumcarbit (SiC) und Abrieb und die Flüssigkomponente Polyethylenglykol (PEG) und den kombinierten Verfahrensstufen zur Aufbereitung von SIC und Abrieb für die Verwendung als Zuschlagstoff für die Metallurgie und zur Aufbereitung von Recycling-PEG in ein vollwertig in der Glasindustrie wieder einsetzbares PEG.With the inventive combined process stages for gentle separation of used slurry (slurry), in the solid component silicon carbide (SiC) and abrasion and the liquid component polyethylene glycol (PEG) and the combined process stages for the preparation of SIC and abrasion for use as aggregate for the metallurgy and the processing of recycled PEG into a fully fledged reusable PEG in the glass industry.

Das erfindungsgemäße Gesamtverfahren gewährleistet in allen seinen Schritten, ein völlig rückstands- und emissionsfreies technologisches Verfahren.The guaranteed overall method according to the invention in all his steps, a completely residue-free and emission-free technological process.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Schemazeichnung 1 näher erläutert.The invention is described below with reference to the schematic drawing 1 explained in more detail.

Die Darstellung 1 zeigt den schematischen Ablauf einer Aufbereitung von Slurry in den einzelnen Verfahrensstufen.The representation 1 shows the schematic sequence of a treatment of slurry in the individual process steps.

Ausführungsbeispielembodiment

Eine Schleifsuspension (Slurry) aus der mechanischen Bearbeitung von Glas für die Waverherstellung, bestehend aus Polyethylenglykol (PEG) und Siliziumcarbit (SiC) und Abrieb soll schonend getrennt, alle Komponenten aufbereitet und einer Wiederverwendung zugeführt werden.A Slurry suspension from the mechanical processing of Glass for Waverherstellung, consisting of polyethylene glycol (PEG) and silicon carbide (SiC) and abrasion should be gently separated, all components prepared and sent for reuse become.

Während der mechanischen Bearbeitung des Glases/Siliziumblöcke wird das in der Slurry dispergierte Schneidkorn (SiC-Kristalle) mittels VA-Draht durch die Siliziumblöcke geführt und gewährleistet dort seine exakte spanende Wirkung.While mechanical processing of the glass / silicon blocks is the dispersed in the slurry cutting grain (SiC crystals) guided by the VA-wire through the silicon blocks and ensures its exact cutting effect there.

Die Slurry-Zusammensetzung beträgt: PEG 49,1 Masse-%, SiC und Abrieb- Trockensubstanz 49,89 Masse-%, Wasser 0,7 Masse-%. The slurry composition is: PEG 49.1 mass%, SiC and abrasion dry substance 49.89% by mass, water 0.7% by mass.

Für die Vorbereitung des schonenden Trennverfahrens von Slurry bei Raumtemperatur wird verbrauchtes, annähernd nicht leitfähiges Slurry (A1) in einem Behälter (H1) unter Zugabe von Wasser im Verhältnis 1:2,2 intensiv ca. 15 min gemischt und so auf eine Leitfähigkeit von ca. 330 μS/cm gebracht. In einem anderen Behälter wird Wasser mit üblichem kathionischen Flockungsmittel im Verhältnis 1:0,02 als Flockungsmittelansatz (HS1) intensiv etwa 15 min gemischt. Nachfolgend werden die beiden Ansätze zusammengeführt und in einem Behälter kontinuierlich durch ein übliches Rührwerk homogen gehalten.For the preparation of the gentle separation process of slurry at room temperature becomes spent, almost non-conductive Slurry (A1) in a container (H1) with the addition of water in the ratio 1: 2.2 intensively mixed for about 15 minutes and so on brought to a conductivity of about 330 μS / cm. In another container, water becomes common cationic flocculants in the ratio 1: 0.02 as Flocculant mixture (HS1) intensively mixed for about 15 minutes. following the two approaches are merged and in a container continuously through a common Agitator kept homogeneous.

Dieser Slurry-Ansatz wird als Emulsion (Z1) über ein Tauchrohr einer bekannten Bandfilterpresse (H2) mit den Stufen Voreindickung und Haupteindickung zugeführt und schonend festflüssig getrennt.This Slurry batch is used as emulsion (Z1) via a dip tube a known belt filter press (H2) with the stages of pre-thickening and main thickening supplied and gently solid separated.

Der erhaltene pelletartige Filterkuchen aus SiC und Abrieb (P1) wird bis auf ca. 1 mm Korngröße gleichmäßig zerkleinert und somit die Agglomeratstruktur erhalten.Of the obtained pellet-like filter cake from SiC and attrition (P1) is uniform to about 1 mm grain size crushed and thus obtained the agglomerate structure.

Dieser zerkleinerte Filterkuchen wird als Zuschlag Gussspänen im Verhältnis 1:9 intensiv zugemischt und in einer Brikettieranlage aus dem Gemisch in stabile Formstücke gepresst.This crushed filter cake is awarded as cast iron shavings in a ratio of 1: 9 mixed thoroughly and in a briquetting plant pressed out of the mixture into stable shaped pieces.

Entsprechend dem Bedarf der Metallurgie können die Formstücke als Zuschlagstoff mit SiC auch in gewünschten Rezepturen eingestellt und angefertigt werden.Corresponding The requirements of metallurgy, the fittings as an additive with SiC also in desired formulations be adjusted and made.

SiC und Abrieb können auch mit Bindemittel, beispielsweise Gips, gemischt und zu Formstücken gegossen werden.SiC and abrasion may also be with binder, for example Gypsum, mixed and poured into fittings.

Das aus der Flüssigtrennung der Bandfilterpresse gewonnene Recycling-PEG-Filtrat (Z2) wird aufbereitet und gereinigt, indem es in 2 Stufen destilliert wird.The obtained from the liquid separation of the belt filter press Recycled PEG filtrate (Z2) is treated and purified by it is distilled in 2 stages.

In der ersten Stufe wird das Recycling-PEG mittels Eindampfung/Rektifikation (H3) bei ca. 120°C unter Normaldruck so lange behandelt, bis der azeotrope Punkt des binären Systems PEG-Wasser mit 97,6 Masse-% erreicht wird. Das anfallende Wasser (HS2) wird in den Verfahrenskreislauf (Vorlagebehälter) (H1) zurückgeführt.In the first stage is the recycled PEG by evaporation / rectification (H3) treated at about 120 ° C under atmospheric pressure for so long, until the azeotropic point of the binary system is PEG-water is reached at 97.6% by mass. The accumulating water (HS2) becomes returned to the process cycle (receiver) (H1).

Anschließend wird das in dieser Form vorliegende PEG-Destillat (Z3) in einer weiteren Stufe einer Absorption (H4) zugeführt, wobei ein Mol-Sieb mit dem handelsüblichen Granulat „Ceolit-Natrium-A” eingesetzt wird, um eine Reinheit des PEG (P2) von 99,98 Masse-% für eine vollwertige Wiederverwendung des PEG in der Glasindustrie zu erreichen.Subsequently is the present in this form PEG distillate (Z3) in a further stage of absorption (H4) supplied, wherein a Mol sieve is used with the commercial granules "Ceolit sodium A", to a purity of PEG (P2) of 99.98% by mass for a achieve full reuse of the PEG in the glass industry.

Das Absorptionsgranulat ist nach seinem Einsatz durch Trocknungsbehandlung/Molsiebregenerierung (H5) ebenfalls wieder uneingeschränkt und verlustlos für den Absorptionsvorgang (H4) einsetzbar (HS3).The Absorption granulate is after its use by drying treatment / Molsiebregenerierung (H5) also again without restriction and lossless for the absorption process (H4) can be used (HS3).

In Kombination seiner Verfahrensschritte wurde das Gesamtverfahren im kleintechnischen Maßstab als schadstoff- und emissionsfrei mit vollem Erfolg erprobt.In combination of its process steps, the overall process on a small scale tested as a pollutant and emission-free with full success.

Verbrauchte Slurry wird derart aufbereitet, dass sämtliche Inhaltsstoffe und Bestandteile sehr kostengünstig in den wirtschaftlichen Kreislauf zurückgeführt werden können.spent Slurry is processed in such a way that all ingredients and components very cost-effective in the economic Circulation can be returned.

Im Kreislauf werden innerhalb des Gesamtverfahrens ebenfalls Wasser und Hilfsstoffe geführt.in the Circulation also becomes water within the overall process and auxiliaries.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list The documents listed by the applicant have been automated generated and is solely for better information recorded by the reader. The list is not part of the German Patent or utility model application. The DPMA takes over no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - US 5799643 [0003] US 5799643 [0003]
  • - DE 10032819 A1 [0004] - DE 10032819 A1 [0004]
  • - JP 1-316170 [0005] - JP 1-316170 [0005]
  • - DE 19743721 A1 [0006] DE 19743721 A1 [0006]

Claims (7)

Verfahren zur Aufbereitung von Slurry, welches als Schleifsuspension aus der mechanischen Bearbeitung von Silizium, Glas oder Quarz mittels Drahtschneidetechnik anfällt und aus einer Suspension von Siliziumcarbit (SiC), Abrieb und Polyethylenglykol (PEG) besteht, dadurch gekennzeichnet, dass die annähernd nicht leitende Slurry in einem Behälter unter Zugabe von Wasser in seiner elektrischen Leitfähigkeit auf einen Wert zwischen 320 und 360 μS/cm gebracht, so im Verhältnis 1:1,7 bis 2,5 gemischt und bei Raumtemperatur Wasser unter Zugabe eines kathionischen Flockungsmittels im Verhältnis Wasser zu Flockungsmittel 1:0,02 agglomeriert, zusammengemischt und kontinuierlich mittels Rührwerk homogen gehalten wird, danach einem üblichen schonenden fest-flüssig Trennverfahren zugeführt und getrennt in SiC und Abrieb sowie PEG, jeweils in Behälter verbracht und nachfolgend SiC mit Abrieb sowie PEG jeweils gesondert aufgearbeitet werden, indem – SIC mit Abrieb als pelletartiger Filterkuchen zerkleinert und mit Zusatzstoffen, wie Gussspäne, Gips, Kalk, intensiv gemischt und gepresst, brikettiert oder in Formen gebracht der metallurgischen Industrie bereitgestellt wird, – PEG als klare Flüssigkeit als Filtrat gewonnen und vor einem Neueinsatz in der Glasindustrie mittels Destillation und nachfolgender azeotroper Destillation/Absorption auf die notwendige Reinheit von 99,98 Masse-% PEG gebracht wird.Process for the preparation of slurry, which is obtained as a grinding suspension from the mechanical processing of silicon, glass or quartz by wire cutting technology and consists of a suspension of silicon carbide (SiC), abrasion and polyethylene glycol (PEG), characterized in that the approximately non-conductive slurry in a container with the addition of water in its electrical conductivity brought to a value between 320 and 360 μS / cm, so mixed in the ratio 1: 1.7 to 2.5 and at room temperature water with the addition of a cationic flocculant in the ratio of water to flocculant. 1 0.02 agglomerated, mixed together and kept continuously homogeneous by means of agitator, then fed to a customary gentle solid-liquid separation process and separated in SiC and attrition and PEG, each placed in containers and subsequently SiC with abrasion and PEG are each worked up separately by - SIC with abrasion as a pellet-like fil crushed and with additives, such as cast shavings, gypsum, lime, intensively mixed and pressed, briquetted or brought into forms metallurgical industry is provided, - recovered PEG as a clear liquid as a filtrate and a new use in the glass industry by distillation and subsequent azeotropic distillation / Absorption is brought to the necessary purity of 99.98% by mass PEG. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ansatz von Slurry und Wasser und separat davon der Ansatz von Wasser und kathionischem Flockungsmittel jeweils 10–15 min intensiv gemischt und nachfolgend zusammengebracht und weiter mittels Rührwerk homogen gehalten werden.Method according to claim 1, characterized in that that the approach of slurry and water and separately the approach of water and cationic flocculant each 10-15 min mixed intensively and subsequently brought together and continue be kept homogeneous by means of agitator. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Slurry-Ansatz das heißt verbrauchter Slurry, Wasser und Flockungsmittel über ein in den Behälter reichendes Tauchrohr in eine übliche Bandfilterpresse mit den Stufen Voreindickung und Haupteindickung eingebracht und schonend fest-flüssig getrennt wird.Method according to Claims 1 and 2, characterized that the slurry approach that is spent slurry, water and flocculants over a container Dip tube in a conventional belt filter press with the stages Pre-thickening and main thickening incorporated and gently separated solid-liquid becomes. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der aus der Filterpresse erhaltene Filterkuchen aus SiC und Abrieb zerkleinert, dabei die Agglomeratstruktur aber bleibend erhalten wird.Method according to claim 1, characterized in that that the filter cake obtained from the filter press of SiC and Abrasion comminuted, while maintaining the agglomerate structure but lasting becomes. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass der zerkleinerte Filterkuchen als Zusatzstoff für Gussspäne eingesetzt und als Brikett gepresst Gießereien bereitgestellt wird.Method according to claim 1, characterized that the shredded filter cake as additive for Cast shavings used and pressed as a briquette foundries provided. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass der zerkleinerte Filterkuchen mittels Bindemittel, wie Gips zu handhabbaren Formstücken verarbeitet wird.Method according to claim 1, characterized that the shredded filter cake by means of binders, such as gypsum is processed to manageable fittings. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Destillation des aus der Filterpresse erhaltenen PEG in zwei Verfahrensstufen vorgenommen wird, wobei in der ersten Stufe eine Eindampfung bei bis zu 140°C unter Normaldruck oder bei Vakuum bis der azeotrope Punkt des binären Systems PEG-Wasser (97,6 Masse-%) erreicht wird und in der zweiten Stufe als Azeotropdestillation/Absorption ein Hilfsstoff, wie Essigsäureester, oder ein Mol-Sieb, wie Ceolit-Natrium-A, eingesetzt wird.Method according to claim 1, characterized that the distillation of the PEG obtained from the filter press in two stages of the process is carried out, wherein in the first stage an evaporation at up to 140 ° C under atmospheric pressure or at vacuum until the azeotropic point of the binary system PEG water (97.6% by mass) is achieved and in the second stage as an azeotropic distillation / absorption an excipient, such as acetic acid ester, or a mole sieve such as Ceolite Sodium A is used.
DE102008022237A 2008-05-06 2008-05-06 Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together Ceased DE102008022237A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008022237A DE102008022237A1 (en) 2008-05-06 2008-05-06 Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102008022237A DE102008022237A1 (en) 2008-05-06 2008-05-06 Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102008022237A1 true DE102008022237A1 (en) 2009-11-19

Family

ID=41180284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102008022237A Ceased DE102008022237A1 (en) 2008-05-06 2008-05-06 Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102008022237A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110328562A (en) * 2019-07-30 2019-10-15 成都光明光电股份有限公司 The processing method of devitrified glass thin slice

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01316170A (en) 1988-06-13 1989-12-21 Osaka Titanium Co Ltd Cutting work method and abrasive liquid reutilizing device
US5799643A (en) 1995-10-04 1998-09-01 Nippei Toyama Corp Slurry managing system and slurry managing method for wire saws
DE19743721A1 (en) 1997-10-02 1999-04-08 Kempten Elektroschmelz Gmbh Spent grinding suspension, used for machining silicon, quartz or ceramic, is reprocessed
EP0968801A1 (en) * 1998-07-01 2000-01-05 Memc Electronic Materials S.P.A. A method for separating and regenerating polyethylene glycol and silicon carbide abrasive material to enable re-use thereof
DE10032819A1 (en) 2000-07-06 2001-01-04 Wacker Siltronic Halbleitermat Slurry management system has re-utilization units for used slurry, used cutting liquid, mixer unit with central cutting liquid production device, slurry production unit, ring pipelines systems
WO2006137098A1 (en) * 2005-06-24 2006-12-28 Sic Processing Ag Process and apparatus for treating exhausted abrasive slurries for the recovery of their reusable components

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01316170A (en) 1988-06-13 1989-12-21 Osaka Titanium Co Ltd Cutting work method and abrasive liquid reutilizing device
US5799643A (en) 1995-10-04 1998-09-01 Nippei Toyama Corp Slurry managing system and slurry managing method for wire saws
DE19743721A1 (en) 1997-10-02 1999-04-08 Kempten Elektroschmelz Gmbh Spent grinding suspension, used for machining silicon, quartz or ceramic, is reprocessed
EP0968801A1 (en) * 1998-07-01 2000-01-05 Memc Electronic Materials S.P.A. A method for separating and regenerating polyethylene glycol and silicon carbide abrasive material to enable re-use thereof
DE10032819A1 (en) 2000-07-06 2001-01-04 Wacker Siltronic Halbleitermat Slurry management system has re-utilization units for used slurry, used cutting liquid, mixer unit with central cutting liquid production device, slurry production unit, ring pipelines systems
WO2006137098A1 (en) * 2005-06-24 2006-12-28 Sic Processing Ag Process and apparatus for treating exhausted abrasive slurries for the recovery of their reusable components

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110328562A (en) * 2019-07-30 2019-10-15 成都光明光电股份有限公司 The processing method of devitrified glass thin slice

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2139171A1 (en) Process for treating waste water
DE2738580C3 (en) Process for the separation of metals such as zinc and the like and their compounds in the treatment of the dust produced in a steel or ironmaking furnace and apparatus for carrying out this process
DE69307545T2 (en) METHOD FOR TREATING Soot / Ash Water Sludges
EP0003327A2 (en) Process for the chemical-mechanical treatment and/or purification of ground, surface or waste waters
DE102009034949A1 (en) Process for the preparation of a suspension
DE102008022237A1 (en) Slurry preparation involves adding water into non-conducting slurry in container at room temperature for acquiring electrical conductivity, where cationic flocculating agent is also mixed together
DE69301180T2 (en) Process for processing vegetable and fruit garden waste
DE2633468C2 (en) Process for producing high purity SiO? 2?
EP0019216B1 (en) Process for purifying waste water
AT394992B (en) METHOD FOR CLEANING WATERWATER FROM THE GLASS INDUSTRY
CH676116A5 (en) Gravel substitute prodn. from waste slag - of an incineration plant by water washing and sieving after removing large particles and ferrous material
DE2653319A1 (en) ELECTROFILTRATION FOR PURIFYING ORGANIC LIQUIDS
DE2341415A1 (en) Chemical waste water processing - using purifier contg. calcium carbonate, acid and or metal sulphate, oil adsorbent and flocculant
AT525240A4 (en) Multi-stage process for processing contaminated cleaning solutions using ultrafiltration and for spray and belt drying of the residues
DE2120032A1 (en) Process for the treatment of sludge from the purification of waste water
EP0383229B1 (en) Preparation of iron-containing sludge for further processing
DE4212456A1 (en) Recycling of used fats contg. water, esp. from fat-water separators - includes mixing and sedimenting fat, further separating at specific temp. and filtering and vacuum-distilling
EP0384242A1 (en) Process and apparatus for the treatment of glass-containing cooling water
EP0582174B1 (en) Additives and process for dewatering and/or solidification of sludge
DE19625985C2 (en) Process for the treatment of waste water from drinking and waste water treatment
EP0334409A1 (en) Process for making moulded elements containing fly ash
JPS6124413A (en) Method and device for treating waste water on car washing inready mixed concrete factory
EP1330413B1 (en) Method for disposing of waste, produced in an aluminium anodisation plant
DE102005043435B4 (en) Method and device for purifying water by means of magnetic separation
EP0473943B1 (en) Process and installation for the treatment of sludge for disposal

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final