DE102008013964A1 - Hard material coated body - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen hartstoffbeschichteten Körper mit mindestens einer Schicht, die oder von denen mindestens eine Schicht aus einer (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-CVD-Schicht besteht, wobei 0,6 <= x <= 0,9,0 <= y <= 1 und 0 <= z <= 1, z + y = 1 betragen, Me = Zr und/oder Hf ist und das Verhältnis von Ti/Me zwischen 9 und 0,25 liegt.The invention relates to a hard-coated body having at least one layer or at least one of which consists of a (Ti, Me) 1-xAlx (Cy, Nz) -CVD layer, where 0.6 <= x <= 0, 9.0 <= y <= 1 and 0 <= z <= 1, z + y = 1, Me = Zr and / or Hf, and the ratio of Ti / Me is between 9 and 0.25.

Description

Die Erfindung betrifft einen hartstoffbeschichteten Körper mit mindestens einer Hartstoffschicht.The The invention relates to a hard-coated body with at least one layer of hard material.

An Schneidwerkzeuge, die für die zerspanende Bearbeitung verwendet werden, werden hohe Anforderungen hinsichtlich der Standfestigkeit und der Belastbarkeit gestellt, insbesondere bei der Zerspanung harter oder zäher Materialien wie vergüteten bzw. gehärteten Stählen durch Drehen mit hohen Schnittgeschwindigkeiten. Der Schneidwerkstoff soll insbesondere abrasionsbeständig sein, was bereits frühzeitig dazu führte, dass Hartmetall- oder Cermetsubstratkörper mit Oberflächenbeschichtungen versehen worden sind, wobei zunächst Carbide, Nitride oder Carbonitride des Titans und später auch Aluminiumoxidschichten als Verschleißschutzschichten verwendet worden sind. Bekannt sind auch mehrlagige Verschleißschutzschichten aus unterschiedlichen Hartstoffen. Als verschleißmindernde Schichten sind beispielsweise Aluminiumoxidschichten bekannt, die auf einer oder mehreren Zwischenlagen wie beispielsweise Titancarbonitrid oder Titannitrid angeordnet sind.At Cutting tools used for machining become high demands in terms of stability and the resilience, especially in the machining Hard or tough materials such as tempered or hardened steels by turning at high cutting speeds. The cutting material should in particular abrasionsbeständig be, which already led early on, that Hard metal or cermet substrate body with surface coatings have been provided, wherein initially carbides, nitrides or Carbonitrides of titanium and later also aluminum oxide layers have been used as wear protection layers. Known are also multi-layer wear protection layers of different hard materials. Examples of wear-reducing layers are aluminum oxide layers known on one or more liners such as Titanium carbonitride or titanium nitride are arranged.

Aus der WO 03/085152 A2 ist die Verwendung einer Ti-Al-N-Schicht bekannt, die als monophasige Schicht mit Aluminiumgehalten bis 60% mittels PVD erzeugt werden kann. Bei höheren Aluminiumgehalten entsteht allerdings ein Gemisch aus kubischen und hexagonalen TiAlN und bei noch höheren Aluminiumanteilen nur noch die weichere und nicht verschleißfeste hexagonale Wurtzitstrucktur.From the WO 03/085152 A2 the use of a Ti-Al-N layer is known, which can be produced as a monophase layer with aluminum contents up to 60% by PVD. At higher aluminum contents, however, a mixture of cubic and hexagonal TiAlN is formed, and with even higher aluminum contents, only the softer and not wear-resistant hexagonal wurtzite structure is produced.

Es ist auch bekannt, dass mittels Plasma-CVD einphasige Ti1-xAlx-N-Hartstoffschichten mit x = 0,9 herstellbar sind. Nachteilig sind jedoch hierbei die unzureichende Homogenität der Schichtzusammensetzung und der relativ hohe Chlorgehalt in der Schicht.It is also known that one-phase Ti 1-x Al x -N hard material layers with x = 0.9 can be produced by means of plasma CVD. However, the disadvantages here are the insufficient homogeneity of the layer composition and the relatively high chlorine content in the layer.

Soweit für die Herstellung von Ti1-xAlxN-Hartstoffschichten PVD- oder Plasma-CVD-Verfahren eingesetzt wurden, war deren Anwendung auf Temperaturen unter 700°C beschränkt. Nachteilig ist, dass die Beschichtung komplizierter Bauteilgeometrien Schwierigkeiten bereitet. PVD ist ein gerichteter Prozess, bei dem komplexe Geometrien unregelmäßig beschichtet werden. Das Plasma-CVD erfordert eine hohe Plasmahomogenität, da die Plasmaleistungsdichte einen direkten Einschluss auf das Ti/Al-Atomverhältnis der Schicht hat. Die Herstellung einphasiger kubischer Ti1-xAlx-N-Schichten mit hohem Aluminiumanteil ist mit den industriell eingesetzten PVD-Verfahren nicht möglich.Insofar as PVD or plasma CVD processes were used for the production of Ti 1-x Al x N hard coatings, their application was limited to temperatures below 700 ° C. The disadvantage is that the coating of complicated component geometries presents difficulties. PVD is a directed process in which complex geometries are coated irregularly. Plasma CVD requires high plasma homogeneity because the plasma power density has a direct bearing on the Ti / Al atomic ratio of the layer. The production of single-phase cubic Ti 1-x Al x -N layers with a high aluminum content is not possible with the industrially used PVD processes.

Auch eine TiAl-Abscheidung mit einem konventionellen CVD-Verfahren bei Temperaturen über 1.000°C ist nicht möglich, da das methastabilie Ti1-xAlxN bei solch hohen Temperaturen in TiN und hexagonalem AlN zerfällt.Also, a TiAl deposition using a conventional CVD method at temperatures above 1000 ° C is not possible because the methastable Ti 1-x Al x N decomposes at such high temperatures in TiN and hexagonal AlN.

Schließlich ist bei dem in der US 6,238,739 B1 beschriebenen Verfahren, durch einen thermischen CVD-Prozess ohne Plasmaunterstützung Ti1-xAlxN-Schichten mit x zwischen 0,1 und 0,6 bei Temperaturen zwischen 550°C und 650°C herzustellen, eine Eingrenzung auf kleinere Aluminiumgehalte mit x ≤ 0,6 gegeben. Als Gasmischung werden in dem dort beschriebenen Prozess Aluminium- und Titanchloride sowie NH3 und H2 verwendet. Auch bei dieser Beschichtung sind hohe Chlorgehalte bis zu 12 At% in Kauf zu nehmen.Finally, in the case of US 6,238,739 B1 to produce Ti 1-x Al x N layers with x between 0.1 and 0.6 at temperatures between 550 ° C and 650 ° C by a thermal CVD process without plasma assisting, a limitation to smaller aluminum contents with x ≤ 0.6 given. As the gas mixture, aluminum and titanium chlorides as well as NH 3 and H 2 are used in the process described there. Also with this coating high chlorine contents up to 12 At% are to be accepted.

In der WO 2007/003648 A1 wird zur Verbesserung der Verschleißfestigkeit und der Oxidationsbeständigkeit vorgeschlagen, einen hartstoffbeschichteten Körper mit einem ein- oder mehrlagigen Schichtsystem mittels CVD herzustellen, das mindestens eine Ti1-xAlxN-Hartstoffschicht enthält, wozu der Körper in einem Reaktor bei Temperaturen im Bereich von 700°C bis 900°C mittels CVD ohne Plasmaanregung beschichtet wird und als Precursoren Titanhallogenide, Aluminiumhallogenide und reaktive Stickstoffverbindungen Verwendung finden sollen, die bei erhöhter Temperatur gemischt werden. Im Ergebnis wird ein Körper mit einer einphasigen Ti1-xAlxN-Hartstoffschicht in der kubischen NaCl-Struktur mit einem Stöchiometriekoeffizienten x > 0,75 bis x = 0,93 oder eine mehrphasige Schicht erhalten, deren Hauptphase aus Ti1-xAlxN mit kubischer NaCl-Struktur mit einem Stöchiometriekoeffizienten x > 0,75 bis x = 0,93 und als weitere Phase eine Wurtzitstruktur und/oder TiNxNaCl-Struktur besitzt. Der Chlorgehalt liegt im Bereich zwischen 0,05 bis 0,9 At%. Aus diesem Dokument ist auch bekannt, dass die Ti1-xAlxN-Hartstoffschicht oder Schichten bis zu 30 Massen% amorphe Schichtbestandteile enthalten können. Der Härtewert der erhaltenen Schichten liegt im Bereich 2.500 HV bis 3.800 HV.In the WO 2007/003648 A1 For example, in order to improve the wear resistance and the oxidation resistance, it is proposed to produce a hard-coated body with a single or multilayer coating system by CVD containing at least one Ti 1-x Al x N hard material layer, including the body in a reactor at temperatures in the range of 700 ° C to 900 ° C by CVD without plasma excitation is coated and should be used as precursors titanium hallogenides, aluminum halides and reactive nitrogen compounds, which are mixed at elevated temperature. As a result, a body having a single-phase Ti 1-x Al x N hard material layer in the cubic NaCl structure having a stoichiometric coefficient x> 0.75 to x = 0.93 or a multi-phase layer whose main phase is Ti 1-x is obtained Al x N with cubic NaCl structure with a stoichiometric coefficient x> 0.75 to x = 0.93 and has as a further phase a wurtzite structure and / or TiN x NaCl structure. The chlorine content is in the range between 0.05 to 0.9 At%. It is also known from this document that the Ti 1-x Al x N hard-material layer or layers can contain up to 30% by mass of amorphous layer constituents. The hardness value of the layers obtained is in the range of 2,500 HV to 3,800 HV.

Um die Haftung einer Ti1-xAlxN-Hartstoffschicht bei hoher Verschleißfestigkeit zu verbessern, wird in der nicht vorveröffentlichten DE 10 2007 000 512 zudem vorgeschlagen, dass das auf einen Substratkörper aufgetragene Schichtsystem aus einer auf den Körper aufgebrachten Anbindungsschicht aus Titannitrid, Titancarbonitrid oder Titancarbid besteht, worauf eine Phasengradientenschicht folgt und schließlich eine Außenlage aus einer ein- oder mehrphasigen Ti1-xAlxN-Hartstoffschicht. Die Phasengradientenschicht besteht an ihrer der Anbindungsschicht zugewandten Seite aus einem TiN/h-AlN-Phasengemisch und weist mit zunehmender Schichtdicke einen zunehmenden Phasenanteil von fcc-TiAlN mit einem Anteil von mehr als 50% und damit einhergehend simultaner Abnahme der Phasenanteile von TiN und h-AlN auf.In order to improve the adhesion of a Ti 1-x Al x N hard material layer with high wear resistance, is in the non-prepublished DE 10 2007 000 512 Furthermore, it is proposed that the layer system applied to a substrate body consists of a titanium nitride, titanium carbonitride or titanium carbide bonding layer applied to the body, followed by a phase gradient layer and finally an outer layer of a single- or multi-phase Ti 1-x Al x N hard-material layer. The phase gradient layer consists of a TiN / h-AlN phase mixture on its side facing the connection layer and, with increasing layer thickness, has an increasing phase fraction of fcc-TiAlN with a proportion of more than 50% and, concomitantly, a simultaneous decrease in the phase proportions of TiN and h.sub.2. AlN on.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen beschichteten Hartstoffkörper anzugeben, der eine verbesserte Abrasionsfähigkeit besitzt.It The object of the present invention is a coated hard material body to specify that has an improved abrasiveness.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird der hartstoffbeschichtete Körper nach Anspruch 1 vorgeschlagen. Dieser Körper besitzt mindestens eine Schicht, die oder von denen mindestens eine Schicht aus einer (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-CVD-Schicht besteht, wobei 0,6 ≤ x ≤ 0,9, 0 ≤ y ≤ 1 und 0 ≤ z ≤ 1, z + y = 1 betragen, Me = Zr und/oder Hf ist und dass Verhältnis von Ti/Me zwischen 9 und 0,25 liegt. Anders ausgedrückt, gegenüber der nach dem Stand der Technik bekannten TiAlN-Schicht wird das Titan teilweise durch Metallionen, die im Vergleich zum Titan einen signifikant größeren Ionenradius besitzen, ersetzt. Solche Metallione sind Zr4+ und/oder Hf4+. Gleichermaßen kann der Stickstoff der TiAlN-Verbindung teilweise oder ganz durch Kohlenstoff ersetzt werden. In dem erfindungsgemäßen kubischen CVD-TiAlN-, TiAlC- bzw. TiAlCN-Schichten werden zur Härtesteigerung 10% bis 80%, vorzugsweise 20% bis 50% des Titans durch Zirkonium und/oder Hafnium substituiert. Der Härtezuwachs, der durch diese Substitution erreichbar ist, beträgt 20% bis 50%. In Zerspanungsversuchen, die mit einem erfindungsgemäß beschichteten Körper durchgeführt worden sind, konnten bis zu 50% höhere Standzeiten erreicht werden.To solve this problem, the hard-coated body according to claim 1 is proposed. This body has at least one layer, or of which at least one layer consists of a (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) -CVD layer, where 0.6 ≦ x ≦ 0.9, 0 ≤ y ≤ 1 and 0 ≤ z ≤ 1, z + y = 1, Me = Zr and / or Hf and that ratio of Ti / Me is between 9 and 0.25. In other words, compared with the TiAlN layer known in the art, the titanium is partially replaced by metal ions that have a significantly larger ionic radius compared to titanium. Such metal ions are Zr 4+ and / or Hf 4+ . Similarly, the nitrogen of the TiAlN compound can be partially or fully replaced by carbon. In the cubic CVD-TiAlN, TiAlC or TiAlCN layers according to the invention, 10% to 80%, preferably 20% to 50%, of the titanium is substituted by zirconium and / or hafnium to increase the hardness. The hardness increase achievable by this substitution is 20% to 50%. In cutting experiments, which were carried out with a body coated according to the invention, up to 50% longer service life could be achieved.

Weiterbildungen des hartstoffbeschichteten Körpers sind in den Unteransprüchen beschrieben. So kann die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht einphasig sein und eine kubische Struktur aufweisen oder mehrphasig sein und neben einer kubischen Hauptphase eine weitere Phase in Wurtzitstruktur und/oder TiN aufweisen. Bis zu 30 Massen% können amorphe Schichtbestandteile enthalten sein. Der Chlorgehalt liegt zwischen 0,01 bis zu 3 At%.Further developments of the hard-coated body are described in the subclaims. Thus, the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer can be single-phase and have a cubic structure or be polyphase and, in addition to a cubic main phase, have another phase in wurtzite structure and / or TiN. Up to 30 mass% may contain amorphous layer constituents. The chlorine content is between 0.01 to 3 At%.

In einer weiteren Ausführungsvariante der vorliegenden Erfindung besteht die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht aus mehreren jeweils 1 nm bis 5 nm dicken Lagen gleicher oder wechselnder, vorzugsweise alternierender Zusammensetzung, wobei die Gesamtdicke der Lagen zwischen 1 μm bis 5 μm liegt. Im einfachsten Fall (Ti, Me)1-xAlxC werden jeweils dünne, lediglich einige nm-dicke Einzellagen aus (Ti, Me)1-x xAlxN oder (Ti, Me)1-xAlxCN nacheinander bis zum Erreichen der gewünschten Gesamtdicke zwischen 1 μm und 10 μm aufgetragen. Es ist jedoch auch ein alternierendes Schichtsystem aus den vorgenannten Zusammensetzungen möglich, einschließlich solcher Schichten, die Lagen mit einem Gradientenverlauf besitzen, bei dem der C-Anteil nach außen sinkt oder steigt.In a further embodiment variant of the present invention, the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer consists of several layers each of 1 nm to 5 nm thickness of the same or alternating, preferably alternating composition, the total thickness of the Layers between 1 micron to 5 microns is. In the simplest case (Ti, Me) 1-x Al x C are respectively thin, only a few nm-thick individual layers of (Ti, Me) 1-x x Al x N, or (Ti, Me) 1-x Al x CN successively applied to reach the desired total thickness between 1 micron and 10 microns. However, it is also possible to use an alternating layer system of the abovementioned compositions, including those layers which have layers with a gradient profile in which the C content decreases or increases to the outside.

Der hartstoffbeschichtete Körper der vorbeschriebenen Art kann so ausgestaltet sein, dass die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht

  • a) die einzige auf einem Substratkörper abgeschiedene Schicht ist oder
  • b) die äußere Schicht ist, unter der mindestens eine Schicht aus einem Carbid, Nitrid oder Carbonitrid eines der Elemente der IVa-Gruppe des Periodensystems angeordnet ist, vorzugsweise TiN, TiCN und/oder TiC oder
  • c) unter einer Al2O3- oder TiCN-Schicht angeordnet ist.
The hard-coated body of the type described above may be configured such that the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer
  • a) the only deposited on a substrate body layer is or
  • b) the outer layer is, under which at least one layer of a carbide, nitride or carbonitride of one of the elements of the IVa group of the periodic table is arranged, preferably TiN, TiCN and / or TiC or
  • c) is arranged under an Al 2 O 3 or TiCN layer.

Anders ausgedrückt, die erfindungsgemäße (Ti, Me)AlN-, (Ti, Me)AlC- oder -CN-Schicht kann entweder unmittelbar auf dem Substratkörper als einzige Schicht, als Zwischenlage oder als Außenlage verwendet werden.Different expressed, the inventive (Ti, Me) AlN, (Ti, Me) AlC or -CN layer can be either directly on the substrate body as a single layer, as an intermediate layer or used as an outer layer.

Bei einer Schicht aus mehreren Schichten beträgt die Gesamtdicke aller Schichten 5 μm bis 25 μm.at a layer of multiple layers is the total thickness all layers 5 microns to 25 microns.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung liegen auch solche Ausführungsformen, in denen durch gezielte Steuerung der Abscheidung mit wachsender Schichtdicke in der (Ti, Me)1-xAlx-N oder -CN-Schicht der Titan-Anteil wächst oder fällt, d. h. dass innerhalb der Schicht ein Gradientenverlauf eingestellt ist.In the context of the present invention are also those embodiments in which by targeted control of the deposition with increasing layer thickness in the (Ti, Me) 1-x Al x -N or -CN layer, the titanium content grows or falls, ie within the layer is a gradient gradient is set.

Kubische CVD-TiAlN/TiAlCN/TiAlC-Schichten, in denen Ti teilweise durch Zr und/oder Hf substituiert ist, weisen Druckeigenspannungen auf, die höher im Vergleich zu den nicht substituierten TiAlC/TiAlN/TiAlCN-Schichten sind. Die Höhe der Druckeigenspannung lässt sich durch das Verhältnis Ti/Zr bzw. Ti/Hf gezielt einstellen zu Werten zwischen 100 und 1.100 mPa, vorzugsweise 400 mPa bis 800 mPa.cubic CVD TiAlN / TiAlCN / TiAlC layers in which Ti is partially supported by Zr and / or Hf substituted, have residual compressive stresses, the higher compared to the unsubstituted TiAlC / TiAlN / TiAlCN layers are. The height of the compressive residual stress can be specifically set by the ratio Ti / Zr or Ti / Hf to values between 100 and 1100 mPa, preferably 400 mPa to 800 mPa.

Als Substratkörper, auf den die Beschichtung aufgetragen wird, wird ein Hartmetall- oder Cermet-Körper gewählt, der bei Beschichtungstemperaturen zwischen 700°C und 900°C in eine Gasatmosphäre gebracht wird, die Aluminiumchlorid, Titanchlorid, Zirkon- und/oder Hafniumchlorid, Ammoniak und Ethen enthält. Das Verhältnis der Titanchloridmenge zu der Zirkonium- oder Hafniumchloridmenge bestimmt die prozentualen Zirkonium- oder Hafniumanteile in der TiAlCN-Schicht, in der der Aluminiumgehalt jedenfalls mindestens 60% beträgt. Wird in der vorstehend genannten Gasmischung kein Ethen beigegeben, entsteht ein (Ti, Me)1-xAlxN. Die übrigen gewünschten Schichten wie beispielsweise Titancarbid-, Titannitrid- und/oder Titancarbonitridschicht werden ebenfalls (nach Änderung der Gasatmosphäre) als Zwischenlage aufgetragen. Entsprechendes gilt auch für die Al2O3-Außenschicht.As a substrate body to which the coating is applied, a hard metal or cermet body is selected, which is brought at coating temperatures between 700 ° C and 900 ° C in a gas atmosphere, the aluminum chloride, titanium chloride, zirconium and / or hafnium chloride, ammonia and ethene. The ratio of the amount of titanium chloride to the amount of zirconium or hafnium chloride determines the percentage zirconium or hafnium in the TiAlCN layer in which the aluminum content is at least 60%. If no ethene is added to the abovementioned gas mixture, a (Ti, Me) 1-x Al x N is formed. The remaining desired layers, such as, for example, titanium carbide, titanium nitride and / or titanium carbonitride layers, are also applied (after changing the gas atmosphere) as an intermediate layer , The same applies to the Al 2 O 3 outer layer.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (7)

Hartstoffbeschichteter Körper mit mindestens einer Schicht, die oder von denen mindestens eine Schicht aus einer (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-CVD-Schicht besteht, wobei 0,6 ≤ x ≤ 0,9, 0 ≤ y ≤ 1 und 0 ≤ z ≤ 1, z + y = 1 betragen, Me = Zr und/oder Hf ist und dass Verhältnis von Ti/Me zwischen 9 und 0,25 liegt.A hard-material-coated body having at least one layer or at least one layer of which consists of a (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) -CVD layer, wherein 0.6 ≦ x ≦ 0.9, 0 ≤ y ≤ 1 and 0 ≤ z ≤ 1, z + y = 1, Me = Zr and / or Hf and that ratio of Ti / Me is between 9 and 0.25. Hartstoffbeschichteter Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht einphasig ist und eine kubische Struktur aufweist oder mehrphasig ist und neben einer kubischen Hauptphase eine weitere Phase in Wurtzitstruktur aufweist und/oder TiN aufweist.Hard material coated body according to claim 1, characterized in that the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer is single-phase and has a cubic structure or is multi-phase and in addition to a main cubic phase another phase in wurtzite structure and / or has TiN. Hartstoffbeschichteter Körper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bis zu 30 Massen% amorphe Schichtbestandteile enthalten sind.Hard material coated body according to claim 1 or 2, characterized in that up to 30 mass% amorphous layer constituents are included. Hartstoffbeschichteter Körper nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Chlorgehalt zwischen 0,01 bis 3 At% liegt.Hard material coated body after one of claims 1 to 3, characterized in that the Chlorine content is between 0.01 to 3 At%. Hartstoffbeschichteter Körper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht aus mehreren jeweils 1 bis 5 nm dicken Lagen gleicher oder wechselnder, vorzugsweise alternierender Zusammensetzung besteht und eine Gesamtdicke von 1 μm bis 10 μm aufweist.Hard material-coated body according to one of claims 1 to 4, characterized in that the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer of several 1-5 nm thick layers of the same or changing, preferably alternating composition and has a total thickness of 1 .mu.m to 10 .mu.m. Hartstoffbeschichteter Körper nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die (Ti, Me)1-xAlx(Cy, Nz)-Schicht a) die einzige auf einem Substratkörper abgeschiedene Schicht oder b) die äußere Schicht ist, unter der mindestens eine Schicht aus einem Carbid, Nitrid oder Carbonitrid eines der Elemente der IVa-Gruppe des Periodensystems angeordnet ist, vorzugsweise TiN, TiCN und/oder TiC oder c) unter einer Al2O3 oder TiCN-Schicht angeordnet ist.Hard material coated body according to one of claims 1 to 5, characterized in that the (Ti, Me) 1-x Al x (C y , N z ) layer a) is the only deposited on a substrate body layer or b) the outer layer , under which at least one layer of a carbide, nitride or carbonitride of one of the elements of the IVa group of the periodic table is arranged, preferably TiN, TiCN and / or TiC or c) is arranged under an Al 2 O 3 or TiCN layer. Hartstoffbeschichteter Körper nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch mehrere Schichten mit einer Gesamtdicke von 5 μm bis 25 μm.Hard material coated body according to claim 6, characterized by several layers with a total thickness of 5 μm to 25 μm.
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