DE102008003996A1 - Time delay and integration image acquisition device for object, has accumulator synchronously accumulating information read from all lines of sensor with same sensitivity except information provided at line located at beginning of sensor - Google Patents
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- H04N25/711—Time delay and integration [TDI] registers; TDI shift registers
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine TDI-Bildaufnahmeeinheit gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Ferner betrifft die Erfindung einen Flächensensor gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 10.The The invention relates to a TDI image recording unit according to the preamble of claim 1. Furthermore, the invention relates to a surface sensor according to the generic term of claim 10.
TDI-Bildaufnahmeeinheiten besitzen Flächensensoren mit einer Vielzahl von neben- bzw. untereinander benachbart bzw. aufeinanderfolgend angeordneten Pixel-Zeilen, auf welche Zeilen der aufzunehmende, sich relativ zur Aufnahmeeinheit bewegende Gegenstand abgebildet wird; jede Zeile wird dabei von einer Gegenstandszeile belichtet. Um eine Akkumulierung der von denselben Gegenstandszeilen abgeleiteten Zeileninformationen zu erhalten, werden die Gegenstandszeilen nacheinander auf eine vorgegebene Anzahl von Zeilen des Flächensensors abgebildet und die für die einzelnen Abbildungen derselben Gegenstandszeile auf die entsprechenden Zeilen erhaltenen Zeileninformationen werden nach ihrem Auslesen akkumuliert. Die Aufnahme von Gegenständen mit TDI-Bildaufnahmeeinheiten und die erforderlichen Abbildungsmodalitäten sind bekannt. TDI bedeutet time delay integration.TDI imaging units own area sensors with a plurality of adjacent or adjacent to each other or successively arranged pixel lines on which lines the male, relative to the receiving unit moving object is shown; each line is taken from an item line exposed. To an accumulation of the same subject lines to get derived line information, the object lines become successively to a predetermined number of lines of the area sensor pictured and the for the individual illustrations of the same subject line on the corresponding Rows of line information received are read out accumulated. The inclusion of objects with TDI image acquisition units and the required imaging modalities are known. TDI means time delay integration.
Um Gegenstände, insbesondere für Prüfzwecke, genauer abzubilden bzw. den Informationsgehalt (insbesondere Farbinformation und/oder Helligkeitsinformationen bzw. Information über verschiedene spektrale Empfindlichkeit) zu erhöhen und gleichzeitig jedoch den Aufbau des Flächensensors möglichst einfach zu halten und den erforderlichen Rechenaufwand zur Akkumulierung der Zeileninformationen gering zu halten, ist eine TDI-Bildaufnahmeeinheit der eingangs genannten Art mit den im Anspruch 1 angeführten Merkmalen gekennzeichnet.Around objects especially for testing purposes, to map more accurately or the information content (in particular color information and / or brightness information or information about different spectral sensitivity) and at the same time, however the structure of the area sensor possible easy to hold and the necessary computational effort to accumulate keeping the line information low is a TDI image capture unit of the type mentioned above with the features cited in claim 1 characterized.
Ein vereinfachter Aufbau und Steuerungsaufwand ergibt sich, wenn anstelle von Akkumulatoren an zumindest eine, vorzugsweise an alle, der jeweils ersten Zeile(n) mit unterschiedlicher Sensitivität jeweils ein Zwischenspeicher zur Aufnahme und Weitergabe der Zeileninformation anstelle eines Akkumulators angeschlossen ist.One simplified structure and control effort results when instead of of accumulators to at least one, preferably to all, each first line (s) with different sensitivity each a cache for receiving and passing the line information instead of a Accumulator is connected.
Zur taktweisen Weitergabe von ausgelesenen Zeileninformationen, deren richtigen Zuordnung und deren taktrichtigen Akkumulierung sind die Merkmale der Ansprüche 3 oder 4 vorteilhaft. Ein hardwaremäßig einfacher Aufbau ergibt sich mit den Merkmalen des Anspruches 5. Ein zweckmäßiger und einfacher Aufbau der TDI-Bildaufnahmeeinheit ergibt sich mit den Merkmalen der Ansprüche 6 bis 9.to intermittent forwarding of read line information whose correct assignment and their correct accumulation are the Features of the claims 3 or 4 advantageous. A hardware-wise simple structure results with the features of claim 5. A convenient and simple structure of the TDI image acquisition unit results with the Features of the claims 6 to 9.
Es ist von Vorteil, wenn die Information zumindest einer, vorzugsweise jeder, der jeweils ersten Zeilen einer jeden unterschiedliche Sensitivität spektralen Empfindlichkeit an jeweils einen Anfangszeilen-Zwischenspeicher ausgelesen wird; bei dieser Vorgangsweise kann ein Akkumulator für diese ersten Zeilen entfallen. Ein an dieser Stelle vorgesehener Akkumulator erfüllt hier lediglich die Funktion eines Schieberegisters. Ferner ist vorgesehen, dass die jeweilige von den jeweils ersten Zeilen mit einer bestimmten Sensitivität ausgelesene Zeileninformation über die an dieselbe Sensitivität wie diese erste Zeile aufweisende Zeilen angeschlossenen Akkumulatoren taktweise weitergegeben und in jedem Akkumulator die weitergegebene Information und die von der jeweiligen Zeile ausgelesenen Zeileninformation akkumuliert werden. Es wird dabei derart vorgegangen, dass eine Verzögerung der Weitergabe von bereits akkumulierten Informationen von einem Akkumulator zum nächstfolgenden Akkumulator durch Zwischenspeichern erfolgt, derart, dass Zeileninformationen, die von einer Zeile einer bestimmten Sensitivität ausgelesen werden, dann bei dem Akkumulator der folgenden Zeile derselben spektralen Empfindlichkeit einlangen, wenn die Zeileninformation dieser folgenden Zeile an den Akkumulator ausgelesen wird, sodass eine Akkumulierung der weitergegebenen und ausgelesenen Informationen für dieselbe Gegenstandszeile und von Zeilen derselben Sensitivität erfolgt.It is advantageous if the information at least one, preferably each, the first lines of each spectral spectral sensitivity Sensitivity to one start line buffer is read out; In this procedure, an accumulator for this first lines omitted. An accumulator provided at this point Fulfills here only the function of a shift register. It is also envisaged that each of the first lines with a particular sensitivity read line information about the same sensitivity like these first line rows have connected accumulators passed on in cycles and passed in each accumulator Information and the line information read from the respective line accumulates become. The procedure is such that a delay of Transfer of already accumulated information from an accumulator to the next Accumulator by latching, such that line information, which are read from a line of a certain sensitivity, then at the accumulator of the following line of the same spectral sensitivity arrive when the line information of this following line the accumulator is read, so that an accumulation of the passed and read information for same subject line and lines of the same sensitivity.
Im
folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert, das
den schematischen Aufbau einer TDI-Bildaufnahmeeinheit zeigt, die
einen Flächensensor,
an dessen Zeilen angeschlossene Akkumulatoren und eine nicht dargestellte Steuereinheit
umfasst. Die Steuereinheit steuert die Weitergabe der Informationen über die Datenleitungen
Die
vorhandenen Sensorzeilen Li können nach
vorgegebenen anwendungsspezifischen Kriterien, insbesondere entsprechend
ihrer unterschiedlichen Sensitivität, angeordnet sein. Es muss
am Flächensensor
Es
kann vorgesehen sein, dass die Zeilen ein regelmäßiges Muster entsprechend ihrer
Sensitivität bilden
bzw. Periodizität
zeigen. Im einfachsten und üblicherweise
auch günstigsten
Fall können
die Sensorzeilen Li zu Gruppen zusammengefasst
werden, wobei alle Zeilen einer Gruppen untereinander unterschiedliche
Sensitivität,
z. B. spektrale Empfindlichkeit R, G aufweisen. Zeilen gleicher
Sensitivität
bzw. spektraler Empfindlichkeit besitzen in den einzelnen Gruppen
gleiche Plätze
bzw. zeigen die Sensitivitäten
in den Gruppen dieselbe Reihenfolge. Es wird vermerkt, dass die
Zusammenfassung zu Gruppen nicht zwingend notwendig ist. So kann
ein Flächensensor
Zwei
Sensorzeilen L1, L2 mit
den spektralen Empfindlichkeiten R, G bilden die erste Gruppe Q1 auf dem Flächensensor
Die
Sensitivität
der einzelnen Zeilen des Zeilensensors
Der
Zeilensensor
Bei
der Abbildung und Aufnahme von m n Gegenstandszeilen auf den Flächensensor
Wie
aus der Zeichnung ersichtlich, bilden jeweils zwei Sensorzeilen
eine Gruppe Qi und besitzen unterschiedliche
spektrale Empfindlichkeiten R, G. Von der nicht dargestellten Steuereinheit
werden die Zeilen des Flächensensors
Es
wird derart vorgegangen, dass vor jedem Ausleseschritt von Zeileninformationen
in die Akkumulatoren Ai bzw. die jeweiligen Anfangs-Zwischenspeicher
Azi der bisherige Inhalt des Akkumulators bzw. Anfangs-Zwischenspeichers
dem jeweils folgenden Zwischenspeicher Zi (der zur Aufnahme von Information
dieser spektralen Empfindlichkeit bereit steht) und der Inhalt der
Zwischenspeicher zu dem jeweils folgenden Akkumulator (derselben
Sensitivität)
weitergeleitet wird. Dadurch erfolgen das Auslesen der Zeileninformationen
und die Weiterbewegung der Gegenstandszeilen auf dem Flächensensor
Sofern zwischen zwei Sensorzeilen gleicher Sensitivität mehr als eine Sensorzeile anderer Sensitivität liegt, so sind entsprechend mehr Zwischenspeicher zwischen die an die Zeilen mit derselben Sensitivität angeschlossenen Akkumulatoren einzuschalten. Die Anzahl der Zwischenspeicher entspricht der Anzahl von Zeilen, die zwischen Zeilen gleicher Sensitivität liegen.Provided more than one sensor line between two sensor lines of the same sensitivity other sensitivity is located, so are correspondingly more cache between the the lines with the same sensitivity connected accumulators turn. The number of buffers corresponds to the number of lines between lines of equal sensitivity.
Bei dieser Vorgangsweise ist durch das mit der Gegenstandsbewegung synchrone Weiterschieben der Information gewährleistet, dass die jeweils von einer Zeile mit einer bestimmten spektralen Empfindlichkeit ausgelesene Zeileninformation einer bestimmten Gegenstandszeile nur zu der bereits vorliegenden Information derselben Gegenstandszeile akkumuliert wird, welche von einer Zeile bzw. Zeilen derselben Sensitivität aufgenommen wurde. Diese Zeileninformationen werden zwar zu verschiedenen Zeitpunkten von verschiedenen Sensorzeilen ausgelesen, können aber unter Zuhilfenahme der Zwischenspeicher in den zugeordneten Akkumulatoren takt- bzw. zeitrichtig akkumuliert werden.at this procedure is synchronous with that with the object movement Advancing the information ensures that each of read a line with a certain spectral sensitivity Line information of a certain subject line only to the already accumulated present information of the same item line which is picked up by a line or lines of the same sensitivity has been. Although this line information will be at different times read from different sensor lines, but with the help of the buffer in the associated accumulators clock or accumulated in the right time.
Die Weiterleitung der Informationen aus den vorzugsweise von Schieberegistern gebildeten Zwischenspeichern zum nächsten Akkumulator erfolgt im Wesentlichen gleichzeitig mit dem Auslesen der Zeileninformationen aus den Sensorzeilen, sodass zu diesem Zeitpunkt eine entsprechende Akkumulierung vorgenommen werden kann.The Forwarding the information from the preferably shift registers formed buffers to the next accumulator takes place in Essentially simultaneously with the reading of the line information from the sensor lines, so at this time a corresponding Accumulation can be made.
Bei dieser Vorgangsweise ist eine Reduktion der Adressier- und Steuerleitungen bzw. entsprechenden Adressier- und Steuereinheiten möglich. Es sind nur kurze Datenleitungen erforderlich.at This procedure is a reduction of the addressing and control lines or corresponding addressing and control units possible. There are only short data lines required.
Die
Ergebnisse der Akkumulierung bzw. die Ausgangswerte der den jeweils
letzten Zeilen einer bestimmten Sensitivität zugeordneten Akkumulatoren
werden einer Auswerteeinheit
Die
Erfindung betrifft ferner einen Flächensensor
Die erfindungsgemäße Bildaufnahmeeinheit sowie der erfindungsgemäße Flächensensor funktionieren sowohl mit Snapshot-Sensorals als auch mit Rolling-Shutter-Sensorals. Bei Rolling-Shutter-Sensorals entsteht das Abbild eines Objektes durch die Aufnahme von einzelnen Zeilen. Die Aufnahme einer Zeile wiederum gliedert sich in drei Phasen: dem Rücksetzen aller Bildpunkte einer Zeile, dem Integrieren aller Bildpunkte einer Zeile sowie dem Auslesen aller Bildpunkte einer Zeile. Erst mit dem Abschluss der Integrationsphase ist der Inhalt des Bildpunktes des Abbildes fixiert. Bei Snapshot- bzw. Central Shutter-Sensorals entsteht auch hier das Abbild eines Objektes durch die Aufnahme von einzelnen Zeilen. Die Aufnahme einer Zeile wiederum gliedert sich auch hier in drei Phasen: dem Rücksetzen aller Bildpunkte einer Zeile, dem Integrieren aller Bildpunkte einer Zeile sowie dem Auslesen aller Bildpunkte einer Zeile. Jedoch werden, im Gegensatz zum Verschluss-Modus rolling shutter die Reset- und die Integrationsphase für alle Zeilen zeitlich verknüpft. Lediglich das Auslesen der einzelnen Zeilen erfolgt separat.The Image pickup unit according to the invention as well the surface sensor according to the invention work with both snapshot sensors and rolling shutter sensors. Rolling shutter sensors create the image of an object by the inclusion of single lines. The inclusion of a line In turn, it is divided into three phases: the resetting of all pixels Line, the integration of all pixels of a line and the readout all pixels of a line. Only with the completion of the integration phase the content of the pixel of the image is fixed. For snapshot or Central Shutter Sensorals Here, too, the image of an object is created by the shot from single lines. The inclusion of a line in turn is divided also here in three phases: the reset all pixels of a line, integrating all the pixels of a line Line as well as the reading of all pixels of a line. However, unlike shutter mode rolling shutter the reset and the Integration phase for all lines are temporally linked. Only the readout of the individual lines is done separately.
Claims (13)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT0018507A AT503958B1 (en) | 2007-02-05 | 2007-02-05 | Time delay and integration image acquisition device for object, has accumulator synchronously accumulating information read from all lines of sensor with same sensitivity except information provided at line located at beginning of sensor |
AT185//2007 | 2007-02-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102008003996A1 true DE102008003996A1 (en) | 2008-08-07 |
Family
ID=39032465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102008003996A Withdrawn DE102008003996A1 (en) | 2007-02-05 | 2008-01-11 | Time delay and integration image acquisition device for object, has accumulator synchronously accumulating information read from all lines of sensor with same sensitivity except information provided at line located at beginning of sensor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | AT503958B1 (en) |
DE (1) | DE102008003996A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11933717B2 (en) | 2019-09-27 | 2024-03-19 | Kla Corporation | Sensitive optical metrology in scanning and static modes |
-
2007
- 2007-02-05 AT AT0018507A patent/AT503958B1/en not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-01-11 DE DE102008003996A patent/DE102008003996A1/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11933717B2 (en) | 2019-09-27 | 2024-03-19 | Kla Corporation | Sensitive optical metrology in scanning and static modes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AT503958A4 (en) | 2008-02-15 |
AT503958B1 (en) | 2008-02-15 |
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