DE102008000867A1

DE102008000867A1 - Orientation device for arranging components moving towards each other like a movable slide or table for instruments measuring the thickness of layers has elements and a framework

Info

Publication number: DE102008000867A1
Application number: DE102008000867A
Authority: DE
Inventors: Franz Krug; Günter Maul
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2007-03-31
Filing date: 2008-03-27
Publication date: 2008-10-02

Abstract

A framework (3) and a first element (1) interlink via a first rotational axis so as to rotate. The framework also interlinks with a second element (2) so as to rotate via a second rotational axis. Components moving towards each other like a movable slide or table for instruments measuring the thickness of layers are assigned to the first and second elements so that they move towards each other in compliance with the first and second elements.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Lagerung von Bauteilen, die zueinander beweglich sind, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. gemäß einer kardanischen Lagerung.The The present invention relates to a device for storage of Components that are movable relative to each other, according to the preamble of the claim 1 or according to a Cardanic storage.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

Kardanische Lagerungen bzw. kurz Kardangelenke sind aus dem Stand der Technik für vielfältige Einsatzzwecke bekannt. Ein möglicher Einsatzzweck bietet sich für die Lagerung einer Spindelmutter bei einem Spindelantrieb für ein verfahrbares Bauteil, wie beispielsweise einen verfahrbaren Schlitten oder Tisch eines Messgeräts, insbesondere eines Schichtdickenmessgeräts an.gimbal Bearings or cardan joints are short of the prior art for a variety of uses known. A possible Intended use is for the bearing of a spindle nut in a spindle drive for a movable component, such as a traveling carriage or table one meter, in particular a coating thickness gauge.

Hier sieht ein bekannter Aufbau vor, dass an einem beispielsweise entlang einer Schienenanordnung verfahrbaren Tisch oder Schlitten eine Spindelmutter kardanisch gelagert ist, um die antreibende Spindel beweglich aufzunehmen. Durch eine Drehung der Spindel wird die Spindelmutter und der damit verbundene verfahrbare Schlitten oder Tisch entlang der Längsachse der Spindel hin und her bewegt. Sofern die Spindel exakt zur Spindelmutter ausgerichtet ist, ist keine bewegliche Lagerung der Spindelmutter gegenüber dem verfahrbaren Schlitten oder Tisch nötig. Da allerdings durch Fertigungs- und Montagetoleranzen eine exakte Ausrichtung von Spindel und Spindelmutter nicht oder nur äußerst aufwendig möglich ist, wird im Stand der Technik eine kardanische Lagerung der Spindelmutter eingesetzt, so dass die Spindelmutter und somit auch die Spindel im bestimmten Umfang bezüglich des Schlittens oder verfahrbaren Tischs beweglich sind. Damit kann automatisch eine gewisse Ausrichtung von Spindel und Spindelmutter bezüglich des verfahrbaren Tischs oder Schlittens vorgenommen werden.Here provides a known structure that, for example along along a rail arrangement movable table or carriage a spindle nut gimbal is mounted to accommodate the driving spindle movable. By turning the spindle, the spindle nut and the so connected movable carriage or table along the longitudinal axis the spindle moves back and forth. If the spindle is exactly to the spindle nut is aligned, there is no movable bearing of the spindle nut across from the movable carriage or table needed. However, due to manufacturing and mounting tolerances exact alignment of spindle and spindle nut not or only extremely expensive possible is in the prior art, a gimbal bearing of the spindle nut used, so that the spindle nut and thus also the spindle in certain extent of the carriage or movable table are movable. So that can automatically a certain alignment of spindle and spindle nut in terms of be made of the movable table or carriage.

Ferner ist es auch denkbar, Spindel und/oder Spindelmutter in bestimmten Richtungen verschieblich, also schwimmend zu lagern, um dadurch entsprechende Ausrichtungsprobleme durch Fertigungs- und Montagetoleranzen zu vermeiden.Further It is also conceivable, spindle and / or spindle nut in certain Sliding directions, so floating to order by corresponding alignment problems due to manufacturing and assembly tolerances to avoid.

Einen Ausgleich von Fertigungs- und Montagetoleranzen bei der Anordnung einer Spindelmutter kann auch dadurch bewirkt werden, dass die Spindelmutter in einer elastischen Membran, die beispielsweise in einem Rahmen aufgespannt ist, aufgenommen ist. Durch die elastische Lagerung können ebenfalls Fertigungs- und Montagetoleranzen bzgl. der Ausrichtung der Spindel zur Spindelmutter und damit dem anzutreibenden Gegenstand ausgeglichen werden. Allerdings weist eine Membran-Anordnung den Nachteil auf, dass damit in axialer Richtung der Spindelmutter ebenfalls eine Nachgiebigkeit gegeben ist, welche für den Antrieb nachteilig ist.a Compensation of manufacturing and assembly tolerances in the arrangement a spindle nut can also be effected by the spindle nut in an elastic membrane, for example in a frame spanned, is recorded. Due to the elastic storage can also manufacturing and assembly tolerances regarding the alignment the spindle to the spindle nut and thus the object to be driven be compensated. However, a membrane arrangement has the disadvantage on that so that in the axial direction of the spindle nut also a compliance is given, which is disadvantageous for the drive.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur beweglichen Lagerung von Bauteilen zueinander, insbesondere zur Lagerung einer Spindelmutter auf einem verfahrbaren Tisch oder Schlitten zur flexiblen Ausrichtung bzgl. einer Antriebsspindel zu schaffen, bei welcher die Übertragung von Kräften oder Drehmomenten über die Spindelmutter auf den verfahrbaren Schlitten oder Tisch aufgrund von Ausrichtungsungenauigkeiten zwischen Spindel und Spindelmutter vermieden wird. Gleichzeitig soll ein belastbarer Antrieb in Richtung der Spindelachse ermöglicht werden. Insbesondere soll die entsprechende Vorrichtung einfach aufgebaut und montierbar sowie sicher und zuverlässig im Betrieb sein.It is therefore an object of the present invention, a device for the movable storage of components to each other, in particular for mounting a spindle nut on a movable table or Slide for flexible alignment with respect to a drive spindle to create at which the transfer of forces or torques over the Spindle nut on the traveling carriage or table due alignment misalignments between spindle and spindle nut is avoided. At the same time a loadable drive in the direction of allows the spindle axis become. In particular, the corresponding device should be simple be built and assembled as well as safe and reliable in operation.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.These Task is solved by a device having the features of claim 1. Advantageous Embodiments are the subject of the dependent claims.

Die vorliegende Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass zusätzlich zu den Drehachsen eines Kardangelenks mindestens eine der Drehachsen so ausgebildet ist, dass eine Verschiebung der daran vorgesehenen Komponenten entlang der Drehachse möglich ist.The The present invention is characterized in that in addition to the axes of rotation of a universal joint at least one of the axes of rotation is designed so that a shift of it provided Components along the axis of rotation is possible.

Entsprechend können gemäß der vorliegenden Erfindung ein erstes Element, welches drehbar einen Rahmen aufnimmt, und ein zweites Element, welches drehbar in dem Rahmen angeordnet ist, entlang der dadurch definierten beiden Drehachsen zueinander verschoben werden und zwar zumindest der Rahmen bzgl. des ersten Element und/oder der Rahmen bzgl. des zweiten Elements oder umgekehrt.Corresponding can according to the present Invention a first element which rotatably receives a frame, and a second member rotatably disposed in the frame is, along the thus defined two axes of rotation to each other be moved at least the frame with respect to the first Element and / or the frame with respect to the second element or vice versa.

Bei der Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung können die Drehachsenkomponenten an jeder der miteinander verbundenen Komponenten vorgesehen sein oder separat ausgebildet sein. Entsprechend können die Drehachsenkomponenten, wie beispielsweise Achszapfen, integral an dem ersten Element, dem zweiten Element und/oder dem Rahmen vorgesehen sein oder drehfest an diesen angeordnet sein. Entsprechend können auch korrespondierende Lagerkomponenten, z. B. in Form von Lagerbuchsen oder zylinderförmigen Ausnehmungen am ersten Element, am zweiten Element und/oder am Rahmen vorgesehen sein.In the embodiment of the device according to the invention, the rotational axis components may be provided on each of the interconnected components or formed separately. Accordingly, the rotational axis components, such as journal, may be integrally provided on the first element, the second element and / or the frame or non-rotatably arranged thereon. Accordingly, corresponding bearing components, for. B. in the form of bearing bushes or cylindrical Ausnehmun be provided on the first element, on the second element and / or on the frame.

Erstes und/oder zweites Element können in den zueinander beweglich anzuordnenden Bauteilen integriert oder an diesen angeordnet sein. Beispielsweise kann das erste Element durch ein integrales Bauteil eines verfahrbaren Schlittens gebildet sein, während das zweite Element durch die Spindelmutter gebildet ist.first and / or second element integrated in the mutually movable components to be arranged or be arranged at this. For example, the first element formed by an integral component of a movable carriage be while the second element is formed by the spindle nut.

Die verschiebbare Lagerung der Komponenten entlang mindestens einer der Drehachsen kann durch ein entsprechendes axiales Spiel zwischen erstem Element und dem Rahmen und/oder dem zweiten Element und dem Rahmen vorgesehen sein.The slidable mounting of the components along at least one the axes of rotation can by a corresponding axial clearance between the first Element and the frame and / or the second element and the frame be provided.

Dies kann dadurch verwirklicht werden, dass beispielsweise der Rahmen entlang der ersten Drehachse verschiebbar angeordnet ist und/oder das zweite Element entlang der zweiten Drehachse.This can be realized by, for example, the frame is slidably disposed along the first axis of rotation and / or the second element along the second axis of rotation.

Die Verschiebbarkeit entlang der Drehachsen kann auch durch eine Verschiebbarkeit der entsprechenden Komponenten, also Rahmen und/oder zweites Element entlang von Drehachsenkomponenten und/oder die Verschiebbarkeit der Drehachsenkomponenten in entsprechenden Lagerelementen vorgesehen sein. Insbesondere können erste und/oder zweite Drehachse mindestens einen Achszapfen und mindestens eine Dreh-Schiebe-Hülse als Lagerelement aufweisen, in welcher der Achszapfen drehbar und axial verschiebbar gelagert ist.The Displaceability along the axes of rotation can also be achieved by a displaceability the corresponding components, ie frame and / or second element along rotational axis components and / or the displaceability provided the Drehachsenkomponenten in corresponding bearing elements be. In particular, you can first and / or second axis of rotation at least one journal and at least one rotary sliding sleeve Have as a bearing element, in which the axle journal rotatable and is mounted axially displaceable.

Der Verschiebeweg kann durch entsprechende Anschlagelemente begrenzt und eingestellt werden. Hierzu bieten sich insbesondere gegenüberliegende Lager für die Drehachsenkomponenten und/oder die entsprechende Dimensionierung der an der Drehachse vorgesehenen Komponenten an. Beispielsweise kann der Rahmen zwischen zwei Lagern des ersten Elementes so angeordnet werden, dass aufgrund der kleineren Dimensionierung des Rahmens gegenüber dem Abstand der Lager eine Hin- und Herbewegung des Rahmens zwischen den Lagern möglich ist.Of the Displacement can be limited by appropriate stop elements and be adjusted. For this purpose, in particular opposite offer Warehouse for the rotational axis components and / or the corresponding dimensions the provided on the axis of rotation components. For example For example, the frame can be arranged between two bearings of the first element Be that because of the smaller sizing of the frame across from the distance of the bearings a reciprocating motion of the frame between the camps possible is.

Durch Vorsehen entsprechender Zwischenkomponenten, wie beispielsweise Anordnung von Beilagscheiben um entsprechende Achszapfen herum, kann das axiale Spiel entlang der Drehachsen eingestellt werden. In Abhängigkeit von der Dicke in axialer Richtung, die die entsprechenden Beilagscheiben aufweisen, wird das axiale Spiel begrenzt.By Providing appropriate intermediate components, such as Arrangement of washers around corresponding stub axles, the axial clearance can be adjusted along the axes of rotation. Dependent on from the thickness in the axial direction, the corresponding washers have, the axial play is limited.

Durch die Verschiebemöglichkeit entlang der Drehachsen einer kardanischen Lagerung kann nicht nur eine Winkeleinstellung des zweiten Elements bzgl. des ersten Elements vorgenommen werden, sondern aus der Sicht des zweiten Elements auch ein radialer Ausgleich. Für eine Spindelmutter bedeutet dies, dass neben einer Korrektur eines Winkelfehlers der Spindel gegenüber der Spindelmutter auch ein Fluchtungsfehler ausgeglichen werden kann, wobei jedoch in Richtung der Spindelachse, also senkrecht zur Ringebene der Spindelmutter, d. h. dem zweiten Element eine ausreichende Steifigkeit gegeben ist, die es ermöglicht den mit der Spindelmutter verbundenen Schlitten mittels des Spindelantriebs zu verfahren.By the possibility to move Not only can along the axes of rotation of a gimbal bearing an angular adjustment of the second element with respect to the first element be made, but from the point of view of the second element as well a radial compensation. For a spindle nut this means that in addition to a correction of a Angular error of the spindle opposite the spindle nut and a misalignment are compensated can, but in the direction of the spindle axis, ie perpendicular to Ring plane of the spindle nut, d. H. the second element sufficient Stiffness is given, which makes it possible with the spindle nut to move associated carriage by means of the spindle drive.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGURENBRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten Zeichnungen deutlich. Die Zeichnungen zeigen hierbei in rein schematischer Weise inFurther Advantages, characteristics and features of the present invention in the following detailed description of an embodiment with the attached Drawings clearly. The drawings show here purely schematic Way in

1 eine Schnittansicht durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung; 1 a sectional view through a device according to the invention;

2 eine perspektivische Darstellung der Vorrichtung aus 1; und in 2 a perspective view of the device 1 ; and in

3 eine Seitenansicht eines Spindelantriebs mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung aus den 1 und 2. 3 a side view of a spindle drive with the device according to the invention from the 1 and 2 ,

BEVORZUGTE AUSFÜHRUNGSFORMPREFERRED EMBODIMENT

Die 1 zeigt in einer Schnittansicht gemäß der Schnittlinie A-A in der perspektivischen Darstellung der 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einer Konsole 1 (erstes Element), welches U-förmig ausgebildet ist und zwei gegenüberliegende Schenkel 9 und 10 aufweist. Zwischen den Schenkeln 9 und 10 ist ein Rahmen 3 in Form eines drehbaren Ringes aufgenommen, welcher wiederum einen Flanschring 2 (zweites Element) umschließt.The 1 shows in a sectional view along the section line AA in the perspective view of 2 a device according to the invention with a console 1 (first element), which is U-shaped and two opposite legs 9 and 10 having. Between the thighs 9 and 10 is a frame 3 taken in the form of a rotatable ring, which in turn a flange 2 (second element) encloses.

Der Rahmen 3 weist an seinen gegenüberliegenden Seiten jeweils einen Achszapfen 4 auf, der in Gewindeausnehmungen des Rahmens 3 eingeschraubt ist, so dass sich insgesamt eine Drehachse 14 ergibt.The frame 3 has at its opposite sides in each case a journal 4 on, in threaded recesses of the frame 3 is screwed, so that in total a rotation axis 14 results.

Der Achszapfen 4 ist zweiteilig aufgebaut, wobei ein äußeres Drehteil 6 über eine innen liegende Schraube 5, die in die Gewindeausnehmung des Rahmens 3 eingeschraubt ist, gegenüber dem Rahmen 3 festgelegt ist. Das äußere Drehteil 6 weist eine Kugelsegmentform auf, so dass sich ein linienförmiger Kontakt mit der Innenseite der zylinderförmigen Öffnungen 7 und 11 (Dreh-Schiebe-Hülsen) in den Schenkeln 9 und 10 der Konsole 1 ergibt. Damit ist eine Kugellagerung zwischen dem Achszapfen 4 und den Dreh-Schiebe-Hülsen 7, 11 der Schenkel 9 und 10 der Konsole 1 gegeben.The axle journal 4 is constructed in two parts, with an outer rotary part 6 via an internal screw 5 that fit into the threaded recess of the frame 3 screwed in, opposite the frame 3 is fixed. The outer turned part 6 has a spherical segment shape, so that a linear contact with the inside of the cylindrical openings 7 and 11 (Turn-slide sleeves) in the thighs 9 and 10 the console 1 results. This is a ball bearing between the journal 4 and the rotary-slide sleeves 7 . 11 the thigh 9 and 10 the console 1 given.

Die zylinderförmigen Öffnungen 7 und 11 an den Schenkeln 9 und 10 der Konsole dienen als Dreh-Schiebe-Hülsen für die Achszapfen 4 der Drehachse 14, da die oben angegebene Kugellagerung zunächst eine Drehung um die Drehachse 14 ermöglicht. Statt einer vollständigen Drehung kann auch eine Verschwenkbarkeit um einen begrenzten Winkelbereich ausreichend sein. Darüber hinaus dienen die Öffnungen 7, 11 als Schiebehülsen, da der Rahmen 3 in seiner maximalen Dimension in Richtung der Drehachse 14 kleiner ist als der Abstand der Innenseiten der Schenkel 9 und 10 der Konsole 1. Dadurch ergibt sich ein axiales Spiel zwischen Rahmen 3 und Konsole 1 bzw. den Innenseiten der Schenkel 9 und 10. Dieses axiale Spiel kann durch Beilagscheiben 8, die beidseitig um die Achszapfen 4 zwischen den Schen keln 9 bzw. 10 und dem Rahmen 3 vorgesehen werden können, variiert werden. Je nachdem ob überhaupt Beilagscheiben 8 vorgesehen sind oder Beilagscheiben mit unterschiedlicher Dicke, kann das axiale Spiel des Rahmens 3 zwischen den Schenkeln 9 und 10 der Konsole 1 variiert werden.The cylindrical openings 7 and 11 on the thighs 9 and 10 The console serve as turn-slide sleeves for the journals 4 the axis of rotation 14 because the ball bearing specified above, first a rotation about the axis of rotation 14 allows. Instead of a complete rotation, a pivotability about a limited angular range may be sufficient. In addition, the openings serve 7 . 11 as sliding sleeves, as the frame 3 in its maximum dimension in the direction of the axis of rotation 14 smaller than the distance between the inner sides of the thighs 9 and 10 the console 1 , This results in an axial clearance between frames 3 and console 1 or the inner sides of the legs 9 and 10 , This axial play can be done by washers 8th , the two-sided around the journal 4 between your legs 9 respectively. 10 and the frame 3 can be varied. Depending on whether even washers 8th are provided or washers of different thickness, the axial play of the frame 3 between the thighs 9 and 10 the console 1 be varied.

Damit ergibt sich für den Rahmen 3 bzgl. der Konsole 1 zum einen die Möglichkeit einer Drehung um die Drehachse 14 als auch eine Verschiebbarkeit entlang der Drehachse 14 zwischen den Schenkeln 9 und 10.This results in the frame 3 regarding the console 1 on the one hand, the possibility of rotation about the axis of rotation 14 as well as a displaceability along the axis of rotation 14 between the thighs 9 and 10 ,

Der Flanschring 2 (zweites Element) ist in gleicher Weise wie der Rahmen 3 in der Konsole 1 im Rahmen 3 gelagert, wobei die Lagerung entlang der Drehachse 15 um 90° verdreht zur Drehachse 14 erfolgt. Entsprechend sind in dem Rahmen 3 zwei gegenüberliegende zylinderförmige Ausnehmungen 12 und 13 vorgesehen, in welche Achszapfen 4 des Flanschrings 2 (zweites Element) eingreifen. Die Achszapfen 4 sind in gleicher Weise aufgebaut, wie die Achszapfen des Rahmens 3, so dass sich eine weitere Beschreibung erübrigt.The flange ring 2 (second element) is the same as the frame 3 in the console 1 as part of 3 stored, with the storage along the axis of rotation 15 rotated by 90 ° to the axis of rotation 14 he follows. Accordingly, in the frame 3 two opposite cylindrical recesses 12 and 13 provided in which journals 4 of the flange ring 2 (second element) intervene. The axle journal 4 are constructed in the same way as the journals of the frame 3 , so that a further description is unnecessary.

Auch bei den Dreh-Schiebe-Hülsen 12 und 13 des Rahmens 3 ergibt sich ein linienförmiger Kontakt zwischen den kugelsegmentförmigen Drehzapfen 4 und der zylinderförmigen Lauffläche der Dreh-Schiebe-Hülsen 12, 13. Durch die beidseitig offene Ausführung der zylinderförmigen Dreh-Schiebe-Hülsen 12, 13 ist eine Verschiebung der Drehzapfen 4 in axialer Richtung der Drehachse 15 ohne weiteres möglich. Insbesondere kann der Drehzapfen 4 durch die entsprechenden Dreh-Schiebe-Hülsen 12, 13 vollständig hindurch geführt werden. Daran werden die Drehzapfen 4 des Flanschrings 2 (zweites Element) dadurch gehindert, dass der Flanschring 2 (zweites Element) im montierten Zustand gegen die Innenseite des Rahmens 3 anschlägt, genauso wie dies für den Rahmen 3 gegenüber den Schenkeln 9 und 10 der Fall ist.Also with the rotary sliding sleeves 12 and 13 of the frame 3 results in a linear contact between the spherical segment-shaped pivot 4 and the cylindrical tread of the rotary slide sleeves 12 . 13 , Due to the double-sided open design of the cylindrical rotary slide sleeves 12 . 13 is a displacement of the pivot 4 in the axial direction of the axis of rotation 15 readily possible. In particular, the pivot can 4 through the corresponding rotary sliding sleeves 12 . 13 be passed completely through. This is where the pivots are going 4 of the flange ring 2 (second element) prevented by the flange ring 2 (second element) in the assembled state against the inside of the frame 3 strikes, as well as the frame 3 opposite the thighs 9 and 10 the case is.

Auch zwischen dem Rahmen 3 und dem Flanschring 2 (zweites Element) wird das axiale Spiel in Richtung der Drehachse 15, welches eine Verschiebung des Flanschrings 2 bzgl. des Rahmens 3 ermöglicht, durch Beilagscheiben 8 variiert, wie dies bereits für die Drehachse 14 beschrieben worden ist.Also between the frame 3 and the flange ring 2 (second element) is the axial play in the direction of the axis of rotation 15 which is a displacement of the flange ring 2 regarding the frame 3 allows, through washers 8th varies, as already for the axis of rotation 14 has been described.

Entsprechend ist eine Bewegung des Flanschrings 2 (zweites Element) gegenüber der Konsole 1 in der Weise möglich, dass sowohl eine Drehung um die Drehachse 14 und um die senk rechte Drehachse 15 als auch eine Verschiebung entlang der Drehachse 14 sowie entlang der Drehachse 15 möglich sind.Corresponding is a movement of the flange ring 2 (second element) opposite the console 1 possible in the way that both a rotation about the axis of rotation 14 and about the perpendicular right axis of rotation 15 as well as a shift along the axis of rotation 14 as well as along the axis of rotation 15 possible are.

Für das bevorzugte Einsatzgebiet der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei Messgeräten und insbesondere Schichtmessgeräten, bei denen ein bewegliches Teil, wie beispielsweise ein Messtisch mittels eines Spindelantriebs verschiebbar ist, kann die Spindelmutter als zweites Teil bzw. der Flanschring 2 als Spindelmutter ausgeführt sein oder diese aufnehmen, wobei durch die Spindelmutter die Spindel geführt wird. Sofern die Spindel zur Spindelmutter nicht exakt ausgerichtet ist, ermöglicht die erfindungsgemäße Vorrichtung eine Bewegung des Flanschrings 2 bzw. der Spindelmutter bzgl. der Konsole 1, so dass ein Ausgleich von Winkelfehlern und Fluchtungsfehlern zwischen Spindel und Spindelmutter möglich ist, ohne dass Kräfte oder Momente auf die Konsole 1 bzw. einen damit verbundenen Schlitten oder Tisch übertragen werden.For the preferred field of use of the device according to the invention in measuring devices and in particular layer measuring devices, in which a movable part, such as a measuring table is displaceable by means of a spindle drive, the spindle nut as a second part or the flange ring 2 be executed as a spindle nut or record this, wherein the spindle is guided by the spindle nut. If the spindle is not exactly aligned with the spindle nut, the device according to the invention makes it possible to move the flange ring 2 or the spindle nut with respect to the console 1 , so that a compensation of angular errors and misalignment between spindle and spindle nut is possible without forcing forces or moments on the console 1 or a carriage or table connected thereto.

Dies ist beispielhaft in 3 gezeigt, welche einen Schlitten 18 zeigt, der entlang einer Schienenanordnung 19 hin und her bewegt werden kann. Auf dem Schlitten 18 ist die Konsole 1 starr montiert, wobei eine Spindel 16, welche durch einen Motor 17 angetrieben wird, durch die Spindelmutter, welche in dem Flanschring 2 integriert ist oder an diesem angeordnet ist, hindurchgeführt ist. Durch den Antrieb und die Drehbewegung der Spindel 16 wird der Schlitten 18 hin und her bewegt. Um evtl. Toleranzen bei der winkeligen und fluchtenden Anordnung der Spindel 16 bzgl. des Schlittens 18 und der Konsole 1 auszugleichen, wird eine erfindungsgemäße Vorrichtung, wie vorher beschrieben, verwendet. Dadurch können Kräfte und Drehmomente auf den Schlitten 18, die eine Bewegung entlang der Schienenanordnung 19 erschweren oder beeinträchtigen könnten, vermieden werden.This is exemplary in 3 shown a sled 18 showing along a rail assembly 19 can be moved back and forth. On the sledge 18 is the console 1 rigidly mounted, with a spindle 16 which by a motor 17 is driven by the spindle nut, which in the flange 2 is integrated or disposed on this, is passed. By the drive and the rotary motion of the spindle 16 becomes the sled 18 moved back and forth. For possible tolerances in the angular and aligned arrangement of the spindle 16 regarding the carriage 18 and the console 1 To compensate, a device according to the invention, as previously described, is used. This allows forces and torques on the slide 18 making a movement along the rail assembly 19 difficult or difficult to avoid.

Anstelle des gezeigten Ausführungsbeispiels der 1 und 2 könnten die Dreh-Schiebe-Hülsen 7, 11, 12, 13 auch als sog. Sackbohrungen mit einseitig verschlossenem Ende ausgeführt sein, wobei die Enden der Dreh-Schiebe-Hülsen gleichzeitig auch als Anschlagelemente dienen könnten.Instead of the illustrated embodiment of 1 and 2 could the turn-slide sleeves 7 . 11 . 12 . 13 Also be designed as so-called. Blind holes with one end closed at one end, wherein the ends of the rotary sliding sleeves could also serve as a stop elements.

Statt einer Schiebebewegung innerhalb der Dreh-Schiebe-Hülsen 7, 11, 12, 13 wäre auch eine verschiebliche Anordnung des Rahmens 3 an den Drehzapfen 4 bzw. des Flanschrings 2 an den entsprechenden Drehzapfen 4 denkbar, wenn beispielsweise die Drehzapfen 4 unverschieblich in einer Hülse oder einem Lagerelement vorgesehen sind.Instead of a sliding movement within the Rotary sliding sleeves 7 . 11 . 12 . 13 would also be a displaceable arrangement of the frame 3 at the pivot 4 or the flange ring 2 at the corresponding pivot 4 conceivable, for example, if the pivot 4 are provided immovable in a sleeve or a bearing element.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel der 1 und 2 sind die Drehzapfen und die Dreh-Schiebe-Hülsen identisch ausgebildet. Diese könnten jedoch auch unterschiedlich ausgebildet werden.In the embodiment shown the 1 and 2 the pivots and the rotary slide sleeves are identical. However, these could also be designed differently.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand des Ausführungsbeispiels detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass Abänderungen oder Modifikationen, insbesondere durch andersartige Kombination einzelner Merkmale oder Weglassen einzelner Merkmale möglich sind, ohne den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche zu verlassen.Even though the present invention with reference to the embodiment detailed has been described is for the expert of course, that amendments or modifications, in particular by a different combination individual characteristics or omission of individual features are possible, without departing from the scope of the appended claims.

Claims

Device for movably supporting components with each other with a first element ( 1 ), a second element ( 2 ) and a frame ( 3 ), wherein frame and first element by means of a first axis of rotation ( 14 ) are rotatably connected to each other, and frames ( 3 ) and second element ( 2 ) by means of a second axis of rotation ( 15 ) are rotatably connected to each other, wherein the components are associated with the first and the second element, so that they are mutually movable according to the first and second elements, characterized in that at least one of the first and second rotation axis is formed so that at least one of provided on the axis of rotation components ( 1 . 2 . 3 ) comprising first element, second element and frame in the longitudinal direction of a rotation axis is displaceable.

Device according to claim 1, characterized in that the first and / or second axis of rotation comprises at least one axis of rotation ( 4 ) either in a bearing of the first and / or second elements ( 1 . 2 ) and / or the frame ( 3 ) are rotatably arranged.

Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that first and / or second axis of rotation Drehachsenkomponenten ( 4 ) which are integrally formed on first and / or second element ( 1 . 2 ) and / or the frame ( 3 ) are formed and / or arranged on this and / or provided separately from these components.

Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that first and / or second element to corresponding Arranged components and / or are integrally formed on these.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first element ( 1 ) and frames ( 3 ) are arranged with axial play to each other.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the second element ( 2 ) and frames ( 3 ) are arranged with axial play to each other.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first and / or second axis of rotation at least one axle journal ( 4 ) and at least one rotary and sliding sleeve ( 7 . 11 . 12 . 13 ), wherein the axle journal is rotatably and axially displaceably received in the rotary and sliding sleeve.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that an axial displacement of the first and / or second axis of rotation by a distance opposite bearings for Drehachsenkomponenten the respective axis of rotation and / or extending in the direction of the respective axis of rotation dimension provided on the axis of rotation component ( 1 . 2 . 3 ) is determined.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one intermediate component ( 8th ) between the first element and the frame and / or second element and frame for adjusting the axial displaceability is provided.

Apparatus according to claim 9, characterized in that various intermediate components ( 8th ) can be provided with different thickness.

Device according to claim 9 or 10, characterized in that the intermediate component ( 8th ) is provided as an annular disc about a journal.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first element ( 1 ) a U-shaped body with opposite legs ( 9 . 10 ), between which a frame ( 3 ) is provided in the form of a ring, which is connected to a first axis of rotation connecting the leg ends ( 14 ) is rotatable, wherein the frame ( 3 ) a second element ( 2 ) also rotatably receives in the form of a ring concentric with the frame.

Device according to one of the preceding Claims, characterized in that first and second axes of rotation ( 14 . 15 ) are provided perpendicular to each other.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that in each case two opposite journals ( 4 ) rotatably on the frame ( 3 ) and / or the second element ( 2 ) are provided.

Device according to claim 14, characterized in that the axle journal ( 4 ) by an outer rotary part ( 6 ), in particular spherical segment-shaped rotary part and a locking screw ( 5 ) is formed.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the first element and / or the frame a rotary sliding sleeve ( 7 . 11 . 12 . 13 ) is formed in the form of a one-sided or two-sided open cylindrical tube-shaped opening.

Apparatus according to claim 16, characterized in that the rotary sliding sleeve ( 7 . 11 . 12 . 13 ) has a sliding surface.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the second element ( 2 ) is a spindle nut or has.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first element ( 1 ) on a movable table ( 18 ), in particular a measuring device, preferably layer thickness measuring device is arranged or integrated in this.