DE102007062564A1 - Device for illuminating surface, particularly for illuminating mask for lithographic application, comprises light source for production of light, which is applied for illumination - Google Patents

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Abstract

The device comprises a light source (1) for production of light (3), which is applied for illumination. An optical unit (2) is provided for shaping light produced from the light source. A separating unit (4) is provided, which comprises another array (8) of another lens (9), which is arranged in direction of propagation of the light between a former array (6) and the surface which is illuminated.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ausleuchtung einer Fläche gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The The present invention relates to a device for illuminating a area according to the generic term of claim 1.

Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise bei lithografischen Anwendungen zur Ausleuchtung einer Maske genutzt. Das Licht einer in der Regel als Laser ausgebildeten Lichtquelle wird mit geeigneten Optikmitteln geformt, insbesondere homogenisiert und kollimiert und trifft gemäß dem Stand der Technik großflächig auf die Maske. Diese weist in der Regel eine Vielzahl kleiner Öffnungen oder transparenter Abschnitte auf, durch die ein häufig nur kleiner Teil des Lichts hindurch treten und für die lithografische Anwendung genutzt werden kann. Ein großer Teil des Lichts wird dabei von den opaken Bereichen zwischen den Öffnungen oder den transparenten Abschnitten der Maske absorbiert. Als nachteilig hierbei erweist es sich einerseits, dass Anwendungen wie die Laserablation mit derartigen Vorrichtungen wesentlich höhere Ausgangsleistungen der Lichtquelle erfordern als prinzipiell notwendig. Andererseits wird ein großer Teil der Lichtenergie von der Maske absorbiert, so dass diese unter Umständen aufwendig gekühlt werden muss.such Devices become, for example, in lithographic applications used to illuminate a mask. The light of a rule Laser formed as a light source is using appropriate optical means shaped, in particular homogenized and collimated and meets in accordance with the state of Technology on a large area the mask. This usually has a large number of small openings or transparent sections, through which a frequently only small part of the light pass through and for the lithographic application can be used. A large part of the light is thereby from the opaque areas between the openings or absorbed by the transparent portions of the mask. As a disadvantage On the one hand, it turns out that applications such as laser ablation with such devices significantly higher output powers of Require light source as basically necessary. On the other hand, a greater Part of the light energy absorbed by the mask, leaving this under circumstances consuming cooled must become.

Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, die niedrigere Leistungen der Lichtquelle erfordert.The The problem underlying the present invention is the creation a device of the type mentioned, the lower powers the light source requires.

Dies wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung.This is inventively a device of the type mentioned above with the characterizing Characteristics of claim 1 achieved. The dependent claims relate preferred embodiments the invention.

Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Vorrichtung Separiermittel umfasst, die das für die Ausleuchtung zu verwendende Licht derart in mehrere von einander separierte Teilstrahlen aufteilen können, dass diese die auszuleuchtende Fläche beabstandet zueinander ausleuchten können. Dadurch können gezielt die Öffnungen oder transparenten Abschnitt der Maske beleuchtet werden, wohingegen die zwischen diesen angeordneten opaken Bereiche der Maske weitgehend unbeleuchtet bleiben. Dadurch wird weniger Licht von der Maske absorbiert, so dass diese nicht gekühlt werden muss und die Intensität der Lichtquelle reduziert werden kann.According to claim 1, it is provided that the device comprises separating means, which that for the illumination to be used light in several of each other separated sub-beams can divide that these to be illuminated area can illuminate each other spaced. This allows targeted the openings or transparent portion of the mask are illuminated, whereas the between these arranged opaque areas of the mask largely stay unlit. As a result, less light is absorbed by the mask, so that these are not cooled must be and the intensity the light source can be reduced.

Es kann vorgesehen sein, dass die Separiermittel mindestens ein erstes Array von ersten Linsen umfassen, das das Licht zumindest hinsichtlich einer ersten Richtung in separate Teilstrahlen aufteilen kann, wobei die ersten Linsen vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite aufweisen.It can be provided that the separating means at least a first Comprise array of first lenses, which at least in terms of the light a first direction can split into separate sub-beams, wherein the first lenses preferably all the have the same focal length.

Alternativ besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der ersten Linsen eine von den Brennweiten der anderen ersten Linsen unterschiedliche Brennweite aufweist. Dadurch kann eine Abbildung in unterschiedliche Ebenen realisiert werden.alternative it is possible, at least one of the first lenses is one of the focal lengths of the other first lenses has different focal lengths. Thereby an image can be realized in different levels.

Anstelle eines ersten Arrays mit ersten Linsen können mehrere in Ausbreitungsrichtung des Lichts hintereinander angeordnete erste Arrays mit jeweils ersten Linsen vorgesehen sein. Beispielsweise können durch die Hintereinander-Anordnung zweier oder mehrerer erster Linsen zweier oder mehrerer erster Arrays Abbildungsfehler korrigiert werden.Instead of of a first array with first lenses may be several in the propagation direction of the light arranged one behind the other first arrays, each with first Lenses be provided. For example, by the sequential arrangement of two or more first lenses of two or more first arrays of aberrations Getting corrected.

Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Separiermittel mindestens ein zweites Array von zweiten Linsen umfassen, das in Ausbreitungsrichtung des Lichtes zwischen dem mindestens einen ersten Array und der auszuleuchtenden Fläche angeordnet ist, wobei die zweiten Linsen vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite aufweisen.Farther can be provided that the separating means at least a second Array of second lenses, in the propagation direction of the Light between the at least one first array and the one to be illuminated area is arranged, wherein the second lenses preferably all the have the same focal length.

Alternativ besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der zweiten Linsen eine von den Brennweiten der anderen zweiten Linsen unterschiedliche Brennweite aufweist. Dadurch kann eine Abbildung in unterschiedliche Ebenen realisiert werden.alternative it is possible, that at least one of the second lenses is one of the focal lengths the other second lenses have different focal lengths. As a result, an image can be realized in different levels become.

Anstelle eines zweiten Arrays mit zweiten Linsen können mehrere in Ausbreitungsrichtung des Lichts hintereinander angeordnete zweite Arrays mit jeweils zweiten Linsen vorgesehen sein.Instead of of a second array with second lenses may be more in the propagation direction of the light arranged one behind the other second arrays, respectively be provided second lenses.

Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass der Abstand zwischen dem mindestens einen ersten Array und dem mindestens einen zweiten Array in Ausbreitungsrichtung des Lichtes der Summe der Brennweite der ersten Linsen und der Brennweite der zweiten Linsen entspricht. Dadurch ergibt sich eine Teleskopanordnung, wobei über das Verhältnis der Brennweiten der ersten und der zweiten Linsen die Größe der Teilstrahlen zumindest hinsichtlich der ersten Richtung beeinflusst werden kann. Es besteht die Möglichkeit, dass einerseits die ersten Linsen und die zweiten Linsen eine positive Brechkraft beziehungsweise Brennweite aufweisen, so dass sich ein Keplersches Teleskop ergibt. Es besteht aber durchaus auch die Möglichkeit, dass die Brechkraft beziehungsweise Brennweite der ersten oder der zweiten Linsen negativ ist, so dass sich ein Galilei-Teleskop ergibt, bei dem der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Array entsprechend kürzer ist.Especially can be provided that the distance between the at least a first array and the at least one second array in the propagation direction the light of the sum of the focal length of the first lenses and the focal length of the second lenses corresponds. This results in a telescopic arrangement, being over the ratio of Focal lengths of the first and second lenses the size of the partial beams at least with regard to the first direction can be influenced. There is a possibility on the one hand the first lenses and the second lenses a positive Have refractive power or focal length, so that a Keplersches Telescope results. But there is also the possibility that the refractive power or focal length of the first or the second lens is negative, resulting in a Galilean telescope, wherein the distance between the first and the second array is corresponding shorter is.

Es besteht die Möglichkeit, dass sämtliche Aperturen der ersten Linsen gleich sind.It it is possible, that all apertures the first lenses are the same.

Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der Aperturen der ersten Linsen verschieden von den anderen Aperturen der ersten Linsen ist.Alternatively, there is the possibility that at least one of the apertures of the first lenses is different from the other apertures of the first line is sen.

Es besteht die Möglichkeit, dass sämtliche Aperturen der zweiten Linsen gleich sind.It it is possible, that all apertures the second lenses are the same.

Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der Aperturen der zweiten Linsen verschieden von den anderen Aperturen der zweiten Linsen ist.alternative there is the possibility that at least one of the apertures of the second lens is different from the other apertures of the second lens.

Durch unterschiedlich große Aperturen kann erreicht werden, dass einzelne der Teilstrahlen zumindest in der ersten Richtung größer sind als andere Teilstrahlen. Dadurch kann beispielsweise eine Maske mit unterschiedlich großen Öffnungen oder transparenten Abschnitten effektiv ausgeleuchtet werden.By different sizes Apertures can be achieved that individual of the partial beams at least are larger in the first direction as other partial beams. As a result, for example, a mask with different sized openings or transparent sections are effectively illuminated.

Es kann vorgesehen sein, dass die Separiermittel mindestens ein drittes Array von dritten Linsen umfassen, das das Licht zumindest hinsichtlich einer zweiten Richtung, die zu der ersten Richtung senkrecht ist, in separate Teilstrahlen aufteilen kann, wobei die dritten Linsen vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite aufweisen.It can be provided that the separating means at least a third Comprise array of third lenses, the light at least in terms a second direction perpendicular to the first direction, can divide into separate sub-beams, the third lenses preferably all have the same focal length.

Alternativ besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der dritten Linsen eine von den Brennweiten der anderen dritten Linsen unterschiedliche Brennweite aufweist. Dadurch kann eine Abbildung in unterschiedliche Ebenen realisiert werden.alternative it is possible, that at least one of the third lenses one of the focal lengths the other third lenses have different focal lengths. As a result, an image can be realized in different levels become.

Anstelle eines dritten Arrays mit dritten Linsen können mehrere in Ausbreitungsrichtung des Lichts hintereinander angeordnete dritte Arrays mit jeweils dritten Linsen vorgesehen sein.Instead of of a third array with third lenses may be several in the propagation direction of the light arranged one behind the other third arrays, respectively be provided third lenses.

Dabei kann vorgesehen sein, dass das dritte Array zwischen dem ersten Array und dem zweiten Array angeordnet ist.there can be provided that the third array between the first Array and the second array is arranged.

Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Separiermittel mindestens ein viertes Array von vierten Linsen umfassen, das in Ausbreitungsrichtung des Lichtes zwischen dem mindestens einen dritten Array oder dem mindestens einen zweiten Array und der auszuleuchtenden Fläche angeordnet ist, wobei die vierten Linsen vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite aufweisen.Farther can be provided that the separating means at least a fourth Array of fourth lenses, which in the propagation direction of the Light between the at least one third array or at least a second array and the surface to be illuminated is arranged, wherein the Fourth lenses preferably all have the same focal length.

Alternativ besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der vierten Linsen eine von den Brennweiten der anderen vierten Linsen unterschiedliche Brennweite aufweist. Dadurch kann eine Abbildung in unterschiedliche Ebenen realisiert werden.alternative it is possible, that at least one of the fourth lenses one of the focal lengths the other fourth lenses has different focal lengths. As a result, an image can be realized in different levels become.

Anstelle eines vierten Arrays mit vierten Linsen können mehrere in Ausbreitungsrichtung des Lichts hintereinander angeordnete vierte Arrays mit jeweils vierten Linsen vorgesehen sein.Instead of of a fourth array with fourth lenses may be more in the propagation direction of the light arranged in succession fourth arrays, respectively fourth lenses may be provided.

Insbesondere kann dabei vorgesehen sein, dass der Abstand zwischen dem mindestens einen dritten Array und dem mindestens einen vierten Array in Ausbreitungsrichtung des Lichtes der Summe der Brennweite der dritten Linsen und der Brennweite der vierten Linsen entspricht. Auch dadurch ergibt sich eine Teleskopanordnung, wobei über das Verhältnis der Brennweiten der ersten und der zweiten Linsen die Größe der Teilstrahlen zumindest hinsichtlich der zweiten Richtung beeinflusst werden kann. Es besteht die Möglichkeit, dass einerseits die ersten Linsen und die zweiten Linsen eine positive Brechkraft beziehungsweise Brennweite aufweisen, so dass sich ein Keplersches Teleskop ergibt. Es besteht aber durchaus auch die Möglichkeit, dass die Brechkraft beziehungsweise Brennweite der ersten oder der zweiten Linsen negativ ist, so dass sich ein Galilei- Teleskop ergibt, bei dem der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Array entsprechend kürzer ist.Especially can be provided that the distance between the at least a third array and the at least one fourth array in the propagation direction the light of the sum of the focal length of the third lens and the Focal length of the fourth lens corresponds. This also results in a Telescope arrangement, with over the ratio of Focal lengths of the first and second lenses the size of the partial beams can be influenced at least in the second direction. There is a possibility on the one hand the first lenses and the second lenses a positive Have refractive power or focal length, so that a Kepler's telescope yields. But there is also the possibility that the refractive power or focal length of the first or the second Lens is negative, so that there is a Galilei telescope, in which the distance between the first and the second array is correspondingly shorter.

Es besteht die Möglichkeit, dass sämtliche Aperturen der dritten Linsen gleich sind.It it is possible, that all apertures the third lenses are the same.

Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der Aperturen der dritten Linsen verschieden von den anderen Aperturen der dritten Linsen ist.alternative there is the possibility that at least one of the apertures of the third lens is different from the other apertures of the third lens.

Es besteht die Möglichkeit, dass sämtliche Aperturen der vierten Linsen gleich sind.It it is possible, that all apertures the fourth lenses are the same.

Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, dass zumindest eine der Aperturen der vierten Linsen verschieden von den anderen Aperturen der vierten Linsen ist.alternative there is the possibility that at least one of the apertures of the fourth lens is different from the other apertures of the fourth lens.

Auch bei den dritten und vierten Linsen kann durch unterschiedlich große Aperturen erreicht werden, dass einzelne der Teilstrahlen zumindest in der zweiten Richtung größer sind als andere Teilstrahlen. Dadurch kann beispielsweise eine Maske mit unterschiedlich großen Öffnungen oder transparenten Abschnitten effektiv ausgeleuchtet werden.Also in the third and fourth lenses can by different sized apertures be achieved that individual of the partial beams at least in the second Direction are bigger as other partial beams. As a result, for example, a mask with different sized openings or transparent sections are effectively illuminated.

Es besteht die Möglichkeit, dass die ersten Linsen und/oder die zweiten Linsen und/oder die dritten Linsen und/oder die vierten Linsen als Zylinderlinsen ausgebildet sind. Derartige Zylinderlinsen können eine sphärische oder eine asphärische Gestaltung aufweisen.It it is possible, that the first lenses and / or the second lenses and / or the third lenses and / or the fourth lenses are formed as cylindrical lenses are. Such cylindrical lenses can a spherical one or an aspherical one Have design.

Alternativ besteht die Möglichkeit, dass die Linsen eine im wesentlichen sphärische oder eine asphärische zirkularsymmetrische Gestalt aufweisen. Derartige Linsen können beispielsweise eine kreisförmige oder hexagonale Apertur abdecken.alternative it is possible, that the lenses have a substantially spherical or aspherical circular-symmetric Have shape. Such lenses may, for example, a circular or cover hexagonal aperture.

Bei Ausgestaltung der Linsen als Zylinderlinsen können sich die Zylinderachsen der ersten und der zweiten Linsen in der zweiten Richtung und die Zylinderachsen der dritten und der vierten Linsen in der ersten Richtung erstrecken.When designing the lenses as cylindrical lenses, the cylinder axes of the first and of the second lenses in the second direction and the cylinder axes of the third and fourth lenses in the first direction.

Weiterhin besteht die Möglichkeit, dass die ersten Linsen und/oder die zweiten Linsen und/oder die dritten Linsen und/oder die vierten Linsen derart symmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung des für die Ausleuchtung zu verwendenden Lichts angeordnet sind, dass die ersten Linsen und/oder die zweiten Linsen und/oder die dritten Linsen und/oder die vierten Linsen die mittlere Ausbreitungsrichtung des Lichts nicht ändern.Farther it is possible, that the first lenses and / or the second lenses and / or the third lenses and / or the fourth lenses so symmetrical to mean propagation direction of the to be used for the illumination Light are arranged, that the first lenses and / or the second Lenses and / or the third lenses and / or the fourth lenses the Do not change the mean propagation direction of the light.

Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, dass die ersten Linsen und/oder die zweiten Linsen und/oder die dritten Linsen und/oder die vierten Linsen derart unsymmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung des für die Ausleuchtung zu verwendenden Lichts angeordnet sind, dass die ersten Linsen und/oder die zweiten Linsen und/oder die dritten Linsen und/oder die vierten Linsen die mittlere Ausbreitungsrichtung des Lichts ändern. Dadurch können alle oder einige der Teilstrahlen abgelenkt werden, so dass auch unregelmäßig verteilte Öffnungen oder transparente Abschnitte der Maske gezielt ausgeleuchtet werden können.alternative there is the possibility that the first lenses and / or the second lenses and / or the third lenses and / or the fourth lenses so asymmetrically to the mean propagation direction of the one to be used for the illumination Light are arranged, that the first lenses and / or the second Lenses and / or the third lenses and / or the fourth lenses the change the mean propagation direction of the light. This allows everyone or some of the partial beams are deflected, so that also irregularly distributed openings or transparent sections of the mask can be specifically illuminated.

Vorzugsweise umfassen die Optikmittel Homogenisatormittel, die eine gleichmäßige Verteilung des Lichts in der Ebene des ersten und/oder des dritten Arrays bewirken können, und Kollimiermittel, die das Licht vor dem Auftreffen auf das erste und/oder das dritte Array kollimieren können.Preferably For example, the optical means comprise homogenizer means which provide uniform distribution of the Light in the plane of the first and / or the third array effect can, and collimating the light before hitting the first and / or the third array can collimate.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigenFurther Features and advantages of the present invention will become apparent with reference to the following description of preferred embodiments with reference to the attached figures. Show in it

1a eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 1a a plan view of a first embodiment of a device according to the invention;

1b eine Seitenansicht der Vorrichtung gemäß 1a; 1b a side view of the device according to 1a ;

2a eine Draufsicht auf Separiermittel und Maske einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 2a a plan view of separating means and mask of a second embodiment of a device according to the invention;

2b eine Seitenansicht der Separiermittel und der Maske der Vorrichtung gemäß 2a; 2 B a side view of the separating means and the mask of the device according to 2a ;

3 eine schematische Vorderansicht einer mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeleuchteten Maske; 3 a schematic front view of an illuminated with a device according to the invention mask;

4 eine schematische Vorderansicht einer weiteren mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeleuchteten Maske. 4 a schematic front view of another illuminated with a device according to the invention mask.

In den Figuren sind zur besseren Orientierung kartesische Koordinatensysteme eingezeichnet.In The figures are for better orientation Cartesian coordinate systems located.

In 1a und 1b sind schematisch eine Lichtquelle 1 und Optikmittel 2 dargestellt. Die Lichtquelle 1 kann ein geeigneter Laser sein, wie beispielsweise ein Laserdiodenbarren oder ein Excimer-Laser oder ein Nd:YAG-Laser. Die Optikmittel 2 können nicht im Detail abgebildete Kollimiermittel und Homogenisatormittel umfassen, um das von der Lichtquelle 1 ausgehende Licht 3 zu kollimieren und zu homogenisieren.In 1a and 1b are schematically a light source 1 and optics 2 shown. The light source 1 may be a suitable laser, such as a laser diode bar or an excimer laser or an Nd: YAG laser. The optics means 2 may not include collimating means and homogenizer means shown in detail to match that of the light source 1 outgoing light 3 to collimate and homogenize.

Die Vorrichtung umfasst weiterhin Separiermittel 4, die das Licht 3 in einzelne voneinander separierte Teilstrahlen 5a, 5b aufteilen können.The device further comprises separating means 4 that the light 3 into individual mutually separated partial beams 5a . 5b can split.

Die Separiermittel umfassen ein erstes Array 6 von ersten als Zylinderlinsen ausgebildeten Linsen 7 und ein zweites Array 8 von zweiten als Zylinderlinsen ausgebildeten Linsen 9, die beide das Licht hinsichtlich der X-Richtung beeinflussen (siehe 1a). Dazu sind die Zylinderachsen der ersten und der zweiten Linsen 7, 9 in Y-Richtung ausgerichtet. Sowohl das erste Array 6, als auch das zweite Array 8 sind jeweils auf der Eintrittsfläche eines separaten Substrats angeordnet.The separating means comprise a first array 6 of first formed as a cylindrical lens lenses 7 and a second array 8th of second lenses formed as cylindrical lenses 9 , both of which affect the light in the X direction (see 1a ). These are the cylinder axes of the first and second lenses 7 . 9 aligned in the Y direction. Both the first array 6 , as well as the second array 8th are each arranged on the entrance surface of a separate substrate.

Die Aperturen sämtlicher erster Linsen 7 zumindest in X-Richtung sind gleich. Weiterhin sind auch die Aperturen sämtlicher zweiter Linsen 9 zumindest in X-Richtung gleich. Zusätzlich sind sowohl sämtliche der ersten Linsen 7, als auch sämtliche der zweiten Linsen 9 derart symmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung Z des Lichtes 3 ausgerichtet, das die mittlere Ausbreitungsrichtung Z des Lichtes 3 bei dem Hindurchtritt durch die ersten und/oder die zweiten Linsen 7, 9 keine Ablenkung erfährt. Weiterhin ist jeweils eine der ersten Linsen 7 in Z-Richtung genau einer der zweiten Linsen 9 gegenüberliegend angeordnet, so dass deren optische Achsen zusammenfallen.The apertures of all first lenses 7 at least in the X direction are the same. Furthermore, the apertures of all second lenses are also 9 at least in the X direction the same. In addition, both are all of the first lenses 7 , as well as all of the second lenses 9 so symmetrical to the mean propagation direction Z of the light 3 aligned, which is the mean propagation direction Z of the light 3 in passing through the first and / or second lenses 7 . 9 no distractions. Furthermore, each one of the first lenses 7 exactly one of the second lenses in the Z direction 9 arranged opposite, so that their optical axes coincide.

Sämtliche erste Linsen 7 weisen die gleiche Brennweite f7 auf. Weiterhin weisen auch sämtliche zweite Linsen 9 die gleiche Brennweite f9 auf. Der Abstand des ersten Arrays 6 zu dem zweiten Array 8 entspricht der Summe f7 + f9 der Brennweiten f7, f9 der ersten und der zweiten Linsen 7, 9 (siehe 1b). Das erste und das zweite Array 6, 8 bilden somit eine Teleskopanordnung. Dabei sind die Brennweiten f7 der ersten Linsen 7 größer, beispielsweise etwa dreimal so groß wie die Brennweiten f9 der zweiten Linsen 9. Daher wird das homogene Licht 3 durch das aus dem ersten Array 6 und dem zweiten Array 8 bestehende Teleskop hinsichtlich der X-Richtung in zueinander separierte Teilstrahlen 5 aufgespalten.All first lenses 7 have the same focal length f 7 . Furthermore, all have second lenses 9 the same focal length f 9 on. The distance of the first array 6 to the second array 8th corresponds to the sum f 7 + f 9 of the focal lengths f 7 , f 9 of the first and second lenses 7 . 9 (please refer 1b ). The first and the second array 6 . 8th thus form a telescope arrangement. The focal lengths are f 7 of the first lenses 7 larger, for example, about three times as large as the focal lengths f 9 of the second lenses 9 , Therefore, the homogeneous light 3 through that from the first array 6 and the second array 8th existing telescope with respect to the X direction in mutually separated partial beams 5 split.

Die Separiermittel umfassen weiterhin ein drittes Array 10 von dritten als Zylinderlinsen ausgebildeten Linsen 11 und ein viertes Array 12 von vierten als Zylinderlinsen ausgebildeten Linsen 13, die beide das Licht hinsichtlich der Y-Richtung beeinflussen (siehe 1b). Dazu sind die Zylinderachsen der dritten und der vierten Linsen 11, 13 in X-Richtung ausgerichtet. Sowohl das dritte Array 10, als auch das vierte Array 12 sind jeweils auf der Eintrittsfläche eines separaten Substrats angeordnet.The separating means further comprise a third array 10 third lens formed as a cylindrical lens 11 and a fourth array 12 fourth lens formed as a cylindrical lens 13 , both of which affect the light with respect to the Y direction (see 1b ). These are the cylinder axes of the third and fourth lenses 11 . 13 aligned in the X direction. Both the third array 10 , as well as the fourth array 12 are each arranged on the entrance surface of a separate substrate.

Die Aperturen sämtlicher dritter Linsen 11 zumindest in Y-Richtung sind gleich. Weiterhin sind auch die Aperturen sämtlicher vierter Linsen 13 zumindest in Y-Richtung gleich. Zusätzlich sind sowohl sämtliche der dritten Linsen 11, als auch sämtliche der vierten Linsen 13 derart symmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung Z des Lichtes 3 ausgerichtet, das die mittlere Ausbreitungsrichtung Z des Lichtes 3 bei dem Hindurchtritt durch die dritten und/oder die vierten Linsen 11, 13 keine Ablenkung erfährt. Weiterhin ist jeweils eine der dritten Linsen 11 in Z-Richtung genau einer der vierten Linsen 13 gegenüberliegend angeordnet, so dass deren optische Achsen zusammenfallen.The apertures of all third lenses 11 at least in the Y direction are the same. Furthermore, the apertures of all fourth lenses are also 13 at least in the Y direction the same. In addition, all of the third lenses 11 , as well as all of the fourth lenses 13 so symmetrical to the mean propagation direction Z of the light 3 aligned, which is the mean propagation direction Z of the light 3 in passing through the third and / or fourth lenses 11 . 13 no distractions. Furthermore, each one of the third lenses 11 exactly one of the fourth lenses in the Z direction 13 arranged opposite, so that their optical axes coincide.

Sämtliche dritte Linsen 11 weisen die gleiche Brennweite f11 auf. Weiterhin weisen auch sämtliche vierte Linsen 13 die gleiche Brennweite f13 auf. Der Abstand des dritten Arrays 10 zu dem vierten Array 12 entspricht der Summe f11 + f13 der Brennweiten f11, f13 der dritten und der vierten Linsen 11, 13 (siehe 1b). Das dritte und das vierte Array 10, 12 bilden somit ebenfalls eine Teleskopanordnung. Dabei sind die Brennweiten f11 der dritten Linsen 11 größer, beispielsweise etwa dreimal so groß wie die Brennweiten f13 der vierten Linsen 13. Daher wird das homogene Licht 3 durch das aus dem dritten Array 10 und dem vierten Array 12 bestehende Teleskop hinsichtlich der Y-Richtung in zueinander separierte Teilstrahlen 5 aufgespalten.All third lenses 11 have the same focal length f 11 . Furthermore, all fourth lenses also have 13 the same focal length f 13 on. The distance of the third array 10 to the fourth array 12 corresponds to the sum f 11 + f 13 of the focal lengths f 11 , f 13 of the third and the fourth lenses 11 . 13 (please refer 1b ). The third and the fourth array 10 . 12 thus also form a telescope arrangement. The focal lengths are f 11 of the third lenses 11 larger, for example, about three times as large as the focal lengths f 13 of the fourth lenses 13 , Therefore, the homogeneous light 3 through the third array 10 and the fourth array 12 existing telescope with respect to the Y direction in mutually separated partial beams 5 split.

Weiterhin kann vorgesehen sein, das die Brennweiten f7 der ersten Linsen 7 den Brennweiten f11 der dritten Linsen 11 entsprechen. Zusätzlich können die Brennweiten f9 der zweiten Linsen 9 den Brennweiten f13 der vierten Linsen 13 entsprechen.Furthermore, it can be provided that the focal lengths f 7 of the first lenses 7 the focal lengths f 11 of the third lenses 11 correspond. In addition, the focal lengths f 9 of the second lenses 9 the focal lengths f 13 of the fourth lenses 13 correspond.

Die in 1a und 1b abgebildeten Arrays 6, 8, 10, 12 sind nur beispielhaft dargestellt und können eine deutlich größere Anzahl von Linsen 7, 9, 11, 13 aufweisen.In the 1a and 1b mapped arrays 6 . 8th . 10 . 12 are shown only as an example and can be a significantly larger number of lenses 7 . 9 . 11 . 13 exhibit.

Die aus den Separiermitteln 4 austretenden Teilstrahlen 5 treffen auf eine Maske 14, die eine Mehrzahl von Öffnungen 15 oder transparenter Abschnitte für den Hindurchtritt des Lichtes aufweist. Aus 3 ist ersichtlich, dass die Teilstrahlen 5 (in 3 dargestellt als durchgezogene Linien) auf der Maske 14 jeweils auf eine der Öffnungen 15 (in 3 dargestellt als gestrichelte Linien) auftreffen und dabei eine Querschnittsfläche aufweisen, die nur unwesentlich größer als die lichte Weite der jeweiligen Öffnung 15 ist. Dadurch wird gewährleistet, dass einerseits jede der Öffnungen 15 vollständig ausgeleuchtet wird, andererseits aber nur sehr wenig Licht von den zwischen den Öffnungen 15 angeordneten opaken Bereichen 16 der Maske 14 absorbiert wird.The from the separating agents 4 emerging partial beams 5 meet a mask 14 which has a plurality of openings 15 or transparent portions for the passage of light. Out 3 it can be seen that the partial beams 5 (in 3 shown as solid lines) on the mask 14 each on one of the openings 15 (in 3 represented as dashed lines) and thereby have a cross-sectional area which is only slightly larger than the inside diameter of the respective opening 15 is. This ensures that on the one hand, each of the openings 15 is completely lit, but on the other hand, only very little light from the between the openings 15 arranged opaque areas 16 the mask 14 is absorbed.

Bei der in 2a und 2b abgebildeten Ausführungsform sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen wie in 1a und 1 b.At the in 2a and 2 B illustrated embodiment, like parts are given the same reference numerals as in FIG 1a and 1 b.

Die in 2a und 2b abgebildete Ausführungsform umfasst ebenfalls Separiermittel 4', die vier Arrays 6', 8', 10', 12' von Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c aufweisen. Die Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c sind ebenfalls als Zylinderlinsen ausgebildet und weisen eine der Vorrichtung gemäß 1a und 1b entsprechende Ausrichtung auf. Weiterhin entsprechen auch die Brennweiten der Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c denjenigen der Linsen 7, 9, 11, 13 der Vorrichtung gemäß 1a und 1b.In the 2a and 2 B The illustrated embodiment also includes separating means 4 ' , the four arrays 6 ' . 8th' . 10 ' . 12 ' of lenses 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c exhibit. The lenses 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c are also formed as cylindrical lenses and have one of the device according to 1a and 1b appropriate orientation. Furthermore, the focal lengths of the lenses correspond 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c those of the lenses 7 . 9 . 11 . 13 the device according to 1a and 1b ,

Allerdings weisen die Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c nicht alle die gleiche Apertur auf. Vielmehr sind die Aperturen der ersten Linsen 7a, 7b, 7c zumindest in X-Richtung ungleich zueinander. Weiterhin sind die Aperturen der zweiten Linsen 9a, 9b, 9c zumindest in X-Richtung ungleich zueinander. Weiterhin sind die Aperturen der dritten Linsen 11a, 11b, 11c zumindest in Y-Richtung ungleich zueinander. Weiterhin sind die Aperturen der vierten Linsen 13a, 13b, 13c zumindest in Y-Richtung ungleich zueinander. Dadurch ergeben sich unterschiedlich große Querschnitte und/oder unterschiedliche Intensitäten der Teilstrahlen 5 auf der Maske 14.However, the lenses point 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c not all the same aperture on. Rather, the apertures are the first lenses 7a . 7b . 7c at least in the X direction unequal to each other. Furthermore, the apertures of the second lenses 9a . 9b . 9c at least in the X direction unequal to each other. Furthermore, the apertures of the third lenses 11a . 11b . 11c at least in the Y direction unequal to each other. Furthermore, the apertures of the fourth lenses 13a . 13b . 13c at least in the Y direction unequal to each other. This results in different sized cross sections and / or different intensities of the partial beams 5 on the mask 14 ,

Zusätzlich bestehen einige oder alle Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c der Separiermittel 4' aus off-axis angeordneten Linsenausschnitten. Dadurch sind die Linsen 7a, 7b, 7c; 9a, 9b, 9c; 11a, 11b, 11c; 13a, 13b, 13c der Separiermittel 4' nicht symmetrisch zu der mittleren Ausbreitungsrichtung Z des Lichts 3 und lenken dieses somit ab. Dies ist beispielsweise in 2a bei den Linsen 7b und 9b sowie in 2b bei den Linsen 11b, 11c, 13b und 13c gegeben.In addition, some or all lenses exist 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c the separating agent 4 ' off-axis arranged lens cutouts. This causes the lenses 7a . 7b . 7c ; 9a . 9b . 9c ; 11a . 11b . 11c ; 13a . 13b . 13c the separating agent 4 ' not symmetric to the mean propagation direction Z of the light 3 and thus distract it. This is for example in 2a at the lenses 7b and 9b as in 2 B at the lenses 11b . 11c . 13b and 13c given.

Durch die unterschiedlichen Aperturen und die off-axis angeordneten Linsenausschnitte lassen sich mit den Separiermitteln 4' beliebige, insbesondere nicht überlappende Spotanordnungen auf der Maske 14 erzielen. Dies ist beispielhaft in 4 angedeutet.Due to the different apertures and the off-axis arranged lens cutouts can be with the separating 4 ' any, in particular non-overlapping spot arrangements on the mask 14 achieve. This is exemplary in 4 indicated.

Claims (23)

Vorrichtung zur Ausleuchtung einer Fläche, insbesondere zur Ausleuchtung einer Maske (14), beispielsweise für eine lithografische Anwendung, umfassend – mindestens eine Lichtquelle (1) zur Erzeugung von Licht (3), das für die Ausleuchtung verwendet werden kann; – Optikmittel (2) zur Formung des von der mindestens einen Lichtquelle (1) erzeugten Lichts (3); dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Separiermittel (4, 4') umfasst, die das für die Ausleuchtung zu verwendende Licht (3) derart in mehrere von einander separierte Teilstrahlen (5) aufteilen können, dass diese die auszuleuchtende Fläche beabstandet zueinander ausleuchten können.Device for illuminating a surface, in particular for illuminating a mask ( 14 ), for example for a lithographic application, comprising - at least one light source ( 1 ) for generating light ( 3 ) that can be used for illumination; - optical means ( 2 ) for forming the at least one light source ( 1 ) generated light ( 3 ); characterized in that the device is separating means ( 4 . 4 ' ), the light to be used for illumination ( 3 ) into a plurality of sub-beams ( 5 ) can divide that they can illuminate the surface to be illuminated spaced from each other. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel mindestens ein erstes Array (6, 6') von ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) umfassen, das das Licht (3) zumindest hinsichtlich einer ersten Richtung (X) in separate Teilstrahlen (5) aufteilen kann, wobei die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite (f7) aufweisen.Apparatus according to claim 1, characterized in that the separating means at least a first array ( 6 . 6 ' ) of first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) that light ( 3 ) at least in a first direction (X) into separate sub-beams ( 5 ), the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) preferably all have the same focal length (f 7 ). Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel (4, 4') mindestens ein zweites Array (8, 8') von zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) umfassen, das in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtes (3) zwischen dem mindestens einen ersten Array (6, 6') und der auszuleuchtenden Fläche angeordnet ist, wobei die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite (f9) aufweisen.Apparatus according to claim 2, characterized in that the separating means ( 4 . 4 ' ) at least one second array ( 8th . 8th' ) of second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ), which in the propagation direction (Z) of the light ( 3 ) between the at least one first array ( 6 . 6 ' ) and the surface to be illuminated, the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) preferably all have the same focal length (f 9 ). Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem mindestens einen ersten Array (6, 6') und dem mindestens einen zweiten Array (8, 8') in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtes (3) der Summe der Brennweite (f7) der ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und der Brennweite (f9) der zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) entspricht.Apparatus according to claim 3, characterized in that the distance between the at least one first array ( 6 . 6 ' ) and the at least one second array ( 8th . 8th' ) in the propagation direction (Z) of the light ( 3 ) the sum of the focal length (f 7 ) of the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and the focal length (f 9 ) of the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) corresponds. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Aperturen der ersten Linsen (7) gleich sind.Device according to one of claims 2 to 4, characterized in that all the apertures of the first lenses ( 7 ) are the same. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Aperturen der ersten Linsen (7a, 7b, 7c) verschieden von den anderen Aperturen der ersten Linsen (7a, 7b, 7c) ist.Device according to one of claims 2 to 4, characterized in that at least one of the apertures of the first lenses ( 7a . 7b . 7c ) different from the other apertures of the first lenses ( 7a . 7b . 7c ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Aperturen der zweiten Linsen (9) gleich sind.Device according to one of claims 3 to 6, characterized in that all the apertures of the second lenses ( 9 ) are the same. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Aperturen der zweiten Linsen (9a, 9b, 9c) verschieden von den anderen Aperturen der zweiten Linsen (9a, 9b, 9c) ist.Device according to one of claims 3 to 6, characterized in that at least one of the apertures of the second lens ( 9a . 9b . 9c ) different from the other apertures of the second lenses ( 9a . 9b . 9c ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel (4, 4') mindestens ein drittes Array (10, 10') von dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) umfassen, das das Licht (3) zumindest hinsichtlich einer zweiten Richtung (Y), die zu der ersten Richtung (X) senkrecht ist, in separate Teilstrahlen (5) aufteilen kann, wobei die dritten (11; 11a, 11b, 11c) Linsen vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite (f11) aufweisen.Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the separating means ( 4 . 4 ' ) at least a third array ( 10 . 10 ' ) of third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) that light ( 3 ) at least in a second direction (Y), which is perpendicular to the first direction (X), in separate sub-beams ( 5 ), the third ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) Lenses preferably all have the same focal length (f 11 ). Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Array (10, 10') zwischen dem ersten Array (6, 6') und dem zweiten Array (8, 8') angeordnet ist.Device according to claim 9, characterized in that the third array ( 10 . 10 ' ) between the first array ( 6 . 6 ' ) and the second array ( 8th . 8th' ) is arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Separiermittel (4, 4') mindestens ein viertes Array (12, 12') von vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) umfassen, das in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtes (3) zwischen dem mindestens einen dritten Array (10, 10') oder dem mindestens einen zweiten Array (8, 8') und der auszuleuchtenden Fläche angeordnet ist, wobei die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) vorzugsweise sämtlich die gleiche Brennweite (f13) aufweisen.Device according to one of claims 9 or 10, characterized in that the separating means ( 4 . 4 ' ) at least a fourth array ( 12 . 12 ' ) of fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ), which in the propagation direction (Z) of the light ( 3 ) between the at least one third array ( 10 . 10 ' ) or the at least one second array ( 8th . 8th' ) and the surface to be illuminated, the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) preferably all have the same focal length (f 13 ). Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem mindestens einen dritten Array (10, 10') und dem mindestens einen vierten Array (12, 12') in Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichtes (3) der Summe der Brennweite (f11) der dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und der Brennweite der vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) entspricht.Apparatus according to claim 11, characterized in that the distance between the at least one third array ( 10 . 10 ' ) and the at least one fourth array ( 12 . 12 ' ) in the propagation direction (Z) of the light ( 3 ) the sum of the focal length (f 11 ) of the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and the focal length of the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) corresponds. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Aperturen der dritten Linsen (11) gleich sind.Device according to one of claims 9 to 12, characterized in that all the apertures of the third lenses ( 11 ) are the same. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Aperturen der dritten (11a, 11b, 11c) Linsen verschieden von den anderen Aperturen der dritten Linsen (11a, 11b, 11c) ist.Device according to one of claims 9 to 12, characterized in that at least one of the apertures of the third ( 11a . 11b . 11c ) Lenses different from the other apertures of the third lenses ( 11a . 11b . 11c ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Aperturen der vierten Linsen (13) gleich sind.Device according to one of claims 11 to 14, characterized in that all the apertures of the fourth lens ( 13 ) are the same. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Aperturen der vierten Linsen (13a, 13b, 13c) verschieden von den anderen Aperturen der vierten Linsen (13a, 13b, 13c) ist.Device according to one of claims 11 to 14, characterized in that at least one of the apertures of the fourth lens ( 13a . 13b . 13c ) different from the other apertures of the fourth lens ( 13a . 13b . 13c ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und/oder die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) und/oder die dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und/oder die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) als Zylinderlinsen ausgebildet sind.Device according to one of claims 2 to 16, characterized in that the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and / or the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) and / or the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and / or the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) are formed as cylindrical lenses. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderachsen der ersten und der zweiten Linsen (7; 7a, 7b, 7c; 9; 9a, 9b, 9c) sich in der zweiten Richtung (Y) erstrecken.Apparatus according to claim 17, characterized in that the cylinder axes of the first and second lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ; 9 ; 9a . 9b . 9c ) extend in the second direction (Y). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderachsen der dritten und der vierten Linsen (11; 11a, 11b, 11c; 13; 13a, 13b, 13c) sich in der ersten Richtung (X) erstrecken.Device according to one of claims 17 or 18, characterized in that the cylinder axes of the third and fourth lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ; 13 ; 13a . 13b . 13c ) extend in the first direction (X). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und/oder die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) und/oder die dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und/oder die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) derart symmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung (Z) des für die Ausleuchtung zu verwendenden Lichts angeordnet sind, dass die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und/oder die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) und/oder die dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und/oder die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) die mittlere Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichts (3) nicht ändern.Device according to one of claims 2 to 19, characterized in that the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and / or the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) and / or the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and / or the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) are arranged so symmetrical to the mean propagation direction (Z) of the light to be used for the illumination that the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and / or the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) and / or the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and / or the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) the mean propagation direction (Z) of the light ( 3 ) do not change. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und/oder die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) und/oder die dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und/oder die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) derart unsymmetrisch zur mittleren Ausbreitungsrichtung (Z) des für die Ausleuchtung zu verwendenden Lichts (3) angeordnet sind, dass die ersten Linsen (7; 7a, 7b, 7c) und/oder die zweiten Linsen (9; 9a, 9b, 9c) und/oder die dritten Linsen (11; 11a, 11b, 11c) und/oder die vierten Linsen (13; 13a, 13b, 13c) die mittlere Ausbreitungsrichtung (Z) des Lichts (3) ändern.Device according to one of claims 2 to 19, characterized in that the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and / or the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) and / or the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and / or the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) so asymmetrically to the mean propagation direction (Z) of the light to be used for the illumination ( 3 ) are arranged, that the first lenses ( 7 ; 7a . 7b . 7c ) and / or the second lenses ( 9 ; 9a . 9b . 9c ) and / or the third lenses ( 11 ; 11a . 11b . 11c ) and / or the fourth lenses ( 13 ; 13a . 13b . 13c ) the mean propagation direction (Z) of the light ( 3 ) to change. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Optikmittel (2) Homogenisatormittel umfassen, die eine gleichmäßige Verteilung des Lichts (3) in der Ebene des ersten und/oder des dritten Arrays (6, 6'; 10, 10') bewirken können.Device according to one of claims 1 to 21, characterized in that the optical means ( 2 ) Comprise homogenizer means which allow a uniform distribution of the light ( 3 ) in the plane of the first and / or the third array ( 6 . 6 '; 10 . 10 ' ) can cause. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Optikmittel (2) Kollimiermittel umfassen, die das Licht (3) vor dem Auftreffen auf das erste und/oder das dritte Array (6, 6'; 10, 10') kollimieren können.Device according to one of claims 1 to 22, characterized in that the optical means ( 2 ) Comprise collimating means which light ( 3 ) before hitting the first and / or the third array ( 6 . 6 '; 10 . 10 ' ) can collimate.
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