DE102007047600A1 - Gripper system, particularly wafer gripper system, has primary gripping device and secondary gripping device, where secondary gripper device has support unit that is moved into primary moving direction - Google Patents

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Abstract

The gripper system has a primary gripping device (10) and a secondary gripping device (20). The secondary gripping device has a primary adjuster (22), which is provided for the secondary gripping device. The secondary gripper device has a support unit (21) that is moved into a primary moving direction (X) independent of the primary gripper device. An independent claim is included for a method for a gripper system, particularly wafer gripper system.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einem Greifersystem nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The Invention is based on a gripper system according to the preamble of claim 1.

Es sind bereits Greifersysteme, insbesondere Wafergreifersysteme, mit zumindest einer ersten Greifvorrichtung und einer zweiten Greifvorrichtung, bekannt.It are already gripper systems, in particular Wafergreifersysteme, with at least a first gripping device and a second gripping device known.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Aufnahmezeit aufzunehmender Werkstücke zu reduzieren. Sie wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.Of the Invention is based on the object aufzunehmender a recording time workpieces to reduce. It is according to the invention solved by the features of claim 1. Further embodiments emerge from the dependent claims.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die Erfindung geht aus von einem Greifersystem, insbesondere einem Wafergreifersystem, mit zumindest einer ersten Greifvorrichtung und einer zweiten Greifvorrichtung.The The invention is based on a gripper system, in particular a gripper system, with at least a first gripping device and a second gripping device.

Es wird vorgeschlagen, dass die zweite Greifvorrichtung eine erste Verstellvorrichtung aufweist, die dazu vorgesehen ist, eine Aufnahmeeinheit der zweiten Greifvorrichtung in einer ersten Bewegungsrichtung unabhängig von der ersten Greifvorrichtung zu verstellen. Dadurch kann die zweite Greifvorrichtung vorteilhaft positioniert werden, wodurch zwei Werkstücke gleichzeitig oder zeitnah aufgenommen werden können. Insbesondere kann somit eine Aufnahmezeit reduziert werden, da ein Positionieren der zweiten Greifvorrichtung in der ersten Bewegungsrichtung zeitgleich mit einer Positionierung realisiert werden kann. Unter einer „Bewegungsrichtung" soll dabei in diesem Zusammenhang insbesondere eine mögliche, insbesondere lineare oder rotative, Bewegungsrichtung einer einzelnen Greifvorrichtung verstanden werden. Vorzugsweise weist jede Greifvorrichtung drei senkrecht aufeinander stehende lineare Bewegungsrichtungen und eine rotative Bewegungsrichtung auf. Zwei der linearen Bewegungsrichtungen liegen vorzugsweise in einer Haupterstreckungsebene des Greifersystems und bilden eine Bewegungsrichtung X und eine Bewegungsrichtung Y, die dritte lineare Bewegungsrichtung bildet vorzugsweise eine Höhe. Unter einer „rotativen Bewegungsrichtung" soll insbesondere eine Rotationsrichtung verstanden werden. Vorzugsweise ist eine Rotationsachse der rotativen Bewegungsrichtung senkrecht zu einer XY-Ebene, die durch die Bewegungsrichtung X und die Bewegungsrichtung Y definiert wird, orientiert.It It is proposed that the second gripping device is a first Adjusting device, which is intended to a receiving unit of second gripping device in a first direction of movement regardless of to adjust the first gripping device. This can be the second Gripping device can be advantageously positioned, whereby two workpieces simultaneously or can be recorded promptly. In particular, thus can a recording time can be reduced because positioning the second Gripping device in the first direction of movement at the same time a positioning can be realized. Under a "movement direction" is intended in this Context in particular a possible in particular linear or rotary, direction of movement of a single Gripping device to be understood. Preferably, each gripping device three orthogonal linear directions of movement and a rotational direction of movement. Two of the linear directions of movement are preferably in a main extension plane of the gripper system and form a movement direction X and a movement direction Y, the third linear direction of movement preferably forms a height. Under a "rotary Movement direction "should in particular a direction of rotation can be understood. Preferably is an axis of rotation of the rotational direction perpendicular to an XY plane through the direction X and the direction of movement Y is defined, oriented.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die zweite Greifvorrichtung eine zweite Verstellvorrichtung aufweist, die dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit der zweiten Greifvorrichtung in einer zweiten Bewegungsrichtung unabhängig von der ersten Greifvorrichtung zu verstellen. Dadurch kann die Aufnahmezeit weiter reduziert werden, da ein Positionieren der zweiten Greifvorrichtung auch in der zweiten Bewegungsrichtung zeitgleich mit dem Positionieren der ersten Greifvorrichtung erfolgen kann.Further It is proposed that the second gripping device a second Adjusting device, which is intended to the receiving unit of second gripping device in a second direction of movement regardless of to adjust the first gripping device. This will allow the recording time to continue be reduced, as a positioning of the second gripping device also in the second direction of movement simultaneously with the positioning the first gripping device can take place.

Vorzugsweise weist die zweite Greifvorrichtung eine dritte Antriebsvorrichtung, die dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit der zweiten Greifvorrichtung in einer dritten Bewegungsrichtung unabhängig von der ersten Greifvorrichtung zu verstellen, wodurch die Aufnahmezeit nochmals reduziert werden kann.Preferably the second gripping device has a third drive device, which is intended to the receiving unit of the second gripping device in a third direction of movement independent of the first gripping device to adjust, thereby reducing the recording time again can.

Weiter wird vorgeschlagen, dass das Greifersystem zumindest eine dritte Greifvorrichtung mit zumindest einer Verstellvorrichtung aufweist, die dazu vorgesehen ist, eine Aufnahmeeinheit der Greifvorrichtung in zumindest einer Bewegungsrichtung unabhängig von der ersten Greifvorrichtung zu verstellen. Dadurch kann eine Anzahl der gleichzeitig aufnehmbaren Werkstücke erhöht werden. Vorteilhafterweise weist das Greifersystem eine vierte Greifvorrichtung auf, wobei insbesondere eine vierte Greifvorrichtung mit zumindest einer Verstellvorrichtung vorteilhaft ist. Besonders vorteilhaft ist ein Greifersystem mit fünf Greifvorrichtungen, insbesondere wenn auch die fünfte Greifvorrichtung zumindest eine Verstellvorrichtung aufweist, die dazu vorgesehen ist, die fünfte Greifvorrichtung in zumindest einer Bewegungsrichtung unabhängig von den übrigen Greifvorrichtung zu verstellen.Further It is proposed that the gripper system at least a third Having gripping device with at least one adjusting device, which is intended to a receiving unit of the gripping device in at least one direction of movement independently of the first gripping device to adjust. This allows a number of simultaneously recordable workpieces elevated become. Advantageously, the gripper system has a fourth gripping device in particular a fourth gripping device with at least an adjustment is advantageous. Especially advantageous is a gripper system with five Gripping devices, especially if the fifth gripping device at least an adjusting device, which is intended to, the fifth Gripping device in at least one direction of movement regardless of the rest Adjust gripping device.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die zumindest eine Verstellvorrichtung dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit der Greifvorrichtung in zumindest der einen Bewegungsrichtung un abhängig von der zweiten Greifvorrichtung zu verstellen. Dadurch kann die dritte Aufnahmeeinheit zeitgleich mit der zweiten Aufnahmeeinheit positioniert werden, wodurch sich eine besonders vorteilhafte Aufnahmezeit ergibt.Further It is proposed that the at least one adjusting device is provided to the receiving unit of the gripping device in at least one direction of movement un depending on the second gripping device to adjust. This allows the third recording unit at the same time be positioned with the second receiving unit, resulting in gives a particularly advantageous recording time.

Vorteilhafterweise sind zumindest zwei Verstellvorrichtungen zumindest teilweise einstückig ausgeführt, da dadurch eine Anzahl von Bauteilen, insbesondere von kostenintensiven Bauteilen wie beispielsweise Elektromotoren, reduziert werden kann.advantageously, At least two adjusting devices are at least partially made in one piece, since thereby a number of components, in particular cost-intensive Components such as electric motors can be reduced.

Vorzugsweise weist zumindest eine Verstellvorrichtung eine pneumatische Antriebseinheit auf. Eine Verstellvorrichtung mit einer pneumatischen Antriebseinheit ist besonders vorteilhaft für eine lineare Bewegungsrichtung. Alternativ sind aber auch andere Verstellvorrichtungen, wie beispielsweise Verstellvorrichtungen mit einer hydraulischen Antriebseinheit, denkbar.Preferably At least one adjusting device has a pneumatic drive unit on. An adjusting device with a pneumatic drive unit is particularly advantageous for a linear direction of movement. Alternatively, there are others Adjustment devices, such as adjusting devices with a hydraulic drive unit, conceivable.

Ebenfalls vorteilhaft weist zumindest eine Verstellvorrichtung eine elektrische Antriebseinheit auf. Dadurch kann eine Verstellung in einer rotativen Bewegungsrichtung besonders einfach realisiert werden.Also Advantageously, at least one adjusting device has an electrical Drive unit on. This allows an adjustment in a rotational direction of movement particularly easy to be realized.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass das Greifersystem eine Erfassungsvorrichtung aufweist, die dazu vorgesehen ist, ein aufzunehmendes Werkstück zu erfassen. Dadurch kann ein automatisiertes oder zumindest teilautomatisiertes Greifersystem realisiert werden.In A particularly advantageous embodiment of the invention is proposed in that the gripper system has a detection device which intended to capture a male workpiece. This can realized an automated or at least partially automated gripper system become.

Ist die Erfassungsvorrichtung dazu vorgesehen, das Werkstück berührungslos zu erfassen, können auch besonders empfindliche Werkstücke, wie beispielsweise Wafer, erfasst werden.is the detection device provided to contact the workpiece without contact to capture especially sensitive workpieces, such as wafers, be recorded.

Weiter wird vorgeschlagen, dass die Erfassungsvorrichtung eine Positionserkennungseinheit aufweist, die dazu vorgesehen ist, zumindest eine Position der aufzunehmenden Werkstücke zu bestimmen. Dadurch können die Aufnahmeeinheiten besonders einfach positioniert werden. Unter einer „Aufnahmeposition" soll insbesondere eine Position verstanden werden, an der ein aufzunehmendes Teil, insbesondere ein Wafer, liegt, das die Greifvorrichtung aufnehmen kann.Further it is proposed that the detection device has a position detection unit, which is intended to at least one position of the male workpieces to determine. Thereby can the recording units are particularly easy to position. Under a "recording position" should in particular be understood a position at which a male part, in particular a wafer, which can accommodate the gripping device.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die Erfassungsvorrichtung zumindest eine Defekterkennungseinheit aufweist, die dazu vorgesehen ist, einen Defekt der aufzunehmenden Werkstücke zu erkennen. Dadurch können defekte Werkestücke einfach erkannt und gesondert behandelt, wie beispielsweise aussortiert, werden.Further It is proposed that the detection device at least one Defect detection unit, which is intended to a Defect of the workpieces to be picked up to recognize. Thereby can defective workpieces simply recognized and treated separately, such as sorted out, become.

Außerdem wird vorgeschlagen, dass die Erfassungsvorrichtung eine Aufnahmeparametererkennungseinheit aufweist, die vorgesehen ist, zumindest einen weiteren Aufnahmeparameter zu bestimmen. Unter einem Aufnahmeparameter soll ein Parameter verstanden werden, der die aufzunehmenden Teile beschreibt, wie beispielsweise eine Größe der aufzunehmenden Teile oder eine Anzahl der aufzunehmenden Teile. Dadurch kann das Greifersystem besonders effizient ausgestaltet werden.In addition, will proposed that the detection device a receiving parameter detection unit which is provided, at least one further acquisition parameter to determine. A recording parameter is understood to mean a parameter which describes the parts to be recorded, such as a size of the male Parts or a number of the parts to be picked up. This can do that Gripper system are designed particularly efficient.

Vorzugsweise weist die Erfassungsvorrichtung eine Kameravorrichtung auf. Mittels einer Kameravorrichtung ist eine Erfas sung, insbesondere ein berührungslose Erfassung, besonders einfach.Preferably the detection device has a camera device. through a camera device is a Erfas solution, in particular a non-contact Capturing, especially easy.

Aber auch mittels einer Lasererfassungsvorrichtung kann eine vorteilhafte Erfassungsvorrichtung realisiert werden.But Also by means of a laser detection device, an advantageous Detection device can be realized.

Weiter wird vorgeschlagen, dass das Greifersystem eine Recheneinheit aufweist, die dazu vorgesehen ist, eine Aufnehmstrategie zu berechnen. Dadurch kann eine besonders effiziente Aufnahme der Teile erfolgen, die beispielsweise auf eine Gesamtaufnahmezeit oder einen Verfahrensweg hin optimiert ist. Vorteilhafterweise ist die Aufnahmestrategie abhängig von der Anzahl der aufzunehmenden Teile. Insbesondere kann es vorteilhaft sein, wenn in zumindest einer Aufnahmestrategie ein Teil der Greifvorrichtungen unbesetzt bleibt, beispielsweise wenn mit einem Greifersystem mit fünf Greifvorrichtungen sieben Teile aufgenommen werden sollen.Further it is proposed that the gripper system has a computing unit, which is intended to calculate a recording strategy. Thereby For example, a particularly efficient reception of the parts can be made for example, a total intake time or a procedure path optimized. Advantageously, the recording strategy depends on the number of parts to be picked up. In particular, it can be beneficial be, if in at least one recording strategy, a part of the gripping devices remains unoccupied, for example if with a gripper system with seven grippers Parts should be included.

Insbesondere wenn die Greifvorrichtungen nacheinander befüllt werden, kann ein Betriebsprogramm für die Recheneinheit vereinfacht werden.Especially if the gripping devices are filled one after the other, an operating program can be set up for the Arithmetic unit can be simplified.

Vorteilhaferweise werden die Greifvorrichtungen in zumindest einem Betriebsmodus teilweise befüllt, wodurch eine Effizienz weiter erhöht wird. Insbesondere können dadurch Verfahrenswege minimiert werden, indem beispielsweise nahe beieinander liegende Werkstücke gemeinsam aufgenommen und abgelegt werden.Advantage oats way the gripping devices are partially filled in at least one operating mode, whereby further increased efficiency becomes. In particular, you can thereby process paths are minimized, for example by close workpieces lying together be recorded and filed together.

Weiter wird vorgeschlagen, dass zumindest eine der Greifvorrichtungen dazu vorgesehen ist, ein Werkstück berührungslos aufzunehmen. Dadurch können auch besonders empfindliche Werkstücke, wie beispielsweise Wafer, schonend aufgenommen werden.Further It is proposed that at least one of the gripping devices to do so is provided, a workpiece to record without contact. Thereby can especially sensitive workpieces, such as wafers, be taken gently.

Zeichnungdrawing

Weitere Vorteile ergeben sich aus der folgenden Zeichnungsbeschreibung. In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Die Zeichnungen, die Beschreibung und die Ansprüche enthalten zahlreiche Merkmale in Kombination. Der Fachmann wird die Merkmale zweckmäßigerweise auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfassen.Further Advantages are shown in the following description of the drawing. In the drawings is an embodiment represented the invention. The drawings, the description and the requirements contain numerous features in combination. The specialist will the features expediently also consider individually and to meaningful further combinations sum up.

Es zeigen:It demonstrate:

1 schematisiert ein Greifersystem mit insgesamt fünf Greifvorrichtungen, 1 schematizes a gripper system with a total of five gripping devices,

2 das Greifersystem in einer weiteren Ansicht, 2 the gripper system in another view,

3 einen Schnitt durch eine Flächengreifereinheit, 3 a section through a surface gripper unit,

3a einen Schnitt durch einen Teil der Flächengreifereinheit und 3a a section through a portion of the surface gripper unit and

4 einen Ausschnitt einer Draufsicht auf eine Greiffläche. 4 a section of a plan view of a gripping surface.

Beschreibung des AusführungsbeispielsDescription of the embodiment

1 zeigt schematisiert ein Greifersystem mit insgesamt fünf Greifvorrichtungen. Das Greifersystem ist als ein Wafergreifersystem ausgestaltet. Jede Greifvorrichtung 10, 20, 30, 40, 50 weist eine Aufnahmeeinheit 11, 21, 31, 41, 51 auf, mittels der ein Wafer oder ein anderes Werkstück, insbesondere ein flächiges Werkstück, berührungslos aufgenommen werden kann. Die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 der Greifvorrichtungen 10, 20, 30, 40, 50 können durch Verstellvorrichtungen 12, 13, 22–25, 32–35, 42–45, 52–55 unabhängig von einander verschoben werden. Es sind aber auch andere Ausführungen der Greifvorrichtungen denkbar. 1 schematically shows a gripper system with a total of five gripping devices. The gripper system is designed as a Wafergreifersystem. Every gripping device 10 . 20 . 30 . 40 . 50 has a receiving unit 11 . 21 . 31 . 41 . 51 on, by means of a wafer or other workpiece, in particular a flat workpiece, can be received without contact. The recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 the gripping devices 10 . 20 . 30 . 40 . 50 can by adjusting devices 12 . 13 . 22 - 25 . 32 - 35 . 42 - 45 . 52 - 55 be moved independently of each other. However, other embodiments of the gripping devices are also conceivable.

Zur Aufnahme der Wafer weisen die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 Flächengreifereinheiten auf, die mittels eines Unterdrucks das Werkstück berührungslos fixieren und anheben können. Alternativ können die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 auch Bernoulli-Greifereinheiten aufweisen, die ebenfalls mittels eines Unterdrucksystems die Werkstücke berührungslos anheben können. Eine Flächengreifereinheit, wie sie in 3 gezeigt ist, wird später ausführlich beschrieben. Es können auch andere bekannte Flächengreifereinheiten dafür eingesetzt werden.For receiving the wafer, the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 Surface gripper units, which can fix and lift the workpiece by means of a negative pressure non-contact. Alternatively, the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 Also Bernoulli gripper units have that also can raise the workpieces by means of a vacuum system without contact. A surface gripper unit, as in 3 will be described later in detail. Other known surface gripper units may be used therefor.

Das Greifersystem weist eine Haupterstreckungsrichtung auf, die parallel zu einer Aufnahmefläche 108 für aufzunehmende Teile ist. Die Haupterstreckungsebene definiert eine XY-Ebene. In 1 bildet die XY-Ebene die Zeichenebene.The gripper system has a main extension direction parallel to a receiving surface 108 is for male parts. The main extent plane defines an XY plane. In 1 the XY plane forms the drawing plane.

Das Greifersystem weist zwei unterschiedliche Arten von Verstellvorrichtungen auf. Verstellvorrichtungen 12, 22–24, 32–34, 42–44, 52–54, die dazu vorgesehen sind, die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 in linearen Bewegungsrichtungen X, Y, Z zu verschieben, weisen pneumatische Antriebseinheiten mit einem Zylinder und einem Kolben auf. Verstellvorrichtungen 13, 25, 35, 45, 55, die dazu vorgesehen sind, die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 in einer rotativen Bewegungsrichtung R zu verschieben, weisen elektrische Antriebseinheiten mit einem Elektromotor auf.The gripper system has two different types of adjusting devices. adjusting 12 . 22 - 24 . 32 - 34 . 42 - 44 . 52 - 54 , which are intended to the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 move in linear directions of movement X, Y, Z, have pneumatic drive units with a cylinder and a piston. adjusting 13 . 25 . 35 . 45 . 55 , which are intended to the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 move in a rotational movement direction R, have electric drive units with an electric motor.

Die Aufnahmeeinheit 11 der ersten Greifvorrichtung 10 ist für eine Bewegungsrichtung X und eine Bewegungsrichtung Y fest mit einem Grundgerüst 100 des Greifersystems verbunden. Das Grundgerüst 100 kann über eine nicht näher dargestellte Verstellvorrichtung in der XY-Ebene verschoben werden. Eine Position der Aufnahmeeinheit 11 der Greifvorrichtung 10 in der XY-Ebene wird über das Grundgerüst 100 eingestellt. In der Bewegungsrichtung Z, die eine Höhe bildet, wird die Aufnahmeeinheit 11 durch die pneumatisch angetriebene Verstellvorrichtung 12 verschoben. Zusätzlich kann die Aufnahmeeinheit 11 mittels der elektrisch angetriebenen Verstellvorrichtung 13 in der rotativen Bewegungsrichtung R verstellt werden, wodurch ein aufgenommenes Werkstück um eine Rotationsachse 14, die senkrecht zur XY-Ebene verläuft, gedreht werden kann.The recording unit 11 the first gripping device 10 is fixed to a skeleton for one direction X and one direction Y 100 connected to the gripper system. The basic structure 100 can be moved via an adjusting device, not shown in the XY plane. A position of the recording unit 11 the gripping device 10 in the XY plane is about the skeleton 100 set. In the direction of movement Z, which forms a height, the receiving unit 11 by the pneumatically driven adjusting device 12 postponed. In addition, the recording unit 11 by means of the electrically driven adjusting device 13 be adjusted in the rotational movement direction R, whereby a recorded workpiece about an axis of rotation 14 , which is perpendicular to the XY plane, can be rotated.

Die Aufnahmeeinheit 21 der zweiten Greifvorrichtung 20 kann mittels zwei Verstellvorrichtung 22, 23 linear in der XY-Ebene, d. h. in den Bewegungsrichtungen X, Y, unabhängig von der ersten Greifvorrichtung 10 verschoben werden. Die pneumatische angetriebene Verstellvorrichtung 23, deren Kolben am Grundgerüst des Greifersystems befestigt sind, kann die Aufnahmeeinheit 21 in der Bewegungsrichtung Y verschieben. An einem Zylinder der Verstellvorrichtung 23 ist ein Zylinder der ebenfalls pneumatisch angetriebenen Verstellvorrichtung 22 befestigt, an deren Kolben die Aufnahmeeinheit 21 angebunden ist. Mittels der Verstellvorrichtung 22 kann die Aufnahmeeinheit 21 in der Bewegungsrichtung X verschoben werden. Über die Verstellvorrichtung 24, die mit dem Kolben der Verstellvorrichtung 22 verbunden ist, kann die Aufnahmeeinheit 21 in der Bewegungsrichtung Z verstellt werden. Zusätzlich kann die Aufnahmeeinheit 21 mittels der elektrisch angetriebenen Verstellvorrichtung 25 in der rotativen Bewegungsrichtung R verstellt werden, wodurch ein von der Aufnahmeeinheit 21 aufgenommenes Werkstück um eine Rotationsachse 26, die senkrecht zur XY-Ebene verläuft, gedreht werden kann. Durch die Verstellvorrichtungen 22, 23, 24, 25 ist die Aufnahmeeinheit 21 relativ zu der Greifvorrichtung 10, bzw. der Aufnahmeeinheit 11, verschiebbar und drehbar, wodurch eine Aufnahmeposition der Aufnahmeeinheit 21 unabhängig von der ersten Greifvorrichtung 10 einstellbar ist.The recording unit 21 the second gripping device 20 can by means of two adjustment 22 . 23 linear in the XY plane, ie in the directions of movement X, Y, independently of the first gripping device 10 be moved. The pneumatic driven adjusting device 23 , whose pistons are attached to the skeleton of the gripper system, the receiving unit 21 in the direction of movement Y move. On a cylinder of the adjusting device 23 is a cylinder of the likewise pneumatically driven adjusting device 22 attached to the piston of which the receiving unit 21 is connected. By means of the adjusting device 22 can the recording unit 21 be moved in the direction of movement X. About the adjustment 24 connected to the piston of the adjusting device 22 connected, the receiving unit 21 be adjusted in the direction of movement Z. In addition, the recording unit 21 by means of the electrically driven adjusting device 25 be adjusted in the rotational direction R, whereby one of the receiving unit 21 recorded workpiece about a rotation axis 26 , which is perpendicular to the XY plane, can be rotated. By the adjusting devices 22 . 23 . 24 . 25 is the recording unit 21 relative to the gripping device 10 , or the recording unit 11 , slidable and rotatable, whereby a receiving position of the receiving unit 21 independent of the first gripping device 10 is adjustable.

Die Aufnahmeeinheit 31 der dritten Greifvorrichtung 30 kann mittels der zwei Verstellvorrichtungen 32, 33 linear in der XY-Ebene unabhängig von der ersten Greifvorrichtung 10 verschoben werden. Die pneumatische angetriebene Verstellvorrichtung 33, deren Zylinder fest mit den Zylindern der Verstellvorrichtung 22, 23 der zweiten Greifvorrichtung verbunden ist, kann die Aufnahmeeinheit 31 in der Bewegungsrichtung Y verschieben. An einem Kolben der Verstellvorrichtung 33 ist ein Zylinder der pneumatisch angetriebenen Verstellvorrichtung 32 befestigt, an deren Kolben die Aufnahmeeinheit 31 an gebunden ist. Über die Verstellvorrichtung 34, die mit dem Kolben der Verstellvorrichtung 33 verbunden ist, kann die Aufnahmeeinheit 31 in der Bewegungsrichtung Z verstellt werden. Zusätzlich kann die Aufnahmeeinheit 31 mittels der elektrischen angetriebenen Verstellvorrichtung 35 in der rotativen Bewegungsrichtung R verstellt werden, wodurch ein von der Aufnahmeeinheit 31 aufgenommenes Werkstück um eine Rotationsachse 36, die senkrecht zur XY-Ebene verläuft, gedreht werden kann. Durch die Verstellvorrichtungen 32, 33, 34, 35 ist die Aufnahmeeinheit 31 relativ zu der Greifvorrichtung 20, bzw. der Aufnahmeeinheit 21, verschiebbar und drehbar, wodurch eine Aufnahmeposition der Aufnahmeeinheit 31 unabhängig von den beiden Greifvorrichtung 10, 20 einstellbar ist.The recording unit 31 the third gripping device 30 can by means of the two adjusting devices 32 . 33 linear in the XY plane independent of the first gripping device 10 be moved. The pneumatic driven adjusting device 33 whose cylinder is fixed to the cylinders of the adjusting device 22 . 23 the second gripping device is connected, the receiving unit 31 in the direction of movement Y move. On a piston of the adjusting device 33 is a cylinder of the pneumatically driven adjusting device 32 attached to the piston of which the receiving unit 31 is bound to. About the adjustment 34 connected to the piston of the adjusting device 33 connected, the receiving unit 31 be adjusted in the direction of movement Z. In addition, the recording unit 31 by means of the electric driven adjusting device 35 be adjusted in the rotational direction R, whereby one of the receiving unit 31 recorded workpiece about a rotation axis 36 , which is perpendicular to the XY plane, can be rotated. By the adjusting devices 32 . 33 . 34 . 35 is the recording unit 31 relative to the gripping device 20 , or the recording unit 21 , slidable and rotatable, whereby a receiving position of the receiving unit 31 independent of the two gripping device 10 . 20 is adjustable.

Die Aufnahmeeinheit 41 der vierten Greifvorrichtung 40 kann mittels zwei Verstellvorrichtungen 42, 43 linear in der XY-Ebene unabhängig von der dritten Greifvorrichtung 30 verschoben werden. Die pneumatisch angetriebene Verstellvorrichtung 33, deren Kolben fest mit dem Zylinder der Verstellvorrichtung 32 der dritten Greifvorrichtung verbunden ist, kann die Aufnahmeeinheit 41 in der Bewegungsrichtung Y verschieben. An einem Zylinder der Verstellvorrichtung 43 ist ein Zylinder der ebenfalls pneumatisch angetriebenen Verstellvorrichtung 42 befestigt, an deren Kolben die Aufnahmeeinheit 41 angebunden ist. Über die Verstellvorrichtung 44, die mit dem Kolben der Verstellvorrichtung 43 verbunden ist, kann die Aufnahmeeinheit 41 in der Bewegungsrichtung Z verstellt werden. Zusätzlich kann die Aufnahmeeinheit 41 mittels der elektrisch angetriebenen Verstellvorrichtung 45 in der rotativen Bewegungsrichtung R verstellt werden, wodurch ein von der Aufnahmeeinheit 41 aufgenommenes Werkstück um eine Rotationsachse 46, die senkrecht zur XY-Ebene verläuft, gedreht werden kann. Durch die Verstellvorrichtungen 42, 43, 44, 45 ist die Aufnahmeeinheit 41 relativ zu der Greifvorrichtung 30, bzw. der Aufnahmeeinheit 31, verschiebbar und drehbar, wodurch eine Aufnahmeposition der Aufnahmeeinheit 41 unabhängig von den Greifvorrichtungen 10, 20, 30 einstellbar ist.The recording unit 41 the fourth gripping device 40 can by means of two adjusting devices 42 . 43 linear in the XY plane independent of the third gripping device 30 be moved. The pneumatically driven adjusting device 33 whose piston is fixed to the cylinder of the adjusting device 32 the third gripping device is connected, the receiving unit 41 in the direction of movement Y move. On a cylinder of the adjusting device 43 is a cylinder of the likewise pneumatically driven adjusting device 42 attached to the piston of which the receiving unit 41 is connected. About the adjustment 44 connected to the piston of the adjusting device 43 connected, the receiving unit 41 be adjusted in the direction of movement Z. In addition, the recording unit 41 by means of the electrically driven adjusting device 45 be adjusted in the rotational direction R, whereby one of the receiving unit 41 recorded workpiece about a rotation axis 46 , which is perpendicular to the XY plane, can be rotated. By the adjusting devices 42 . 43 . 44 . 45 is the recording unit 41 relative to the gripping device 30 , or the recording unit 31 , slidable and rotatable, whereby a receiving position of the receiving unit 41 independent of the gripping devices 10 . 20 . 30 is adjustable.

Die Aufnahmeeinheit 51 der fünften Greifvorrichtung 40 ist mittels den Verstellvorrichtungen 52–55 analog an die vierte Greifvorrichtung 40 angebunden, wie die Aufnahmeeinheit 41 der vierten Greifvorrichtung 40 an die dritte Greifvorrichtung 30. Dadurch ist eine Aufnahmeposition der Aufnahmeeinheit 51 unabhängig von den Greifvorrichtungen 10, 20, 30, 40 einstellbar. Die fünfte Greifvorrichtung weist die drei pneumatisch angetriebenen Verstellvorrichtungen 52, 53, 54 für die Verstellung in den Bewegungsrichtungen X, Y, Z und die elektrisch angetriebene Verstellvorrichtung 55 für eine Verstellung in der rotativen Bewegungsrichtung R bzw. eine Rotation eines aufgenommenen Werkstückes um eine Rotationsachse 56.The recording unit 51 the fifth gripping device 40 is by means of the adjusting devices 52 - 55 analogous to the fourth gripping device 40 Tied, like the receiving unit 41 the fourth gripping device 40 to the third gripping device 30 , As a result, a receiving position of the receiving unit 51 independent of the gripping devices 10 . 20 . 30 . 40 adjustable. The fifth gripping device has the three pneumatically driven adjusting devices 52 . 53 . 54 for the adjustment in the directions of movement X, Y, Z and the electrically driven adjusting device 55 for an adjustment in the rotary movement direction R or a rotation of a picked-up workpiece about an axis of rotation 56 ,

Grundsätzlich können auch zwei oder mehr Verstellvorrichtungen teilweise einstückig ausgebildet werden. Beispielsweise ist es denkbar, dass zwei Verstellvorrichtungen eine gemeinsame Antriebseinheit aufweisen, die dann mittels eines steuerbaren Getriebes eine Aufnahmeeinheit in unterschiedlichen Bewegungsrichtungen verschieben kann, bzw. die unterschiedliche Aufnahmeeinheit verschieben kann.Basically, too two or more adjusting partially formed in one piece become. For example, it is conceivable that two adjusting devices have a common drive unit, which then by means of a controllable transmission a receiving unit in different directions of movement can move or move the different recording unit can.

Um das Greifersystem automatisiert oder wenigstens teilweise automatisiert auszugestalten, umfasst das Greifersystem eine Erfassungsvorrichtung 101, die aufzunehmende Werkstücke erfassen kann (2).To make the gripper system automated or at least partially automated, the gripper system comprises a detection device 101 which can record workpieces to be picked up ( 2 ).

Die Erfassungsvorrichtung 101 weist eine Positionserkennungseinheit 102 auf, mittels der eine Position der aufzunehmenden Werkstücke bestimmt werden kann. Weiter weist die Erfassungsvorrichtung 101 eine Defekterkennungseinheit 103 auf, mittels der ein Defekt der aufzunehmenden Werkstücke, wie beispielsweise ein gebrochener Wafer, erkannt werden kann. Außerdem weist die Erfassungsvorrichtung 101 eine Aufnahmeparametererkennungseinheit 104 zur Bestimmung weiterer Aufnahmeparameter, wie beispielsweise eine Größe, eine Form, und insbesondere eine Anzahl der aufzunehmenden Teile, auf.The detection device 101 has a position detection unit 102 on, by means of a position of the male workpieces can be determined. Next, the detection device 101 a defect detection unit 103 on, by means of a defect of the male workpieces, such as a broken wafer, can be detected. In addition, the detection device 101 a receiving parameter recognition unit 104 for determining further acquisition parameters, such as a size, a shape, and in particular a number of the male parts, on.

Zur Erfassung der Position, der Defekte und der weiteren Aufnahmeparameter umfasst die Erfassungsvorrichtung 101 eine Kameravorrichtung 105 und eine Lasererfassungsvorrichtung 106, wodurch insbesondere die Positionen berührungslos erfasst werden können. Zur Erfassung der Daten weist die Kameravorrichtung 105 eine Bildererkennungseinheit auf. Die Lasererfassungsvorrichtung 106 umfasst ebenfalls eine geeignete Auswerteeinheit. Die Defekterkennungseinheit 103 erkennt die Defekte, indem sie die Daten mit Solldaten vergleicht. Die Positionserkennungseinheit 102 und die Aufnahmeparametererkennungseinheit 104 greifen auf die Bilderkennungseinheit zurück.For detecting the position, the defects and the other recording parameters comprises the detection device 101 a camera device 105 and a laser detection device 106 , whereby in particular the positions can be detected without contact. The camera device detects the data 105 an image recognition unit. The laser detection device 106 also includes a suitable evaluation unit. The defect detection unit 103 Detects the defects by comparing the data with target data. The position detection unit 102 and the receiving parameter recognition unit 104 access the image recognition unit.

Die Daten der Erfassungsvorrichtung 101 werden an eine Recheneinheit 107 übermittelt, die aus den Daten eine geeignete Aufnahmestrategie berechnet und die Aufnahmepositionen für die Greifvorrichtungen 10, 20, 30, 40, 50 festlegt. Vorzugs weise werden dabei die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 nacheinander befüllt, bzw. die Werkstücke nacheinander aufgenommen. Dabei kann es vorteilhaft sein, wenn die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 der Greifvorrichtungen 10, 20, 30, 40, 50 nur teilweise befüllt werden. Eine solche Aufnahmestrategie ist insbesondere vorteilhaft, wenn die Anzahl der aufzunehmenden Teile größer als fünf ist oder die Aufnahmepositionen unvorteilhaft über die Aufnahmefläche 108 verteilt sind.The data of the detection device 101 are sent to a computing unit 107 which calculates a suitable recording strategy from the data and the picking positions for the gripping devices 10 . 20 . 30 . 40 . 50 sets. Preference, while the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 filled one after the other, or the workpieces taken in succession. It may be advantageous if the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 the gripping devices 10 . 20 . 30 . 40 . 50 only partially filled. Such a picking strategy is particularly advantageous when the number of parts to be picked is greater than five or the picking positions unfavorably over the pickup surface 108 are distributed.

Weiter berechnet die Recheneinheit eine Ablagestrategie, in die die Werkzüge wieder abgelegt werden. Die Ablagestrategie berücksichtigt dabei insbesondere eine Lage der aufgenommenen Werkstücke an den Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51, die vorzugsweise aus den Aufnahmeposition berechnet wird, und korrigiert die Lage auf eine Solllage, wodurch eine vorteilhafte Ablage der Werkstücke erreicht wird. Alternativ kann die Lage der Werkstücke mittels der Erfassungsvorrichtung auch nach der Aufnahme bestimmt werden.Furthermore, the arithmetic unit calculates a filing strategy in which the work trains are stored again. In particular, the filing strategy takes into account a position of the recorded workpieces on the recording units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 , which is preferably calculated from the receiving position, and corrects the position to a desired position, whereby an advantageous storage of the workpieces is achieved. Alternatively, the location of the workpieces be determined by the detection device even after the recording.

Vorteilhafterweise können mittels einer geeigneten Aufnahmestrategie und einer geeigneten Ablagestrategie insbesondere zwei verschiedene Verfahrensweisen realisiert werden. In einer ersten Verfahrenweise, bei der das Greifersystem statisch eingesetzt wird, werden die Werkstücke aufgenommen und im Wesentlichen wieder am gleichen Ort abgelegt, wobei dabei die Lage der Werkstücke korrigiert werden kann. Das Grundgerüst 100 kann in diesem Verfahren um maximal 5 cm verschoben werden. In einer zweiten Verfahrensweise, bei der das Greifersystem dynamisch eingesetzt wird, werden die Werkstücke von einem ersten Ort an einen zweiten Ort transportiert, und auch dabei kann die Lage der Werkstücke korrigiert werden. Bei diesem Verfahren kann das Grundgerüst 100 über eine größere Strecke verschoben werden.Advantageously, in particular two different procedures can be realized by means of a suitable recording strategy and a suitable filing strategy. In a first method, in which the gripper system is used statically, the workpieces are picked up and essentially deposited again in the same place, whereby the position of the workpieces can be corrected. The basic structure 100 can be shifted by a maximum of 5 cm in this procedure. In a second procedure, in which the gripper system is used dynamically, the workpieces are transported from a first location to a second location, and also in this case the position of the workpieces can be corrected. In this method, the skeleton 100 be moved over a longer distance.

3 zeigt einen Schnitt durch eine Flächengreifereinheit, wie sie die Aufnahmeeinheiten 11, 21, 31, 41, 51 aufweisen. Die Flächengreifereinheit weist eine Grundeinheit 112, eine Greifeinheit 109 und einen Blister 127 auf. Der Blister 127 befindet sich in vertikaler Richtung im Wesentlichen unter der Grundeinheit 112 und der Greifeinheit 109 und ist dazu vorgesehen, einen Stapel 125 dünnwandiger Baueinheiten 126 aufzunehmen. Die Greifeinheit 109 ist teilweise aus Kunststoff oder alternativ teilweise aus einem gummiartigen Material ausgebildet. Die Greifeinheit 109 ist mit Hilfe eines Schrägstellmittels 121, das als Drehgelenk ausgebildet ist, drehbar zu der Grundeinheit 112 und im Wesentlichen unterhalb von ihr gelagert. Die Greifeinheit 109 weist eine Greiffläche 111 und eine Ansaugeinheit 110 auf. Die Ansaugeinheit 110 und die Greiffläche 111 weisen wiederum einzelne Ansaugdüsen 129 mit wohl definierter Form auf (siehe 4). Die Greifeinheit 109 ist zum Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 126 über eine Distanz und zum Festhalten einer dünnwandigen Baueinheit 126 des Stapels 125 vorgesehen. Indem Luft durch eine Ausnehmung 128 des Blisters 127 eingeblasen wird, kann das Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit 126 vom Stapel 125 unterstützt werden. Der für das Ansaugen mittels der Greifeinheit 109 notwendige Ansaugstrom wird mittels eines Schlauchs 120 und mittels Leitungen 118, 119, deren Kontakt mit Hilfe von ansteuerbaren Ventilen 117, 134 (siehe auch 3a) geöffnet und geschlossen werden kann, von einem Vakuumspeicher 113 generiert. Der Vakuumspeicher 113 hat im Vergleich zur Umgebung der dünnwandigen Baueinheit 126 einen Unterdruck, der mittels eines Ejektors 114 erzeugt wird. Grundsätzlich könnte auch ein Ejektor in die Grundeinheit 112 integriert sein. Über die Leitung 118 ist mittels des ansteuerbaren Ventils 134 und eines weiteren ansteuerbaren Ventils 116 eine Vakuumkammer 115 an den Vakuumspeicher 113 angeschlossen. Die Vakuumkammer 115 wird durch einen Kolben 124 einer Aktuatoreinheit 123 zum Außenraum hin abgeschlossen. Der Kolben 124 ist relativ zur Grundeinheit 112 in vertikaler Richtung beweglich gelagert. Die Aktuatoreinheit 123 weist ein Verbindungsstück 122 auf, das die Kolben 124 und die Greifeinheit 109 mechanisch verbindet. Eine pneumatische Verbindung zwischen den Ansaugdüsen 129 über den Schlauch 120 und die Leitungen 118, 119 mittels der Ventile 116, 117 mit der Vakuumkammer 115 ist an- und abschaltbar. Falls die Ventile 116, 117 offen sind und eine dünnwandige Baueinheit 126 weder angesaugt wurde noch festgehalten wird, bildet sich ein Gleichgewichtszustand mit ruhender Greifeinheit 109 derart aus, dass der Druck des Außenraums den Druck in der Vakuumkammer 115 und eine an den Kolben 124 nach unten angreifende Kraft, die größtenteils aus einem Teil der Gewichtskraft der Greifeinheit 109 besteht, ausgleicht. Falls nun eine dünnwandige Baueinheit 126 angesaugt wird, verringert sich der Luftstrom in der Leitung 119, was dazu führt, dass sich der Unterdruck der Vakuumkammer 115 im Vergleich zum Außenraum weiter verringert. Damit stellen sich für die Aktuatoreinheit 123 und die Greifeinheit 109 neue Gleichgewichtspositionen ein, die sich aufgrund des verminderten Drucks der Vakuumkammer 115 in vertikaler Richtung weiter oben befinden. Die dünnwandige Baueinheit 126 wird damit weiter von dem Stapel 125 dünnwandiger Baueinheiten weg im Wesentlichen in vertikaler Richtung nach oben bewegt, wobei die Aktuatoreinheit 123 den Ansaugstrom energietechnisch nutzt. Die Ansaugeinheit 110 ist einteilig mit einer Sensoreinheit 132 ausgebildet und die Ansaugdüsen 129 sind einteilig mit einem Sensormittel 133 ausgebildet, dadurch bedingt, dass diese Elemente das Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 126 sensieren. Nachdem die Sensoreinheit 132 eine angesaugte dünnwandige Baueinheit 126 sensiert hat, signalisiert sie dies pneumatisch mittels des Schlauchs 120 und der Leitungen 118, 119 an die Aktuatoreinheit 123. 3 shows a section through a surface gripper unit, as the receiving units 11 . 21 . 31 . 41 . 51 exhibit. The surface gripper unit has a basic unit 112 , a gripping unit 109 and a blister 127 on. The blister 127 is located in the vertical direction substantially below the base unit 112 and the gripping unit 109 and is meant to be a stack 125 thin-walled units 126 take. The gripping unit 109 is partially made of plastic or alternatively partially formed of a rubber-like material. The gripping unit 109 is by means of a tilting means 121 , which is designed as a pivot, rotatable to the base unit 112 and stored substantially below it. The gripping unit 109 has a gripping surface 111 and a suction unit 110 on. The suction unit 110 and the gripping surface 111 again have individual suction nozzles 129 with a well-defined shape (see 4 ). The gripping unit 109 is for sucking a thin-walled unit 126 over a distance and for holding a thin-walled structural unit 126 of the pile 125 intended. By passing air through a recess 128 of the blister 127 blown, the detachment of a thin-walled structural unit 126 from the pile 125 get supported. The for the suction by means of the gripping unit 109 necessary intake flow is by means of a hose 120 and by means of cables 118 . 119 whose contact by means of controllable valves 117 . 134 (see also 3a ) can be opened and closed by a vacuum storage 113 generated. The vacuum store 113 has compared to the environment of the thin-walled unit 126 a negative pressure, which by means of an ejector 114 is produced. Basically, an ejector could also be in the basic unit 112 be integrated. About the line 118 is by means of the controllable valve 134 and another controllable valve 116 a vacuum chamber 115 to the vacuum storage 113 connected. The vacuum chamber 115 is by a piston 124 an actuator unit 123 closed to the outside. The piston 124 is relative to the basic unit 112 movably mounted in the vertical direction. The actuator unit 123 has a connector 122 on that the pistons 124 and the gripping unit 109 mechanically connecting. A pneumatic connection between the suction nozzles 129 over the hose 120 and the wires 118 . 119 by means of the valves 116 . 117 with the vacuum chamber 115 can be switched on and off. If the valves 116 . 117 are open and a thin-walled unit 126 was neither sucked nor held, forms an equilibrium state with resting gripping unit 109 such that the pressure of the outside space the pressure in the vacuum chamber 115 and one to the piston 124 downward force, which largely consists of a part of the weight of the gripping unit 109 exists, compensates. If now a thin-walled unit 126 is sucked, the air flow in the line decreases 119 , which causes the vacuum of the vacuum chamber 115 further reduced in comparison to the exterior. This represents the actuator unit 123 and the gripping unit 109 new equilibrium positions due to the reduced pressure of the vacuum chamber 115 higher up in the vertical direction. The thin-walled unit 126 gets further from the stack 125 thin-walled assemblies moved away in a substantially vertical upward direction, wherein the actuator unit 123 uses the intake power energy. The suction unit 110 is in one piece with a sensor unit 132 trained and the suction nozzles 129 are one-piece with a sensor means 133 formed due to the fact that these elements sucking a thin-walled unit 126 sensing. After the sensor unit 132 a sucked thin-walled unit 126 She has signaled this pneumatically by means of the hose 120 and the wires 118 . 119 to the actuator unit 123 ,

Ferner wird eine Ablöseinheit 130 durch die Greifeinheit 109 und das Schrägstellmittel 121 gebildet. Die Ablöseinheit 130 weist eine ebene Fläche 131 auf, die mit Hilfe des Schrägstellmittels 121 auf nicht parallele Weise zu der dünnwandigen Baueinheit 126 positioniert werden kann, so dass sie mit diesem einen spitzen Winkel einschließt. Die ebene Fläche 131 ist einteilig mit der Greiffläche 111 ausgebildet. Die Greiffläche 111 weist die Ansaugdüsen 129 auf, die gleichmäßig auf der Oberfläche der Greiffläche 111 verteilt sind. Auf einer Teilfläche der der Greifeinheit 109 zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit 126, der sich näher an der Greiffläche 111 befindet, ist die Kraft beim Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 126 größer als auf einer anderen Teilfläche der der Greifeinheit 109 zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit 126, die sich im Vergleich zur ersteren weiter weg von der Greiffläche 111 befindet. Damit wird ein ungleichförmiges Ablösen der dünnwandigen Baueinheit 126 vom Stapel 125 hervorgerufen, das dadurch unterstützt wird, dass an die Trennlinie zwischen der dünnwandigen Baueinheit 126 und dem restlichen Stapel 125 dünnwandiger Baueinheiten Luft durch eine Ausnehmung 128 angeblasen wird.Furthermore, a Ablöseinheit 130 through the gripping unit 109 and the skew means 121 educated. The detachment unit 130 has a flat surface 131 on, with the help of the tilting means 121 in a non-parallel manner to the thin-walled structural unit 126 can be positioned so that it includes an acute angle with this. The flat surface 131 is in one piece with the gripping surface 111 educated. The gripping surface 111 has the suction nozzles 129 on, evenly on the surface of the gripping surface 111 are distributed. On a partial surface of the gripping unit 109 facing side of the thin-walled unit 126 , which is closer to the gripping surface 111 is the force when sucking the thin-walled unit 126 larger than on any other surface of the gripping unit 109 facing side of the thin-walled unit 126 who live in Ver just to the first farther away from the gripping surface 111 located. This is a non-uniform detachment of the thin-walled structural unit 126 from the pile 125 which is supported by the fact that the dividing line between the thin-walled structural unit 126 and the rest of the stack 125 thin-walled units air through a recess 128 is blown.

3a zeigt einen Schnitt durch einen Teil der Flächengreifereinheit, der die Ventile 134, 116, 117 und die Leitung 118 umfasst. Das Ventil 134 ist als 3/2-Wegeventil ausgebildet. Eine Leitung 138 stellt eine Verbindung zwischen dem Ventil 134 und der Leitung 119 her, die durch das Ventil 117 geöffnet oder geschlossen werden kann. Die Leitung 138 stellt ebenfalls eine Verbindung zwischen dem Ventil 134 und der Vakuumkammer 115 her, welche mit Hilfe des Ventils 116 geöffnet oder geschlossen werden kann. An das Ventil 134 sind die Leitung 118 und eine Druckluftleitung 135 angeschlossen. Das Ventil 134 weist einen Innenraum 142 und einen Kolben 136 auf, welcher den Innenraum 142 des Ventils 134, der von einer Wandung 141 des Ventils 134 begrenzt wird, in zwei Kammern 139, 140 aufteilt. Durch den Kolben 136 sind die Kammern 139, 140 gegeneinander abgedichtet. Der Kolben 136 ist relativ zu der Wandung 141 des Ventils 134 beweglich gelagert und mittels einer Feder 137 mit der Wandung 141 verbunden. Durch eine Druckveränderung in der Kammer 139, welche gezielt mit Hilfe der Druckluftleitung 135 herbeigeführt werden kann, und/oder eine Druckveränderung der Kammer 140 kann der Kolben 136 relativ zu der Wandung 141 bewegt werden. Auf diese Weise kann der Kolben 136 so positioniert werden, dass die Leitung 138 entweder mit der Druckluftleitung 135 oder mit der Leitung 118 verbunden ist. Im letzteren Fall wird bei geöffnetem Ventil 117 ein Ansaugstrom erzeugt, der zum Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 126 (siehe 3) vorgesehen ist. Nach dem Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 126 kann diese durch die Greifeinheit 109 (siehe 3) an eine gewünschte Stelle transportiert werden. Indem der Druck in der Kammer 139 mit Hilfe der Druckluftleitung 135 erhöht wird, kann dann die Leitung 138 mit der Druckluftleitung 135 verbunden werden. Bei geöffnetem Ventil 117 wird so der Ansaugstrom, welcher die dünnwandige Baueinheit 126 an der Ansaugeinheit 110 festhält, ausgesetzt und die dünnwandige Baueinheit 126 damit von der Ansaugeinheit 110 abgelöst. Das Einblasen von Druckluft mittels der Druckluftleitung 135 in die Kammer 139 bewirkt demzufolge ein schnelles Ablösen der dünnwandigen Baueinheit 126. Das Einblasen von Druckluft mittels der Druckluftleitung 135 in die Vakuumkammer 115, welche bei geöffnetem Ventil 116 und geeigneter Stellung des Kolbens 136 möglich ist, ermöglicht eine Bewegung der Greifeinheit 109 in eine Position, welche relativ zu dem Blister 127 (siehe 3) eine geeignete Neigung zum Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 126 besitzt. 3a shows a section through a portion of the surface gripper unit, the valves 134 . 116 . 117 and the line 118 includes. The valve 134 is designed as a 3/2-way valve. A line 138 makes a connection between the valve 134 and the line 119 coming through the valve 117 can be opened or closed. The administration 138 also provides a connection between the valve 134 and the vacuum chamber 115 Her, which with the help of the valve 116 can be opened or closed. To the valve 134 are the lead 118 and a compressed air line 135 connected. The valve 134 has an interior 142 and a piston 136 on which the interior 142 of the valve 134 from a wall 141 of the valve 134 is limited, in two chambers 139 . 140 divides. By the piston 136 are the chambers 139 . 140 sealed against each other. The piston 136 is relative to the wall 141 of the valve 134 movably mounted and by means of a spring 137 with the wall 141 connected. By a pressure change in the chamber 139 , which specifically with the help of the compressed air line 135 can be brought about, and / or a pressure change of the chamber 140 can the piston 136 relative to the wall 141 to be moved. In this way, the piston 136 be positioned so that the line 138 either with the compressed air line 135 or with the line 118 connected is. In the latter case, with the valve open 117 generates an intake, which is for sucking the thin-walled unit 126 (please refer 3 ) is provided. After aspiration of the thin-walled unit 126 This can be done by the gripping unit 109 (please refer 3 ) are transported to a desired location. By the pressure in the chamber 139 with the help of the compressed air line 135 is increased, then the line 138 with the compressed air line 135 get connected. With the valve open 117 So is the intake flow, which is the thin-walled unit 126 at the suction unit 110 holds, exposed and the thin-walled unit 126 with it from the suction unit 110 replaced. The injection of compressed air by means of the compressed air line 135 in the chamber 139 consequently causes a rapid detachment of the thin-walled structural unit 126 , The injection of compressed air by means of the compressed air line 135 in the vacuum chamber 115 , which with the valve open 116 and appropriate position of the piston 136 is possible, allows movement of the gripping unit 109 in a position which is relative to the blister 127 (please refer 3 ) a suitable tendency for suction of a thin-walled structural unit 126 has.

1010
Greifvorrichtunggripping device
1111
Aufnahmeeinheitrecording unit
1212
Verstellvorrichtungadjustment
1313
Verstellvorrichtungadjustment
1414
Rotationsachseaxis of rotation
2020
Greifvorrichtunggripping device
2121
Aufnahmeeinheitrecording unit
2222
Verstellvorrichtungadjustment
2323
Verstellvorrichtungadjustment
2424
Verstellvorrichtungadjustment
2525
Verstellvorrichtungadjustment
2626
Rotationsachseaxis of rotation
3030
Greifvorrichtunggripping device
3131
Aufnahmeeinheitrecording unit
3232
Verstellvorrichtungadjustment
3333
Verstellvorrichtungadjustment
3434
Verstellvorrichtungadjustment
3535
Verstellvorrichtungadjustment
3636
Rotationsachseaxis of rotation
4040
Greifvorrichtunggripping device
4141
Aufnahmeeinheitrecording unit
4242
Verstellvorrichtungadjustment
4343
Verstellvorrichtungadjustment
4444
Verstellvorrichtungadjustment
4545
Verstellvorrichtungadjustment
4646
Rotationsachseaxis of rotation
5050
Greifvorrichtunggripping device
5151
Aufnahmeeinheitrecording unit
5252
Verstellvorrichtungadjustment
5353
Verstellvorrichtungadjustment
5454
Verstellvorrichtungadjustment
5555
Verstellvorrichtungadjustment
5656
Rotationsachseaxis of rotation
100100
Grundgerüstbackbone
101101
Erfassungsvorrichtungdetection device
102102
PositionserkennungseinheitPosition detection unit
103103
DefekterkennungseinheitDefect detection unit
104104
AufnahmeparametererkennungseinheitRecording parameters detection unit
105105
Kameravorrichtungcamera device
106106
LasererfassungsvorrichtungLaser detection device
107107
Recheneinheitcomputer unit
108108
Aufnahmeflächereceiving surface
109109
Greifeinheitgripper unit
110110
Ansaugeinheitsuction
111111
Greifflächegripping surface
112112
Grundeinheitbasic unit
113113
Vakuumspeichervacuum storage
114114
Ejektorejector
115115
Vakuumkammervacuum chamber
116116
VentilValve
117117
VentilValve
118118
Leitungmanagement
119119
Leitungmanagement
120120
Schlauchtube
121121
SchrägstellmittelTilt means
122122
Verbindungsstückjoint
123123
Aktuatoreinheitactuator
124124
Kolbenpiston
125125
Stapelstack
126126
dünnwandige Baueinheitthin unit
127127
BlisterBlister
128128
Ausnehmungrecess
129129
Ansaugdüsesuction
130130
AblöseinheitAblöseinheit
131131
ebene Flächelevel area
132132
Sensoreinheitsensor unit
133133
Sensormittelsensor means
134134
VentilValve
135135
DruckluftleitungCompressed air line
136136
Kolbenpiston
137137
Federfeather
138138
Leitungmanagement
139139
Kammerchamber
140140
Kammerchamber
141141
Wandungwall
142142
Innenrauminner space
XX
Bewegungsrichtungmovement direction
YY
Bewegungsrichtungmovement direction
ZZ
Bewegungsrichtungmovement direction
RR
Bewegungsrichtungmovement direction

Claims (20)

Greifersystem, insbesondere Wafergreifersystem, mit zumindest einer ersten Greifvorrichtung (10) und einer zweiten Greifvorrichtung (20), dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Greifvorrichtung (20) eine erste Verstellvorrichtung (22) aufweist, die dazu vorgesehen ist, eine Aufnahmeeinheit (21) der zweiten Greifvorrichtung (20) in einer ersten Bewegungsrichtung (X) unabhängig von der ersten Greifvorrichtung (10) zu verstellen.Gripper system, in particular Wafergreifersystem, with at least a first gripping device ( 10 ) and a second gripping device ( 20 ), characterized in that the second gripping device ( 20 ) a first adjusting device ( 22 ), which is provided to a receiving unit ( 21 ) of the second gripping device ( 20 ) in a first direction of movement (X) independently of the first gripping device ( 10 ) to adjust. Greifersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Greifvorrichtung (20) eine zweite Verstellvorrichtung (23) aufweist, die dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit (21) der zweiten Greifvorrichtung (20) in einer zweiten Bewegungsrichtung (Y) unabhängig von der ersten Greifvorrichtung (10) zu verstellen.Gripper system according to claim 1, characterized in that the second gripping device ( 20 ) a second adjusting device ( 23 ), which is provided to the receiving unit ( 21 ) of the second gripping device ( 20 ) in a second direction of movement (Y) independently of the first gripping device ( 10 ) to adjust. Greifersystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Greifvorrichtung (20) eine dritte Verstellvorrichtung (24) aufweist, die dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit (21) der zweiten Greifvorrichtung (20) in einer dritten Bewegungsrichtung (Z) unabhängig von der ersten Greifvorrichtung (10) zu verstellen.Gripper system according to claim 2, characterized in that the second gripping device ( 20 ) a third adjusting device ( 24 ), which is provided to the receiving unit ( 21 ) of the second gripping device ( 20 ) in a third direction of movement (Z) independently of the first gripping device ( 10 ) to adjust. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche gekennzeichnet durch zumindest eine dritte Greifvorrichtung (30, 40, 50) mit zumindest einer Verstellvorrichtung (32–35, 42–45, 52–55), die dazu vorgesehen ist, eine Aufnahmeeinheit (31, 41, 51) der Greifvorrichtung (30, 40, 50) in zumindest einer Bewegungsrichtung (X, Y, Z, R) unabhängig von der ersten Greifvorrichtung (10) zu verstellen.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized by at least one third gripping device ( 30 . 40 . 50 ) with at least one adjusting device ( 32 - 35 . 42 - 45 . 52 - 55 ), which is intended to provide a recording unit ( 31 . 41 . 51 ) of the gripping device ( 30 . 40 . 50 ) in at least one direction of movement (X, Y, Z, R) independently of the first gripping device ( 10 ) to adjust. Greifersystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Verstellvorrichtung (32–35, 42–45, 52–55) dazu vorgesehen ist, die Aufnahmeeinheit (31, 41, 51) der Greifvorrichtung (30, 40, 50) in zumindest der einen Bewegungsrichtung (X, Y, Z, R) unabhängig von der zweiten Greifvorrichtung (20) zu verstellen.Gripper system according to claim 4, characterized in that the at least one adjusting device ( 32 - 35 . 42 - 45 . 52 - 55 ) is provided to the receiving unit ( 31 . 41 . 51 ) of the gripping device ( 30 . 40 . 50 ) in at least one direction of movement (X, Y, Z, R) independently of the second gripping device ( 20 ) to adjust. Greifersystem zumindest nach zwei der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Verstellvorrichtung zumindest teilweise einstückig ausgeführt sind.Gripper system according to at least two of claims 1 to 4, characterized in that at least two adjusting device at least partially in one piece accomplished are. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Verstellvorrichtung (12, 22–24, 32–34, 42–44, 52–54) eine pneumatische Antriebseinheit aufweist.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized in that at least one adjusting device ( 12 . 22 - 24 . 32 - 34 . 42 - 44 . 52 - 54 ) has a pneumatic drive unit. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche gekennzeichnet durch, zumindest eine Verstellvorrichtung (13, 25, 35, 45, 55) eine elektrische Antriebseinheit aufweist.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized by at least one adjusting device ( 13 . 25 . 35 . 45 . 55 ) has an electric drive unit. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Erfassungsvorrichtung (101), die dazu vorgesehen ist, ein aufzunehmendes Werkstück zu erfassen.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized by a detection device ( 101 ), which is intended to detect a workpiece to be recorded. Greifersystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) dazu vorgesehen ist, das Werkstück berührungslos zu erfassen.Gripper system according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) is intended to detect the workpiece without contact. Greifersystem zumindest nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) eine Positionserkennungseinheit (102) aufweist, die dazu vorgesehen ist, zumindest eine Position des aufzunehmenden Werkstücks zu bestimmen.Gripper system at least according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) a position detection unit ( 102 ), which is intended to determine at least one position of the male workpiece. Greifersystem zumindest nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) zumindest eine Defekterkennungseinheit (103) aufweist, die dazu vorgesehen ist, einen Defekt des aufzunehmenden Werkstücks zu erkennen.Gripper system at least according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) at least one defect detection unit ( 103 ), which is intended to detect a defect of the male workpiece. Greifersystem zumindest nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) eine Aufnahmeparametererkennungseinheit (104) aufweist, die vorgesehen ist, zumindest einen weiteren Aufnahmeparameter zu bestimmen.Gripper system at least according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) a receiving parameter recognition unit ( 104 ), which is provided to determine at least one further acquisition parameter. Greifersystem zumindest nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) eine Kameravorrichtung (105) aufweist.Gripper system at least according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) a camera device ( 105 ) having. Greifersystem zumindest nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung (101) eine Lasererfassungsvorrichtung (106) aufweist.Gripper system at least according to claim 9, characterized in that the detection device ( 101 ) a laser detection device ( 106 ) having. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Recheneinheit (107), die dazu vorgesehen ist, eine Aufnehmstrategie zu berechnen.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized by a computing unit ( 107 ), which is intended to calculate a picking strategy. Greifersystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Greifvorrichtungen (10, 20, 30, 40, 50) dazu vorgesehen ist, ein Werkstück berührungslos aufzunehmen.Gripper system according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the gripping devices ( 10 . 20 . 30 . 40 . 50 ) is provided to receive a workpiece without contact. Verfahren für ein Greifersystem, insbesondere ein Wafergreifersystem, mit einer ersten Greifvorrichtung (10) und zumindest einer zweiten Greifvorrichtung (20, 30, 40, 50), dadurch gekennzeichnet, dass eine Aufnahmeeinheit (21, 31, 41, 51) der zumindest zweiten Greifvorrichtung (20, 30, 40, 50) in zumindest einer ersten Bewegungsrichtung (X, Y, Z, R) unabhängig von der ersten Greifvorrichtung (10) verstellt wird.Method for a gripper system, in particular a wafer gripper system, with a first gripping device ( 10 ) and at least one second gripping device ( 20 . 30 . 40 . 50 ), characterized in that a receiving unit ( 21 . 31 . 41 . 51 ) of the at least second gripping device ( 20 . 30 . 40 . 50 ) in at least one first direction of movement (X, Y, Z, R) independently of the first gripping device ( 10 ) is adjusted. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Greifvorrichtungen (10, 20, 30, 40, 50) nacheinander befüllt werden.Method according to claim 18, characterized in that the gripping devices ( 10 . 20 . 30 . 40 . 50 ) are filled one after the other. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Greifvorrichtungen (10, 20, 30, 40, 50) in zumindest einem Betriebsmodus teilweise befüllt werden.Method according to claim 18 or 19, characterized in that the gripping devices ( 10 . 20 . 30 . 40 . 50 ) are partially filled in at least one operating mode.
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