DE102007022218A1 - Lens arrangement for image processing and method for reducing image aberrations in this lens arrangement - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Objektivanordnung für eine Bildverarbeitung, welche ein Objektiv mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes aufweist, wobei im Abstand der Brennweite des Objektives bildseitig eine Aperturblende angeordnet ist, wobei die Aperturblende als Blendengruppe mit variabler Apertur ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Reduzierung von Bildfehlern einer Objektivanordnung bei einer Bildverarbeitung, wobei die Objektivanordnung ein Objektiv mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes aufweist, wobei im Abstand der Brennweite des Objektives bildseitig eine Aperturblende angeordnet ist, wobei die Apertur der Aperturblende im Strahlengang verändert und eine Bildänderung detektiert wird. Die zuvor beschriebene Objektivanordnung eignet sich insbesondere für Kameravermessungssysteme mit entsprechenden Bildverarbeitungssystemen. Mit der speziellen Anordnung und dem erfindungsgemäßen Verfahrensansatz kann erreicht werden, dass insbesondere ein Tiefenmessfehler, der bei einer Teilabschattung des Strahlengangs auftreten kann, kompensiert werden kann. Insbesondere ist dies bei der Vermessung von engen, tiefen Aussparungen, z. B. Bohrungen bzw. Öffnungen, vorteilhaft, bei denen diese Teilabschattungen auftreten können. Mit geeigneten Blenden kann das System zur direkten Abstandsmessung eingesetzt werden.The invention relates to an objective arrangement for image processing, which has an objective with at least one lens for imaging an object, an aperture diaphragm being arranged on the image side at a distance from the focal length of the objective, the aperture diaphragm being designed as a diaphragm group with variable aperture. The invention further relates to a method for reducing aberrations of an objective arrangement in image processing, wherein the objective arrangement comprises an objective with at least one lens for imaging an object, wherein an aperture stop is arranged on the image side at a distance of the focal length of the objective, the aperture of the aperture stop in Beam path changed and a picture change is detected. The objective arrangement described above is particularly suitable for camera surveying systems with corresponding image processing systems. With the special arrangement and the method approach according to the invention, it can be achieved that, in particular, a depth measurement error which can occur in the case of partial shading of the beam path can be compensated. In particular, this is in the measurement of narrow, deep recesses, z. As holes or openings, advantageous in which these Teilabschattungen may occur. With suitable apertures, the system can be used for direct distance measurement.
Description
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft eine Objektivanordnung für eine Bildverarbeitung, welche ein Objektiv mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes aufweist, wobei im Abstand der Brennweite des Objektives bildseitig eine Aperturblende angeordnet ist.The The invention relates to an objective arrangement for image processing, which a lens with at least one lens for imaging an object has, wherein the distance of the focal length of the lens on the image side an aperture stop is arranged.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Reduzierung von Bildfehlern einer derartigen Objektivanordnung bei einer Bildverarbeitung.The The invention further relates to a method for reducing image aberrations Such an objective arrangement in image processing.
Eine Bildverarbeitung wird oft zur Größenvermessung von Bauteilen eingesetzt. Dazu wird durch eine geeignete Beleuchtungsanordnung die Lichtintensität des Objektes von der Lichtintensität des Hintergrunds differenziert, um an der Kante des Objektes einen Intensitätssprung zu erzeugen.A Image processing often becomes size measurement used by components. This is done by a suitable lighting arrangement the light intensity of the object is differentiated from the light intensity of the background, to create an intensity jump at the edge of the object.
Zum Einsatz kommen dabei häufig so genannte telezentrische Objektive. Diese werden insbesondere in optischen Mikrometern oder Profilprojektoren eingesetzt. Sie zeichnen sich dadurch aus, dass der Objektabstand variiert werden kann und die Bildgröße trotzdem konstant bleibt. Man unterscheidet zwischen
- • objektseitiger Telezentrik,
- • bildseitiger Telezentrik und
- • beidseitiger Telezentrik.
- • object-side telecentrics,
- • image-sided telecentric and
- • double-sided telecentric.
Eine objektseitige Telezentrik wird verwendet, um Objekte ohne perspektivische Verzerrung zu erfassen. Die Hauptstrahlen laufen im Objektraum alle parallel zur optischen Achse. Die Frontlinse bei objektseitiger Telezentrik muss mindestens so groß sein wie das abzubildende Objekt. Der einfachste Aufbau dazu besteht aus einer einzelnen Sammellinse mit einer Aperturblende im bildseitigen Brennpunkt. Diese Art der Telezentrik findet insbesondere Anwendung bei der Vermessung von Objekten.A Object-side telecentric is used to make objects without perspective To detect distortion. The main rays run in the object space all parallel to the optical axis. The front lens at the object side Telecentric must be at least as large as the one to be imaged Object. The simplest structure consists of a single converging lens with an aperture stop in the image-side focal point. This kind of Telecentric finds particular application in the measurement of Objects.
Wird dabei die Objektkante nicht scharfabgebildet oder ist ein Teil des Strahlenganges abgeschattet, was z. B. bei Messungen an einer Hinterkante des Objektes der Fall sein kann, tritt bei Verwendung von so genannten telezentrischen Objektiven eine Verschiebung der Kante im Kamerabild und somit ein Messfehler auf.Becomes the object edge is not sharply focused or is part of the Beam path shaded what z. B. in measurements on a trailing edge of Object may be the case occurs when using something called telecentric lenses shift the edge in the camera image and thus a measurement error.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Objektivanordnung bereitzustellen, mit der Messfehler erfasst werden können. Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Reduzierung von Bildfehlern bei dieser Objektivanordnung zur Verfügung zu stellen.It It is therefore an object of the invention to provide an objective arrangement, with which measurement errors can be detected. It is still a task of the invention, a method for reducing image aberrations to provide this lens arrangement.
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Aperturblende als Blendengruppe mit variabler Apertur ausgebildet ist. Die das Verfahren betreffende Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Apertur der Aperturblende im Strahlengang verändert und eine Bildänderung detektiert wird. Mit der speziellen Anordnung und dem erfindungsgemäßen Verfahrensansatz kann erreicht werden, dass insbesondere ein Tiefenmessfehler, der bei einer Teilabschattung des Strahlengangs auftreten kann, kompensiert werden kann. Insbesondere ist dies bei der Vermessung von engen, tiefen Aussparungen, z. B. Bohrungen bzw. Öffnungen, vorteilhaft, bei denen diese Teilabschattungen auftreten können.The Task is solved by the aperture diaphragm is designed as a variable aperture diaphragm group is. The object relating to the method is achieved in that changed the aperture of the aperture in the beam path and a picture change is detected. With the special arrangement and the method approach according to the invention can be achieved that in particular a depth measurement error, the can occur at a Teilabschattung the beam path compensated can be. In particular, this is in the measurement of narrow, deep recesses, z. B. holes or openings, advantageously, at which these partial shadows can occur.
Eine Verfahrensvariante sieht dabei vor, dass die Bildänderungen aus mindestens zwei Messungen mit unterschiedlicher Apertur erfasst und durch Extrapolation auf eine Punktblende ein Winkelfehler zwischen einem theoretischen Hauptstrahl und einem tatsächlichen Hauptstrahl bestimmt wird. Aus der Änderung des Winkelfehlers bei unterschiedlicher Apertur kann durch die Extra polation auf eine Punktblende, die als theoretischer Grenzfall zu sehen ist, auf den Winkelfehler bei dieser idealen Aperturblende geschlossen werden. In bevorzugter Verfahrensvariante wird dieser dabei ermittelte Winkelfehler als Tiefenkorrektur der Objektivanordnung verwendet. Werden mehr als zwei unterschiedliche Aperturblenden eingesetzt, kann damit eine genauere Extrapolation erreicht werden.A Process variant provides that the image changes detected from at least two measurements with different aperture and by extrapolation to a point aperture, an angle error between a principal principal ray and an actual principal ray becomes. From the change the angle error at different aperture can by the extra polation to a point stop, which can be seen as a theoretical borderline case, closed on the angle error at this ideal aperture become. In a preferred process variant, this is determined Angle error used as depth correction of the lens assembly. If more than two different aperture diaphragms are used, can thus be achieved a more precise extrapolation.
In vorteilhafter Ausgestaltung ist die Aperturblende umschaltbar ausgebildet, wodurch eine Anpassung der Apertur ermöglicht wird. Für viele Messzwecke ausreichend hat sich herausgestellt, wenn die Aperturblende zwischen mindestens zwei Blenden mechanisch umschaltbar ausgeführt ist. Dies ist ein besonders einfacher Lösungsansatz in Verbindung mit dem beschriebenen Verfahren.In Advantageous embodiment, the aperture diaphragm is reversible, whereby an adjustment of the aperture is made possible. For many Measurement purpose has been found sufficient when the aperture stop is performed mechanically switchable between at least two diaphragms. This is a particularly simple approach in conjunction with the described method.
Ist die Aperturblende zwischen einer einfachen Kreisblende und einer Ringblende umschaltbar ausgeführt, können bei einer Teilabschattung durch eine Objektkante unterschiedliche Winkelfehler der Hauptstrahlen detektiert und ausgewertet werden.is the aperture diaphragm between a simple circular aperture and a Circular aperture reversible, can in a Teilabschattung by an object edge different Angle errors of the main beams can be detected and evaluated.
Ist mindestens eine der Blenden der Aperturblende als verstellbare Blende ausgeführt, kann eine stufenlose Änderung der Apertur hinsichtlich z. B. des Durchmessers und/oder der Form herbeigeführt und damit eine kontinuierliche Veränderung des Winkelfehlers beobachtet werden, was insbesondere die Auswertung der daraus resultierenden Signale erleichtert.is at least one of the apertures of the aperture stop as an adjustable aperture executed can be a stepless change the aperture with respect to z. B. the diameter and / or the shape brought about and thus a continuous change the angle error can be observed, which in particular the evaluation the resulting signals facilitated.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsvariante ist mindestens eine der Blenden der Aperturblende auf Basis einer LCD-, DMD- und/oder einer anderen SLM-Technik ausgeführt. Bei auf LCD-Technik (Liquid Crystal Display) basierenden Aperturblenden kann die Apertur der Blende beliebig, digital angesteuert, verändert werden. Die Form der der Apertur als auch die Größe kann beliebig über einen Computer festgelegt werden, was eine hohe Flexibilität hinsichtlich der Messaufgabe ermöglicht. Eine ähnliche Flexibilität ermöglichen Aperturblenden, die auf der DMD-Technologie (Digital Micromirror Devices) oder auf der SLM-Technologie (Spatial Light Modulation) basieren.In a further preferred embodiment is at least one of the apertures of the aperture stop based on a LCD, DMD and / or other SLM technology. at LCD (Liquid Crystal Display) based apertures The aperture of the aperture can be arbitrarily, digitally controlled, changed. The shape of the aperture as well as the size can be arbitrary over one Computers are set, giving high flexibility in terms the measuring task allows. A similar flexibility enable Aperture apertures on the DMD technology (Digital Micromirror Devices) or on the SLM technology (Spatial Light modulation).
In bevorzugter Ausführungsvariante ist das Objektiv als telezentrisches Objektiv ausgeführt, womit sich insbesondere die eingangs beschriebenen Vorteile hinsichtlich der Bildauswertung ergeben.In preferred embodiment the lens is designed as a telecentric lens, which in particular the advantages described above in terms the image evaluation result.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be described below with reference to the figures shown in the figures Embodiments explained in more detail. It demonstrate:
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
Im
gezeigten Beispiel ist die Aperturblende
Durch
Extrapolation der Winkelfehler
Die
zuvor beschriebene Objektivanordnung
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2442095A3 (en) * | 2010-10-15 | 2017-12-27 | Rolls-Royce plc | Hole inspection |
CN110998411A (en) * | 2017-06-02 | 2020-04-10 | 迪斯帕列斯有限公司 | Projection objective and waveguide display device |
CN114279360A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-05 | 天津大学 | Multi-eye phase deflection measurement method and device based on telecentric imaging system |
DE102021118429A1 (en) | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Process and device for 3D coordinate measurement using the autofocus process |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104422395B (en) * | 2013-09-11 | 2017-02-08 | 中国石油大学(华东) | Method for calibrating small-aperture diaphragm |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5461228A (en) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Optical inspection of container dimensional parameters using a telecentric lens |
DE19644662C2 (en) * | 1996-10-25 | 2000-04-13 | Leica Microsystems | Illumination device for a microscope |
JPH11125849A (en) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Nikon Corp | Optical diaphragm |
EP1207414B1 (en) * | 1997-10-29 | 2016-05-04 | Motic China Group Co., Ltd. | Apparatus and methods relating to spatially light modulated microscopy |
JP4157305B2 (en) * | 2002-02-13 | 2008-10-01 | 株式会社ミツトヨ | Telecentric lens system and image measuring device |
JP4286835B2 (en) * | 2003-01-24 | 2009-07-01 | 日本山村硝子株式会社 | Container mouth inspection device |
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2007
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-
2008
- 2008-04-07 WO PCT/EP2008/054131 patent/WO2008138687A1/en active Application Filing
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2442095A3 (en) * | 2010-10-15 | 2017-12-27 | Rolls-Royce plc | Hole inspection |
CN110998411A (en) * | 2017-06-02 | 2020-04-10 | 迪斯帕列斯有限公司 | Projection objective and waveguide display device |
US11275234B2 (en) | 2017-06-02 | 2022-03-15 | Dispelix Oy | Projection objective and waveguide display device |
DE102021118327A1 (en) | 2021-07-15 | 2023-01-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Measuring camera and method for two-dimensional measurement of objects |
DE102021118327B4 (en) | 2021-07-15 | 2023-03-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Measuring camera for the two-dimensional measurement of objects |
DE102021118429A1 (en) | 2021-07-16 | 2023-01-19 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Process and device for 3D coordinate measurement using the autofocus process |
DE102021118429B4 (en) | 2021-07-16 | 2023-06-01 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Process and device for 3D coordinate measurement using the autofocus process |
CN114279360A (en) * | 2021-12-27 | 2022-04-05 | 天津大学 | Multi-eye phase deflection measurement method and device based on telecentric imaging system |
CN114279360B (en) * | 2021-12-27 | 2023-08-11 | 天津大学 | Method and device for measuring multi-order phase deflection based on telecentric imaging system |
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