DE102007017363A1 - Device and method for processing components - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen mit Strahlung eines Faser-, Scheiben- oder Stablasers. Aufgabe der Erfindung ist es, Verbesserungen beim Einsatz von Vorrichtungen mit Faser- oder Scheibenlasern bei der Bearbeitung von Bauteilen zu erreichen, bei denen die jeweilige Laserlichtquelle vor zurückreflektierter Strahlung geschützt und die Effektivität beim Einsatz erhöht werden soll. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist dabei so ausgebildet, dass von einer Faser- oder Scheibenlaserlichtquelle emittierte Strahlung auf einen Strahlteiler gerichtet ist, der für auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils gerichtete Strahlung transparent und für vom Bearbeitungsbereich zurückreflektierte Strahlung reflektierend ist. Dabei ist die durch den Strahlteiler transmittierte Strahlung durch einen Polarisationsdreher in ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgebbaren Winkelbetrag drehbar und so auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils gerichtet und die vom Bearbeitungsbereich reflektierte Strahlung in ihrer Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher so gedreht, dass sie mittels des Strahlteilers aus dem Strahlengang ausgekoppelt wird und auf mindestens ein reflektierendes optisches Element auftrifft.The invention relates to a device and a method for processing components with radiation of a fiber, disc or bar laser. The object of the invention is to achieve improvements in the use of devices with fiber or disk lasers in the machining of components, in which the respective laser light source to be protected from back-reflected radiation and the effectiveness of use is to be increased. A device according to the invention is designed such that radiation emitted by a fiber or disk laser light source is directed onto a beam splitter, which is transparent to radiation directed onto a processing region of a component and reflective to radiation reflected back from the processing region. In this case, the radiation transmitted through the beam splitter is rotatable by a polarization rotator in its polarization direction by a predeterminable angle and directed to the processing area of the component and the reflected radiation from the processing area in its polarization direction with the polarization rotator rotated so that it by means of the beam splitter from the beam path is coupled out and impinges on at least one reflective optical element.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen mit Strahlung eines Faser-, Scheiben- oder Stablasers. Die Bearbeitung kann bei den verschiedenen bekannten Technologien, wie z. B. Schneiden, Schweißen oder auch für eine Modifizierung von Werkstoffen (z. B. Härten) sowie dem Bohren, Abtragen, Beschichten und Umschmelzen eingesetzt werden.The The invention relates to an apparatus and a method for processing of components with radiation of a fiber, disc or bar laser. The Editing can be done using the various known technologies, such as z. As cutting, welding or for a Modification of materials (eg hardening) as well as the Drilling, ablation, coating and remelting can be used.

Seit ca. zwei Jahren sind Hochleistungs-Faserlasersysteme und Scheibenlaser auf dem Markt erhältlich, welche eine bisher nicht gekannte hohe Strahlqualität besitzen. Damit sind Faserlaser außerordentlich gut zur Laser-Materialbearbeitung geeignet. Beim Einsatz eines Faserlasers hat sich jedoch herausgestellt, dass dieser besonders gegen rückreflektierte Strahlung empfindlich ist. Dies ist darauf zurückzuführen, dass der „Auskoppelspiegel" des Laserresonators nur eine sehr geringe Reflexion, dafür aber eine sehr hohe Transmission besitzt. Hierdurch unterscheidet sich der Faserlaser nennenswert von anderen Festkörperlasern wie dem Scheibenlaser oder Nd: YAG-Stablaser.since About two years are high-power fiber laser systems and disk lasers available on the market, which is a previously unknown have high beam quality. This makes fiber lasers extraordinary well suited for laser material processing. When using a fiber laser However, it has been found that this is especially reflected back against Radiation is sensitive. This is due to, that the "Auskoppelspiegel" of the laser resonator only one very low reflection, but a very high transmission has. This significantly differentiates the fiber laser from other solid state lasers like the disk laser or Nd: YAG rod laser.

Bei der Bearbeitung von Metallen hat die Strahlung in der Regel eine recht hohe Reflexion am Werkstück, wodurch ein nennenswerter Anteil (10–90%) in den Laser zurückreflektiert werden kann. Die damit auftretenden hohen Leistungsdichten können zur Zerstörung des Lasers oder einer Übertragungsfaser führen. Aus diesem Grund erscheint eine Rückwirkungssperre zwingend erforderlich.at The treatment of metals usually has a radiation quite high reflection on the workpiece, which is a significant Share (10-90%) reflected back into the laser can be. The resulting high power densities can to destroy the laser or a transmission fiber to lead. For this reason, a feedback inhibit appears absolutely necessary.

So ist es aus JP 60158993 A und JP 61232077 A für allgemeine Laserquellen bekannt, von einem Bauteil zurück reflektierte Strahlung mittels eines Strahlteilers auf einen Absorber zu richten. Die zurück reflektierte Strahlung wird dadurch ausgekoppelt und unschädlich gemacht. Sie stellt aber einen verlorenen Anteil an nutzbarer Laserleistung dar.That's the way it is JP 60158993 A and JP 61232077 A For general laser sources known to direct back from a component reflected radiation by means of a beam splitter on an absorber. The reflected back radiation is thereby decoupled and made harmless. But it represents a lost share of usable laser power.

Bei der Bearbeitung ist es aber auch häufig gewünscht gezielt polarisierte Strahlung einzusetzen. Die hierfür eingesetzten optischen Elemente (Polarisationsdreher) führen aber zu Verlusten, die bei der Bearbeitung nicht genutzt werden können und dadurch der Wirkungsgrad und die Effizienz negativ beeinflusst wird.at but it is also often desired for editing to use specifically polarized radiation. The one for this used optical elements (polarization rotator) lead but losses that are not used during processing and thereby the efficiency and the efficiency are adversely affected.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Verbesserungen beim Einsatz von Vorrichtungen mit Faser- oder Scheibenlasern bei der Bearbeitung von Bauteilen zu erreichen, bei denen die jeweilige Laserlichtquelle vor zurück reflektierter Strahlung geschützt und die Effektivität beim Einsatz erhöht werden soll.It It is therefore an object of the invention to improve the use of Devices with fiber or disk lasers during processing reach of components where the respective laser light source protected from reflected radiation and back the effectiveness in use should be increased.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist und einem Verfahren nach Anspruch, gelöst.According to the invention to accomplish this task with a device having the features of the claim 1 and a method according to claim, solved.

Dabei soll für die Bearbeitung von Bauteilen oder Werkstücken die Strahlung von Faser- oder Scheibenlasern auf einen Bearbeitungsbereich gerichtet werden. Dies kann mit aus einer Faser- oder Scheibenlaserlichtquelle emittierter beliebig bzw. unpolarisierter Strahlung erfolgen.there intended for the machining of components or workpieces the radiation of fiber or disk lasers on a processing area be directed. This can be done with a fiber or disk laser light source emitted arbitrary or unpolarized radiation.

Bei der Erfindung ist im Strahlengang der auf einen Bearbeitungsbereich gerichteten Laserstrahlung ein optisches Element angeordnet, das für vom Scheiben- oder Faserlaser emittierte Strahlungsrichtung in einer Richtung transparent und für vom Bauteil zurück reflektierte Strahlung reflektierend ist.at The invention is in the beam path on a processing area directed laser radiation disposed an optical element, the for radiation emitted by the disk or fiber laser transparent in one direction and back for the component reflected radiation is reflective.

Die durch den Strahlteiler transmittierte Strahlung trifft auf einen Polarisationsdreher und wird so mit ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgegebenen Winkelbetrag gedreht. Diese Strahlung wird auf den jeweiligen Bearbeitungsbereich eines Bauteils gerich tet. Sie kann vorab mittels eines geeigneten optischen Elements fokussiert werden.The Radiation transmitted through the beam splitter strikes one Polarization rotors and so becomes with their polarization direction rotated by a predetermined angle. This radiation is on the respective processing area of a component court tet. she can be focused in advance by means of a suitable optical element become.

Vom Bearbeitungsbereich eines Bauteils zurück reflektierte Strahlung wird ebenfalls mit dem Polarisationsdreher beeinflusst und weist dann eine Polarisationsrichtung auf, so dass sie vom Strahlteiler aus dem Strahlengang bzw. der optischen Achse ausgelenkt und auf ein reflektierendes Element gerichtet wird.from Machining area of a component reflected back Radiation is also influenced by the polarization rotator and then has a direction of polarization so as to emanate from the beam splitter the beam path or the optical axis and deflected to a is directed reflective element.

Mit dem reflektierenden Element ist es möglich, die zurück reflektierte Strahlung einer weiteren Nutzung zuzuführen.With The reflective element makes it possible to see the back to supply reflected radiation to another use.

Günstig ist es, das reflektierende Element so anzuordnen und auszurichten, dass diese Strahlung den gleichen Weg wieder zurücklegt, also vom reflektierenden Element über den Strahlteiler durch den Polarisationsdreher wieder auf den Bearbeitungsbereich, gemeinsam mit einem „Hauptstrahl" auftrifft.Cheap is to arrange and align the reflective element so that this radiation travels the same way again, So from the reflective element on the beam splitter through the polarization rotator back to the editing area, together with a "main beam" impinges.

Es kann bei der Erfindung ein Polarisationsdreher eingesetzt werden, mit dem die Polarisationsrichtung um 45° gedreht wird. Er soll im Strahlengang der transmittierten Strahlung angeordnet sein.It can be used in the invention, a polarization rotator, with which the polarization direction is rotated by 45 °. It should be arranged in the beam path of the transmitted radiation be.

Geeignete Polarisationsdreher sind beispielsweise Faraday-Rotatoren oder λ/4-Platten.suitable Polarization rotors are, for example, Faraday rotators or λ / 4 plates.

Wie bereits angedeutet kann in unterschiedlicher Form polarisierte Strahlung eingesetzt werden. Für zirkular polarisierte Strahlung kann diese mit einem Pola risationsdreher (λ/4-Platte) linear polarisiert, dann durch einen Strahlteiler und einen weiteren Polarisationsdreher wieder als zirkular polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich eines Bauteils gerichtet werden.As already indicated polarized radiation can be used in different forms. For circularly polarized radiation, these can be linearly polarized with a polarization rotator (λ / 4 plate), then again by a beam splitter and another polarization rotator as circularly polarized radiation onto the processing area of a building be partly addressed.

Die von dort zurück reflektierte Strahlung wird mit dem selben Polarisationsdreher wieder linear polarisiert, bevor sie den Strahlteiler erreicht. Sie ist dann so polarisiert, dass dieser die zurück reflektierte Strahlung in Transmissionsrichtung sperrt, aus dem Strahlengang auskoppelt und in Richtung auf das reflektierende Element reflektiert.The Radiation reflected back from there will be with the same Polarization rotors are again linearly polarized before passing the beam splitter reached. It's so polarized that it's the one back reflected radiation in the transmission direction blocks, from the Beam path uncouples and toward the reflective element reflected.

Der Strahlungsanteil, der vom Werkstück zum zweiten Mal reflektiert wird, ist um 90° in der Polarisationsrichtung gedreht, so dass er durch den Strahlteiler nicht mehr aus dem Strahlengang ausgeblendet werden kann. Dieser durch die zweifache Absorption deutlich geschwächte Anteil wird in den Laser zurückreflektiert.Of the Radiation component that reflects from the workpiece for the second time is rotated by 90 ° in the polarization direction, so that he no longer out of the beam path through the beam splitter can be hidden. This by the double absorption significantly weakened portion is reflected back into the laser.

Die Erfindung kann dadurch erweitert werden, dass ein zweiter Strahlteiler eingesetzt wird. Dieser kann im Strahlengang, ausgehend von der Laserlichtquelle vor dem ersten Strahlteiler angeordnet sein. Mit ihm ist es möglich, den erwähnten Anteil vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierter Strahlung aus dem Strahlengang auszulenken. Allerdings ist zwischen beide Strahlteiler noch ein die Polarisationsrichtung um 45° drehendes Element, z. B. ein Faraday-Rotator, anzuordnen. Dieser Teil der reflektierten Strahlung kann auf ein absorbierendes Element gerichtet werden. Es besteht aber auch die Möglichkeit diesen Teil der reflektierten Strahlung allein oder zusätzlich auf einen optischen Detektor zu richten.The The invention can be extended by a second beam splitter is used. This can be done in the beam path, starting from the Laser light source may be arranged in front of the first beam splitter. With it is possible for him, the mentioned portion of the processing area deflect back reflected radiation from the beam path. However, between the two beam splitters is still a polarization direction by 45 ° rotating element, z. B. a Faraday rotator, to order. This part of the reflected radiation can be absorbed on an absorbent Element to be addressed. But there is also the possibility this part of the reflected radiation alone or in addition directed to an optical detector.

Mit einem optischen Detektor kann die Intensität dieses Strahlungsanteils bestimmt und für eine Steuerung oder Regelung der Bearbeitung genutzt werden. Hierzu kann er an eine elektronische Steuerung angeschlossen sein. So lässt sich beispielsweise die Leistung der Laserlichtquelle anpassen.With an optical detector, the intensity of this radiation component intended and for a control or regulation of the processing be used. For this he can be connected to an electronic control be. For example, this allows the power of the laser light source to adjust.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.following the invention is explained in more detail by way of example become.

Dabei zeigen:there demonstrate:

1 in schematischer Darstellung ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 1 a schematic representation of a first example of a device according to the invention;

2 ein Beispiel für zirkular polarisierte Strahlung; 2 an example of circularly polarized radiation;

3 ein weiteres Beispiel für eine Bearbeitung mit zirkular polarisierter Strahlung und 3 Another example of a treatment with circularly polarized radiation and

4 ein Beispiel mit zwei Strahlteilern. 4 an example with two beam splitters.

In 1 ist ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung gezeigt, bei der von einer nicht dargestellten Laserlichtquelle, also einem Faser- oder Scheibenlaser emittierte Strahlung durch einen Strahlteiler 1 gerichtet und die Polarisationsrichtung um 45° mit dem Polarisationsdreher 2 gedreht wird. In dieser Form trifft sie fokussiert durch das optische Element 3 auf den Bearbeitungsbereich eines Bauteils 7 auf.In 1 An example of a device according to the invention is shown in which radiation emitted by a laser light source (not shown), that is to say a fiber or disk laser, is emitted through a beam splitter 1 directed and the polarization direction by 45 ° with the polarization rotator 2 is turned. In this form, it is focused through the optical element 3 on the processing area of a component 7 on.

Von der Oberfläche des Bearbeitungsbereichs zurück reflektierte Strahlung legt den Weg bis zum Strahlteiler 1 wieder zurück, wobei die Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher 2 wiederum um 45° gedreht wird. Dadurch kann sie den Strahlteiler 1 nicht mehr passieren und wird stattdessen vom Strahlteiler 1 hier um 90° reflektiert und trifft so auf das reflektierende Element 4 auf. Dieses ist hier mit seiner ebenen Fläche orthogonal zum Einfallswinkel der reflektierten Strahlung ausgerichtet und wird dadurch wieder zurück zum Strahlteiler 1 und von diesem zurück auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils 7 reflektiert und kann dadurch für eine Bearbeitung wieder genutzt werden, was zu einem zusätzlich wieder nutzbarem Anteil von bis zu ca. 95% führt, der bei herkömmlichen Lösungen eigentlich verloren ist.Radiation reflected back from the surface of the processing area makes its way to the beam splitter 1 back again, with the polarization direction with the polarization rotator 2 again rotated 45 °. This allows them the beam splitter 1 no longer happen and instead is from the beam splitter 1 here reflected by 90 ° and thus meets the reflective element 4 on. This is aligned here with its flat surface orthogonal to the angle of incidence of the reflected radiation and is thereby back to the beam splitter again 1 and from this back to the machining area of the component 7 can be reused for processing, resulting in an additional reusable share of up to about 95%, which is actually lost in conventional solutions.

Bei diesem Beispiel ist der Polarisationsdreher 2 ein Farraday-Rotator.In this example, the polarization rotator is 2 a Farraday rotator.

Mit dem Beispiel gemäß 2 soll verdeutlicht werden, dass auch zirkulare polarisierte Strahlung von einer Laserlichtquelle eingesetzt werden kann. Dabei ist vor dem Strahlteiler 1 ein weiterer Polarisationsdreher 2', hier eine λ/4-Platte angeordnet. Die dadurch linear polarisierte Strahlung ist mit ihrer Polarisationsrichtung so ausgerichtet, dass der Strahlteiler 1 für sie durchlässig ist.With the example according to 2 should be clarified that circular polarized radiation from a laser light source can be used. It is in front of the beam splitter 1 another polarization rotator 2 ' , arranged here a λ / 4-plate. The resulting linearly polarized radiation is aligned with its polarization direction so that the beam splitter 1 is permeable to them.

Im Anschluss an den Strahlteiler 1 ist ein weiterer Polarisationsdreher 2 angeordnet, mit dem die Polarisationsrichtung wieder um 45° gedreht wird. Für vom Bearbeitungsbereich des Bauteils 7 zurück reflektierte Strahlung erfüllen der Polarisationsdreher 2 und der Strahlteiler 1 wieder die Funktionen, wie beim Beispiel nach 1 bereits erläutert und sind daher entsprechend angeordnet und ausgebildet.Following the beam splitter 1 is another polarization rotator 2 arranged, with which the polarization direction is again rotated by 45 °. For from the machining area of the component 7 back reflected radiation meet the polarization rotator 2 and the beam splitter 1 again the functions, as in the example after 1 already explained and are therefore arranged and designed accordingly.

Bei dem in 3 gezeigten Beispiel kann von einer Laserlichtquelle emittierte und zirkular polarisierte Strahlung als wieder zirkular polarisierte Strahlung für die Bearbeitung auf ein Bauteil 7 gerichtet werden. Hierzu sind beidseitig zum Strahlteiler 1 Polarisationsdreher 2', hier als λ/4-Platten ausgebildet, angeordnet.At the in 3 shown example can be emitted by a laser light source and circularly polarized radiation as a circularly polarized radiation for processing on a component 7 be directed. These are on both sides of the beam splitter 1 The rotator 2 ' , here formed as λ / 4 plates arranged.

Mit der hier oben dargestellten λ/4-Platte 2' wird die zirkular polarisierte Strahlung linear polarisiert, so dass die Strahlung eine Polarisationsrichtung aufweist für die der Strahlteiler 1 transparent ist. Mit dem unterhalb des Strahlteilers 1 angeordnete λ/4-Platte 2' wird die transmittierte Strahlung wieder zirkular polarisiert und so auf den Bearbeitungsbereich gerichtet.With the λ / 4 plate shown here above 2 ' the circularly polarized radiation is linearly polarized, so that the radiation has a polarization direction for the beam splitter 1 is transparent. With the below the beam splitter 1 arranged λ / 4 plate 2 ' becomes the transmitted radiation again circularly polarized and thus directed to the processing area.

Von dort zurück reflektierte Strahlung wird mit der hier unten angeordneten λ/4-Platte 2' wieder linear polarisiert und zwar so, dass sie vom Strahlteiler 1 in Richtung auf das reflektierende Element 4 reflektiert werden kann.Radiation reflected back therefrom becomes with the λ / 4 plate arranged below 2 ' again linearly polarized in such a way that they are from the beam splitter 1 towards the reflective element 4 can be reflected.

Es besteht dabei auch die Möglichkeit diese Strahlung auf dem gleichen Weg zurück wieder auf den Bearbeitungsbereich zu richten.It There is also the possibility of this radiation the same way back to the editing area to judge.

Ist das reflektierende Element 4 in hier nicht dargestellter Form so ausgerichtet und ggf. auch als Fokussierspiegel ausgebildet, kann die zurück reflektierte Strahlung von der Seite als zweiter zusätzlicher Strahl auf den Bearbeitungsbereich gerichtet werden. In diesem Fall kann das reflektierende Element 4 auch um mindestens eine Achse verschwenkbar sein, so dass es einen Scanner-Spiegel darstellen kann.Is the reflective element 4 aligned in a form not shown here and possibly also formed as a focusing mirror, the reflected back radiation from the side can be directed as a second additional beam on the processing area. In this case, the reflective element 4 also be pivotable about at least one axis, so that it can represent a scanner mirror.

Das in 4 gezeigte Beispiel ist mit zwei Strahlteilern 1 und 1' ausgebildet. Die zum zweiten Mal vom Werkstück reflektierte Strahlung ist gegenüber der zum ersten Mal reflektierten Strahlung um 90° gedreht, so dass sie den Strahlteiler 1 passieren kann. Aus diesem Grund ist ein zweiter Strahlteiler (2) angeordnet, der diese Strahlung aus dem Strahlengang reflektiert. Allerdings ist es erforderlich, zwischen beide Strahlteiler einen Phasendreher (45°) anzuordnen und den Strahlteiler 1 ebenfalls um 45° zu drehen.This in 4 example shown is with two beam splitters 1 and 1' educated. The radiation reflected for the second time by the workpiece is rotated 90 ° relative to the radiation reflected for the first time so that it is the beam splitter 1 can happen. For this reason, a second beam splitter ( 2 ), which reflects this radiation from the beam path. However, it is necessary to arrange a phase rotator (45 °) between both beam splitters and the beam splitter 1 also to turn 45 °.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - JP 60158993 A [0004] - JP 60158993 A [0004]
  • - JP 61232077 A [0004] - JP 61232077A [0004]

Claims (14)

Vorrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen, bei der von einer Faser- oder Scheibenlaserlichtquelle emittierte Strahlung auf einen Strahlteiler (1) gerichtet ist, der für auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils (7) gerichtete Strahlung transparent und für vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung reflektierend ist, die durch den Strahlteiler (1) transmittierte Strahlung durch einen Polarisationsdreher (2) in ihrer Polarisationsrichtung um einen vorgebbaren Winkelbetrag drehbar und so auf den Bearbeitungsbereich des Bauteils (7) gerichtet ist; und die vom Bearbeitungsbereich reflektierte Strahlung in ihrer Polarisationsrichtung mit dem Polarisationsdreher (2) so gedreht ist, dass sie mittels des Strahlteilers (1) aus dem Strahlengang ausgekoppelt wird und auf mindestens ein reflektierendes optisches Element (4) auftrifft.Device for processing components, in which radiation emitted by a fiber or disk laser light source is irradiated onto a beam splitter ( 1 ) directed to a working area of a component ( 7 ) radiation is transparent and reflective for reflected back from the processing area radiation is through the beam splitter ( 1 ) transmitted radiation through a polarization rotator ( 2 ) in its polarization direction rotatable by a predeterminable angular amount and so on the processing area of the component ( 7 ) is directed; and the radiation reflected from the processing area in its polarization direction with the polarization rotator ( 2 ) is rotated so that it by means of the beam splitter ( 1 ) is coupled out of the beam path and at least one reflective optical element ( 4 ). Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das reflektierende optische Element (4) so angeordnet und ausgerichtet ist, dass die Strahlung vom Strahlteiler (1) auf den Bearbeitungsbereich zurück reflektiert wird.Device according to Claim 1, characterized in that the reflective optical element ( 4 ) is arranged and aligned so that the radiation from the beam splitter ( 1 ) is reflected back to the processing area. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Polarisationsdreher (2), der die Polarisationsrichtung um 45° dreht, im Strahlengang der transmittierten Strahlung angeordnet ist.Device according to claim 1 or 2, characterized in that a polarization rotator ( 2 ), which rotates the polarization direction by 45 °, is arranged in the beam path of the transmitted radiation. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem Polarisationsdreher (2') oder einer λ/4-Phasenverschiebung zirkular polarisierte Strahlung der Laserlichtquelle linear polarisiert durch den Strahlteiler (1) geführt und mit einem zweiten Polarisationsdreher (2) die Polarisationsrichtung der Strahlung um 45° gedreht und auf den Bearbeitungsbereich gerichtet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that with a polarization rotator ( 2 ' ) or a λ / 4 phase shift circularly polarized radiation of the laser light source linearly polarized by the beam splitter ( 1 ) and with a second polarization rotator ( 2 ) The polarization direction of the radiation is rotated by 45 ° and directed to the processing area. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der/die Polarisationsdreher (2, 2') ein oder mehrere Faraday-Rotator(en) ist/sind.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the polarization rotator (s) ( 2 . 2 ' ) one or more Faraday rotator (s) is / are. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Strahlteiler (1') im Strahlengang der von der Laserlichtquelle emittierten Strahlung angeordnet ist, mit dem die zum zweiten Mal vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung aus dem Strahlengang herausreflektiert und auf ein absorbierendes Element (8) und/oder einen optischen Detektor gerichtet wird.Device according to one of the preceding claims, characterized in that a second beam splitter ( 1' ) is arranged in the beam path of the radiation emitted by the laser light source with which the radiation reflected back for the second time from the processing area reflects out of the beam path and onto an absorbing element ( 8th ) and / or an optical detector is directed. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Detektor an eine Steuerung der Laserlichtquelle angeschlossen ist.Device according to claim 6, characterized in that that the optical detector to a control of the laser light source connected. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den beiden Strahlteilern (1, 1') ein weiterer Polarisationsdreher (3) angeordnet ist.Apparatus according to claim 8 or 9, characterized in that between the two beam splitters ( 1 . 1' ) another polarization rotator ( 3 ) is arranged. Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem Strahlung eines Faser- oder Scheiben lasers auf einen Strahlteiler (1) gerichtet wird, durch den Strahlteiler (1) transmittiert und die transmittierte Strahlung mit einem Polarisationsdreher (2) gedreht und auf einen Bearbeitungsbereich eines Bauteils (7) gerichtet wird; außerdem vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung mit dem Polarisationsdreher (2) in ihrer Polarisationsrichtung so gedreht wird, dass sie vom Strahlteiler (1) aus dem Strahlengang der transmittierten Strahlung ausgekoppelt und auf ein reflektierendes Element (4) reflektiert wird.Method for processing components with a device according to one of claims 1 to 8, wherein the radiation of a fiber or sliced laser on a beam splitter ( 1 ) is directed through the beam splitter ( 1 ) and transmits the transmitted radiation with a polarization rotator ( 2 ) and on a processing area of a component ( 7 ); In addition, reflected radiation from the processing area back with the polarization rotator ( 2 ) is rotated in its polarization direction so that it is separated from the beam splitter ( 1 ) is coupled out of the beam path of the transmitted radiation and onto a reflective element ( 4 ) is reflected. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass vom Bearbeitungsbereich rückreflektierte Strahlung vom Strahlteiler (1) auf ein die Strahlung reflektierendes Element (4) gerichtet wird, dass vom reflektierenden Element (4) die Strahlung auf den Strahlteiler (1) und von dort wieder auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.Method according to claim 9, characterized in that radiation reflected back from the processing area from the beam splitter ( 1 ) to a radiation reflecting element ( 4 ), that of the reflective element ( 4 ) the radiation on the beam splitter ( 1 ) and from there back to the editing area. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlung mittels eines Polarisationsdrehers (2') als zirkular polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.A method according to claim 9 or 10, characterized in that the radiation by means of a polarization rotator ( 2 ' ) is directed as circularly polarized radiation on the processing area. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass emittierte zirkular polarisierte Strahlung mit einem Polarisationsdreher (2') linear polarisiert und durch einen Strahlteiler (1) und einen weiteren Polarisationsdreher (2') als zirkular polarisierte Strahlung auf den Bearbeitungsbereich gerichtet wird.Method according to one of claims 9 to 11, characterized in that emitted circularly polarized radiation with a polarization rotator ( 2 ' ) linearly polarized and by a beam splitter ( 1 ) and another polarization rotator ( 2 ' ) is directed as circularly polarized radiation on the processing area. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Strahlteiler (1') im Strahlengang der von der Laserlichtquelle emittierten Strahlung angeordnet ist, mit dem die zum zweiten Mal vom Bearbeitungsbereich zurück reflektierte Strahlung aus dem Strahlengang herausreflektiert und auf ein absorbierendes Element (8) und/oder einen optischen Detektor gerichtet wird.Method according to one of claims 9 to 12, characterized in that a second beam splitter ( 1' ) is arranged in the beam path of the radiation emitted by the laser light source with which the radiation reflected back for the second time from the processing area reflects out of the beam path and onto an absorbing element ( 8th ) and / or an optical detector is directed. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines optischen Detektors anstelle eines Absorbers die Laserlichtquelle gesteuert und/oder der Bearbeitungsprozess (Schweißen, Schneiden, Bohren, etc.) geregelt wird.Method according to claim 13, characterized in that that by means of an optical detector instead of an absorber the laser light source is controlled and / or the machining process (Welding, cutting, drilling, etc.) is regulated.
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