DE102006060408A1 - Method for manufacturing of corrosion resistant metal surfaces, involves providing metal layers and metal of one of metal layer has high resistance against chemical action or corrosion than metal of another layer - Google Patents

Method for manufacturing of corrosion resistant metal surfaces, involves providing metal layers and metal of one of metal layer has high resistance against chemical action or corrosion than metal of another layer Download PDF

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Abstract

The method involves providing metal layers (3,4). The metal of metal layer (3) has high resistance against the chemical action or corrosion than the metal of another layer (4) , and coming from an initial state, by increasing temperature, atoms of the former metal layer (3) are brought into latter metal layer (4) so that the free upper side has a high resistance against the chemical action or corrosion than in the initial state.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine korrosionsbeständige Metalloberfläche, insbesondere für einen Reflektor an einem Gehäuse eines optoelektronischen Bauelementes.The The present invention relates to a corrosion-resistant metal surface, in particular for one Reflector on a housing an optoelectronic component.

Optoelektronische Bauelemente werden in eigens dafür konzipierten Gehäusen montiert, die zum Beispiel bei Leuchtdioden mit Reflektorflächen versehen sind. Durch den Reflektor soll eine hohe Effizienz bei der Auskopplung der erzeugten Strahlung erreicht werden. Zu diesem Zweck soll die Reflektorfläche nicht nur einen hohen Reflexionsgrad, also ein möglichst gutes Reflexionsvermögen, aufweisen, sondern auch eine lange Lebensdauer, während deren sich der Reflexionsgrad nicht oder allenfalls geringfügig verschlechtert. Eine langlebige und korrosionsbeständige Reflektorfläche soll außerdem auf kostengünstige und einfache Weise hergestellt werden können.Optoelectronic Components are in specially for this designed housings mounted, for example, provided with light emitting diodes with reflector surfaces are. Due to the reflector is a high efficiency in the decoupling the generated radiation can be achieved. For this purpose, the reflector surface not only have a high reflectance, so the best possible reflectivity, but also a long life while the reflectance of which does not worsen or at most slightly deteriorates. A durable and corrosion-resistant reflector surface should Furthermore on low cost and easy way can be made.

Für optoelektronische Bauelemente werden insbesondere Gehäusebauformen aus keramischen Materialien verwendet. Hierbei sind die Reflektoren auf keramischen Trägern angeordnet, wobei vorzugsweise metallische Beschichtungen der Träger als Reflektoren verwendet werden.For optoelectronic Components are in particular housing designs made of ceramic materials used. Here, the reflectors are arranged on ceramic supports, wherein preferably metallic coatings of the carrier as Reflectors are used.

Für die Metallschicht eines Reflektors werden bestimmte Metalle wegen ihrer guten Reflexionseigenschaften bevorzugt. Dazu gehören beispielsweise Silber, Zinn, Nickel und Aluminium. Bei diesen Metallen tritt jedoch das Problem auf, dass die daraus gebildeten Metallschichten an der Atmosphäre und/oder bei kurzwelliger Bestrahlung korrodieren. Das kann dadurch verhindert werden, dass die reflektierenden Metallflächen durch geeignete dünne Beschichtungen vor den Wechselwirkungen mit der Atmosphäre geschützt werden. Silber kann beispielsweise durch Bedampfen mit Rhodium oder durch organische Beschichtungen geschützt werden. Aluminium kann durch eine Siliziumnitridschicht passiviert werden. Derartige Beschichtungen verändern jedoch die Reflexionseigenschaften der Reflektorfläche.For the metal layer of a reflector become certain metals because of their good reflection properties prefers. This includes for example, silver, tin, nickel and aluminum. For these metals However, the problem arises that the metal layers formed therefrom in the atmosphere and / or corrode during short-wave irradiation. This can be prevented be that the reflective metal surfaces by appropriate thin coatings protected from the interactions with the atmosphere. Silver can, for example by vapor deposition with rhodium or by organic coatings protected become. Aluminum can be passivated by a silicon nitride layer. Change such coatings however, the reflection properties of the reflector surface.

In der elektrochemischen Spannungsreihe werden die chemischen Elemente nach der Größe ihres in Volt gemessenen Normalpotenzials E0 angeordnet, das ein Maß für die Resistenz einer von dem Element gebildeten Oberfläche gegen chemische Einwirkung, insbesondere gegen Korrosion, ist. Für Metalle ist das Normalpotenzial die charakteristische Spannung in Volt, die als das elektrische Potenzial einer Metallelektrode, die in eine Lösung ihres Metallsalzes mit einer Ionenaktivität von 1 mol/L eintaucht, gegenüber einer Normalwasserstoffelektrode mit der Wasserstoffionenaktivität 1 mol/L und einem Gasdruck von 100 kPa bei 25°C gemessen wird. Hohe Werte des Normalpotenzials stehen für edle, das heißt, weitgehend korrosionsbeständige Oberflächen, während sich niedrige Werte des Normalpotenzials für unedle Oberflächen ergeben.In the electrochemical series of voltages, the chemical elements are arranged according to the magnitude of their normal potential E 0 measured in volts, which is a measure of the resistance of a surface formed by the element to chemical attack, in particular to corrosion. For metals, the normal potential is the characteristic voltage in volts, which is the electric potential of a metal electrode immersed in a solution of its metal salt having an ionic activity of 1 mol / L, compared to a normal hydrogen electrode having a hydrogen ion activity of 1 mol / L and a gas pressure of 100 kPa at 25 ° C is measured. High values of the normal potential stand for noble, that is, largely corrosion-resistant surfaces, while low values of the normal potential result for non-precious surfaces.

Folgende Werte des Normalpotenzials für Redox-Paare von Metallen in wässriger Lösung mit pH-Wert 0 sind Beispiele aus A. F. Holleman, E. Wiberg, Lehrbuch der Anorganischen Chemie, 101. Auflage, Walter de Gruyter, Berlin und New York 1995 :
Gold: Au/Au3 +, E0 = +1,498 V; Silber: Ag/Ag2 +, E0 = +1,390 V; Platin: Pt/Pt2 +, E0 = +1,188 V; Zinn: Sn/Sn2 +, E0 = –0,137 V; Nickel: Ni/Ni2 +, E0 = –0,257V; Aluminium: Al/Al3 +, E0 = –1,676 V.The following values of the normal potential for redox pairs of metals in aqueous solution with pH 0 are examples AF Holleman, E. Wiberg, Textbook of Inorganic Chemistry, 101st Edition, Walter de Gruyter, Berlin and New York 1995 :
Gold: Au / Au 3 + , E 0 = +1.498 V; Silver: Ag / Ag 2 + , E 0 = +1.390 V; Platinum: Pt / Pt 2 + , E 0 = +1.188 V; Tin: Sn / Sn 2 + , E 0 = -0.137 V; Nickel: Ni / Ni 2 + , E 0 = -0.257V; Aluminum: Al / Al 3 + , E 0 = -1.676 V.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Möglichkeit zur Bereitstellung korrosionsbeständiger Metalloberflächen für Reflektoren anzugeben.task The present invention is an opportunity to provide corrosion-resistant metal surfaces for reflectors specify.

Diese Aufgabe wird mit dem Verfahren zur Herstellung korrosionsbeständiger Metalloberflächen mit den Merkmalen des Anspruches 1 beziehungsweise mit dem Reflektor mit metallischer Oberfläche mit den Merkmalen des Anspruches 9 gelöst. Ausgestaltungen ergeben sich aus den jeweiligen abhängigen Ansprüchen.These Task is with the method for producing corrosion-resistant metal surfaces with the features of claim 1 and with the reflector with metallic surface with the features of claim 9 solved. Embodiments result themselves from the respective dependent ones Claims.

Erfindungsgemäß wird eine Metalloberfläche dadurch korrosionsbeständig gemacht, dass in das Metall Atome eines edleren Metalles eingebracht werden. Das kann durch Einlegieren oder Eindiffundieren geschehen. Auf diese Weise kann das elektrochemische Potenzial der Metalloberfläche erhöht werden. Dadurch wird die Metalloberfläche unempfindlicher gegen chemische Einwirkungen, insbesondere gegen Korrosion, und die Alterungsbeständigkeit der Metalloberfläche und insbesondere eines damit gebildeten Reflektors wird verbessert. Das Einlegieren oder Eindiffundieren des edleren Metalls in das Grundmetall der zu modifizierenden Metallschicht, insbesondere eines metallischen Reflektors, kann von der Rückseite aus erfolgen. Auf diese Weise werden die Reflexionseigenschaften, insbesondere der Reflexionsgrad, der als Reflektorfläche vorgesehenen freien Oberfläche der Metallschicht nicht oder allenfalls unwesentlich verändert. Auf eine zusätzliche Beschichtung der Reflektorfläche kann verzichtet werden.According to the invention is a Metal surface by corrosion-resistant made that in the metal atoms of a nobler metal are introduced. This can be done by alloying or by diffusing. To this In this way, the electrochemical potential of the metal surface can be increased. This will make the metal surface less sensitive to chemical agents, especially against Corrosion, and aging resistance the metal surface and in particular a reflector formed thereby is improved. The alloying or indiffusion of the nobler metal in the Base metal of the metal layer to be modified, in particular one metallic reflector, can be done from the back. To this Way the reflection properties, in particular the reflectance, the as a reflector surface provided free surface the metal layer not changed or at most negligible. On an additional Coating the reflector surface can be dispensed with.

Es folgt eine genauere Beschreibung von Beispielen des Verfahrens und des Reflektors anhand der beigefügten Figuren.It follows a more detailed description of examples of the method and of the reflector based on the attached Characters.

Die 1 zeigt eine für das Verfahren geeignete Anordnung von Metallschichten im Querschnitt sowie ein Diagramm für die zugehörigen Normalpotenziale.The 1 shows a suitable arrangement for the method of metal layers in cross section and a diagram for the associated normal potentials.

Die 2 zeigt einen Querschnitt durch einen typischen Aufbau eines LED-Gehäuses, das mit einem erfindungsgemäßen Reflektor versehen ist.The 2 shows a cross section through a typical structure of an LED housing, with is provided a reflector according to the invention.

Die 1 zeigt einen Querschnitt durch eine bevorzugte Anordnung einer Metallschicht, die mit dem Verfahren korrosionsbeständig gemacht wird. Das Verfahren wird im Folgenden am Beispiel eines Reflektors erläutert; es lassen sich damit aber auch andere Metalloberflächen korrosionsbeständig machen. Eine erste Metallschicht 3 wird vorzugsweise auf einem dafür vorgesehenen Träger 1, zum Beispiel aus einem keramischen Material, angeordnet. Auf die erste Metallschicht 3 wird eine zweite Metallschicht 4 aus dem für den Reflektor vorgesehenen Grundmetall aufgebracht. Zur Verbesserung der Haftung der ersten Metallschicht 3 auf dem Material des Trägers 1 kann zusätzlich ein Haftvermittler 2 zwischen den Materialien vorgesehen sein. Die Metallschichten können zum Beispiel durch galvanische Abscheidung (electroplating) aufgebracht werden.The 1 shows a cross section through a preferred arrangement of a metal layer, which is made corrosion resistant with the method. The method is explained below using the example of a reflector; It can also be used to make other metal surfaces corrosion resistant. A first metal layer 3 is preferably on a designated carrier 1 , for example, made of a ceramic material. On the first metal layer 3 becomes a second metal layer 4 applied from the provided for the reflector base metal. To improve the adhesion of the first metal layer 3 on the material of the carrier 1 Can additionally a bonding agent 2 be provided between the materials. The metal layers can be applied, for example, by electroplating.

Die erste Metallschicht 3 ist ein im Vergleich zu dem Metall der zweiten Metallschicht 4 edleres Metall. Die freie Oberfläche der zweiten Metallschicht 4 bildet die Reflektorfläche 5. Diese Reflektorfläche 5 soll im Wesentlichen die guten Reflexionseigenschaften des Grundmetalles der zweiten Metallschicht 4 beibehalten, aber korrosionsbeständiger gemacht werden. Das kann prinzipiell dadurch geschehen, dass das Normalpotenzial des Metalls der ersten Metallschicht 3 höher gewählt wird als das Normalpotenzial des Grundmetalls der zweiten Metallschicht 4. An die Reflexionseigenschaften des Metalles der ersten Metallschicht 3 werden keine oder nur geringe Ansprüche gestellt; das Metall der ersten Metallschicht 3 wird nur im Hinblick auf die Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit des Metalls der zweiten Metallschicht 4 gewählt.The first metal layer 3 is one compared to the metal of the second metal layer 4 nobler metal. The free surface of the second metal layer 4 forms the reflector surface 5 , This reflector surface 5 should essentially the good reflection properties of the base metal of the second metal layer 4 maintained, but made more resistant to corrosion. This can be done in principle by the fact that the normal potential of the metal of the first metal layer 3 is selected higher than the normal potential of the base metal of the second metal layer 4 , To the reflection properties of the metal of the first metal layer 3 no or only minor claims are made; the metal of the first metal layer 3 is only with regard to improving the corrosion resistance of the metal of the second metal layer 4 selected.

Mit einem Prozess, der bei erhöhter Temperatur und unter definierter Atmosphäre (vorzugsweise chemisch inerte oder reduzierende Atmosphäre, um eine chemische Veränderung der freien Oberseite der zweiten Metallschicht 4 zu vermeiden) vonstatten geht, wird eine Diffusion von Atomen des edleren Metalles der ersten Metallschicht 3 in die zweite Metallschicht 4 bewirkt. Dadurch wird das Normalpotenzial der zweiten Metallschicht 4 erhöht, wie dem in der 1 auf der rechten Seite eingezeichneten Diagramm zu entnehmen ist. In diesem Diagramm ist auf der Abszisse das Normalpotenzial E0 in Volt aufgetragen. Die Einteilung der Ordinate entspricht der Abmessung der Schichten in dem Querschnitt auf der linken Seite der 1. Die gestrichelte Kurve 6 gibt das Normalpotenzial der Schichten im Ausgangszustand an. Die durchgehend gezeichnete Kurve 7 gibt das Normalpotenzial nach der Diffusion an.With a process that at elevated temperature and under a defined atmosphere (preferably chemically inert or reducing atmosphere) to a chemical change of the free top of the second metal layer 4 to avoid) becomes a diffusion of atoms of the nobler metal of the first metal layer 3 in the second metal layer 4 causes. This becomes the normal potential of the second metal layer 4 increased, as in the 1 on the right-hand side diagram can be seen. In this diagram, the abscissa represents the normal potential E 0 in volts. The division of the ordinate corresponds to the dimension of the layers in the cross section on the left side of FIG 1 , The dashed curve 6 indicates the normal potential of the layers in the initial state. The continuous drawn curve 7 indicates the normal potential after diffusion.

Zunächst befindet sich das Normalpotenzial der edleren ersten Metallschicht 3 auf einem höheren Wert, z. B. E0(3) = +1,498 V für Gold, und das Normalpotenzial der unedleren zweiten Metallschicht 4 auf einem niedrigeren Wert, z. B. E0(4) = +1,390 V für Silber. Nach dem Temperschritt und der daraus resultierenden Diffusion der Metallatome zwischen den Schichten, so dass in der zweiten Metallschicht 4 Fremdatome der ersten Metallschicht 3 eingelagert (einlegiert) werden, ergibt sich der schematisch in dem Diagramm eingezeichnete Verlauf der Kurve 7 für das Normalpotenzial. Es ist hier erkennbar, dass das Normalpotenzial der zweiten Metallschicht 4 an der Reflektorfläche 5 gegenüber dem ursprünglichen Wert angehoben worden ist. Dadurch ist diese Reflektorfläche 5 gegenüber dem Ausgangszustand korrosionsbeständiger geworden. Die Reflektorfläche 5 ist somit edler und unempfindlicher gegenüber Alterung. Die Reflexionseigenschaften der Reflektorfläche 5 bleiben durch die Diffusion bei geeigneter Prozessführung ganz oder zumindest weitgehend unbeeinflusst.First, there is the normal potential of the nobler first metal layer 3 at a higher value, e.g. E 0 (3) = + 1.498 V for gold, and the normal potential of the less noble second metal layer 4 at a lower value, e.g. Eg E 0 (4) = +1.390 V for silver. After the annealing step and the resulting diffusion of the metal atoms between the layers, so that in the second metal layer 4 Foreign atoms of the first metal layer 3 stored (alloyed), the result is the curve in the diagram drawn schematically 7 for the normal potential. It can be seen here that the normal potential of the second metal layer 4 at the reflector surface 5 has been raised above its original value. As a result, this reflector surface 5 become more corrosion resistant to the initial state. The reflector surface 5 is thus nobler and less sensitive to aging. The reflection properties of the reflector surface 5 remain completely or at least largely unaffected by the diffusion with suitable process control.

Die Dicken der ersten und zweiten Metallschicht werden je nach den verwendeten Metallen und dem Herstellungsverfahren (z. B. galvanisches Abscheiden) der Metallschichten so gewählt und die Prozessparameter während des Temperschrittes so eingestellt, dass in dem Temperschritt genügend Fremdatome bis zur Reflektorfläche 5 gelangen und somit die Korrosionsbeständigkeit der Reflektorfläche 5 in der vorgesehenen Weise verbessert wird, ohne jedoch die Reflexionseigenschaften zu beeinträchtigen.The thicknesses of the first and second metal layers are selected in accordance with the metals used and the manufacturing method (eg electrodeposition) of the metal layers, and the process parameters during the annealing step are set so that enough foreign atoms are present in the annealing step up to the reflector surface 5 arrive and thus the corrosion resistance of the reflector surface 5 is improved in the intended manner, but without affecting the reflective properties.

Als geeignete Kombinationen der Materialien der ersten Metallschicht 3 und der zweiten Metallschicht 4 kommen, insbesondere für Reflektoren, zum Beispiel in Frage:

  • a) die erste Metallschicht 3 aus Gold und die zweite Metallschicht 4 aus Silber, Zinn, Nickel oder Aluminium;
  • b) die erste Metallschicht 3 aus Palladium und die zweite Metallschicht 4 aus Silber, Zinn, Nickel oder Aluminium;
  • c) die erste Metallschicht 3 aus Platin und die zweite Metallschicht 4 aus Zinn, Nickel oder Aluminium.
As suitable combinations of the materials of the first metal layer 3 and the second metal layer 4 come, in particular for reflectors, for example in question:
  • a) the first metal layer 3 made of gold and the second metal layer 4 of silver, tin, nickel or aluminum;
  • b) the first metal layer 3 from palladium and the second metal layer 4 of silver, tin, nickel or aluminum;
  • c) the first metal layer 3 made of platinum and the second metal layer 4 made of tin, nickel or aluminum.

Eine Vielzahl weiterer Kombinationen von Metallen ist je nach den an die Reflexionseigenschaften des unedleren Metalles gestellten Anforderungen geeignet. Weitere geeignete Materialien können aus der elektrochemischen Spannungsreihe gefunden werden, indem das Metall der ersten Metallschicht 3 mit einem höheren Normalpotenzial gewählt wird als das Metall der zweiten Metallschicht 4.A variety of other combinations of metals are suitable depending on the requirements imposed on the reflective properties of the less noble metal. Other suitable materials can be found from the electrochemical series by placing the metal of the first metal layer 3 is selected with a higher normal potential than the metal of the second metal layer 4 ,

Nach dem beschriebenen Prinzip lässt sich ein Reflektor mit metallischer Oberfläche realisieren, bei dem eine Reflektorfläche aus einer Metallschicht gebildet ist, die ein Grundmetall und darin eingelagerte Fremdatome eines weiteren Metalles aufweist. Die Reflektorfläche einer derart modifizierten Metallschicht besitzt eine höhere Resistenz gegen chemische Einwirkung oder Korrosion als eine Metallschicht aus dem Grundmetall allein, also ohne eingelagerte Fremdatome. Bevorzugt wird dieser Reflektor mit einer Schichtfolge aus erster und zweiter Metallschicht ausgebildet, da auf diese Weise das Einlagern der Fremdatome mit dem beschriebenen Verfahren von der Rückseite der Reflektorfläche aus vorgenommen werden kann und sich hierbei keine Verschlechterung des Reflexionsgrads der Reflektorfläche im Vergleich zu dem Reflexionsgrad des reinen Grundmetalls ergibt.According to the described principle, it is possible to realize a reflector with a metallic surface, in which a reflector surface is formed from a metal layer which has a base metal and foreign atoms of a further metal embedded therein. The Reflector surface of such a modified metal layer has a higher resistance to chemical attack or corrosion than a metal layer of the parent metal alone, ie without embedded foreign atoms. Preferably, this reflector is formed with a layer sequence of first and second metal layer, since in this way the incorporation of the foreign atoms can be made with the described method from the back of the reflector surface and this case no deterioration of the reflectance of the reflector surface in comparison to the reflectance of pure base metal results.

Die 2 zeigt als ein Ausführungsbeispiel aus einer Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung einen Querschnitt durch ein Gehäuse für ein optoelektronisches Bauelement, das erfindungsgemäß mit einem alterungsbeständigen Reflektor versehen ist. Der Träger 1 kann zum Beispiel ein keramisches Material sein, aber auch ein Metall. Der Träger 1 ist in diesem Ausführungsbeispiel auf einem weiteren Träger angeordnet, der hier durch eine vorzugsweise aus Keramik bestehende Basisplatte 10 gebildet ist. Die Basisplatte 10 kann in einem größeren Verbund mit einer Vielzahl weiterer derartiger Basisplatten (Nutzen) bereitgestellt werden. Zwischen dem Träger 1 des Reflektors und der Basisplatte 10 kann nach Bedarf eine Isolationsschicht 8 angeordnet sein, insbe sondere, wenn der Träger 1 ein Metall ist. Wenn die Basisplatte 10 und der Träger 1 keramisches Material sind, ist die Isolationsschicht 8 weggelassen oder vorzugsweise ebenfalls keramisches Material.The 2 shows as an embodiment of a variety of applications of the invention, a cross section through a housing for an optoelectronic device, which is provided according to the invention with an age-resistant reflector. The carrier 1 may be, for example, a ceramic material, but also a metal. The carrier 1 is arranged in this embodiment on a further carrier, which here by a preferably made of ceramic base plate 10 is formed. The base plate 10 can be provided in a larger composite with a variety of other such base plates (benefits). Between the carrier 1 of the reflector and the base plate 10 can provide an insulation layer as needed 8th be arranged, in particular special, when the carrier 1 a metal is. If the base plate 10 and the carrier 1 are ceramic material is the insulation layer 8th omitted or preferably also ceramic material.

Auf einer inneren Oberseite der Basisplatte 10 befindet sich eine Montagefläche für das optoelektronische Bauelement 9, zum Beispiel eine Leuchtdiode. Die Abstrahlrichtung weist in dem Querschnitt der 2 nach oben. Das optoelektronische Bauelement 9 ist vorzugsweise mit einem Rückseitenkontakt auf einer ersten Kontaktfläche 11 montiert und auf diese Weise elektrisch kontaktiert. Ein weiterer elektrischer Anschluss des optoelektronischen Bauelementes ist in dem dargestellten Beispiel mittels eines Bonddrahtes 13 mit einer zweiten Kontaktfläche 12 verbunden. Durchkontaktierungen 14 in der Basisplatte 10 verbinden die Kontaktflächen 11, 12 mit jeweiligen Rückseitenkontakten 15, die für einen externen elektrischen Anschluss vorgesehen sind. Die Kontaktflächen 11, 12 und Rückseitenkontakte 15 können durch galvanische Abscheidung hergestellt werden, auch als mehrlagige Metallschicht, zum Beispiel Ni/Au.On an inner top of the base plate 10 there is a mounting surface for the optoelectronic component 9 , for example a light emitting diode. The emission direction has in the cross section of 2 up. The optoelectronic component 9 is preferably with a backside contact on a first contact surface 11 mounted and electrically contacted in this way. Another electrical connection of the optoelectronic component is in the illustrated example by means of a bonding wire 13 with a second contact surface 12 connected. vias 14 in the base plate 10 connect the contact surfaces 11 . 12 with respective backside contacts 15 , which are intended for an external electrical connection. The contact surfaces 11 . 12 and backside contacts 15 can be prepared by electrodeposition, also as a multilayer metal layer, for example Ni / Au.

Die strichpunktierte Linie gibt eine Symmetrieachse des Gehäuses an. Die Innenfläche des Trägers 1 hat in diesem Ausführungsbeispiel die Form des Mantels eines Kegelstumpfes und ist mit der ersten Metallschicht 3 und der zweiten Metallschicht 4 beschichtet. Die Oberseite der zweiten Metallschicht 4 bildet die Reflektorfläche 5. Es können noch weitere Metallschichten vorhanden sein; zum Beispiel kann als Reflektor eine Schichtfolge aus einer unteren Nickelschicht, einer mittleren Goldschicht und einer oberen, die Reflektorfläche 5 bildenden Silberschicht vorhanden sein, wobei Goldatome der mittleren Schicht in die Silberschicht eingelagert oder eindiffundiert sind. Das Gehäuse kann nach oben mit einer Abdeckung 16 versehen sein, in der ein Fenster 17 vorhanden ist, das zum Beispiel mit einer transparenten Platte oder einer Optik versehen sein kann.The dot-dash line indicates an axis of symmetry of the housing. The inner surface of the carrier 1 has in this embodiment the shape of the shell of a truncated cone and is connected to the first metal layer 3 and the second metal layer 4 coated. The top of the second metal layer 4 forms the reflector surface 5 , There may be more metal layers; For example, as a reflector, a layer sequence of a lower nickel layer, a middle gold layer and an upper, the reflector surface 5 be present forming silver layer, wherein gold atoms of the middle layer are embedded or diffused in the silver layer. The case can go up with a cover 16 be provided in which a window 17 is present, which may be provided for example with a transparent plate or optics.

Unter Verwendung des erfindungsgemäßen Reflektors ist es möglich, sehr helle und langlebige Gehäuse für optoelektronische Bauelemente zu realisieren.Under Use of the reflector according to the invention Is it possible, very bright and durable housing for optoelectronic To realize components.

Claims (19)

Verfahren zur Herstellung korrosionsbeständiger Metalloberflächen, bei dem eine erste Metallschicht (3) vorgesehen wird, eine zweite Metallschicht (4) auf die erste Metallschicht (3) aufgebracht und mit einer freien Oberseite versehen wird, wobei das Metall der ersten Metallschicht (3) eine höhere Beständigkeit gegen chemische Einwirkung oder Korrosion aufweist als das Metall der zweiten Metallschicht (4), und ausgehend von einem Ausgangszustand, unter Erhöhung der Temperatur Atome aus der ersten Metallschicht (3) in die zweite Metallschicht (4) so weit zu der freien Oberseite hin gebracht werden, dass die freie Oberseite eine höhere Beständigkeit gegen chemische Einwirkung oder Korrosion aufweist als im Ausgangszustand.Method for producing corrosion-resistant metal surfaces, in which a first metal layer ( 3 ), a second metal layer ( 4 ) on the first metal layer ( 3 ) is applied and provided with a free top, wherein the metal of the first metal layer ( 3 ) has a higher resistance to chemical action or corrosion than the metal of the second metal layer ( 4 ), and starting from an initial state, increasing the temperature of atoms from the first metal layer ( 3 ) in the second metal layer ( 4 ) are brought so far to the free top that the free top has a higher resistance to chemical attack or corrosion than in the initial state. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das Metall der ersten Metallschicht (3) mit einem höheren Normalpotenzial gewählt wird als das Metall der zweiten Metallschicht (4).The method of claim 1, wherein the metal of the first metal layer ( 3 ) is selected with a higher normal potential than the metal of the second metal layer ( 4 ). Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem als erste Metallschicht (3) ein Edelmetall verwendet wird.Method according to Claim 1 or 2, in which as the first metal layer ( 3 ) a precious metal is used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem als erste Metallschicht (3) Gold verwendet wird.Method according to Claim 1 or 2, in which as the first metal layer ( 3 ) Gold is used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem als erste Metallschicht (3) Palladium verwendet wird.Method according to Claim 1 or 2, in which as the first metal layer ( 3 ) Palladium is used. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, bei dem als zweite Metallschicht (4) Silber, Zinn, Nickel oder Aluminium verwendet wird.Method according to Claim 4 or 5, in which as a second metal layer ( 4 ) Silver, tin, nickel or aluminum is used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem als erste Metallschicht (3) Platin verwendet wird.Method according to Claim 1 or 2, in which as the first metal layer ( 3 ) Platinum is used. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem als zweite Metallschicht (4) Zinn, Nickel oder Aluminium verwendet wird.Method according to Claim 7, in which as a second metal layer ( 4 ) Tin, nickel or aluminum ver is used. Reflektor mit metallischer Oberfläche, bei dem eine Metallschicht (4) mit einer darauf ausgebildeten Reflektorfläche (5) vorhanden ist, die Metallschicht (4) ein Grundmetall und darin eingelagerte Fremdatome eines weiteren Metalles aufweist und die Reflektorfläche (5) eine höhere Beständigkeit gegen chemische Einwirkung oder Korrosion aufweist als das Grundmetall ohne eingelagerte Fremdatome.Reflector with metallic surface, in which a metal layer ( 4 ) with a reflector surface formed thereon ( 5 ), the metal layer ( 4 ) has a base metal and foreign atoms embedded therein of a further metal and the reflector surface ( 5 ) has a higher resistance to chemical action or corrosion than the parent metal without embedded foreign atoms. Reflektor nach Anspruch 9, bei dem die Reflektorfläche (5) ein Normalpotenzial aufweist, das höher ist als das Normalpotenzial einer Metallschicht aus dem Grundmetall ohne eingelagerte Fremdatome.Reflector according to Claim 9, in which the reflector surface ( 5 ) has a normal potential that is higher than the normal potential of a metal layer of the parent metal without embedded foreign atoms. Reflektor nach Anspruch 9 oder 10, bei dem eine erste Metallschicht (3) vorhanden ist, die Metallschicht (4), die die Reflexionsfläche (5) aufweist, eine auf der ersten Metallschicht (3) aufgebrachte zweite Metallschicht (4) ist und die in dem Grundmetall der zweiten Metallschicht (4) eingelagerten Fremdatome das gleiche Metall wie das Metall der ersten Metallschicht (3) sind.Reflector according to Claim 9 or 10, in which a first metal layer ( 3 ), the metal layer ( 4 ) reflecting the reflection surface ( 5 ), one on the first metal layer ( 3 ) applied second metal layer ( 4 ) and in the base metal of the second metal layer ( 4 ) embedded foreign atoms the same metal as the metal of the first metal layer ( 3 ) are. Reflektor nach Anspruch 11, bei dem die erste Metallschicht (3) ein Edelmetall ist.Reflector according to Claim 11, in which the first metal layer ( 3 ) is a precious metal. Reflektor nach Anspruch 11, bei dem die erste Metallschicht (3) Gold ist.Reflector according to Claim 11, in which the first metal layer ( 3 ) Gold is. Reflektor nach Anspruch 11, bei dem die erste Metallschicht (3) Palladium ist.Reflector according to Claim 11, in which the first metal layer ( 3 ) Is palladium. Reflektor nach Anspruch 13 oder 14, bei dem die zweite Metallschicht (4) Silber, Zinn, Nickel oder Aluminium ist.Reflector according to Claim 13 or 14, in which the second metal layer ( 4 ) Is silver, tin, nickel or aluminum. Reflektor nach Anspruch 11, bei dem die erste Metallschicht (3) Platin ist.Reflector according to Claim 11, in which the first metal layer ( 3 ) Platinum is. Reflektor nach Anspruch 16, bei dem die zweite Metallschicht (4) Zinn, Nickel oder Aluminium ist.Reflector according to Claim 16, in which the second metal layer ( 4 ) Tin, nickel or aluminum. Reflektor nach einem der Ansprüche 9 bis 17, bei dem die Metallschicht (4), die die Reflexionsfläche (5) aufweist, auf einem Träger (1) angeordnet ist, der Träger (1) auf einer Basisplatte (10) angeordnet ist und der Träger (1) und/oder die Basisplatte (10) ein keramisches Material umfasst.Reflector according to one of Claims 9 to 17, in which the metal layer ( 4 ) reflecting the reflection surface ( 5 ), on a support ( 1 ), the carrier ( 1 ) on a base plate ( 10 ) and the carrier ( 1 ) and / or the base plate ( 10 ) comprises a ceramic material. Reflektor nach einem der Ansprüche 9 bis 18, der an einem Gehäuse eines optoelektronischen Bauelementes (9) angeordnet ist.Reflector according to one of claims 9 to 18, on a housing of an optoelectronic component ( 9 ) is arranged.
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