Aus
der DE 41 36 300 C1 oder
der DE 197 56 936
C1 ist ein Michelson-Interferometer bekannt, bei dem optische
Wegdifferenzen mittels eines Retroreflektors erzeugt werden, dessen
Rotationsachse gegenüber
seinem Tripelpunkt seitlich versetzt ist. Ein Strahlteiler teilt
einen von einer Strahlungsquelle kommenden Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen
auf, die direkt oder mit Hilfe von Umlenkspiegeln spiegelsymmetrisch
zur Rotationsachse des Retroreflektors unter jeweils gleichem Winkel
in den Retroreflektor geleitet werden. Von dem Retroreflektor aus
werden die Teilstrahlen auf ihnen zugeordnete Planspiegel reflektiert,
welche die Teilstrahlen senkrecht in den rotierenden Retroreflektor
zurückreflektieren.
Von dem Retroreflektor aus gelangen die Teilstrahlen, ggf. über die
Umlenkspiegel, wieder zu dem Strahlteiler, der die Teilstrahlen
vereinigt und zur Interferenz bringt. Die interferierenden Teilstrahlen
werden einem Detektor zur Erzeugung eines Interferenzsignals zugeführt.From the DE 41 36 300 C1 or the DE 197 56 936 C1 a Michelson interferometer is known in which optical path differences are generated by means of a retroreflector whose axis of rotation is laterally offset from its triple point. A beam splitter divides a light beam coming from a radiation source into two partial beams, which are guided directly or with the aid of deflecting mirrors mirror-symmetrically to the axis of rotation of the retroreflector at the same angle into the retroreflector. From the retroreflector from the partial beams are reflected on them associated plano mirror, which reflect the partial beams back into the rotating retro-reflector. From the retroreflector, the partial beams, possibly via the deflecting mirrors, return to the beam splitter, which combines the partial beams and causes them to interfere. The interfering sub-beams are fed to a detector for generating an interference signal.
Die
exakte Vereinigung der Teilstrahlen und damit die Qualität des Interferenzsignals
sind sehr empfindlich gegenüber
Winkeländerungen
(Verkippungen) der beiden Planspiegel, die exakt senkrecht zu den
von dem Retroreflektor auf sie reflektierten Teilstrahlen ausgerichtet
sein müssen.
Daher sind in der Regel Mittel zur Justierung der Planspiegel erforderlich,
was mit einem entsprechend hohen konstruktiven Aufwand verbunden
ist.The
exact union of the partial beams and thus the quality of the interference signal
are very sensitive to
angle changes
(Tilting) of the two plane mirrors, which are exactly perpendicular to the
aligned by the retroreflector reflected on them partial beams
have to be.
Therefore, as a rule, means for adjusting the plane mirrors are required,
which is associated with a correspondingly high design effort
is.
Aus
der bereits genannten DE
197 56 936 C1 ist es bekannt, anstelle der Planspiegel
ortsfeste Retroreflektoren vorzusehen, bei denen Winkeländerungen
(Verkippungen) vergleichsweise unkritisch sind, weil sie einfallende
Strahlen immer senkrecht zurück
reflektieren. Allerdings kommt es zwischen den einfallenden und
zurückreflektierten
Strahlen zu einem Versatz, so dass eine Fokussieroptik benötigt wird,
um die zur Interferenz zu bringenden Teilstrahlen zu vereinigen
und einen akzeptablen Modulationsgrad zu erreichen.From the already mentioned DE 197 56 936 C1 It is known to provide fixed retroreflectors instead of the plane mirror, in which angle changes (tilting) are relatively uncritical because they always reflect incident rays back vertically. However, there is an offset between the incident and back reflected beams, so that focusing optics are needed to combine the sub-beams to be brought into interference and to achieve an acceptable degree of modulation.
Aus
der EP 0 034 325 B1 ist
ein Michelson-Interferometer bekannt, bei dem die optischen Wegdifferenzen
mittels eines oder zweier Retroreflektoren erzeugt werden, die pendelnd
gelagert sind und dabei vor und zurück schwingen. Bei entsprechender
Dimensionierung des Strahlteilers bzw. genügend kleiner Pendelbewegung
kann auf die Anordnung der rückreflektierenden
winkelempfindlichen Planspiegel verzichtet werden; d. h. die von
dem Strahlteiler in den vor und zurück pendelnden Retroreflektor
geführten
Teilstrahlen werden von diesem unmittelbar in Richtung zu dem Strahlteiler
zurück
reflektiert.From the EP 0 034 325 B1 a Michelson interferometer is known in which the optical path differences are generated by means of one or two retroreflectors, which are oscillatingly supported and oscillate back and forth. With appropriate dimensioning of the beam splitter or sufficiently small pendulum motion can be dispensed with the arrangement of the retroreflective angle-sensitive plane mirror; ie the partial beams guided by the beam splitter into the retro-reflector, which oscillates back and forth, are reflected back directly by the latter into the beam splitter.
Gegenüber der
Pendellagerung des Retroreflektors hat die Verwendung eines rotierenden
Retroreflektors den Vorteil, dass die Rotationsbewegung leicht mit
höheren
Frequenzen realisiert werden kann und damit höhere Messraten möglich sind.
Weiterhin ist eine Rotationsbewegung weniger anfällig auf Erschütterungen
und Vibrationen als eine Pendelbewegung. Diese Vorteile sind vor
allem beim Einsatz des Interferometers in rauher Umgebung, z. B.
in der Prozessmesstechnik, von Bedeutung.Opposite the
Self-aligning bearing of the retroreflector has the use of a rotating
Retroreflektors the advantage that the rotational movement easily with
higher
Frequencies can be realized and thus higher measurement rates are possible.
Furthermore, a rotational movement is less susceptible to shocks
and vibrations as a pendulum motion. These benefits are present
especially when using the interferometer in harsh environment, z. B.
in process measurement, of importance.
Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, in einem Michelson-Interferometer mit
rotierendem Retroreflektor die Abhängigkeit des Interferenzsignals von
Winkelstellungen oder Verkippungen optischer Komponenten zu minimieren
und dabei einen hohen Modulationsgrad, also eine hohe Deckung der
zur Interferenz gebrachten Teilstrahlen, zu erreichen.Of the
Invention is based on the object in a Michelson interferometer with
rotating retroreflector the dependence of the interference signal of
To minimize angular positions or tilting of optical components
And thereby a high degree of modulation, so a high coverage of
to reach the interference brought partial beams.
Gemäß der Erfindung
wird die Aufgabe durch ein Michelson-Interferometer mit einem Strahlteiler
und einem rotierenden Retroreflektor gelöst, dessen Rotationsachse gegenüber seinem
Tripelpunkt seitlich versetzt ist,
- – wobei
der Strahlteiler einen von einer Strahlungsquelle kommenden Lichtstrahl
in zwei Teilstrahlen aufteilt, die spiegelsymmetrisch zu einer zur
Rotationsachse parallelen Geraden unter jeweils gleichem Winkel
in den rotierenden Retroreflektor geführt werden,
- – wobei
der rotierende Retroreflektor die in ihn geführten Teilstrahlen entweder
unmittelbar oder nach Reflexion an zwei ortsfesten Retroreflektoren
in Richtung zu dem Strahlteiler zurück reflektiert, der die Teilstrahlen
zum Empfang in einem Detektor wieder vereinigt, und
- – wobei
im Verlauf zumindest eines der beiden Teilstrahlen zwischen dem
rotierenden Retroreflektor und dem Strahlteiler mindestens ein Umlenkspiegel
angeordnet ist und im Verlauf des anderen Teilstrahls eine um eine
ungerade Zahl geringere Anzahl von Umlenkspiegeln angeordnet ist,
wobei die geringere Anzahl größer oder
gleich Null ist.
According to the invention, the object is achieved by a Michelson interferometer with a beam splitter and a rotating retroreflector whose axis of rotation is laterally offset from its triple point, - Wherein the beam splitter divides a light beam coming from a radiation source into two partial beams, which are guided mirror-symmetrically to a straight line parallel to the axis of rotation at the same angle in each case into the rotating retroreflector,
- - Wherein the rotating retroreflector reflects the partial beams guided in it either directly or after reflection at two stationary retroreflectors in the direction of the beam splitter, which reunites the partial beams for reception in a detector, and
- - Wherein at least one deflecting mirror is arranged in the course of at least one of the two partial beams between the rotating retroreflector and the beam splitter and in the course of the other partial beam by an odd number of smaller number of deflecting mirrors is arranged, wherein the smaller number is greater than or equal to zero.
Die
in den rotierenden Retroreflektor fallenden Teilstrahlen beschreiben
beim Austritt aus dem Retroreflektor eine elliptische Rotationsbewegung, wobei
die Weite der Ellipse von dem Einfallswinkel nicht aber von dem
Einfallsort abhängig
ist. Diese Rotationsbewegung der Teilstrahlen wird wieder aufgehoben,
wenn die rotierenden Teilstrahlen über Planspiegel in den Retroreflektor
zurückgespiegelt werden,
so wie dies aus der DE
41 36 300 C1 oder der DE 197 56 936 C1 bekannt ist. Diese Planspiegel sind
jedoch bei dem erfindungsgemäßen Interferometer
wegen ihres störenden
Einflusses auf das Interferenzsignal nicht vorgesehen; statt dessen
werden die in den rotierenden Retroreflektor geführten Teilstrahlen entweder
unmittelbar oder nach Reflexion an zwei ortsfesten Retroreflektoren
in Richtung zu dem Strahlteiler zurück reflektiert. Dadurch bleibt
jedoch die elliptische Rotationsbewegung der Teilstrahlen erhalten.
Um die Teilstrahlen später
exakt zur Deckung zu bringen und einen hohen Modulationsgrad zu
erreichen, ist es erforderlich, dass die Teilstrahlen bei ihrer
Vereinigung gleichsinnig rotieren. Dies wird erfindungsgemäß dadurch
erreicht, dass die von dem rotierenden Retroreflektor kommenden
Teilstrahlen bis zu ihrer Vereinigung jeweils dieselbe Anzahl von
Reflexionen erfahren. Da nur einer der Teilstrahlen an dem Strahlteiler
reflektiert wird, während
der andere Teilstrahl durch den Strahlteiler hindurch tritt, ist
erfindungsgemäß im Verlauf
zumindest eines der beiden Teilstrahlen zwischen dem rotierenden
Retroreflektor und dem Strahlteiler mindestens ein Umlenkspiegel
und im Verlauf des anderen Teilstrahls eine um eine ungerade Zahl
geringere Anzahl von Umlenkspiegeln angeordnet, wobei die geringere
Anzahl größer oder gleich
Null ist. Im einfachsten Fall ist also nur ein Umlenkspiegel vorhanden.The subjets falling into the rotating retroreflector describe an elliptical rotational movement on exiting the retroreflector, the width of the ellipse not being dependent on the angle of incidence but on the point of incidence. This rotational movement of the partial beams is canceled when the rotating partial beams are reflected back over plane mirror in the retroreflector, as shown in DE 41 36 300 C1 or the DE 197 56 936 C1 is known. However, these plane mirrors are not provided in the interferometer according to the invention because of their disturbing influence on the interference signal; instead, the sub-beams guided into the rotating retroreflector become either directly or after reflection at two stationary retroreflectors in the direction towards reflected back to the beam splitter. As a result, however, the elliptical rotational movement of the partial beams is maintained. In order to bring the partial beams later exactly to coincidence and to achieve a high degree of modulation, it is necessary that the partial beams rotate in the same direction in their union. This is achieved according to the invention in that the partial beams coming from the rotating retroreflector each experience the same number of reflections until their union. Since only one of the partial beams is reflected at the beam splitter, while the other partial beam passes through the beam splitter, according to the invention at least one deflecting mirror in the course of at least one of the two partial beams between the rotating retroreflector and the beam splitter and an odd in the course of the other partial beam Number of smaller number of deflecting mirrors arranged, wherein the smaller number is greater than or equal to zero. In the simplest case, therefore, only one deflection mirror is available.
Ein
wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Interferometers besteht
auch darin, dass mögliche
Verkippungen sowohl der Umlenkspiegel als auch des Strahlteilers
keine Auswirkung auf den Deckungsgrad der von dem Strahlteiler vereinigten Teilstrahlen
haben.One
essential advantage of the interferometer according to the invention
also in that possible
Tilting of both the deflection mirror and the beam splitter
no effect on the degree of coverage of the partial beams combined by the beam splitter
to have.
Die
vom Strahlteiler vereinigten rotierenden Teilstrahlen können mittels
einer Fokussieroptik (z. B. Spiegel oder Linse) auf den Detektor
fokussiert werden, wobei die Fokussieroptik vorzugsweise eine Öffnung enthält, durch
die hindurch ein Referenz-Laserstrahl auf den Strahlteiler gerichtet
ist, der den Referenz-Laserstrahl in zwei das Interferometer durchlaufende
Laser-Teilstrahlen aufteilt. In entsprechender Weise können dann
die nach Durchlaufen des Interferometers von dem Strahlteiler vereinigten
rotierenden Laser-Teilstrahlen mittels einer weiteren Fokussieroptik
auf einen Laserdetektor fokussiert werden, wobei die weitere Fokussieroptik
eine Öffnung
enthält,
durch die hindurch der Lichtstrahl der Strahlungsquelle auf den
Strahlteiler gerichtet ist. Das Kalibrieren eines Interferometers
mittels eines Lasers, dessen Laserstrahl in die Strahlungswege des
Interferometers eingekoppelt und nach deren Durchlaufen anschließend mit
einem Laserdetektor erfasst wird, ist beispielsweise aus der US 5,341,207 bekannt.The rotating partial beams combined by the beam splitter can be focused onto the detector by means of focusing optics (eg mirror or lens), the focusing optics preferably including an opening through which a reference laser beam is directed onto the beam splitter which adjusts the reference beam. Laser beam in two the Interferometer passing laser partial beams divides. In a corresponding manner then combined after passing through the interferometer of the beam splitter rotating laser partial beams can be focused by a further focusing optics on a laser detector, wherein the further focusing optics includes an opening through which the light beam of the radiation source is directed to the beam splitter. The calibration of an interferometer by means of a laser, whose laser beam is coupled into the radiation paths of the interferometer and is subsequently detected by a laser detector after passing through them, is known, for example, from US Pat US 5,341,207 known.
Die
Rotationsbewegung der vom Strahlteiler vereinigten Teilstrahlen
bzw. Laser-Teilstrahlen kann in vorteilhafter Weise wieder aufgehoben
werden, indem sie über
mindestens einen zusätzlichen
Spiegel parallel zu einem der von dem rotierenden Retroreflektor
kommenden Teilstrahlen in den rotierenden Retroreflektor gelenkt
und erst nach dem Austritt aus diesem zu dem Detektor bzw. Laserdetektor
geführt werden,
wobei die Anzahl der zusätzlichen
Spiegel so gewählt
ist, dass die Summe der Reflexionen jedes Teilstrahls bzw. Laser-Teilstrahls
auf dem Weg von dem Retroreflektor über die gegebenenfalls vorhandenen
Umlenkspiegel, den Strahlteiler und den mindestens einen zusätzlichen
Spiegel ungerade ist. Wie oben bereits erwähnt, beschreiben die in den
rotierenden Retroreflektor fallenden Teilstrahlen beim Austritt
aus dem Retroreflektor eine elliptische Rotationsbewegung, wobei
die Weite der Ellipse von dem Einfallswinkel nicht aber von dem
Einfallsort abhängig
ist. Wenn also die in den Retroreflektor zurückgeführten vereinigten Teilstrahlen
bzw. Laser-Teilstrahlen parallel zu den von dem rotierenden Retroreflektor
kommenden Teilstrahlen sind, mit diesen gleichsinnig rotieren und
die gleiche Weite der Rotationsellipse aufweisen, werden sie von
dem rotierenden Retroreflektor in einen nichtrotierenden Lichtstrahl
bzw. Laserstrahl vereinigt, der dann ohne Fokussieroptik von dem
Detektor bzw. Laserdetektor erfasst werden kann. Damit die in den
Retroreflektor zurückgeführten vereinigten
Teilstrahlen bzw. Laser-Teilstrahlen gleichsinnig mit den von dem
rotierenden Retroreflektor kommenden Teilstrahlen rotieren, muss
die Summe der Reflexionen jedes Teilstrahls bzw. Laser-Teilstrahls
auf dem Weg von dem Retroreflektor über die gegebenenfalls vorhandenen
Umlenkspiegel, den Strahlteiler und den mindestens einen zusätzlichen
Spiegel ungerade sein.The
Rotational movement of the partial beams united by the beam splitter
or partial laser beams can be reversed in an advantageous manner
be over by
at least one additional
Mirror parallel to one of the rotating retroreflector
coming partial beams directed into the rotating retroreflector
and only after the exit from this to the detector or laser detector
be guided
the number of extra
Mirror so chosen
is that the sum of the reflections of each sub-beam or partial laser beam
on the way from the retroreflector over the possibly existing ones
Deflection mirror, the beam splitter and the at least one additional
Mirror is odd. As mentioned above, describe in the
rotating retroreflector falling partial beams at the exit
from the retroreflector an elliptical rotational movement, wherein
the width of the ellipse of the angle of incidence but not of the
Incidence dependent
is. If, therefore, the combined partial beams returned to the retroreflector
or partial laser beams parallel to those of the rotating retroreflector
are coming partial beams, rotate in the same direction and
have the same width of the rotary ellipse, they are of
the rotating retroreflector in a non-rotating light beam
or laser beam combined, which then without focusing optics of the
Detector or laser detector can be detected. So that in the
Retroreflector returned unified
Partial beams or laser partial beams in the same direction with those of the
Rotate retroreflector rotating part beams, must
the sum of the reflections of each partial beam or partial laser beam
on the way from the retroreflector over the possibly existing ones
Deflection mirror, the beam splitter and the at least one additional
Mirror be odd.
Von
den die vereinigten Teilstrahlen bzw. Laser-Teilstrahlen in den
rotierenden Retroreflektor lenkenden zusätzlichen Spiegeln liegt einer
im Strahlungsweg zwischen dem Strahlteiler und der Strahlungsquelle
bzw. dem Detektor, weswegen der betreffende zusätzliche Spiegel als Strahlteiler
ausgebildet sein muss. Alternativ kann vorgesehen werden, dass die
Gerade, bezüglich
derer die beiden Teilstrahlen spiegelsymmetrisch unter jeweils gleichem
Winkel in den rotierenden Retroreflektor geführt werden, gegenüber der
Rotationsachse des Retroreflektors senkrecht zu der von den Teilstrahlen aufgespannten
Ebene versetzt ist. Dadurch wird der Strahlenverlauf in dem Interferometer
in zwei Teilverläufe
unterteilt, die in zwei unterschiedlichen Ebenen liegen. Die von dem
Strahlteiler kommenden vereinigten Teilstrahlen bzw. Laser-Teilstrahlen
sind dann beispielsweise gegenüber
dem Lichtstrahl von der Strahlungsquelle zu dem Strahlteiler räumlich getrennt,
so dass der die vereinigten Teilstrahlen bzw. Laser-Teilstrahlen
in den rotierenden Retroreflektor lenkende zusätzliche Spiegel außerhalb
des Lichtstrahl von der Strahlungsquelle zu dem Strahlteiler liegen
kann und daher für
diesen nicht mehr transparent sein muss.From
the combined partial beams or laser partial beams in the
Rotating retroreflector guiding additional mirrors lies one
in the radiation path between the beam splitter and the radiation source
or the detector, which is why the respective additional mirror as a beam splitter
must be trained. Alternatively, it can be provided that the
Just, concerning
derer the two partial beams mirror-symmetrical under each same
Angles are guided in the rotating retroreflector, opposite to the
Rotation axis of the retroreflector perpendicular to the spanned by the partial beams
Plane is offset. This will cause the beam path in the interferometer
in two sub-courses
divided into two different levels. The one of the
Beam splitter coming combined partial beams or laser partial beams
are then opposite, for example
the light beam spatially separated from the radiation source to the beam splitter,
so that the combined partial beams or laser partial beams
in the rotating retroreflector directing additional mirrors outside
the light beam from the radiation source to the beam splitter
can and therefore for
this no longer needs to be transparent.
Die
räumliche
Trennung der in das Interferometer ein- und aus diesem auslaufenden
Strahlen kann statt in zwei Ebenen auch durch Strahlversatz in einer
Ebene erreicht werden, wobei der Lichtstrahl und der Referenz-Laserstrahl
innerhalb der Ebene an verschiedenen Stellen auf den Strahlteiler
treffen.The spatial separation of the rays entering and exiting the interferometer can also be achieved by beam offset in one plane instead of in two planes, wherein the light beam and the reference laser beam are within the plane hit the beam splitter at different places.
Die
Spiegel und/oder der Strahlteiler des erfindungsgemäßen Interferometers
können
in an sich bekannter Weise jeweils von Prismenflächen eines oder mehrerer Prismenkörper gebildet
werden, wobei der Strahlteiler vorzugsweise von aneinander anliegenden
Prismenflächen
zweier Prismenkörper
gebildet wird. Diejenigen Prismenflächen, durch die Strahlen in
den Prismenkörper
ein- oder austreten, sind dabei vorzugsweise senkrecht zu den betreffenden
Strahlen ausgerichtet, so dass Strahlungsbrechungen vermieden und
Dispersionseffekte reduziert werden. Als Retroreflektoren kommen
Tripelspiegel, als Vollprismen ausgebildete Kubusecken, Katzenaugen
in Spiegel- oder
Linsenausführung
sowie Dachkantspiegel oder -prismen infrage.The
Mirror and / or the beam splitter of the interferometer according to the invention
can
each formed in a conventional manner of prism surfaces of one or more prism body
be, wherein the beam splitter preferably of adjacent to each other
prism faces
two prismatic bodies
is formed. Those prism surfaces through which rays in
the prism body
enter or exit, are preferably perpendicular to the relevant
Beams aligned, so that radiation refraction avoided and
Dispersion effects are reduced. As retroreflectors come
Ceiling mirrors, cusp corners designed as full prisms, cat's eyes
in mirror or
lens design
as well as rooftop mirrors or prisms.
Im
Weiteren wird die Erfindung anhand von in den Figuren dargestellten
Ausführungsbeispielen des
erfindungsgemäßen Michelson-Interferometers erläutert; dabei
zeigen im Einzelnen:in the
Furthermore, the invention will be described with reference to FIGS
Embodiments of the
according to the invention Michelson interferometer explained; there
show in detail:
1 ein
erstes Ausführungsbeispiel
des erfindungsgemäßen Michelson-Interferometers
mit einem rotierenden Retroreflektor und einem Strahlteiler, der
einen Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen aufteilt und diese nach Durch laufen
des Interferometers wieder vereinigt, 1 a first embodiment of the Michelson interferometer according to the invention with a rotating retroreflector and a beam splitter, which divides a light beam into two sub-beams and this reunites after passing through the interferometer,
2 ein
Beispiel für
die Unempfindlichkeit der vereinigten Teilstrahlen in Bezug auf
Verkippungen des Strahlteilers, 2 an example of the insensitivity of the combined partial beams with respect to tilting of the beam splitter,
3 ein
weiteres Ausführungsbeispiel
mit zusätzlichen
Spiegeln, die die vereinigten Teilstrahlen nochmals zurück in den
Retroreflektor leiten, 3 a further embodiment with additional mirrors which guide the combined partial beams back into the retroreflector,
4 das
Ausführungsbeispiel
nach 3 in Draufsicht und Seitenansicht, wobei der der
Strahlenverlauf in dem Interferometer in zwei Teilverläufe unterteilt
ist, die in unterschiedlichen Ebenen liegen, 4 the embodiment according to 3 in plan view and side view, wherein the beam path in the interferometer is subdivided into two partial progressions which lie in different planes,
5 ein
weiteres Ausführungsbeispiel,
wobei der Strahlenverlauf in dem Interferometer in zwei Teilverläufe unterteilt,
die innerhalb einer Ebene gegeneinander versetzt sind, 5 a further embodiment, wherein the beam path in the interferometer is subdivided into two partial progressions, which are offset from one another within a plane,
6 ein
weiteres Ausführungsbeispiel
mit sich kreuzenden Strahlenverläufen, 6 another embodiment with intersecting ray paths,
7 bis 11 unterschiedliche
Ausführungsbeispiele
mit Prismenkörpern
zur Realisierung von Spiegeln und/oder des Strahlteilers oder zur
Verkürzung
optischer Weglängen
und 7 to 11 different embodiments with prism bodies for the realization of mirrors and / or the beam splitter or for shortening optical path lengths and
12 ein
weiteres Ausführungsbeispiel
mit ortsfesten Retroreflektoren. 12 another embodiment with fixed retroreflectors.
1 zeigt
ein Michelson-Interferometer mit einer Strahlungsquelle 1,
von der aus ein Lichtstrahl 2 unter einem vorgegebenen
Winkel auf einen Strahlteiler 3 fällt. Der Strahlteiler 3 teilt
den Lichtstrahl 2 in zwei amplitudengleiche Teilstrahlen 4, 5 auf,
wobei der an dem Strahlteiler 3 re flektierte Teilstrahl 4 über zwei
Umlenkspiegel 6, 7 und der von dem Strahlteiler 3 durchgelassene
Teilstrahl 5 über einen
Umlenkspiegel 8 in einen Retroreflektor 9 gelangt.
Der Retroreflektor 9 rotiert exzentrisch um eine gegenüber dem
Tripelpunkt des Retroreflektors 9 seitlich versetzte Rotationsachse 10.
Die beiden Teilstrahlen 4 und 5 werden von den
Umlenkspiegeln 6, 7, 8 spiegelsymmetrisch
zur Rotationsachse 10 bzw. einer dazu parallelen Geraden 10' unter jeweils
gleichem Einfallswinkel α in
den rotierenden Retroreflektor 9 eingeleitet. Die Umlenkspiegel 6, 7, 8 sind
ferner derart angeordnet, dass die optischen Weglängen der
Teilstrahlen 4, 5 von dem Strahlteiler 3 zu
dem Retroreflektor 9 gleich sind. Der Retroreflektor 9 reflektiert
die Teilstrahlen 4, 5 unter jeweils demselben Winkel α, aber mit
einem Parallelversatz, so dass die aus dem rotierenden Retroreflektor 9 austretenden Teilstrahlen 4', 5' jeweils eine
elliptische Rotationsbewegung beschreiben. Die Weite der Ellipse
der Rotationsbewegung ist von dem Winkel α, nicht aber von dem Einfallsort,
abhängig.
Die von dem Retroreflektor 9 kommenden rotierenden Teilstrahlen 4', 5' werden über dieselben
Umlenkspiegel 6, 7, 8 wie die Teilstrahlen 4, 5 zu
dem Strahlteiler 3 zurückgeführt. Die
von dem Strahlteiler 3 vereinigten Teilstrahlen 11 gelangen
auf der von der Strahlungsquelle 1 abgewandten Seite zu
einer Fokussieroptik 12 in Form eines Fokussierspiegels,
der die vereinigten Teilstrahlen 11 auf einen Detektor 13 fokussiert. 1 shows a Michelson interferometer with a radiation source 1 , from which a ray of light 2 at a predetermined angle to a beam splitter 3 falls. The beam splitter 3 divides the light beam 2 in two amplitude-equal partial beams 4 . 5 on, wherein the at the beam splitter 3 re inflected partial ray 4 over two deflecting mirrors 6 . 7 and that of the beam splitter 3 transmitted partial beam 5 via a deflection mirror 8th in a retro reflector 9 arrives. The retro reflector 9 rotates eccentrically around one opposite the triple point of the retroreflector 9 laterally offset rotation axis 10 , The two partial beams 4 and 5 be from the deflecting mirrors 6 . 7 . 8th mirror-symmetrical to the axis of rotation 10 or a parallel line 10 ' in each case the same angle of incidence α in the rotating retroreflector 9 initiated. The deflection mirror 6 . 7 . 8th are further arranged such that the optical path lengths of the partial beams 4 . 5 from the beam splitter 3 to the retroreflector 9 are the same. The retro reflector 9 reflects the partial beams 4 . 5 at the same angle α, but with a parallel offset, so that from the rotating retroreflector 9 emerging partial beams 4 ' . 5 ' each describe an elliptical rotational movement. The width of the ellipse of the rotational movement depends on the angle α, but not on the point of incidence. The one from the retroreflector 9 coming rotating partial beams 4 ' . 5 ' be about the same deflection mirror 6 . 7 . 8th like the partial beams 4 . 5 to the beam splitter 3 recycled. The of the beam splitter 3 united partial beams 11 arrive on the from the radiation source 1 opposite side to a focusing optics 12 in the form of a focusing mirror, the united partial beams 11 on a detector 13 focused.
Die
exzentrische Drehbewegung des Retroreflektors 9 führt zu einer
gegensinnigen Änderung der
optischen Weglängen
der beiden Teilstrahlen 4, 4' und 5, 5' von dem Strahlteiler 3 zu
dem Retroreflektors 9 und zurück, so dass bei der Vereinigung
der Teilstrahlen 4, 4' und 5, 5' in dem Strahlteiler 3 ein
Interferogramm entsteht, welches die Fourier-Transformierte des
von der Strahlungsquelle 1 kommenden Lichtstrahls 2 darstellt.
Das gezeigte Michelson-Interferometer ist daher für die Fourier-Transform-(FT-)Spektroskopie
verwendbar.The eccentric rotation of the retroreflector 9 leads to an opposite change in the optical path lengths of the two partial beams 4 . 4 ' and 5 . 5 ' from the beam splitter 3 to the retroreflector 9 and back, so that at the union of partial beams 4 . 4 ' and 5 . 5 ' in the beam splitter 3 an interferogram is produced, which is the Fourier transform of the radiation source 1 coming light beam 2 represents. The Michelson interferometer shown is therefore useful for Fourier transform (FT) spectroscopy.
Spiegelsymmetrisch
zu dem Strahlteiler 3 ist hinter der Fokussieroptik 12 ein
Laser 14 angeordnet, der durch eine Öffnung 15 in der Fokussieroptik 12 einen
Referenz-Laserstrahl 16 auf den Strahlteiler 3 richtet.
Der Referenz-Laserstrahl 16 wird
derselben Weise wie der Lichtstrahl 2, aber in Bezug auf
den Strahlteiler 3 gespiegelt, in Laser-Teilstrahlen 17, 18 aufgeteilt,
die parallel oder zumindest annähernd
deckungsgleich mit den Teilstrahlen 4, 5 verlaufen. Nach
Reflexion in dem Retroreflektor 9 werden die jetzt rotierenden
Laser-Teilstrahlen 17', 18' wieder zu dem
Strahlteiler 3 geführt
und dort vereinigt. Die vereinigten Laser-Teilstrahlen 19 gelangen von
dem Strahlteiler 3 auf der von der Strahlungsquelle 1 abgewandten
Seite zu einer weiteren Fokussieroptik 20 in Form eines
Fokussierspiegels, der die vereinigten Laser-Teilstrahlen 19 auf
einen Laserdetektor 21 fokussiert. Die weitere Fokussieroptik 20 enthält ebenfalls
eine Öffnung 22 durch
die hindurch die Strahlungsquelle 1 den Lichtstrahl 2 auf
den Strahlteiler 3 richtet.Mirror symmetric to the beam splitter 3 is behind the focusing optics 12 a laser 14 arranged through an opening 15 in the focusing optics 12 a reference laser beam 16 on the beam splitter 3 directed. The reference laser beam 16 becomes the same way as the light beam 2 but in terms of the beam splitter 3 mirrored, in partial laser beams 17 . 18 split, the parallel or at least approximately congruent with the sub-beams 4 . 5 run. After reflection in the retroreflector 9 become the now rotating laser partial beams 17 ' . 18 ' back to the beam splitter 3 led and united there. The united laser sub-beams 19 get out of that beamsplitter 3 on the from the radiation source 1 opposite side to another focusing optics 20 in the form of a focusing mirror, the combined laser partial beams 19 on a laser detector 21 focused. The further focusing optics 20 also contains an opening 22 through which the radiation source 1 the light beam 2 on the beam splitter 3 directed.
Um
die von dem Retroreflektor 9 kommenden rotierenden Teilstrahlen 4', 5' bzw. Laser-Teilstrahlen 17', 18' in dem Strahlteiler 3 exakt
zur Deckung zu bringen und einen hohen Modulationsgrad zu erreichen,
ist es erforderlich, dass die Teilstrahlen 4', 5' (Laser-Teilstrahlen 17', 18') bei ihrer
Vereinigung gleichsinnig rotieren. Dies wird dadurch erreicht, dass
die von dem rotierenden Retroreflektor 9 kommenden Teilstrahlen 4', 5' (Laser-Teilstrahlen 17', 18') bis zu ihrer
Vereinigung jeweils dieselbe Anzahl von Reflexionen erfahren. Da
bezogen auf den Detektor 13 nur der Teilstrahl 5' (bezogen auf
den Laserdetektor 21 nur der Laser-Teilstrahl 18') an dem Strahlteiler 3 reflektiert
wird, während
der jeweils andere Teilstrahl 4' (Laser-Teilstrahl 17') durch den Strahlteiler 3 hindurch
tritt, ist die Anzahl der im Verlauf des Teilstrahls 4' (Laser-Teilstrahls 18') angeordneten
Umlenkspiegel 6, 7 um eine ungerade Zahl größer oder
keiner, hier um Eins größer, als
in dem entsprechenden Verlauf des anderen Teilstrahls 5' (Laser-Teilstrahls 17').To those of the retroreflector 9 coming rotating partial beams 4 ' . 5 ' or partial laser beams 17 ' . 18 ' in the beam splitter 3 To bring exactly to coincidence and to achieve a high degree of modulation, it is necessary that the partial beams 4 ' . 5 ' (Laser sub-beams 17 ' . 18 ' ) rotate in the same direction at their union. This is achieved by that of the rotating retroreflector 9 coming partial beams 4 ' . 5 ' (Laser sub-beams 17 ' . 18 ' ) experience the same number of reflections until their union. As related to the detector 13 only the partial beam 5 ' (related to the laser detector 21 only the partial laser beam 18 ' ) at the beam splitter 3 is reflected while the other sub-beam 4 ' (Partial laser beam 17 ' ) through the beam splitter 3 passes through, is the number in the course of the sub-beam 4 ' (Partial laser beam 18 ' ) arranged deflection mirror 6 . 7 by an odd number greater or none, here by one greater than in the corresponding course of the other sub-beam 5 ' (Partial laser beam 17 ' ).
Anstelle
der gezeigten Fokussierspiegel 12, 20 kommen auch
andere Fokussieroptiken, wie z.B. Linsen, infrage.Instead of the focusing mirror shown 12 . 20 Other focusing optics, such as lenses, come into question.
Da
die Teilstrahlen 4', 5' bzw. Laser-Teilstrahlen 17', 18' auf beiden
Seiten des Strahlteilers 3 jeweils mit halber Amplitude
vereinigt werden können der
Detektor 13 und der Laserdetektor 21 vertauscht werden.
In 1 verlaufen dann die vereinigten Teilstrahlen 11' anstelle der
vereinigten Laser-Teilstrahlen 19 zu dem Detektor 13', der an der
Stelle des Laserdetektors 21 angeordnet ist, und umgekehrt.Because the partial beams 4 ' . 5 ' or partial laser beams 17 ' . 18 ' on both sides of the beam splitter 3 each can be combined with half the amplitude of the detector 13 and the laser detector 21 be reversed. In 1 then run the combined partial beams 11 ' instead of the combined laser partial beams 19 to the detector 13 ' in the place of the laser detector 21 is arranged, and vice versa.
Ein
wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Interferometers besteht
auch darin, dass mögliche
Verkippungen sowohl der Umlenkspiegel 6, 7, 8 als
auch des Strahlteilers 3 keine Auswirkung auf die von dem
Strahlteiler 3 vereinigten Teilstrahlen 11, 11' bzw. Laser-Teilstrahlen 19, 19' haben. Da die
in den rotierenden Retroreflektor 9 einfallenden Strahlen
von diesem in der gleichen Richtung zurückreflektiert werden, werden
Winkelfehler, die die Strahlen auf ihrem Weg zu dem Retroreflektor 9 an
den Umlenkspiegeln 6, 7, 8 erfahren,
beim Rücklauf
der Strahlen von dem Retroreflektor 9 zu dem Strahlteiler 3 wieder
aufgehoben. Im Falle eines Winkelfehlers des Strahlteilers 3 würden, wie 2 zeigt,
die vereinigten Teilstrahlen 11' ihre Richtung beibehalten, während die
vereinigten Teilstrahlen 11 gemeinsam den doppelten Winkelfehler
erfahren würden,
der Deckungsgrad der vereinigten Teilstrahlen 11, 11' bleibt von
dem Winkelfehler des Strahlteilers 3 unbeeinflusst.A significant advantage of the interferometer according to the invention is also that possible tilting of both the deflection mirror 6 . 7 . 8th as well as the beam splitter 3 no effect on that of the beam splitter 3 united partial beams 11 . 11 ' or partial laser beams 19 . 19 ' to have. Because in the rotating retroreflector 9 incident rays are reflected back from this in the same direction, are angular errors affecting the rays on their way to the retroreflector 9 at the deflecting mirrors 6 . 7 . 8th experienced when returning the rays from the retroreflector 9 to the beam splitter 3 lifted again. In the case of an angle error of the beam splitter 3 would, like 2 shows, the combined partial beams 11 ' maintain their direction while the combined sub-beams 11 together would experience the double angle error, the degree of coverage of the combined partial beams 11 . 11 ' remains of the angle error of the beam splitter 3 unaffected.
Das
in 3 gezeigte Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Michelson-Interferometers unterscheidet
sich von dem nach 1 dadurch, dass die vereinigten
rotierenden Teilstrahlen 11 über einen zusätzlichen
Spiegel 23 parallel zu dem Teilstrahl 5, 5' in den rotierenden
Retroreflektor 9 geleitet werden. Weiterhin werden die
vereinigten rotierenden Laser-Teilstrahlen 19 über zwei
weitere zusätzliche
Spiegel 24, 25 parallel zu dem Laser-Teilstrahl 18, 18' in den rotierenden
Retroreflektor 9 geleitet. Die Anzahl der zusätzlichen
Spiegel 23 (bzw. 24, 25) ist dabei so
gewählt,
dass die Summe der Reflexionen jedes Teilstrahls bzw. Laser-Teilstrahls
auf dem Weg von dem Retroreflektor 9 über den (die) Umlenkspiegel 8 (6, 7)
den Strahlteiler 3 und den (die) zusätzlichen Spie gel 23 (24, 25)
ungerade ist. Dies führt
dazu, dass die in den Retroreflektor 9 über den (die) zusätzlichen
Spiegel 23 (24, 25) zurückgeführten vereinigten
Teilstrahlen 11 (Laser-Teilstrahlen 19) gleichsinnig
mit den von dem rotierenden Retroreflektor 9 kommenden
Teilstrahlen 5' (Laser-Teilstrahlen 18') rotieren.
Wie bereits erwähnt,
beschreiben die in den rotierenden Retroreflektor 9 fallenden
Teilstrahlen 4, 5, bzw. Laser-Teilstrahlen 17, 18 beim Austritt
aus dem Retroreflektor 9 eine elliptische Rotationsbewegung,
wobei die Weite der Ellipse von dem Einfallswinkel α nicht aber
von dem Einfallsort abhängig
ist. Wenn also die in den Retroreflektor 9 zurückgeführten vereinigten
Teilstrahlen 11 bzw. Laser-Teilstrahlen 19 parallel zu
den von dem rotierenden Retroreflektor 9 kommenden Teilstrahlen 5' bzw. Laser-Teilstrahlen 18' sind, mit diesen
gleichsinnig rotieren und die gleiche Weite der Rotationsellipse aufweisen,
werden sie von dem rotierenden Retroreflektor 9 in einen
nichtrotierenden Lichtstrahl 26 bzw. Laserstrahl 27 vereinigt,
der dann einfacher auf den jeweiligen Detektor bzw. Laserdetektor
(hier nicht gezeigt) fokussiert werden kann, als im Falle eines
rotierenden Strahls.This in 3 shown embodiment of the Michelson interferometer according to the invention differs from that according to the invention 1 in that the combined rotating partial beams 11 via an additional mirror 23 parallel to the sub-beam 5 . 5 ' in the rotating retroreflector 9 be directed. Furthermore, the combined rotating laser partial beams 19 about two additional mirrors 24 . 25 parallel to the laser partial beam 18 . 18 ' in the rotating retroreflector 9 directed. The number of additional mirrors 23 (respectively. 24 . 25 ) is chosen so that the sum of the reflections of each partial beam or partial laser beam on the way from the retroreflector 9 over the deflection mirror (s) 8th ( 6 . 7 ) the beam splitter 3 and the additional mirror (s) 23 ( 24 . 25 ) is odd. This causes that in the retroreflector 9 about the extra mirror (s) 23 ( 24 . 25 ) returned combined partial beams 11 (Laser sub-beams 19 ) in the same direction as those of the rotating retroreflector 9 coming partial beams 5 ' (Laser sub-beams 18 ' rotate). As already mentioned, describe in the rotating retroreflector 9 falling partial beams 4 . 5 , or partial laser beams 17 . 18 on exit from the retroreflector 9 an elliptical rotational movement, wherein the width of the ellipse of the angle of incidence α but not dependent on the point of incidence. So if that's in the retroreflector 9 recycled united partial beams 11 or partial laser beams 19 parallel to that of the rotating retroreflector 9 coming partial beams 5 ' or partial laser beams 18 ' are, rotate in the same direction and have the same width of the rotary ellipse, they are from the rotating retroreflector 9 in a non-rotating light beam 26 or laser beam 27 united, which can then be focused more easily on the respective detector or laser detector (not shown here), as in the case of a rotating beam.
Da
die zusätzlichen
Spiegel 23 und 24 im Strahlungsweg des Referenz-Laserstrahls 16 bzw. des
Lichtstrahls 2 liegen, müssen sie als Strahlteiler ausgebildet
sein.Because the extra mirror 23 and 24 in the radiation path of the reference laser beam 16 or the light beam 2 lie, they must be designed as a beam splitter.
4 zeigt
ein Ausführungsbeispiel
des erfindungsgemäßen Interferometers
in Draufsicht (oben) und Seitenansicht (unten), wobei der der Strahlenverlauf
in dem Interferometer in zwei Teilverläufe unterteilt ist, die in
unterschiedlichen Ebenen liegen. Dies wird dadurch erreicht, dass
die Gerade 10',
bezüglich
derer die beiden Teilstrahlen 4, 5 spiegelsymmetrisch
unter jeweils gleichem Winkel α in den
Retroreflektor 9 geführt
werden, gegenüber
der Rotationsachse 10 des Retroreflektors 9 senkrecht zu
der von den Teilstrahlen 4, 5 aufgespannten Ebene
versetzt ist. Die von dem Strahlteiler 3 kommenden vereinigten
Teilstrahlen 11 bzw. Laser-Teilstrahlen 19 sind
dann gegenüber
dem Lichtstrahl 2 und dem Referenz-Laserstrahl 16 räumlich getrennt,
so dass die zu sätzlichen
Spiegel 23 und 24 außerhalb des Lichtstrahls 2 bzw.
Referenz-Laserstrahls 16 liegen können und daher für diese
nicht mehr transparent sein müssen.
Bezogen auf 1 bedeutet dies, dass die Fokussieroptiken 12, 20 keine Öffnungen 15, 22 benötigen, sondern
in einer anderen Ebene als die des Lichtstrahls 2 und des
Referenz-Laserstrahls 16 angeordnet sein können. 4 shows an embodiment of the interferometer according to the invention in plan view (top) and side view (bottom), wherein the beam path in the interferometer is divided into two sub-profiles, which lie in different planes. This is achieved by the straight line 10 ' , with respect to which the two partial beams 4 . 5 mirror-symmetrical under the same angle α in the retroreflector 9 are guided, opposite the axis of rotation 10 of the retroreflector 9 perpendicular to that of the sub-beams 4 . 5 spanned level is offset. The of the beam splitter 3 coming united partial beams 11 or partial laser beams 19 are then opposite the light beam 2 and the reference laser beam 16 spatially separated, so that the additional mirror 23 and 24 outside the light beam 2 or reference laser beam 16 and therefore no longer have to be transparent to them. Related to 1 this means that the focusing optics 12 . 20 no openings 15 . 22 but in a different plane than the light beam 2 and the reference laser beam 16 can be arranged.
Bei
der in 5 gezeigten Ausführungsvariante verlaufen der
Lichtstrahl (2) und der Referenz-Laserstrahl (16)
im Unterschied zu dem Beispiel nach 4 in einer
gemeinsamen Ebene verlaufen und treffen an verschiedenen Stellen
auf den Strahlteiler (3), so dass dadurch eine räumliche
Trennung der in das Interferometer einlaufenden Strahlen 2, 16 und
aus diesem auslaufenden Strahlen 11, 19 erreicht
wird.At the in 5 the embodiment shown, the light beam ( 2 ) and the reference laser beam ( 16 ) unlike the example below 4 in a common plane and meet at different locations on the beam splitter ( 3 ), so that thereby a spatial separation of the incoming into the interferometer beams 2 . 16 and from this outgoing rays 11 . 19 is reached.
6 zeigt
ein Ausführungsbeispiel,
bei dem zur Vermeidung zu großer
Einfallswinkel an den Umlenkspiegeln 6 und 7 der
Strahlengang zwischen dem Strahlteiler 3 und dem Retroreflektor 9 über die Umlenkspiegel 6, 7 über Kreuz
geführt
ist. 6 shows an embodiment in which to avoid too large angle of incidence at the deflecting mirrors 6 and 7 the beam path between the beam splitter 3 and the retro reflector 9 over the deflection mirror 6 . 7 is led over cross.
Bei
dem in 7 gezeigten Ausführungsbeispiel sind der Strahlteiler 3 und
der Umlenkspiegel 6 von Prismenflächen eines Prismenkörpers 28 gebildet.
Mit Ausnahme des Strahlteilers 3 sind diejenigen Prismenflächen, durch
die Strahlen in den Prismenkörper 28 ein-
oder austreten, senkrecht zu den betreffenden Strahlen ausgerichtet,
so dass Strahlungsbrechungen vermieden und Dispersionseffekte reduziert
werden.At the in 7 embodiment shown are the beam splitter 3 and the deflection mirror 6 of prism surfaces of a prism body 28 educated. With the exception of the beam splitter 3 are those prism surfaces through which rays enter the prism body 28 in or out, aligned perpendicular to the respective beams, so that radiation refrac- tions are avoided and dispersion effects are reduced.
8 zeigt
ein Ausführungsbeispiel,
bei dem der Strahlteiler 3 und die Umlenkspiegel 6 und 7 jeweils
von Prismenflächen
eines Prismenkörpers 29 gebildet
sind und zur Verringerung der Baugröße des Interferometers der
Strahlengang teilweise über Kreuz
verläuft. 8th shows an embodiment in which the beam splitter 3 and the deflection mirrors 6 and 7 each of prism surfaces of a prism body 29 are formed and extends to reduce the size of the interferometer, the beam path partially cross.
9 zeigt
ein Ausführungsbeispiel,
das im Unterschied zu den vorangehenden Ausführungsbeispielen nur einen
einzigen Umlenkspiegel 30 aufweist. Außerdem ist im Strahlenweg des
kürzeren
der beiden Teilstrahlen von dem Strahlteiler 3 zu dem Retroreflektor 9 ein
Element aus einem optisch dichteren Medium, hier ein Glaskörper 31 vorgegebener Länge, eingefügt, um so
den optischen Weg des betreffenden Teilstrahls zu verlängern und
an den des anderen, über
den Umlenkspiegel 30 geführten Teilstrahls anzupassen. 9 shows an embodiment which, in contrast to the preceding embodiments, only a single deflection mirror 30 having. Also, in the ray path of the shorter of the two sub-beams from the beam splitter 3 to the retroreflector 9 an element of an optically denser medium, here a glass body 31 predetermined length, inserted so as to extend the optical path of the respective sub-beam and to the other, via the deflection mirror 30 adapted partial beam.
Das
in 10 gezeigte Ausführungsbeispiel unterscheidet
sich von dem nach 9 dadurch, dass der Glaskörper 32 als
Prismenkörper
ausgebildet ist und eine seiner Prismenflächen den Strahlteiler 3 bildet.
Zur Reduzierung von Dispersionseffekten ist der Prismenkörper 32 derart
ausgebildet, dass der von dem Retroreflektor 9 kommende
Strahl beim Eintritt in den Prismenkörper 32 dieselbe Brechung
erfährt
wie bei seinem Austritt aus dem Prismenkörper 32 an der den
Strahlteiler 3 bildenden Prismenfläche.This in 10 shown embodiment differs from the after 9 in that the vitreous body 32 is formed as a prism body and one of its prism faces the beam splitter 3 forms. To reduce dispersion effects is the prism body 32 formed such that of the retroreflector 9 incoming beam entering the prism body 32 the same refraction experiences as at its exit from the prism body 32 at the the beam splitter 3 forming prism surface.
Bei
dem Ausführungsbeispiel
nach 11 ist zur Reduzierung des Dispersionsproblems
ein zusätzlicher
Prismenkörper 33 vorhanden,
der an dem Prismenkörper 32 anliegt,
wobei die aneinander anliegenden Prismenflächen beider Prismenkörper 32 und 33 den
Strahlteiler 3 bilden. Alle Prismenflächen, durch die Strahlen in
die Prismenkörper 32, 33 ein- oder
austreten, sind senkrecht zu den betreffenden Strahlen ausgerichtet.According to the embodiment 11 is an additional prism body to reduce the dispersion problem 33 present at the prism body 32 is applied, wherein the abutting prism surfaces of both prism body 32 and 33 the beam splitter 3 form. All prism surfaces, through the rays in the prism body 32 . 33 enter or exit are aligned perpendicular to the respective rays.
Schließlich zeigt 12 ein
Ausführungsbeispiel,
bei dem im Unterschied zu den vorangegangenen Ausführungsbeispielen,
insbesondere nach 1, der rotierende Retroreflektor 9 die
in ihn geführten
Teilstrahlen 4, 5 nicht unmittelbar sondern nach
vorheriger Reflexion an zwei ortsfesten Retroreflektoren 34, 35 in
Richtung zu dem Strahlteiler 3 zurück reflektiert. Durch Verschieben
eines der beiden ortsfesten Retroreflektoren 34, 35 kann
die optische Weglänge
des betreffenden Teilstrahl variiert werden, um so in dem Interferometer
für beide
Teilstrahlen gleiche Weglängen
einstellen zu können.Finally shows 12 an embodiment in which, in contrast to the preceding embodiments, in particular according to 1 , the rotating retroreflector 9 the partial beams guided in it 4 . 5 not immediately but after previous reflection on two stationary retroreflectors 34 . 35 towards the beam splitter 3 reflected back. By moving one of the two stationary retroreflectors 34 . 35 the optical path length of the respective sub-beam can be varied so as to be able to set equal path lengths in the interferometer for both sub-beams.