DE102006035749A1 - Method for producing at least one component and component - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft unterschiedliche Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei, unter Verwendung mindestens eines Waschlacks strukturierte Schichten umfasst, sowie damit erhältliche Bauteile. Die erfindungsgemäßen Verfahren verwenden jeweils mindestens eine Waschlackschicht (50), die insbesondere multifunktional ausgebildet ist.The invention relates to different methods for producing at least one component which comprises at least two layers structured using at least one washcoat, and to components obtainable therewith. The processes according to the invention in each case use at least one washcoat layer (50), which is especially multifunctional.
Description
Die Erfindung betrifft unterschiedliche Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin Bauteile, die nach diesen Verfahren erhältlich sind, insbesondere elektrische Bauteile oder elektrische Schaltungen sowie Sicherheitselemente zur Sicherung von Wertdokumenten, wie Banknoten, Ausweise, Identifikationskarten, Urkunden und ähnlichem.The The invention relates to different processes for the production at least a component which has at least two structured layers includes. The invention further relates to components that after these Method available are, in particular electrical components or electrical circuits and security elements for securing value documents, such as Banknotes, identity cards, identification cards, certificates and the like.
Bauteile, die mindestens zwei strukturierte Schichten umfassen und die insbesondere aus dünnen, elektrischen Funktionsschichten aufgebaut werden, wobei u.a. organische Funktionsschichten zum Einsatz kommen, sind bekannt. Beim Aufbau solcher Bauteile bzw. elektrischer Bauelemente müssen die elektrischen Funktionsschichten strukturiert und außerdem zueinander genau justiert angeordnet werden, um die Funktionsfähigkeit und die gewünschte Leistungsfähigkeit des Bauteils zu gewährleisten.components which comprise at least two structured layers and in particular made of thin, electric Functional layers are constructed, with u.a. organic functional layers are used, are known. When building such components or electrical components must the electrical functional layers structured and also to each other be adjusted precisely to the functionality and the desired one capacity to ensure the component.
Gemäß
Die
Bei den bekannten Verfahren werden die Schichten eines Bauteils nacheinander gebildet und einzeln strukturiert, wodurch sich Justagefehler in der Anordnung der Schichten zueinander ergeben.at The known methods are the layers of a component in succession formed and individually structured, thereby adjusting error in the arrangement of the layers give each other.
So bewirkt der Auftrag weiterer Schichten des Bauteils sowie deren Strukturierung regelmäßig ein Verziehen eines flexiblen Substrats, das üblicherweise aus flexiblem Folienmaterial besteht und sowohl bei elektrischen Bauteilen wie auch bei Sicherheitselementen häufig als Träger für insbesondere dünne Schichten eingesetzt wird. Dadurch ergibt sich für jede weitere zu bildende Schicht eine andere Basis und die Anordnung und Dimensionierung im Hinblick auf die bereits auf dem Substrat gebildeten Schichten wird mit jeder neuen gebildeten Schicht schwieriger.So causes the order of further layers of the component and their Structuring regularly Warping a flexible substrate, usually made of flexible Foil material exists and both in electrical components such as also with security elements frequently as a carrier for in particular thin layers is used. This results for each other to be formed Layer another base and the arrangement and sizing with regard to the layers already formed on the substrate becomes more difficult with each new layer formed.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, die Herstellung von Bauteilen, welche mindestens zwei strukturierte Schichten umfassen, die zueinander positioniert werden sollen, zu verbessern. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, dadurch erhältliche Bauteile anzugeben.Of the The invention is based on the object, the production of components, which comprise at least two structured layers which are related to one another should be positioned to improve. The invention is still the task of specifying available components.
Die Aufgabe wird durch ein erstes Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten gelöst:
- – Bereitstellen eines Substrats;
- – Auftragen von mindestens zwei Schichten des mindestens einen Bauteils auf das Substrat, wobei die mindestens zwei Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen;
- – musterförmiges Auftragen mindestens einer ätzenden oder ätzresistenten Waschlackschicht zwischen den mindestens zwei Schichten derart dass die mindestens eine Waschlackschicht senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zwischen den mindestens zwei Schichten in mindestens einem Bereich angeordnet wird, in welchem die mindestens zwei Schichten überlappen oder aneinander angrenzen, und
- – Strukturieren der mindestens zwei Schichten, wobei unterschiedliche Funktionen der mindestens einen Waschlackschicht gleichzeitig oder nacheinander zur Strukturierung verwendet werden.
- - Providing a substrate;
- Applying at least two layers of the at least one component to the substrate, wherein the at least two layers, viewed at right angles to the plane of the substrate, overlap at least in regions and / or adjoin one another at least in regions parallel to the plane of the substrate;
- Patterned application of at least one etching or etching-resistant washcoat layer between the at least two layers such that the at least one washcoat layer perpendicular to the plane of the substrate is arranged between the at least two layers in at least one region in which the at least two layers overlap or adjoin one another, and
- - Structuring the at least two layers, wherein different functions of the at least one washcoat layer are used simultaneously or sequentially for structuring.
Die Aufgabe wird weiterhin durch ein zweites Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten gelöst:
- – Bereitstellen eines Substrats;
- – Auftragen vom mindestens zwei Schichten des mindestens einen Bauteils auf das Substrat, wobei die mindestens zwei Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen;
- – musterförmiges Auftragen mindestens einer Waschlackschicht zwischen dem Substrat und den mindestens zwei Schichten, wobei die mindestens eine Waschlackschicht derart angeordnet wird, dass beim Abwaschen der Waschlackschicht(en) eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt; und
- – Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht, wobei die Bereiche der Schicht(en) des Bauteils, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.
- - Providing a substrate;
- Applying at least two layers of the at least one component to the substrate, wherein the at least two layers, viewed at right angles to the plane of the substrate, overlap at least in regions and / or adjoin one another at least in regions parallel to the plane of the substrate;
- Pattern-wise application of at least one washcoat layer between the substrate and the at least two layers, wherein the at least one washcoat layer is arranged such that simultaneous washing of the washcoat layer (s) takes place of the at least two layers; and
- Washing off the at least one washcoat layer, wherein the regions of the layer (s) of the component which are arranged on the side of the at least one washcoat layer facing away from the substrate are removed.
Die Aufgabe wird für ein Bauteil, welches mindestens zwei strukturierte Schichten auf einem Substrat aufweist, welche jeweils senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens einen Schichtrand aufweisen, dadurch gelöst, dass die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm zueinander verlaufen. Ein solches Bauteil ist insbesondere erhältlich durch eines der erfindungsgemäßen Verfahren.The Task is for a component which has at least two structured layers a substrate, each perpendicular to the plane of Seen substrate have at least one layer edge, characterized solved, that the layer edges the at least two structured layers in at least one line-shaped area Seen perpendicular to the plane of the substrate congruent with a Tolerance of a maximum of ± 5 μm, in particular with a maximum tolerance of ± 100 nm. Such a component is in particular obtainable by one of the methods according to the invention.
Die erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren ermöglichen die exakte Strukturierung mehrerer Schichten eines Bauteils, insbesondere eine gleichzeitige oder nahezu gleichzeitige Strukturierung von unterschiedlichen Schichten des Bauteils mit mindestens einer Waschlackschicht. Dabei werden die strukturierten Schichten in einfacher Weise passergenau zueinander exakt positioniert. Ein Verzug des Substrats bei der Bildung der einzelnen Schichten fällt nicht mehr störend ins Gewicht, da aufgrund der erfindungsgemäßen Verfahren bei der Strukturierung mehrerer Schichten des Bauteils mit Hilfe mindestens einer Waschlackschicht der Verzug für jede Schicht gleichermaßen berücksichtigt wird. Die Anzahl an Wasch- und Ätzprozessen wird zudem vermindert.The inventive production process enable the exact structuring of several layers of a component, in particular a simultaneous or nearly simultaneous structuring of different layers of the component with at least one washcoat layer. At the same time, the structured layers are precisely aligned in a simple manner exactly positioned to each other. A distortion of the substrate in the Formation of the individual layers is no longer disturbing Weight, since due to the method according to the invention in the structuring several layers of the component by means of at least one washcoat layer of the Default for every layer alike considered becomes. The number of washing and etching processes is also reduced.
Bauteile gemäß der Erfindung zeichnen sich durch einen besonders geringen Platzbedarf aus, da im Design keine oder nahezu keine Registertoleranzen mehr berücksichtigt werden müssen.components according to the invention are characterized by a very small footprint, since The design takes no or almost no register tolerances into account Need to become.
Dadurch können besonders hochwertige Bauteile, insbesondere leistungsstarke elektrische Bauelemente oder besonders fälschungssichere Sicherheitselemente erzeugt werden. Bei einer Ausbildung mehrerer gleicher Bauteile nebeneinander auf einem Substrat wird so im Fall elektrischer Bauelemente erreicht, dass einerseits die Größe der einzelnen elektrischen Bauelemente verkleinert werden kann. Bei einer Verringerung der herkömmlichen Registertoleranz von ± 500 μm der einzelnen Schichten eines Bauelements zueinander auf eine Registertoleranz von ± 5 μm kann die Länge als auch die Breite eines Bauelements um knapp 1 mm auf eine Bauelementgröße von 100 μm × 100 μm verkleinert werden kann, was einer Flächenreduzierung von 1 mm2 auf 0,01 mm2 entspricht.As a result, particularly high-quality components, in particular high-performance electrical components or particularly forgery-proof security elements can be generated. In an embodiment of a plurality of identical components next to each other on a substrate is achieved in the case of electrical components, that on the one hand, the size of the individual electrical components can be reduced. With a reduction of the conventional register tolerance of ± 500 microns of the individual layers of a component to each other to a register tolerance of ± 5 microns, the length and the width of a device can be reduced by almost 1 mm to a device size of 100 microns x 100 microns, which a reduction in area of 1 mm 2 to 0.01 mm 2 corresponds.
Auch der Abstand der einzelnen Bauelemente zueinander kann deutlich, insbesondere auf 5 bis 20 μm, vermindert werden. Die Minimierung des Platzbedarfs der Bauelemente selbst und ihrer Abstände bringt Vorteile beim Einsatz der erfindungsgemäßen Bauelemente in elektronischen Schaltungen mit sich.Also the distance between the individual components can be clearly in particular to 5 to 20 μm, be reduced. The minimization of the space requirements of the components themselves and their distances brings advantages when using the components of the invention in electronic Circuits with it.
Eine Genauigkeit in der Strukturierung und Positionierung unterschiedlicher Schichten, wie sie durch die erfindungsgemäßen Verfahren erreicht wird, ist durch nacheinander gebildete und einzeln strukturierte Schichten bislang nicht erreicht worden.A Accuracy in the structuring and positioning of different Layers, as achieved by the methods according to the invention, is by successively formed and individually structured layers so far not achieved.
Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich bewährt, wenn mindestens eine ätzende Waschlackschicht verwendet wird, und beim Abwaschen der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht die Bereiche einer Schicht der mindestens zwei Schichten, die auf einer dem Substrat zugewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht angeordnet sind, durch Ätzen entfernt werden, und die Bereiche mindestens einer weiteren Schicht der mindestens zwei Schichten, die auf einer dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht angeordnet sind, durch das Abwaschen entfernt werden.For the first inventive method has it proven if at least one corrosive washcoat layer is used, and when washing the at least one corrosive Washcoat layer, the areas of a layer of at least two Layers on a side facing the substrate at least a corrosive Washcoat layer are arranged to be removed by etching, and the Areas of at least one further layer of the at least two layers, on a side facing away from the substrate of the at least one etching Washcoat layer are arranged to be removed by washing.
Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich weiterhin bewährt, wenn mindestens eine erste Schicht auf das Substrat aufgetragen wird, wenn eine erste ätzende Waschlackschicht, welche die erste Schicht ätzt, musterförmig zumindest teilweise auf die erste Schicht aufgetragen und getrocknet wird, wenn mindestens eine zweite Schicht zumindest teilweise auf die erste ätzende Waschlackschicht und weiterhin überlappend mit der ersten Schicht aufgebracht wird, und wenn anschließend die musterförmige, erste ätzende Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei zusammen mit der ersten ätzenden Waschlackschicht die senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen unter der ersten ätzenden Waschlackschicht liegenden Bereiche der ersten Schicht und die über der ersten ätzenden Waschlackschicht liegenden Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht entfernt werden.For the first method according to the invention, it has further proved useful if at least one first layer is applied to the substrate, if a first etching washcoat layer containing the first Etched layer, patterned at least partially applied to the first layer and dried when at least a second layer is at least partially applied to the first etching washcoat layer and further overlapping with the first layer, and then washed off the patterned, first etching washcoat layer, wherein together with the first etching washcoat layer, the regions of the first layer lying below the first etching washcoat layer perpendicular to the plane of the substrate and the regions of the at least one second layer lying above the first etching washcoat layer are removed.
Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich weiterhin bewährt, wenn mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht auf mindestens eine Schicht der mindestens zwei Schichten aufgebracht wird, wenn die mindestens eine Schicht in Bereichen, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, mittels Ätzen entfernt wird, wenn mindestens eine weitere Schicht der mindestens zwei Schichten derart aufgetragen wird, dass die mindestens eine weitere Schicht zumindest bereichsweise mit der ätzresistenten Waschlackschicht überlappt, und wenn die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen weiteren Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.For the first inventive method has it continued to prove itself if at least one etch resistant Washcoat layer on at least one layer of the at least two Layers is applied when the at least one layer in Areas not covered by the at least one etch-resistant washcoat layer covered by etching is removed if at least one more layer of at least two layers is applied such that the at least one further layer at least partially overlaps with the etch-resistant washcoat layer, and if the at least one etch resistant Washcoat layer is washed off, wherein the areas of at least another layer on the side facing away from the substrate the at least one etch-resistant Washcoat layer are arranged to be removed.
Dabei ist es bevorzugt, wenn die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht resistent gegen mindestens ein Ätzmittel ausgebildet wird.there it is preferred if the at least one etch-resistant washcoat layer resistant to at least one etchant is trained.
Es hat sich bewährt, wenn mindestens eine erste Schicht auf das Substrat aufgetragen wird, wenn eine erste ätzresistente Waschlackschicht musterförmig zumindest teilweise auf die mindestens eine erste Schicht aufgetragen und getrocknet wird, wenn die mindestens eine erste Schicht mittels Ätzens in Bereichen entfernt wird, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, wenn mindestens eine zweite Schicht des mindestens einen Bauteils aufgetragen wird derart, dass die mindestens eine zweite Schicht zumindest bereichsweise mit der ersten ätzresistenten Waschlackschicht überlappt, und die erste ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der ersten ätzresistenten Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.It has proved its worth, when at least a first layer is applied to the substrate is when a first etch resistant Washcoat layer patterned at least partially applied to the at least one first layer and dried when the at least one first layer by means of etching in Removed areas that are not with the at least one etch resistant Washcoat layer are covered, if at least a second layer the at least one component is applied such that the at least one second layer at least in regions with the first etch-resistant Washcoat overlaps, and the first etch-resistant Washcoat layer is washed off, wherein the areas of at least a second layer on the side facing away from the substrate the first etch-resistant Washcoat layer are arranged to be removed.
Für das zweite erfindungsgemäße Verfahren kann der mindestens eine Waschlack als ein herkömmlicher Waschlack oder als ein ätzender oder ätzresistenter Waschlack ausgebildet sein.For the second inventive method For example, the at least one washcoat can be used as a conventional washcoat or as a corrosive or more resistant to etching Wash lacquer be formed.
Das erste und das zweite erfindungsgemäße Verfahren können bei der Bildung eines Bauteils in beliebiger Kombination eingesetzt werden. Zudem hat es sich bewährt, wenn weiterhin musterförmig mindestens ein Ätzresist aufgetragen wird, welcher nach einem Trocknen und/oder Härten gegebenenfalls unlöslich ist. Unabhängig von der Ausbildung einer Strukturierung durch die mindestens eine Waschlackschicht kann dadurch mindestens eine weitere Schicht mittels Ätzens strukturiert werden.The the first and the second inventive method can in the formation of a component used in any combination become. In addition, it has proven itself if still patterned at least one etch resist is applied, which after drying and / or curing optionally insoluble is. Independently from the formation of a structuring by the at least one Wash-lacquer layer can thereby be structured by etching at least one further layer become.
Als Ätzresist wird bevorzugt ein thermisch trocknender Lack, ein strahlungsvernetzender Lack oder ein photostrukturierbarer Lack aufgetragen.As an etch resist is preferably a thermally drying paint, a radiation-crosslinking Paint or a photostrukturierbarer paint applied.
Es ist von Vorteil, dass die erfindungsgemäßen Verfahren es ermöglichen, dass der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils vollflächig erfolgen kann. Der großflächige, unstrukturierte Auftrag von Schichten hat sich bewährt, insbesondere für Metalle, anorganische Materialien und auch organische elektrische Funktionsschichten, da organische Schichten üblicherweise unter Einsatz sehr dünnflüssiger Medien ausgebildet werden, die zum Verlaufen neigen. Zudem sind in den Randbereichen einer aus einem solchen Medium gebildeten Schicht nach dem Trocknen Unebenheiten feststellbar, so dass die Schichtdicke der gebildeten Schicht nicht konstant ist.It It is advantageous that the methods according to the invention make it possible to that the order of at least one layer to be structured of Component over the entire surface can be done. The large-scale, unstructured order of layers has been proven especially for Metals, inorganic materials and also organic electrical Functional layers, since organic layers are usually used very low-viscosity media be formed, which tend to bleed. In addition, in the Edge regions of a layer formed from such a medium After drying unevenness can be determined, so that the layer thickness of the formed layer is not constant.
Der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils kann aber auch lediglich bereichsweise erfolgen. Dies lässt sich insbesondere für gesputterte, aufgedampfte oder gedruckte Schichten gut realisieren.Of the Application of at least one layer of the component to be structured but can also be done only partially. This is possible especially for sputtered, evaporated or printed layers well.
Es hat sich als besonders günstig erwiesen, wenn die mindestens eine Waschlackschicht derart angeordnet wird, dass sie auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens zwei Schichten des Bauteils bedeckt wird. Beim Abwaschen der Waschlackschicht erfolgt das gleichzeitige Strukturieren und exakte Justieren der mindestens zwei darauf angeordneten Schichten in einfacher, zeitsparender und kostengünstiger Weise.It has proved to be particularly favorable proven when the at least one washcoat layer arranged such is that they at least on their side facing away from the substrate partially covered by at least two layers of the component becomes. When washing the washcoat layer, the simultaneous structuring takes place and exact adjustment of the at least two layers arranged thereon in a simple, time-saving and cost-effective way.
Weiterhin hat es sich bewährt, wenn eine erste Waschlackschicht und mindestens eine weitere Waschlackschicht aufgebracht werden, wobei die erste Waschlackschicht auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer Schicht des Bauteils bedeckt wird und die mindestens eine weitere Waschlackschicht auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer weiteren Schicht des Bauteils bedeckt wird. Beim Abwaschen der ersten Waschlackschicht werden alle Bereiche der darauf angeordneten Schichten entfernt, wohingegen das Abwaschen der zweiten Waschlackschicht nur die Entfernung der Bereiche der Schichten bewirkt, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der zweiten Waschlackschicht angeordnet sind. Sind beispielsweise nach der musterförmigen ersten Waschlackschicht zwei Schichten vollflächig aufgebracht, werden dann eine zur ersten Waschlackschicht zumindest bereichsweise versetzt angeordnete musterförmige zweite Waschlackschicht und zwei weitere vollflächige Schichten gebildet, so ergeben sich nach dem Abwaschen der beiden Waschlackschichten strukturierte und zueinander justierte Schichten. Übereinstimmende, zueinander justierte Strukturierungen entstehen in allen vier Schichten aufgrund der ersten Waschlackschicht und übereinstimmende, zueinander justierte Strukturierungen der beiden zuletzt aufgebrachten Schichten entstehen aufgrund der zweiten Waschlackschicht. Durch geeignete Auswahl der Anzahl an Waschlackschichten, deren Art, deren Musterung sowie deren Ausrichtung zueinander, ergibt sich eine Vielzahl von Gestaltungsmöglichkeiten.Farther has it proven when a first washcoat layer and at least one further washcoat layer be applied, wherein the first washcoat layer on its the Substrate side facing away at least partially from at least a layer of the component is covered and the at least one further washcoat layer on its side facing away from the substrate at least in some areas of at least one further layer of the Component is covered. When washing off the first washcoat all areas of the layers arranged thereon are removed, whereas washing the second washcoat layer only removes it the areas of the layers which are facing away from the substrate Side of the second washcoat layer are arranged. For example after the patterned first washcoat layer applied two layers over the entire surface, then become an at least partially offset to the first washcoat layer arranged pattern-shaped second washcoat layer and two further full-surface layers formed, so arise after washing the two washcoat layers structured and aligned layers. Congruent, Structures adjusted to one another are created in all four layers due to the first washcoat layer and matching, to each other adjusted structuring of the two last applied layers arise due to the second washcoat layer. By suitable Selection of the number of washcoat layers, their type, their patterning As well as their orientation to each other, results in a variety of Design options.
Weiterhin hat es sich bewährt, wenn mindestens zwei bereichsweise angeordnete Schichten gebildet werden, welche aus unterschiedlichem Material gebildet werden und parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen, wobei eine Grenzlinie gebildet wird, und wobei senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine solche Grenzlinie auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht angeordnet wird. Durch eine derartige Verfahrensweise lassen sich auch definierte Abstände zwischen in einer Ebene angeordneten, unterschiedlichen Schichtmaterialen, die nacheinander gebildet werden, exakt einstellen, ohne dass eine aufwendige Positionierung des Substrats notwendig wäre oder die genauen Abmaße der Schichten im Bereich der Grenzlinie kritisch wären. So können die beiden unterschiedlichen Schichten im Bereich oberhalb der Waschlackschicht direkt aneinander angrenzen, einander überlappen oder voneinander beabstandet sein. In jedem dieser Fälle ist nach Abwaschen der Waschlackschicht zwischen den beiden unterschiedlichen Schichten der gleiche Abstand gebildet worden, da lediglich die Breite der Waschlackschicht diesen Abstand bestimmt.Farther has it proven if at least two regionally arranged layers are formed, which are made of different material and parallel At least partially to each other seen at the level of the substrate adjacent, wherein a boundary line is formed, and wherein perpendicular At least one such borderline is seen to the plane of the substrate on the side facing away from the substrate of the at least one washcoat layer is arranged. By such a procedure can be also defined distances between arranged in a plane, different layer materials, the be formed one after the other, set exactly, without any elaborate Positioning of the substrate would be necessary or the exact dimensions of the layers would be critical in the area of the borderline. So the two different Layers in the area above the washcoat layer directly to each other abut, overlap each other or spaced from each other. In each of these cases is after washing off the washcoat between the two different Layers of the same distance have been formed, since only the Width of the washcoat layer determines this distance.
Zudem hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn mindestens zwei Waschlackschichten aufgetragen werden, die in einem Waschbad löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten gleichzeitig in dem Waschbad erfolgt. Das erfindungsgemäße Verfahren kann dadurch besonders schnell und kostengünstig durchgeführt werden.moreover It has proven to be advantageous if at least two washcoat layers be applied, which are soluble in a washing bath, and that the washing off the at least two washcoat layers simultaneously in the wash bath he follows. The inventive method This can be done very quickly and inexpensively.
Im Hinblick auf den Schichtaufbau des zu bildenden Bauteils kann es zudem günstig sein, wenn mindestens zwei Waschlackschichten aufgetragen werden, die in unterschiedlichen Waschbädern löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten nacheinander in den unterschiedlichen Waschbädern erfolgt. Auf diese Weise kann beispielsweise nach dem Abwaschen einer ersten Waschlackschicht ein weiterer Auftrag von einer oder mehreren Schichten erfolgen, die nachfolgend beim Abwaschen einer weiteren, noch vorhandenen Waschlackschicht strukturiert werden.in the With regard to the layer structure of the component to be formed, it can also cheap be when at least two layers of washcoat are applied, in different baths soluble are, and that the washing off of the at least two washcoat layers successively done in the different washing baths. In this way For example, after washing a first washcoat layer another order is made by one or more layers, the following when washing another, still existing Washcoat layer are structured.
Als Waschflüssigkeit für ein Waschbad haben sich Wasser, unterschiedliche Laugen, unterschiedliche Säuren oder organische Lösungsmittel bewährt.When washing liquid for a Washing bath have water, different alkalis, different acids or organic solvents proven.
Es ist von Vorteil, wenn senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen eine jede Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite einer Waschlackschicht angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht löst. Ein Anlösen der Waschlackschicht(en) kann jedoch auch seitlich durch Anordnen von Aussparungen in Schichten des Bauteils erfolgen.It is advantageous when viewed perpendicular to the plane of the substrate each layer on the side facing away from the substrate Washcoat layer is arranged, permeable to at least one washing liquid is, which dissolves the respective washcoat. A dissolving of the washcoat layer (s) However, it can also be laterally arranged by placing recesses in layers of the component.
Zweckmäßig ist eine Schichtdicke einer mittels einer Waschlackschicht zu strukturierenden Schicht von < 1 μm. Eine Oberflächenrauhigkeit einer Waschlackschicht ist dabei vorzugsweise > 1 μm. Dadurch wird das Ablösen der mindestens einen Waschlackschicht beschleunigt. Alternativ kann aber auch ein Einsatz von Ultraschall oder eine mechanische Behandlung während des Waschprozesses erfolgen, um das vollständige Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht und darauf angeordneter Schichtbereiche zu gewährleisten.Is appropriate a layer thickness of a to be structured by means of a washcoat layer Layer of <1 μm. A surface roughness a washcoat layer is preferably> 1 micron. This will cause the peeling accelerates the at least one washcoat layer. Alternatively, you can but also a use of ultrasound or a mechanical treatment while the washing process done to the complete washing off the at least a washcoat layer and layer areas disposed thereon guarantee.
Das erfindungsgemäße Verfahren lässt sich noch dadurch variieren, dass senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite einer Waschlackschicht angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine erste Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht löst, und undurchlässig ist für eine zweite Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht ebenfalls löst.The method according to the invention can be further varied in that, viewed perpendicularly to the plane of the substrate, at least one layer which is arranged on the side of a washcoat layer facing away from the substrate is permeable to at least one first wash liquid containing the respective washcoat layer dissolves, and is impermeable to a second washing liquid, which also dissolves the respective washcoat layer.
Dadurch können selektiv Bereiche einer Waschlackschicht abgewaschen werden, die unter einer durchlässigen Schicht angeordnet sind, während andere Bereiche derselben Waschlackschicht, die unter einer undurchlässigen Schicht angeordnet sind, nicht gleichzeitig, sondern erst in einem weiteren Waschbad abgewaschen werden können. Dazwischen können weitere Schichten aufgetragen werden, so dass der Schichtaufbau des Bauteils noch vielseitiger gestaltet werden kann.Thereby can selectively wash away areas of a washcoat layer, the under a permeable Layer are arranged while other areas of the same washcoat layer under an impermeable layer are arranged, not at the same time, but only in another Washing bath can be washed off. In between can additional layers are applied so that the layer structure of the component can be made even more versatile.
Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn das Substrat aus einer flexiblen Folie, insbesondere einer Kunststofffolie, gebildet wird. Unter „flexibel" wird hier biegsam verstanden, wobei die Biegsamkeit eine Aufwicklung des Substrats auf einer Rolle und einen Transport des Substrats von einer Rolle zu einer weiteren Rolle ermöglicht. Die Kunststofffolie weist vorzugsweise eine Dicke im Bereich von 6 bis 200 μm auf. Geeignete Materialien für die Kunststofffolie sind unter anderem PET, PP oder PE. Weiterhin kann das Substrat einlagig oder mehrlagig ausgebildet sein, wobei Lagen aus unterschiedlichen Materialien miteinander kombiniert werden können. Außerdem kann das Substrat transparent sein. Dies ist insbesondere bei beidseitiger Nutzung des Substrats vorteilhaft.It has proven to be advantageous if the substrate of a flexible Foil, in particular a plastic film is formed. Under "flexible" here is flexible understood, wherein the flexibility of a winding of the substrate on a roll and a transport of the substrate from a roll allows for another role. The plastic film preferably has a thickness in the range of 6 to 200 μm on. Suitable materials for the plastic films are PET, PP or PE, among others. Farther the substrate may be formed in one or more layers, wherein Layers of different materials are combined with each other can. Furthermore the substrate can be transparent. This is especially true for bilateral Use of the substrate advantageous.
Es hat sich weiterhin bewährt, wenn das Substrat und das mindestens eine darauf gebildete Bauteil eine Transferfolie ausbilden, wobei zwischen dem Substrat und dem mindestens einen Bauteil eine Ablöseschicht angeordnet wird. Die Ablöseschicht ermöglicht ein Ablösen des mindestens einen Bauteils vom Substrat und den Übertrag auf einen anderen Träger. Die Schichten des mindestens einen Bauteils entsprechen dabei einer üblichen Übertragungslage einer Transferfolie, die insbesondere mittels Heiß- oder Kaltklebers auf dem anderen Träger fixiert wird.It has continued to prove itself when the substrate and the at least one component formed thereon a Form transfer film, wherein between the substrate and the at least a component a release layer is arranged. The release layer allows a detachment the at least one component from the substrate and the carry to another carrier. The layers of the at least one component correspond to a conventional transfer layer a transfer film, in particular by means of hot or Cold glue on the other carrier is fixed.
Besonders bevorzugt ist es, wenn das Substrat bandförmig ausgebildet wird und bei Durchführung des Verfahrens von Rolle zu Rolle transportiert wird. Dabei wird das Substrat kontinuierlich von einer Rolle abgewickelt, mindestens einer Beschichtungseinheit zum Auftrag der Schichten des Bauteils, der Waschlackschichten und gegebenenfalls des Ätzresists zugeführt, anschließend mindestens einem Waschbad und gegebenenfalls weiteren Bädern oder Behandlungseinrichtungen zugeführt, getrocknet und schließlich auf eine weitere Rolle aufgewickelt. Dabei können auf dem fertigen Rollenmaterial einzelne Bauteile oder miteinander verbundene Bauteile vorliegen, wobei nachfolgend eine Vereinzelung von Bauteilen oder Bauteilgruppen erfolgt.Especially it is preferred if the substrate is formed band-shaped and at execution of the process is transported from roll to roll. It will the substrate is unwound continuously from a roll, at least a coating unit for applying the layers of the component, the washcoat layers and optionally the Ätzresists supplied, then at least a wash bath and optionally other baths or treatment facilities supplied dried and finally wound up on another roll. It can on the finished roll material individual components or interconnected components are present, wherein subsequently a separation of components or component groups he follows.
Waschlacke, die sich für ein erfindungsgemäßes Verfahren eignen, weisen insbesondere mindestens ein polymeres Bindemittel mit sauren oder alkalischen Gruppen auf, so dass der getrocknete Waschlack im entsprechenden Waschbad löslich ist. Polymere Bindemittel, die in wässrigen Lösungen löslich sind, sind z.B. Acrylate mit Säuregruppen als funktionellen Gruppen (-SO3H,; -COOH) oder Amine mit basischen Gruppen (-N2H). Dabei sind herkömmliche Waschlacke ohne ätzende oder ätzresistente Zusatzfunktion bereits hinreichend bekannt. Hinsichtlich möglicher ätzender und ätzresistenter Waschlacke, welche demnach multifunktional ausgebildet sind, sind nachfolgend einige Beispiele aufgeführt.Washcoats which are suitable for a process according to the invention have in particular at least one polymeric binder with acidic or alkaline groups, so that the dried washcoat is soluble in the corresponding wash bath. Polymeric binders that are soluble in aqueous solutions include acrylates with acid groups as functional groups (-SO 3 H ,; -COOH) or amines with basic groups (-N 2 H). Conventional washcoats without corrosive or etch-resistant additional function are already sufficiently known. With regard to possible etching and etch-resistant washcoats, which are accordingly designed to be multifunctional, a few examples are listed below.
Es
hat sich bewährt,
wenn die mindestens eine ätzende
Waschlackschicht aus einem Waschlack folgender Zusammensetzung gebildet
wird:
Besonders
bewährt
hat sich eine erste ätzende
Waschlackzusammensetzung wie folgt:
Dieser erste ätzende Waschlack wird vorzugsweise auf eine Kupferschicht musterförmig aufgedruckt, getrocknet, die Kupferschicht und die erste Waschlackschicht mit Aluminium bedampft und schließlich die erste Waschlackschicht mit Wasser abgewaschen. Die Kupfer- und die Aluminiumschicht werden registergenau zueinander strukturiert.This first corrosive Washcoat is preferably printed on a copper layer pattern, dried, the copper layer and the first washcoat are steamed with aluminum and finally washed the first washcoat with water. The copper and The aluminum layer are structured in register with each other.
Die nun musterförmig strukturiert vorliegende Aluminiumschicht kann erneut musterförmig mit einem weiteren ätzenden Waschlack bedruckt werden und das Verfahren mit einer oder mehreren weiteren Schichten wiederholt werden.The now patterned structured present aluminum layer can again with pattern another corrosive Washcoat be printed and the process with one or more be repeated more layers.
Zum
musterförmigen
Bedrucken der Aluminiumschicht hat sich folgende ätzende weitere
Waschlackzusammensetzung bewährt:
Der weitere ätzende Waschlack wird getrocknet, das Schichtensystem beispielsweise mit Kupfer bedampft und schließlich die weitere Waschlackschicht mit Wasser abgewaschen.Of the further corrosive Wash is dried, the layer system, for example, with Copper steams and finally washed off the further washcoat with water.
Es
hat sich bewährt,
wenn die mindestens eine ätzresistente
Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet
wird:
Es
hat sich bewährt,
wenn mindestens eine erste ätzresistente
Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet
wird:
Weiterhin
hat es sich bewährt,
wenn mindestens eine zweite ätzresistente
Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet
wird:
Weiterhin
hat es sich bewährt,
wenn mindestens eine dritte ätzresistente
Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet
wird:
Der erste, zweite oder dritte ätzresistente Waschlack wird insbesondere auf eine Kupferschicht musterförmig aufgebracht und getrocknet. Es erfolgt ein Ätzen mit einer Eisen(III)Chloridlösung (50 %ig). Anschließend wird insbesondere eine Silberschicht aufgedampft und die ätzresistente Waschlackschicht mit 5–10 %iger Natronlauge abgewaschen.Of the first, second or third etch-resistant Wash lacquer is applied in particular pattern-wise on a copper layer and dried. There is an etching with an iron (III) chloride solution (50%). Subsequently In particular, a silver layer is vapor-deposited and the etch-resistant Washcoat with 5-10% Washed off sodium hydroxide solution.
Weiterhin hat es sich bewährt, den zweiten oder dritten ätzresistenten Waschlack insbesondere auf eine Aluminiumschicht musterförmig aufzubringen und zu trocknen. Es erfolgt ein Ätzen mit Phosphorsäure (1 %ig). Anschließend wird insbesondere eine Kupferschicht aufgedampft und die ätzresistente Waschlackschicht mit 5–10 %iger Natronlauge abgewaschen.Farther has it proven the second or third etch resistant Apply washcoat in particular pattern on an aluminum layer and to dry. There is an etching with phosphoric acid (1%). Subsequently In particular, a copper layer is vapor-deposited and the etch-resistant Washcoat with 5-10 Washed% sodium hydroxide solution.
Zum Auftragen der mindestens zwei Schichten des Bauteils haben sich folgende Verfahren bewährt: Sputtern, Aufdampfen, Drucken, Aufsprühen, Gießen und Lackieren, beziehungsweise beim Lackieren üblicherweise eingesetzte Verfahren. Dabei können die einzelnen Schichten durch gleiche oder unterschiedliche Verfahren gebildet werden. Als Strukturierungsverfahren haben sich insbesondere Druckprozesse wie der Tiefdruck-, Flexodruck- oder Offsetdruckverfahren, aber auch photolithographische Methoden bewährt.For applying the at least two layers of the component, the following methods have proven useful: sputtering, vapor deposition, printing, spraying, casting and painting, or during painting usually used methods. The individual layers can be formed by the same or different methods. As a structuring process, in particular printing processes such as Gravure printing, flexographic or offset printing processes, but also proven by photolithographic methods.
Zu strukturierende Schichten eines Bauteils können generell elektrisch leitende, elektrisch isolierende oder halbleitende Schichten sein. Im Bereich elektrischer Bauelemente sind vor allem die elektrischen Kennwerte einer solchen Schicht von Interesse, während bei Sicherheitselementen auch oder lediglich der optische Effekt zum Tragen kommt.To structuring layers of a component can generally electrically conductive, be electrically insulating or semiconducting layers. In the area Electrical components are above all the electrical characteristics of such a layer of interest, while in security elements or only the visual effect comes into play.
Es ist bevorzugt, wenn elektrisch leitende Schichten des Bauteils aus einem, auf Metall basierenden Material oder aus einem organischen Material gebildet werden. So haben sich für elektrische Bauelemente wie auch für Sicherheitselemente elektrisch leitende Materialien wie Gold, Silber, Kupfer oder Legierungen daraus bewährt. Als organische elektrisch leitende Materialien für elektrische Bauelemente oder Sicherheitselemente sind beispielsweise Polyanilin, Polypyrrol oder dotiertes Polyethylen geeignet. Sofern ein Sicherheitselement eine reflektive Schicht aufweisen soll, haben sich Aluminiumschichten bewährt.It is preferred when electrically conductive layers of the component a metal-based material or an organic one Material are formed. So have for electrical components as well for security elements electrically conductive materials such as gold, silver, copper or alloys proven from it. As organic electrically conductive materials for electrical components or Security elements are, for example, polyaniline, polypyrrole or doped polyethylene suitable. If a security element a have reflective layer, aluminum layers have proven.
Weiterhin hat es sich bewährt, wenn halbleitende Schichten des Bauteils aus organischem Material gebildet werden. Aber auch die Verwendung anorganischer halbleitender Materialien ist möglich. So haben sich als organische halbleitende Materialien konjugierte Polymere, wie Polythiophene, Polythienylenvinylene oder Polyfluorenderivate bewährt. Als organische halbleitende Schicht eignen sich auch Schichten aus sogenannten „small molecules", d.h. Oligomere wie Sexithiophen oder Pentacen.Farther has it proven when semiconducting layers of the component formed of organic material become. But also the use of inorganic semiconducting materials is possible. So have conjugated as organic semiconducting materials Polymers such as polythiophenes, polythienylenevinylenes or polyfluorene derivatives proven. As organic semiconductive layer are also suitable layers so-called "small molecules, i. Oligomers such as sexithiophene or pentacene.
Es ist bevorzugt, wenn elektrisch isolierende Schichten aus organischem oder anorganischem Material gebildet werden. Als anorganisches elektrisch isolierendes Funktionsschichtmaterial hat sich Siliziumoxid bewährt. Als elektrisch isolierendes organisches Material ist beispielsweise Polyvinylphenol geeignet. Für Sicherheitselemente sind unter anderem nicht-metallische, hochbrechende Materialien wie ZnS, TiO2 und ähnliches, sowie Kleberschichten und Lackschichten im Einsatz, welche transparent, opak und/oder gefärbt vorliegen können.It is preferred if electrically insulating layers of organic or inorganic material are formed. As inorganic electrically insulating functional layer material, silica has proven itself. As electrically insulating organic material, for example, polyvinylphenol is suitable. For security elements, non-metallic, high-index materials such as ZnS, TiO 2 and the like, as well as adhesive layers and paint layers are used, which may be transparent, opaque and / or colored.
Vorteilhafterweise wird nach dem Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht, und gegebenenfalls nach Durchführung von Ätzprozessen, senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine elektrisch leitende Verbindung zwischen mindestens zwei der mindestens zwei nunmehr strukturiert vorliegenden Schichten ausgebildet. Dadurch lassen sich einzelne elektrische Bauelemente oder Sicherheitselemente oder elektrische Funktionsschichten innerhalb eines elektrischen Bauelements oder eines Sicherheitselements in einfacher Weise elektrisch miteinander verschalten.advantageously, is after washing the at least one washcoat layer, and if necessary after implementation of etching processes, Seen at least one electrically perpendicular to the plane of the substrate conductive connection between at least two of the at least two now formed structured layers present. Thereby can be individual electrical components or safety elements or electrical functional layers within an electrical component or a security element in a simple manner electrically with each other boarded.
Für das erfindungsgemäße Bauteil ist besonders bevorzugt, wenn die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen deckungsgleich und toleranzlos zueinander verlaufen. Jegliche Lageabweichungen scheiden somit aus.For the component according to the invention is particularly preferred when the layer edges of the at least two structured Layers in at least one line-shaped area perpendicular to Level of the substrate seen congruent and without tolerance to each other run. Any position deviations are thus eliminated.
Für das Bauteil hat es sich weiterhin bewährt, wenn die mindestens zwei strukturierten Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen jeweils mindestens eine musterförmige Öffnung aufweisen, wobei die musterförmigen Öffnungen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.For the component has it continued to prove itself if the at least two structured layers are perpendicular to the Level of the substrate each have at least one pattern-shaped opening, the patterned openings congruent with a maximum tolerance of ± 5 microns, in particular with a tolerance of maximum ± 100 nm on top of each other are arranged.
Für das Bauteil hat es sich zudem bewährt, wenn senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine der mindestens zwei strukturierten Schichten mindestens eine musterförmige Öffnung aufweist und dass mindestens eine weitere der mindestens zwei Schichten in Form der musterförmigen Öffnung strukturiert ist, wobei die musterförmige Öffnung deckungsgleich zu der mindestens einen weiteren Schicht mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.For the component it has also proven itself when viewed perpendicular to the plane of the substrate, at least one of at least two structured layers has at least one pattern-shaped opening and that at least one more of the at least two layers in shape the patterned opening structured is, with the pattern-shaped opening congruent to the at least one further layer with a tolerance of maximum ± 5 μm, in particular are arranged one above the other with a maximum tolerance of ± 100 nm.
Es hat sich bewährt, wenn das Bauteil ein elektrisches Bauelement ist, welches mindestens zwei strukturierte Schichten in Form von elektrischen Funktionsschichten aufweist, wobei die mindestens zwei strukturierten elektrischen Funktionsschichten auf einem flexiblen Substrat angeordnet sind.It has proved its worth, if the component is an electrical component which at least two structured layers in the form of electrical functional layers wherein the at least two structured electrical Functional layers are arranged on a flexible substrate.
Ein erfindungsgemäßes elektrisches Bauelement wird vorzugsweise als ein organischer Feldeffekttransistor, eine organische Diode, ein organischer Kondensator, ein Widerstand oder eine Antenne ausgebildet. Auch ganze Bauelementgruppen in Form elektrischer Schaltungen können ausgebildet sein.One electrical according to the invention Device is preferably used as an organic field-effect transistor, an organic diode, an organic capacitor, a resistor or an antenna is formed. Also whole component groups in form electrical circuits can be educated.
Dabei hat es sich bewährt, wenn das elektrische Bauelement oder die elektrische Schaltung mit mindestens einer organischen Funktionsschicht ausgebildet ist.It has been proven that the electrical component or the electrical circuit with min at least one organic functional layer is formed.
Vorzugsweise wird als Bauteil auch ein Sicherheitselement zum Aufbringen und/oder Einbetten auf/in zu sichernde Wertdokumente oder Identifikationsdokumente ausgebildet, wobei die strukturierten Schichten elektrische Funktionsschichten und/oder dekorative Schichten ausbilden. Es kann sich hierbei um ein transmissives und/oder ein reflektives Sicherheitselement handeln, insbesondere um einen Sicherheitsfaden, ein Etikett, ein Overlay, ein Fensterelement oder ähnliches.Preferably As a component, a security element for applying and / or Embedding on / in value documents to be secured or identification documents formed, wherein the structured layers of electrical functional layers and / or form decorative layers. It can be around act a transmissive and / or a reflective security element, especially a security thread, a label, an overlay, a window element or the like.
Es ist bevorzugt, wenn das Sicherheitselement ein optisch variables Element aufweist, welches aus unterschiedlichen Blickwinkeln einen unterschiedlichen optischen Eindruck vermittelt. Geeignet sind hier optisch variable Elemente umfassend eine beugungsoptisch wirksame Struktur, insbesondere ein Hologramm oder ein Beugungsgitter, oder einen blickwinkelabhängigen Farbwechseleffekt erzeugende Elemente, insbesondere ein Dünnfilm-Interferenzschichtelement oder eine Schicht enthaltend Interferenzpigmente, Flüssigkristalle oder Flüssigkristallpigmente.It is preferred if the security element is an optically variable Element having which from different angles one gives a different visual impression. Suitable are here optically variable elements comprising a diffractive optical effective Structure, in particular a hologram or a diffraction grating, or a viewing angle dependent Color-change effect generating elements, in particular a thin-film interference layer element or a layer containing interference pigments, liquid crystals or liquid crystal pigments.
Eine Verwendung mindestens einer musterförmig strukturierten Waschlackschicht zur Strukturierung von mindestens zwei Schichten auf einem Substrat ist ideal, wobei
- a) die Waschlackschicht als ätzende Waschlackschicht ausgebildet wird und zwischen den mindestens zwei Schichten angeordnet wird, wobei durch Abwaschen der ätzenden Waschlackschicht eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt, und/oder indem
- b) die Waschlackschicht als ätzresistente Waschlackschicht ausgebildet wird, wobei nach einem Aufbringen der ätzresistenten Waschlackschicht auf eine erste Schicht der mindestens zwei Schichten die erste Schicht in Bereichen, die nicht von der ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, durch Ätzen entfernt wird, auf das Substrat mindestens eine zweite Schicht der mindestens zwei Schichten vollflächig aufgebracht wird, welche die ätzresistente Waschlackschicht bedeckt, und schließlich die ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, und/oder indem
- c) die mindestens eine Waschlackschicht musterförmig auf das, gegebenenfalls bereits mit weiteren Schichten versehene Substrat aufgebracht wird und die mindestens zwei Schichten auf der dem Substrat abgewandten Seite der Waschlackschicht vollflächig auf das Substrat aufgebracht werden, wobei durch Abwaschen der Waschlackschicht eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt.
- a) the washcoat layer is formed as a corrosive washcoat layer and is disposed between the at least two layers, wherein a simultaneous structuring of the at least two layers takes place by washing the etching washcoat layer, and / or by
- b) the washcoat layer is formed as an etching-resistant washcoat layer, wherein after the etching-resistant washcoat layer has been applied to a first layer of the at least two layers, the first layer is removed by etching in areas that are not covered by the etch-resistant washcoat layer second layer of at least two layers is applied over the entire surface, which covers the etch-resistant washcoat layer, and finally the etch-resistant washcoat layer is washed off, and / or by
- c) the at least one washcoat layer is applied in pattern form to the substrate, optionally already provided with further layers, and the at least two layers on the side of the washcoat layer facing away from the substrate are applied over the entire surface to the substrate, wherein a simultaneous structuring of the at least two by washing off the washcoat layer Layers done.
Die
Die
Zusammensetzung des ätzenden
Waschlacks zur Bildung der ätzenden
Waschlackschicht
Dabei
werden die Bereiche der ersten Schicht
Das
Substrat
Die
Zusammensetzung des Waschlacks zur Bildung der ätzresistenten Waschlackschicht
Das
Substrat
Die
musterförmig
strukturierten Schichten
Alternativ
kann auf das transparente Substrat
Das
Ergebnis nach dem Waschprozess ist in
Das
Ergebnis nach dem Waschprozess ist in
Das
Ergebnis nach dem Waschprozess ist in
Das
derart beschichtete Substrat
Das
Ergebnis nach dem ersten Waschprozess ist in
Nun
wird auf das Substrat gemäß
Daraufhin
wird das derart beschichtete Substrat
Das
Ergebnis nach dem Waschprozess ist in
Das
Ergebnis nach dem Waschprozess ist in
Das
Substrat
Das
resultierende Bauteil, das hier als optisches Sicherheitselement
ausgebildet ist, und dessen optisches Erscheinungsbild nach dem
Waschprozess auf der Vorderseite und der Rückseite des Substrats
Das
Substrat
Das
resultierende Bauteil, das hier als optisches Sicherheitselement
ausgebildet ist, und dessen optisches Erscheinungsbild nach dem
Waschprozess auf der Vorderseite und der Rückseite des Substrats
Im Hinblick auf die dargestellten Ausführungsbeispiele wird hinzugefügt, dass es selbstverständlich eine Vielzahl weitere, hier nicht dargestellte oder detailliert beschriebene Möglichkeiten gibt, Bauteile mittels der erfindungsgemäßen Verfahren zu bilden oder Schichten zu strukturieren. Dies erschließt sich einem Fachmann bereits in Kenntnis der vorliegenden Erfindung, ohne dass dieser dabei erfinderisch tätig werden müsste. Eine Kombination der erfindungsgemäßen Verfahren ist, wie bereits oben erwähnt, ohne weiteres durchführbar.in the With regard to the illustrated embodiments, it is added that it of course one Variety more, not shown here or described in detail options to form components by means of the inventive method or To structure layers. This is already apparent to a person skilled in the art aware of the present invention without being inventive Act would. A Combination of the methods of the invention is, as mentioned above, readily feasible.
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---|---|---|---|---|
EP2086033A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-05 | Applied Materials, Inc. | Method of coating a substrate and coating installation |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2403641A1 (en) * | 1973-01-25 | 1974-08-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | Forming fine patterns - by etching away layer between substrate and resist layer |
DE4301737C2 (en) * | 1992-01-23 | 2001-07-05 | Minnesota Mining & Mfg | Process for the production of flexible circuits |
DE10101926A1 (en) * | 2000-04-28 | 2001-10-31 | Merck Patent Gmbh | Etching pastes for inorganic surfaces |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4242378A (en) * | 1979-03-29 | 1980-12-30 | Reiko Co., Ltd. | Method of making a decorated film with a metal layer in the form of a given pattern |
JPS5978987A (en) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | マルイ工業株式会社 | Formation of pattern on metal coating |
US4610755A (en) * | 1985-04-16 | 1986-09-09 | Beckett Donald E | Demetallizing method |
JPH08186083A (en) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Hitachi Ltd | Metal film forming method |
DE19819571A1 (en) * | 1998-04-30 | 1999-11-04 | Giesecke & Devrient Gmbh | Security document with security element |
KR20050032114A (en) * | 2002-08-06 | 2005-04-06 | 아베시아 리미티드 | Organic electronic devices |
DE10254029A1 (en) * | 2002-11-20 | 2004-06-09 | Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg | Process for producing a partially metallized film element |
-
2006
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2403641A1 (en) * | 1973-01-25 | 1974-08-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | Forming fine patterns - by etching away layer between substrate and resist layer |
DE4301737C2 (en) * | 1992-01-23 | 2001-07-05 | Minnesota Mining & Mfg | Process for the production of flexible circuits |
DE10101926A1 (en) * | 2000-04-28 | 2001-10-31 | Merck Patent Gmbh | Etching pastes for inorganic surfaces |
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Publication number | Publication date |
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