DE102006035749A1 - Method for producing at least one component and component - Google Patents

Method for producing at least one component and component Download PDF

Info

Publication number
DE102006035749A1
DE102006035749A1 DE102006035749A DE102006035749A DE102006035749A1 DE 102006035749 A1 DE102006035749 A1 DE 102006035749A1 DE 102006035749 A DE102006035749 A DE 102006035749A DE 102006035749 A DE102006035749 A DE 102006035749A DE 102006035749 A1 DE102006035749 A1 DE 102006035749A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
washcoat
layers
substrate
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102006035749A
Other languages
German (de)
Inventor
Mathias Dr. Seitz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leonhard Kurz Stiftung and Co KG
Original Assignee
Leonhard Kurz GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leonhard Kurz GmbH and Co KG filed Critical Leonhard Kurz GmbH and Co KG
Priority to DE102006035749A priority Critical patent/DE102006035749A1/en
Priority to PCT/EP2007/006597 priority patent/WO2008012080A1/en
Publication of DE102006035749A1 publication Critical patent/DE102006035749A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/04Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed mechanically, e.g. by punching
    • H05K3/046Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed mechanically, e.g. by punching by selective transfer or selective detachment of a conductive layer
    • H05K3/048Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed mechanically, e.g. by punching by selective transfer or selective detachment of a conductive layer using a lift-off resist pattern or a release layer pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/067Etchants
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/20Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
    • H10K71/221Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by lift-off techniques
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/20Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
    • H10K71/231Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/60Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/16Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
    • H05K1/162Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed capacitors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/16Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
    • H05K1/167Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed resistors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/05Patterning and lithography; Masks; Details of resist
    • H05K2203/0562Details of resist
    • H05K2203/0571Dual purpose resist, e.g. etch resist used as solder resist, solder resist used as plating resist
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/061Etching masks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/621Providing a shape to conductive layers, e.g. patterning or selective deposition

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft unterschiedliche Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei, unter Verwendung mindestens eines Waschlacks strukturierte Schichten umfasst, sowie damit erhältliche Bauteile. Die erfindungsgemäßen Verfahren verwenden jeweils mindestens eine Waschlackschicht (50), die insbesondere multifunktional ausgebildet ist.The invention relates to different methods for producing at least one component which comprises at least two layers structured using at least one washcoat, and to components obtainable therewith. The processes according to the invention in each case use at least one washcoat layer (50), which is especially multifunctional.

Description

Die Erfindung betrifft unterschiedliche Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin Bauteile, die nach diesen Verfahren erhältlich sind, insbesondere elektrische Bauteile oder elektrische Schaltungen sowie Sicherheitselemente zur Sicherung von Wertdokumenten, wie Banknoten, Ausweise, Identifikationskarten, Urkunden und ähnlichem.The The invention relates to different processes for the production at least a component which has at least two structured layers includes. The invention further relates to components that after these Method available are, in particular electrical components or electrical circuits and security elements for securing value documents, such as Banknotes, identity cards, identification cards, certificates and the like.

Bauteile, die mindestens zwei strukturierte Schichten umfassen und die insbesondere aus dünnen, elektrischen Funktionsschichten aufgebaut werden, wobei u.a. organische Funktionsschichten zum Einsatz kommen, sind bekannt. Beim Aufbau solcher Bauteile bzw. elektrischer Bauelemente müssen die elektrischen Funktionsschichten strukturiert und außerdem zueinander genau justiert angeordnet werden, um die Funktionsfähigkeit und die gewünschte Leistungsfähigkeit des Bauteils zu gewährleisten.components which comprise at least two structured layers and in particular made of thin, electric Functional layers are constructed, with u.a. organic functional layers are used, are known. When building such components or electrical components must the electrical functional layers structured and also to each other be adjusted precisely to the functionality and the desired one capacity to ensure the component.

Gemäß DE 103 49 963 A1 erfolgt die Strukturierung einer elektrischen Funktionsschicht mittels einer musterförmig auf einem Foliensubstrat aufgebrachten, Strahlungs-vernetzbaren Waschlackschicht. Die Waschlackschicht wird dabei musterförmig auf eine Grundfolie aufgebracht, durch Bestrahlung gehärtet, mit der elektrischen Funktionsschicht beschichtet und anschließend die Waschlackschicht in einem Waschprozess entfernt. Gleichzeitig mit der Waschlackschicht werden die Bereiche der elektrischen Funktionsschicht entfernt, die sich auf der Waschlackschicht befinden, während die Bereiche der elektrischen Funktionsschicht, die auf der Grundfolie angeordnet sind, auf der Grundfolie verbleiben und eine strukturierte Funktionsschicht ausbilden. Das in DE 103 49 963 A1 beschriebene Verfahren eignet sich zur Herstellung einer Folie mit zumindest einem elektrischen Bauelement, welches insbesondere zumindest eine Schicht aus einem organischen Halbleiter-Material umfasst.According to DE 103 49 963 A1 the patterning of an electrical functional layer takes place by means of a radiation-crosslinkable washcoat layer applied in pattern form to a film substrate. The washcoat layer is applied in pattern form to a base film, cured by irradiation, coated with the electrical functional layer and then removed the washcoat layer in a washing process. Simultaneously with the washcoat layer, the regions of the electrical functional layer that are located on the washcoat layer are removed, while the regions of the electrical functional layer that are arranged on the basecoat remain on the basecoat and form a structured functional layer. This in DE 103 49 963 A1 described method is suitable for producing a film having at least one electrical component, which in particular comprises at least one layer of an organic semiconductor material.

Die DE 101 30 992 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines polymerfreien Bereichs auf einem Substrat, wobei eine Peelingschicht eingesetzt wird. Die Peelingschicht wird dabei musterförmig auf das Substrat aufgebracht, getrocknet und anschließend mit einer polymeren Funktionsschicht, beispielsweise zur Bildung einer organischen Leuchtdiode (OLED), im Spincoating-Verfahren beschichtet. Daraufhin wird die Peelingschicht vom Substrat mittels Abziehen und/oder Vakuum entfernt, wobei ein polymerfreier Bereich auf dem Substrat ausgebildet wird. Der polymerfreie Bereich wird als Bondbereich oder als Klebebereich zum Befestigen von Dioden-Schutzkappen eingesetzt.The DE 101 30 992 A1 describes a method of making a polymer-free region on a substrate using an exfoliating layer. The scrub layer is applied in pattern form to the substrate, dried and then coated with a polymeric functional layer, for example, to form an organic light-emitting diode (OLED), in the spin coating process. Thereafter, the scrub layer is removed from the substrate by stripping and / or vacuum, forming a polymer-free region on the substrate. The polymer-free area is used as a bonding area or as an adhesive area for attaching diode protective caps.

Bei den bekannten Verfahren werden die Schichten eines Bauteils nacheinander gebildet und einzeln strukturiert, wodurch sich Justagefehler in der Anordnung der Schichten zueinander ergeben.at The known methods are the layers of a component in succession formed and individually structured, thereby adjusting error in the arrangement of the layers give each other.

So bewirkt der Auftrag weiterer Schichten des Bauteils sowie deren Strukturierung regelmäßig ein Verziehen eines flexiblen Substrats, das üblicherweise aus flexiblem Folienmaterial besteht und sowohl bei elektrischen Bauteilen wie auch bei Sicherheitselementen häufig als Träger für insbesondere dünne Schichten eingesetzt wird. Dadurch ergibt sich für jede weitere zu bildende Schicht eine andere Basis und die Anordnung und Dimensionierung im Hinblick auf die bereits auf dem Substrat gebildeten Schichten wird mit jeder neuen gebildeten Schicht schwieriger.So causes the order of further layers of the component and their Structuring regularly Warping a flexible substrate, usually made of flexible Foil material exists and both in electrical components such as also with security elements frequently as a carrier for in particular thin layers is used. This results for each other to be formed Layer another base and the arrangement and sizing with regard to the layers already formed on the substrate becomes more difficult with each new layer formed.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, die Herstellung von Bauteilen, welche mindestens zwei strukturierte Schichten umfassen, die zueinander positioniert werden sollen, zu verbessern. Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, dadurch erhältliche Bauteile anzugeben.Of the The invention is based on the object, the production of components, which comprise at least two structured layers which are related to one another should be positioned to improve. The invention is still the task of specifying available components.

Die Aufgabe wird durch ein erstes Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten gelöst:

  • – Bereitstellen eines Substrats;
  • – Auftragen von mindestens zwei Schichten des mindestens einen Bauteils auf das Substrat, wobei die mindestens zwei Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen;
  • – musterförmiges Auftragen mindestens einer ätzenden oder ätzresistenten Waschlackschicht zwischen den mindestens zwei Schichten derart dass die mindestens eine Waschlackschicht senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zwischen den mindestens zwei Schichten in mindestens einem Bereich angeordnet wird, in welchem die mindestens zwei Schichten überlappen oder aneinander angrenzen, und
  • – Strukturieren der mindestens zwei Schichten, wobei unterschiedliche Funktionen der mindestens einen Waschlackschicht gleichzeitig oder nacheinander zur Strukturierung verwendet werden.
The object is achieved by a first method for producing at least one component, which comprises at least two structured layers, with the following steps:
  • - Providing a substrate;
  • Applying at least two layers of the at least one component to the substrate, wherein the at least two layers, viewed at right angles to the plane of the substrate, overlap at least in regions and / or adjoin one another at least in regions parallel to the plane of the substrate;
  • Patterned application of at least one etching or etching-resistant washcoat layer between the at least two layers such that the at least one washcoat layer perpendicular to the plane of the substrate is arranged between the at least two layers in at least one region in which the at least two layers overlap or adjoin one another, and
  • - Structuring the at least two layers, wherein different functions of the at least one washcoat layer are used simultaneously or sequentially for structuring.

Die Aufgabe wird weiterhin durch ein zweites Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten gelöst:

  • – Bereitstellen eines Substrats;
  • – Auftragen vom mindestens zwei Schichten des mindestens einen Bauteils auf das Substrat, wobei die mindestens zwei Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen;
  • – musterförmiges Auftragen mindestens einer Waschlackschicht zwischen dem Substrat und den mindestens zwei Schichten, wobei die mindestens eine Waschlackschicht derart angeordnet wird, dass beim Abwaschen der Waschlackschicht(en) eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt; und
  • – Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht, wobei die Bereiche der Schicht(en) des Bauteils, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.
The object is further achieved by a second method for producing at least one component, which comprises at least two structured layers, with the following steps:
  • - Providing a substrate;
  • Applying at least two layers of the at least one component to the substrate, wherein the at least two layers, viewed at right angles to the plane of the substrate, overlap at least in regions and / or adjoin one another at least in regions parallel to the plane of the substrate;
  • Pattern-wise application of at least one washcoat layer between the substrate and the at least two layers, wherein the at least one washcoat layer is arranged such that simultaneous washing of the washcoat layer (s) takes place of the at least two layers; and
  • Washing off the at least one washcoat layer, wherein the regions of the layer (s) of the component which are arranged on the side of the at least one washcoat layer facing away from the substrate are removed.

Die Aufgabe wird für ein Bauteil, welches mindestens zwei strukturierte Schichten auf einem Substrat aufweist, welche jeweils senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens einen Schichtrand aufweisen, dadurch gelöst, dass die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm zueinander verlaufen. Ein solches Bauteil ist insbesondere erhältlich durch eines der erfindungsgemäßen Verfahren.The Task is for a component which has at least two structured layers a substrate, each perpendicular to the plane of Seen substrate have at least one layer edge, characterized solved, that the layer edges the at least two structured layers in at least one line-shaped area Seen perpendicular to the plane of the substrate congruent with a Tolerance of a maximum of ± 5 μm, in particular with a maximum tolerance of ± 100 nm. Such a component is in particular obtainable by one of the methods according to the invention.

Die erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren ermöglichen die exakte Strukturierung mehrerer Schichten eines Bauteils, insbesondere eine gleichzeitige oder nahezu gleichzeitige Strukturierung von unterschiedlichen Schichten des Bauteils mit mindestens einer Waschlackschicht. Dabei werden die strukturierten Schichten in einfacher Weise passergenau zueinander exakt positioniert. Ein Verzug des Substrats bei der Bildung der einzelnen Schichten fällt nicht mehr störend ins Gewicht, da aufgrund der erfindungsgemäßen Verfahren bei der Strukturierung mehrerer Schichten des Bauteils mit Hilfe mindestens einer Waschlackschicht der Verzug für jede Schicht gleichermaßen berücksichtigt wird. Die Anzahl an Wasch- und Ätzprozessen wird zudem vermindert.The inventive production process enable the exact structuring of several layers of a component, in particular a simultaneous or nearly simultaneous structuring of different layers of the component with at least one washcoat layer. At the same time, the structured layers are precisely aligned in a simple manner exactly positioned to each other. A distortion of the substrate in the Formation of the individual layers is no longer disturbing Weight, since due to the method according to the invention in the structuring several layers of the component by means of at least one washcoat layer of the Default for every layer alike considered becomes. The number of washing and etching processes is also reduced.

Bauteile gemäß der Erfindung zeichnen sich durch einen besonders geringen Platzbedarf aus, da im Design keine oder nahezu keine Registertoleranzen mehr berücksichtigt werden müssen.components according to the invention are characterized by a very small footprint, since The design takes no or almost no register tolerances into account Need to become.

Dadurch können besonders hochwertige Bauteile, insbesondere leistungsstarke elektrische Bauelemente oder besonders fälschungssichere Sicherheitselemente erzeugt werden. Bei einer Ausbildung mehrerer gleicher Bauteile nebeneinander auf einem Substrat wird so im Fall elektrischer Bauelemente erreicht, dass einerseits die Größe der einzelnen elektrischen Bauelemente verkleinert werden kann. Bei einer Verringerung der herkömmlichen Registertoleranz von ± 500 μm der einzelnen Schichten eines Bauelements zueinander auf eine Registertoleranz von ± 5 μm kann die Länge als auch die Breite eines Bauelements um knapp 1 mm auf eine Bauelementgröße von 100 μm × 100 μm verkleinert werden kann, was einer Flächenreduzierung von 1 mm2 auf 0,01 mm2 entspricht.As a result, particularly high-quality components, in particular high-performance electrical components or particularly forgery-proof security elements can be generated. In an embodiment of a plurality of identical components next to each other on a substrate is achieved in the case of electrical components, that on the one hand, the size of the individual electrical components can be reduced. With a reduction of the conventional register tolerance of ± 500 microns of the individual layers of a component to each other to a register tolerance of ± 5 microns, the length and the width of a device can be reduced by almost 1 mm to a device size of 100 microns x 100 microns, which a reduction in area of 1 mm 2 to 0.01 mm 2 corresponds.

Auch der Abstand der einzelnen Bauelemente zueinander kann deutlich, insbesondere auf 5 bis 20 μm, vermindert werden. Die Minimierung des Platzbedarfs der Bauelemente selbst und ihrer Abstände bringt Vorteile beim Einsatz der erfindungsgemäßen Bauelemente in elektronischen Schaltungen mit sich.Also the distance between the individual components can be clearly in particular to 5 to 20 μm, be reduced. The minimization of the space requirements of the components themselves and their distances brings advantages when using the components of the invention in electronic Circuits with it.

Eine Genauigkeit in der Strukturierung und Positionierung unterschiedlicher Schichten, wie sie durch die erfindungsgemäßen Verfahren erreicht wird, ist durch nacheinander gebildete und einzeln strukturierte Schichten bislang nicht erreicht worden.A Accuracy in the structuring and positioning of different Layers, as achieved by the methods according to the invention, is by successively formed and individually structured layers so far not achieved.

Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich bewährt, wenn mindestens eine ätzende Waschlackschicht verwendet wird, und beim Abwaschen der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht die Bereiche einer Schicht der mindestens zwei Schichten, die auf einer dem Substrat zugewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht angeordnet sind, durch Ätzen entfernt werden, und die Bereiche mindestens einer weiteren Schicht der mindestens zwei Schichten, die auf einer dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht angeordnet sind, durch das Abwaschen entfernt werden.For the first inventive method has it proven if at least one corrosive washcoat layer is used, and when washing the at least one corrosive Washcoat layer, the areas of a layer of at least two Layers on a side facing the substrate at least a corrosive Washcoat layer are arranged to be removed by etching, and the Areas of at least one further layer of the at least two layers, on a side facing away from the substrate of the at least one etching Washcoat layer are arranged to be removed by washing.

Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich weiterhin bewährt, wenn mindestens eine erste Schicht auf das Substrat aufgetragen wird, wenn eine erste ätzende Waschlackschicht, welche die erste Schicht ätzt, musterförmig zumindest teilweise auf die erste Schicht aufgetragen und getrocknet wird, wenn mindestens eine zweite Schicht zumindest teilweise auf die erste ätzende Waschlackschicht und weiterhin überlappend mit der ersten Schicht aufgebracht wird, und wenn anschließend die musterförmige, erste ätzende Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei zusammen mit der ersten ätzenden Waschlackschicht die senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen unter der ersten ätzenden Waschlackschicht liegenden Bereiche der ersten Schicht und die über der ersten ätzenden Waschlackschicht liegenden Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht entfernt werden.For the first method according to the invention, it has further proved useful if at least one first layer is applied to the substrate, if a first etching washcoat layer containing the first Etched layer, patterned at least partially applied to the first layer and dried when at least a second layer is at least partially applied to the first etching washcoat layer and further overlapping with the first layer, and then washed off the patterned, first etching washcoat layer, wherein together with the first etching washcoat layer, the regions of the first layer lying below the first etching washcoat layer perpendicular to the plane of the substrate and the regions of the at least one second layer lying above the first etching washcoat layer are removed.

Für das erste erfindungsgemäße Verfahren hat es sich weiterhin bewährt, wenn mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht auf mindestens eine Schicht der mindestens zwei Schichten aufgebracht wird, wenn die mindestens eine Schicht in Bereichen, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, mittels Ätzen entfernt wird, wenn mindestens eine weitere Schicht der mindestens zwei Schichten derart aufgetragen wird, dass die mindestens eine weitere Schicht zumindest bereichsweise mit der ätzresistenten Waschlackschicht überlappt, und wenn die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen weiteren Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.For the first inventive method has it continued to prove itself if at least one etch resistant Washcoat layer on at least one layer of the at least two Layers is applied when the at least one layer in Areas not covered by the at least one etch-resistant washcoat layer covered by etching is removed if at least one more layer of at least two layers is applied such that the at least one further layer at least partially overlaps with the etch-resistant washcoat layer, and if the at least one etch resistant Washcoat layer is washed off, wherein the areas of at least another layer on the side facing away from the substrate the at least one etch-resistant Washcoat layer are arranged to be removed.

Dabei ist es bevorzugt, wenn die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht resistent gegen mindestens ein Ätzmittel ausgebildet wird.there it is preferred if the at least one etch-resistant washcoat layer resistant to at least one etchant is trained.

Es hat sich bewährt, wenn mindestens eine erste Schicht auf das Substrat aufgetragen wird, wenn eine erste ätzresistente Waschlackschicht musterförmig zumindest teilweise auf die mindestens eine erste Schicht aufgetragen und getrocknet wird, wenn die mindestens eine erste Schicht mittels Ätzens in Bereichen entfernt wird, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, wenn mindestens eine zweite Schicht des mindestens einen Bauteils aufgetragen wird derart, dass die mindestens eine zweite Schicht zumindest bereichsweise mit der ersten ätzresistenten Waschlackschicht überlappt, und die erste ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der ersten ätzresistenten Waschlackschicht angeordnet sind, entfernt werden.It has proved its worth, when at least a first layer is applied to the substrate is when a first etch resistant Washcoat layer patterned at least partially applied to the at least one first layer and dried when the at least one first layer by means of etching in Removed areas that are not with the at least one etch resistant Washcoat layer are covered, if at least a second layer the at least one component is applied such that the at least one second layer at least in regions with the first etch-resistant Washcoat overlaps, and the first etch-resistant Washcoat layer is washed off, wherein the areas of at least a second layer on the side facing away from the substrate the first etch-resistant Washcoat layer are arranged to be removed.

Für das zweite erfindungsgemäße Verfahren kann der mindestens eine Waschlack als ein herkömmlicher Waschlack oder als ein ätzender oder ätzresistenter Waschlack ausgebildet sein.For the second inventive method For example, the at least one washcoat can be used as a conventional washcoat or as a corrosive or more resistant to etching Wash lacquer be formed.

Das erste und das zweite erfindungsgemäße Verfahren können bei der Bildung eines Bauteils in beliebiger Kombination eingesetzt werden. Zudem hat es sich bewährt, wenn weiterhin musterförmig mindestens ein Ätzresist aufgetragen wird, welcher nach einem Trocknen und/oder Härten gegebenenfalls unlöslich ist. Unabhängig von der Ausbildung einer Strukturierung durch die mindestens eine Waschlackschicht kann dadurch mindestens eine weitere Schicht mittels Ätzens strukturiert werden.The the first and the second inventive method can in the formation of a component used in any combination become. In addition, it has proven itself if still patterned at least one etch resist is applied, which after drying and / or curing optionally insoluble is. Independently from the formation of a structuring by the at least one Wash-lacquer layer can thereby be structured by etching at least one further layer become.

Als Ätzresist wird bevorzugt ein thermisch trocknender Lack, ein strahlungsvernetzender Lack oder ein photostrukturierbarer Lack aufgetragen.As an etch resist is preferably a thermally drying paint, a radiation-crosslinking Paint or a photostrukturierbarer paint applied.

Es ist von Vorteil, dass die erfindungsgemäßen Verfahren es ermöglichen, dass der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils vollflächig erfolgen kann. Der großflächige, unstrukturierte Auftrag von Schichten hat sich bewährt, insbesondere für Metalle, anorganische Materialien und auch organische elektrische Funktionsschichten, da organische Schichten üblicherweise unter Einsatz sehr dünnflüssiger Medien ausgebildet werden, die zum Verlaufen neigen. Zudem sind in den Randbereichen einer aus einem solchen Medium gebildeten Schicht nach dem Trocknen Unebenheiten feststellbar, so dass die Schichtdicke der gebildeten Schicht nicht konstant ist.It It is advantageous that the methods according to the invention make it possible to that the order of at least one layer to be structured of Component over the entire surface can be done. The large-scale, unstructured order of layers has been proven especially for Metals, inorganic materials and also organic electrical Functional layers, since organic layers are usually used very low-viscosity media be formed, which tend to bleed. In addition, in the Edge regions of a layer formed from such a medium After drying unevenness can be determined, so that the layer thickness of the formed layer is not constant.

Der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils kann aber auch lediglich bereichsweise erfolgen. Dies lässt sich insbesondere für gesputterte, aufgedampfte oder gedruckte Schichten gut realisieren.Of the Application of at least one layer of the component to be structured but can also be done only partially. This is possible especially for sputtered, evaporated or printed layers well.

Es hat sich als besonders günstig erwiesen, wenn die mindestens eine Waschlackschicht derart angeordnet wird, dass sie auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens zwei Schichten des Bauteils bedeckt wird. Beim Abwaschen der Waschlackschicht erfolgt das gleichzeitige Strukturieren und exakte Justieren der mindestens zwei darauf angeordneten Schichten in einfacher, zeitsparender und kostengünstiger Weise.It has proved to be particularly favorable proven when the at least one washcoat layer arranged such is that they at least on their side facing away from the substrate partially covered by at least two layers of the component becomes. When washing the washcoat layer, the simultaneous structuring takes place and exact adjustment of the at least two layers arranged thereon in a simple, time-saving and cost-effective way.

Weiterhin hat es sich bewährt, wenn eine erste Waschlackschicht und mindestens eine weitere Waschlackschicht aufgebracht werden, wobei die erste Waschlackschicht auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer Schicht des Bauteils bedeckt wird und die mindestens eine weitere Waschlackschicht auf ihrer dem Substrat abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer weiteren Schicht des Bauteils bedeckt wird. Beim Abwaschen der ersten Waschlackschicht werden alle Bereiche der darauf angeordneten Schichten entfernt, wohingegen das Abwaschen der zweiten Waschlackschicht nur die Entfernung der Bereiche der Schichten bewirkt, die auf der dem Substrat abgewandten Seite der zweiten Waschlackschicht angeordnet sind. Sind beispielsweise nach der musterförmigen ersten Waschlackschicht zwei Schichten vollflächig aufgebracht, werden dann eine zur ersten Waschlackschicht zumindest bereichsweise versetzt angeordnete musterförmige zweite Waschlackschicht und zwei weitere vollflächige Schichten gebildet, so ergeben sich nach dem Abwaschen der beiden Waschlackschichten strukturierte und zueinander justierte Schichten. Übereinstimmende, zueinander justierte Strukturierungen entstehen in allen vier Schichten aufgrund der ersten Waschlackschicht und übereinstimmende, zueinander justierte Strukturierungen der beiden zuletzt aufgebrachten Schichten entstehen aufgrund der zweiten Waschlackschicht. Durch geeignete Auswahl der Anzahl an Waschlackschichten, deren Art, deren Musterung sowie deren Ausrichtung zueinander, ergibt sich eine Vielzahl von Gestaltungsmöglichkeiten.Farther has it proven when a first washcoat layer and at least one further washcoat layer be applied, wherein the first washcoat layer on its the Substrate side facing away at least partially from at least a layer of the component is covered and the at least one further washcoat layer on its side facing away from the substrate at least in some areas of at least one further layer of the Component is covered. When washing off the first washcoat all areas of the layers arranged thereon are removed, whereas washing the second washcoat layer only removes it the areas of the layers which are facing away from the substrate Side of the second washcoat layer are arranged. For example after the patterned first washcoat layer applied two layers over the entire surface, then become an at least partially offset to the first washcoat layer arranged pattern-shaped second washcoat layer and two further full-surface layers formed, so arise after washing the two washcoat layers structured and aligned layers. Congruent, Structures adjusted to one another are created in all four layers due to the first washcoat layer and matching, to each other adjusted structuring of the two last applied layers arise due to the second washcoat layer. By suitable Selection of the number of washcoat layers, their type, their patterning As well as their orientation to each other, results in a variety of Design options.

Weiterhin hat es sich bewährt, wenn mindestens zwei bereichsweise angeordnete Schichten gebildet werden, welche aus unterschiedlichem Material gebildet werden und parallel zur Ebene des Substrats gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen, wobei eine Grenzlinie gebildet wird, und wobei senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine solche Grenzlinie auf der dem Substrat abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht angeordnet wird. Durch eine derartige Verfahrensweise lassen sich auch definierte Abstände zwischen in einer Ebene angeordneten, unterschiedlichen Schichtmaterialen, die nacheinander gebildet werden, exakt einstellen, ohne dass eine aufwendige Positionierung des Substrats notwendig wäre oder die genauen Abmaße der Schichten im Bereich der Grenzlinie kritisch wären. So können die beiden unterschiedlichen Schichten im Bereich oberhalb der Waschlackschicht direkt aneinander angrenzen, einander überlappen oder voneinander beabstandet sein. In jedem dieser Fälle ist nach Abwaschen der Waschlackschicht zwischen den beiden unterschiedlichen Schichten der gleiche Abstand gebildet worden, da lediglich die Breite der Waschlackschicht diesen Abstand bestimmt.Farther has it proven if at least two regionally arranged layers are formed, which are made of different material and parallel At least partially to each other seen at the level of the substrate adjacent, wherein a boundary line is formed, and wherein perpendicular At least one such borderline is seen to the plane of the substrate on the side facing away from the substrate of the at least one washcoat layer is arranged. By such a procedure can be also defined distances between arranged in a plane, different layer materials, the be formed one after the other, set exactly, without any elaborate Positioning of the substrate would be necessary or the exact dimensions of the layers would be critical in the area of the borderline. So the two different Layers in the area above the washcoat layer directly to each other abut, overlap each other or spaced from each other. In each of these cases is after washing off the washcoat between the two different Layers of the same distance have been formed, since only the Width of the washcoat layer determines this distance.

Zudem hat es sich als vorteilhaft erwiesen, wenn mindestens zwei Waschlackschichten aufgetragen werden, die in einem Waschbad löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten gleichzeitig in dem Waschbad erfolgt. Das erfindungsgemäße Verfahren kann dadurch besonders schnell und kostengünstig durchgeführt werden.moreover It has proven to be advantageous if at least two washcoat layers be applied, which are soluble in a washing bath, and that the washing off the at least two washcoat layers simultaneously in the wash bath he follows. The inventive method This can be done very quickly and inexpensively.

Im Hinblick auf den Schichtaufbau des zu bildenden Bauteils kann es zudem günstig sein, wenn mindestens zwei Waschlackschichten aufgetragen werden, die in unterschiedlichen Waschbädern löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten nacheinander in den unterschiedlichen Waschbädern erfolgt. Auf diese Weise kann beispielsweise nach dem Abwaschen einer ersten Waschlackschicht ein weiterer Auftrag von einer oder mehreren Schichten erfolgen, die nachfolgend beim Abwaschen einer weiteren, noch vorhandenen Waschlackschicht strukturiert werden.in the With regard to the layer structure of the component to be formed, it can also cheap be when at least two layers of washcoat are applied, in different baths soluble are, and that the washing off of the at least two washcoat layers successively done in the different washing baths. In this way For example, after washing a first washcoat layer another order is made by one or more layers, the following when washing another, still existing Washcoat layer are structured.

Als Waschflüssigkeit für ein Waschbad haben sich Wasser, unterschiedliche Laugen, unterschiedliche Säuren oder organische Lösungsmittel bewährt.When washing liquid for a Washing bath have water, different alkalis, different acids or organic solvents proven.

Es ist von Vorteil, wenn senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen eine jede Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite einer Waschlackschicht angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht löst. Ein Anlösen der Waschlackschicht(en) kann jedoch auch seitlich durch Anordnen von Aussparungen in Schichten des Bauteils erfolgen.It is advantageous when viewed perpendicular to the plane of the substrate each layer on the side facing away from the substrate Washcoat layer is arranged, permeable to at least one washing liquid is, which dissolves the respective washcoat. A dissolving of the washcoat layer (s) However, it can also be laterally arranged by placing recesses in layers of the component.

Zweckmäßig ist eine Schichtdicke einer mittels einer Waschlackschicht zu strukturierenden Schicht von < 1 μm. Eine Oberflächenrauhigkeit einer Waschlackschicht ist dabei vorzugsweise > 1 μm. Dadurch wird das Ablösen der mindestens einen Waschlackschicht beschleunigt. Alternativ kann aber auch ein Einsatz von Ultraschall oder eine mechanische Behandlung während des Waschprozesses erfolgen, um das vollständige Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht und darauf angeordneter Schichtbereiche zu gewährleisten.Is appropriate a layer thickness of a to be structured by means of a washcoat layer Layer of <1 μm. A surface roughness a washcoat layer is preferably> 1 micron. This will cause the peeling accelerates the at least one washcoat layer. Alternatively, you can but also a use of ultrasound or a mechanical treatment while the washing process done to the complete washing off the at least a washcoat layer and layer areas disposed thereon guarantee.

Das erfindungsgemäße Verfahren lässt sich noch dadurch variieren, dass senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine Schicht, die auf der dem Substrat abgewandten Seite einer Waschlackschicht angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine erste Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht löst, und undurchlässig ist für eine zweite Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht ebenfalls löst.The method according to the invention can be further varied in that, viewed perpendicularly to the plane of the substrate, at least one layer which is arranged on the side of a washcoat layer facing away from the substrate is permeable to at least one first wash liquid containing the respective washcoat layer dissolves, and is impermeable to a second washing liquid, which also dissolves the respective washcoat layer.

Dadurch können selektiv Bereiche einer Waschlackschicht abgewaschen werden, die unter einer durchlässigen Schicht angeordnet sind, während andere Bereiche derselben Waschlackschicht, die unter einer undurchlässigen Schicht angeordnet sind, nicht gleichzeitig, sondern erst in einem weiteren Waschbad abgewaschen werden können. Dazwischen können weitere Schichten aufgetragen werden, so dass der Schichtaufbau des Bauteils noch vielseitiger gestaltet werden kann.Thereby can selectively wash away areas of a washcoat layer, the under a permeable Layer are arranged while other areas of the same washcoat layer under an impermeable layer are arranged, not at the same time, but only in another Washing bath can be washed off. In between can additional layers are applied so that the layer structure of the component can be made even more versatile.

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn das Substrat aus einer flexiblen Folie, insbesondere einer Kunststofffolie, gebildet wird. Unter „flexibel" wird hier biegsam verstanden, wobei die Biegsamkeit eine Aufwicklung des Substrats auf einer Rolle und einen Transport des Substrats von einer Rolle zu einer weiteren Rolle ermöglicht. Die Kunststofffolie weist vorzugsweise eine Dicke im Bereich von 6 bis 200 μm auf. Geeignete Materialien für die Kunststofffolie sind unter anderem PET, PP oder PE. Weiterhin kann das Substrat einlagig oder mehrlagig ausgebildet sein, wobei Lagen aus unterschiedlichen Materialien miteinander kombiniert werden können. Außerdem kann das Substrat transparent sein. Dies ist insbesondere bei beidseitiger Nutzung des Substrats vorteilhaft.It has proven to be advantageous if the substrate of a flexible Foil, in particular a plastic film is formed. Under "flexible" here is flexible understood, wherein the flexibility of a winding of the substrate on a roll and a transport of the substrate from a roll allows for another role. The plastic film preferably has a thickness in the range of 6 to 200 μm on. Suitable materials for the plastic films are PET, PP or PE, among others. Farther the substrate may be formed in one or more layers, wherein Layers of different materials are combined with each other can. Furthermore the substrate can be transparent. This is especially true for bilateral Use of the substrate advantageous.

Es hat sich weiterhin bewährt, wenn das Substrat und das mindestens eine darauf gebildete Bauteil eine Transferfolie ausbilden, wobei zwischen dem Substrat und dem mindestens einen Bauteil eine Ablöseschicht angeordnet wird. Die Ablöseschicht ermöglicht ein Ablösen des mindestens einen Bauteils vom Substrat und den Übertrag auf einen anderen Träger. Die Schichten des mindestens einen Bauteils entsprechen dabei einer üblichen Übertragungslage einer Transferfolie, die insbesondere mittels Heiß- oder Kaltklebers auf dem anderen Träger fixiert wird.It has continued to prove itself when the substrate and the at least one component formed thereon a Form transfer film, wherein between the substrate and the at least a component a release layer is arranged. The release layer allows a detachment the at least one component from the substrate and the carry to another carrier. The layers of the at least one component correspond to a conventional transfer layer a transfer film, in particular by means of hot or Cold glue on the other carrier is fixed.

Besonders bevorzugt ist es, wenn das Substrat bandförmig ausgebildet wird und bei Durchführung des Verfahrens von Rolle zu Rolle transportiert wird. Dabei wird das Substrat kontinuierlich von einer Rolle abgewickelt, mindestens einer Beschichtungseinheit zum Auftrag der Schichten des Bauteils, der Waschlackschichten und gegebenenfalls des Ätzresists zugeführt, anschließend mindestens einem Waschbad und gegebenenfalls weiteren Bädern oder Behandlungseinrichtungen zugeführt, getrocknet und schließlich auf eine weitere Rolle aufgewickelt. Dabei können auf dem fertigen Rollenmaterial einzelne Bauteile oder miteinander verbundene Bauteile vorliegen, wobei nachfolgend eine Vereinzelung von Bauteilen oder Bauteilgruppen erfolgt.Especially it is preferred if the substrate is formed band-shaped and at execution of the process is transported from roll to roll. It will the substrate is unwound continuously from a roll, at least a coating unit for applying the layers of the component, the washcoat layers and optionally the Ätzresists supplied, then at least a wash bath and optionally other baths or treatment facilities supplied dried and finally wound up on another roll. It can on the finished roll material individual components or interconnected components are present, wherein subsequently a separation of components or component groups he follows.

Waschlacke, die sich für ein erfindungsgemäßes Verfahren eignen, weisen insbesondere mindestens ein polymeres Bindemittel mit sauren oder alkalischen Gruppen auf, so dass der getrocknete Waschlack im entsprechenden Waschbad löslich ist. Polymere Bindemittel, die in wässrigen Lösungen löslich sind, sind z.B. Acrylate mit Säuregruppen als funktionellen Gruppen (-SO3H,; -COOH) oder Amine mit basischen Gruppen (-N2H). Dabei sind herkömmliche Waschlacke ohne ätzende oder ätzresistente Zusatzfunktion bereits hinreichend bekannt. Hinsichtlich möglicher ätzender und ätzresistenter Waschlacke, welche demnach multifunktional ausgebildet sind, sind nachfolgend einige Beispiele aufgeführt.Washcoats which are suitable for a process according to the invention have in particular at least one polymeric binder with acidic or alkaline groups, so that the dried washcoat is soluble in the corresponding wash bath. Polymeric binders that are soluble in aqueous solutions include acrylates with acid groups as functional groups (-SO 3 H ,; -COOH) or amines with basic groups (-N 2 H). Conventional washcoats without corrosive or etch-resistant additional function are already sufficiently known. With regard to possible etching and etch-resistant washcoats, which are accordingly designed to be multifunctional, a few examples are listed below.

Es hat sich bewährt, wenn die mindestens eine ätzende Waschlackschicht aus einem Waschlack folgender Zusammensetzung gebildet wird: 0,5–40 Gew.-% Ätzmedium 5–40 Gew.-% polymeres Bindemittel 2–80 Gew.-% Wasser 0,1–5 Gew.-% Füllstoff It has proven useful if the at least one etching washcoat is formed from a washcoat of the following composition: 0.5-40% by weight etching medium 5-40% by weight polymeric binder 2-80% by weight water 0.1-5% by weight filler

Besonders bewährt hat sich eine erste ätzende Waschlackzusammensetzung wie folgt: 5–20 Gew.-% Eisen(III)Chlorid 15–25 Gew.-% Polyvinylalkohol 52–77 Gew.-% Wasser 3 Gew.-% Siliziumdioxid A first etching washcoat composition has proven to be particularly effective as follows: 5-20% by weight Iron (III) chloride 15-25% by weight polyvinyl alcohol 52-77% by weight water 3% by weight silica

Dieser erste ätzende Waschlack wird vorzugsweise auf eine Kupferschicht musterförmig aufgedruckt, getrocknet, die Kupferschicht und die erste Waschlackschicht mit Aluminium bedampft und schließlich die erste Waschlackschicht mit Wasser abgewaschen. Die Kupfer- und die Aluminiumschicht werden registergenau zueinander strukturiert.This first corrosive Washcoat is preferably printed on a copper layer pattern, dried, the copper layer and the first washcoat are steamed with aluminum and finally washed the first washcoat with water. The copper and The aluminum layer are structured in register with each other.

Die nun musterförmig strukturiert vorliegende Aluminiumschicht kann erneut musterförmig mit einem weiteren ätzenden Waschlack bedruckt werden und das Verfahren mit einer oder mehreren weiteren Schichten wiederholt werden.The now patterned structured present aluminum layer can again with pattern another corrosive Washcoat be printed and the process with one or more be repeated more layers.

Zum musterförmigen Bedrucken der Aluminiumschicht hat sich folgende ätzende weitere Waschlackzusammensetzung bewährt: 2–10 Gew.-% Natriumhydroxid 15–25 Gew.-% Polyvinylpyrrolidon 63–80 Gew.-% Wasser 2–3 Gew.-% Siliziumdioxid (hochdispers) For the pattern-shaped printing of the aluminum layer, the following corrosive further washcoat composition has proven suitable: 2-10% by weight sodium hydroxide 15-25% by weight polyvinylpyrrolidone 63-80% by weight water 2-3% by weight Silica (highly dispersed)

Der weitere ätzende Waschlack wird getrocknet, das Schichtensystem beispielsweise mit Kupfer bedampft und schließlich die weitere Waschlackschicht mit Wasser abgewaschen.Of the further corrosive Wash is dried, the layer system, for example, with Copper steams and finally washed off the further washcoat with water.

Es hat sich bewährt, wenn die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet wird: 12–30 Gew.-% Polymerbindemittel mit sauren Gruppen (Carbonylgruppen) 70–88 Gew.-% Lösemittel 0–2 Gew.-% Füllstoff It has proven useful if the at least one etching-resistant washcoat layer is formed from a lacquer of the following composition: 12-30% by weight Polymer binders with acid groups (carbonyl groups) 70-88% by weight solvent 0-2% by weight filler

Es hat sich bewährt, wenn mindestens eine erste ätzresistente Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet wird: 18–25 Gew.-% Polyacrylsäure-Dispersion 75–82 Gew.-% Wasser 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid It has proven useful if at least one first etching-resistant washcoat layer is formed from a paint of the following composition: 18-25% by weight Polyacrylic acid dispersant 75-82% by weight water 0-2% by weight silica

Weiterhin hat es sich bewährt, wenn mindestens eine zweite ätzresistente Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet wird: 12–20 Gew.-% Styrol-Maleinsäureanhydrid 50 Gew.-% Ethanol 2 Gew.-% Butanol 26–34 Gew.-% Ethylacetat 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid Furthermore, it has proven useful if at least one second etching-resistant washcoat layer is formed from a paint of the following composition: 12-20% by weight Styrene-maleic anhydride 50% by weight ethanol 2% by weight butanol 26-34% by weight ethyl acetate 0-2% by weight silica

Weiterhin hat es sich bewährt, wenn mindestens eine dritte ätzresistente Waschlackschicht aus einem Lack folgender Zusammensetzung gebildet wird: 20–30 Gew.-% Phenolharz mit einer Säurezahl größer 20, vorzugsweise größer 50 70–80 Gew.-% Buthylacetat 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid Furthermore, it has proven useful if at least one third etching-resistant washcoat layer is formed from a coating of the following composition: 20-30% by weight Phenolic resin with an acid number greater than 20, preferably greater than 50 70-80% by weight butyl acetate 0-2% by weight silica

Der erste, zweite oder dritte ätzresistente Waschlack wird insbesondere auf eine Kupferschicht musterförmig aufgebracht und getrocknet. Es erfolgt ein Ätzen mit einer Eisen(III)Chloridlösung (50 %ig). Anschließend wird insbesondere eine Silberschicht aufgedampft und die ätzresistente Waschlackschicht mit 5–10 %iger Natronlauge abgewaschen.Of the first, second or third etch-resistant Wash lacquer is applied in particular pattern-wise on a copper layer and dried. There is an etching with an iron (III) chloride solution (50%). Subsequently In particular, a silver layer is vapor-deposited and the etch-resistant Washcoat with 5-10% Washed off sodium hydroxide solution.

Weiterhin hat es sich bewährt, den zweiten oder dritten ätzresistenten Waschlack insbesondere auf eine Aluminiumschicht musterförmig aufzubringen und zu trocknen. Es erfolgt ein Ätzen mit Phosphorsäure (1 %ig). Anschließend wird insbesondere eine Kupferschicht aufgedampft und die ätzresistente Waschlackschicht mit 5–10 %iger Natronlauge abgewaschen.Farther has it proven the second or third etch resistant Apply washcoat in particular pattern on an aluminum layer and to dry. There is an etching with phosphoric acid (1%). Subsequently In particular, a copper layer is vapor-deposited and the etch-resistant Washcoat with 5-10 Washed% sodium hydroxide solution.

Zum Auftragen der mindestens zwei Schichten des Bauteils haben sich folgende Verfahren bewährt: Sputtern, Aufdampfen, Drucken, Aufsprühen, Gießen und Lackieren, beziehungsweise beim Lackieren üblicherweise eingesetzte Verfahren. Dabei können die einzelnen Schichten durch gleiche oder unterschiedliche Verfahren gebildet werden. Als Strukturierungsverfahren haben sich insbesondere Druckprozesse wie der Tiefdruck-, Flexodruck- oder Offsetdruckverfahren, aber auch photolithographische Methoden bewährt.For applying the at least two layers of the component, the following methods have proven useful: sputtering, vapor deposition, printing, spraying, casting and painting, or during painting usually used methods. The individual layers can be formed by the same or different methods. As a structuring process, in particular printing processes such as Gravure printing, flexographic or offset printing processes, but also proven by photolithographic methods.

Zu strukturierende Schichten eines Bauteils können generell elektrisch leitende, elektrisch isolierende oder halbleitende Schichten sein. Im Bereich elektrischer Bauelemente sind vor allem die elektrischen Kennwerte einer solchen Schicht von Interesse, während bei Sicherheitselementen auch oder lediglich der optische Effekt zum Tragen kommt.To structuring layers of a component can generally electrically conductive, be electrically insulating or semiconducting layers. In the area Electrical components are above all the electrical characteristics of such a layer of interest, while in security elements or only the visual effect comes into play.

Es ist bevorzugt, wenn elektrisch leitende Schichten des Bauteils aus einem, auf Metall basierenden Material oder aus einem organischen Material gebildet werden. So haben sich für elektrische Bauelemente wie auch für Sicherheitselemente elektrisch leitende Materialien wie Gold, Silber, Kupfer oder Legierungen daraus bewährt. Als organische elektrisch leitende Materialien für elektrische Bauelemente oder Sicherheitselemente sind beispielsweise Polyanilin, Polypyrrol oder dotiertes Polyethylen geeignet. Sofern ein Sicherheitselement eine reflektive Schicht aufweisen soll, haben sich Aluminiumschichten bewährt.It is preferred when electrically conductive layers of the component a metal-based material or an organic one Material are formed. So have for electrical components as well for security elements electrically conductive materials such as gold, silver, copper or alloys proven from it. As organic electrically conductive materials for electrical components or Security elements are, for example, polyaniline, polypyrrole or doped polyethylene suitable. If a security element a have reflective layer, aluminum layers have proven.

Weiterhin hat es sich bewährt, wenn halbleitende Schichten des Bauteils aus organischem Material gebildet werden. Aber auch die Verwendung anorganischer halbleitender Materialien ist möglich. So haben sich als organische halbleitende Materialien konjugierte Polymere, wie Polythiophene, Polythienylenvinylene oder Polyfluorenderivate bewährt. Als organische halbleitende Schicht eignen sich auch Schichten aus sogenannten „small molecules", d.h. Oligomere wie Sexithiophen oder Pentacen.Farther has it proven when semiconducting layers of the component formed of organic material become. But also the use of inorganic semiconducting materials is possible. So have conjugated as organic semiconducting materials Polymers such as polythiophenes, polythienylenevinylenes or polyfluorene derivatives proven. As organic semiconductive layer are also suitable layers so-called "small molecules, i. Oligomers such as sexithiophene or pentacene.

Es ist bevorzugt, wenn elektrisch isolierende Schichten aus organischem oder anorganischem Material gebildet werden. Als anorganisches elektrisch isolierendes Funktionsschichtmaterial hat sich Siliziumoxid bewährt. Als elektrisch isolierendes organisches Material ist beispielsweise Polyvinylphenol geeignet. Für Sicherheitselemente sind unter anderem nicht-metallische, hochbrechende Materialien wie ZnS, TiO2 und ähnliches, sowie Kleberschichten und Lackschichten im Einsatz, welche transparent, opak und/oder gefärbt vorliegen können.It is preferred if electrically insulating layers of organic or inorganic material are formed. As inorganic electrically insulating functional layer material, silica has proven itself. As electrically insulating organic material, for example, polyvinylphenol is suitable. For security elements, non-metallic, high-index materials such as ZnS, TiO 2 and the like, as well as adhesive layers and paint layers are used, which may be transparent, opaque and / or colored.

Vorteilhafterweise wird nach dem Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht, und gegebenenfalls nach Durchführung von Ätzprozessen, senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine elektrisch leitende Verbindung zwischen mindestens zwei der mindestens zwei nunmehr strukturiert vorliegenden Schichten ausgebildet. Dadurch lassen sich einzelne elektrische Bauelemente oder Sicherheitselemente oder elektrische Funktionsschichten innerhalb eines elektrischen Bauelements oder eines Sicherheitselements in einfacher Weise elektrisch miteinander verschalten.advantageously, is after washing the at least one washcoat layer, and if necessary after implementation of etching processes, Seen at least one electrically perpendicular to the plane of the substrate conductive connection between at least two of the at least two now formed structured layers present. Thereby can be individual electrical components or safety elements or electrical functional layers within an electrical component or a security element in a simple manner electrically with each other boarded.

Für das erfindungsgemäße Bauteil ist besonders bevorzugt, wenn die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen deckungsgleich und toleranzlos zueinander verlaufen. Jegliche Lageabweichungen scheiden somit aus.For the component according to the invention is particularly preferred when the layer edges of the at least two structured Layers in at least one line-shaped area perpendicular to Level of the substrate seen congruent and without tolerance to each other run. Any position deviations are thus eliminated.

Für das Bauteil hat es sich weiterhin bewährt, wenn die mindestens zwei strukturierten Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen jeweils mindestens eine musterförmige Öffnung aufweisen, wobei die musterförmigen Öffnungen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.For the component has it continued to prove itself if the at least two structured layers are perpendicular to the Level of the substrate each have at least one pattern-shaped opening, the patterned openings congruent with a maximum tolerance of ± 5 microns, in particular with a tolerance of maximum ± 100 nm on top of each other are arranged.

Für das Bauteil hat es sich zudem bewährt, wenn senkrecht zur Ebene des Substrats gesehen mindestens eine der mindestens zwei strukturierten Schichten mindestens eine musterförmige Öffnung aufweist und dass mindestens eine weitere der mindestens zwei Schichten in Form der musterförmigen Öffnung strukturiert ist, wobei die musterförmige Öffnung deckungsgleich zu der mindestens einen weiteren Schicht mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.For the component it has also proven itself when viewed perpendicular to the plane of the substrate, at least one of at least two structured layers has at least one pattern-shaped opening and that at least one more of the at least two layers in shape the patterned opening structured is, with the pattern-shaped opening congruent to the at least one further layer with a tolerance of maximum ± 5 μm, in particular are arranged one above the other with a maximum tolerance of ± 100 nm.

Es hat sich bewährt, wenn das Bauteil ein elektrisches Bauelement ist, welches mindestens zwei strukturierte Schichten in Form von elektrischen Funktionsschichten aufweist, wobei die mindestens zwei strukturierten elektrischen Funktionsschichten auf einem flexiblen Substrat angeordnet sind.It has proved its worth, if the component is an electrical component which at least two structured layers in the form of electrical functional layers wherein the at least two structured electrical Functional layers are arranged on a flexible substrate.

Ein erfindungsgemäßes elektrisches Bauelement wird vorzugsweise als ein organischer Feldeffekttransistor, eine organische Diode, ein organischer Kondensator, ein Widerstand oder eine Antenne ausgebildet. Auch ganze Bauelementgruppen in Form elektrischer Schaltungen können ausgebildet sein.One electrical according to the invention Device is preferably used as an organic field-effect transistor, an organic diode, an organic capacitor, a resistor or an antenna is formed. Also whole component groups in form electrical circuits can be educated.

Dabei hat es sich bewährt, wenn das elektrische Bauelement oder die elektrische Schaltung mit mindestens einer organischen Funktionsschicht ausgebildet ist.It has been proven that the electrical component or the electrical circuit with min at least one organic functional layer is formed.

Vorzugsweise wird als Bauteil auch ein Sicherheitselement zum Aufbringen und/oder Einbetten auf/in zu sichernde Wertdokumente oder Identifikationsdokumente ausgebildet, wobei die strukturierten Schichten elektrische Funktionsschichten und/oder dekorative Schichten ausbilden. Es kann sich hierbei um ein transmissives und/oder ein reflektives Sicherheitselement handeln, insbesondere um einen Sicherheitsfaden, ein Etikett, ein Overlay, ein Fensterelement oder ähnliches.Preferably As a component, a security element for applying and / or Embedding on / in value documents to be secured or identification documents formed, wherein the structured layers of electrical functional layers and / or form decorative layers. It can be around act a transmissive and / or a reflective security element, especially a security thread, a label, an overlay, a window element or the like.

Es ist bevorzugt, wenn das Sicherheitselement ein optisch variables Element aufweist, welches aus unterschiedlichen Blickwinkeln einen unterschiedlichen optischen Eindruck vermittelt. Geeignet sind hier optisch variable Elemente umfassend eine beugungsoptisch wirksame Struktur, insbesondere ein Hologramm oder ein Beugungsgitter, oder einen blickwinkelabhängigen Farbwechseleffekt erzeugende Elemente, insbesondere ein Dünnfilm-Interferenzschichtelement oder eine Schicht enthaltend Interferenzpigmente, Flüssigkristalle oder Flüssigkristallpigmente.It is preferred if the security element is an optically variable Element having which from different angles one gives a different visual impression. Suitable are here optically variable elements comprising a diffractive optical effective Structure, in particular a hologram or a diffraction grating, or a viewing angle dependent Color-change effect generating elements, in particular a thin-film interference layer element or a layer containing interference pigments, liquid crystals or liquid crystal pigments.

Eine Verwendung mindestens einer musterförmig strukturierten Waschlackschicht zur Strukturierung von mindestens zwei Schichten auf einem Substrat ist ideal, wobei

  • a) die Waschlackschicht als ätzende Waschlackschicht ausgebildet wird und zwischen den mindestens zwei Schichten angeordnet wird, wobei durch Abwaschen der ätzenden Waschlackschicht eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt, und/oder indem
  • b) die Waschlackschicht als ätzresistente Waschlackschicht ausgebildet wird, wobei nach einem Aufbringen der ätzresistenten Waschlackschicht auf eine erste Schicht der mindestens zwei Schichten die erste Schicht in Bereichen, die nicht von der ätzresistenten Waschlackschicht bedeckt sind, durch Ätzen entfernt wird, auf das Substrat mindestens eine zweite Schicht der mindestens zwei Schichten vollflächig aufgebracht wird, welche die ätzresistente Waschlackschicht bedeckt, und schließlich die ätzresistente Waschlackschicht abgewaschen wird, und/oder indem
  • c) die mindestens eine Waschlackschicht musterförmig auf das, gegebenenfalls bereits mit weiteren Schichten versehene Substrat aufgebracht wird und die mindestens zwei Schichten auf der dem Substrat abgewandten Seite der Waschlackschicht vollflächig auf das Substrat aufgebracht werden, wobei durch Abwaschen der Waschlackschicht eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten erfolgt.
A use of at least one pattern-structured washcoat layer for structuring at least two layers on a substrate is ideal, wherein
  • a) the washcoat layer is formed as a corrosive washcoat layer and is disposed between the at least two layers, wherein a simultaneous structuring of the at least two layers takes place by washing the etching washcoat layer, and / or by
  • b) the washcoat layer is formed as an etching-resistant washcoat layer, wherein after the etching-resistant washcoat layer has been applied to a first layer of the at least two layers, the first layer is removed by etching in areas that are not covered by the etch-resistant washcoat layer second layer of at least two layers is applied over the entire surface, which covers the etch-resistant washcoat layer, and finally the etch-resistant washcoat layer is washed off, and / or by
  • c) the at least one washcoat layer is applied in pattern form to the substrate, optionally already provided with further layers, and the at least two layers on the side of the washcoat layer facing away from the substrate are applied over the entire surface to the substrate, wherein a simultaneous structuring of the at least two by washing off the washcoat layer Layers done.

Die 1a bis 10d sollen die Erfindung beispielhaft erläutern. So zeigen:The 1a to 10d should illustrate the invention by way of example. To show:

1a bis 1d ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer ätzenden Waschlackschicht. 1a to 1d a method according to the invention using a corrosive washcoat layer.

2a bis 2d ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer ätzresistenten Waschlackschicht; 2a to 2d a method according to the invention using an etch-resistant washcoat layer;

2' bis 2dd' den Verfahrensablauf gemäß 2a bis 2d in der Draufsicht; 2 ' to 2 dd ' the procedure according to 2a to 2d in the plan view;

2e bis 2g'' einen dazu abgewandelten Verfahrensablauf in der Draufsicht; 2e to 2g '' a modified procedure in plan view;

3a und 3b ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer herkömmlichen Waschlackschicht; 3a and 3b a method according to the invention using a conventional washcoat layer;

4a und 4b ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer herkömmlichen Waschlackschicht; 4a and 4b a method according to the invention using a conventional washcoat layer;

5a bis 5b ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung von zwei herkömmlichen Waschlackschichten; 5a to 5b a method according to the invention using two conventional washcoat layers;

6a bis 6d ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung von zwei herkömmlichen Waschlackschichten, die in unterschiedlichen Waschbädern löslich sind; 6a to 6d a process according to the invention using two conventional washcoat layers which are soluble in different wash baths;

7a bis 7b ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer herkömmlichen Waschlackschicht; 7a to 7b a method according to the invention using a conventional washcoat layer;

8a bis 8b ein weiteres erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer herkömmlichen Waschlackschicht; 8a to 8b another inventive method using a conventional washcoat layer;

9a bis 9f ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer ätzresistenten Waschlackschicht; und 9a to 9f a method according to the invention using an etch-resistant washcoat layer; and

10a bis 10d ein erfindungsgemäßes Verfahren unter Verwendung einer ätzenden Waschlackschicht. 10a to 10d a method according to the invention using a corrosive washcoat layer.

1a zeigt ein Substrat 100 im Querschnitt, auf welches eine erste Schicht 200 aus Aluminium vollflächig aufgedampft wurde. Auf die erste Schicht 200 wird gemäß 1b musterförmig eine ätzende Waschlackschicht 500 gedruckt und diese getrocknet. 1a shows a substrate 100 in cross section, on which a first layer 200 made of aluminum vapor deposited over its entire surface. On the first shift 200 is according to 1b patterned a corrosive washcoat 500 printed and dried.

Die Zusammensetzung des ätzenden Waschlacks zur Bildung der ätzenden Waschlackschicht 500 wurde wie folgt gewählt: 10 Gew.-% Eisen(III)Chlorid 19 Gew-% Polyvinylalkohol 70 Gew.-% Wasser 1 Gew-% Siliziumdioxid The composition of the etching washcoat to form the etching washcoat 500 was chosen as follows: 10% by weight Iron (III) chloride 19% by weight polyvinyl alcohol 70% by weight water 1% by weight silica

Dabei werden die Bereiche der ersten Schicht 200, die sich unter der ätzenden Waschlackschicht 500 befinden, zumindest teilweise aufgelöst. Darauf wird gemäß 1c eine zweite Schicht 300 aus Gold vollflächig aufgedampft.Thereby, the areas of the first layer become 200 that is under the corrosive washcoat 500 be at least partially resolved. On it becomes according to 1c a second layer 300 made of gold evaporated over the entire surface.

1d zeigt das Substrat 100 aus 1c nach einer Waschbehandlung, bei welcher das beschichtete Substrat 100 in ein Waschbad aus Wasser getaucht und die erste Schicht 200 und die zweite Schicht 300 in Bereichen entfernt wurden, die über bzw. unter der ätzenden Waschlackschicht 500 angeordnet sind. Die musterförmig strukturierte erste Schicht 200 befindet sich somit perfekt im Register zu der musterförmig strukturierten zweiten Schicht 300. 1d shows the substrate 100 out 1c after a washing treatment in which the coated substrate 100 immersed in a water bath and the first layer 200 and the second layer 300 were removed in areas above or below the corrosive washcoat layer 500 are arranged. The pattern-structured first layer 200 is thus perfectly in register with the pattern-structured second layer 300 ,

Das Substrat 100 wird getrocknet und es können gegebenenfalls weitere Schichten aufgebracht und strukturiert werden, was hier jedoch nicht erfolgt ist.The substrate 100 is dried and it may optionally be applied and patterned further layers, but this is not done here.

2a zeigt ein Substrat 10 im Querschnitt, auf welches eine erste Schicht 20 aus Aluminium vollflächig aufgedampft wurde. Auf die erste Schicht 20 ist musterförmig eine ätzresistente Waschlackschicht 50 gedruckt. 2a shows a substrate 10 in cross section, on which a first layer 20 made of aluminum vapor deposited over its entire surface. On the first shift 20 is patterned an etch resistant washcoat 50 printed.

Die Zusammensetzung des Waschlacks zur Bildung der ätzresistenten Waschlackschicht 50 wurde wie folgt gewählt: 18 Gew.-% Styrol-Maleinsäureanhydrid 50 Gew.-% Ethanol 2 Gew.-% Butanol 30 Gew.-% Ethylacetat The composition of the washcoat for forming the etching-resistant washcoat 50 was chosen as follows: 18% by weight Styrene-maleic anhydride 50% by weight ethanol 2% by weight butanol 30% by weight ethyl acetate

2b zeigt das Substrat 10 aus 2a nach einer Ätzbehandlung, bei welcher das beschichtete Substrat 10 in ein ätzendes Waschbad aus Phosphorsäure (50 %ig) getaucht und die erste Schicht 20 in Bereichen entfernt wurde, die nicht von der ätzresistenten Waschlackschicht 50 bedeckt sind. 2 B shows the substrate 10 out 2a after an etching treatment in which the coated substrate 10 immersed in a caustic wash bath of phosphoric acid (50%) and the first layer 20 was removed in areas not covered by the etch-resistant washcoat 50 are covered.

Das Substrat 10 wird getrocknet und gemäß 2c anschließend eine zweite Schicht 3 aus Kupfer vollflächig in einer Schichtdicke von 50 nm aufgebracht. Auf die zweite Schicht 3 wird eine weitere Schicht 40 aus Gold aufgedampft. Das derart beschichtete Substrat 10 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich 5 %ige Natronlauge als Waschflüssigkeit befindet, und gemäß 2d die ätzresistente Waschlackschicht 50 abgewaschen. Dabei werden die Bereiche der zweiten Schicht 3 sowie der weiteren Schicht 40 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 50 befinden.The substrate 10 is dried and according to 2c then a second layer 3 made of copper over the entire surface in a layer thickness of 50 nm. On the second layer 3 becomes another layer 40 evaporated from gold. The thus coated substrate 10 is now immersed in a washing bath, in which 5% sodium hydroxide solution is as washing liquid, and according to 2d the etch resistant washcoat 50 washed. In doing so, the areas of the second layer become 3 as well as the further layer 40 detached, based on the washcoat layer 50 are located.

Die musterförmig strukturierten Schichten 3, 40 befinden sich in perfekten Register zueinander sowie perfekt im Register zu den Öffnungen in der ersten Schicht 20. Bei Verwendung eines transparenten Substrats 10 ist die musterförmig strukturierte erste Schicht 20 von oben gesehen von der weiteren Schicht 40 umgeben, von der Unterseite gesehen von der zweiten Schicht 3 umgeben, wobei erfindungsgemäß keine Lageabweichungen und dadurch bedingt keine durchsichtigen Stellen auftreten, an denen nur das Substrat 10 vorkommt. Dies wäre bei herkömmlichen Verfahren mit den üblicherweise auftretenden Lagetoleranzen nur schwer vermeidbar.The patterned layers 3 . 40 are in perfect register with each other and perfectly in register with the openings in the first layer 20 , When using a transparent substrate 10 is the pattern-structured first layer 20 seen from above from the further layer 40 surrounded, seen from the bottom of the second layer 3 surrounded, which according to the invention no position deviations and therefore no transparent points occur, where only the substrate 10 occurs. This would be difficult to avoid in conventional methods with the usually occurring position tolerances.

2' zeigt das Substrat 10 aus 2a sowie die darauf aufgebrachte erste Schicht 20 in der Draufsicht. 2a' zeigt die Darstellung gemäß 2a in der Draufsicht, wo die ätzresistente Waschlackschicht 50 musterförmig auf die erste Schicht 20 aufgebracht wurde. 2b' zeigt die Darstellung gemäß 2b in der Draufsicht. Hier wurden nicht von der Waschlackschicht 50 bedeckte Bereiche der ersten Schicht 20 durch Ätzen vom Substrat 10 entfernt. Darauf wird nun die zweite Schicht 3 (siehe 2c') und die weitere Schicht 40 (siehe 2cc') vollflächig aufgedampft. 2cc' entspricht dabei der Darstellung gemäß 2c in Draufsicht. Nun wird die Waschlackschicht 50 abgewaschen, wobei sich die Ausgestaltung gemäß 2d ergibt. 2d' zeigt nun in der Draufsicht das Ergebnis aus 2d von oben, während 2dd' das Ergebnis aus 2d von unten gesehen zeigt. 2 ' shows the substrate 10 out 2a as well as the first layer applied thereto 20 in the plan view. 2a ' shows the illustration according to 2a in plan view, where the etch-resistant washcoat layer 50 patterned on the first layer 20 was applied. 2 B' shows the illustration according to 2 B in the plan view. Here were not from the washcoat 50 covered areas of the first layer 20 by etching from the substrate 10 away. Now it's time for the second shift 3 (please refer 2c ' ) and the other layer 40 (please refer 2cc ' ) evaporated over the entire surface. 2cc ' corresponds to the representation according to 2c in plan view. Now the washcoat layer 50 washed off, with the embodiment according to 2d results. 2d ' now shows in the plan view the result 2d from the top while 2 dd ' the result 2d seen from below shows.

Alternativ kann auf das transparente Substrat 10 gemäß 2b bzw. 2b' musterförmig ein herkömmlicher Waschlack 5 gemäß 2e aufgebracht werden, bevor weitere Verfahrensschritte ausgeführt werden. Dabei werden lediglich der B-förmig strukturierte Bereich (mit den Schichten 20 und 50) gemäß 2b' sowie umliegende Bereiche des Substrats 10 bedeckt. Nun wird vollflächig gemäß 2f die zweite Schicht 3 aus Kupfer aufgebracht. Nun werden die beiden Waschlackschichten 5, 50 abgewaschen, wobei sich die Ausgestaltung gemäß 2g' ergibt. 2g'' zeigt nun das transparente Substrat 10 von der Rückseite, also die erste Schicht 20 und die zweite Schicht 3 durch das transparente Substrat 10 hindurch. So können gezielt zusätzlich musterförmig strukturierte, transparente Bereiche erzeugt werden.Alternatively, to the transparent substrate 10 according to 2 B respectively. 2 B' patterned a conventional wash 5 according to 2e be applied before further process steps are carried out. Only the B-shaped structured area (with the layers 20 and 50 ) according to 2 B' and surrounding areas of the substrate 10 covered. Now, according to 2f the second layer 3 applied from copper. Now the two washcoat layers 5 . 50 washed off, with the embodiment according to 2g ' results. 2g '' now shows the transparent substrate 10 from the back, so the first layer 20 and the second layer 3 through the transparent substrate 10 therethrough. In this way, additionally pattern-structured, transparent areas can be created.

3a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welchem ein Bauteil, hier ein elektrisches Bauelement, gebildet werden soll. Es wird musterförmig eine Schicht des Bauelements in Form einer ersten elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 als eine Bottomelektrode aus Gold auf das Substrat 1 aufgedampft. Auf die erste elektrisch leitende Funktionsschicht 2 wird eine wasserlösliche Waschlackschicht 5 musterförmig aufgebracht. Auf die Waschlackschicht 5 und davon freie Bereiche der ersten elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 sowie des Substrats 1 wird eine organische halbleitende Funktionsschicht 3 vollflächig in einer Schichtdicke von 25 nm aufgebracht und auf diese weiterhin vollflächig eine weitere Schicht des Bauelements, eine zweite elektrisch leitende Funktionsschicht 4 zur Bildung einer Topelektrode aus Gold in einer Schichtdicke von 50 nm aufgedampft. Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die Waschlackschicht 5 abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 sowie der zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 5 befinden. 3a shows a substrate 1 in cross-section, on which a component, in this case an electrical component, is to be formed. It is patterned a layer of the device in the form of a first electrically conductive functional layer 2 as a bottom electrode of gold on the substrate 1 evaporated. On the first electrically conductive functional layer 2 becomes a water-soluble washcoat 5 applied in a pattern. On the washcoat 5 and free spaces of the first electrically conductive functional layer 2 and the substrate 1 becomes an organic semiconducting functional layer 3 applied over the entire surface in a layer thickness of 25 nm and on this further full surface another layer of the device, a second electrically conductive functional layer 4 evaporated to form a top electrode of gold in a layer thickness of 50 nm. The thus coated substrate 1 is now immersed in a washing bath in which water is as washing liquid, and the washcoat layer 5 washed. At the same time, the areas of the organic semiconductive functional layer become 3 and the second electrically conductive functional layer 4 detached, based on the washcoat layer 5 are located.

Das Ergebnis nach dem Waschprozess ist in 3b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 sowie der zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 erfolgt ist, wobei aufgrund des Verfahrens die organische halbleitende Funktionsschicht 3 passgenau zur zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 strukturiert ist. Eine Abweichung in der Ausrichtung der strukturierten zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 zur strukturierten organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 tritt nicht auf, sondern es liegt senkrecht zur Ebene des Substrats 1 gesehen eine deckungsgleiche Anordnung vor.The result after the washing process is in 3b shown. It turns out that a structuring of the organic semiconducting functional layer 3 and the second electrically conductive functional layer 4 is carried out, wherein due to the method, the organic semiconducting functional layer 3 exactly matching the second electrically conductive functional layer 4 is structured. A deviation in the orientation of the structured second electrically conductive functional layer 4 to the structured organic semiconducting functional layer 3 does not occur but is perpendicular to the plane of the substrate 1 seen a congruent arrangement.

4a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welchem ein Bauteil, hier ein elektrisches Bauelement, gebildet werden soll. Auf das Substrat 1 wird vollflächig die erste Schicht des elektrischen Bauelements in Form einer elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 aus Gold aufgedampft. Auf die elektrisch leitende Funktionsschicht 2 wird eine Schicht aus Ätzresist 6 musterförmig aufgedruckt und freiliegende Bereiche der Funktionsschicht 2 durch Ätzen entfernt. Eine wasserlösliche Waschlackschicht 5 wird anschließend musterförmig aufgebracht. Auf die Waschlackschicht 5 und davon freie Bereiche der Schicht aus Ätzresist 6 und der elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 wird eine organische halbleitende Funktionsschicht 3 aus Pentacen vollflächig in einer Schichtdicke von 50 nm aufgebracht und auf diese weiterhin vollflächig weitere Schichten des elektrischen Bauelements in Form einer elektrisch isolierenden Schicht 7 und einer zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 zur Bildung einer Topelektrode aus Gold in einer Schichtdicke von insgesamt 50 nm aufgedampft. Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die Waschlackschicht 5 abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3, der elektrisch isolierenden Schicht 7 sowie zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 5 befinden. 4a shows a substrate 1 in cross-section, on which a component, in this case an electrical component, is to be formed. On the substrate 1 is the entire surface of the first layer of the electrical component in the form of an electrically conductive functional layer 2 evaporated from gold. On the electrically conductive functional layer 2 becomes a layer of etch resist 6 pattern printed and exposed areas of the functional layer 2 removed by etching. A water-soluble washcoat 5 is then applied pattern-shaped. On the washcoat 5 and free portions thereof of the etching resist layer 6 and the electrically conductive functional layer 2 becomes an organic semiconducting functional layer 3 from pentacene over the entire surface in a layer thickness of 50 nm and applied to this further full surface further layers of the electrical component in the form of an electrically insulating layer 7 and a second electrically conductive functional layer 4 evaporated to form a top electrode of gold in a total thickness of 50 nm. The thus coated substrate 1 is now immersed in a washing bath in which water is as washing liquid, and the washcoat layer 5 washed. At the same time, the areas of the organic semiconductive functional layer become 3 , the electrically insulating layer 7 and second electrically conductive functional layer 4 detached, based on the washcoat layer 5 are located.

Das Ergebnis nach dem Waschprozess ist in 4b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3, der elektrisch isolierenden Schicht 7 sowie der zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 erfolgt ist, wobei aufgrund des Verfahrens die organische halbleitende Funktionsschicht 3 passgenau zur elektrisch isolierenden Schicht 7 und zur zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 strukturiert ist. Eine Abweichung in der Ausrichtung der strukturierten elektrisch isolierenden Schicht 7 oder zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 zur strukturierten organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 tritt nicht auf, sondern es liegt senkrecht zur Ebene des Substrats 1 gesehen eine passergenaue Anordnung vor.The result after the washing process is in 4b shown. It turns out that a structuring of the organic semiconducting functional layer 3 , the electrically insulating layer 7 and the second electrically conductive functional layer 4 is carried out, wherein due to the method, the organic semiconducting functional layer 3 perfectly fitting to the electrically insulating layer 7 and to the second electrically conductive functional layer 4 is structured. A deviation in the orientation of the structured electrically insulating layer 7 or second electrically conductive functional layer 4 to the structured organic semiconducting functional layer 3 does not occur but is perpendicular to the plane of the substrate 1 seen a register-accurate arrangement.

5a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welches vollflächig eine Kupferschicht 2' aufgedampft, musterförmig eine erste ätzresistente wasserlösliche Waschlackschicht 5a aufgedruckt und anschließend die freiliegenden Bereiche der Kupferschicht 2' abgeätzt wurden. Auf die erste Waschlackschicht 5a wird vollflächig eine Schicht eines elektrischen Bauelements in Form einer ersten organischen elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 aus Gold in einer Schichtdicke von 5 nm aufgedampft. Darauf wird eine zweite wasserlösliche Waschlackschicht 5b musterförmig aufgebracht, wobei die erste und die zweite Waschlackschicht 5a, 5b unterschiedliche Musterungen aufweisen. Auf die zweite Waschlackschicht 5b und davon freie Bereiche der ersten elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 wird eine weitere Schicht des Bauelements in Form einer organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 vollflächig in einer Schichtdicke von 5 nm aufgebracht und auf diese eine weitere Schicht in Form einer zweiten organischen elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 aus Gold in einer Schichtdicke von 5 nm vollflächig aufgedampft. Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die erste und die zweite Waschlackschicht 5a, 5b gleichzeitig abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 sowie der zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 abgelöst, die sich auf der ersten beziehungsweise der zweiten Waschlackschicht 5a, 5b befinden. 5a shows a substrate 1 in cross section, on which all over a copper layer 2 ' evaporated, patterned a first etch-resistant water-soluble washcoat layer 5a imprinted and then the exposed areas of the copper layer 2 ' were etched. On the first washcoat 5a is the entire surface of a layer of an electrical component in the form of a first organic electrically conductive functional layer 2 evaporated from gold in a layer thickness of 5 nm. Then a second water-soluble washcoat is applied 5b patterned, wherein the first and the second washcoat layer 5a . 5b have different patterns. On the second washcoat 5b and free spaces of the first electrically conductive functional layer 2 becomes a further layer of the device in the form of an organic semiconducting functional layer 3 applied over the entire surface in a layer thickness of 5 nm and on this another layer in the form of a second organic electrically conductive functional layer 4 of gold in a layer thickness of 5 nm vapor-deposited over the entire surface. The thus coated substrate 1 is now immersed in a washing bath in which water is as washing liquid, and the first and the second washcoat layer 5a . 5b washed off at the same time. At the same time, the areas of the organic semiconductive functional layer become 3 and the second electrically conductive functional layer 4 detached, based on the first and the second washcoat layer 5a . 5b are located.

Das Ergebnis nach dem Waschprozess ist in 5b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der ersten elektrisch leitenden Funktionsschicht 2, der organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 sowie der zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 erfolgt ist, wobei aufgrund der Musterung der ersten sowie der zweiten Waschlackschicht 5a, 5b die organische halbleitende Funktionsschicht 3 passgenau zur zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 strukturiert ist. Eine Abweichung in der Ausrichtung der strukturierten zweiten elektrisch leitenden Funktionsschicht 4 zur strukturierten organischen halbleitenden Funktionsschicht 3 tritt nicht auf, sondern es liegt senkrecht zur Ebene des Substrats 1 gesehen eine deckungsgleiche Anordnung vor. Dagegen ist die Strukturierung der ersten elektrisch leitenden Funktionsschicht 2 abweichend davon abhängig von der Musterung der ersten Waschlackschicht 5a erfolgt.The result after the washing process is in 5b shown. It turns out that a structuring of the first electrically conductive functional layer 2 , the organic semiconducting functional layer 3 and the second electrically conductive functional layer 4 has taken place, due to the patterning of the first and the second washcoat layer 5a . 5b the organic semiconducting functional layer 3 exactly matching the second electrically conductive functional layer 4 is structured. A deviation in the orientation of the structured second electrically conductive functional layer 4 to the structured organic semiconducting functional layer 3 does not occur but is perpendicular to the plane of the substrate 1 seen a congruent arrangement. In contrast, the structuring of the first electrically conductive functional layer 2 differing depending on the pattern of the first washcoat layer 5a he follows.

6a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welches vollflächig eine Kupferschicht 2' aufgedampft, musterförmig eine erste ätzresistente wasserlösliche Waschlackschicht 5a aufgedruckt und anschließend die freiliegenden Bereiche der Kupferschicht 2' abgeätzt wurden. Auf die erste Waschlackschicht 5a wird vollflächig eine erste Schicht 2 aus Gold in einer Schichtdicke von 4 nm aufgedampft. Darauf wird eine zweite, in einem unpolaren Lösungsmittel lösliche Waschlackschicht 5b musterförmig aufgebracht, wobei die erste und die zweite Waschlackschicht 5a, 5b unterschiedliche Musterungen aufweisen. Auf die zweite Waschlackschicht 5b und davon freie Bereiche der ersten Schicht 2 wird eine organische halbleitende Schicht 3 vollflächig in einer Schichtdicke von 5 nm aufgebracht und auf diese weiterhin vollflächig eine zweite Schicht 4 aus Gold in einer Schichtdicke von 5 nm aufgedampft. 6a shows a substrate 1 in cross section, on which all over a copper layer 2 ' evaporated, patterned a first etch-resistant water-soluble washcoat layer 5a imprinted and then the exposed areas of the copper layer 2 ' were etched. On the first washcoat 5a becomes a full surface a first layer 2 made of gold evaporated in a layer thickness of 4 nm. Then a second, in a non-polar solvent-soluble washcoat layer 5b patterned, wherein the first and the second washcoat layer 5a . 5b have different patterns. On the second washcoat 5b and free areas of the first layer 2 becomes an organic semiconducting layer 3 applied over the entire surface in a layer thickness of 5 nm and on this further all over a second layer 4 evaporated from gold in a layer thickness of 5 nm.

Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein erstes Waschbad getaucht, in welchem sich ein unpolares Lösungsmittel als Waschflüssigkeit befindet, und die zweite Waschlackschicht 5b abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der zweiten Schicht 4 abgelöst, die sich auf der zweiten Waschlackschicht 5b befinden.The thus coated substrate 1 is now immersed in a first washing bath, in which there is a non-polar solvent as the washing liquid, and the second washcoat layer 5b washed. At the same time, the areas of the organic semiconducting layer become 3 as well as the second layer 4 detached, based on the second washcoat layer 5b are located.

Das Ergebnis nach dem ersten Waschprozess ist in 6b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der zweiten Schicht 4 erfolgt ist, wobei aufgrund der Musterung der zweiten Waschlackschicht 5b die organische halbleitende Schicht 3 passgenau zur zweiten Schicht 4 strukturiert ist. Eine Abweichung in der Ausrichtung der strukturierten zweiten Schicht 4 zur strukturierten organischen halbleitenden Schicht 3 tritt nicht auf, sondern es liegt senkrecht zur Ebene des Substrats 1 gesehen eine passergenaue Anordnung vor.The result after the first washing process is in 6b shown. It turns out that structuring of the organic semiconducting layer 3 as well as the second layer 4 is done, wherein due to the patterning of the second washcoat layer 5b the organic semiconducting layer 3 exactly to the second layer 4 is structured. A deviation in the orientation of the structured second layer 4 to the structured organic semiconducting layer 3 does not occur but is perpendicular to the plane of the substrate 1 seen a register-accurate arrangement.

Nun wird auf das Substrat gemäß 6b eine elektrisch isolierende Schicht 7 aus SiOx in einer Schichtdicke von 10 nm vollflächig aufgesputtert. Das Ergebnis ist in 6c dargestellt.Now, according to the substrate 6b an electrically insulating layer 7 of SiO x in a layer thickness of 10 nm sputtered over the entire surface. The result is in 6c shown.

Daraufhin wird das derart beschichtete Substrat 1 in ein zweites Waschbad getaucht, in welchem sich alkalisches Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die erste Waschlackschicht 5a abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der ersten elektrisch leitenden Schicht 2, der organischen halbleitenden Schicht 3, der zweiten elektrisch leitenden Schicht 4 sowie der elektrisch isolierenden Schicht 7 abgelöst, die sich auf der ersten Waschlackschicht 5a befinden. Somit lassen sich eine Vielzahl von unterschiedlichen Strukturierungen auf einfache und kostengünstige Weise erzeugen.Then, the thus coated substrate 1 immersed in a second washing bath, in which alkaline water is present as washing liquid, and the first washcoat layer 5a washed. In this case, the areas of the first electrically conductive layer 2 , the organic semiconducting layer 3 , the second electrically conductive layer 4 and the electrically insulating layer 7 detached, based on the first washcoat layer 5a are located. Thus, a variety of different structuring generate in a simple and cost-effective manner.

7a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welches musterförmig eine wasserlösliche Waschlackschicht 5 aufgedruckt wurde. Darauf wird eine elektrisch leitende Schicht 2 aus Gold musterförmig aufgedampft und daneben eine organische halbleitende Schicht 3 musterförmig in einer Schichtdicke von 5 nm aufgebracht. Die elektrisch leitende Schicht 2 und die organische halbleitende Schicht 3 bedecken jeweils die Waschlackschicht 5. Dabei ist es unwesentlich, ob die elektrisch leitende Schicht 2 und die organische halbleitende Schicht 3 direkt aneinander angrenzen, einander überlappen oder voneinander beabstandet angeordnet sind. Wichtig ist hierbei lediglich, dass die elektrisch leitende Schicht 2 und die organische halbleitende Schicht 3 im Bereich der Waschlackschicht 5 zusammentreffen. Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die Waschlackschicht 5 abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der elektrisch leitenden Schicht 2 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 5 befinden. 7a shows a substrate 1 in cross section, on which pattern a water-soluble washcoat layer 5 was printed. It will be an electrically conductive layer 2 made of gold vapor deposited patternwise and next to an organic semiconducting layer 3 pattern applied in a layer thickness of 5 nm. The electrically conductive layer 2 and the organic semiconductive layer 3 each cover the washcoat layer 5 , It is immaterial whether the electrically conductive layer 2 and the organic semiconductive layer 3 directly adjacent to each other, overlapping each other or spaced apart. It is important only that the electrically conductive layer 2 and the organic semiconductive layer 3 in the area of the washcoat layer 5 meet. The thus coated substrate 1 is now immersed in a washing bath in which water is as washing liquid, and the washcoat layer 5 washed. At the same time, the areas of the organic semiconducting layer become 3 and the electrically conductive layer 2 detached, based on the washcoat layer 5 are located.

Das Ergebnis nach dem Waschprozess ist in 7b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der elektrisch leitenden Schicht 2 erfolgt ist, wobei aufgrund des Verfahrens die organische halbleitende Schicht 3 in einem definierten Abstand zur elektrisch leitenden Schicht 2 angeordnet ist. Eine Abweichung in der Ausrichtung der strukturierten elektrisch leitenden Schicht 2 zur strukturierten organischen halbleitenden Schicht 3 tritt nicht auf, sondern es liegt senkrecht zur Ebene des Substrats 1 gesehen der von der Waschlackschicht 5 vorgegebene, gewünschte Abstand vor. Eine aufwendige Positionierung und Dimensionierung der einzelnen Schichten 2, 3 kann somit entfallen.The result after the washing process is in 7b shown. It turns out that structuring of the organic semiconducting layer 3 and the electrically conductive layer 2 is carried out, wherein due to the method, the organic semiconductive layer 3 at a defined distance from the electrically conductive layer 2 is arranged. A deviation in the orientation of the patterned electrically conductive layer 2 to the structured organic semiconducting layer 3 does not occur but is perpendicular to the plane of the substrate 1 seen from the washcoat layer 5 predetermined, desired distance before. An elaborate positioning and dimensioning of the individual layers 2 . 3 can thus be omitted.

8a zeigt ein Substrat 1 im Querschnitt, auf welches musterförmig eine wasserlösliche Waschlackschicht 5 aufgedruckt wurde. Darauf wird bereichsweise eine organische halbleitende Schicht 3 musterförmig in einer Schichtdicke von 5 nm aufgebracht. Anschließend wird eine elektrisch leitende Schicht 2 aus Gold vollflächig aufgedampft. Die elektrisch leitende Schicht 2 und die organische halbleitende Schicht 3 bedecken jeweils die Waschlackschicht 5 zumindest teilweise. Das derart beschichtete Substrat 1 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und die Waschlackschicht 5 abgewaschen. Dabei werden auch die Bereiche der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der elektrisch leitenden Schicht 2 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 5 befinden. 8a shows a substrate 1 in cross section, on which pattern a water-soluble washcoat layer 5 was printed. This is partially organic semiconducting layer 3 pattern applied in a layer thickness of 5 nm. Subsequently, an electrically conductive layer 2 made of gold evaporated over the entire surface. The electrically conductive layer 2 and the organic semiconductive layer 3 each cover the washcoat layer 5 at least partially. The thus coated substrate 1 is now immersed in a washing bath in which water is as washing liquid, and the washcoat layer 5 washed. At the same time, the areas of the organic semiconducting layer become 3 and the electrically conductive layer 2 detached, based on the washcoat layer 5 are located.

Das Ergebnis nach dem Waschprozess ist in 8b dargestellt. Es zeigt sich, dass eine Strukturierung der organischen halbleitenden Schicht 3 sowie der elektrisch leitenden Schicht 2 erfolgt ist, wobei aufgrund des Waschlacks 5 in einem definierten Abstand voneinander eine strukturierte elektrisch leitende Schicht 2 und zwei Stapel von passgenau zueinander strukturierten organischen halbleitenden Schichten 3 und elektrisch leitenden Schichten 2 angeordnet sind. Eine aufwendige Positionierung und Dimensionierung der einzelnen Schichten 2, 3 kann somit auch in diesem Fall unterbleiben.The result after the washing process is in 8b shown. It turns out that structuring of the organic semiconducting layer 3 and the electrically conductive layer 2 is done, due to the wash 5 at a defined distance from each other a structured electrically conductive layer 2 and two stacks of precisely organic structured semiconducting layers 3 and electrically conductive layers 2 are arranged. An elaborate positioning and dimensioning of the individual layers 2 . 3 can thus be omitted in this case.

9a zeigt ein transparentes Substrat 10 im Querschnitt, auf welches eine erste Schicht 20 aus Aluminium vollflächig aufgedampft wurde. Auf die erste Schicht 20 wird musterförmig eine ätzresistente Waschlackschicht 50 sowie ein Ätzresist 60 gedruckt. 9a shows a transparent substrate 10 in cross section, on which a first layer 20 made of aluminum vapor deposited over its entire surface. On the first shift 20 becomes a pattern-like etch-resistant washcoat 50 and an etch resist 60 printed.

9b zeigt das Substrat 10 aus 9a nach einer Ätzbehandlung, bei welcher das beschichtete Substrat 10 in ein ätzendes Waschbad getaucht und die erste Schicht 20 in Bereichen entfernt wurde, die weder von der ätzresistenten Waschlackschicht 50 noch vom Ätzresist 60 bedeckt sind. 9b shows the substrate 10 out 9a after an etching treatment in which the coated substrate 10 immersed in a caustic wash and the first coat 20 was removed in areas that neither the etch-resistant washcoat layer 50 still from Ätzresist 60 are covered.

Das Substrat 10 wird getrocknet und gemäß 9c anschließend eine weitere Schicht 30 aus Gold vollflächig aufgedampft. Das derart beschichtete Substrat 10 wird nun in ein Waschbad getaucht, in welchem sich alkalisches Wasser als Waschflüssigkeit befindet, und gemäß 9d die ätzresistente Waschlackschicht 50 abgewaschen. Dabei werden die Bereiche der zweiten Schicht 30 abgelöst, die sich auf der Waschlackschicht 50 befinden. 9d zeigt einen Schnitt A-A' durch das beschichtete Substrat 10 gemäß 9e.The substrate 10 is dried and according to 9c then another layer 30 made of gold evaporated over the entire surface. The thus coated substrate 10 is now immersed in a washing bath in which alkaline water is as washing liquid, and according to 9d the etch resistant washcoat 50 washed. In doing so, the areas of the second layer become 30 detached, based on the washcoat layer 50 are located. 9d shows a section AA 'through the coated substrate 10 according to 9e ,

Das resultierende Bauteil, das hier als optisches Sicherheitselement ausgebildet ist, und dessen optisches Erscheinungsbild nach dem Waschprozess auf der Vorderseite und der Rückseite des Substrats 10 ist in den 9e und 9f dargestellt.The resulting component, which is designed here as an optical security element, and its optical appearance after the washing process on the front and the back of the substrate 10 is in the 9e and 9f shown.

9e zeigt das beschichtete Substrat 10 gemäß 9d von oben. Es zeigt sich die zweite Schicht 30 dem Betrachter zugewandt sowie die erste Schicht 20 passergenau und ohne Versatz in einer B-förmigen Aussparung der zweiten Schicht 30. Der Buchstabe „B", welcher aus der ersten Schicht 20 gebildet wurde, füllt die Öffnung in der zweiten Schicht 30 exakt aus, so dass im Randbereich keine Bereiche zu erkennen sind, die lediglich das transparente Substrat 10 zeigen. 9e shows the coated substrate 10 according to 9d from above. It shows the second layer 30 facing the viewer as well as the first layer 20 registration accurate and without offset in a B-shaped recess of the second layer 30 , The letter "B", which is from the first layer 20 was formed fills the opening in the second layer 30 exact, so that no areas are visible in the edge area, the only the transparent substrate 10 demonstrate.

9f zeigt das beschichtete Substrat 10 gemäß 9d von unten beziehungsweise das Bauteil aus 9e, welches um die Schnittachse A-A' um 180° nach unten gekippt wurde. Es zeigt sich das transparente Substrat 10 dem Betrachter zugewandt, durch welches hindurch die strukturierte erste Schicht 20 sowie die strukturierte zweite Schicht 30 zu erkennen sind. Der Buchstabe B ist somit von beiden Seiten des Bauteils zu erkennen, wobei die Positionierung zur B-förmigen benachbarten Öffnung in der zweiten Schicht 30 passergenau und ohne Versatz erfolgt ist. 9f shows the coated substrate 10 according to 9d from below or the component 9e , which was tilted down about the cutting axis AA 'by 180 °. It shows the transparent substrate 10 facing the viewer, through which the structured first layer 20 as well as the structured second layer 30 can be seen. The letter B can thus be seen from both sides of the component, the positioning of the B-shaped adjacent opening in the second layer 30 accurate registration and without offset has occurred.

10a zeigt ein transparentes Substrat 100 im Querschnitt, auf welches eine erste Schicht 200 aus Aluminium vollflächig aufgedampft wurde. Auf die erste Schicht 200 wird musterförmig eine ätzende Waschlackschicht 500 sowie eine herkömmliche Waschlackschicht 5c gedruckt und getrocknet. Darauf wird eine zweite Schicht 300 aus Gold vollflächig aufgedampft. 10a shows a transparent substrate 100 in cross section, on which a first layer 200 made of aluminum vapor deposited over its entire surface. On the first shift 200 is patterned a corrosive washcoat 500 and a conventional washcoat layer 5c printed and dried. It will be a second layer 300 made of gold evaporated over the entire surface.

10b zeigt das Substrat 100 aus 10a nach einer Waschbehandlung, bei welcher das beschichtete Substrat 100 in ein Waschbad aus alkalischem Wasser getaucht und die erste Schicht 200 und die zweite Schicht 300 in Bereichen entfernt wurde, die über oder unter der ätzenden Waschlackschicht 500 angeordnet und geätzt wurden sowie die Bereiche der zweiten Schicht 300 entfernt wurden, die über der Waschlackschicht 5c angeordnet wurden. 10b zeigt einen Schnitt B-B' durch das gebildete Bauteil gemäß 10c. 10b shows the substrate 100 out 10a after a washing treatment in which the coated substrate 100 immersed in a wash bath of alkaline water and the first layer 200 and the second layer 300 was removed in areas above or below the caustic washcoat 500 were arranged and etched and the areas of the second layer 300 were removed, over the washcoat layer 5c were arranged. 10b shows a section BB 'through the formed component according to 10c ,

Das Substrat 100 wird getrocknet und es können gegebenenfalls weitere Schichten aufgebracht werden, was hier jedoch nicht erfolgt ist.The substrate 100 is dried and it may optionally be applied more layers, but this is not done here.

Das resultierende Bauteil, das hier als optisches Sicherheitselement ausgebildet ist, und dessen optisches Erscheinungsbild nach dem Waschprozess auf der Vorderseite und der Rückseite des Substrats 100 ist in den 10c und 10d dargestellt.The resulting component, which is designed here as an optical security element, and its optical appearance after the washing process on the front and the back of the substrate 100 is in the 10c and 10d shown.

10c zeigt das beschichtete Substrat 100 gemäß 10b von oben. Es zeigt sich die zweite Schicht 300 dem Betrachter zugewandt sowie die erste Schicht 200 in einer B-förmigen Aussparung der zweiten Schicht 300. Die erste Schicht 200 füllt die B-förmige Öffnung in der zweiten Schicht 300 exakt aus, so dass im Randbereich keine Bereiche zu erkennen sind, die das transparente Substrat 100 zeigen. 10c shows the coated substrate 100 according to 10b from above. It shows the second layer 300 facing the viewer as well as the first layer 200 in a B-shaped recess of the second layer 300 , The first shift 200 fills the B-shaped opening in the second layer 300 exact, so that no areas are visible in the edge area, the transparent substrate 100 demonstrate.

10d zeigt das beschichtete Substrat 100 gemäß 10b von unten beziehungsweise das Bauteil aus 10c, welches um die Schnittachse B-B' um 180° nach unten gekippt wurde. Es zeigt sich das transparente Substrat 100 dem Betrachter zugewandt, durch welches hindurch die M-förmig strukturierte erste Schicht 200 zu erkennen ist. Der Buchstabe „M" ist somit von beiden Seiten des Bauteils zu erkennen, wobei das M einmal in der ersten Schicht 200 und einmal in der zweiten Schicht 300 als Aussparung zu erkennen ist, die lediglich mit transparentem Substrat 100 gefüllt und exakt passergenau zueinander angeordnet sind. Die exakte passergenaue Positionierung der M-förmigen Öffnungen in der ersten Schicht 200 und der zweiten Schicht 30 weist maximal einen Versatz ± 5 μm auf. 10d shows the coated substrate 100 according to 10b from below or the component 10c , which was tilted down about the cutting axis BB 'by 180 °. It shows the transparent substrate 100 facing the viewer, through which the M-shaped structured first layer 200 can be seen. The letter "M" can thus be seen from both sides of the component, with the M once in the first layer 200 and once in the second shift 300 as a recess can be seen, the only transparent substrate 100 are filled and arranged exactly in register with each other. The exact register-accurate positioning of the M-shaped openings in the first layer 200 and the second layer 30 has a maximum offset of ± 5 μm.

Im Hinblick auf die dargestellten Ausführungsbeispiele wird hinzugefügt, dass es selbstverständlich eine Vielzahl weitere, hier nicht dargestellte oder detailliert beschriebene Möglichkeiten gibt, Bauteile mittels der erfindungsgemäßen Verfahren zu bilden oder Schichten zu strukturieren. Dies erschließt sich einem Fachmann bereits in Kenntnis der vorliegenden Erfindung, ohne dass dieser dabei erfinderisch tätig werden müsste. Eine Kombination der erfindungsgemäßen Verfahren ist, wie bereits oben erwähnt, ohne weiteres durchführbar.in the With regard to the illustrated embodiments, it is added that it of course one Variety more, not shown here or described in detail options to form components by means of the inventive method or To structure layers. This is already apparent to a person skilled in the art aware of the present invention without being inventive Act would. A Combination of the methods of the invention is, as mentioned above, readily feasible.

Claims (46)

Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten: – Bereitstellen eines Substrats (10, 100); – Auftragen von mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300) des mindestens einen Bauteils auf das Substrat (10, 100), wobei die mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300) senkrecht zur Ebene des Substrats (10, 100) gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats (10, 100) gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen; – musterförmiges Auftragen mindestens einer ätzenden oder ätzresistenten Waschlackschicht (50, 500) zwischen den mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300) derart dass die mindestens eine Waschlackschicht (50, 500) senkrecht zur Ebene des Substrats (10, 100) gesehen zwischen den mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300) in mindestens einem Bereich angeordnet wird, in welchem die mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300) überlappen oder aneinander angrenzen, und – Strukturieren der mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300), wobei unterschiedliche Funktionen der mindestens einen Waschlackschicht (50, 500) gleichzeitig oder nacheinander zur Strukturierung verwendet werden.Method for producing at least one component which comprises at least two structured layers, comprising the following steps: - providing a substrate ( 10 . 100 ); - application of at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ) of the at least one component on the substrate ( 10 . 100 ), the at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ) perpendicular to the plane of the substrate ( 10 . 100 ) at least partially overlap and / or parallel to the plane of the substrate ( 10 . 100 ) are at least partially adjacent to each other; Pattern-wise application of at least one etching or etch-resistant wash-lacquer layer ( 50 . 500 ) between the at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ) such that the at least one washcoat layer ( 50 . 500 ) perpendicular to the plane of the substrate ( 10 . 100 ) seen between the at least two Layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ) is arranged in at least one region in which the at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ) overlap or adjoin one another, and - structuring the at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ), wherein different functions of the at least one washcoat layer ( 50 . 500 ) can be used simultaneously or sequentially for structuring. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine ätzende Waschlackschicht (500) verwendet wird, und dass beim Abwaschen der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht (500) die Bereiche einer Schicht (200) der mindestens zwei Schichten (200, 300), die auf einer dem Substrat (100) zugewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht (500) angeordnet sind, durch Ätzen entfernt werden, und die Bereiche mindestens einer weiteren Schicht (300) der mindestens zwei Schichten (200, 300), die auf einer dem Substrat (100) abgewandten Seite der mindestens einen ätzenden Waschlackschicht (500) angeordnet sind, durch das Abwaschen entfernt werden.A method according to claim 1, characterized in that at least one etching washcoat ( 500 ), and that during the washing of the at least one etching washcoat ( 500 ) the areas of a layer ( 200 ) of at least two layers ( 200 . 300 ) placed on a substrate ( 100 ) facing side of the at least one etching washcoat layer ( 500 ) are removed by etching, and the areas of at least one further layer ( 300 ) of at least two layers ( 200 . 300 ) placed on a substrate ( 100 ) facing away from the at least one etching washcoat ( 500 ) are removed by washing away. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine erste Schicht (200) auf das Substrat (100) aufgetragen wird, dass eine erste ätzende Waschlackschicht (500), welche die erste Schicht (200) ätzt, musterförmig zumindest teilweise auf die erste Schicht (200) aufgetragen und getrocknet wird, dass mindestens eine zweite Schicht (300) zumindest teilweise auf die erste ätzende Waschlackschicht (500) und weiterhin überlappend mit der ersten Schicht (200) aufgebracht wird, und dass anschließend die musterförmige erste ätzende Waschlackschicht (500) abgewaschen wird, wobei zusammen mit der ersten ätzenden Waschlackschicht (500) die senkrecht zur Ebene des Substrats (100) gesehen unter der ersten ätzenden Waschlackschicht (500) liegenden Bereiche der ersten Schicht (200) und die über der ersten ätzenden Waschlackschicht (500) liegenden Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht (300) entfernt werden.Method according to claim 2, characterized in that at least one first layer ( 200 ) on the substrate ( 100 ) is applied, that a first etching washcoat layer ( 500 ), which the first layer ( 200 ) etched, patterned at least partially on the first layer ( 200 ) is applied and dried, that at least a second layer ( 300 ) at least partially on the first etching washcoat ( 500 ) and still overlapping with the first layer ( 200 ) is applied, and then that the pattern-shaped first etching washcoat layer ( 500 ), wherein, together with the first etching washcoat layer ( 500 ) perpendicular to the plane of the substrate ( 100 ) seen under the first etching washcoat ( 500 ) lying areas of the first layer ( 200 ) and those above the first etching washcoat ( 500 ) lying portions of the at least one second layer ( 300 ) are removed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht (50) auf mindestens eine Schicht (20) der mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30) aufgebracht wird, dass die mindestens eine Schicht (20) in Bereichen, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht (50) bedeckt sind, mittels Ätzen entfernt wird, dass mindestens eine weitere Schicht (3, 40; 30) der mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30) derart aufgetragen wird, dass die mindestens eine weitere Schicht (3, 40; 30) zumindest bereichsweise mit der ätzresistenten Waschlackschicht (50) überlappt, und dass die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht (50) abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen weiteren Schicht (3, 40; 30), die auf der dem Substrat (10) abgewandten Seite der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht (50) angeordnet sind, entfernt werden.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one etch-resistant washcoat layer ( 50 ) on at least one layer ( 20 ) of at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ) is applied, that the at least one layer ( 20 ) in areas which are not compatible with the at least one etch-resistant washcoat ( 50 ) are removed, removed by etching, that at least one further layer ( 3 . 40 ; 30 ) of at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ) is applied in such a way that the at least one further layer ( 3 . 40 ; 30 ) at least in regions with the etching-resistant washcoat layer ( 50 ) and that the at least one etch-resistant washcoat ( 50 ), the areas of the at least one further layer ( 3 . 40 ; 30 ), which are on the substrate ( 10 ) facing away from the at least one etch-resistant washcoat layer ( 50 ) are removed. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht (50) resistent gegen mindestens ein Ätzmittel ausgebildet wird.A method according to claim 4, characterized in that the at least one etch-resistant washcoat layer ( 50 ) is formed resistant to at least one etchant. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine erste Schicht (20) auf das Substrat (10) aufgetragen wird, dass eine erste ätzresistente Waschlackschicht (50) musterförmig zumindest teilweise auf die mindestens eine erste Schicht (20) aufgetragen und getrocknet wird, dass die mindestens eine erste Schicht (20) mittels Ätzens in Bereichen entfernt wird, die nicht mit der mindestens einen ätzresistenten Waschlackschicht (50) bedeckt sind, dass mindestens eine zweite Schicht (3, 40; 30) des mindestens einen Bauteils aufgetragen wird derart, dass die mindestens eine zweite Schicht (3, 40; 30) zumindest bereichsweise mit der ersten ätzresistenten Waschlackschicht (50) überlappt, und dass die erste ätzresistente Waschlackschicht (50) abgewaschen wird, wobei die Bereiche der mindestens einen zweiten Schicht (3, 40; 30), die auf der dem Substrat (10) abgewandten Seite der ersten ätzresistenten Waschlackschicht (50) angeordnet sind, entfernt werden.Method according to one of claims 4 or 5, characterized in that at least one first layer ( 20 ) on the substrate ( 10 ) is applied, that a first etching-resistant washcoat layer ( 50 ) patterned at least partially on the at least one first layer ( 20 ) is applied and dried, that the at least one first layer ( 20 ) is removed by means of etching in areas which are not compatible with the at least one etch-resistant washcoat layer (US Pat. 50 ), that at least one second layer ( 3 . 40 ; 30 ) of the at least one component is applied such that the at least one second layer ( 3 . 40 ; 30 ) at least in regions with the first etching-resistant washcoat layer ( 50 ) and that the first etching-resistant washcoat layer ( 50 ), wherein the regions of the at least one second layer ( 3 . 40 ; 30 ), which are on the substrate ( 10 ) facing away from the first etching-resistant washcoat layer ( 50 ) are removed. Verfahren zur Herstellung mindestens eines Bauteils, welches mindestens zwei strukturierte Schichten umfasst, mit folgenden Schritten: – Bereitstellen eines Substrats (1); – Auftragen vom mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7) des mindestens einen Bauteils auf das Substrat (1), wobei die mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7) senkrecht zur Ebene des Substrats (1) gesehen zumindest bereichsweise überlappen und/oder parallel zur Ebene des Substrats (1) gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen; – musterförmiges Auftragen mindestens einer Waschlackschicht (5, 5a, 5b) zwischen dem Substrat (1) und den mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7), wobei die mindestens eine Waschlackschicht (5, 5a, 5b) derart angeordnet wird, dass beim Abwaschen der Waschlackschicht(en) (5, 5a, 5b) eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7) erfolgt; und – Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht (5, 5a, 5b), wobei die Bereiche der Schicht(en) (2, 3, 4, 7) des Bauteils, die auf der dem Substrat (1) abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht (5, 5a, 5b) angeordnet sind, entfernt werden.Method for producing at least one component which comprises at least two structured layers, comprising the following steps: - providing a substrate ( 1 ); - application of at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ) of the at least one component on the substrate ( 1 ), the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ) perpendicular to the plane of the substrate ( 1 ) at least partially overlap and / or parallel to the plane of the substrate ( 1 ) are at least partially adjacent to each other; - patterned application of at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) between the substrate ( 1 ) and the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ), wherein the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) is arranged such that when washing the washcoat layer (s) ( 5 . 5a . 5b ) a simultaneous structuring of the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ) he follows; and - washing the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ), the areas of the layer (s) ( 2 . 3 . 4 . 7 ) of the component on the substrate ( 1 ) facing away from the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) are removed. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Waschlack als ein ätzender oder ätzresistenter Waschlack ausgebildet ist.A method according to claim 7, characterized in that the at least one washcoat as a caustic or etch resistant Wash lacquer is formed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin musterförmig mindestens ein Ätzresist (6, 60) aufgetragen wird, welcher nach einem Trocknen und/oder Härten insbesondere unlöslich ist.Method according to one of claims 1 to 8, characterized in that furthermore pattern-shaped at least one Ätzresist ( 6 . 60 ) is applied, which is particularly insoluble after drying and / or curing. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass als Ätzresist (6, 60) ein thermisch trocknender Lack, ein strahlungsvernetzender Lack oder ein photostrukturierbarer Lack aufgetragen wird.Process according to Claim 9, characterized in that the etching resist ( 6 . 60 ) a thermally drying lacquer, a radiation-curing lacquer or a photo-structurable lacquer is applied. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils vollflächig erfolgt.Method according to one of claims 1 to 10, characterized that the order of at least one layer to be structured of Component over the entire surface he follows. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Auftrag mindestens einer zu strukturierenden Schicht des Bauteils lediglich bereichsweise erfolgt.Method according to one of claims 1 to 11, characterized that the order of at least one layer to be structured of Component takes place only partially. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Waschlackschicht (5, 5a, 5b, 5c, 50, 500) derart angeordnet wird, dass sie auf ihrer dem Substrat (1, 10, 100) abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens zwei Schichten des Bauteils bedeckt wird.Method according to one of claims 1 to 12, characterized in that the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b . 5c . 50 . 500 ) is arranged in such a way that on its the substrate ( 1 . 10 . 100 ) facing away from at least partially covered by at least two layers of the component. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Waschlackschicht (5a) und mindestens eine weitere Waschlackschicht (5b) aufgebracht werden, wobei die erste Waschlackschicht (5a) auf ihrer dem Substrat (1) abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer Schicht des Bauteils bedeckt wird und die mindestens eine weitere Waschlackschicht (5b) auf ihrer dem Substrat (1) abgewandten Seite zumindest bereichsweise von mindestens einer weiteren Schicht des Bauteils bedeckt wird.Method according to one of claims 1 to 12, characterized in that a first washcoat layer ( 5a ) and at least one further washcoat layer ( 5b ), wherein the first washcoat layer ( 5a ) on its substrate ( 1 ) facing away from at least partially covered by at least one layer of the component and the at least one further washcoat layer ( 5b ) on its substrate ( 1 ) side is at least partially covered by at least one further layer of the component. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei bereichsweise angeordnete Schichten (2, 3) gebildet werden, welche aus unterschiedlichem Material gebildet werden und parallel zur Ebene des Substrats (1) gesehen zumindest bereichsweise aneinander angrenzen, wobei eine Grenzlinie gebildet wird, und wobei senkrecht zur Ebene des Substrats (1) gesehen mindestens eine solche Grenzlinie auf der dem Substrat (1) abgewandten Seite der mindestens einen Waschlackschicht (5, 5a, 5b) angeordnet wird.A method according to claim 12, characterized in that at least two regionally arranged layers ( 2 . 3 ), which are formed of different material and parallel to the plane of the substrate ( 1 ) are at least partially adjacent to each other, wherein a boundary line is formed, and wherein perpendicular to the plane of the substrate ( 1 ) seen at least one such boundary line on the substrate ( 1 ) facing away from the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) is arranged. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Waschlackschichten (5a, 5b) aufgetragen werden, die in einem Waschbad löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten (5a, 5b) gleichzeitig in dem Waschbad erfolgt.Method according to one of claims 1 to 15, characterized in that at least two washcoat layers ( 5a . 5b ), which are soluble in a washing bath, and that the washing off of the at least two washcoat layers ( 5a . 5b ) takes place simultaneously in the washing bath. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Waschlackschichten (5a, 5b) aufgetragen werden, die in unterschiedlichen Waschbädern löslich sind, und dass das Abwaschen der mindestens zwei Waschlackschichten (5a, 5b) nacheinander in den unterschiedlichen Waschbädern erfolgt.Method according to one of claims 1 to 16, characterized in that at least two washcoat layers ( 5a . 5b ), which are soluble in different wash baths, and that the washing off of the at least two washcoat layers ( 5a . 5b ) takes place successively in the different washing baths. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass senkrecht zur Ebene des Substrats (1) gesehen eine jede Schicht, die auf der dem Substrat (1) abgewandten Seite einer Waschlackschicht (5, 5a, 5b) angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht löst.Method according to one of claims 1 to 17, characterized in that perpendicular to the plane of the substrate ( 1 ) seen each layer on the substrate ( 1 ) facing away from a washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ), is permeable to at least one washing liquid which dissolves the respective washcoat layer. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass senkrecht zur Ebene des Substrats (1) gesehen mindestens eine Schicht, die auf der dem Substrat (1) abgewandten Seite einer Waschlackschicht (5, 5a, 5b) angeordnet ist, durchlässig für zumindest eine erste Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht (5, 5a, 5b) löst, und undurchlässig für eine zweite Waschflüssigkeit ist, die die jeweilige Waschlackschicht (5, 5a, 5b) ebenfalls löst.Method according to claim 18, characterized in that perpendicular to the plane of the substrate ( 1 ) seen at least one layer on the substrate ( 1 ) facing away from a washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ), is permeable to at least a first washing liquid, the respective washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ), and impermeable to a second washing liquid, the respective washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) also releases. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) aus einer flexiblen Folie, insbesondere einer Kunststofffolie oder beschichteten Kunststofffolie, gebildet wird.Method according to one of claims 1 to 19, characterized in that the substrate ( 1 ) is formed from a flexible film, in particular a plastic film or coated plastic film. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) bandförmig ausgebildet wird und bei Durchführung des Verfahrens von Rolle zu Rolle transportiert wird.Method according to one of claims 1 to 20, characterized in that the substrate ( 1 ) tape is shaped and transported in carrying out the process from roll to roll. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine ätzende Waschlackschicht (500) aus einem Waschlack mit der folgenden Zusammensetzung gebildet wird: 0,5–40 Gew.-% Ätzmedium 5–40 Gew.-% polymeres Bindemittel 22–80 Gew.-% Wasser 0,1–5 Gew.-% Füllstoff
Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that the at least one etching washcoat layer ( 500 ) is formed from a washcoat having the following composition: 0.5-40% by weight etching medium 5-40% by weight polymeric binder 22-80% by weight water 0.1-5% by weight filler
Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschlack folgende Zusammensetzung aufweist: 5–20 Gew.-% Eisen(III)Chlorid 15–25 Gew.-% Polyvinylalkohol 52–77 Gew.-% Wasser 3 Gew.-% Siliziumdioxid
A method according to claim 22, characterized in that the washcoat has the following composition: 5-20% by weight Iron (III) chloride 15-25% by weight polyvinyl alcohol 52-77% by weight water 3% by weight silica
Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschlack folgende Zusammensetzung aufweist: 2–10 Gew.-% Natriumhydroxid 15–25 Gew.-% Polyvinylpyrrolidon 63–80 Gew.-% Wasser 2–3 Gew.-% Siliziumdioxid (hochdispers)
A method according to claim 22, characterized in that the washcoat has the following composition: 2-10% by weight sodium hydroxide 15-25% by weight polyvinylpyrrolidone 63-80% by weight water 2-3% by weight Silica (highly dispersed)
Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine ätzresistente Waschlackschicht (50) aus einem Waschlack mit der folgenden Zusammensetzung gebildet wird: 12–30 Gew.-% Polymerbindemittel mit sauren Gruppen (Carbonylgruppen) 70–88 Gew.-% Lösemittel 0–2 Gew.-% Füllstoff
A method according to claim 1 or any one of claims 4 to 6, characterized in that the at least one etch-resistant washcoat layer ( 50 ) is formed from a washcoat having the following composition: 12-30% by weight Polymer binders with acid groups (carbonyl groups) 70-88% by weight solvent 0-2% by weight filler
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschlack folgende Zusammensetzung aufweist: 18–25 Gew.-% Polyacrylsäure-Dispersion 75–82 Gew.-% Wasser 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid
A method according to claim 25, characterized in that the washcoat has the following composition: 18-25% by weight Polyacrylic acid dispersant 75-82% by weight water 0-2% by weight silica
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschlack folgende Zusammensetzung aufweist: 12–20 Gew.-% Styrol-Maleinsäureanhydrid 50 Gew.-% Ethanol 2 Gew.-% Butanol 26–34 Gew.-% Ethylacetat 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid
A method according to claim 25, characterized in that the washcoat has the following composition: 12-20% by weight Styrene-maleic anhydride 50% by weight ethanol 2% by weight butanol 26-34% by weight ethyl acetate 0-2% by weight silica
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass der Waschlack folgende Zusammensetzung aufweist: 20–30 Gew.-% Phenolharz mit einer Säurezahl größer 20 70–80 Gew.-% Buthylacetat 0–2 Gew.-% Siliziumdioxid
A method according to claim 25, characterized in that the washcoat has the following composition: 20-30% by weight Phenolic resin with an acid number greater than 20 70-80% by weight butyl acetate 0-2% by weight silica
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7, 20, 30, 40) des Bauteils jeweils mittels eines Verfahrens ausgewählt aus der Gruppe Sputtern, Aufdampfen, Drucken, Aufsprühen, Gießen und Lackieren gebildet werden.Method according to one of claims 1 to 28, characterized in that the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 . 20 . 30 . 40 ) of the component are each formed by means of a method selected from the group of sputtering, vapor deposition, printing, spraying, casting and painting. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass elektrisch leitende Schichten (2, 4, 20, 30, 40) des Bauteils aus einem auf Metall basierenden Material und/oder organischem Material gebildet werden.Method according to one of claims 1 to 29, characterized in that electrically conductive layers ( 2 . 4 . 20 . 30 . 40 ) of the component are formed from a metal-based material and / or organic material. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass halbleitende Schichten (3) des Bauteils aus organischem und/oder anorganischem Material gebildet werden.Method according to one of claims 1 to 30, characterized in that semiconducting layers ( 3 ) of the component are formed from organic and / or inorganic material. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass elektrisch isolierende Schichten (7) des Bauteils aus organischem oder anorganischem Material gebildet werden.Method according to one of claims 1 to 31, characterized in that electrically insulating layers ( 7 ) of the component are formed from organic or inorganic material. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 32, dadurch gekennzeichnet, dass als Bauteil ein elektrisches Bauelement oder eine elektrische Schaltung ausgebildet wird, wobei die strukturierten Schichten elektrische Funktionsschichten ausbilden.Method according to one of claims 1 to 32, characterized that as an electrical component or an electrical component Circuit is formed, wherein the structured layers electrical Form functional layers. Verfahren Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Bauteil oder die elektrische Schaltung mit mindestens einer organischen Funktionsschicht (3) ausgebildet wird.Method according to claim 33, characterized in that the electrical component or the electrical circuit with at least one organic functional layer ( 3 ) is formed. Verfahren nach Anspruch 33 oder 34, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Abwaschen der mindestens einen Waschlackschicht (5, 5a, 5b, 50, 500), und gegebenenfalls nach Durchführung eines Ätzens, senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen mindestens eine elektrisch leitende Verbindung zwischen mindestens zwei strukturierten Schichten ausgebildet wird.A method according to claim 33 or 34, characterized in that after washing the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b . 50 . 500 ), and optionally after etching, perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) seen at least one electrically conductive connection between at least two structured layers is formed. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 35, dadurch gekennzeichnet, dass als Bauteil ein Sicherheitselement zum Aufbringen und/oder Einbetten auf/in zu sichernde Wertdokumente oder Identifikationsdokumente ausgebildet wird, wobei die strukturierten Schichten elektrische Funktionsschichten und/oder dekorative Schichten ausbilden.Method according to one of claims 1 to 35, characterized that as a component a security element for applying and / or Embedding on / in value documents to be secured or identification documents is formed, wherein the structured layers electrical Form functional layers and / or decorative layers. Bauteil, welches mindestens zwei strukturierte Schichten auf einem Substrat (1, 10, 100) aufweist, welche jeweils senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen mindestens einen Schichtrand aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm zueinander verlaufen.Component comprising at least two structured layers on a substrate ( 1 . 10 . 100 ), each perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) have at least one layer edge, characterized in that the layer edges of the at least two structured layers in at least one line-shaped region perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) seen congruent with a maximum tolerance of ± 5 microns, in particular with a maximum tolerance of ± 100 nm to each other. Bauteil nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtränder der mindestens zwei strukturierten Schichten in zumindest einem linienförmigen Bereich senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen deckungsgleich und toleranzlos zueinander verlaufen.Component according to claim 37, characterized in that the layer edges of the at least two structured layers in at least one line-shaped region perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) are congruent and tolerant to each other. Bauteil nach Anspruch 37 oder Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens zwei strukturierten Schichten senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen jeweils mindestens eine musterförmige Öffnung aufweisen, wobei die musterförmigen Öffnungen deckungsgleich mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.Component according to Claim 37 or Claim 38, characterized in that the at least two structured layers are perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) each have at least one pattern-shaped opening, wherein the pattern-shaped openings are arranged congruent with a tolerance of a maximum of ± 5 microns, in particular with a maximum tolerance of ± 100 nm. Bauteil nach einem der Ansprüche 37 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass senkrecht zur Ebene des Substrats (1, 10, 100) gesehen mindestens eine der mindestens zwei strukturierten Schichten mindestens eine musterförmige Öffnung aufweist und dass mindestens eine weitere der mindestens zwei Schichten in Form der musterförmigen Öffnung strukturiert ist, wobei die musterförmige Öffnung deckungsgleich zu der mindestens einen weiteren Schicht mit einer Toleranz von maximal ± 5 μm, insbesondere mit einer Toleranz von maximal ± 100 nm übereinander angeordnet sind.Component according to one of claims 37 to 39, characterized in that perpendicular to the plane of the substrate ( 1 . 10 . 100 ) at least one of the at least two structured layers has at least one pattern-shaped opening and that at least one further of the at least two layers is patterned in the form of the pattern-shaped opening, wherein the pattern-shaped opening coincides with the at least one further layer with a tolerance of a maximum of ± 5 microns , in particular with a tolerance of a maximum of ± 100 nm are arranged one above the other. Bauteil nach einem der Ansprüche 37 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil ein elektrisches Bauelement ist, welches mindestens zwei strukturierte Schichten in Form von elektrischen Funktionsschichten aufweist, welche insbesondere mindestens eine organische Funktionsschicht umfassen, wobei die mindestens zwei strukturierten elektrischen Funktionsschichten auf einem flexiblen Substrat (1, 10, 100) angeordnet sind.Component according to one of claims 37 to 40, characterized in that the component is an electrical component having at least two structured layers in the form of electrical functional layers, which in particular comprise at least one organic functional layer, wherein the at least two structured electrical functional layers on a flexible Substrate ( 1 . 10 . 100 ) are arranged. Bauteil nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Bauelement ein organischer Feldeffekttransistor, eine organische Diode, ein organischer Kondensator, ein Widerstand oder eine Antenne ist.Component according to claim 41, characterized that the electrical component is an organic field-effect transistor, an organic diode, an organic capacitor, a resistor or an antenna. Bauteil nach einem der Ansprüche 37 bis 39, dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil ein Sicherheitselement zum Aufbringen und/oder Einbetten auf/in zu sichernde Wertdokumente oder Identifikationsdokumente ist, wobei die mindestens zwei strukturierten Schichten elektrische Funktionsschichten und/oder dekorative Schichten ausbilden.Component according to one of Claims 37 to 39, characterized that the component is a security element for applying and / or Embedding on / in value documents to be secured or identification documents is, wherein the at least two structured layers of electrical Form functional layers and / or decorative layers. Bauteil nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass das Sicherheitselement ein optisch variables Element aufweist, welches aus unterschiedlichen Blickwinkeln einen unterschiedlichen optischen Eindruck vermittelt.Component according to claim 42, characterized the security element has an optically variable element, which from different angles a different conveys visual impression. Bauteil nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, dass das optisch variable Element eine beugungsoptisch wirksame Struktur, insbesondere ein Hologramm oder Beugungsgitter, oder ein blickwinkelabhängige Farbwechseleffekte erzeugendes Element ist, insbesondere ein Dünnfilm-Interferenzschichtelement oder eine Schicht enthaltend Interferenzpigmente, Flüssigkristalle oder Flüssigkristallpigmente.Component according to Claim 43, characterized that the optically variable element is a diffractive optical effective Structure, in particular a hologram or diffraction grating, or a viewing angle-dependent Color-changing effects generating element, in particular a thin-film interference layer element or a layer containing interference pigments, liquid crystals or liquid crystal pigments. Verwendung mindestens einer musterförmig strukturierten Waschlackschicht zur Strukturierung von mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30; 200, 300; 2, 3, 4, 7) auf einem Substrat (1, 10, 100), wobei a) die Waschlackschicht als ätzende Waschlackschicht (500) ausgebildet wird und zwischen den mindestens zwei Schichten (200, 300) angeordnet wird, wobei durch Abwaschen der ätzenden Waschlackschicht (500) eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten (200, 300) erfolgt, und/oder indem b) die Waschlackschicht als ätzresistente Waschlackschicht (50) ausgebildet wird, wobei nach einem Aufbringen der ätzresistenten Waschlackschicht (50) auf eine erste Schicht (20) der mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30) die erste Schicht (20) in Bereichen, die nicht von der ätzresistenten Waschlackschicht (50) bedeckt sind, durch Ätzen entfernt wird, auf das Substrat (10) mindestens eine zweite Schicht (3, 40; 30) der mindestens zwei Schichten (20, 3, 40; 20, 30) vollflächig aufgebracht wird, welche die ätzresistente Waschlackschicht (50) bedeckt, und schließlich die ätzresistente Waschlackschicht (50) abgewaschen wird, und/oder indem c) die mindestens eine Waschlackschicht (5, 5a, 5b) musterförmig auf das Substrat (1) aufgebracht wird und die mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7) auf der dem Substrat (1) abgewandten Seite der Waschlackschicht (5, 5a, 5b) vollflächig auf das Substrat (1) aufgebracht werden, wobei durch Abwaschen der Waschlackschicht (5, 5a, 5b) eine gleichzeitige Strukturierung der mindestens zwei Schichten (2, 3, 4, 7) erfolgt.Use of at least one pattern-structured washcoat for structuring at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ; 200 . 300 ; 2 . 3 . 4 . 7 ) on a substrate ( 1 . 10 . 100 ), wherein a) the washcoat layer as a corrosive washcoat ( 500 ) and between the at least two layers ( 200 . 300 ) is arranged, wherein by washing the etching washcoat ( 500 ) a simultaneous structuring of the at least two layers ( 200 . 300 ), and / or by b) the washcoat layer as etch-resistant washcoat ( 50 ) is formed, wherein after application of the etching-resistant washcoat layer ( 50 ) on a first layer ( 20 ) of at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ) the first layer ( 20 ) in areas not affected by the etch-resistant washcoat ( 50 ) are removed by etching, on the substrate ( 10 ) at least one second layer ( 3 . 40 ; 30 ) of at least two layers ( 20 . 3 . 40 ; 20 . 30 ) is applied over the entire surface, which the etching-resistant washcoat layer ( 50 ), and finally the etching-resistant washcoat ( 50 ) and / or by c) the at least one washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) patterned onto the substrate ( 1 ) and the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ) on the substrate ( 1 ) facing away from the washcoat layer ( 5 . 5a . 5b ) over the entire surface of the substrate ( 1 ) are applied, wherein by washing the washcoat ( 5 . 5a . 5b ) a simultaneous structuring of the at least two layers ( 2 . 3 . 4 . 7 ) he follows.
DE102006035749A 2006-07-28 2006-07-28 Method for producing at least one component and component Ceased DE102006035749A1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006035749A DE102006035749A1 (en) 2006-07-28 2006-07-28 Method for producing at least one component and component
PCT/EP2007/006597 WO2008012080A1 (en) 2006-07-28 2007-07-25 Method for producing at least one component and component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006035749A DE102006035749A1 (en) 2006-07-28 2006-07-28 Method for producing at least one component and component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102006035749A1 true DE102006035749A1 (en) 2008-01-31

Family

ID=38650171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006035749A Ceased DE102006035749A1 (en) 2006-07-28 2006-07-28 Method for producing at least one component and component

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102006035749A1 (en)
WO (1) WO2008012080A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2086033A1 (en) * 2008-01-31 2009-08-05 Applied Materials, Inc. Method of coating a substrate and coating installation

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2403641A1 (en) * 1973-01-25 1974-08-01 Fuji Photo Film Co Ltd Forming fine patterns - by etching away layer between substrate and resist layer
DE4301737C2 (en) * 1992-01-23 2001-07-05 Minnesota Mining & Mfg Process for the production of flexible circuits
DE10101926A1 (en) * 2000-04-28 2001-10-31 Merck Patent Gmbh Etching pastes for inorganic surfaces

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4242378A (en) * 1979-03-29 1980-12-30 Reiko Co., Ltd. Method of making a decorated film with a metal layer in the form of a given pattern
JPS5978987A (en) * 1982-10-29 1984-05-08 マルイ工業株式会社 Formation of pattern on metal coating
US4610755A (en) * 1985-04-16 1986-09-09 Beckett Donald E Demetallizing method
JPH08186083A (en) * 1994-12-28 1996-07-16 Hitachi Ltd Metal film forming method
DE19819571A1 (en) * 1998-04-30 1999-11-04 Giesecke & Devrient Gmbh Security document with security element
KR20050032114A (en) * 2002-08-06 2005-04-06 아베시아 리미티드 Organic electronic devices
DE10254029A1 (en) * 2002-11-20 2004-06-09 Leonhard Kurz Gmbh & Co. Kg Process for producing a partially metallized film element

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2403641A1 (en) * 1973-01-25 1974-08-01 Fuji Photo Film Co Ltd Forming fine patterns - by etching away layer between substrate and resist layer
DE4301737C2 (en) * 1992-01-23 2001-07-05 Minnesota Mining & Mfg Process for the production of flexible circuits
DE10101926A1 (en) * 2000-04-28 2001-10-31 Merck Patent Gmbh Etching pastes for inorganic surfaces

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008012080A1 (en) 2008-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006037433B4 (en) Method for producing a multilayer body and multilayer body
DE3780089T2 (en) ASSEMBLY TAPE FOR FLEXIBLE FILM SUBSTRATES.
EP1559147B1 (en) Film comprising organic semiconductors
DE69733745T2 (en) ROLL COATED ELECTROLUMINESCENT PANEL
DE1804785C3 (en) Use of an application roller, the surface of which is provided with elastically deformable depressions or threads on the surface, for applying a viscous coating mass to the surface of a flat substrate provided with through holes
DE10157945A1 (en) Process for producing an organic, electroluminescent display and an organic, electroluminescent display
DE4203114C2 (en) Method of manufacturing a tape carrier device for semiconductor devices
EP2981419A1 (en) Method for producing a security element with negative inscription
EP2056656B1 (en) Method for manufacturing a flexible PCB board structure
DE112020001296T5 (en) MILLING FLEXIBLE FILM WITH TWO CONDUCTIVE LAYERS ON BOTH SIDES
DE102006035749A1 (en) Method for producing at least one component and component
WO2015028289A1 (en) Method and system for producing a multi-layer element, and multi-layer element
WO2009146850A1 (en) Electronic circuit
WO2007014694A1 (en) Method for producing an electronic component
DE102004041497B4 (en) &#34;Organic electronic component and method of making such a&#34;
EP0302813B1 (en) Sheet having a metallized surface with a window, method and apparatus for its manufacture
DE102007062944B4 (en) Electronic switch
WO2006056280A1 (en) Method and arrangement for the production of rfid tags
DE102008024451A1 (en) Electrically conductive layer structure and method for its production
DE102008011248A1 (en) Process for the production of printed circuit boards with assembled components
DE3148775C2 (en) Method for manufacturing a slotted plate for encoder
DE102006027291B4 (en) Process for producing a structured layer sequence on a substrate
DE102006027292B4 (en) Process for producing a structured layer sequence on a substrate
DE10332524A1 (en) Leaf material used in the production of a valuable document e.g. bank note comprises a coupling element integrated into a thin layer structure of a circuit
DE102019201792A1 (en) Semiconductor circuit arrangement and method for its production

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final