DE102006019138A1

DE102006019138A1 - Particle testing device, has optics created for enlargement of angle of scattered light in path of rays between measuring cell and detector, in order to place radiation pattern in level of detector in enlargement position of device

Info

Publication number: DE102006019138A1
Application number: DE102006019138A
Authority: DE
Inventors: Bernhard Dr. Michel; Eberhard Lange; Wolfgang Mutter
Original assignee: Fritsch GmbH
Current assignee: Fritsch GmbH
Priority date: 2006-04-21
Filing date: 2006-04-21
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2026-04-22
Also published as: DE102006019138B4

Abstract

The device has a jet production device (1) adjustable with respect to a convergence in such a manner that a radiation pattern point comes to lie in a basic position of the device in the level of a detector (5) or in the enlargement position of the device beyond the level of the detector. An optics (9) is effectively created for enlargement of an angle of scattered light in the path of rays between a measuring cell (3) and the detector, in order to place the test radiation pattern in the level of the detector in the enlargement position of the device.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Partikeluntersuchungsgerät mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines monochromatischen, konvergenten Untersuchungsstrahlenbündels entlang einer optischen Achse, mit einer Messzelle zur Aufnahme von Probematerial, die im konvergenten Untersuchungsstrahlenbündel positioniert werden kann, mit einem Detektor zum Auffangen des Beugungsspektrums des Untersuchungslichtstrahlenbündels nach dem Durchdringen der Messzelle und mit einer Auswerteeinrichtung zum Errechnen von Partikelgrößenverteilungen aufgrund der Lichtintensitätsverteilung des Beugungsspektrums.The The invention relates to a particle examination apparatus with a Device for generating a monochromatic, convergent Investigation beam along an optical axis, with a measuring cell for recording of sample material positioned in the convergent examination beam with a detector to capture the diffraction spectrum of the examination light beam after penetrating the measuring cell and with an evaluation device for calculating particle size distributions due to the light intensity distribution of the diffraction spectrum.

Ein derartiges Partikeluntersuchungsgerät ist aus der EP 0 207 176 B1 sowie der DE 102 18 415 A1 bekannt. Die Geräte zeichnen sich dadurch aus, dass die Messzelle sehr nahe an den Detektor herangefahren werden kann, was es ermöglicht, besonders kleine Partikel, die einen großen Streuwinkel erzeugen, zu detektieren und zu messen: Indem die Messzelle vom Detektor weiter entfernt wird, können auch größere Partikel erfasst und optimal gemessen werden, bei denen die Streuwinkel klein sind. Jedoch setzt die Abmessung des Partikeluntersuchungsgeräts in Richtung der optischen Achse eine praktische Grenze für den optimalen Messbereich nach den größeren Partikeln hin.Such a particle inspection device is known from EP 0 207 176 B1 as well as the DE 102 18 415 A1 known. The devices are characterized by the fact that the measuring cell can be moved very close to the detector, which makes it possible to detect and measure particularly small particles which produce a large scattering angle: by further removing the measuring cell from the detector, it is also possible larger particles are detected and optimally measured, where the scattering angles are small. However, the dimension of the particle analyzing apparatus in the optical axis direction sets a practical limit to the optimum measuring range for the larger particles.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Partikeluntersuchungsgerät der beschriebenen Art mit einer Erweiterung des Messbereichs nach größeren Partikeln hin zu schaffen, ohne die Abmessung des Geräts in Richtung der optischen Achse vergrößern zu müssen.Of the The invention is therefore based on the object, a particle examination device described Type with an extension of the measuring range to larger particles to create without the dimension of the device in the direction of the optical axis enlarge too have to.

Eine weitere Aufgabe besteht darin, ein kompaktes Partikeluntersuchungsgerät der eingangs angegebenen Art für einen Messbereich zu schaffen, der auch größere Partikel – 2000 μm oder mehr – umfasst.A Another object is to provide a compact particle inspection device of the above specified type for to provide a measuring range that also includes larger particles - 2000 microns or more.

Die gestellte Aufgabe wird aufgrund der Merkmale des Anspruchs 1 bzw. 7 gelöst und durch die weiteren Merkmale der abhängigen Ansprüche ausgestaltet und weiterentwickelt.The Asked object is due to the features of claim 1 or 7 solved and embodied by the further features of the dependent claims and further developed.

Im Einzelnen wird die Einrichtung zur Erzeugung des monochromatischen, konvergenten Strahlenbündels mit der Möglichkeit ausgestattet, die Brennweite des Systems zu verändern und damit die Konvergenz des Untersuchungsstrahlenbündels so einzustellen, dass die Strahlenbündelspitze entweder in der Ebene des Detektors oder jenseits dieser Ebene zu liegen kommt. In der Grundstellung des Geräts erfolgt die Fokussierung auf den Mittelpunkt des Detektors. In der Vergrößerungsstellung des Geräts, d. h. mit Messbereichserweiterung zu den größeren Partikeln hin, liegt der Brennpunkt des Systems jenseits der Ebene des Detektors, und es wird eine Optik in den Untersuchungsstrahlengang zwischen Messzelle und Detektor wirksam gemacht, um die Spitze des Strahlenbündels in die Ebene des Detektors zu legen. Auf diese Weise gelingt es, relativ größere Ablenkwinkel des Streulichts zu erzielen und trotzdem einen passend großen Abstand zwischen Messzelle und Detektorebene beizubehalten. Beugungsspektren mit kleineren Streulichtwinkeln, von größeren Partikeln erzeugt, können so in Vergrößerung auf dem Detektor abgebildet und von den Sensorfeldern des Detektors differenziert nachgewiesen werden.in the Individual is the device for generating the monochromatic, convergent beam with the possibility equipped to change the focal length of the system and thus the convergence of the examination beam adjust so that the beam tip either in the Level of the detector or beyond this level comes to rest. In the basic position of the device the focus is on the center of the detector. In the magnification position of the device, d. H. with measuring range extension to the larger particles out the focal point of the system beyond the plane of the detector, and it is an optic in the examination beam path between the measuring cell and detector made effective to the tip of the beam in to lay the plane of the detector. In this way, it is possible relatively larger deflection angle to achieve the scattered light and still a suitable large distance maintain between measuring cell and detector level. diffraction patterns with smaller stray light angles, produced by larger particles, so can in magnification imaged by the detector and by the sensor fields of the detector be demonstrated differentiated.

Bei dem kompakt gebauten Parikeluntersuchungsgerät ist das konvergente Strahlenbündel mit der Spitze auf eine Stelle jenseits der Ebene des Detektors gerichtet, jedoch wird die Strahlenbündelspitze durch die Optik zur Vergrößerung des Winkels des Streulichts in die Ebene des Detektors zurück geholt.at The compact built particle screening device is the convergent beam with the Pointed to a point beyond the plane of the detector, however, the beam peak becomes through the optics to enlarge the Angle of the scattered light in the plane of the detector brought back.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand der Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt:One embodiment The invention will be described with reference to the drawing. Showing:

1 eine perspektivische Darstellung wesentlicher Teile eines Partikeluntersuchungsgeräts, und 1 a perspective view of essential parts of a particle examination apparatus, and

2 Zusatzoptiken zu dem Partikeluntersuchungsgerät. 2 Additional optics to the particle analysis device.

Der grundsätzliche Aufbau des erfindungsgemäßen Partikeluntersuchungsgerätes entspricht dem der DE 102 18 415 A1 . Demgemäß gibt es eine Strahlerzeugungseinrichtung 1 zur Erzeugung eines monochromatischen, konvergenten Untersuchungsstrahlenbündels 21, wenigstens eine Messzelle 3 bzw. 3' und einen Detektor 5, die entlang der optischen Achse, definiert durch das richtig ausgerichtete Strahlenbündel 21, und parallel zu einer Präzisionsschiene 4 angeordnet sind. Das dargestellte Gerät enthält noch eine zweite Strahlerzeugungseinrichtung 2 zur Erzeugung eines zweiten monochromatischen Untersuchungslichtstrahlenbündels, was für die vorliegende Erfindung ohne Belang ist. Das Gerät enthält ferner je eine Strahljustiereinrichtung 6a, 6b für das erste und zweite Untersuchungslichtstrahlenbündel. Der Strahlerzeugungseinrichtung 1 ist eine Drehschalteinrichtung 7a für optische Zusatzteile und der Strahlerzeugungseinrichtung 2 eine weitere Drehschalteinrichtung 7b für optische Zusatzteile zugeordnet. Die Messzellen 3, 3' können von einem verfahrbaren Drehtisch 8 in Wirkstellung zum Untersuchungsstrahlenbündel 21 bzw. außer Wirkstellung geschwenkt werden und sind zu diesem Zweck oberhalb einer Tischplatte 81 je an einem Schwenkarm 82 befestigt. Je ein Antrieb 83 dient zum Antrieb des zugeordneten Schwenkarms 82. Der Drehtisch 8 weist einen Rahmen 80 auf, der entlang von Schienen 85 geführt ist und mittels eines Spindelantriebs 86 verstellt werden kann. Dadurch kann der Abstand der aktiven Messzelle 3 von der Detektorebene 5 eingestellt werden, wobei der Abstand einen Vergrößerungsfaktor für das Beugungsspektrum darstellt. Je größer der Abstand der Messzelle 3 vom Detektor 5, um so größer ist der Abstand der Ringe des Beugungsspektrums voneinander auf dem Detektorschirm. Bekanntlich erzeugen große Partikel kleine Streuwinkel und damit kleine Abstände der Beugungsringe voneinander, und kleine Partikel erzeugen größere Streuwinkel des Beugungsspektrums. Wegen der endlichen Größe des Detektorschirms ist es nur möglich, die Beugungsringe niedriger Ordnung des Spektrums aufzufangen; dies gilt vor allem für kleine Partikel. Indem man aber den Abstand zwischen der Messzelle 3 und dem Detektor 5 klein wählt, hat man es in der Hand, einen ausreichend großen Anteil des Beugungsspektrums auch bei kleinen Partikeln aufzufangen. Bei großen Partikeln mit kleinen Streuwinkeln wählt man einen großen Abstand zwischen Messzelle 3 und Detektor 5. Durch Wahl des geeigneten Abstandes zwischen Messzelle und Detektor hat man es somit in der Hand, die Partikel nach Größenklassen optimal zu messen. Das Gerät hat auf diese Weise einen Messbereich zwischen 8 μm und 1000 μm Partikelgröße.The basic structure of the particle analysis device according to the invention corresponds to that of DE 102 18 415 A1 , Accordingly, there is a beam generating device 1 for generating a monochromatic, convergent examination beam 21 , at least one measuring cell 3 respectively. 3 ' and a detector 5 along the optical axis, defined by the properly aligned beam 21 , and parallel to a precision rail 4 are arranged. The illustrated device still contains a second beam generating device 2 for generating a second monochromatic examination light beam, which is irrelevant to the present invention. The device further includes a respective Strahljustiereinrichtung 6a . 6b for the first and second examination light beams. The beam generating device 1 is a rotary switching device 7a for optical accessories and the beam generating device 2 another rotary switching device 7b assigned for optical accessories. The measuring cells 3 . 3 ' can be moved by a turntable 8th in operative position to the examination beam 21 or be pivoted out of operative position and are for this purpose above a table top 81 each on a swivel arm 82 attached. One drive each 83 serves to drive the associated swivel arm 82 , The turntable 8th has a frame 80 up, along the rails 85 is guided and by means of a spindle drive 86 can be adjusted. This allows the distance of the active measuring cell 3 from the detector level 5 be set, wherein the distance represents a magnification factor for the diffraction spectrum. The larger the distance of the measuring cell 3 from the detector 5 the larger the distance of the rings of the diffraction spectrum from each other on the detector screen. As is known, large particles produce small scattering angles and thus small distances of the diffraction rings from each other, and small particles produce larger scattering angles of the diffraction spectrum. Because of the finite size of the detector screen, it is only possible to capture the low-order diffraction rings of the spectrum; This is especially true for small particles. But by taking the distance between the measuring cell 3 and the detector 5 If you choose small, it is possible to capture a sufficiently large part of the diffraction spectrum even with small particles. For large particles with small scattering angles, choose a large distance between the measuring cell 3 and detector 5 , By choosing the appropriate distance between the measuring cell and the detector, it is thus possible to measure the particles optimally according to size classes. In this way, the device has a measuring range between 8 μm and 1000 μm particle size.

Die zweite Einrichtung 2 zur Erzeugung des zweiten monochromatischen Untersuchungsstrahlenbündels dient zur Erweiterung des Messbereichs nach noch kleineren Partikelgrößen hin, indem die Rückwärtsstreuung von sehr kleinen Partikeln am Detektor 5 aufgefangen wird.The second device 2 for generating the second monochromatic examination beam serves to extend the measuring range for even smaller particle sizes by the backward scattering of very small particles at the detector 5 is caught.

Mitunter will man aber auch größere Partikel optimal messen können. Die Erfindung hat mit dieser Zielrichtung zu tun.from time to time but you want to optimally larger particles can measure. The invention has to do with this objective.

In 1 ist zunächst die Grundstellung des Geräts dargestellt. Wie in DE 102 18 415 A1 im Einzelnen beschrieben, enthält die Strahlerzeugungseinrichtung 1 zur Erzeugung eines monochromatischen, konvergenten Untersuchungsstrahlenbündels 21 einen Laser als monochromatische Lichtquelle und einen Kollimator zur Aufweitung und Fokussierung des Untersuchungsstrahlenbündels auf eine Lochblende 57 des Detektors 5, die den Mittelpunkt zu Sensorfeldern 51, 52, 53 und 54 bildet und hinter der ein Fotosensor angeordnet ist, nämlich im Schaltrad der Drehschalteinrichtung 7b. Wenn eine Messzelle 3 in den Strahlengang eingeschwenkt wird, streuen die Partikel in der Messzelle das Licht unter diversen Winkeln, darunter dem Winkel Θ (2). Dieses Licht wird vom Detektorschirm auf einem Kreis aufgefangen, der die Sensorfelder 51, 52 oder 53, 54 schneidet. Man kann von einer Abbildung auf der Detektorebene sprechen. Indem eine passende Optik 9 in den Strahlengang zwischen Messzelle 3 und Detektor 5 eingebracht wird, wird der Winkel des Streulichts von Θ auf Θ' vergrößert. Dadurch wird aber die Brennweite des Systems verkürzt, was bedeuten würde, dass man den Abstand zwischen Messzelle und Detektor verkleinern müsste, um die Strahlenbündelspitze wiederum in der Lochblende 57 des Detektors zu fangen. Mit der Verkürzung des Abstandes Messzelle – Detektor bliebe daher die Gesamtvergrößerung des Streukreises auf der Detektorebene gering.In 1 First, the basic position of the device is shown. As in DE 102 18 415 A1 described in detail, contains the beam generating device 1 for generating a monochromatic, convergent examination beam 21 a laser as a monochromatic light source and a collimator for widening and focusing the examination beam onto a pinhole 57 of the detector 5 that are the focal point to sensor fields 51 . 52 . 53 and 54 forms and behind which a photosensor is arranged, namely in the ratchet wheel of the rotary switching device 7b , If a measuring cell 3 is pivoted into the beam path, scatter the particles in the measuring cell, the light at various angles, including the angle Θ ( 2 ). This light is picked up by the detector screen on a circle containing the sensor fields 51 . 52 or 53 . 54 cuts. One can speak of a figure at the detector level. By having a matching look 9 in the beam path between the measuring cell 3 and detector 5 is introduced, the angle of the scattered light is increased from Θ to Θ '. As a result, however, the focal length of the system is shortened, which would mean that one would have to reduce the distance between the measuring cell and the detector to the beam tip in turn in the pinhole 57 to catch the detector. With the shortening of the distance between the measuring cell and the detector, therefore, the total magnification of the scattering circle at the detector level would remain low.

Um bei unverändertem Abstand zwischen Messzelle und Detektor trotz eingeschalteter Optik 9 die Strahlenbündelspitze mit der Lochblende 57 aufzufangen, wird die Konvergenz des Untersuchungsstrahlenbündels 21 auf einen kleineren Wert hin verändert. Dies ist gleichbedeutend mit einer Verlängerung der Brennweite des Systems, nämlich um einen Betrag, der der Kürzung der Brennweite durch die Optik 9 entspricht. Damit wird eine deutliche Gesamtvergrößerung der auf der Detektorebene abgebildeten Streukreise erzielt, was deren Auswertung erleichtert. Es sei bemerkt, dass die inverse Fourier-Eigenschaft der Abbildungen erhalten bleibt.At unchanged distance between measuring cell and detector despite switched optics 9 the beam tip with the pinhole 57 will catch the convergence of the investigation beam 21 changed to a smaller value. This is equivalent to extending the focal length of the system, namely, by an amount of the shortening of the focal length by the optics 9 equivalent. This achieves a clear overall enlargement of the scattered regions imaged on the detector plane, which facilitates their evaluation. It should be noted that the inverse Fourier property of the images is preserved.

Um das Untersuchungsstrahlenbündel 21 hinsichtlich seiner Konvergenz einstellbar zu machen, kann man die Brennweite des Kollimators in der Strahlerzeugungseinrichtung 1 zur Erzeugung des monochromatischen, konvergenten Untersuchungsstrahlenbündels 21 veränderlich machen. Zur Erleichterung der Handhabung des Geräts wird aber bevorzugt, eine Konkavlinse 95 in den Untersuchungsstrahlengang 21 einzuschalten. Eine solche Konkavlinse 95 wird in einer Aussparung des Filterrades der Drehschalteinrichtung 7a platziert und in der Vergrößerungsstellung des Geräts zur Wirkung gebracht.Around the examination beam 21 In terms of its convergence, one can adjust the focal length of the collimator in the beam generator 1 for generating the monochromatic, convergent examination beam 21 make it changeable. To facilitate the handling of the device but is preferred, a concave lens 95 in the examination beam path 21 turn. Such a concave lens 95 is in a recess of the filter wheel of the rotary switching device 7a placed and brought into effect in the magnification of the device.

Als Optik 9 wird ein Galilei-Teleskop bevorzugt, welches eine Sammellinse 91 und eine Zerstreuungslinse 92 enthält. Die Sammellinse ist benachbart zur Messzelle 3 angeordnet und die Zerstreuungslinse 92 zum Detektor hin gerichtet. Eine Positioniereinrichtung 90 dient dazu, die Optik 9 in und aus dem Strahlengang 21 zu bringen.As optics 9 a Galileo telescope is preferred, which is a convergent lens 91 and a diverging lens 92 contains. The converging lens is adjacent to the measuring cell 3 arranged and the diverging lens 92 directed towards the detector. A positioning device 90 serves the optics 9 in and out of the beam path 21 bring to.

Beispielexample

Die optische Länge des Geräts beträgt etwa 800 mm. Der Abstand zwischen Messzelle 3 und Detektor 5 wird auf 385 mm fest eingestellt. Der Abstand der Sammellinse 91 von der Messzelle 3 beträgt 20 mm, und der Abstand der beiden Linsen 91, 92 des Galilei-Fernrohrs voneinander beträgt 80 mm, so dass für den Abstand der Zerstreuungslinse 92 zur Detektorebene 285 mm verbleiben. Der Vergrößerungsfaktor des Galilei-Fernrohrs beträgt 2. Dies bedeutet eine Ausweitung des Messbereichs auf 16 μm bis 2000 μm bei einem Messbereich von 8 μm bis 1000 μm in der Grundstellung des Geräts.The optical length of the device is about 800 mm. The distance between the measuring cell 3 and detector 5 is fixed at 385 mm. The distance of the condenser lens 91 from the measuring cell 3 is 20 mm, and the distance between the two lenses 91 . 92 of the Galilean telescope is 80 mm apart, so that for the distance of the diverging lens 92 remain to the detector level 285 mm. The magnification factor of the Galilei telescope is 2. This means an extension of the measuring range to 16 μm to 2000 μm with a measuring range of 8 μm to 1000 μm in the basic position of the instrument.

Es versteht sich, dass der Vergrößerungsfaktor des Galilei-Fernrohrs von 2 abweichen kann. Ein Bereich von 1,5 bis 3 kann bequem gewählt werden. Mit einer aufwendigeren Optik 9 zur Vergrößerung des Winkels des Streulichts können noch größere Vergrößerungsfaktoren erzielt werden. Es versteht sich, dass in einem solchen Fall die vor der Messzelle angeordnete Konkavlinse 95 entsprechend angepasst sein muss, auch in ihrer Güte.It is understood that the magnification factor of the Galilean telescope may differ from 2. A range of 1.5 to 3 can be chosen comfortably. With a more elaborate look 9 To increase the angle of the scattered light even larger magnification factors can be achieved. It is understood that in such a case, the arranged in front of the measuring cell concave lens 95 must be adjusted accordingly, also in their quality.

Das beschriebene Partikeluntersuchungsgerät kann abgewandelt werden. So ist es möglich, statt eines Geräts mit Umschaltung der Messbereiche ein einfaches, kompaktes Gerät zu bauen, dessen Messbereich auch größere Partikel (2000 μm und mehr) umfasst. Dabei wird die Optik zur Vergrößerung des Winkels des Streulichts fest installiert, und die Konvergenz des Untersuchungsstrahlenbündels ist nur so weit veränderbar, als es eine Veränderbarkeit der Brennweite dieser Optik zur Vergrößerung des Winkels des Streulichts gibt, um letztendlich die Strahlenbündelspitze auf den Mittelpunkt des Detektors auftreffen zu lassen.The Particle inspection device described can be modified. So it is possible instead of a device with switching the measuring ranges to build a simple, compact device, its measuring range also larger particles (2000 μm and more). The optics increase the angle of the scattered light is fixed, and the convergence of the inspection beam is only so far changeable, as it is a mutability the focal length of this optics to increase the angle of the scattered light Finally, the beam tip is at the center of the detector.

Claims

Particle inspection apparatus, comprising a device ( 1 ) for generating a monochromatic, convergent examination beam ( 21 ) along an optical axis; a measuring cell ( 3 ) for receiving sample material, which in the convergent examination beam ( 21 ) can be positioned; a detector ( 5 ) with a center ( 57 ) to sensor fields ( 51 . 52 . 53 . 54 ) for capturing the diffraction spectrum of the examination light beam ( 21 ) after penetrating the measuring cell ( 3 ); an evaluation device for calculating particle size distributions on the basis of the light intensity distribution of the diffraction spectrum; characterized in that the device ( 1 ) for generating the monochromatic convergent beam ( 21 ) is adjustable in terms of convergence so that the beam peak in the basic position of the device in the plane of the detector ( 5 ) or in the magnification position of the device beyond the plane of the detector ( 5 ) and that an optic ( 9 ) for increasing the angle of the scattered light in the beam path between the measuring cell ( 3 ) and detector ( 5 ) can be made operative in the magnification position of the device, the beam tip in the plane of the detector ( 5 ).

Particle inspection apparatus according to claim 1, characterized in that the device ( 1 ) for generating the monochromatic convergent beam ( 21 ) in the basic position of the device with the beam tip in the plane of the detector ( 5 ) and an additional concave lens ( 95 ), which in the beam path in front of the measuring cell ( 3 ) can be turned on to the magnification setting of the device.

Particle inspection apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the optics ( 9 ) to increase the angle of the scattered light a Galileo telescope ( 91 . 92 ), which is in the beam path after the measuring cell ( 3 ) can be turned on to the magnification setting of the device.

Particle inspection apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the device ( 1 ) for generating a monochromatic, convergent beam path ( 21 ) has a laser and a collimator behind which a rotary indexing device ( 7a ) for switching on for filters and for the additional concave lens ( 95 ) is provided.

Particle inspection apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that a positioning device ( 90 ) for the Galileo telescope ( 91 . 92 ) is provided on the device to the Galileo telescope ( 91 . 92 ) to spend in and out of the beam path.

Particle inspection device according to one of claims 1 to 5, characterized in that for adjusting the magnification position of the device, the distance between the measuring cell ( 3 ) and detector ( 5 ) is set to a fixed value.

Particle inspection apparatus, comprising a device ( 1 ) for generating a monochromatic, convergent examination beam ( 21 ) along an optical axis; a measuring cell ( 3 ) for receiving sample material, which in the convergent examination beam ( 21 ) can be positioned; a detector ( 5 ) with a center ( 57 ) to sensor fields ( 51 . 52 . 53 . 54 ) for capturing the diffraction spectrum of the examination light beam ( 21 ) after penetrating the measuring cell ( 3 ); an evaluation device for calculating particle size distributions on the basis of the light intensity distribution of the diffraction spectrum; characterized in that an optic ( 9 ) for increasing the angle of the scattered light in the beam path between the measuring cell ( 3 ) and detector ( 5 ) and that the facility ( 1 ) for generating the monochromatic convergent beam ( 21 ) is adjusted in terms of convergence so that the beam peak in the plane of the detector ( 5 ) comes to rest.

Particle inspection apparatus according to claim 7, characterized in that the optics ( 9 ) to increase the angle of the stray light a Galilei Te leskop ( 91 . 92 ).