DE102006017841A1 - Laser scanning microscope with main beam splitter for the spatial separation of illumination and detection radiation - Google Patents

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Abstract

Es wird bereitgestellt ein Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle (5) und einem Detektionsstrahlengang (2), der in einer Probe angeregte (3) und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse (OA) zu einer Detektoreinrichtung (4) leitet und in dem ein Strahlteiler (13) vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle (5) abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang (B) auf die Probe (3) gerichtet ist, wobei der Strahlteiler (13) an der Probe (3) spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung (4) passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges (B) angeordnet sowie teilverspiegelt ist, wobei der Strahlteiler (13) eine im Detektionsstrahlengang (2) liegende Strahlteilerfläche (22) aufweist, die zumindest an drei Punkten (23a-d) für die Beleuchtungsstrahlung verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche (22) auf einem Kreis um den Durchstoßpunkt (25) der optischen Achse (OA) liegen, und die Beleuchtungsstrahlquelle (5) eine der Punktzahl entsprechende Anzahl von Teilstrahlen (Sa-d) erzeugt und diese auf die drei Punkte (23a-d) des Strahlteilers (13) derart fokussiert, daß in der Probe (3) ein Interferenzmuster (28) in Form periodisch über die Probe (3) verteilter Beleuchtungsflecke (26) entsteht.A laser scanning microscope is provided with an illuminating beam source (5) and a detection beam path (2), which conducts (3) and / or backscattered radiation excited in a sample along an optical axis (OA) to a detector device (4) and In which a beam splitter (13) is provided, via which the illuminating radiation emitted by the illuminating beam source (5) is directed onto the sample (3) in an illuminating beam path (B), the illuminating radiation specularly reflected on the sample (3) cannot pass to the detector device (4) and is arranged in a pupil of the illuminating beam path (B) and partially mirrored, the beam splitter (13) having a beam splitter surface (22) lying in the detection beam path (2), which has at least three points (23a) d) is mirrored for the illuminating radiation which is on the beam splitter surface (22) on a circle around the penetration point (25) of the optical Axis (OA) lie, and the illuminating beam source (5) generates a number of partial beams (Sa-d) corresponding to the number of points and focuses them on the three points (23a-d) of the beam splitter (13) in such a way that in the sample (3rd ) an interference pattern (28) is formed in the form of illumination spots (26) distributed periodically over the sample (3).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle und einem Detektionsstrahlengang, der in einer Probe angeregte und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse zu einer Detektoreinrichtung leitet und in dem ein Strahlteiler vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang auf die Probe gerichtet ist, wobei der Strahlteiler an der Probe spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges angeordnet sowie teilverspiegelt istThe The invention relates to a laser scanning microscope with a Illumination beam source and a detection beam path, which in a sample of excited and / or backscattered radiation along one optical axis leads to a detector device and in the one Beam splitter is provided over the emitted from the illumination beam source illumination radiation directed in an illumination beam path to the sample, wherein the beam splitter on the specimen reflects reflected illumination radiation does not let pass to the detector device and in a pupil of the Illuminating beam path is arranged and partially mirrored

Für Laser-Scanning-Mikroskope, die, wie beispielsweise in der DE 19702753A1 beschrieben ist, eine Probe durch Abrastern einer konfokalen Abbildung erfassen, ist die Untersuchung biologischer Präparate mittels Fluoreszenzmikroskopie eine verbreitete Anwendung. Dabei wird in einer Probe Fluoreszenz angeregt, wodurch gegenüber der Anregungsstrahlung spektral Stokes-verschobene Fluoreszenzstrahlung entsteht, die dann mit dem Laser-Scanning-Mikroskop konfokal detektiert wird. Anstelle einer konfokalen Detektion kann auch eine Weitfelddetektion erfolgen, beispielsweise im Falle einer Multi-Photonen-Anregung.For laser scanning microscopes, such as in the DE 19702753A1 As described above, detecting a sample by scanning a confocal image, the examination of biological preparations by fluorescence microscopy is a widespread application. In this case, fluorescence is excited in a sample, whereby compared to the excitation radiation spectrally Stokes-shifted fluorescence radiation is produced, which is then detected confocal with the laser scanning microscope. Instead of confocal detection, far-field detection can also be performed, for example in the case of multi-photon excitation.

Grundsätzlich stellt sich bei einem Laser-Scanning-Mikroskop die Aufgabe, daß die Beleuchtungsstrahlung, die im erwähnten Fall der Fluoreszenzmikroskopie Anregungsstrahlung ist, von der zu detektierenden Strahlung getrennt werden muß, da zumeist die Beleuchtungsstrahlung und die Detektionsstrahlung über ein gemeinsames Objektiv geführt werden, d.h. die Beleuchtungsstrahlung fällt über das Objektiv ein, mit dem auch die Detektionsstrahlung zum Detektor geleitet wird. Es ist deshalb üblich, die Beleuchtungsstrahlung über einen Strahlteiler einzukoppeln, der dafür sorgt, daß an der Probe rückreflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht oder zu einem möglichst geringen Anteil zum Detektor passiert.Basically In a laser scanning microscope, the object is that the illumination radiation, in the mentioned Case of fluorescence microscopy is excitation radiation, from to Detecting radiation must be separated, since usually the illumination radiation and the detection radiation over a common objective are, i. the illumination radiation is incident on the lens, with the also the detection radiation is passed to the detector. It is therefore commonplace the illumination radiation over couple in a beam splitter which causes back reflection on the sample Illumination radiation not or to the least possible proportion to Detector happens.

In der Fluoreszenzmikroskopie macht man sich die Stokes-bedingte Wellenlängenverschiebung zwischen Detektions- und Anregungsstrahlung zunutze und verwendet für den Strahlteiler geeignete dichroitische Elemente, weshalb sich für den Strahlteiler auch der Begriff Farbteiler oder Hauptfarbteiler eingebürgert hat. Unterscheiden sich Beleuchtungs- und Detektionsstrahlung jedoch spektral nicht, hilft dieser Ansatz nicht weiter. Auch ist die Trennschärfe eines dichroitischen Strahlteilers begrenzt, was entweder dazu führt, daß im Detektionsstrahlengang nach dem Strahlteiler immer noch an der Probe rückreflektierte Anregungsstrahlung verbleibt oder daß die Detektionsstrahlung beim Durchgang durch den Strahlteiler unnötig abgeschwächt wird.In In fluorescence microscopy one makes the Stokes-related wavelength shift between Utilizing detection and excitation radiation and used for the beam splitter suitable dichroic elements, which is why the beam splitter and the Term natural color divider or main color divider. Distinguish yourself However, illumination and detection radiation is not spectrally helpful this approach does not continue. Also, the selectivity of a limited dichroic beam splitter, which either leads to that in the detection beam path after the beam splitter still reflected back to the sample excitation radiation remains or that the Detection radiation is unnecessarily attenuated when passing through the beam splitter.

Einen spektral unabhängigen Ansatz stellt die DE 10257237A1 vor. Das dort beschriebene Laser-Scanning-Mikroskop der eingangs genannten Art verwendet die Tatsache, daß von der Probe kommende Strahlung in der Regel inkohärent, d.h. nicht gerichtet an der Probe emittiert wird, wohingegen spiegelnd reflektierte Anregungs- oder Beleuchtungsstrahlung gerichtet in den Detektionsstrahlengang einkoppelt. Die DE 10257237A1 schlägt deshalb vor, in eine Pupille des Beleuchtungsstrahlengangs einen Strahlteiler einzufügen, der am Durchstoßpunkt der optischen Achse transparent und ansonsten verspiegelt ist. Zugleich wird die Beleuchtungsstrahlung genau auf diesen transparenten Fleck fokussiert. Im Ergebnis erhält man damit eine flächige Beleuchtung der Probe und zugleich gelangt an der Probe spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung wieder auf die Spiegelfläche des Strahlteilers und wird dadurch aus dem nachfolgenden Teil des Detektionsstrahlengangs aufgespiegelt. Die diffus in der Probe erzeugte Detektionsstrahlung hingegen wird nicht fokussiert, füllt die ganze Pupille und wird fast vollständig transmittiert. Der als Auskoppelgrad der Beleuchtungsstrahlung zu verstehende Wirkungsgrad dieses Strahlteilers ist also nur durch das Flächenverhältnis von Pupille zu transparentem Fleck gegeben. Er kann bei geeigneter Fokussierung der Beleuchtungsstrahlung weit über 90% liegen. Der derart durch die DE 10257237A1 erreichte Strahlteiler ist spektral unempfindlich und erlaubt eine hohe Ausbeute der Detektionsstrahlung.A spectrally independent approach is the DE 10257237A1 in front. The laser scanning microscope of the type mentioned therein uses the fact that radiation coming from the sample is usually emitted incoherently, ie not directionally, on the sample, whereas specular or illumination radiation reflecting in the mirror direction is coupled into the detection beam path in a directed manner. The DE 10257237A1 Therefore proposes to insert in a pupil of the illumination beam path, a beam splitter, which is transparent at the piercing point of the optical axis and otherwise mirrored. At the same time, the illumination radiation is focused precisely on this transparent spot. As a result, this results in a surface illumination of the sample and at the same time specularly reflected illumination radiation arrives on the specimen again on the mirror surface of the beam splitter and is thus reflected from the subsequent part of the detection beam path. In contrast, the detection radiation generated diffusely in the sample is not focused, fills the entire pupil and is almost completely transmitted. The efficiency of this beam splitter to be understood as the coupling-out degree of the illumination radiation is therefore given only by the area ratio of the pupil to the transparent spot. It can be well over 90% with a suitable focusing of the illumination radiation. The so by the DE 10257237A1 reached beam splitter is spectrally insensitive and allows a high yield of detection radiation.

Die Laser-Scanning-Mikroskopie eignet sich, wie bereits erwähnt, besonders zur Untersuchung biologischer Proben. Die Zeitdauer, die für die Aufnahme eines Bildes benötigt wird, ist bei biologischen Proben naturgemäß ein bedeutender Faktor, insbesondere wenn man lebende Proben untersuchen oder schnell ablaufende Vorgänge analysieren möchte. Es ist deshalb stetes Bestreben in der Laser-Scanning-Mikroskopie, die Bildaufnahmegeschwindigkeit zu steigern. Hierzu sind in letzter Zeit vermehrt Mikroskopsysteme beschrieben worden, die eine Probe nicht mit einem punkt-artigen Lichtfleck (d.h. mit nicht einem konfokalen Punkt-Scanner) abtasten, sondern mit einer zeilenförmigen Beleuchtung und Abtastung (d.h. eine konfokale Schlitzblende) verwenden. Auch hierfür stellt die DE 10257237A1 einen geeigneten Strahlteiler bereit, bei dem dann ein zeilenförmiger Bereich in Form eines schmalen Rechteckes auf dem Strahlteiler verspiegelt ist.As already mentioned, laser scanning microscopy is particularly suitable for examining biological samples. The amount of time it takes to take an image is naturally a significant factor in biological samples, especially when examining living samples or analyzing fast-paced processes. It is therefore constant efforts in laser scanning microscopy to increase the image acquisition speed. For this purpose, microscope systems have recently been described which do not sample a sample with a dot-like light spot (ie, not with a confocal dot scanner), but use a line-shaped illumination and scan (ie, a confocal slit). Again, the DE 10257237A1 a suitable beam splitter, in which then a line-shaped area in the form of a narrow rectangle is mirrored on the beam splitter.

Zwar erreichen zeilen-scannende Systeme eine hohe Bildaufnahmegeschwindigkeit, jedoch ist die Tiefenschärfeauflösung gegenüber einem punkt-scannenden System vermindert, da es in der konfokalen Abbildung mit der Schlitzblende prinzipbedingt zu einem gewissen Übersprechen längs der Schlitzblendenrichtung kommt.While line-scanning systems achieve high image acquisition speed, depth-of-field resolution is one Point-scanning system is reduced, as it comes in principle in the confocal imaging with the slit diaphragm to some crosstalk along the slit diaphragm direction.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde ein Laser-Scanning-Mikroskop der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß eine schnelle Bildaufnahme möglich ist, ohne die mit einer Schlitzblende einhergehende Tiefenauflösungseinschränkung.Of the The invention is therefore based on the object of a laser scanning microscope of the type mentioned in such a way that a rapid image acquisition possible is without the depth resolution limitation associated with a slit diaphragm.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle und einem Detektionsstrahlengang, der in einer Probe angeregte und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse zu einer Detektoreinrichtung leitet und in dem ein Strahlteiler vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang auf die Probe gerichtet ist, wobei der Strahlteiler an der Probe spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges angeordnet sowie teilverspiegelt ist, gelöst, bei dem der Strahlteiler eine im Detektionsstrahlengang liegende Strahlteilerfläche aufweist, die an drei Punkten verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche auf einen Kreis um den Durchstoßpunkt der optischen Achse liegen, und bei dem die Beleuchtungsstrahlquelle eine der Punktzahl entsprechende Anzahl an Teilstrahlen erzeugt und diese auf die Punkte des Strahlteilers derart fokussiert, daß in der Probe ein Interferenzmuster in Form periodisch über die Probe verteilter Beleuchtungsflecke entsteht.These Task is according to the invention with a Laser scanning microscope with an illumination beam source and a detection beam path that excite in a sample and / or backscattered Radiation along an optical axis leads to a detector device and in a beam splitter is provided over that of the illumination beam source emitted illumination radiation in an illumination beam path directed to the sample, with the beam splitter on the sample mirroring reflected illumination radiation not to the detector device lets happen and to arranged in a pupil of the illumination beam path as well partially mirrored, solved, in which the beam splitter has a beam splitter surface lying in the detection beam path, which is mirrored at three points, which on the beam splitter surface on a circle around the puncture point the optical axis, and in which the illumination beam source generated a number of points corresponding number of partial beams and focused on the points of the beam splitter such that in the Sample an interference pattern in the form of illumination spots distributed periodically over the sample arises.

Die erfindungsgemäße Lösung läßt sich natürlich auch invertieren, indem der Strahlteiler die Detektionsstrahlung ausspiegelt und spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung passieren läßt. Dazu ist vorgesehen, ein Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle und einem Detektionsstrahlengang, der in einer Probe angeregte und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse zu einer Detektoreinrichtung leitet und in dem ein Strahlteiler vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang auf die Probe gerichtet ist, wobei der Strahlteiler an der Probe spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges angeordnet sowie teilverspiegelt ist, wobei der Strahlteiler eine im Detektionsstrahlengang liegende reflektierende Strahlteilerfläche aufweist, die zumindest an drei Punkten für die Beleuchtungsstrahlung nicht verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche auf einem Kreis um den Durchstoßpunkt der optischen Achse liegen, und die Beleuchtungsstrahlquelle eine der Punktzahl entsprechende Anzahl von Teilstrahlen erzeugt und diese auf die drei Punkte des Strahlteilers derart fokussiert, daß in der Probe ein Interferenzmuster in Form periodisch über die Probe verteilter Beleuchtungsflecke entsteht.The inventive solution can be Naturally also invert by the beam splitter the detection radiation reflecting and mirroring reflected light radiation happen leaves. To is provided, a laser scanning microscope with an illumination beam source and a detection beam path that is excited and / or backscattered in a sample Radiation along an optical axis leads to a detector device and in a beam splitter is provided over that of the illumination beam source emitted illumination radiation in an illumination beam path directed to the sample, with the beam splitter on the sample mirroring reflected illumination radiation not to the detector device lets happen and to arranged in a pupil of the illumination beam path as well is partially mirrored, wherein the beam splitter one in the detection beam path lying reflective beam splitter surface, at least at three points for the illumination radiation is not mirrored, which on the Beam splitter surface on a circle around the puncture point the optical axis, and the illumination beam source one of Score corresponding number of sub-beams generated and this focused on the three points of the beam splitter such that in the Sample an interference pattern in the form of illumination spots distributed periodically over the sample arises.

Die Erfindung erzielt eine hocheffiziente Punktgruppenerzeugung mittels eines einfachen Aufbaus.The Invention achieves highly efficient dot group generation by means of a simple construction.

Erfindungsgemäß wird der Strahlteiler so ausgebildet, daß die Probe mit einer Punktgruppe in Form eines durch Interferenz erzeugten Musters beleuchtet wird. Dies erlaubt eine parallele Beleuchtung mehrerer Punkte und auch ein paralleles Abtasten dieser gleichzeitig beleuchteten Punkte, wenn die Detektoreinrichtung eine Multipunktdetektion an den beleuchteten Flecken vornimmt. Im Ergebnis erhält man gegenüber einer Einzelpunktbeleuchtung eine um die Punktanzahl vervielfachte Abtastgeschwindigkeit, ohne daß die Tiefenauflösung beeinträchtigt wäre. Die Beleuchtung (in der Fluoreszenzmikroskopie, Anregung) der Probe mit dem regelmäßigen Punktgruppenmuster erfolgt erfindungsgemäß unter Ausnutzung eines Interterenzeffektes, so daß die Anzahl an Beleuchtungsstrahlen, welche die Beleuchtungsquelle bereitstellt, sehr viel geringer ist, als die Anzahlen an Beleuchtungsflecken im regelmäßigen Muster. Der Interferenzeffekt benötigt lediglich mindestens drei reflektierende Punkte/transmittierende Löcher am Strahlteiler, auf die die Beleuchtungsstrahlung fokussiert wird, so daß man mindestens drei Beleuchtungsstrahlen am Strahlteiler einkoppelt. Diese Anzahl an Beleuchtungsstrahlen (in dieser Beschreibung wird der Begriff "Strahl" synonym für ein entsprechendes Strahlbündel verwendet) läßt sich einfach erzeugen. Z.B. werden bei einem Ausgangsstrahl lediglich zwei Tellerelemente benötigt. Es ist deshalb bevorzugt, daß die Beleuchtungsstrahlquelle einen Laser, der einen Laserstrahl abgibt, und eine Tellereinrichtung, die den Laserstrahl in die mindestens drei Teilstrahlen aufteilt und mittels einer Optikeinrichtung auf die Punkte/Löcher fokussiert, aufweist.According to the invention Beam splitter formed so that the Sample with a point group in the form of one generated by interference Pattern is illuminated. This allows a parallel illumination of several Points and also a parallel scanning of these lit simultaneously Points when the detector device to a multipoint detection the illuminated spots. In the result you get against one Single-point illumination multiplied by the number of points scanning speed, without that depth resolution would be impaired. The Illumination (in fluorescence microscopy, excitation) of the sample with the regular dot group pattern takes place according to the invention under utilization an inner-overtone effect, so that the number of illumination beams, which provides the illumination source is much lower, as the numbers of illumination spots in the regular pattern. The interference effect is needed only at least three reflective dots / transmitting holes on Beam splitter on which the illumination radiation is focused so that one at least three illumination beams coupled to the beam splitter. These Number of illumination beams (in this description, the Term "ray" synonymous with a corresponding beam used) can be easily produce. For example, become at a output beam only two plate elements needed. It is therefore preferred that the Illumination beam source a laser emitting a laser beam and a dish device, which the laser beam in the at least divides three partial beams and by means of an optical device on the points / holes focused, has.

Die Anzahl an reflektierenden bzw. transmittierenden Punkten ist nicht auf drei begrenzt. Es können auch mehr Punkte verwendet werden, die auf dem Kreis symmetrisch bzw. entlang der Kreislinie möglichst gleich verteilt oder äquidistant liegen sollten, aber disjunkt sein müssen. Bei vier Punkten können diese z.B. an den Ecken eines Quadrates liegen, in dessen Zentrum sich der Durchstoßpunkt befindet.The Number of reflective or transmitting points is not limited to three. It can Also, more points are used, which are symmetrical on the circle or along the circle as possible equally distributed or equidistant should lie, but must be disjoint. At four points, these can e.g. lie at the corners of a square, in the center of which the puncture point located.

Das erfindungsgemäße Mikroskop mit dem die Beleuchtung unter Ausnutzung der Interferenz bewirkenden Strahlteiler erzielt, wie bereits erwähnt, eine hohe Scangeschwindigkeit durch Parallelisierung der Beleuchtung und gegebenenfalls Detektion. Zugleich können in einer vorteilhaften Ausgestaltung die Anforderungen an den zum Scannen erforderlichen Scanmechanismus drastisch reduziert werden, da es zum Abrastern der Bildfläche nur noch erforderlich ist, eine Verschiebung innerhalb einer Periode des periodischen Punktgruppenmusters auszuführen. Die Scaneinrichtung muß also, wenn sie beispielsweise als optischer im Strahlengang wirkender Scanner ausgebildet ist, nur noch einen vergleichsweise geringen Ablenkwinkel erreichen. Dies kommt der Scangeschwindigkeit wie apparativen Vereinfachungen gleichermaßen entgegen. Es ist deshalb in einer Weiterbildung zu bevorzugen, daß in Beleuchtungsrichtung dem Strahlteiler nachgeordnet eine Scaneinrichtung vorgesehen ist, die eine Verschiebung des Punktgruppenmusters über der Probe innerhalb einer Periode des Punktgruppenmusters bewirkt. Neben einer strahlablenkend arbeitenden Scaneinrichtung kann dabei natürlich auch eine Bewegung der Probe, z.B. durch einen sogenannten Tischscanner, verwendet werden.The microscope according to the invention with the beam splitter which effects the illumination by utilizing the interference achieves, as already mentioned, a high scanning speed by parallelization of the illumination and possibly detection. At the same time, in an advantageous embodiment the demands on the scanning mechanism required for scanning are drastically reduced because it is only necessary to perform a shift within a period of the periodic dot group pattern for scanning the image area. The scanning device, if it is designed, for example, as an optical scanner acting in the beam path, then only has to achieve a comparatively small deflection angle. This matches the scanning speed as well as simplifications of apparatus. It is therefore to be preferred in a development that in the illumination direction of the beam splitter downstream of a scanning device is provided which causes a shift of the dot group pattern on the sample within a period of the dot group pattern. In addition to a beam deflecting scanning device can of course also a movement of the sample, for example by a so-called table scanner, are used.

Die interferenzbedingte Erzeugung des Beleuchtungs-Punktgruppenmusters erlaubt es, die Helligkeit der Lichtflecke gegenüber den die Lichtflecke umgebenden Dunkelbereichen einfach zu verstellen, indem nämlich die Intensität jeweils diagonal gegenüberliegend fokussierter Teilstrahlen variiert wird. Es sind deshalb in einer Weiterbildung der Erfindung geeignete Mittel zur Variation vorgesehen, die dem Strahlteiler in Beleuchtungsrichtung vorgeordnet sind, und beispielsweise in Form einstellbarer Abschwächelemente ausgebildet sind.The interference-related generation of the illumination point group pattern allows the brightness of the light spots to be compared with those surrounding the light spots Dark areas easy to adjust, namely by the intensity each diagonally opposite focused sub-beams is varied. It is therefore in one Development of the invention provides suitable means for variation, which are arranged upstream of the beam splitter in the illumination direction, and for example, in the form of adjustable attenuation elements are formed.

Die Anzahl an hellen Flecken im Punktgruppenmuster hängt ausschließlich von dem ausgeleuchteten Bereich auf der Probe ab, wenn im Beleuchtungsstrahlengang im wesentlichen eine Abbildung der Pupille, in welcher der Strahlteiler angeordnet ist, auf die Probe erfolgt. Der beleuchtete Bereich der Probe und damit die Anzahl an Probenpunkten läßt sich dann einfach durch Mittel zur Brennweitenvariation der Abbildung zwischen Strahlteiler und Probe bewirken. Mit anderen Worten, Mittel zur Veränderung der von der optischen Abbildung erfaßten Bildfeldgröße variieren automatisch auch die Anzahl an Beleuchtungspunkten, die auf der Probe durch die Interferenz entstehen.The Number of bright spots in the dot group pattern depends entirely on the illuminated area on the sample when in the illumination beam path essentially an image of the pupil in which the beam splitter is arranged on the sample. The illuminated area of the Sample and thus the number of sample points can then easily by Means for zooming the image between the beam splitter and sample effect. In other words, means of change the image field size detected by the optical image varies automatically the number of lighting points on the Probe caused by the interference.

Eine parallele Detektion der gleichzeitig beleuchteten Flecken auf der Probe erhöht, wie bereits erwähnt, die Bildaufnahmegeschwindigkeit. Besonders einfach kann eine solche parallele Abtastung erreicht werden, wenn der Detektionsstrahlengang in einem Matrixdetektor endet, dem optional noch eine auf das Beleuchtungsmuster abgestimmte Pinholemaske vorgeordnet werden kann. Natürlich können aber auch die ortsauflösenden Elemente des Matrixdetektors die Funktion der Pinholemaske übernehmen.A parallel detection of the simultaneously illuminated spots on the Sample increased, As already mentioned, the image acquisition speed. Especially easy can such parallel scanning can be achieved when the detection beam path in a matrix detector ends, the optional one more on the illumination pattern coordinated Pinholemaske can be arranged. Of course you can also the spatially resolving Elements of the matrix detector assume the function of the pinhole mask.

Die reflektierenden Elemente des Strahlteilers müssen nur für Beleuchtungsstrahlung reflektieren, nicht für Detektionsstrahlung. Der Strahlteiler kann also auch dichroitisch ausgebildet werden.The reflective elements of the beam splitter must reflect only for illumination radiation, not for Detection radiation. The beam splitter can also be dichroic be formed.

Der Punktabstand im Punktgruppenmuster kann über den Abstand der Foki auf den Strahlteiler, also über den Kreisradius, verstellt werden.Of the Point distance in the dot group pattern can be increased by the distance of the foci the beam splitter, so over the circle radius, to be adjusted.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beispielshalber noch näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:The The invention will be described below with reference to the drawings for example, even closer explained. In the drawings shows:

1 eine Schemadarstellung eines Laser-Scanning-Mikroskops, 1 a schematic representation of a laser scanning microscope,

2 eine alternative Ausgestaltung einer Beleuchtungsquelle für das Mikroskop der 1, 2 an alternative embodiment of an illumination source for the microscope of 1 .

3 eine Draufsicht auf einen Strahlteiler des Mikroskops der 1 und 3 a plan view of a beam splitter of the microscope of 1 and

4 ein vom Mikroskop der 1 bewirktes Beleuchtungsmuster auf der Probe. 4 one from the microscope 1 caused illumination pattern on the sample.

1 zeigt ein Laser-Scanning-Mikroskop 1 in schematischer Darstellung. Die durchgezogenen Linien stellen den Beleuchtungsstrahlengang B dar; die gestrichelten Linien den Detektionsstrahlengang 2. Das Laser-Scanning-Mikroskop bildet eine Probe 3 rasternd auf einen Detektor 4 ab, wobei die Probe mittels einer Beleuchtungsquelle 5 beleuchtet wird. 1 shows a laser scanning microscope 1 in a schematic representation. The solid lines represent the illumination beam path B; the dashed lines the detection beam path 2 , The laser scanning microscope forms a sample 3 scanning a detector 4 from, the sample by means of a lighting source 5 is illuminated.

Der Detektionsstrahlengang 2 weist von der Probe 3 zum Detektor 4 längs einer optischen Achse OA ein Objektiv 6 sowie eine Tubuslinse 7 auf, der ein Scanobjektiv 8a folgt, nach der ein Scanner 9 vorgesehen ist. Nach einer Relaisoptik 8b, 10 sowie einer Pinholeoptik 11 passiert die Strahlung einen Strahlteiler 13 und gelangt zu einem Detektor 4, der hier als Matrixdetektor ausgebildet ist, und dem ein Filter 12 zum Abblocken letzter Anteile der Beleuchtungsstrahlung vorgeordnet ist. Natürlich kann der Detektionsstrahlengang 2 auch anders ausgestaltet sein, beispielsweise kann man auf den Filter 12 sowie auf das in der Bauweise der 2 zwischen den Elementen 8a und 7 vorgesehene Zwischenbild, das durch eine gestrichelte Linie symbolisiert ist, verzichten.The detection beam path 2 indicates the sample 3 to the detector 4 along an optical axis OA a lens 6 as well as a tube lens 7 on, which is a scan lens 8a follows, after which a scanner 9 is provided. After a relay optics 8b . 10 as well as a Pinholeoptik 11 the radiation happens to be a beam splitter 13 and arrives at a detector 4 , which is designed here as a matrix detector, and a filter 12 upstream of blocking the last portions of the illumination radiation. Of course, the detection beam path 2 be designed differently, for example, you can on the filter 12 as well as in the construction of the 2 between the elements 8a and 7 intended intermediate image, which is symbolized by a dashed line, dispense.

Im in 1 gezeigten Mikroskop 1 sind die Pupillenebenen, in denen der Scanner 9 sowie der noch zu erläuternde Strahlteiler 13 liegen, zueinander und zur rückwärtigen Brennebene des Objektives 6, die zwischen den Elementen 6 und 7 als durchgezogene Linie eingezeichnet ist, konjugiert.Im in 1 shown microscope 1 are the pupil planes where the scanner is 9 and the beam splitter still to be explained 13 lie, to each other and to the rear focal plane of the lens 6 that is between the elements 6 and 7 is drawn as a solid line, conjugated.

Die Beleuchtungsquelle 5 weist einen Laser 14 auf, der durch eine Tellereinrichtung 16, die noch näher erläutert wird, vier Teilstrahlen Sa, Sb, Sc, Sd erzeugt, wobei in 1 nur die Mittelstrahlen eingezeichnet sind. Die Teilereinrichtung 16 fokussiert diese vier Teilstrahlen Sa–d, von denen in der schematischen Darstellung der 1 nur zwei zu sehen sind (die anderen zwei liegen senkrecht zur Zeichenebene übereinander) auf den Strahlteiler 13.The illumination source 5 has a laser 14 on, passing through a plate device 16 , which will be explained in more detail, four partial beams Sa, Sb, Sc, Sd generated, in 1 only the center rays are drawn. The divider 16 focuses these four sub-beams Sa-d, of which in the schematic representation of the 1 only two are visible (the other two are perpendicular to the plane above the other) on the beam splitter 13 ,

Im einzelnen weist die Teilereinrichtung 16 zwei Teiler 17 und 18 und einen Umlenkspiegel 19 auf, die aus dem einen vom Laser 14 abgegebenen Strahl S vier parallele Teilstrahlen Sa, Sb sowie Sc und Sd erzeugen. In der Darstellung der 1 liegen die Teilstrahlen Sa und Sb übereinander, wie auch die Teilstrahlen Sc und Sd. Linsen 20 und 21 in der Teilereinrichtung 16 bewirken die Fokussierung derart, daß die Teilstrahlen Sa–c auf vier Punkte auf der Fläche des Strahlteilers 13 fokussiert werden.In detail, the divider device 16 two dividers 17 and 18 and a deflecting mirror 19 on, the one from the laser 14 emitted beam S four parallel partial beams Sa, Sb and Sc and Sd generate. In the presentation of the 1 are the partial beams Sa and Sb on top of each other, as well as the partial beams Sc and Sd. lenses 20 and 21 in the dividing device 16 cause the focusing such that the partial beams Sa-c at four points on the surface of the beam splitter 13 be focused.

Die Erzeugung der vier Teilstrahlen Sa–c kann natürlich auch durch eine andersartig ausgebildete Teilereinrichtung 16 oder grundsätzlich anders erfolgen, beispielsweise in dem vier Laser 14 verwendet werden. Eine mögliche weitere Ausgestaltung für die Teilereinrichtung 16 ist in 2 gezeigt, in der der Teiler 18 und der Spiegel 19 mit dem Teiler 17 vertauscht sind.Of course, the generation of the four partial beams Sa-c can also be achieved by means of a differently configured divider device 16 or basically done differently, for example in the four lasers 14 be used. A possible further embodiment for the dividing device 16 is in 2 shown in the divider 18 and the mirror 19 with the divider 17 are reversed.

3 zeigt den Strahlteiler 13 in Draufsicht auf dessen Strahlteilerfläche 22. Auf der Strahlteilerfläche 22 sind vier reflektierende Spiegelflächenelemente 23a, 23b, 23c und 23d angeordnet, die an den Eckpunkten eines gedachten Quadrates 24 liegen, dessen Zentrum der Durchstoßpunkt 25 der optischen Achse OA bildet. Nur dort ist die Strahlteilerfläche 25 reflektierend, im übrigen Bereich ist sie transmittierend zumindest für Detektionsstrahlung. 3 shows the beam splitter 13 in plan view of the beam splitter surface 22 , On the beam splitter surface 22 are four reflective mirror surface elements 23a . 23b . 23c and 23d arranged at the vertices of an imaginary square 24 lie at the center of the puncture point 25 the optical axis OA forms. Only there is the beam splitter surface 25 reflective, in the remaining area it is transmissive at least for detection radiation.

Die Beleuchtungsquelle 5 fokussiert die vier Teilstrahlen Sa–d auf die vier Spiegelflächenelemente 23a–d. In der Probe 3 gelangen die derart in die Pupille fokussiert und reflektierten Teilstrahlen zur Interferenz, wodurch das in 4 dargestellte Multispot-Muster 28 in der Probe entsteht. Das Multispot-Muster 28 ist eine regelmäßige Anordnung von Lichtflecken 26, die von einem Dunkelbereich 27 umgeben sind. Die Intensitätsdifferenz zwischen den Lichtflecken 26 und dem Dunkelbereich 27, also die Tiefe der Nullstellen, kann durch Änderung der Intensitäten der jeweils gegenüberliegenden Teilstrahlen Sa, Sd und Sb, Sc variiert werden. Dabei werden diagonal (bezogen auf die optische Achse) gegenüberliegende Teilstrahlen oder jeweils durch einen dazwischenliegenden Teilstrahl getrennte Teilstrahlen vorzugsweise gleichsinnig eingestellt. Bei drei Teilstrahlen wird einer gegenüber zwei verstellt (oder umgekehrt).The illumination source 5 focuses the four sub-beams Sa-d on the four mirror surface elements 23a d. In the sample 3 The focused in the pupil and reflected partial beams come to interference, causing the in 4 illustrated multi-spot pattern 28 arises in the sample. The multi-spot pattern 28 is a regular arrangement of light spots 26 that of a dark area 27 are surrounded. The intensity difference between the light spots 26 and the dark area 27 , ie the depth of the zeros, can be varied by changing the intensities of the respective opposite partial beams Sa, Sd and Sb, Sc. In this case, diagonal (with respect to the optical axis) opposite partial beams or in each case separated by a partial beam between them partial beams are preferably adjusted in the same direction. With three partial beams one is adjusted opposite two (or vice versa).

Die räumliche Ausdehnung des Musters 28 kann durch Variation des Vergrößerungsmaßstabes des Mikroskops (z.B. Variation der Brennweite bei 10 und 8b) angepaßt werden, indem das Bildfeld in der Probe, das das Muster 28 überdeckt, verändert wird. Alternativ kann die Brennweite der Linsen 10, 21 dazu eingestellt werden.The spatial extent of the pattern 28 can by varying the magnification scale of the microscope (eg variation of the focal length in 10 and 8b ) by adjusting the image field in the sample containing the pattern 28 covered, changed. Alternatively, the focal length of the lenses 10 . 21 to be adjusted.

Die Wirkung des Strahlteilers 13 ist wie folgt:
Durch die geometrische Anordnung der Spiegelflächenelemente 23a–d und die darauf fokussierten Teilstrahlen Sa–d entsteht das Punkt-Muster 28 mit regelmäßig angeordneten Lichtflecken 26 auf der Probe 3. Bei einer Anwendung in der Fluoreszenzmikroskopie wird somit an den Lichtflecken 26 Fluoreszenz angeregt. Diese entsteht räumlich inkohärent und füllt somit homogen die rückwärtige Brennebene des Mikroskops 6 (zwischen den Elementen 6 und 7 als durchgezogene Linie eingezeichnet). Analoges gilt für diffuse Reflektion, die ebenfalls zur Bildgewinnung herangezogen werden kann.
The effect of the beam splitter 13 is as follows:
Due to the geometric arrangement of the mirror surface elements 23a -D and focused on sub-beams Sa-d, the dot pattern 28 with regularly arranged light spots 26 on the test 3 , When used in fluorescence microscopy is thus at the light spots 26 Fluorescence excited. This arises spatially incoherent and thus fills homogeneously the rear focal plane of the microscope 6 (between the elements 6 and 7 drawn as a solid line). The same applies to diffuse reflection, which can also be used for image acquisition.

Da die rückwärtige Brennebene mit der Pupille, in welcher der Strahlteiler 13 angeordnet ist, konjugiert ist, füllt die zu detektierende inkohärente Strahlung auch die gesamte Pupille, in der der Strahlteiler 13 angeordnet ist und leuchtet somit die gesamte Strahlteilerfläche 22 aus. Spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung wird dagegen auf die Spiegelflächenelemente 23a–d fokussiert und somit zur Beleuchtungsquelle 5 zurückgeworfen.Since the rear focal plane with the pupil, in which the beam splitter 13 is arranged, conjugated, the incoherent radiation to be detected also fills the entire pupil in which the beam splitter 13 is arranged and thus illuminates the entire beam splitter surface 22 out. Mirroring reflected illumination radiation, however, is applied to the mirror surface elements 23a -D focused and thus to the illumination source 5 thrown back.

Im Ergebnis passiert den Strahlteiler 13 nur die zu detektierende Strahlung, die räumlich inkohärent, d.h. ungerichtet in der Probe 3 entstand. Der Strahlteiler 13 bewirkt damit eine Trennung von Detektionsstrahlung und spiegelnd reflektierter Beleuchtungsstrahlung ohne daß eine chromatische Einstellung vorgenommen werden müßte. Dies hatte den Vorteil, daß nicht nur eine höhere Ausbeute erreicht wird, auch kann der Strahlteiler 13 für verschiedenste Beleuchtungswellenlängen und Detektionswellenlängen verwendet werden. Die üblicherweise bei Farbteilern vorgesehenen Austauschmechanismen bzw. Wechselräder sind nicht nötig.As a result, the beam splitter passes 13 only the radiation to be detected which is spatially incoherent, ie undirected in the sample 3 originated. The beam splitter 13 thus causes a separation of detection radiation and specularly reflected illumination radiation without a chromatic adjustment would have to be made. This had the advantage that not only a higher yield is achieved, also the beam splitter 13 be used for a variety of illumination wavelengths and detection wavelengths. The usually provided with color dividers exchange mechanisms or change gears are not necessary.

Die Detektion (in 1 ist der Pupillenstrahlengang gestrichelt gezeichnet) erfolgt beispielshalber mit dem als Matrixdetektor ausgebildeten Detektor 4, dem optional eine Pinholemaske vorgeordnet sein kann. Dabei werden die beleuchteten Spots konfokal abgebildet. Diese Maske kann in einer Zwischenbildebene des Beobachtungsstrahlenganges vor dem Detektor liegen oder alternativ in die Relaisoptik (zwischen 10 und 8b) gestellt werden. Letzteres verbessert das Strahlprofil auch beleuchtungsseitig.The detection (in 1 If the pupil beam path is shown by dashed lines), this is done, for example, with the detector designed as a matrix detector 4 which optionally may be preceded by a pinhole mask. The illuminated spots are displayed confocally. This mask can lie in an intermediate image plane of the observation beam path in front of the detector or alternatively in the relay optics (between 10 and 8b ). The latter also improves the beam profile on the lighting side.

Das Abtasten der Probe 3 erfolgt durch Wirkung des Scanners 9. Dabei ist eine sehr viel geringere Verschiebung der beleuchtenden Lichtflecke auf der Probe 3 nötig, als dies bei einem Einzelpunktscanner erforderlich ist. Die einzelnen Lichtflecke 26 werden vom Scanner 9 simultan verschoben, da sie durch Interferenz in der Probe entstehen. Es genügt deshalb eine Bewegung mittels des Scanners 9, die den Dunkelbereich 27 zwischen benachbarten Lichtflecken 26 abtastet. Die scannende Verschiebung der Lichtflecke erfolgt also vorzugsweise nur innerhalb einer Periodenlänge des periodischen regelmäßigen Musters 28.Scanning the sample 3 done by the action of the scanner 9 , This is a much smaller shift of the illuminating spots on the sample 3 necessary than is necessary with a single-point scanner. The individual light spots 26 be from the scanner 9 moved simultaneously, as they did caused by interference in the sample. It is therefore sufficient to move by means of the scanner 9 that the dark area 27 between adjacent light spots 26 scans. The scanning displacement of the light spots thus preferably takes place only within a period length of the periodic regular pattern 28 ,

Der in 1 gezeigte Aufbau kann auch dahingehend invertiert werden, daß der Detektionsstrahlengang ab dem Strahlteiler 13 und die Beleuchtungsquelle 5 vertauscht werden. Der Strahlteiler 13 ist dann bezüglich der Verspiegelung negativ zu der in 3 gezeigten Bauweise, d.h. die Spiegelflächenelemente 23a–d sind Löcher in einer Spiegelfläche.The in 1 The structure shown can also be inverted to the effect that the detection beam path from the beam splitter 13 and the illumination source 5 be reversed. The beam splitter 13 is then negative with respect to the mirroring to that in 3 shown construction, ie the mirror surface elements 23a -D are holes in a mirror surface.

Claims (7)

Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle (5) und einem Detektionsstrahlengang (2), der in einer Probe angeregte (3) und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse (OA) zu einer Detektoreinrichtung (4) leitet und in dem ein Strahlteiler (13) vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle (5) abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang (B) auf die Probe (3) gerichtet ist, wobei der Strahlteiler (13) an der Probe (3) spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung (4) passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges (B) angeordnet sowie teilverspiegelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler (13) eine im Detektionsstrahlengang (2) liegende Strahlteilerfläche (22) aufweist, die zumindest an drei Punkten (23a–d) für die Beleuchtungsstrahlung verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche (22) auf einem Kreis um den Durchstoßpunkt (25) der optischen Achse (OA) liegen, und die Beleuchtungsstrahlquelle (5) eine der Punktzahl entsprechende Anzahl von Teilstrahlen (Sa–d) erzeugt und diese auf die drei Punkte (23a–d) des Strahlteilers (13) derart fokussiert, daß in der Probe (3) ein Interferenzmuster (28) in Form periodisch über die Probe (13) verteilter Beleuchtungsflecke (26) entsteht.Laser scanning microscope with an illumination beam source ( 5 ) and a detection beam path ( 2 ), which stimulated in a sample ( 3 ) and / or backscattered radiation along an optical axis (OA) to a detector device ( 4 ) and in which a beam splitter ( 13 ) is provided, via which of the illumination beam source ( 5 ) emitted illumination radiation in an illumination beam path (B) to the sample ( 3 ), wherein the beam splitter ( 13 ) on the sample ( 3 ) specularly reflected illumination radiation not to the detector device ( 4 ) and arranged in a pupil of the illumination beam path (B) and partially mirrored, characterized in that the beam splitter ( 13 ) one in the detection beam path ( 2 ) lying beam splitter surface ( 22 ) at least at three points ( 23a -D) is mirrored for the illumination radiation, which on the beam splitter surface ( 22 ) on a circle around the puncture point ( 25 ) of the optical axis (OA), and the illumination beam source ( 5 ) generates a number of sub-beams (Sa-d) corresponding to the number of points and these on the three points ( 23a -D) of the beam splitter ( 13 ) so focused that in the sample ( 3 ) an interference pattern ( 28 ) in the form of periodic over the sample ( 13 ) distributed illumination spots ( 26 ) arises. Laser-Scanning-Mikroskop mit einer Beleuchtungsstrahlquelle (5) und einem Detektionsstrahlengang (2), der in einer Probe angeregte (3) und/oder rückgestreute Strahlung längs einer optischen Achse (OA) zu einer Detektoreinrichtung (4) leitet und in dem ein Strahlteiler (13) vorgesehen ist, über den von der Beleuchtungsstrahlquelle (5) abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang (B) auf die Probe (3) gerichtet ist, wobei der Strahlteiler (13) an der Probe (3) spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zur Detektoreinrichtung (4) passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges (B) angeordnet sowie teilverspiegelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlteiler (13) eine im Detektionsstrahlengang (2) liegende reflektierende Strahlteilerfläche (22) aufweist, die zumindest an drei Punkten (23a–d) für die Beleuchtungsstrahlung nicht verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche (22) auf einem Kreis um den Durchstoßpunkt (25) der optischen Achse (OA) liegen, und die Beleuchtungsstrahlquelle (5) eine der Punktzahl entsprechende Anzahl von Teilstrahlen (Sa–d) erzeugt und diese auf die drei Punkte (23a–d) des Strahlteilers (13) derart fokussiert, daß in der Probe (3) ein Interferenzmuster (28) in Form periodisch über die Probe (13) verteilter Beleuchtungsflecke (26) entsteht.Laser scanning microscope with an illumination beam source ( 5 ) and a detection beam path ( 2 ), which stimulated in a sample ( 3 ) and / or backscattered radiation along an optical axis (OA) to a detector device ( 4 ) and in which a beam splitter ( 13 ) is provided, via which of the illumination beam source ( 5 ) emitted illumination radiation in an illumination beam path (B) to the sample ( 3 ), wherein the beam splitter ( 13 ) on the sample ( 3 ) specularly reflected illumination radiation not to the detector device ( 4 ) and arranged in a pupil of the illumination beam path (B) and partially mirrored, characterized in that the beam splitter ( 13 ) one in the detection beam path ( 2 ) lying reflective beam splitter surface ( 22 ) at least at three points ( 23a -D) is not mirrored for the illumination radiation, which on the beam splitter surface ( 22 ) on a circle around the puncture point ( 25 ) of the optical axis (OA), and the illumination beam source ( 5 ) generates a number of sub-beams (Sa-d) corresponding to the number of points and these on the three points ( 23a -D) of the beam splitter ( 13 ) so focused that in the sample ( 3 ) an interference pattern ( 28 ) in the form of periodic over the sample ( 13 ) distributed illumination spots ( 26 ) arises. Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsstrahlquelle (5) einen Laser (14), der einen Laserstrahl (S) abgibt, und eine Tellereinrichtung (16), die den Laserstrahl (S) in die Teilstrahlen (Sa–d) aufteilt und mittels einer Optikeinrichtung (20, 21) auf die Punkte (23a–d) fokussiert, aufweist.Microscope according to Claim 1 or 2, characterized in that the illumination beam source ( 5 ) a laser ( 14 ) emitting a laser beam (S) and a dish device ( 16 ), which divides the laser beam (S) into the partial beams (Sa-d) and by means of an optical device ( 20 . 21 ) on the points ( 23a -D) focused. Mikroskop nach einem der obigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Scanneinrichtung (8), die in Beleuchtungsrichtung dem Strahlteiler (13) nachgeordnet ist und ein Abscannen durch Verschieben des Interferenzmusters (28) auf die Probe (3) bewirkt, wobei die Verschiebung innerhalb einer Periode der periodisch verteilten Beleuchtungsflecke (26) erfolgt.Microscope according to one of the above claims, characterized by a scanning device ( 8th ), which in the illumination direction the beam splitter ( 13 ) and a scanning by moving the interference pattern ( 28 ) to the test ( 3 ), wherein the displacement within a period of the periodically distributed illumination spots ( 26 ) he follows. Mikroskop nach einem der obigen Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zur Variation der Intensität jeweils diagonal gegenüberliegend fokussierter Teilstrahlen (Sa, Sc; Sb, Sd).Microscope according to one of the above claims by means for varying the intensity in each case diagonally opposite one another focused partial beams (Sa, Sc, Sb, Sd). Mikroskop nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektionsstrahlengang in einem Matrixdetektor (4) endet.Microscope according to one of the preceding claims, characterized in that the detection beam path in a matrix detector ( 4 ) ends. Mikroskop nach einem der obigen Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zur Brennweitenvariation (10, 8a, 8b) zwischen Strahlteiler (13) und Probe (3).Microscope according to one of the above claims, characterized by means for focal length variation ( 10 . 8a . 8b ) between beam splitters ( 13 ) and sample ( 3 ).
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