DE102006010872B4 - Coating system with coolable aperture - Google Patents

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Abstract

Beschichtungsanlage mit mindestens einer von Kammerwänden (13, 16) begrenzten Beschichtungskammer, mindestens einer in der Beschichtungskammer an einer Kammerwand (13, 16) angeordneten Kühleinrichtung (41) sowie einer in der Beschichtungskammer angeordneten, durch die Kühleinrichtung (41) kühlbaren Blende (51), dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin mindestens eine Konsole (42) mit guter Wärmeleitfähigkeit zur Aufnahme der Blende (51) vorgesehen ist, die mit der oder einer Kühleinrichtung (41) wärmeleitend verbunden ist und dass die Blende (51) mit der Konsole (42) wärmeleitend verbindbar ist.Coating installation with at least one coating chamber delimited by chamber walls (13, 16), at least one cooling device (41) arranged in the coating chamber on a chamber wall (13, 16), and a shutter (51) arranged in the coating chamber and coolable by the cooling device (41). , characterized in that there is further provided at least one bracket (42) with good thermal conductivity for receiving the panel (51), which is thermally conductively connected to the or a cooling device (41) and in that the panel (51) is connected to the bracket (42). thermally conductive is connectable.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsanlage mit einer kühlbaren Blende.The The invention relates to a coating system with a coolable Cover.

In Beschichtungsanlagen zur Beschichtung von Substraten durch Bedampfen mit Beschichtungsmaterialien werden oftmals Blenden zur Beeinflussung der Form des auf das Substrat auftreffenden Dampfstroms verwendet, da die Eigenschaften der erzeugten Schicht unter anderem vom Auftreffwinkel des Dampfstroms auf das Substrat abhängen. Derartige Blenden sind darüber hinaus oftmals gekühlt, um die bei der Verdampfung des Beschichtungsmaterials entstehende Wärme aus der Beschichtungsanlage abzuführen. Die Blenden sind innerhalb der Beschichtungsanlage zwischen der Verdampfungseinrichtung und der Transporteinrichtung angeordnet, auf der die Substrate durch die Beschichtungsanlage transportiert werden.In Coating systems for coating substrates by vapor deposition Coating materials are often used to influence apertures the shape of the vapor stream impinging on the substrate, because the properties of the layer produced, inter alia, the angle of incidence of Vapor flow depend on the substrate. Such screens are above often cooled, around the resulting in the evaporation of the coating material Heat off remove the coating system. The diaphragms are within the coating line between the Evaporator and the transport device arranged on the substrates are transported through the coating system.

Die Blenden haben meist, der Form einer Beschichtungskammer innerhalb der Beschichtungsanlage folgend, die Form eines rechteckigen Blendenrahmens mit einer ebenfalls rechteckigen Blendenöffnung und werden durch vier Winkelprofile gebildet, die mit einem Schenkel an eine Seitenwand oder ein Querschott der Beschichtungskammer angeschraubt werden und deren anderer Schenkel von der Seitenwand bzw. dem Querschott ausgehend rechtwinklig in die Beschichtungskammer hineinragt und so eine Seite der rechteckigen Blendenöffnung formt.The Apertures usually have the shape of a coating chamber inside Following the coating system, the shape of a rectangular bezel frame with a likewise rectangular aperture and are divided by four Angled profiles formed with a leg to a side wall or a transverse bulkhead of the coating chamber to be screwed and the other leg of the side wall and the transverse bulkhead starting at right angles into the coating chamber and projects so forms a side of the rectangular aperture.

Soll eine solche Blende gekühlt werden, so sind meist an den Querschotten der Beschichtungskammer Kühleinrichtungen mit senkrechten Kontaktflächen angebracht, an die die an den Querschotten angeordneten Winkelprofile der Blende direkt angeschraubt sind. Hierdurch ist die Demontage der Winkelprofile, beispielsweise zu Reinigungszwecken, zeitaufwändig und kompliziert. Eine derartige Blendenanordnung ist in DE 297 17 418 U1 beschrieben.If such an aperture is to be cooled, cooling devices with vertical contact surfaces are usually attached to the transverse bulkheads of the coating chamber, to which the angle profiles of the aperture arranged on the transverse bulkheads are directly screwed. As a result, the disassembly of the angle profiles, for example, for cleaning purposes, time-consuming and complicated. Such a diaphragm arrangement is in DE 297 17 418 U1 described.

Eine andere Bauform gekühlter Blenden sieht vor, die Blende in der Art eines Korbes auszuführen, wobei die Seitenwände des Korbes in bekannter Weise aus Winkelprofilen gebildet sind, die miteinander verbunden sind und so einen Blendenrahmen bilden, und der Boden des Korbes eine Mehrzahl nebeneinander angeordneter Bodenstreifen umfasst, die mit den Winkelprofilen des Blendenrahmens verbunden sind. Im eingebauten Zustand ist jeder Bodenstreifen zwischen je zwei Walzen eines in der Beschichtungskammer angeordneten Transportsystems positioniert, während der Blendenrahmen in bekannter Weise zwischen der Verdampfungseinrichtung und der Transporteinrichtung angeordnet ist.A other design cooled Aperture provides to perform the aperture in the manner of a basket, wherein the side walls of the basket are formed in a known manner from angle profiles, which are connected to each other and thus form a frame, and the bottom of the basket has a plurality of juxtaposed ones Ground strip includes, with the angle profiles of the bezel frame are connected. When installed, each floor strip is between two rollers each of a transport system arranged in the coating chamber positioned while the aperture frame in a known manner between the evaporation device and the transport device is arranged.

Zu Kühlungszwecken sind unterhalb der Bodenstreifen Kühlmittelleitungen angeordnet, die mit den Bodenstreifen fest und mit Kühlmittelzuflüssen am Boden der Beschichtungskammer lösbar verbunden sind. Soll die Blende zu Reinigungszwecken aus der Beschichtungskammer entfernt werden, so müssen zunächst die Verbindungen der Kühlmittelleitungen zu den Kühlmittelzuflüssen gelöst werden. Dies ist aufwändig. Außerdem stellt sich das bekannte Problem, dass die Abdichtung derartiger Verbindungen in einer Vakuumkammer schwierig ist und mögliche Leckagen die Prozesssicherheit gefährden.To cooling purposes are arranged below the bottom strip coolant lines, with the ground strips firmly and with coolant inflows at Bottom of the coating chamber detachable are connected. If the aperture for cleaning purposes from the coating chamber must be removed, so must first the connections of the coolant lines to be solved to the coolant inflows. This is expensive. Furthermore raises the known problem that the sealing of such Compounds in a vacuum chamber is difficult and possible leaks endanger the process safety.

Aus EP 1 628 322 A1 ist eine Haltevorrichtung für wenigstens eine Blende zur Anordnung der Blende in einer Beschichtungskammer einer Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere eines Glassubstrats bekannt, die so ausgebildet ist, dass eine von der Haltevorrichtung gehaltene Blende durch die Bewegung der Haltevorrichtung wenigstens von einer ersten Position innerhalb der Beschichtungskammer zu einer zweiten Position bewegt werden kann, wobei die Haltevorrichtung Mittel derart aufweist, dass die Blende Hindernissen auf dem Weg zwischen der ersten Position und der zweiten Position ausweichen kann. Eine Kühleinrichtung liegt auf einer an der Kammerwand angeordneten Konsole auf und bildet eine Auflagefläche für die Blende.Out EP 1 628 322 A1 is a holding device for at least one aperture for arranging the diaphragm in a coating chamber of a device for coating a substrate, in particular a glass substrate known, which is formed so that a held by the holding device aperture by the movement of the holding device at least from a first position within the Coating chamber can be moved to a second position, wherein the holding device comprises means such that the diaphragm can avoid obstacles on the way between the first position and the second position. A cooling device rests on a bracket arranged on the chamber wall and forms a bearing surface for the diaphragm.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, eine Beschichtungsanlage mit einer kühlbaren Blende anzugeben, bei der die Blende mit geringem Aufwand in einer Beschichtungskammer anbringbar und aus der Beschichtungskammer entfernbar ist.The It is therefore an object of the present invention to provide a coating system with a coolable To specify aperture, in which the aperture with little effort in one Coating chamber attachable and removable from the coating chamber is.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine Beschichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.According to the invention Task solved by a coating system with the features of claim 1. Advantageous Embodiments of the invention are the subject of the dependent claims.

Die erfindungsgemäße Beschichtungsanlage mit mindestens einer von Kammerwänden begrenzten Beschichtungskammer, mindestens einer in der Beschichtungskammer an einer Kammerwand angeordneten Kühleinrichtung sowie einer in der Beschichtungskammer angeordneten, durch die Kühleinrichtung kühlbaren Blende ist dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin mindestens eine Konsole mit guter Wärmeleitfähigkeit zur Aufnahme der Blende vorgesehen ist, die mit der oder einer Kühleinrichtung wärmeleitend verbunden ist und dass die Blende mit der Konsole wärmeleitend verbindbar ist.The Coating plant according to the invention with at least one of chamber walls limited coating chamber, at least one in the coating chamber arranged on a chamber wall cooling device and a in the coating chamber arranged by the cooling device coolable Aperture is characterized in that at least one Console with good thermal conductivity is provided for receiving the diaphragm, with the or a cooling device thermally conductive connected and that the panel with the console thermally conductive is connectable.

Bei der erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage ist die Blende mit geringem Aufwand in einer Beschichtungskammer anbringbar und aus der Beschichtungskammer entfernbar. Dazu wird die Blende in die Beschichtungskammer abgesenkt, bis sie auf der Konsole aufliegt. Die während des Beschichtungsprozesses in die Blende eingetragene Wärmeenergie wird durch Wärmeleitung auf die Konsole und anschließend in die Kühleinrichtung übertragen, von wo aus sie in bekannter Weise mittels eines zirkulierenden Kühlmittels aus der Beschichtungskammer heraus transportiert wird.In the coating installation according to the invention, the panel can be attached with little effort in a coating chamber and removed from the coating chamber. For this purpose, the aperture is lowered into the coating chamber until it rests on the console. The during the Beschich Heat input process into the aperture heat energy is transferred by conduction to the console and then into the cooling device, from where it is transported out of the coating chamber in a known manner by means of a circulating coolant.

Durch den Wegfall der Verschraubung gegen eine senkrechte Kontaktfläche entfällt die Notwendigkeit, die Blende in Einzelteilen einzusetzen oder aus der Beschichtungskammer zu entfernen. Der Zeitaufwand bei Montage bzw. Demontage der Blende wird stark verkürzt. Durch den Wegfall der direkten Verbindung zwischen Blende und Kühleinrichtung entfallen die leckageanfälligen Verschraubungen von Kühlmittelleitungen im Innern der Beschichtungskammer.By the elimination of the screw against a vertical contact surface eliminates the Need to insert the panel in parts or out of the Remove coating chamber. The time required for assembly or Disassembly of the aperture is greatly reduced. By eliminating the direct connection between the aperture and cooling device accounts for the leak-prone Screw connections of coolant lines inside the coating chamber.

In einer Ausgestaltung der Erfindung erstreckt sich die Kühleinrichtung in der Beschichtungskammer umlaufend entlang aller Kammerwände.In an embodiment of the invention, the cooling device extends in the coating chamber circumferentially along all chamber walls.

Hierdurch wird eine effiziente und leistungsstarke Kühlung der Blende ermöglicht. Diese Form einer umlaufenden Kühleinrichtung ist jedoch relativ kostenintensiv.hereby enables efficient and powerful cooling of the aperture. This form of a circulating cooling device However, it is relatively expensive.

In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist an zwei gegenüberliegenden Kammerwänden je eine Kühleinrichtung vorgesehen.In another embodiment of the invention is at two opposite chamber walls one cooling device each intended.

Werden beispielsweise an den beiden Längswänden oder an den beiden Querschotten, die die Beschichtungskammer von angrenzenden Prozesskammern trennen, gleichartige Kühleinrichtungen vorgesehen, so lassen sich diese kostengünstig fertigen und relativ einfach montieren. Außerdem ergibt sich dadurch die Möglichkeit, ein Paar von Kühleinrichtungen ausschließlich zur Kühlung der Blende zu nutzen, indem diese wärmegedämmt mit den entsprechenden Kammerwänden, aber wärmeleitend mit der Blende verbunden sind, während das andere Paar von Kühleinrichtungen ausschließlich zur Kühlung der Kammerwände dient, indem diese Kühleinrichtungen wärmeleitend mit den Kammerwänden, aber wärmegedämmt mit der Blende verbunden sind.Become for example, on the two longitudinal walls or at the two transverse bulkheads, which are the coating chamber of adjacent Separate process chambers, similar cooling devices provided, so they can be produced inexpensively and relatively easy to assemble. In addition, this results the possibility, a pair of refrigerators exclusively for cooling to use the aperture by keeping these thermally insulated with the appropriate ones Chamber walls, but thermally conductive with the aperture are connected while the other pair of refrigerators exclusively for cooling the chamber walls serves by these cooling devices thermally conductive with the chamber walls, but thermally insulated with the aperture are connected.

Vorteilhaft weist die Konsole eine im Wesentlichen waagerechte Auflagefläche zur Aufnahme der Blende auf.Advantageous the console has a substantially horizontal support surface Recording the aperture.

Diese einfache Geometrie erlaubt die Verwendung ebenso einfach aufgebauter Blenden, die auf die waagerechte Auflagefläche aufgelegt werden können. Dies ist eine besonders kostengünstige Lösung.These Simple geometry allows use just as simple Apertures that can be placed on the horizontal support surface. This is a particularly cost-effective Solution.

Weiter vorteilhaft weist die Konsole eine schräge Auflagefläche zur Aufnahme und Selbstjustage der Blende auf.Further Advantageously, the console has an inclined support surface for Recording and self-adjustment of the aperture.

Schräge Auflageflächen bieten mehrere Vorteile. So bewirken sie durch den Konuseffekt einerseits eine Selbstzentrierung der Blende in der Beschichtungskammer und andererseits eine gute Kontaktierung der Konsole, die für einen guten Wärmeübergang sorgt.To offer inclined bearing surfaces several advantages. So they cause on the one hand by the cone effect a self-centering of the aperture in the coating chamber and On the other hand, a good contact of the console, for a good heat transfer provides.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist die Kühleinrichtung mit der Kammerwand wärmeleitend verbunden.According to one Further development of the invention is the cooling device with the chamber wall thermally conductive connected.

In Verbindung mit der wärmeleitenden Verbindung zwischen Blende und Konsole ergibt sich die Möglichkeit, eine Kühleinrichtung gleichzeitig zum Kühlen der Blende und der Kammerwand zu nutzen.In Connection with the heat-conducting Connection between aperture and console results in the possibility a cooling device at the same time for cooling to use the aperture and the chamber wall.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist die Wärmeleitung zwischen Kühleinrichtung und Kammerwand durch zwischen ihnen angeordnete Isolierstoffe behindert.According to one Another embodiment of the invention is the heat conduction between the cooling device and chamber wall impeded by arranged between them insulating materials.

In diesem Fall dient die Kühleinrichtung ausschließlich der Kühlung der Blende, wodurch eine besonders gute Kühlung erzielt wird.In In this case, the cooling device is used exclusively the cooling the aperture, whereby a particularly good cooling is achieved.

Vorteilhaft sind weiterhin Schnellspannmittel zur Erhöhung der Anpresskraft der Blende auf die Auflagefläche der Konsole vorgesehen.Advantageous are still quick clamping means to increase the contact pressure of the aperture on the support surface provided the console.

Es hat sich gezeigt, dass der Einsatz derartiger Schnellspannmittel, beispielsweise Schnappverschlüsse, Verschraubungen etc. zur Erhöhung des Anpressdrucks der Blende auf die Konsole sinnvoll ist, um die Wärmeleitung zu verbessern.It It has been found that the use of such quick-clamping means, for example snap closures, Fittings etc. to increase the pressure of the aperture on the console makes sense to the heat conduction to improve.

Weiter vorteilhaft weist die Blende Anschlagmittel zur Handhabung mit Hebezeugen auf.Further Advantageously, the panel stop means for handling with lifting equipment on.

Durch die Anordnung von Anschlagmitteln, beispielsweise Ringschrauben nach DIN 580, an der Blende kann diese schnell und einfach mittels eines Krans oder eines anderen Hebezeugs aus der Beschichtungskammer entfernt oder in diese eingesetzt werden.By the arrangement of stop means, such as eyebolts According to DIN 580, at the aperture this can be done quickly and easily a crane or other lifting gear from the coating chamber removed or used in this.

In einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung sind weiterhin Kontaktvermittlungsmittel zur Steigerung der Wärmeleitung zwischen der Blende und der Auflagefläche der Konsole vorgesehen.In In another advantageous embodiment, contact-switching means are furthermore provided to increase the heat conduction provided between the panel and the support surface of the console.

Zur weiteren Unterstützung des Kontakts zwischen der Blende und der Konsole und damit zur Verbesserung der Wärmeleitung zwischen ihnen ist es sinnvoll, solche an sich bekannten Kontaktvermittlungsmittel, wie Wärmeleitpaste oder Kupfergewebeschläuche, vorzusehen.to further support the contact between the bezel and the console and thus to improve the heat conduction between them it makes sense to use such well-known contact mediation, like thermal grease or copper fabric hoses, provided.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigt die einzige Figur einen Längsschnitt durch eine Beschichtungskammer einer Beschichtungsanlage mit einer darin angeordneten Blende.The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and an accompanying drawing. The only Fi shows gur a longitudinal section through a coating chamber of a coating system with an aperture disposed therein.

Die Beschichtungskammer wird begrenzt durch eine Decke 11, einen Boden 12, Längswände 16 sowie zwei Querschotte 13. Die Decke 11 weist eine Öffnung 14 auf, durch die das Innere der Beschichtungskammer zugänglich ist. Die Querschotte 13 weisen Durchbrüche 15 auf, durch die das nicht dargestellte Substrat in die Beschichtungskammer hinein und aus ihr heraus transportiert wird.The coating chamber is bounded by a ceiling 11 , a floor 12 , Longitudinal walls 16 as well as two transverse bulkheads 13 , The ceiling 11 has an opening 14 through which the interior of the coating chamber is accessible. The transverse bulkhead 13 have breakthroughs 15 through which the substrate, not shown, is transported into and out of the coating chamber.

Auf der Decke 11 liegt ein Magnetrondeckel 21 auf, an dem innerhalb der Beschichtungskammer zwei Rohrmagnetrons 22 und außerhalb der Beschichtungskammer die Magnetronumgebung 23 angeordnet ist.On the ceiling 11 lies a magnetron lid 21 on which inside the coating chamber two tubular magnetrons 22 and outside the coating chamber, the magnetron environment 23 is arranged.

In der Beschichtungskammer ist eine aus drehbar gelagerten Walzen 3 bestehende Transporteinrichtung angeordnet. An den Querschotten 13 sind Kühleinrichtungen 41 angeordnet, an denen wärmeleitend je eine Konsole 42 befestigt ist. Auf den Konsolen 42 liegt eine Blende 51 wärmeleitend auf. Die Blende 51 ist zwischen den Rohrmagnetrons 22 und der Substratebene angeordnet. Die Konsolen 42 weisen waagerechte Auflageflächen zur Aufnahme der Blende 51 auf.In the coating chamber is a rotatably mounted rollers 3 existing transport arranged. At the transverse bulkheads 13 are cooling facilities 41 arranged at which heat-conducting depending on a console 42 is attached. On the consoles 42 there is an aperture 51 thermally conductive on. The aperture 51 is between the tube magnetrons 22 and the substrate plane. The consoles 42 have horizontal bearing surfaces for receiving the aperture 51 on.

Die Blende 51 wird durch nicht dargestellte Schnellspannmittel auf die Konsolen 42 gepresst. Weiterhin weist die Blende 51 Anschlagmittel 52 zum Herausheben der Blende 51 aus der Beschichtungskammer auf.The aperture 51 is by non-illustrated quick release means on the consoles 42 pressed. Furthermore, the aperture 51 slings 52 to lift out the bezel 51 out of the coating chamber.

Zwischen der Blende 51 und den Konsolen 42 ist weiterhin ein nicht dargestelltes Kontaktvermittlungsmittel zur Verbesserung des Wärmeübergangs vorgesehen.Between the aperture 51 and the consoles 42 Furthermore, an unillustrated contact-imparting means for improving the heat transfer is provided.

Die in die Blende 51 eingetragene Wärme wird durch Wärmeleitung über die Konsolen 42 und die Kühleinrichtungen 41 aus der Beschichtungskammer herausgeführt.The in the aperture 51 Enlisted heat is transferred through heat conduction through the consoles 42 and the cooling facilities 41 led out of the coating chamber.

1111
Deckeblanket
1212
Bodenground
1313
Querschotttransverse bulkhead
1414
Öffnungopening
1515
Durchbruchbreakthrough
1616
Längswandlongitudinal wall
2121
MagnetrondeckelMagnetrondeckel
2222
Rohrmagnetrontubular magnetron
2323
MagnetronumgebungMagnetronumgebung
33
Walzeroller
4141
Kühleinrichtungcooling device
4242
Konsoleconsole
5151
Blendecover
5252
Anschlagmittelslings

Claims (10)

Beschichtungsanlage mit mindestens einer von Kammerwänden (13, 16) begrenzten Beschichtungskammer, mindestens einer in der Beschichtungskammer an einer Kammerwand (13, 16) angeordneten Kühleinrichtung (41) sowie einer in der Beschichtungskammer angeordneten, durch die Kühleinrichtung (41) kühlbaren Blende (51), dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin mindestens eine Konsole (42) mit guter Wärmeleitfähigkeit zur Aufnahme der Blende (51) vorgesehen ist, die mit der oder einer Kühleinrichtung (41) wärmeleitend verbunden ist und dass die Blende (51) mit der Konsole (42) wärmeleitend verbindbar ist.Coating plant with at least one of chamber walls ( 13 . 16 ) limited coating chamber, at least one in the coating chamber on a chamber wall ( 13 . 16 ) arranged cooling device ( 41 ) and one arranged in the coating chamber, through the cooling device ( 41 ) coolable panel ( 51 ), characterized in that furthermore at least one console ( 42 ) with good thermal conductivity for receiving the diaphragm ( 51 ) provided with the or a cooling device ( 41 ) is thermally conductively connected and that the aperture ( 51 ) with the console ( 42 ) is thermally conductive connectable. Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Kühleinrichtung (41) in der Beschichtungskammer umlaufend entlang aller Kammerwände (13, 16) erstreckt.Coating plant according to claim 1, characterized in that the cooling device ( 41 ) in the coating chamber circumferentially along all chamber walls ( 13 . 16 ). Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an zwei gegenüberliegenden Kammerwänden (13, 16) je eine Kühleinrichtung (41) vorgesehen ist.Coating plant according to claim 1, characterized in that on two opposite chamber walls ( 13 . 16 ) each a cooling device ( 41 ) is provided. Beschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Konsole (42) eine im Wesentlichen waagerechte Auflagefläche zur Aufnahme der Blende (51) aufweist.Coating installation according to one of claims 1 to 3, characterized in that the console ( 42 ) a substantially horizontal support surface for receiving the diaphragm ( 51 ) having. Beschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Konsole (42) eine schräge Auflagefläche zur Aufnahme und Selbstjustage der Blende (51) aufweist.Coating installation according to one of claims 1 to 3, characterized in that the console ( 42 ) an inclined support surface for receiving and Selbstjustage the aperture ( 51 ) having. Beschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühleinrichtung (41) mit der Kammerwand (13, 16) wärmeleitend verbunden ist.Coating plant according to one of claims 1 to 5, characterized in that the cooling device ( 41 ) with the chamber wall ( 13 . 16 ) is thermally conductively connected. Beschichtungsanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeleitung zwischen Kühleinrichtung (41) und Kammerwand (13, 16) durch zwischen ihnen angeordnete Isolierstoffe behindert ist.Coating plant according to one of claims 1 to 5, characterized in that the heat conduction between the cooling device ( 41 ) and chamber wall ( 13 . 16 ) is hindered by insulators arranged between them. Beschichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin Schnellspannmittel zur Erhöhung der Anpresskraft der Blende (51) auf die Auflagefläche der Konsole (42) vorgesehen sind.Coating installation according to one of the preceding claims, characterized in that, furthermore, quick-clamping means for increasing the contact force of the panel ( 51 ) on the support surface of the console ( 42 ) are provided. Beschichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (51) Anschlagmittel (52) zur Handhabung der Blende (51) aufweist.Coating plant according to one of the preceding claims, characterized that the aperture ( 51 ) Slings ( 52 ) for handling the diaphragm ( 51 ) having. Beschichtungsanlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin Kontaktvermittlungsmittel zur Steigerung der Wärmeleitung zwischen der Blende (51) und der Auflagefläche der Konsole (42) vorgesehen sind.Coating plant according to one of the preceding claims, characterized in that further contact-imparting means for increasing the heat conduction between the diaphragm ( 51 ) and the support surface of the console ( 42 ) are provided.
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