DE102006004314A1 - Vacuum pipe for vacuum pump has annular gas filled damping hose to dampen vibration between vacuum connection sections - Google Patents

Vacuum pipe for vacuum pump has annular gas filled damping hose to dampen vibration between vacuum connection sections Download PDF

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Abstract

The vacuum pipe (100) has a vibration damper for reducing vibration transmission between sections (114,116). The vibration damper is formed as a gas damper (102). The elastic damper is positioned between two support faces (106,108) and can be formed by an annular damping hose. Claims include a vacuum pump using the damper.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine zweiteilige Vakuumleitung mit einem Schwingungsdämpfer zur Verringerung der Schwingungsübertragung von dem einen Teil zu dem anderen Teil der Gasleitung.The The invention relates to a two-part vacuum line with a Vibration damper for Reduction of vibration transmission from one part to the other part of the gas line.

Derartige Vakuumleitungen werden in der Vakuumtechnik beispielsweise zur mechanischen Entkopplung einer Vakuumpumpe von einem an die Vakuumpumpe angeschlossenen Gerät eingesetzt, das empfindlich gegenüber Erschütterungen und Vibrationen ist. Der Schwingungsdämpfer kann auch Teil einer Vakuumpumpe mit einem Hochvakuumflansch sein, der gegenüber dem Pumpenteil durch den Schwingungsdämpfer mechanisch entkoppelt ist. In beiden Fällen dient der Schwingungsdämpfer der Verringerung der Schwingungsübertragung, um die angeschlossenen Leitungen, Behälter und Geräte vor der Einleitung unerwünschter Schwingungen zu schützen.such Vacuum lines are used in vacuum technology, for example for mechanical decoupling a vacuum pump used by a device connected to the vacuum pump, the sensitive to shocks and vibrations is. The vibration damper can also be part of a Vacuum pump with a high vacuum flange, opposite to the Pump part is mechanically decoupled by the vibration damper. In both cases the vibration damper serves the Reduction of vibration transmission, around the connected lines, containers and equipment before the Initiate unwanted Protect vibrations.

Aus DE 100 01 509 A1 ist eine Turbomolekular-Vakuumpumpe bekannt, die einen Hochvakuumflansch aufweist, der mit Hilfe eines Schwingungsdämpfers von dem Pumpenteil entkoppelt ist, wobei der Schwingungsdämpfer aus einem Metall-Wellbalg mit einem außenseitigen stützenden Gummimantel besteht. Der Gummimantel hat insbesondere in axialer Richtung stützende Funktion und ist daher relativ steif. Die Schwingungsübertragung wird daher nur begrenzt gedämpft, was insbesondere ein an den Hochvakuumflansch angeschlossenes empfindliches Gerät, beispielsweise ein Elektronenmikroskop, in seiner Funktion erheblich beeinträchtigen kann.Out DE 100 01 509 A1 For example, a turbomolecular vacuum pump is known, which has a high vacuum flange which is decoupled from the pump part by means of a vibration damper, wherein the vibration damper consists of a metal bellows with an outside supporting rubber jacket. The rubber jacket has in particular in the axial direction supporting function and is therefore relatively stiff. The vibration transmission is therefore only limited attenuated, which in particular can significantly affect a connected to the high-vacuum flange sensitive device, such as an electron microscope in its function.

Aus DE 101 19 075 A1 ist eine Vakuumleitung bekannt, bei der das Dämpfungselement im wesentlichen durch ein aktiv geregeltes axiales Magnetlager gebildet wird. Zwar bietet diese Lösung vielfältige Möglichkeiten, die gewünschte Dämpfung einzustellen, jedoch ist diese Lösung mit erheblichem technischen Aufwand und Kosten verbunden. Da ein Magnetlager nicht gasdicht ausgebildet sein kann, wird die Gasleitung durch einen Metall-Wellbalg gebildet.Out DE 101 19 075 A1 a vacuum line is known in which the damping element is essentially formed by an actively controlled axial magnetic bearing. Although this solution offers a variety of ways to adjust the desired damping, but this solution is associated with considerable technical effort and costs. Since a magnetic bearing can not be gas-tight, the gas line is formed by a metal bellows.

Die Verwendung eines metallischen Wellbalges oder eines Membranfederbalges als Gasleitung ist nachteilig, da diese Bauteile praktisch keine eigene innere Dämpfung aufweisen. Ferner müssen sie axial in beiden Richtungen gestützt werden, da sie nicht in der Lage sind, den Differenzdruck zwischen dem Vakuum und der Atmosphäre in axialer Richtung unter Beibehaltung einer noch akzeptablen Schwingungsentkopplung zu kompensieren. Zwar bieten Membranfederbalge und Wellbalge aus vakuumtechnischer Sicht eine hervorragende Abdichtung, jedoch verschlechtern sie die mechanische Entkoppelung der durch sie verbundenen Teile.The Use of a metallic bellows or diaphragm bellows as a gas line is disadvantageous because these components virtually no own inner damping exhibit. Furthermore, must they are supported axially in both directions, as they are not in are capable of the differential pressure between the vacuum and the atmosphere in axial Direction while maintaining a still acceptable vibration decoupling to compensate. Although offer membrane bellows and corrugated bellows Vacuum technical view of an excellent seal, but worsen they are the mechanical decoupling of the parts connected by them.

Aufgabe der Erfindung ist es dem gegenüber, eine schwingungsgedämpfte Vakuumleitung bzw. eine Vakuumpumpe mit schwingungsgedämpftem Hochvakuumflansch zu schaffen, die technisch einfach aufgebaut ist und ein gutes Dämpfungsvermögen aufweist.task the invention is opposite a vibration damped Vacuum line or a vacuum pump with vibration-damped high-vacuum flange to create, which is technically simple and has a good damping capacity.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit einer Vakuumleitung bzw. einer Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 bzw. 10.These Task is solved according to the invention with a Vacuum line or a vacuum pump with the features of claim 1 or 10.

Bei der erfindungsgemäßen Vakuumleitung bzw. der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist der Schwingungsdämpfer als Gas-Dämpfungselement ausgebildet. Die Gasdämpfung bzw. Gasfederung weist prinzipbedingt hervorragende Dämpfungseigenschaften auf, die eine um ein Vielfaches verbesserte Dämpfung eines Gasleitungsteiles gegenüber dem anderen Gasleitungsteil bzw. des Hochvakuumflansches gegenüber dem Pumpenteil der Vakuumpumpe ermöglicht. Durch die Einstellung des Gasdruckes und die Wahl des Dämpfergases kann das Dämpfungsverhalten in weiten Bereichen entsprechend der Anwendung eingestellt werden.at the vacuum line according to the invention or the vacuum pump according to the invention is the vibration damper designed as a gas-damping element. The gas damping or Gas suspension has principle inherent excellent damping properties on, which is a much improved damping of a gas line part compared to the other gas line part or the high-vacuum flange relative to the Pump part of the vacuum pump allows. By adjusting the gas pressure and the choice of damper gas can the damping behavior be adjusted in a wide range according to the application.

Vorzugsweise ist das elastische Dämpfungselement zwischen zwei axialen Stützflächen angeordnet, wobei das Dämpfungselement einen Hohlraum aufweist, der mit einem Dämpfergas gefüllt ist. Das Dämpfungselement ist elastisch, besteht beispielsweise aus einem elastischen Kunststoff, aus Kautschuk oder einem anderen elastischen Material. Grundsätzlich ist auch denkbar, das Dämpfungselement aus einem dünnen Blechkörper zu bilden, der mit Gas gefüllt ist. Das elastische Dämpfungselement bildet den Hohlraum alleine oder zusammen mit einem Teil oder beiden Teilen der Vakuumleitung bzw. der Vakuumpumpe, die einen Teil der Holraum-Wand bilden können, während das elastische Teil nur die Zwischenräume zwischen den Teilen schließt.Preferably is the elastic damping element arranged between two axial support surfaces, wherein the damping element has a cavity which is filled with a damper gas. The damping element is elastic, consists for example of an elastic plastic, made of rubber or another elastic material. Basically also conceivable, the damping element out of a thin one sheet metal body to form, filled with gas is. The elastic damping element forms the cavity alone or together with a part or both Parts of the vacuum line or the vacuum pump, which is part of the Can form Holraum wall, while the elastic part closes only the spaces between the parts.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung bildet das Dämpfungselement eine Gasleitung. Auf eine separate Gasleitung zur axialen Überbrückung des Dämpfungselementes kann verzichtet werden. Das Dämpfungselement übernimmt neben der Dämpfung auch die Funktion der Gasleitung bzw. der Abdichtung des Vakuums in dem Gasleitungs-Verlauf gegenüber der Umgebung. Das Dämpfungselement übernimmt also sowohl alleine die Abdichtung in diesem Abschnitt als auch die Dämpfung. Auf einen Wellbalg oder Membranfederbalg wird in diesem Bereich daher verzichtet. Hierdurch wird die Schwingungsentkopplung erheblich verbessert.According to one preferred embodiment, the damping element forms a gas line. On a separate gas line for axial bridging of the damping element can be omitted become. The damping element takes over in addition to the damping also the function of the gas line or the sealing of the vacuum in the gas line course opposite the environment. The damping element takes over So both alone the seal in this section as well the damping. On a corrugated bellows or diaphragm bellows is in this area therefore waived. As a result, the vibration decoupling becomes significant improved.

Vorzugsweise ist das Dämpfungselement als ringförmiger toroider Dämpferschlauch zwischen den beiden ringscheibenförmigen Stützflächen ausgebildet. Der ringförmige Dämpferschlauch ist relativ einfach herzustellen und wird aufgrund des Druckunterschiedes innerhalb und außerhalb der Gasleitung axial von den beiden Stützflächen komprimiert. Der Dämpferschlauch wird radial fixiert durch die Haftreibung zwischen dem Dämpferschlauch und den jeweiligen ringscheibenförmigen Stützflächen. Der Dämpferschlauch kann jedoch auch mit den Stützflächen verklebt, verklemmt oder auf andere Weise, vorzugsweise gasdicht, mit ihnen verbunden sein.Preferably, the damping element is designed as an annular toroid damper tube between the two annular disk-shaped support surfaces. The annular damper hose is relatively one manufacture and is due to the pressure difference inside and outside the gas line axially compressed by the two support surfaces. The damper tube is radially fixed by the static friction between the damper tube and the respective annular disc-shaped support surfaces. However, the damper hose can also be glued to the support surfaces, jammed or otherwise connected, preferably gas-tight, with them.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist ein feststehendes Radialstützelement zur radialen Abstützung des Dämpferschlauches nach radial innen vorgesehen. Das Radialstützelement kann beispielsweise als zylinderförmige Wand ausgebildet sein, die radial innenseitig des Dämpferschlauches angeordnet ist und ein durch den Druckunterschied verursachtes Verformen des Dämpferschlauches nach radial innen verhindert. Das Radialstützelement ist in diesem Fall an einem der beiden Leitungs-Teile fixiert bzw. an dem Pumpenteil oder dem Hochvakuumflansch fixiert. Das Radialstützelement kann auch in Form von kammartig angeordneten Axialzähnen ausgebildet sein, die an beiden Gasleitungsenden befestigt sind und abwechselnd axial ineinander greifen. Auf diese Weise wird der Dämpferschlauch nach radial innen abgestützt, jedoch die Reibungsfläche zwischen dem Dämpferschlauch und dem Radialstützelement auf ein Mindestmaß reduziert.According to one preferred embodiment is a fixed radial support element for radial support the damper hose provided radially inward. The radial support element can, for example as cylindrical Be formed wall, which is arranged radially inside the damper tube is and caused by the pressure difference deformation of the Damper hose after prevented radially inward. The radial support element is in this case fixed to one of the two pipe parts or to the pump part or fixed to the high vacuum flange. The radial support element can also be in shape be formed of comb-like axial teeth, the are attached to both ends of the gas pipe and alternately axially mesh. In this way, the damper hose is radially inward supported however, the friction surface between the damper hose and the radial support element reduced to a minimum.

Vorzugsweise wird der Hohlraum des Dämpfungselementes teilweise mit einer Flüssigkeit und/oder einer feinkörnigen Substanz gefüllt. Durch Zugabe einer Flüssigkeit und/oder einer feinkörnigen Substanz zusätzlich zu dem Dämpfergas in den Hohlraum können die Dämpfungseigenschaften des Dämpfungselementes gezielt beeinflusst werden. Als Flüssigkeit eignen sich Flüssigkeiten verschiedener Viskositäten. Als feinkörnige Substanz kann Sand oder Granulat dienen. Auf diese Weise können bestimmte Schwingungsfrequenzen gezielt gedämpft werden.Preferably becomes the cavity of the damping element partially with a liquid and / or a fine-grained Substance filled. By adding a liquid and / or a fine-grained substance additionally to the damper gas in the cavity can the damping properties of the damping element be specifically influenced. Suitable liquids are liquids different viscosities. As fine-grained Substance can serve sand or granules. In this way, certain Vibration frequencies are deliberately damped.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Füllhöhe der Flüssigkeit in dem Hohlraum derart, dass das Dämpfergas ausschließlich in einem Bereich oberhalb des radialstützflächenfreien Bereichs liegt. Der Dämpfungselement-Hohlraum bzw. der Dämpferschlauch wird also bis zu seiner Dichthöhe mit einer Flüssigkeit, beispielsweise mit Öl, gefüllt.According to one preferred embodiment, the filling level of the liquid in the cavity is such that the damper gas exclusively is in a range above the radial support area-free area. The damping element cavity or the damper hose So it is up to its sealing height a liquid, for example, with oil, filled.

Die Flüssigkeit dient der verbesserten Gasabdichtung des Dämpfungselementes. Dies ist dann erforderlich, wenn das Dämpfungselement nicht aus Metall, sondern aus einem Kunststoff oder Gummi besteht. Leichte kleinmolekulare Gase diffundieren durch Gummi- und Kunststoffwände hindurch und könnten innerhalb der Gasleitung den Druck erhöhen. Die Füllhöhe der Flüssigkeit in dem Dämpfungselement-Hohlraum bzw. in dem Dämpferschlauch ist daher derart, dass das Dämpfergas ausschließlich oberhalb eines radial nicht abgeschirmten Bereiches des Dämpfungselementes bzw. des Dämpferschlauches liegt. In dem abgeschirmten Bereich dichtet die Abschirmung das Dämpfungselement bzw. den Dämpferschlauch zusätzlich ab, so dass in diesem Bereich kein Gas durch die Wand des Dämpfungselementes bzw. des Dämpferschlauches in die Gasleitung hinein diffundieren kann.The liquid serves the improved gas seal of the damping element. This is then required if the damping element not made of metal, but made of a plastic or rubber. Light small molecular gases diffuse through rubber and plastic walls and could increase pressure within the gas line. The filling level of the liquid in the damping element cavity or in the damper hose is therefore such that the damper gas exclusively above a radially unshielded region of the damping element or the damper hose lies. In the shielded area, the shield seals the shield damping element or the damper hose additionally so that in this area no gas through the wall of the damping element or the damper hose can diffuse into the gas line.

Um die Beweglichkeit der beiden Leitungs-Teile bzw. des Hochvakuumflansches gegenüber dem Pumpenteil sicherzustellen, ist ein radial nicht abgeschirmter Bereich des Dämpfungselementes bzw. des Dämpferschlauches unvermeidlich.Around the mobility of the two line parts or the high-vacuum flange across from To ensure the pump part is a radially unshielded Area of the damping element or the damper hose inevitable.

Dieser Bereich des Hohlraumes des Dämpfungselementes bzw. des Dämpferschlauches ist mit der gasabdichtenden Flüssigkeit gefüllt. Damit verlängert sich der Diffusionsweg für Gas durch die Wand des Dämpfungselementes bzw. des Dämpferschlauches erheblich, da das Gas nicht senkrecht zu der Wand des Dämpfungselementes durch dieses hindurchtreten kann, sondern zunächst einen relativ langen Weg innerhalb der Wand in ihrer Erstreckungsrichtung nehmen muss. Hierdurch wird die Dichtigkeit des Dämpfungselementes erheblich verbessert, was bei Hochvakuumanwendungen unter Umständen unerlässlich ist.This Area of the cavity of the damping element or the damper hose is with the gas-tight liquid filled. With it extended the diffusion path for Gas through the wall of the damping element or the damper hose considerably, since the gas is not perpendicular to the wall of the damping element can pass through this, but first a relatively long way within the wall in its direction of extension must take. hereby is the tightness of the damping element significantly improved, which may be essential in high vacuum applications.

Vorzugsweise weist das Dämpfungselement einen Gasanschluss auf, durch den Dämpfergas in den Hohlraum eingefüllt, oder aus diesem abgelassen werden kann. Ein ständiges Nachfüllen mit Dämpfergas kann schon deshalb erforderlich sein, weil bei Kunststoff- oder Gummi-Dämpfungselementen geringe Diffusionsverluste unvermeidlich sind. An den Gasanschluss kann eine Pumpe angeschlossen werden, die je nach Anforderung den Gasdruck in dem Dämpfungselement erhöht oder verringert, oder aber andere Dämpfungseigenschaften durch das Einfüllen bestimmter, die Dämpfungseigenschaften verändernder Fluide an die jeweiligen Randbedingungen anpasst.Preferably the damping element has a Gas connection on, through the damper gas filled in the cavity, or can be drained from this. A constant refilling with damper gas may already be necessary because of plastic or Rubber dampers low diffusion losses are unavoidable. To the gas connection A pump can be connected, depending on the requirement Gas pressure in the damping element elevated or reduced, or other damping properties the filling certain, the damping properties changing Adjusts fluids to the respective boundary conditions.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe ist bevorzugt als Turbomolekularpumpe ausgebildet. Hochvakuum-Turbomolekularpumpen laufen mit hohen Drehzahlen von mehreren 10.000 Umdrehungen pro Minute und erzeugen dabei hochfrequente mechanische Schwingungen, die schädlich sind für an den Hochvakuumflansch angeschlossene Elektronenmikroskope, Massenspektrometer etc. Die erfindungsgemäße Dämpfung mit einem einen Hohlraum aufweisenden Dämpfungselement ist daher zur mechanischen Entkopplung des Hochvakuumflansches einer Hochvakuum-Turbomolekularpumpe besonders gut geeignet, die an den Hochvakuumflansch angeschlossenen mechanisch empfindlichen Geräte zu schützen vor den hochfrequenten Schwingungen, die im Pumpenteil der Turbomolekularpumpe generiert werden.The vacuum pump according to the invention is preferably designed as a turbomolecular pump. High-vacuum turbomolecular pumps run at high speeds of several 10,000 revolutions per minute and thereby generate high-frequency mechanical vibrations that are harmful for connected to the high-vacuum flange electron microscopes, mass spectrometers, etc. The damping according to the invention with a cavity having a damping element is therefore for mechanical decoupling of Hochvakuumflansches a High-vacuum turbomolecular pump particularly well suited to protect the mechanically sensitive devices connected to the high-vacuum flange from the high-frequency vibrations, which are generated in the pump part of the turbomolecular pump.

Einige Ausführungsbeispiele der Erfindung werden in den Figuren näher erläutert. Es zeigen:Some embodiments The invention will be explained in more detail in the figures. Show it:

1 Einen Längsschnitt einer Vakuumpumpe mit einem als Dämpferschlauch ausgebildeten Dämpfungselement, 1 A longitudinal section of a vacuum pump with a damper hose designed as a damping element,

2 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vakuumpumpe mit einem Dämpferschlauch und einem Wellbalg im Längsschnitt, 2 A second embodiment of a vacuum pump with a damper hose and a bellows in longitudinal section,

3 einen Ausschnitt eines Längsschnittes einer Vakuumleitung mit ungestütztem Dämpferschlauch, 3 a detail of a longitudinal section of a vacuum line with unsupported damper hose,

4 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vakuumleitung mit gestütztem Dämpferschlauch und 4 A second embodiment of a vacuum line with supported damper hose and

5 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Vakuumleitung mit einem gestützten und mit einer Flüssigkeit gefülltem Dämpferschlauch. 5 a third embodiment of a vacuum line with a supported and filled with a liquid damper hose.

In den 1 und 2 ist eine Vakuumpumpe 10, 12 dargestellt, die jeweils als Hochvakuum-Turbomolekularpumpe ausgebildet ist. Jede der Vakuumpumpen 10, 12 weist jeweils einen Hochvakuumflansch 14 auf, an den sich ein Hochvakuum-Rezipient, ein Elektronenmikroskop, ein Massenspektrometer oder ein anderes Vakuum-Bauteil anschließen lässt.In the 1 and 2 is a vacuum pump 10 . 12 represented, which is in each case designed as a high-vacuum turbomolecular pump. Each of the vacuum pumps 10 . 12 each has a high vacuum flange 14 to which a high vacuum recipient, an electron microscope, a mass spectrometer or another vacuum component can be connected.

Die Vakuumpumpen 10, 12 lassen sich funktional in einen Pumpenteil 16 und in einen beweglichen Teil 18, 20 aufteilen, der den Pumpenteil 16 mit dem Hochvakuumflansch 14 gasdicht und dämpfend verbindet.The vacuum pumps 10 . 12 can be functional in a pump section 16 and into a moving part 18 . 20 divide the pump part 16 with the high vacuum flange 14 gas-tight and dampening connects.

In dem ersten Ausführungsbeispiel der Vakuumpumpe 10 ist dem beweglichen Teil 18 ein als Schwingungsdämpfer wirkendes elastisches Dämpfungselement 30 angeordnet, das axial zwischen zwei in einer Querebene liegenden Stützflächen 32, 34 angeordnet ist. Das Dämpfungselement 30 weist einen Hohlraum 36 auf, der mit einem Dämpfergas gefüllt ist. Das Dämpfungselement 30 wird von einem ringförmig geschlossenen toroidalen Dämpferschlauch 38 gebildet, der eine relativ dünne Schlauchwand 40 aus einem elastischen Material, beispielsweise aus einem gummielastischen Kunststoff oder aus Gummi, besteht.In the first embodiment of the vacuum pump 10 is the moving part 18 an acting as a vibration damper elastic damping element 30 arranged axially between two lying in a transverse plane supporting surfaces 32 . 34 is arranged. The damping element 30 has a cavity 36 on, which is filled with a damper gas. The damping element 30 is made of a toroidal damper tube closed in a ring shape 38 formed, which has a relatively thin tube wall 40 made of an elastic material, for example of a rubber-elastic plastic or rubber.

Das Dämpfungselement 30 weist einen Gasanschluss 42 auf, an den ein Dämpfergas-Speicher 44 angeschlossen ist, so dass über eine Dämpfergas-Pumpe 46 Dämpfergas in das Dämpfungselement 30 eingefüllt werden, oder aus ihm abgesaugt und gespeichert werden kann. Hierdurch lässt sich der Dämpfungsgrad bzw. der Dämpfungsweg einstellen.The damping element 30 has a gas connection 42 on, to the damper gas storage 44 connected so that via a damper gas pump 46 Damper gas in the damping element 30 be filled, or sucked out of it and stored. As a result, the degree of damping or the damping travel can be adjusted.

Das Dämpfungselement 30 ist von einem topfförmigen Gehäuse 48 umgeben, mit dem das Dämpfungselement 30 verklebt oder auf andere Weise verbunden ist. Das topfförmige Gehäuse 48 ist starrer Bestandteil des beweglichen Teiles 18. Das topfförmige Gehäuse 48 hält das Dämpfungselement 30 in seiner Position, und verhindert dadurch, dass das Dämpfungselement 30 aufgrund der Druckunterschiede nach radial innen gedrückt wird.The damping element 30 is from a cup-shaped case 48 surrounded with the damping element 30 glued or otherwise connected. The pot-shaped housing 48 is a rigid component of the moving part 18 , The pot-shaped housing 48 holds the damping element 30 in its position, thereby preventing the damping element 30 is pressed radially inward due to the pressure differences.

Das Dämpfungselement 30 der Vakuumpumpe 10 der 1 wirkt als Gasleitung, d. h. es dichtet vollständig ab, so dass eine separate Gasleitung nicht erforderlich ist.The damping element 30 the vacuum pump 10 of the 1 acts as a gas line, ie it seals completely, so that a separate gas line is not required.

Bei dem in der 2 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel einer Vakuumpumpe 12 ist demgegenüber als separate Gasleitung 70 ein Metall-Wellbalg 72 vorgesehen, der zum einen die gasdichte Abdichtung sicherstellt und zum anderen zusätzlich das Dämpfungselement 30 radial innenseitig abstützt.In the in the 2 illustrated second embodiment of a vacuum pump 12 is in contrast as a separate gas line 70 a metal bellows 72 provided, on the one hand ensures the gas-tight seal and the other addition, the damping element 30 supported radially on the inside.

Sowohl dem beweglichen Teil 18, 20 als auch dem Pumpenteil 16 ist jeweils ein in einer Horizontalebene liegender ringförmiger Flansch 78, 79 zugeordnet, der zur Hubbegrenzung eine Halteschraube 80 an einem Flansch aufweist, die in einer Öffnung 81 des anderen Flansches 79 axial, lateral und in Umfangsrichtung nur begrenzt beweglich ist.Both the moving part 18 . 20 as well as the pump part 16 is in each case a lying in a horizontal plane annular flange 78 . 79 assigned to the Hubbegrenzung a retaining screw 80 on a flange which is in an opening 81 of the other flange 79 is axially, laterally and in the circumferential direction only limited mobility.

In den 3-5 sind jeweils Abschnitte einer Vakuumleitung 100, 110, 120 dargestellt, die eine jeweils verschiedene Anordnung eines als Dämpferschlauch ausgebildeten Dämpfungselementes zeigen.In the 3 - 5 are each sections of a vacuum line 100 . 110 . 120 shown, each showing a different arrangement of a damping tube designed as a damping element.

Das erste Ausführungsbeispiel einer Vakuumleitung 100, das in der 3 dargestellt ist, stellt eine einfache Form der erfindungsgemäßen Vakuumleitung dar. Als elastisches Dämpfungselement 102 dient ein Dämpferschlauch 104, der zwischen den Stützflächen 106, 108 der Stützflansche 110, 112 der beiden aneinander angrenzenden und zueinander begrenzt beweglichen Teile 114, 116 angeordnet ist. Der ringförmige toroidale Dämpferschlauch 104 wird in axialer Richtung durch die zwischen der Außenseite der Vakuumleitung 100 und dem Inneren der Vakuumleitung 100 herrschende Druckdifferenz axial zusammengedrückt. Durch die Haftreibung zwischen dem Dämpferschlauch 104 und den Stützflächen 106, 108 wird der Dämpferschlauch 104 daran gehindert, radial nach innen gedrückt zu werden. Der Dämpferschlauch 104 kann jedoch auch zur Erhöhung der Befestigungssicherheit jeweils mit der angrenzenden Stützfläche 106, 108 verklebt oder auf andere Weise gasdicht verbunden sein.The first embodiment of a vacuum line 100 that in the 3 is shown, represents a simple form of the vacuum line according to the invention. As an elastic damping element 102 serves a damper hose 104 that is between the support surfaces 106 . 108 the support flanges 110 . 112 the two adjacent and mutually limited moving parts 114 . 116 is arranged. The toroidal damper tube 104 is in the axial direction through the between the outside of the vacuum line 100 and the interior of the vacuum line 100 prevailing pressure difference axially compressed. Due to the stiction between the damper hose 104 and the support surfaces 106 . 108 becomes the damper hose 104 prevented from being pressed radially inward. The damper hose 104 However, it can also increase the fastening security with the adjacent support surface 106 . 108 glued or otherwise connected gas-tight.

In der 4 ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer Vakuumleitung 120 dargestellt. Das elastische Dämpfungselement 122 ist im Querschnitt stufenförmig ausgebildet, wobei der vertikale Abschnitt 123 eine größere Breite aufweist als die Höhe des horizontalen oberen Abschnittes 124. Das Dämpfungselement 122 ist als relativ dünnwandiger Dämpferschlauch 126 mit treppenförmigem Querschnittsprofil ausgebildet. Zwischen dem Dämpferschlauch 126 und den ebenfalls treppenartigen Flanschanordnungen 128, 130 der beiden Gasleitungs-Teile 132, 134 sind ringscheibenförmige Stützflächen 136, 138 ausgebildet, an denen der Dämpferschlauch 126 axial abgestützt ist. Der Dämpferschlauch 126 kann bei dieser Anordnung nicht in das Gasleitungs-Innere gezogen werden, da hierfür eine Volumenverringerung des Dämpferschlauches 126 erforderlich wäre. Die Dämpferschlauchwände im vertikalen Abschnitt 123 des Dämpferschlauches 126 könnten so dick ausgebildet werden, dass sie nicht durch den horizontalen Zwischenraum im oberen Querbereich 124 zwischen den beiden Teilen 132, 134 hindurch passen. Diese Konstruktion hat neben einer guten Axialdämpfung ferner den Vorteil, dass sie eine gute Dämpfung in radialer Richtung zur Verfügung stellt.In the 4 is a second embodiment of a vacuum line 120 shown. The elastic damping element 122 is stepped in cross-section, wherein the vertical section 123 has a greater width than the height of the horizontal upper section 124 , The damping element 122 is a relatively thin-walled damper hose 126 formed with step-shaped cross-sectional profile. Between the damper hose 126 and also stair-like flange arrangements 128 . 130 the two gas line parts 132 . 134 are ring-shaped support surfaces 136 . 138 formed, where the damper hose 126 is axially supported. The damper hose 126 can not be drawn into the gas line interior in this arrangement, since this a volume reduction of the damper hose 126 would be required. The damper tube walls in the vertical section 123 the damper hose 126 could be made so thick that they would not pass through the horizontal space in the upper transverse area 124 between the two parts 132 . 134 fit through. In addition to good axial damping, this design also has the advantage that it provides good damping in the radial direction.

In dem in der 5 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel einer Vakuumleitung 140 weist der obere Teil 142 in seiner Flanschanordnung eine axial zum anderen unteren Teil 144 öffnende ringnutförmige Schlauchnut 146 auf. Der das Dämpfungselement 148 bildende Dämpferschlauch 150 ist im Querschnitt hutartig ausgebildet, wobei der Krempen-Abschnitt 152 des Dämpferschlauches 148 aus der Schlauchnut 146 axial nach unten und radial nach innen und außen herausragt.In the in the 5 illustrated third embodiment of a vacuum line 140 indicates the upper part 142 in its flange one axially to the other lower part 144 opening ringnutförmige hose groove 146 on. The the damping element 148 forming damper hose 150 is hat-shaped in cross-section, with the brim section 152 the damper hose 148 from the hose groove 146 protrudes axially downwards and radially inwardly and outwardly.

Der Dämpferschlauch 150 ist in seinem oberen Bereich 154 mit Dämpfergas gefüllt und ist in seinem unteren Bereich mit einer Flüssigkeit 156 gefüllt. Die Füllhöhe der Flüssigkeit 156 ist derart, dass das Dämpfergas ausschließlich oberhalb des radial nicht abgeschirmten Bereiches des Dämpferschlauches 150 liegt. Auf diese Weise wird die Permeation von Dämpfergas durch die Dämpferschlauch-Wand hindurch in das Leitungsinnere erheblich verringert. Als Dicht-Flüssigkeit 156 wird beispielsweise Öl verwendet.The damper hose 150 is in its upper area 154 filled with damper gas and is in its lower part with a liquid 156 filled. The filling level of the liquid 156 is such that the damper gas exclusively above the radially unshielded region of the damper hose 150 lies. In this way, permeation of damper gas through the damper hose wall into the duct interior is significantly reduced. As a sealing liquid 156 For example, oil is used.

Die am Beispiel der Vakuumleitungen 100, 120, 140 dargestellten Anordnungen können selbstverständlich auch bei der in den 1 und 2 dargestellten Vakuumpumpe realisiert sein, was auch umgekehrt gilt.The example of the vacuum lines 100 . 120 . 140 Of course, arrangements shown in the in the 1 and 2 be realized vacuum pump, which also applies vice versa.

Die Dämpfungselemente können selbstverständlich grundsätzlich auch durch gummielastische Abschnitte gebildet werden, die mit entsprechenden Gehäuseabschnitten verklebt sind, so dass der eigentliche Hohlraum sowohl durch Gehäuseabschnitte als auch durch gummielastische flexible Abschnitte gebildet wird. Auf diese Weise kann ebenfalls ein geschlossener Hohlraum gebildet werden, ohne dass das elastische Dämpfungselement in sich geschlossen ausgebildet sein muss.The damping elements can Of course in principle Also be formed by rubber elastic sections, with corresponding housing sections are glued, so that the actual cavity through both housing sections as well as formed by rubber elastic flexible sections. In this way, a closed cavity can also be formed be without the elastic damping element closed in itself must be trained.

Claims (12)

Vakuumleitung (100) mit einem Schwingungsdämpfer zur Verringerung der Schwingungsübertragung von einem Teil (114) zu einem anderen Teil (116) der Vakuumleitung (100), dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingungsdämpfer als Gas-Dämpfungselement (102) ausgebildet ist.Vacuum line ( 100 ) with a vibration damper for reducing the transmission of vibration from a part ( 114 ) to another part ( 116 ) of the vacuum line ( 100 ), characterized in that the vibration damper as gas damping element ( 102 ) is trained. Vakuumleitung (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das elastische Dämpfungselement (102) zwischen zwei Stützflächen (106, 108) angeordnet ist, wobei das Dämpfungselement (102) einen Hohlraum (103) aufweist, der mit einem Dämpfergas gefüllt ist.Vacuum line ( 100 ) according to claim 1, characterized in that the elastic damping element ( 102 ) between two support surfaces ( 106 . 108 ) is arranged, wherein the damping element ( 102 ) a cavity ( 103 ) which is filled with a damper gas. Vakuumleitung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (102) eine Gasleitung bildet.Vacuum line according to claim 1 or 2, characterized in that the damping element ( 102 ) forms a gas line. Vakuumleitung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (102) von einem ringförmigen Dämpferschlauch (104) zwischen den beiden axialen ringförmigen Stützflächen (106, 108) gebildet wird.Vacuum line according to one of claims 1-3, characterized in that the damping element ( 102 ) of an annular damper hose ( 104 ) between the two axial annular support surfaces ( 106 . 108 ) is formed. Vakuumleitung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass an einem der beiden Vakuumleitungs-Teile (114, 116) ein Radialstützelement (105, 107) zur radialen Abstützung des Dämpfungselementes (102) vorgesehen ist.Vacuum line according to one of claims 1-4, characterized in that on one of the two vacuum line parts ( 114 . 116 ) a radial support element ( 105 . 107 ) for radial support of the damping element ( 102 ) is provided. Vakuumleitung nach einem der Ansprüche 2-5, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlraum des Dämpfungselementes (148) teilweise mit einer Flüssigkeit (156) gefüllt ist.Vacuum line according to one of claims 2-5, characterized in that the cavity of the damping element ( 148 ) partially with a liquid ( 156 ) is filled. Vakuumleitung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Füllhöhe der Flüssigkeit (156) mindestens so hoch ist, dass das Dämpfergas ausschließlich in einem Bereich oberhalb eines radial nicht abgeschirmten Bereichs des Dämpferelements (148) liegt.Vacuum line according to claim 6, characterized in that the filling level of the liquid ( 156 ) is at least so high that the damper gas exclusively in a region above a radially unshielded region of the damper element ( 148 ) lies. Vakuumleitung nach einem der Ansprüche 2-7, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlraum (103) des Dämpfungselementes (102) teilweise mit einer feinkörnigen Substanz gefüllt ist.Vacuum line according to one of claims 2-7, characterized in that the cavity ( 103 ) of the damping element ( 102 ) is partially filled with a fine-grained substance. Vakuumleitung nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (32) einen Gasanschluss (42) aufweist.Vacuum line according to one of claims 1-8, characterized in that the damping element ( 32 ) a gas connection ( 42 ) having. Vakuumpumpe (10) mit einem Hochvakuumflansch (14) und einem Schwingungsdämpfer zur Verringerung der Schwingungsübertragung zwischen einem Pumpenteil (16) und dem Hochvakuumflansch (14), dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingungsdämpfer als Gas-Dämpfungselement (30) ausgebildet ist.Vacuum pump ( 10 ) with a high vacuum flange ( 14 ) and a vibration damper for reducing the vibration transmission between a pump part ( 16 ) and the high vacuum flange ( 14 ), characterized in that the vibration damper as gas damping element ( 30 ) is trained. Vakuumpumpe (10) nach Anspruch 10, wobei die Vakuumpumpe (10) eine Hochvakuum-Turbomolekularpumpe ist.Vacuum pump ( 10 ) according to claim 10, wherein the vacuum pump ( 10 ) is a high vacuum turbomolecular pump. Vakuumpumpe (10) nach der Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch die Merkmale einer der Ansprüche 2-9.Vacuum pump ( 10 ) according to claim 10 or 11, characterized by the features of one of claims 2-9.
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