DE102005063022A1 - Opto-electronic force-moment-sensor, has restoring units e.g. elastomer bodies, connected with support bodies and arranged between measuring units at distance, where one support body is moved relative to another support body - Google Patents
Opto-electronic force-moment-sensor, has restoring units e.g. elastomer bodies, connected with support bodies and arranged between measuring units at distance, where one support body is moved relative to another support body Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005063022A1 DE102005063022A1 DE200510063022 DE102005063022A DE102005063022A1 DE 102005063022 A1 DE102005063022 A1 DE 102005063022A1 DE 200510063022 DE200510063022 DE 200510063022 DE 102005063022 A DE102005063022 A DE 102005063022A DE 102005063022 A1 DE102005063022 A1 DE 102005063022A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- opto
- sensor according
- electronic force
- moment sensor
- bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/166—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using photoelectric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft einen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensor.The The invention relates to an opto-electronic force-moment sensor.
Ein
derartiger Kraft-Momenten-Sensor ist beispielsweise in
Bei opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensoren handelt es sich um äußerst empfindliche Bauteile. Insbesondere können bekannte opto-elektronische Kraft-Momenten-Sensoren nur zum Auftreten relativ geringer Kräfte und Momente von weniger als 300 N, bzw. 15 Nm eingesetzt werden.at Opto-electronic force-moment sensors are extremely sensitive Components. In particular, you can known opto-electronic force-moment sensors only to occur relatively low forces and moments of less than 300 N, or 15 Nm are used.
Ein Einsatz derartiger opto-elektronischer Kraft-Momenten-Sensoren bei größeren Kräften ist nur durch Vorsehen entsprechender Zusatz- oder Zwischeneinrichtungen möglich. Dies führt jedoch stets zur Verfälschung der Messergebnisse, sowie zu einer Vergrößerung der Vorrichtung. Ferner ist dies mit zusätzlichen Kosten verbunden.One Use of such opto-electronic force-moment sensors bigger forces is only by providing appropriate additional or intermediate facilities possible. this leads to but always to falsification the measurement results, and to an enlargement of the device. Further this is with additional Costs connected.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensor zu schaffen, dessen Messbereich vergrößert ist, insbesondere um damit Kräfte und Momente messen zu können, die größer sind als 300 N, bzw. 15 Nm.task the invention is to provide an opto-electronic force-moment sensor whose measuring range is increased, especially with it forces and to be able to measure moments that are bigger as 300 N, or 15 Nm.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch einen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensor gemäß Anspruch 1.The solution The object is achieved according to the invention by an opto-electronic force-moment sensor according to claim 1.
Bei dem erfindungsgemäßen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensor sind zwischen den beiden Trägerkörpern Rückstellelemente vorgesehen, die einen Elastomerkörper aufweisen. Erfindungsgemäß sind die Rückstellelemente benachbart zu Messeinheiten zwischen den Trägerkörpern angeordnet. Das Vorsehen von Elastomerkörpern hat den Vorteil, dass Elastomerkörper eine wesentlich höhere Energiedichte als Stahlfedern aufweisen. Insbesondere ist es durch das Vorsehen von Elastomerkörpern möglich eine höhere mechanische Dämpfung, sowie eine höhere Steifigkeit zu erzielen. Dies führt dazu, dass der Messbereich des erfindungsgemäßen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensors erheblich vergrößert ist, wobei mit dem erfindungsgemäßen Kraft-Momenten-Sensor insbesondere Kräfte und Momente bis zu 3500 N, bzw. 150 Nm gemessen werden können.at the optoelectronic according to the invention Force-moment sensor are return elements between the two bodies provided, which is an elastomeric body exhibit. According to the invention Restoring elements arranged adjacent to measuring units between the support bodies. The provision of elastomeric bodies has the advantage that elastomer body a much higher energy density have as steel springs. In particular, it is by providing of elastomeric bodies possible a higher one mechanical damping, as well a higher one To achieve rigidity. This leads to, that the measuring range of the opto-electronic force-moment sensor according to the invention is considerably enlarged, wherein with the force-moment sensor according to the invention especially forces and Moments up to 3500 N, or 150 Nm can be measured.
Ein weiterer wesentlicher Aspekt der Erfindung ist, dass die Elastomerkörper zwischen benachbarten Messeinheiten angeordnet werden können. Es ist somit möglich, den Messbereich des Sensors erheblich zu verbessern, ohne die Außenabmessungen des Sensors vergrößern zu müssen. Werden beispielsweise Scheiben oder kreisringförmige Trägerkörper verwendet und die entsprechenden Messeinheiten zwischen deren Stirnflächen angeordnet, so ist es erfindungsgemäß bevorzugt, die Elastomerkörper ebenfalls zwischen den Stirnflächen der Trägerkörper anzuordnen. Insbesondere ist es bevorzugt, dass die Elastomerkörper vollständig innerhalb der Außenabmessungen des größeren Trägerkörpers angeordnet sind.One Another essential aspect of the invention is that the elastomeric body between can be arranged adjacent measuring units. It is thus possible the Considerably improve the measuring range of the sensor, without the external dimensions of the sensor increase have to. Become For example, discs or annular carrier body used and the corresponding Measuring units arranged between their faces, so it is preferred according to the invention, the elastomeric body also between the faces of the To arrange carrier body. In particular, it is preferred that the elastomeric bodies be completely within the outer dimensions arranged the larger carrier body are.
Der Elastomerkörper weist vorzugsweise Rohkautschuk, Ruß und/oder Hilfsstoffe auf. Ferner kann der Elastomerkörper Polyurethan oder Silikone aufweisen. Des Weiteren sind thermoplastische Elastomere geeignet.Of the elastomer body preferably comprises raw rubber, carbon black and / or auxiliaries. Furthermore, the elastomeric body Polyurethane or silicones have. Furthermore, are thermoplastic Elastomers suitable.
Vorzugsweise ist zwischen benachbarten Messeinrichtungen mindestens ein Rückstellelement angeordnet. Vorzugsweise sind die Rückstellelemente hierbei derart angeordnet bzw. ausgebildet, dass zwischen benachbarten Rückstellelementen Messzellen ausgebildet sind. Innerhalb einer Messzelle ist sodann vorzugsweise eine einzige Messeinheit angeordnet. Hierbei sind die Rückstellelemente derart ausgebildet, dass sie zumindest einen Teil der Seitenwände der Messzellen ausbilden. Hierdurch ist beispielsweise ein Verfälschen von Signalen durch Auftreten von Streulicht vermieden, da die Rückstellelemente sodann zusätzlich die Aufgabe einer optischen Begrenzung der Messzellen in Richtung benachbarter Messzellen ausführen.Preferably, at least one return element is arranged between adjacent measuring devices. In this case, the restoring elements are preferably arranged or formed such that measuring cells are formed between adjacent restoring elements. Within a measuring cell then preferably a single measuring unit is arranged. Here, the return elements are designed such that they form at least a part of the side walls of the measuring cells. As a result, for example, a falsification of signals by the occurrence of stray light is avoided because the reset Then additionally perform the task of an optical boundary of the measuring cells in the direction of adjacent measuring cells.
Der opto-elektronische Kraft-Momenten-Sensor weist vorzugsweise wesentlichen zylindrische Außenabmessungen auf. Die beiden Trägerkörper sind daher vorzugsweise kreis- oder kreisringförmig ausgebildet. Hierbei sind die Stirnseiten der beiden Trägerkörper vorzugsweise einander gegenüberliegend angeordnet, so dass zwischen den Stirnseiten der Trägerkörper die Rückstellelemente, die Messeinheiten und insbesondere auch die Messzellen, ausgebildet sind. Hierbei sind die Rückstellelemente bzw. die Elastomerkörper vorzugsweise kreissegmentförmig oder kreisringsegmentförmig ausgebildet. Die Messzellen weisen hierbei vorzugsweise ebenfalls einen kreissegmentförmigen oder kreisringsegmentförmigen Querschnitt auf. Der Strahlengang der Messeinheit verläuft hierbei vorzugsweise im Wesentlichen in radialer Richtung.Of the Opto-electronic force-moment sensor preferably has substantial cylindrical outer dimensions on. The two carrier bodies are therefore preferably formed circular or circular. Here are the end faces of the two carrier body preferably opposite each other arranged so that between the end faces of the support body the Restoring elements, the measuring units and in particular the measuring cells trained are. Here are the reset elements or the elastomeric body preferably circular segment or circular segment educated. The measuring cells preferably also have this a circular segment or circular segment-shaped Cross-section on. The beam path of the measuring unit runs here preferably substantially in the radial direction.
Um eine klar definierte Rückstellkraft durch die Rückstellelemente, insbesondere die in den Rückstellelementen vorgesehenen Elastomerkörper, zu gewährleisten, sind die Rückstellelemente vorzugsweise mit zumindest einem der beiden Trägerkörper verbunden. Das Verbinden kann hierbei durch Vulkanisieren erfolgen.Around a clearly defined restoring force through the reset elements, especially those in the reset elements provided elastomeric body, too guarantee, are the reset elements preferably connected to at least one of the two carrier body. The connecting can be done by vulcanization.
Da elastomere Werkstoffe eine Hysterese aufweisen und ferner Kriecheffekte auftreten können, kann dies zur Verfälschung der Messergebnisse führen. Dies ist insbesondere bei hoch präzisen Messungen ggf. nachteilig oder muss durch entsprechende Korrekturfaktoren berücksichtigt werden. Zur Verringerung dieser negativen Effekte von elastomeren Werkstoffen weisen bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung die Rückstellelemente zusätzlich zu einem Elastomerkörper eine Metallfeder auf. Auf Grund der innerhalb vorgegebener Bereiche definierten, insbesondere linearen Charakteristik von Metallfedern, ist es möglich die unerwünschten Effekte der Hysterese und des Kriechens zu verringern.There elastomeric materials have a hysteresis and further Kriecheffekte can occur this falsification lead the measurement results. This may be disadvantageous, especially in the case of highly precise measurements or must be taken into account by appropriate correction factors become. To reduce these negative effects of elastomeric materials in a particularly preferred embodiment of the invention, the Restoring elements additionally to an elastomeric body a metal spring on. Due to within given ranges defined, in particular linear characteristic of metal springs, Is it possible the unwanted ones To reduce effects of hysteresis and creep.
Hierzu ist es bevorzugt, dass der Elastomerkörper die Metallfeder umgibt. Dies kann insbesondere durch Umspritzen oder Umgießen der Metallfeder mit Elastomer erfolgen.For this it is preferred that the elastomeric body surrounds the metal spring. This can be done in particular by molding or overmolding Metal spring with elastomer.
Zur Verringerung des Effekts der Hysterese und des Kriechens ist es ferner möglich, das Rückstellelement, insbesondere den Elastomerkörper, vorzuspannen. Hierbei kann die Vorspannung insbesondere derart erfolgen, dass die Spannung in einem äußeren Bereich bzw. am Außenrand des Sensors positiv und in einem inneren Bereich negativ ist. Bei einem zylindrischen bzw. tellerförmigen Sensor ist somit insbesondere ein am Außenrand angeordneter Elastomerkörper positiv und ein am inneren Bereich angeordneter Elastomerkörper negativ vorgespannt. Hierbei wird unter einer negativen Vorspannung des Elastomerkörpers ein durch Druck vorgespannter Elastomerkörper verstanden. Ein positiv vorgespannter Elastomerkörper ist entsprechend ein durch Zug vorgespannter Elastomerkörper.to It is reducing the effect of hysteresis and creep furthermore possible, the reset element, in particular the elastomeric body, to pretension. In this case, the bias can in particular be such that the tension in an outer area or on the outer edge the sensor is positive and negative in an inner region. At a cylindrical or plate-shaped Sensor is thus in particular a positive arranged on the outer edge elastomeric body and an elastomeric body disposed on the inner portion is negative biased. This is under a negative bias of the elastomeric body understood by pressure-biased elastomer body. A positive prestressed elastomeric body is accordingly a prestressed by train elastomer body.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind positiv und negativ vorgespannte Elastomerkörper miteinander kombiniert. Hierbei ist die Vorspannung der einzelnen Elastomerkörper vorzugsweise derart gewählt, dass die Bewegung der Trägerkörper innerhalb des vorgespannten Bereichs erfolgt. Hierdurch ist ein Verformen des Elastomerkörpers in einem Bereich, in dem Hysterese auftritt, vermieden. Werden beispielsweise Elastomerkörper vorgesehen, die beispielsweise negativ um 4 mm und positiv ebenfalls um 4 mm vorgespannt sind, so tritt in einem Bereich von +4 bis –4 mm keine Hysterese auf. Vorzugsweise werden keine Bewegungen bis in den Grenzbereich durchgeführt, so dass das Auftreten von Hysterese mit hoher Sicherheit vollständig vermieden werden kann.at a particularly preferred embodiment are positively and negatively biased elastomer body combined. Here, the bias of the individual elastomeric body is preferably chosen so that the movement of the carrier body within of the prestressed area. This is a deformation of the elastomer body in an area where hysteresis occurs avoided. For example Provided elastomeric body, for example, negative by 4 mm and positive also by 4 mm are biased, so does not occur in a range of +4 to -4 mm Hysteresis on. Preferably, no movements are up to the limit carried out, so that the occurrence of hysteresis with high security completely avoided can be.
Die Rückstellelemente, insbesondere die Elastomerkörper, können tonnenförmig ausgebildet sein. Beispielsweise verjüngen sich tonnenförmige Elastomerkörper ausgehend von einander gegenüberliegenden Befestigungsflächen nach innen. Ebenso ist es möglich, Rückstellelemente über Zwischenelemente miteinander zu verbinden. Je nach Ausgestaltung der Zwischenelemente können die Steifigkeits- und Dämpfungseigenschaften der Rückstellelemente, insbesondere einer Kombination aus Elastomerkörpern und Federn variiert werden. Es ist somit möglich, den erfindungsgemäßen opto-elektronischen Kraft-Momenten-Sensor durch die Anordnung oder die Ausgestaltung der Rückstellelemente an die Anforderungen anzupassen.The Restoring elements, in particular the elastomeric bodies, can barrel-shaped be educated. For example, barrel-shaped elastomer bodies taper outwards from each other mounting surfaces inside. It is also possible Reset elements via intermediate elements to connect with each other. Depending on the design of the intermediate elements can the stiffness and damping properties the reset elements, in particular a combination of elastomeric bodies and springs can be varied. It is thus possible the opto-electronic force-moment sensor according to the invention by the arrangement or the design of the return elements to the requirements adapt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Rückstellelemente sind konzentrische Zylinder vorgesehen, wobei zwischen den beiden konzentrischen Zylindern der Elastomerkörper angeordnet ist. Hierbei ist der Elastomerkörper vorzugsweise fest mit den Zylindern verbunden. Die Zylinder können sodann jeweils mit einem der beiden Trägerkörper verbunden sein. Je nach Anordnung der Zylinder, bzw. je nach Art der Verbindung der Zylinder mit Trägerkörpern, ggf. über Zwischenelemente, können Kräfte und Momente von den Elastomerkörpern aufgenommen werden. Dies kann beispielsweise durch ein gegeneinander Verschieben der beiden Zylinder in Längsrichtung oder durch ein Verkippen der beiden Längsachsen der Zylinder zueinander erfolgen. Auch ein Verdrehen der beiden Zylinder gegeneinander sowie Kombinationen dieser Bewegungen sind möglich.at a preferred embodiment the reset elements are provided concentric cylinders, being between the two concentric cylinders of the elastomeric body is arranged. in this connection is the elastomeric body preferably firmly connected to the cylinders. The cylinders can then each connected to one of the two carrier body be. Depending on the arrangement of the cylinder, or depending on the type of connection the cylinder with carrier bodies, possibly via intermediate elements, can Forces and Moments from the elastomer bodies be recorded. This can be done, for example, by one against another Move the two cylinders longitudinally or through one Tilting the two longitudinal axes the cylinder to each other. Also, a twisting of the two Cylinders against each other and combinations of these movements are possible.
Ein besonderer Vorteil der unterschiedlichen Gestaltungsmöglichkeiten der Rückstellelemente besteht darin, dass die üblichen Bauteile des erfindungsgemäßen Kraft-Momenten-Sensors unverändert bleiben können, während unterschiedliche Rückstellelemente eingebaut werden. Es ist somit möglich allein durch den Austausch der Rückstellelemente bzw. durch das Vorsehen verschiedener Rückstellelemente auf einfache Weise eine große Anzahl unterschiedlicher Kraft-Momenten-Sensoren für unterschiedliche Einsatzgebiete herzustellen.One particular advantage of the different design options the reset elements is that the usual Components of the force-moment sensor according to the invention unchanged can stay while different reset elements to be built in. It is thus possible alone by replacing the return elements or by providing various return elements to simple Way a big one Number of different force-moment sensors for different To produce applications.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand verschiedener Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.following The invention will be described with reference to various embodiments with reference to the attached drawings closer explained.
Es zeigen:It demonstrate:
Ein
opto-elektronischer Kraft-Momenten-Sensor, der stark vereinfacht
in den Prinzipsskizzen der
Zur
Messung von Kräften
und Momenten sind die Sendeeinrichtungen
Von
dem Detektor
Zwischen
benachbarten Messeinheiten
Bei
den Rückstellelementen
In
den
Ebenso
kann ein Rückstellelement
Innerhalb
der Rückstellelemente
Die
Rückstellelemente
Weitere
Möglichkeiten
der Befestigung von Rückstellelementen
Bei
einer besonderes bevorzugten Ausführungsform der Rückstellelemente
sind zwei konzentrische Zylinder vorgesehen, zwischen denen der Elastomerkörper angeordnet
und fest mit beiden Zylindern verbunden ist. Ein derartiges Rückstellelement
Ein
entsprechendes Rückstellelement
Die
anhand der
Ferner
ist es, wie in
In
Selbstverständlich können auch die in den vorstehenden Figuren dargestellten sowie erläuterten Ausführungsformen von Rückstellelementen positiv und/oder negativ vorgespannt werden. Bei vorgespannten Elastomerkörpern sind ringförmige Elastomerkörper besonders bevorzugt.Of course you can too those shown in the preceding figures and explained embodiments of reset elements positively and / or negatively biased. For prestressed elastomer bodies annular elastomer body particularly preferred.
Die
Anordnung der in den
Claims (17)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510063022 DE102005063022B4 (en) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | Opto-electronic force-moment sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510063022 DE102005063022B4 (en) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | Opto-electronic force-moment sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005063022A1 true DE102005063022A1 (en) | 2007-07-12 |
DE102005063022B4 DE102005063022B4 (en) | 2013-05-29 |
Family
ID=38169790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200510063022 Expired - Fee Related DE102005063022B4 (en) | 2005-12-30 | 2005-12-30 | Opto-electronic force-moment sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005063022B4 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010024812A1 (en) * | 2010-06-23 | 2011-12-29 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Manufacturing method of rotational torque measuring device for wind power plant, involves computing calibration factor from deformation element parameter describing elongation of deformation element, to compute rotational torque |
JP2017096929A (en) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | Sensor, drive mechanism, and robot |
WO2019078315A1 (en) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | キヤノン株式会社 | Force sensor and robot equipped with same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014223816A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Detecting forces and torques on a drive device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3921445A (en) * | 1973-10-15 | 1975-11-25 | Stanford Research Inst | Force and torque sensing method and means for manipulators and the like |
DE69210122T2 (en) * | 1991-06-18 | 1996-11-21 | Univ Bruxelles | Multi-component force transducer and its application in a robot |
DE10143489C2 (en) * | 2001-09-05 | 2003-07-17 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Arrangement for detecting relative movements of two objects |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10034569B4 (en) * | 2000-07-14 | 2004-02-12 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Device for detecting relative movements of an object |
DE10158776B4 (en) * | 2001-11-30 | 2004-05-13 | 3Dconnexion Gmbh | Arrangement for detecting relative movements or relative positions of two objects |
-
2005
- 2005-12-30 DE DE200510063022 patent/DE102005063022B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3921445A (en) * | 1973-10-15 | 1975-11-25 | Stanford Research Inst | Force and torque sensing method and means for manipulators and the like |
DE69210122T2 (en) * | 1991-06-18 | 1996-11-21 | Univ Bruxelles | Multi-component force transducer and its application in a robot |
DE10143489C2 (en) * | 2001-09-05 | 2003-07-17 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Arrangement for detecting relative movements of two objects |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010024812A1 (en) * | 2010-06-23 | 2011-12-29 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Manufacturing method of rotational torque measuring device for wind power plant, involves computing calibration factor from deformation element parameter describing elongation of deformation element, to compute rotational torque |
DE102010024812B4 (en) * | 2010-06-23 | 2018-02-15 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Manufacture of a torque measuring device and torque measuring device |
JP2017096929A (en) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | Sensor, drive mechanism, and robot |
WO2019078315A1 (en) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | キヤノン株式会社 | Force sensor and robot equipped with same |
JP2019074421A (en) * | 2017-10-17 | 2019-05-16 | キヤノン株式会社 | Force sensor and robot |
US11841287B2 (en) | 2017-10-17 | 2023-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Force sensor and robot equipped with force sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102005063022B4 (en) | 2013-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10158775B4 (en) | Arrangement for detecting relative movements or relative positions of two objects | |
DE10158777B4 (en) | Arrangement for detecting relative movements or relative positions of two objects | |
EP1424225A2 (en) | Rubber bearing with sensor | |
DE102008023845A1 (en) | Optical sensor device for detecting ambient light | |
DE102015117651A1 (en) | Sensor assembly for a current sensor, current sensor with such a sensor assembly, holder for such a current sensor and method for mounting a current sensor | |
DE10158776B4 (en) | Arrangement for detecting relative movements or relative positions of two objects | |
DE102012203193A1 (en) | Length measuring device | |
DE102005063022B4 (en) | Opto-electronic force-moment sensor | |
DE3118607C2 (en) | Length measuring device | |
DE2117477B2 (en) | Force transducer | |
DE2929989B2 (en) | Measuring device with linear scale | |
EP0686839A2 (en) | Trailer coupling with force transducer | |
DE2057828A1 (en) | System for the precise displacement of an object in a plane | |
DE19913659B4 (en) | Position detection device | |
DE102017201230A1 (en) | Linear motion device with lifetime monitoring | |
AT507198B1 (en) | POWER MEASURING RING WITH A RINGED HOUSING | |
AT394448B (en) | DEVICE FOR MEASURING FORCES ACTING IN RAILWAY RAILS OR SIMILAR LOADED BEAMS | |
DE102020125362A1 (en) | Actuator for steering a motor vehicle | |
DE3402613C1 (en) | Length-measuring or angle-measuring instrument | |
DE102005006628A1 (en) | Machine tool position sensor measurement plate has protrusions from lower surface onto support areas with but plates providing three point support | |
DE2225945A1 (en) | Accelerometer - with silicone oil damping | |
DE102013102225A1 (en) | mirror Mounts | |
DE102018209287A1 (en) | Holder for a camera on a motor vehicle | |
DE10129554B4 (en) | Measuring sensor for detecting forces on retaining straps | |
AT522371B1 (en) | Deformation measurement method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20130830 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |