DE102005062147B4 - Device and method for filling a pressure measuring transducer with a pressure-transmitting liquid - Google Patents
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Abstract
Vorrichtung zur Befüllung eines Hohlraumes im Inneren eines Druckmessaufnehmers mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit, mit – einem Befüllstutzen (18), – der auf einer mit dem Hohlraum verbundenen Befüllöffnung (15) montierbar ist, und – der wahlweise an eine Flüssigkeitszufuhr (25) oder an eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Vakuums (27) anschließbar ist, – einer Dichtvorrichtung (41), die die Befüllöffnung (15) gegenüber der Umgebung abdichtet, während die Vorrichtung auf der Befüllöffnung (15) montiert ist, und – einem vor der Montage der Vorrichtung oder zusammen mit der Vorrichtung in die Befüllöffnung einzubringenden Verschlusselement (35, 69), das dazu dient, die Befüllöffnung (15) nach der Befüllung zu verschließen, während die Befüllöffnung (15) durch die Dichtvorrichtung (41) gegenüber der Umgebung abgedichtet sind, wobei der Befüllstutzen (18) – eine Hülse (19) und – einen in der Hülse (19) geführten Stößel (21) umfasst, und – der Stößel (21) ein axiale zentrale durchgehende Bohrung (23) aufweist, die wahlweise an die Flüssigkeitszufuhr (25) oder an die Vorrichtung zur Erzeugung des Vakuums (27) anschließbar ist, wobei – der Stößel (21) einen aus der Hülse (19) heraus ragenden Abschnitt (30) mit einem Außengewinde aufweist, mit dem die Vorrichtung in die Befüllöffnung (15) einschraubbar ist, – am Stößel (21) endseitig eine Halterung (33, 73) zur Aufnahme des Verschlusselements (35, 69) angeordnet ist, – die Dichtvorrichtung (41), einen Abschnitt des Stößels (21) koaxial umgibt und eine Abdichtung der Vorrichtung und der Befüllöffnung (15) gegenüber der Umgebung bewirkt, während der Stößel (21) in die Befüllöffnung (15) eingeschraubt ist, – eine Durchlassbohrung (39) über die die Befüllöffnung (15) mit der Bohrung (23) im Stößel (21) in Verbindung steht, – der Hohlraum des Druckaufnehmers über die Befüllöffnung (15) und die Durchlassbohrung (39) mit der Bohrung (23) im Stößel (21) in Verbindung steht, wenn der Stößel (21) ein Stück weit in die Befüllöffnung (15) eingeschraubt ist, und ...Device for filling a cavity in the interior of a pressure measuring transducer with a pressure-transmitting liquid, comprising - a filling nozzle (18), - which can be mounted on a filling opening (15) connected to the cavity, and - optionally to a liquid supply (25) or to a device for generating a vacuum (27) can be connected, - a sealing device (41) which seals the filling opening (15) from the environment while the device is mounted on the filling opening (15), and - one prior to assembly of the device or closure element (35, 69) to be introduced into the filling opening together with the device, which serves to close the filling opening (15) after filling, while the filling opening (15) is sealed from the environment by the sealing device (41) the filling nozzle (18) comprises a sleeve (19) and a plunger (21) guided in the sleeve (19), and the plunger (21) has an axial central through bore (23) which is selectively connectable to the liquid supply (25) or to the device for generating the vacuum (27), wherein - the plunger (21) from the sleeve (19 ) protruding portion (30) having an external thread, with which the device in the filling opening (15) can be screwed, - on the plunger (21) end a holder (33, 73) for receiving the closure element (35, 69) is arranged - the sealing device (41) coaxially surrounds a portion of the plunger (21) and effects a sealing of the device and the filling opening (15) against the environment, while the plunger (21) is screwed into the filling opening (15); Passage bore (39) via which the filling opening (15) with the bore (23) in the plunger (21) is in communication, - the cavity of the pressure transducer via the filling opening (15) and the passage bore (39) with the bore (23) i m plunger (21) is in communication when the plunger (21) is screwed a little way into the filling opening (15), and ...
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Befüllung eines Hohlraumes in Inneren eines Druckmessaufnehmers mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit.The invention relates to an apparatus and a method for filling a cavity in the interior of a pressure measuring transducer with a pressure-transmitting liquid.
Druckmessaufnehmer werden in nahezu allen Industriezweigen zum Messen von Drücken eingesetzt. Die gemessen Druckwerte werden z. B. zum Steuern, Regeln und/oder Überwachen eines industriellen Herstellungs- und/oder Verarbeitungsprozesses eingesetzt.Pressure transducers are used in almost all industries to measure pressures. The measured pressure values are z. B. used to control, regulate and / or monitor an industrial manufacturing and / or processing process.
In der Druckmesstechnik werden gerne so genannte Halbleiter-Sensoren, z. B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als druckempfindliche Elemente eingesetzt. Üblicherweise weist ein solcher Drucksensor einen membran-förmigen Drucksensor-Chip auf, der in einer Druckmesskammer auf einem Grundkörper aufgebracht ist. Drucksensoren sind in der Regel sehr empfindlich und werden deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen werden soll. Stattdessen ist ein mit einer Flüssigkeit gefüllter Druckmittler mit einer äußeren Trennmembran vorgeschaltet. Im Betrieb wird der zu messende Druck an die Trennmembran angelegt und über den Druckmittler in die Druckmesskammer übertragen. Das gilt sowohl für die Messung von absoluten Drücken, als auch für die Messung von Relativdrücken und Differenzdrücken.In pressure measurement, so-called semiconductor sensors, eg. B. silicon chips with doped resistive elements, used as pressure-sensitive elements. Usually, such a pressure sensor has a membrane-shaped pressure sensor chip, which is applied in a pressure measuring chamber on a base body. Pressure sensors are usually very sensitive and are therefore not directly exposed to a medium whose pressure is to be recorded. Instead, a filled with a liquid pressure transmitter is connected upstream with an outer separation membrane. In operation, the pressure to be measured is applied to the separation membrane and transmitted via the diaphragm seal in the pressure measuring chamber. This applies both for the measurement of absolute pressures, as well as for the measurement of relative pressures and differential pressures.
Diese Druckmessaufnehmer weisen im Inneren einen Hohlraum auf, der mit der Flüssigkeit gefüllt wird, die dann im Messbetrieb den bzw. die zu messenden Drücke im Inneren des Druckmessaufnehmers von einem Ort zu einem anderen überträgt. Typischer Weise wird der Druck von einer von der Trennmembran abgeschlossenen Druckempfangskammer zur Druckmesskammer übertragen, wo er dann mittels des Drucksensors erfasst wird.These pressure transducers have inside a cavity, which is filled with the liquid, which then transmits in the measuring operation or the measured pressures in the interior of the pressure measuring transducer from one place to another. Typically, the pressure is transferred from a pressure-receiving chamber, which is closed off by the separating membrane, to the pressure-measuring chamber, where it is then detected by means of the pressure sensor.
Dabei ist es wichtig, dass die Flüssigkeit vor und während des Befüllens kein Gas, wie z. B. Luft, aufnimmt. Gaseinschlüsse in der Flüssigkeit würden das Übertragungsverhalten der Flüssigkeit verändern, was unter Umständen erhebliche Messfehler zur Folge haben kann.It is important that the liquid before and during filling no gas such. B. air, receives. Gas inclusions in the liquid would alter the transfer behavior of the liquid, which may result in significant measurement errors.
In der Deutschen Patentschrift
Ein Nachteil des hier beschriebenen Verfahrens besteht darin, dass über den Füllstift eine zunächst noch offene Verbindung nach außen besteht. Dies birgt die Gefahr, dass die Flüssigkeit in Kontakt mit der Atmosphäre gelangt und z. B. Luft oder ein Gas aufnimmt. In der Flüssigkeit eingeschlossene Luft bzw. Gasblasen können das Übertragungsverhalten der Flüssigkeit maßgeblich verändern und insb. bei Temperaturschwankungen zu Messfehlern führen.A disadvantage of the method described here is that over the filler pin there is an initially still open connection to the outside. This entails the risk that the liquid comes into contact with the atmosphere and z. B. receives air or a gas. In the liquid trapped air or gas bubbles can change the transmission behavior of the fluid significantly and esp. In temperature fluctuations lead to measurement errors.
In der Deutschen Patentschrift
Auch hier besteht eine nach außen hin offene Verbindung zur Atmosphäre, wenn der Vorratsbehälter herausgeschraubt wird.Again, there is an open to the outside connection to the atmosphere when the reservoir is unscrewed.
Ein Kontakt der Flüssigkeit mit der Umgebung lässt sich bei den beschriebenen Befüllverfahren nur dadurch vermeiden, dass der Befüllvorgang unter Ausschluss der Atmosphäre durchgeführt wird, z. B. in dem der Druckmessaufnehmer und alle zu dessen Befüllung erforderlichen Komponenten in eine Vakuumkammer eingebracht werden. Dies ist jedoch sehr aufwendig.A contact of the liquid with the environment can be avoided in the described filling only by the fact that the filling process is carried out in the absence of the atmosphere, for. B. in which the pressure transducer and all components required for its filling are introduced into a vacuum chamber. However, this is very expensive.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers anzugeben, mit der bzw. mit dem eine wirtschaftliche Befüllung unter Ausschluss der Atmosphäre durchführbar ist.It is an object of the invention to provide an apparatus and a method for filling a pressure measuring transducer, with or with which an economic filling in the absence of the atmosphere is feasible.
Hierzu besteht die Erfindung in einer Vorrichtung zur Befüllung eines Hohlraumes im Inneren eines Druckmessaufnehmers mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit, mit
- – einem Befüllstutzen,
- – der auf einer mit dem Hohlraum verbundenen Befüllöffnung montierbar ist, und
- – der wahlweise an eine Flüssigkeitszufuhr oder an eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Vakuums anschließbar ist,
- – einer Dichtvorrichtung, die die Befüllöffnung gegenüber der Umgebung abdichtet, während die Vorrichtung auf der Befüllöffnung montiert ist, und
- – einem vor der Montage der Vorrichtung oder zusammen mit der Vorrichtung in die Befüllöffnung einzubringenden Verschlusselement, das dazu dient, die Befüllöffnung nach der Befüllung zu verschließen, während die Befüllöffnung durch die Dichtvorrichtung gegenüber der Umgebung abgedichtet sind.
- A filling nozzle,
- - Which is mountable on a filling opening connected to the cavity, and
- - Which is optionally connectable to a liquid supply or to a device for generating a vacuum,
- - A sealing device which seals the filling opening from the environment, while the device is mounted on the filling, and
- - A closure element to be introduced before the assembly of the device or together with the device in the filling opening, which serves to close the filling opening after filling, while the filling opening are sealed by the sealing device relative to the environment.
Gemäß einer Weiterbildung umfasst der Befüllstutzen
- – eine Hülse und
- – einen in der Hülse geführten Stößel, und
- – der Stößel weist eine axiale zentrale durchgehende Bohrung auf, die wahlweise an die Flüssigkeitszufuhr oder an die Vorrichtung zur Erzeugung des Vakuums anschließbar ist.
- - a sleeve and
- - A guided in the sleeve plunger, and
- - The plunger has an axial central through hole, which is selectively connectable to the liquid supply or to the device for generating the vacuum.
Gemäß einer weiteren Weiterbildung
- – weist der Stößel einen aus der Hülse heraus ragenden Abschnitt mit einem Außengewinde auf, mit dem die Vorrichtung in die Befüllöffnung einschraubbar ist,
- – ist am Stößel endseitig eine Halterung zur Aufnahme des Verschlusselements angeordnet,
- – umgibt die Dichtvorrichtung einen Abschnitt des Stößels koaxial und bewirkt eine Abdichtung der Vorrichtung und der Befüllöffnung gegenüber der Umgebung, während der Stößel in die Befüllöffnung eingeschraubt ist,
- – steht die Befüllöffnung mit der Bohrung im Stößel über eine Durchlassbohrung in Verbindung,
- – steht der Hohlraum des Druckaufnehmers über die Befüllöffnung und die Durchlassbohrung mit der Bohrung im Stößel in Verbindung, wenn der Stößel ein Stück weit in die Befüllöffnung eingeschraubt ist, und
- – wird das Verschlusselement durch das vollständige Einschrauben des Stößels derart in die Befüllöffnung eingepresst, dass es bei einem nachfolgenden Herausschrauben des Stößels aus der Vorrichtung löst und als Verschluss in der Befüllöffnung verbleibt.
- The ram has a section projecting out of the sleeve with an external thread with which the device can be screwed into the filling opening,
- - Is arranged on the plunger end a holder for receiving the closure element,
- The sealing device surrounds a section of the plunger coaxially and effects a sealing of the device and the filling opening with respect to the environment, while the plunger is screwed into the filling opening,
- The filling opening communicates with the bore in the tappet via a passage bore,
- - Is the cavity of the pressure transducer via the filling opening and the passage bore with the bore in the plunger in conjunction, when the plunger is screwed a little way into the filling opening, and
- - The closure element is pressed by the complete screwing in of the plunger in the filling so that it dissolves in a subsequent unscrewing the plunger from the device and remains as a closure in the filling.
Gemäß einer Ausgestaltung ist das Verschlusselement ein Verschlussstift und die Halterung weist eine Ausnehmung auf, in die der Verschlussstift passgenau einführbar ist.According to one embodiment, the closure element is a closure pin and the holder has a recess into which the closure pin can be inserted accurately.
Gemäß einer Weiterbildung ist das Verschlusselement eine Kugel aus einem magnetischen Material, und die Halterung umfasst eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Magnetfeldes, welches Magnetfeld dazu dient, die Kugel in der Halterung zu halten.According to a development, the closure element is a sphere made of a magnetic material, and the holder comprises a device for generating a magnetic field, which magnetic field serves to hold the sphere in the holder.
Gemäß einer weiteren Weiterbildung umfasst die Dichtvorrichtung:
- – eine Dichthülse, die zwischen dem Stößel und der Hülse in axialer Richtung verschiebbar gelagert ist, und
- – eine Feder,
- – die in einem zwischen dem Stößel und der Hülse bestehenden, den Stößel koaxial umgebenden Innenraum der Hülse angeordnet ist,
- – die zwischen einem an den Stößel angeformten Absatz und der Dichthülse eingespannt ist, und
- – die die Dichthülse gegen eine die Befüllöffnung umgebende Stirnfläche des Druckmessaufnehmers drückt, während die Vorrichtung auf der Befüllöffnung montiert ist.
- - A sealing sleeve which is slidably mounted in the axial direction between the plunger and the sleeve, and
- - a feather,
- - Is arranged in an existing between the plunger and the sleeve, the plunger coaxially surrounding the interior of the sleeve,
- - Which is clamped between an integrally formed on the plunger paragraph and the sealing sleeve, and
- - Pressing the sealing sleeve against an opening surrounding the filling face of the Druckmessaufnehmers while the device is mounted on the filling opening.
Gemäß einer weiteren Weiterbilding ist an die Dichthülse außenseitlich ein Führungsstift angeformt, der in einer in der Hülse verlaufenden Führungsnut geführt ist. Die die Führungsnut weist einen ersten Abschnitt auf, in dem der Führungsstift während der Montage der Vorrichtung geführt wird, und sie weist einen an den ersten Abschnitt anschließenden zweiten Abschnitt auf, in dem der Führungsstift einrastet, wenn der durch die Montage über die Feder auf die Dichtvorrichtung ausgeübte Druck zur Abdichtung der Befüllöffnung ausreicht.According to a further development, a guide pin is externally formed on the sealing sleeve, which is guided in a groove extending in the guide groove. The guide groove has a first portion in which the guide pin is guided during assembly of the device, and it has a second portion adjoining the first portion, in which the guide pin engages when the by mounting on the spring on the Sealing applied pressure sufficient to seal the filling.
Gemäß einer Ausgestaltung ist zwischen der Dichthülse und der die Befüllöffnung umgebenden Stirnfläche des Druckmessaufnehmers eine Dichtung angeordnet, und zwischen der Dichthülse und dem Stößel ist eine Dichtung angeordnet.According to one embodiment, a seal is arranged between the sealing sleeve and the end face of the pressure measuring transducer surrounding the filling opening, and a seal is arranged between the sealing sleeve and the ram.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist eine mit dem Stößel verbundene Anzugsmutter vorgesehen, die dazu dient, den Stößel in die Befüllöffnung einzuschrauben.According to a further embodiment, a tightening nut connected to the plunger is provided, which serves to screw the plunger into the filling opening.
Weiter besteht die Erfindung in einem Verfahren zur Befüllung eines Hohlraumes im Inneren eines Druckmessaufnehmers mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei dem
- – die Vorrichtung auf der Befüllöffnung montiert wird,
- – die Dichtvorrichtung die Vorrichtung und die Befüllöffnung gegenüber der Umgebung abdichtet,
- – der Hohlraum über die Vorrichtung evakuiert wird und anschließend über die Vorrichtung mit Flüssigkeit befüllt wird,
- – das in die Befüllöffnung eingebrachte Verschlusselement in die Befüllöffnung eingepresst wird und diese vollständig verschließt, und
- – anschließend die Vorrichtung entfernt wird, wobei das Verschlusselement als Verschluss in der Befüllöffnung verbleibt.
- The device is mounted on the filling opening,
- The sealing device seals the device and the filling opening from the environment,
- - The cavity is evacuated through the device and is then filled via the device with liquid,
- - The introduced into the filling closure element is pressed into the filling opening and this completely closes, and
- - Then the device is removed, wherein the closure element remains as a closure in the filling opening.
Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens wird vor der Montage der Vorrichtung in einem Bereich der Befüllöffnung, in dem das Verschlusselement nachfolgend den Verschluss bewirkt, mindestens eine Einkerbung eingeprägt, die die an diesen Bereich angrenzenden Bereiche der Befüllöffnung miteinander verbindet, wenn das Verschlusselement in diesem Bereich aufliegt. Die Befüllöffnung wird durch das nachfolgende Einpressen des Verschlusselements in die Befüllöffnung vollständig verschlossen. Gemäß einer Weiterbildung wird nach der Entfernung der Vorrichtung zusätzlich zu dem Verschlusselement ein weiteres Verschlusselement in der Befüllöffnung montiert, dass einen druckfesten Verschluss bewirkt.According to a development of the method, at least one notch is impressed in a region of the filling opening in which the closure element subsequently effects the closure prior to assembly of the device, which connects the areas of the filling opening adjoining this area with one another when the closure element rests in this area , The filling opening is completely closed by the subsequent pressing of the closure element into the filling opening. According to a further development, after removal of the device, in addition to the closure element, a further closure element is mounted in the filling opening, which effects a pressure-tight closure.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung und dazu zugehörige Verfahren zum Befüllen des Hohlraumes bieten den Vorteil, dass sowohl der Befüllvorgang als auch der nachfolgende Verschluss der Befüllöffnung unter Ausschluss der Atmosphäre erfolgen. Sowie die Vorrichtung auf der Befüllöffnung montiert ist, besteht durch die Dichtvorrichtung eine Abdichtung der Befüllöffnung und der Vorrichtung gegenüber der Umgebung. Diese Abdichtung bleibt auch während des Verschließens der Befüllöffnung mit dem Verschlusselement bestehen. Eine Öffnung nach außen ist nicht erforderlich, da das Verschlusselement bereits in der Vorrichtung bzw. in der Befüllöffnung enthalten ist.The device according to the invention and associated methods for filling the cavity offer the advantage that both the filling process and the subsequent closure of the filling opening take place in the absence of the atmosphere. As soon as the device is mounted on the filling opening, the sealing device seals the filling opening and the device against the environment. This seal remains even during the closing of the filling with the closure element. An opening to the outside is not required since the closure element is already contained in the device or in the filling opening.
Die Erfindung und weitere Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen zwei Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert; gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.The invention and further advantages will now be explained in more detail with reference to the figures of the drawing, in which two embodiments are shown; the same elements are provided in the figures with the same reference numerals.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Befüllstutzen
Der Stößel
An diesen Abschnitt
Erfindungsgemäß ist ein Verschlusselement vorgesehen, dass vor der Montage der Vorrichtung oder zusammen mit der Vorrichtung in die Befüllöffnung
Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst weiter eine Dichtvorrichtung
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Dichtvorrichtung
Während der Stößel
Vorzugsweise ist zwischen der Dichthülse
Die Abmessungen der einzelnen Komponenten der Vorrichtung sind derart dimensioniert, dass der Hohlraum des Druckaufnehmers über die Befüllöffnung
Dabei wird das Verschlusselement
Während des Befüllvorganges ist der Stößel
Erfindungsgemäß wird bei der Befüllung eines Hohlraumes im Inneren eines Druckmessaufnehmers mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung derart verfahren, dass die Vorrichtung auf der Befüllöffnung
Im Anschluss an die Befüllung wird der Stößel
Da der Verschluss durch die Presspassung nur in begrenztem Maße druckfest ist, wird vorzugsweise zusätzlich zu dem Verschlusselement
In
Die Befüllung des Hohlraumes im Inneren des Druckmessaufnehmers erfolgt auf die gleiche Weise, wie bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel. Auch hier wird die Vorrichtung auf der Befüllöffnung
Im Anschluss an die Befüllung wird der Stößel
Da der Verschluss durch die Presspassung nur in begrenztem Maße druckfest ist, wird auch hier zusätzlich zu dem Verschlusselement
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsformen war das Verschlusselement
Erfindungsgemäß wird daher so verfahren, das vor der Montage der Vorrichtung in einem Bereich der Befüllöffnung
Dieses Verfahren bietet den Vorteil, dass die Vorrichtung keine Halterung für das Verschlusselement aufweisen muss. Sie muss lediglich nach dem Befüllen Druck in axialer Richtung auf das Verschlusselement ausüben. Hierdurch ist man sehr viel freier in der Formgebung des Verschlusselements. In Verbindung mit diesem Verfahren ist es beispielsweise möglich die in
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