DE102005054638B4

DE102005054638B4 - Mobile leak detector

Info

Publication number: DE102005054638B4
Application number: DE200510054638
Authority: DE
Inventors: Dipl.-Ing. Holstein Günter; Dipl.-Ing. Stepputat Klaus
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2005-11-16
Filing date: 2005-11-16
Publication date: 2013-09-26
Anticipated expiration: 2025-11-17
Also published as: WO2007057359A1; DE102005054638A1

Abstract

Mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen, mit einem tragbaren Gehäuse (10), einem an dem Gehäuse (10) vorgesehenen Anschlusselement (22) zum Anschluss an eine zu untersuchende Vakuumeinrichtung, einer im Gehäuse (10) angeordneten mit dem Anschlusselement (22) fluidisch verbundenen Pumpeinrichtung (12, 14), einer mit der Pumpeinrichtung (12, 14) verbundenen Detektionseinrichtung (30) zur Detektion von aus der Vakuumeinrichtung abgepumptem Medium, einem mit der Pumpeinrichtung (12, 14) fluidisch verbundenen Spülanschluss (42) zum Anschluss einer gehäuseexternen Spüleinrichtung (44) zum Ausspülen von in der Pumpeinrichtung (12, 14) vorhandenen Untergrundmedium, wobei der Spülanschluss (42) mit einer Schalteinrichtung (38) verbunden ist, die ein schaltbares Ventil aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Detektionseinrichtung (30) und der Schalteinrichtung (38) eine Steuereinrichtung (34) zum Steuern der Schalteinrichtung (38) in Abhängigkeit des von der Detektionseinrichtung (30) detektierten Untergrundmediums verbunden ist.Mobile leak detector for leak detection in vacuum devices, comprising a portable housing (10), a connection element (22) provided on the housing (10) for connection to a vacuum device to be examined, a fluidic connection in the housing (10) to the connection element (22) Pumping device (12, 14), one with the pumping means (12, 14) connected to the detection means (30) for the detection of pumped from the vacuum device medium, a with the pumping means (12, 14) fluidly connected flushing port (42) for connecting a housing-external flushing device (44) for flushing existing in the pumping means (12, 14) underground medium, wherein the flushing port (42) is connected to a switching device (38) having a switchable valve, characterized in that with the detection device (30) and the Switching device (38) has a control device (34) for controlling the switching device (38) in dependence on the Detection device (30) detected underground medium is connected.

Description

Die Erfindung betrifft ein mobiles Lecksuchegerät zu Lecksuche in Vakuumeinrichtungen.The invention relates to a mobile leak detector for leak detection in vacuum devices.

Zur Überprüfung von Vakuumpumpen die beispielsweise zum Erzeugen eines Hochvakuums in einem Reinraum oder dergleichen dienen, werden mobile Lecksuchegeräte, zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit der Vakuumeinrichtungen eingesetzt. Mobile, d. h. von einer Person tragbare, Lecksuchegeräte weisen in einem Gehäuse eine erste und eine zweite Pumpeinrichtung auf. Bei der ersten Pumpeinrichtung handelt es sich um eine Vakuumpumpe, wie eine Turbomolekularpumpe, die über ein Anschlusselement mit der zu untersuchenden Vakuumeinrichtung verbunden werden kann. Bei der zweiten Pumpeinrichtung handelt es sich üblicher Weise um einen Membranpumpe. Ferner ist mit der ersten Pumpeinrichtung eine Detektionseinrichtung, beispielsweise ein Massenspektrometer verbunden. Mit Hilfe der Detektionseinrichtung können die durch das mobile Lecksuchegerät festgestellten Stoffe bestimmt werden.For checking vacuum pumps which serve, for example, to generate a high vacuum in a clean room or the like, mobile leak detectors are used to check the functionality of the vacuum devices. Mobile, d. H. Person-portable leak detectors have first and second pump means in a housing. The first pump device is a vacuum pump, such as a turbomolecular pump, which can be connected via a connecting element with the vacuum device to be examined. The second pumping device is conventionally a diaphragm pump. Furthermore, a detection device, for example a mass spectrometer, is connected to the first pump device. With the aid of the detection device, the substances detected by the mobile leak detector can be determined.

Da sich in dem mobilen Lecksuchegerät ein Gas-Untergrund, üblicherweise ein Helium-Untergrund, bildet, sind die Nachweisraten bekannter mobiler Lecksuchegeräte, insbesondere bei Helium, auf 3 × 10^–11 mbarl/s beschränkt. Dies liegt darin begründet, dass in der Atmosphäre ein natürlicher Anteil von 5 ppm Helium vorhanden ist. Der Partialdruck von Helium ist von einem Einlassdruck über der Vakuumpumpe abhängig und hat somit direkten Einfluss auf die Nachweisempfindlichkeit von Helium. Ferner ist die Nachweisbarkeit generell auf Grund der internen Leckrate des mobilen Lecksuchegerätes beschränkt.Since a gas background, usually a helium background, forms in the mobile leak detector, the detection rates of known mobile leak detectors, in particular in the case of helium, are limited to 3 × 10 ^-11 mbarl / s. This is because there is a natural 5 ppm helium content in the atmosphere. The partial pressure of helium is dependent on an inlet pressure above the vacuum pump and thus has a direct influence on the detection sensitivity of helium. Furthermore, traceability is generally limited due to the internal leakage rate of the mobile leak detector.

Aus DE 44 42 174 A1 ist ein Lecksuchgerät bekannt, das ein an einem Gehäuse vorgesehenes Anschlusselement zum Anschluss an eine zu untersuchende Vakuumeinrichtung aufweist. Mit dem Anschlusselement ist eine Pumpeinrichtung fluidisch verbunden, wobei die Pumpeinrichtung wiederum mit einer Detektionseinrichtung zur Detektion von aus der Vakuumeinrichtung abgepumptem Medium verbunden ist. Des Weiteren weist das in DE 44 42 174 A1 beschriebene Lecksuchgerät einen mit der Pumpeinrichtung fluidisch verbundenen Spülanschluss zum Anschluss einer Spüleinrichtung auf. Die Spüleinrichtung dient zum Ausspülen von in der Pumpeinrichtung vorhandenem Untergrundmedium.Out DE 44 42 174 A1 a leak detector is known, which has a housing provided on a connection element for connection to a vacuum device to be examined. A pump device is fluidically connected to the connection element, wherein the pump device is in turn connected to a detection device for the detection of medium pumped out of the vacuum device. Furthermore, the in DE 44 42 174 A1 leak detector described a fluidically connected to the pumping device flushing port for connecting a flushing device. The rinsing device is used for rinsing existing in the pumping device underground medium.

Aufgabe der Erfindung ist es ein mobiles Lecksuchegerät zur Lecksuche in Vakuumeinrichtungen zu schaffen, durch das die Nachweisbarkeit, insbesondere die Helium-Nachweisbarkeit verbessert werden kann.The object of the invention is to provide a mobile leak detector for leak detection in vacuum devices, through which the detectability, in particular the helium detectability can be improved.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The object is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Das erfindungsgemäße mobile Lecksuchegerät weist neben einer in dem tragbaren Gehäuse vorgesehenen Pumpeinrichtung, die über ein Anschlusselement mit der zu untersuchenden Vakuumeinrichtung verbunden werden kann, einen Spülanschluss zum Anschluss einer gehäuseexternen Spüleinrichtung auf. Der Spülanschluss ist mit der Pumpeinrichtung fluidisch verbunden. Über den Spülanschluss kann mit der Pumpeinrichtung die Spüleinrichtung verbunden werden, wobei durch die Spüleinrichtung vorzugsweise ein Gas in die Pumpeinrichtung geleitet wird. Bei dem Gas handelt es sich beispielsweise um ein Edelgas, wie Stickstoff oder dergleichen.The mobile leak detector according to the invention has, in addition to a provided in the portable housing pumping device, which can be connected via a connecting element with the vacuum device to be examined, a flushing connection for connecting a housing-external flushing device. The flushing connection is fluidically connected to the pumping device. The purging device can be connected to the purging device via the purging device, wherein a purging device preferably directs a gas into the pumping device. The gas is, for example, a noble gas such as nitrogen or the like.

Auf Grund des durch die Pumpeinrichtung strömenden Gases, bei dem es sich in einer einfachen Ausführungsform auch um Luft handeln kann, wird das in der Pumpeinrichtung befindliche Untergrundgas, insbesondere der Helium-Untergrund, ausgespült, indem das Untergrundgas mitgerissen wird.Due to the gas flowing through the pump device, which in a simple embodiment may also be air, the background gas present in the pump device, in particular the helium substrate, is flushed out by entraining the background gas.

Auf Grund des erfindungsgemäßen Vorsehens eines Spülanschlusses mit dem eine Spüleinrichtung verbunden werden kann, ist es möglich, die nachweisbare Leckrate, insbesondere die nachweisbare Helium-Leckrate, deutlich zu verbessern. Insbesondere können Leckraten von deutlich weniger als 3 × 10^–11 mbarl/s nachgewiesen werden. Insbesondere sind Leckraten von weniger als 8 × 10^–12 mbarl/s nachweisbar. Dies kann insbesondere durch das Verwenden eines Edelgases zum Spülen, dem sogenannten Purgen erzielt werden.Due to the provision according to the invention of a flushing connection with which a flushing device can be connected, it is possible to significantly improve the detectable leak rate, in particular the detectable helium leak rate. In particular, leakage rates of significantly less than 3 × 10 ^-11 mbarl / s can be detected. In particular, leakage rates of less than 8 × 10 ^-12 mbarl / s are detectable. This can be achieved in particular by using a noble gas for rinsing, the so-called purges.

Erfindungsgemäß ist der Spülanschluss mit einer Schalteinrichtung verbunden, wobei der Spülanschluss mit einem schaltbaren Ventil gekoppelt ist. Insbesondere ist das schaltbare Ventil zwischen dem Spülanschluss und der Pumpeinrichtung angeordnet. Vorzugsweise handelt es sich bei dem schaltbaren Ventil um ein elektromagnetisch schaltbares Ventil. Mit Hilfe eines derartigen Ventils ist es auf einfache Weise möglich einen Spülvorgang beispielsweise durch das Betätigen eines Schalters auszulösen.According to the invention, the flushing connection is connected to a switching device, wherein the flushing connection is coupled to a switchable valve. In particular, the switchable valve is arranged between the flushing connection and the pumping device. Preferably, the switchable valve is an electromagnetically switchable valve. With the help of such a valve, it is possible in a simple manner to initiate a flushing process, for example by pressing a switch.

Erfindungsgemäß weist das mobile Lecksuchegerät eine Steuereinrichtung aufweist. Die Steuereinrichtung ist mit einer Detektionseinrichtung verbunden, die mit der Pumpeinrichtung verbunden ist. Durch die Detektionseinrichtung werden die von der Pumpeinrichtung angesaugten Gase detektiert, wobei es sich bei der Detektionseinrichtung insbesondere um ein Spektrometer handelt. Es ist möglich mit Hilfe der Detektionseinrichtung auch das Untergrundgas zu detektieren. Neben einer manuellen Steuerung des schaltbaren Ventils wird daher mit Hilfe der Steuereinrichtung in Abhängigkeit eines Grenzwertes ein Spülvorgang durch automatisches Öffnen des Ventils ausgelöst. Es ist mit Hilfe des erfindungsgemäßen Lecksuchegerätes möglich, das Untergrundgas, insbesondere den Helium-Untergrund stets unter einem vorgegebenen Grenzwert zu halten.According to the invention, the mobile leak detector has a control device. The control device is connected to a detection device which is connected to the pumping device. By means of the detection device, the gases sucked in by the pump device are detected, wherein the detection device is in particular a spectrometer. It is possible with the aid of the detection device to detect the background gas. In addition to a manual control of the switchable valve is therefore using the Control device triggered depending on a limit value, a flushing operation by automatically opening the valve. It is possible with the help of the leak detection device according to the invention to keep the background gas, in particular the helium substrate always below a predetermined limit.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren, bzw. Verwenden des mobilen Lecksuchegerätes besteht darin, dass in Abhängigkeit eines einstellbaren oder vorgegebenen Grenzwert eines Untergrundgases ein automatisches Spülen der Pumpeinrichtung erfolgt. Hierzu ist der Spülanschluss mit einer entsprechenden Schalteinrichtung, insbesondere einem schaltbaren Ventil gekoppelt.An inventive method, or using the mobile leak detector is that, depending on an adjustable or predetermined limit of a background gas, an automatic flushing of the pumping device. For this purpose, the flushing connection is coupled to a corresponding switching device, in particular a switchable valve.

Vorzugsweise weist die in dem Gehäuse angebrachte Pumpeinrichtung eine erste und eine zweite Pumpeinrichtung auf. Hierbei ist die erste Pumpeinrichtung mit dem mit der Vakuumeinrichtung verbindbaren Anschlusselement und die zweite Pumpeinrichtung fluidisch mit der ersten Pumpeinrichtung und/oder dem Anschlusselement verbunden. Vorzugsweise handelt es sich bei der ersten Pumpeinrichtung um eine Turbomolekularpumpe. Besonders bevorzugt ist eine Turbomolekularpumpe mit Compound-Stufe.Preferably, the pumping device mounted in the housing has first and second pumping means. In this case, the first pumping device is connected to the connection with the vacuum device connecting element and the second pumping device fluidly connected to the first pumping device and / or the connecting element. The first pump device is preferably a turbomolecular pump. Particularly preferred is a turbomolecular pump with compound stage.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die zweite Pumpeinrichtung als Scroll-Pumpe ausgebildet. Hierbei wird vorzugsweise eine kleine Scroll-Pumpe mit geringerem Bauraum eingesetzt. Besonders geeignet ist hierzu die Scroll-Pumpe der Anmelderin mit der Bezeichnung SC 5D, SC 15D, oder SC 30D. Bei diesen Pumpen handelt es sich um ölfreie Scroll-Vakuumpumpen.In a particularly preferred embodiment of the invention, the second pumping means is designed as a scroll pump. In this case, preferably a small scroll pump is used with less space. Particularly suitable for this purpose is the scroll pump of the applicant with the name SC 5D, SC 15D, or SC 30D. These pumps are oil-free scroll vacuum pumps.

Das Verwenden von Scroll-Pumpen weist gegenüber der Verwendung von Membranpumpen den Vorteil auf, dass kleinere nachweisbaren Leckraten erzielt werden können. Insbesondere weisen Scroll-Pumpen eine längere Lebensdauer und eine geringere interne Leckrate auf. Im Übrigen kann durch Verwenden der vorstehend aufgeführten Scroll-Pumpen der Firma Leybold oder auch durch entsprechende Pumpen eine Gewichtsersparnis des mobilen Lecksuchegerätes von ca. einem Kilo erzielt werden. Des Weiteren ist ein ölfreier Betrieb möglich.The use of scroll pumps has the advantage over the use of diaphragm pumps that smaller detectable leak rates can be achieved. In particular, scroll pumps have a longer life and a lower internal leak rate. Incidentally, by using the Scroll pumps listed above from Leybold or by appropriate pumps, a weight saving of about one kilogram of the mobile leak detector can be achieved. Furthermore, an oil-free operation is possible.

Ferner weisen derartige Scroll-Pumpen den Vorteil auf, dass hohe Saugvermögen erzielt werden können. Bei einer Frequenz von 60 Hz kann bereits bei der kleinsten zum Anmeldetag angebotenen Scroll-Pumpe, der Pumpe mit der Bezeichnung SC 5D, ein Saugvermögen vom 6 m³/h erzielt werden. Mit der SC 30D kann sogar das Saugvermögen von 31 m³/h erzielt werden. Dies hat zur Folge, dass Prüflinge sehr schnell abgepumpt werden können. Die Enddrücke bei der SC 5D liegen bei < 0,05 mbar und bei der SC 30D < 0,01 mbar betragen. Die erzielbaren Enddrücke sind somit ca. 100-fach kleiner als bei herkömmlichen Membran-Pumpen. Ein weiterer wesentlicher Vorteil von Scroll-Pumpen gegenüber Membranpumpen besteht darin, dass Scroll-Pumpen kein Untergrundgas speichern. Eine entsprechende Speicherung erfolgt bei Membranpumpen in der Membran, sowie durch das konstruktiv nicht lösbare Todvolumen. Erfindungsgemäß sind Scroll-Pumpen leistungsärmer, so dass die Temperaturabfuhr ein geringeres Problem darstellt.Furthermore, such scroll pumps have the advantage that high pumping speeds can be achieved. At a frequency of 60 Hz, a pump speed of 6 m ³ / h can already be achieved with the smallest scroll pump offered on the filing date, the pump with the designation SC 5D. With the SC 30D even the pumping speed of 31 m ³ / h can be achieved. As a result, specimens can be pumped out very quickly. The ultimate pressures for the SC 5D are <0.05 mbar and for the SC 30D <0.01 mbar. The achievable ultimate pressures are thus about 100 times smaller than with conventional diaphragm pumps. Another key advantage of scroll pumps over diaphragm pumps is that scroll pumps do not store underground gas. A corresponding storage takes place with diaphragm pumps in the membrane, as well as by the structurally not solvable dead volume. According to the invention, scroll pumps are less powerful, so that the removal of temperature represents a lesser problem.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der anliegenden Zeichnung näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawing.

Die Zeichnung zeigt eine schematische Skizze eines erfindungsgemäßen mobilen Lecksuchegeräts.The drawing shows a schematic diagram of a mobile leak detector according to the invention.

Das mobile Lecksuchegerät weist ein Gehäuse 10 auf, in dem eine erste Pumpeinrichtung 12 sowie eine zweite Pumpeinrichtung 14 vorgesehen sind. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der ersten Pumpeinrichtung 12 um eine zweistufige Turbomolekularpumpe, wobei die beiden Stufen 16, 18 über entsprechende Leitungen und zwischengeschaltete Ventile 20 mit einem Anschlusselement 22 verbunden sind. Das Anschlusselement 22 dient zum Anschluss an die zu untersuchende Vakuumeinrichtung.The mobile leak detector has a housing 10 in which a first pumping device 12 and a second pumping device 14 are provided. In the illustrated embodiment, the first pumping device 12 to a two-stage turbomolecular pump, the two stages 16 . 18 via appropriate lines and intermediate valves 20 with a connection element 22 are connected. The connection element 22 serves for connection to the vacuum device to be examined.

Die Pumpeneinrichtungen 12, 14 weist neben der ersten Pumpeinrichtung 12 die zweite Pumpeinrichtung 14 auf, bei der es sich erfindungsgemäß um eine Scroll-Pumpe handelt. Die Scroll-Pumpe 14 ist über eine Leitung 24 mit der ersten Pumpeinrichtung 12 bzw. der zweiten Stufe 18 der Turbomolekularpumpe verbunden. Ferner weist die Scroll-Pumpe 14 eine Auslassleitung 26 auf.The pumping devices 12 . 14 points next to the first pumping device 12 the second pumping device 14 on, which is according to the invention is a scroll pump. The scroll pump 14 is over a line 24 with the first pumping device 12 or the second stage 18 connected to the turbomolecular pump. Further, the scroll pump points 14 an outlet pipe 26 on.

Mit der ersten Pumpeinrichtung 12 ist über eine Leitung 28 eine Detektionseinrichtung 30, wie ein Spektrometer vorgesehen. Mit Hilfe der Detektionseinrichtung 30 können die von der Pumpeinrichtung 12 über das Anschlusselement 22 angesaugten Moleküle nachgewiesen werden. Die Detektionseinrichtung 30 weist entweder eine Anzeigeinrichtung auf oder ist mit einer Ausgabe- und/oder Anzeigeeinrichtung verbunden. Die Detektioneinrichtung 30 ist über eine elektrische Leitung 32 mit einer Steuereinrichtung 34 verbunden. Mit Hilfe der Steuereinrichtung 34 können die einzelnen Pumpen sowie auch die Detektionseinrichtung gesteuert werden. Insbesondere ist die Steuereinrichtung jedoch über eine elektrische Leitung 36 mit einem elektromagnetisch betätigbaren Ventil 38 verbunden. Das Ventil 38 ist in einer Leitung 40 angeordnet, die zwischen einem Spülanschluss 42 und der zweiten Pumpeinrichtung 14 verläuft. Über den Spülanschluss 40 ist eine Spüleinrichtung 44 verbunden, bei der es sich um eine Gasflasche handeln kann.With the first pumping device 12 is over a line 28 a detection device 30 as provided by a spectrometer. With the aid of the detection device 30 can the from the pumping device 12 over the connection element 22 sucked molecules are detected. The detection device 30 either has a display device or is connected to an output and / or display device. The detection device 30 is via an electrical line 32 with a control device 34 connected. With the help of the control device 34 The individual pumps as well as the detection device can be controlled. In particular, however, the control device is via an electrical line 36 with an electromagnetically operated valve 38 connected. The valve 38 is in a lead 40 arranged between a flushing connection 42 and the second pumping device 14 runs. About the flushing connection 40 is a flushing device 44 connected, which may be a gas cylinder.

Erfindungsgemäß kann mit Hilfe der Steuereinrichtung 34 das Ventil 38 geöffnet werden, sobald ein Untergrundgas, insbesondere Helium, einen vorgegebenen Grenzwert übersteigt. Dieser Grenzwert wird von der Detektionseinrichtung 30 bestimmt und über die elektrische Leitung 32 an die Steuereinrichtung 34 übermittelt. Bei dem Überschreiten eines vorgegebenen, insbesondere einstellbaren, Grenzwertes wird eine Spülfunktion durch Öffnen des Ventils 38 ggf. automatisch durchgeführt. Hierbei kann die Spülfunktion für einen vorgegebenen Zeitraum bzw. eine Zeitspanne erfolgen. Ebenso ist es möglich, die Spülfunktion beispielsweise solange durchzuführen, bis der detektierte Wert insbesondere der detektierte Helium-Wert eine zweite unteren Grenzwert unterschritten hat.According to the invention with the aid of the control device 34 the valve 38 be opened as soon as an underground gas, in particular helium, exceeds a predetermined limit. This limit value is determined by the detection device 30 determined and via the electrical line 32 to the controller 34 transmitted. When a predetermined, in particular adjustable, limit value is exceeded, a purge function is opened by opening the valve 38 possibly carried out automatically. Here, the rinse function for a predetermined period or a period of time can be done. It is likewise possible to carry out the rinsing function, for example, until the detected value, in particular the detected helium value, has fallen below a second lower limit value.

Claims

Mobile leak detector for leak detection in vacuum equipment, with a portable housing ( 10 ), one on the housing ( 10 ) provided connection element ( 22 ) for connection to a vacuum device to be examined, one in the housing ( 10 ) arranged with the connecting element ( 22 ) fluidically connected pumping device ( 12 . 14 ), one with the pumping device ( 12 . 14 ) associated detection device ( 30 ) for the detection of medium pumped out of the vacuum device, one with the pump device ( 12 . 14 ) fluidically connected flushing connection ( 42 ) for connecting a housing-external flushing device ( 44 ) for rinsing in the pumping device ( 12 . 14 ) existing underground medium, wherein the flushing connection ( 42 ) with a switching device ( 38 ), which has a switchable valve, characterized in that with the detection device ( 30 ) and the switching device ( 38 ) a control device ( 34 ) for controlling the switching device ( 38 ) as a function of the detection device ( 30 ) detected underground medium is connected.

Mobile leak detector according to claim 1, characterized in that the switching device ( 38 ) in one between the flushing connection ( 42 ) and the pumping device ( 12 . 14 ) ( 40 ) is arranged.

Mobile leak detector according to one of claims 1 or 2, characterized in that the control of the switching device ( 38 ) as a function of a limit value, preferably automatically.

Mobile leak detector according to claim 3, characterized in that the limit value is manually adjustable.

Mobile leak detector according to claims 1 to 4, characterized in that the pumping device ( 12 . 14 ) a first pumping device ( 12 ) connected to the connecting element ( 22 ), and a second pumping device ( 14 ) comprises the fluidically with the first pumping device ( 12 ) and / or the connection element ( 22 ) connected is.

Mobile leak detector according to claims 1 to 5, characterized in that the pumping device, in particular the first pumping device ( 12 ), a turbomolecular pump which is in particular formed in two stages, preferably with a compound stage.

Mobile leak detector according to claims 1 to 6, characterized in that the pumping device, in particular the second pumping device ( 14 ), a scroll pump.

Mobile leak detector according to claims 1 to 7, characterized in that via the flushing connection ( 42 ) of the pumping device, in particular the second pumping device ( 12 ), Air or a noble gas can be supplied.

Mobile leak detector according to claims 1 to 8, characterized in that the switching device ( 38 ) is designed as an electromagnetically switchable valve.