DE102005038449B4

DE102005038449B4 - Device for the treatment of substrates, in particular for the electroplating of printed circuit boards, and method

Info

Publication number: DE102005038449B4
Application number: DE102005038449A
Authority: DE
Inventors: Christian Schmid
Original assignee: Gebrueder Schmid GmbH and Co
Current assignee: Gebrueder Schmid GmbH and Co
Priority date: 2005-08-03
Filing date: 2005-08-03
Publication date: 2010-03-25
Anticipated expiration: 2025-08-04
Also published as: DE102005038449A1; AT10524U1; WO2007014779A2; WO2007014779A3

Abstract

Einrichtung zur Behandlung von Substraten (16, 116, 216), insbesondere Galvanisiereinrichtung (11) für Leiterplatten oder Solarmodule, auf einer Durchlaufbahn durch eine Behandlungskammer (12), mit einem Behandlungsmedium, wie eine Elektrolytlösung (14), mit Transportmitteln für den Transport der Substrate durch die Behandlungskammer und mit Kontaktiermitteln (30, 30', 130, 230) zur elektrischen Kontaktierung an die Substrate, wobei die Transportmittel wenigstens eine drehende Welle (22, 22' 122, 222) aufweisen, auf der Transporträder (20, 20', 120, 120') angeordnet sind zum Transport der Substrate und wobei die Kontaktiermittel (30, 30', 130, 230) an der Welle angeordnet und gelagert sind und eine kreis- oder ringartige Außenseite aufweisen zur Kontaktierung an die Substrate (16, 116, 216) durch Anlage, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagerung derart ausgebildet ist, dass die Außenseite gegenüber der Mittelachse der Welle im Kontaktierbetrieb bewegt oder ausgelenkt werden kann in radialer Richtung zum Abheben der Außenseite von den Substraten.Device for the treatment of substrates (16, 116, 216), in particular electroplating device (11) for printed circuit boards or solar modules, on a passage path through a treatment chamber (12), with a treatment medium, such as an electrolyte solution (14), with transport means for transporting the Substrates through the treatment chamber and with contact means (30, 30 ', 130, 230) for electrical contacting to the substrates, wherein the transport means at least one rotating shaft (22, 22' 122, 222), on the transport wheels (20, 20 ' , 120, 120 ') are arranged for transporting the substrates and wherein the contacting means (30, 30', 130, 230) are arranged and mounted on the shaft and have a circular or ring-like outer side for contacting the substrates (16, 116 , 216) by attachment, characterized in that the bearing is designed such that the outer side relative to the central axis of the shaft can be moved or deflected in the contacting operation in the radial direction for lifting the outside of the substrates.

Description

Anwendungsgebiet und Stand der TechnikField of application and status of the technique

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Behandlung von Substraten, insbesondere eine Galvanisiereinrichtung, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, sowie ein Verfahren zum Ablösen von galvanisch angelagerten Metallbeschichtungen auf umlaufenden Kontaktiermitteln bei einer Galvanisiereinrichtung.The Invention relates to a device for the treatment of substrates, in particular an electroplating device, according to the preamble of the claim 1, and a method for detachment of electroplated metal coatings on circumferential Contacting means in an electroplating device.

Es ist aus der DE-A-10323660 A1 bekannt, dass an Kontaktiermitteln die wie Kontaktrollen, welche an zu galvanisierenden bzw. zu beschichtenden Substraten bzw. Gegenständen wie Leiterplatten oder Solarmodule anliegen, für gewisse Zeiten durch Änderung der Polarität die Beschichtung wieder abgelöst wird, da sie sich störend auswirkt bezüglich der Kontaktierfunktion der Kontaktiermittel. Dazu kann beispielsweise die Außenseite in einzelne Abschnitte unterteilt sein, so dass jeweils Abschnitte, die zu einem bestimmten Zeitpunkt nicht an den Substraten anliegen, durch Umkehrung der Polarisierung von einer Beschichtung befreit werden können. Hierbei ist jedoch der Aufwand für die Unterteilung groß, insbesondere deswegen, weil dadurch die Fertigung der Kontaktiermittel aufwändig ist. Diese gelten als Verschleißteil und müssen aus verschiedenen Gründen öfters ausgetauscht werden.It is from the DE-A-10323660 A1 It is known that the coating, such as contact rolls, which rest against substrates or objects such as printed circuit boards or solar modules to be plated or coated, is removed again by changing the polarity for certain times because it has a disturbing effect on the contacting function of the contacting means , For this purpose, for example, the outside can be subdivided into individual sections, so that in each case sections which do not rest against the substrates at a specific time can be freed from the coating by reversing the polarization. Here, however, the cost of the subdivision is large, especially because it makes the production of the contacting is complex. These are considered wearing parts and must be replaced frequently for various reasons.

Aufgabe und LösungTask and solution

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Einrichtung sowie ein eingangs genanntes Verfahren zu schaffen, mit denen Probleme des Standes der Technik beseitigt werden können und insbesondere eine Entfernung einer ungewollten Beschichtung von Kontaktiermitteln leichter möglich ist bei gleichzeitig möglichst einfachem Aufbau der Kontaktiermittel.Of the Invention is based on the object, an aforementioned device as well as to provide an aforementioned method with which problems of the prior art can be eliminated and in particular a Removal of unwanted coating from contacting agents easier possible is at the same time as possible simple structure of Kontaktiermittel.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Einrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 15. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht. Im Folgenden werden manche der Merkmale, die sowohl für die Einrichtung als auch für das Verfahren gelten können, nur einmal angeführt. Sie können unabhängig davon und voneinander jedoch sowohl für die Einrichtung als auch für das Verfahren gelten.Is solved this object by an apparatus having the features of the claim 1 and a method with the features of claim 15. Advantageous As well as preferred embodiments of the invention are the subject of further claims and will be closer in the following explained. The wording of the claims is by express Reference made to the content of the description. The following will be Some of the features that apply to both the furnishings as well for the Procedures may apply only mentioned once. You can independently however, from each other and from each other, both for the institution as well for the Procedure apply.

Es ist vorgesehen, dass die Einrichtung eine Durchlaufbahn für die Substrate durch eine Behandlungskammer aufweist, wobei sich in der Behandlungskammer ein Behandlungsmedium befindet, beispielsweise eine Elektrolytlösung. Zum Transport der Substrate durch die Behandlungskammer sind Transportmittel vorgesehen. Zur elektrischen Kontaktierung sind Kontaktiermittel vorgesehen, die in Berührung mit den Substraten kommen bzw. an diesen anliegen. Die Transportmittel weisen wenigstens eine drehende Welle auf, auf der Transporträder, -walzen oder -rollen angeordnet sind zum an sich bekannten Transport der Substrate. Auch die Kontaktiermittel sind an der Welle angeordnet bzw. gelagert. Die Kontaktiermittel weisen eine kreis- bzw. ringartige Außenseite auf, mit der sie an den Substraten anliegen und diese kontaktieren. Insbesondere sind die Kontaktiermittel in Form von Rädern oder Rollen ausgebildet. Erfindungsgemäß sind die Kontaktiermittel derart an der Welle gelagert, dass ihre Außenseite gegenüber der Mittelachse der Welle im Transport- und Kontaktierzustand bewegt bzw. ausgelenkt werden kann in einer Richtung weg von den Substraten. So kann die Außenseite von den Substraten entfernt und damit die Kontaktierung unterbrochen werden. Dadurch ist es möglich, dass für bestimmte Zeitabstände bzw. zu bestimmten Zeitpunkten die Kontaktiermittel bzw. ihre Außenseiten von den Substraten entfernt werden. Zu diesen Zeiten kann dann beispielsweise durch eine bereits zuvor beschriebene Umkehrung der Polarität der Stromzuführung an den Kontaktiermitteln angelagertes Beschichtungsmaterial wieder entfernt werden, ohne dass hierzu eine aufwändige Segmentierung der Außenseite oder dergleichen notwendig wäre.It it is envisaged that the device will provide a continuous path for the substrates through a treatment chamber, wherein in the treatment chamber a treatment medium is, for example, an electrolyte solution. To the Transport of the substrates through the treatment chamber are means of transport intended. For electrical contacting are contacting provided that in touch come with the substrates or abut against these. The means of transport have at least one rotating shaft, on the transport wheels, rollers or Rollers are arranged for transporting the known per se substrates. The contacting means are arranged or mounted on the shaft. The contacting means have a circular or ring-like outer side on, with which they abut the substrates and contact them. In particular, the contacting means in the form of wheels or Rolls trained. According to the invention, the contacting means are such mounted on the shaft that its outside opposite the Moves center axis of the shaft in the transport and contacting state or can be deflected in a direction away from the substrates. So can the outside removed from the substrates and thus interrupted the contact become. This makes it possible that for certain intervals or at certain times the Kontaktiermittel or their outer sides be removed from the substrates. For example, at these times by an already described reversal of the polarity of the power supply to the coating agents attached coating material again be removed without requiring a complex segmentation of the outside or the like would be necessary.

In vorteilhafter Ausgestaltung ist die Außenseite der Kontaktiermittel als Kreisring ausgebildet, vorzugsweise mit einer bestimmten Breite zur Sicherstellung einer guten Kontaktierung. Des weiteren kann die Außenseite bzw. der Kreisring formstabil sein, also beispielsweise vollständig starr und unverformbar. Sie kann eine durchgängige Kontaktoberfläche bzw. Metalloberfläche aufweisen, also ein durchgängiger breiter und vorzugsweise ebener Metallring sein für eine gute Kontaktierung.In advantageous embodiment is the outside of the contacting formed as a circular ring, preferably with a certain width to ensure a good contact. Furthermore, can the outside or the circular ring be dimensionally stable, so for example completely rigid and undeformable. It can be a continuous contact surface or metal surface have, so a consistent be broad and preferably flat metal ring for a good Contacting.

Gemäß einer grundsätzlich ersten Ausbildungsmöglichkeit der Erfindung ist die Welle starr und durchgängig ausgebildet. Ein Kontaktiermittel bzw. dessen Außenseite oder dessen Außenring kann derart bewegbar an der Welle gelagert sein, dass eine radiale Bewegbarkeit bzw. eine Bewegung weg von den Substraten möglich ist bei gleichbleibender Lage der Welle. Somit kann eine Welle auf bekannte Art und Weise fest und ihrer Lage unveränderbar gelagert sein. Zum Unterbrechen der Kontaktierung müssen lediglich die Kontaktiermittel abgehoben werden und somit gegenüber der Welle bewegt werden. Dies ermöglicht eine relativ einfache Lagerung der Welle, wobei die Bewegbarkeit der Kontaktiermittel durch deren konstruktive Ausgestaltung erreicht wird.According to one in principle first training opportunity the invention, the shaft is rigid and continuous. A contacting agent or its outside or its outer ring can be movably mounted on the shaft, that a radial mobility or a movement away from the substrates is possible at the same Location of the wave. Thus, a wave in a known manner fixed and unchangeable be stored. To interrupt the contact only need the contacting are lifted and thus against the Wave to be moved. this makes possible a relatively simple storage of the shaft, the mobility the contacting achieved by the structural design becomes.

Dazu kann beispielsweise vorgesehen sein, dass die Lagerung des Kontaktiermittels bzw. seiner Außenseite an der Welle nachgiebig bzw. federnd ausgebildet ist. In einer Grundposition des Kontaktiermittels an der Welle sind die beiden konzentrisch zueinander. In der bewegten bzw. ausgelenkten Position sind sie nicht mehr konzentrisch zueinander und die Außenseite ist von dem Substrat abgehoben und damit die Kontaktierung unterbrochen. Eine derartige Ausbildung ist aus der am gleichen Tag von der gleichen Anmelderin eingereichten DE 10 2005 038 450 A1 bekannt, deren Inhalt hiermit durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht wird, insbesondere bezüglich der Ausbildungsmöglichkeiten für die Welle und die Kontaktiermittel.For this purpose, it can be provided, for example, that the bearing of the contacting means or its outer side is designed to be yielding or resilient on the shaft. In a basic position of the contacting means on the shaft, the two are concentric with each other. In the moved or deflected position, they are no longer concentric with one another and the outside is lifted off the substrate and thus the contacting is interrupted. Such a training is submitted from the same day by the same applicant DE 10 2005 038 450 A1 The contents of which are hereby incorporated by express reference into the content of the description, in particular with regard to the training possibilities for the shaft and the contacting means.

Um die Kontaktiermittel gesteuert von den Substraten abzuheben, kann eine Verschiebeeinrichtung an ihnen angreifen, wobei sie insbesondere an der Außenseite bzw. im Bereich der Außenseite angreifen kann. Beispielsweise kann die Außenseite an einem parallel zur Drehrichtung abstehenden Abschnitt nach Art eines Außenrings angreifen bzw. diesen in radialer Richtung hintergreifen. Zum Wegbewegen kann sie den Außenring formschlüssig wegziehen, wobei es dabei durchaus möglich ist, dass er sich weiter dreht, um die Drehkraftübertragung nicht zu unterbrechen. Bei einer derartigen Ausbildung ist es möglich, die Welle durchgängig starr bzw. zumindest zwischen den Transportmitteln und den Kontaktiermitteln starr und somit sehr einfach zu gestalten.Around can lift the contacting controlled from the substrates, can a displacement device attack them, in particular on the outside or in the area of the outside can attack. For example, the outside of a parallel to the direction of rotation protruding section in the manner of an outer ring attack or engage behind in the radial direction. To move away can she use the outer ring form-fitting move away, while it is quite possible that he will continue turns to the torque transmission not to interrupt. With such a design, it is possible the shaft continuously rigid or at least between the means of transport and the contacting rigid and therefore very easy to design.

Gemäß einer grundsätzlich zweiten Ausbildung der Erfindung ist die Welle nicht starr, sondern im Bereich der Kontaktiermittel beweglich, insbesondere in Richtung weg von den Substraten auslenkbar. Dies kann beispielsweise durch einen beweglichen Wellenabschnitt realisiert werden, der in dieser Hinsicht beweglich mit der übrigen Welle verbunden ist, insbesondere mit demjenigen Teil der Welle, auf dem die Transportmittel sitzen und der insofern starr ist und in seiner Lagerung nicht deutlich von den Substraten wegbewegt werden soll. Der bewegliche Wellenabschnitt ist durch ein drehmomentübertragendes Gelenk mit der übrigen Welle verbunden, so dass im normalen Betrieb beim Anlegen der Transportmittel und Kontaktiermittel an den Substraten die Kontaktiermittel nicht nur durch die Anlage an den Substraten gedreht werden, sondern zur möglichst guten Kontaktierung selbst mitlaufen und dazu angetrieben sind. Des weiteren kann es unter Umständen auch von Vorteil sein, durch ein derartiges drehmomentübertragendes Gelenk im abgehobenen Zustand die Kontaktiermittel weiter zu drehen. Durch einen derartigen beweglichen Wellenabschnitt fluchten die verschiedenen Wellenabschnitte mit ihren Längsmittelachsen nach dem Abheben nicht mehr miteinander.According to one in principle second embodiment of the invention, the shaft is not rigid, but in Area of the contacting movable, in particular in the direction deflected away from the substrates. This can be done, for example a movable shaft portion can be realized in this Respectable with the rest Shaft is connected, in particular with that part of the shaft, on which the means of transport sit and which is so far rigid and are not clearly moved away from the substrates in its storage should. The movable shaft portion is by a torque transmitting joint with the rest Shaft connected, so that in normal operation when creating the means of transport and Contacting on the substrates not only the contacting be rotated by the plant to the substrates, but as possible Good contact themselves run and are driven to it. Furthermore, it may be possible also be advantageous, by such a torque transmitting Joint in the off state to further turn the contacting. By such a movable shaft portion are aligned different shaft sections with their longitudinal central axes after lifting not with each other anymore.

Das drehmomentübertragende Gelenk kann beispielsweise ein Kardangelenk sein, welches es ermöglicht, den beweglichen Wellenabschnitt durch eine Parallelverschiebung weg von den Substraten zu bewegen. Dabei kann es unter anderem auch vorgesehen sein, dass zwischen zwei an sich starr gelagerten Wellenabschnitten ein derart beweglich gelagerter Wellenabschnitt vorgesehen ist, der sozusagen parallel zu den Substraten von diesen weg bewegbar ist. In Verbindung mit einem Kardangelenk ist es möglich, den beweglichen Wellenabschnitt an sich als starren Wellenteil auszubilden. Auf diesem kann dann ein Kontaktiermittel in Form einer vorgenannten Rolle sitzen, deren Außenseite sich stets in vorgegebener Zuordnung zu dem bewegbaren Wellenabschnitt dreht.The torque transmitting Joint may be, for example, a universal joint, which makes it possible the movable shaft section by a parallel shift move away from the substrates. It can, among other things be provided that between two rigidly mounted shaft sections such a movably mounted shaft section is provided, which, as it were, can be moved parallel to the substrates away from them is. In conjunction with a cardan joint, it is possible to use the movable shaft portion to form a rigid shaft part. On this can then be a contacting in the form of an aforementioned role sit, whose outside always in a predetermined assignment to the movable shaft section rotates.

Anstelle einen in sich starren, jedoch beweglich gelagerten Wellenabschnitt vorzusehen kann die Welle im Bereich der Kontaktiermittel insgesamt flexibel ausgebildet sein bei gleichzeitig möglicher Drehmomentübertragung. Dies kann durch elastische oder gummiartige ebenso wie durch federartige bzw. schraubenfederartige Wellenabschnitte erfolgen. In diesem Fall ist keine Gelenkverbindung mit definierten Gelenkpunkten gegeben, sondern eine Bewegbarkeit über gewisse Abschnitte hinweg.Instead of a rigid, but movably mounted shaft section the shaft can be provided in the area of the contacting means as a whole be designed to be flexible while possible torque transmission. This can be elastic or rubbery as well as feathery or helical spring-like shaft sections take place. In this case there is no articulation with defined articulation points, but a mobility over certain sections.

Um den beweglichen Wellenabschnitt von den Substraten wegzubewegen, kann eine Verfahreinrichtung vorgesehen sein, die entweder wie zuvor beschrieben an der Außenseite der Kontaktiermittel angreift. Alternativ kann der bewegliche Wellenabschnitt in einer beweglichen bzw. verfahrbaren Einrichtung gelagert sein. Durch eine solche kann der gesamte bewegliche Wellenabschnitt abgehoben werden, was insbesondere bei einem Angriff an eine Lagerung des beweglichen Wellenabschnittes besonders einfach erfolgt. Insbesondere wird hierdurch die fortgesetzte Drehung des Kontaktiermittels nicht beeinträchtigt.Around move the movable shaft section away from the substrates, For example, a moving device may be provided, either as previously described on the outside the contacting acts. Alternatively, the movable shaft section be stored in a movable or movable device. By such a the entire movable shaft section can be lifted, which in particular in an attack on a storage of the movable Shaft section is particularly easy. In particular, this is the continued rotation of the contacting does not affect.

Grundsätzlich kann es vorgesehen sein, dass bewegbare Kontaktiermittel an einer einzigen Welle nur einmal vorgesehen sind. Für viele Anwendungen reicht dies zur Kontaktierung aus, insbesondere deswegen, weil in Durchlaufrichtung der Substrate derartige Wellen mehrfach hintereinander vorgesehen sind. Dabei können sie durchaus in seitlicher Richtung versetzt zueinander sein. Bewegbare Kontaktiermittel sind vorzugsweise an einem Endbereich der Welle bzw. einem Rand- oder Außenbereich der Substrate in Durchlaufrichtung gesehen vorgesehen. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn bewegliche Wellenabschnitte vorhanden sind. Es ist allgemein möglich, nur an einem Ende einer Welle einen Antrieb vorzusehen. Dieses Wellenende ragt dazu vorzugsweise aus der Behandlungskammer heraus. An dem anderen Ende können dann die beweglichen Kontaktiermittel vorgesehen sein.Basically it can be provided that movable contacting means on a single shaft are provided only once. For many applications this is sufficient for contacting, in particular because in the direction of passage of the substrates such waves are provided several times in a row. They can certainly be in a lateral direction be offset from one another. Movable contacting means are preferred at an end portion of the shaft or a peripheral or external area the substrates seen in the direction of passage provided. This is especially advantageous if movable shaft sections available. It is generally possible only at one end of a Shaft to provide a drive. This shaft end protrudes preferably out of the treatment chamber. At the other end can then be provided, the movable contacting.

Schließlich ist es in einer dritten Ausbildung der Erfindung möglich, dass die gesamte Welle samt Transportmitteln und Kontaktiermitteln von den Substraten abgehoben werden kann. Dies erfordert zwar eine etwas aufwändigere Lagerung der gesamten Welle, andererseits kann auf bewegliche Wellenabschnitte oder in sich bewegliche Kontaktiermittel oder -rollen verzichtet werden.Finally is it is possible in a third embodiment of the invention that the entire shaft lifted together with means of transport and contacting of the substrates can be. Although this requires a somewhat more complex storage of the entire shaft, on the other hand can be on movable shaft sections or in moving Contacting agents or rollers are dispensed with.

Die Transportmittel können elektrisch isolierend ausgebildet sein ohne Einfluss auf eine elektrische Kontaktierung an die Substrate. Dazu können sie beispielsweise aus Kunststoff bestehen, wodurch es bevorzugt möglich ist, das Abscheiden von Beschichtungen odgl. aus dem Behandlungsmedium auf ihnen zu vermeiden.The Transportation can be formed electrically insulating without influence on an electrical Contacting the substrates. For example, they can do this Plastic, whereby it is preferably possible, the deposition of Coatings or the like from the treatment medium on them to avoid.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren liegen die Kontaktiermittel im normalen Betrieb bzw. im Kontaktierbetrieb an den Substraten an, die behandelt bzw. beschichtet werden sollen, wodurch die elektrische Kontaktierung stattfindet. Soll eine bei diesem Vorgang auch an den Kontaktiermitteln abgeschiedene Beschichtung entfernt werden, was in gewissen zeitlichen Abständen notwendig ist, so wird ein Kontaktiermittel von den Substraten abgehoben und dadurch die elektrische Kontaktierung unterbrochen. Dann wird das Kontaktiermittel mit Strom entgegengesetzter Polarität beaufschlagt zum Ablösen der Beschichtung. Durch dieses Abheben der Kontaktiermittel von den Substraten ohne grundsätzliches Ausbauen der Kontaktiermittel aus der Einrichtung kann zum einen das Ablösen von Beschichtungen einfach erfolgen. Zum anderen können die Kontaktiermittel einfach ausgebildet sein, insbesondere einfache Kontaktierrollen in einstückiger Ausbildung aus Metall sein, insbesondere mit durchgängiger Außenseite ohne Unterteilung in verschieden beaufschlagbare Segmente, wie dies aus dem Stand der Technik bekannt ist. Vorteilhaft zeichnet sich das Verfahren durch Merkmale aus, die vorbeschrieben sind. Insbesondere wird es besonders vorteilhaft mit einer zuvor beschriebenen Einrichtung durchgeführt.at the method according to the invention lie the contacting in normal operation or in Kontaktierbetrieb on the substrates to be treated or coated, whereby the electrical contact takes place. Should one in this Process also deposited on the bonding agent coating will be removed, which is necessary at certain intervals, so will one Contacting lifted from the substrates and thereby the electrical Contacting interrupted. Then the contacting agent with electricity opposite polarity acted to replace the Coating. By this lifting the contacting of the Substrates without any fundamental Removing the Kontaktiermittel from the device can on the one hand the detachment easy to apply coatings. On the other hand, the Contacting be simple, especially simple Contact rollers in one piece Training be made of metal, especially with continuous outside without subdivision into differently acted segments, like this is known from the prior art. Advantageously, it stands out the method by features which are described above. Especially It is particularly advantageous with a device described above carried out.

Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischen-Überschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit.These and other features go out the claims also from the description and the drawings, wherein the individual features each for alone or in the form of subcombinations an embodiment of the Invention and other fields be realized and advantageous also for protectable versions can represent for the protection is claimed here. The subdivision of the application into individual Sections and intermediate headings restrict the not in its generality among these statements.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schematisch dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:embodiments The invention are shown schematically in the drawings and will be closer in the following explained. In the drawings shows:

1 eine schematische Schnittdarstellung durch eine Galvanisiereinrichtung mit beweglichen Wellenabschnitten und Kontaktierrollen daran, die an Substrate angelegt sind, 1 a schematic sectional view of an electroplating device with movable shaft sections and contacting rollers thereon, which are applied to substrates,

2 die Galvanisiereinrichtung aus 1 mit von den Substraten abgehobenen Kontaktierrollen, 2 the electroplating 1 with contacting rollers lifted off from the substrates,

3 eine Abwandlung der Darstellung aus 2 mit einem Federgelenk anstelle eines Kardangelenkes, 3 a modification of the presentation 2 with a spring joint instead of a universal joint,

4 eine Abwandlung der Galvanisiereinrichtung aus 1 mit starrer und durchgehender Welle und bewegbar darauf gelagerter Kontaktierrolle und 4 a modification of the electroplating 1 with rigid and continuous shaft and movably mounted thereon Kontaktierrolle and

5 eine Seitenansicht einer Galvanisiereinrichtung mit Darstellung des unterschiedlichen Abhebens der Kontaktierrollen von den Substraten. 5 a side view of an electroplating device showing the different lifting of the contacting rollers of the substrates.

Detaillierte Beschreibung der AusführungsbeispieleDetailed description the embodiments

In 1 ist als Detailansicht der Galvanisiereinrichtung 11 nach 5 ein Schnitt quer zur Durchlaufrichtung von Substraten 16 durch eine Behandlungskammer 12 dargestellt. Die Substrate 16 werden transportiert durch obere Transportrollen 20 und untere Transportrollen 20'. Die Transportrollen 20 und 20' sind jeweils auf festen Wellen 22 und 22' montiert. Die unteren Wellen 22' sind dabei in starren Lagerungen 24' gelagert und stehen links über die Behandlungskammer 12 über, wo sie mit einem Antrieb 28 verbunden sind. Der Antrieb 28 ist auch mit den oberen starren Wellen 22 gekoppelt. Diese oberen Wellen 22 sind in Lagerungen 24 gelagert, welche eine gewisse Bewegbarkeit der Wellen 22 nach oben zulassen. Diese gewisse Bewegbarkeit in den Lagerungen 24 dient jedoch nur dazu, im Falle von Unebenheiten an den Substraten 16 die Transportrollen 20 bewegbar zu gestalten bei gleichzeitiger permanenter Anlage an den Substraten. Ebenso gut ist es hier möglich, auch die oberen Lagerungen 24 unverschiebbar zu gestalten wie die unteren Lagerungen 24', wenn beispielsweise die Transportrollen 20 etwas flexibel sind. Als Substrate können sowohl Leiterplatten als auch beispielsweise Solarmodule mit Trägern aus dünnem Glas vorgesehen sein. Die Vorteile der erfindungsgemäßen Galvanisiereinrichtung 11 können in beiden Fällen genutzt werden.In 1 is as a detailed view of the electroplating 11 to 5 a section transverse to the direction of passage of substrates 16 through a treatment chamber 12 shown. The substrates 16 are transported by upper transport rollers 20 and lower transport rollers 20 ' , The transport wheels 20 and 20 ' are each on solid waves 22 and 22 ' assembled. The lower waves 22 ' are in rigid bearings 24 ' stored and left over the treatment chamber 12 about where to go with a drive 28 are connected. The drive 28 is also with the upper rigid waves 22 coupled. These upper waves 22 are in storages 24 stored, which a certain mobility of the waves 22 allow upwards. This certain mobility in the bearings 24 However, this only serves, in the case of bumps on the substrates 16 the transport wheels 20 to be movable while at the same time being permanently attached to the substrates. It is equally possible here, even the upper bearings 24 immovable to make like the lower bearings 24 ' if, for example, the transport wheels 20 are a bit flexible. Both printed circuit boards and, for example, solar modules with carriers made of thin glass can be provided as substrates. The advantages of the electroplating device according to the invention 11 can be used in both cases.

Auf den Wellen 22 und 22' sitzen jeweils zwei Transportrollen 20 und 20' mit jeweils einer Lagerung 24 und 24' rechts daneben. Wiederum rechts von der Lagerung 24 und 24' sind Wellenabschnitte 32 und 32' über Gelenke 38 und 38' verbunden. Die Gelenke 38 und 38' sind hier als drehmomentübertragende Kardangelenke ausgeführt, welche unter Umständen auch noch eine gewisse Längenveränderung zulassen zum Ausgleich zwischen den Wellen 22 bzw. 22' und 32 bzw. 32' beim Abheben der Wellenabschnitte 32 und 32'. Auf den Wellen 32 bzw. 32' sitzt jeweils eine Kontaktierrolle 30 bzw. 30'. Diese liegt in 1 jeweils an einer Seite des Substrates 16 an. Des weiteren sind die Wellen 32 und 32' über eine schematisch dargestellte Leiteranordnung 18 und 18' mit der Stromquelle 13 als elektrische Kontaktierung verbunden.On the waves 22 and 22 ' two transport wheels sit in each case 20 and 20 ' each with a storage 24 and 24 ' right next to it. Again right from the storage 24 and 24 ' are shaft sections 32 and 32 ' over joints 38 and 38 ' connected. The joints 38 and 38 ' are here designed as a torque-transmitting universal joints, which may also allow a certain change in length to balance between the waves 22 respectively. 22 ' and 32 respectively. 32 ' when lifting the shaft sections 32 and 32 ' , On the waves 32 respectively. 32 ' each sitting a contact roller 30 respectively. 30 ' , This is located in 1 each on one side of the substrate 16 at. Furthermore, the waves 32 and 32 ' via a schematically illustrated conductor arrangement 18 and 18 ' with the power source 13 connected as electrical contact.

Die Wellen 32 bzw. 32' sind als bewegliche Wellenabschnitte gegenüber den im wesentlichen unbeweglich gelagerten Wellen 22 und 22' ausgebildet. Dazu sind sie in den Lagerungen 34 und 34' gelagert. Diese sind erkennbar so ausgebildet, dass sie eine erhebliche Bewegbarkeit in einer Richtung weg von den Substraten 16 ermöglichen, was nachfolgend noch genauer ausgeführt wird. Für dieses Wegbewegen sind die Verschiebeeinrichtungen 36 und 36' vorgesehen. Durch die eingezeichneten Pfeile wird verdeutlicht, wie durch Wegfahren der Verschiebeeinrichtungen 36 von der Ebene der Substrate 16 die Wellenabschnitte 32 und 32' ebenfalls mitbewegt werden und damit die Kontaktierrollen 30 und 30' von der Oberfläche der Substrate 16 abgehoben werden. Dies ist in 2 dargestellt.The waves 32 respectively. 32 ' are as movable shaft sections relative to the substantially immovably mounted waves 22 and 22 ' educated. For this they are in the storages 34 and 34 ' stored. These are recognizably designed to have considerable mobility in one direction away from the substrates 16 allow what will be explained in more detail below. For this moving away are the displacement devices 36 and 36 ' intended. The arrows are illustrated as by driving away the displacement devices 36 from the level of the substrates 16 the shaft sections 32 and 32 ' also be moved and thus the contact rollers 30 and 30 ' from the surface of the substrates 16 be lifted off. This is in 2 shown.

Aus 2 wiederum ist zu erkennen, wie nach Abheben der Kontaktierrollen 30 und 30' der elektrische Kontakt an die Substrate 16 unterbrochen ist. In dieser Zeit kann eine Umkehrung der Strombeaufschlagung stattfinden, was später im zeitlichen Ablauf noch näher erläutert wird. Gleichzeitig ist aus 2 zu erkennen, dass in diesem Zustand die Transportrollen 20 und 20' weiterhin unverändert an den Substraten 16 anliegen und somit deren Durchlauf nicht beeinträchtigt wird. Die in den 1 und 2 dargestellte Möglichkeit der Verbindung der festgelagerten Wellen 22 mit den beweglichen Wellenabschnitten 32 durch die Kardangelenke 38 und 38' ist eine Möglichkeit, die vorteilhaft realisiert werden kann. Vor allem ist durch die dargestellten Kardangelenke die Drehmomentübertragung ohne Drehzahlunterschiede zwischen den Wellenabschnitten 22 und 32 bzw. 22' und 32' gegeben.Out 2 again it can be seen how after lifting the contact rollers 30 and 30 ' the electrical contact to the substrates 16 is interrupted. In this time, a reversal of the current application take place, which will be explained later in the time sequence in more detail. At the same time is off 2 to realize that in this state the transport wheels 20 and 20 ' still unchanged on the substrates 16 concerns and thus their passage is not affected. The in the 1 and 2 illustrated possibility of connection of the fixed waves 22 with the movable shaft sections 32 through the cardan joints 38 and 38 ' is a possibility that can be realized advantageously. Above all, by the universal joints illustrated the torque transmission without speed differences between the shaft sections 22 and 32 respectively. 22 ' and 32 ' given.

Als alternative Gelenkverbindung ist in 3 eine Art Schraubenfedergelenk vergrößert dargestellt mit einer Schraubenfeder 138. Diese besteht aus einzelnen Schraubenfederwindungen 139, welche jeweils fest auf dem rechten Ende der starr gelagerten Welle 122 und dem linken Ende der verschiebbar gelagerten Welle 132 aufsitzt. Insbesondere ist dies dadurch möglich, dass die entsprechenden Schraubenfederwindungen 139 eng und kraft- sowie reibschlüssig auf den Wellenenden sitzen. Je nach Art der Ausgestaltung der Schraubenfeder 138 bzw. der Dicke des Drahtes bzw. der einzelnen Windungen ist auch hier eine Drehmomentübertragung sehr gut möglich. Im Gegensatz zu einem zuvor beschriebenen Kardangelenk kann ein gewisser Drehzahlunterschied nicht unbedingt vermieden werden. Dies ist zum einen jedoch unter Umständen nicht störend. Zum anderen sind die zu übertragenden Drehmomente für die ohnehin im wesentlichen nur zur Kontaktierung dienenden Kontaktierrollen 130 nicht besonders groß, so dass dies in den meisten Fällen als ausreichend angesehen werden sollte.As an alternative articulation is in 3 a kind of coil spring joint shown enlarged with a coil spring 138 , This consists of individual coil spring coils 139 , which are each firmly on the right end of the rigidly mounted shaft 122 and the left end of the slidably mounted shaft 132 seated. In particular, this is possible because the corresponding helical spring coils 139 sit tightly and frictionally on the shaft ends. Depending on the nature of the design of the coil spring 138 or the thickness of the wire or the individual turns, a torque transmission is also very possible here. In contrast to a universal joint described above, a certain speed difference can not necessarily be avoided. On the one hand, however, this may not be disturbing. On the other hand, the torques to be transmitted are for the contacting rollers, which in any case serve essentially only for contacting 130 not very large, so in most cases this should be considered sufficient.

Die sonstigen Details der Abwandlung nach 3 hinsichtlich Lagerung 124 der starr gelagerten festen Welle 122 und Lagerung 134 sowie Verschiebeeinrichtung 136 bei dem bewegbar gelagerten Wellenabschnitt 132 entsprechen derjenigen aus den 1 und 2. So braucht hier nicht näher darauf eingegangen zu werden.The other details of the modification 3 in terms of storage 124 the rigidly mounted fixed shaft 122 and storage 134 as well as displacement device 136 at the movably mounted shaft portion 132 correspond to those from the 1 and 2 , So need not be discussed here in detail.

In Abwandlung der Darstellung aus den 1 und 2 kann auch vorgesehen sein, dass jeweils gegenüberliegend von einer Kontaktierrolle eine Transportrolle 120 an dem Substrat 116 anliegt, welche nicht verschoben bzw. bewegt wird oder verschiebbar ist. So ist es möglich, an einer Seite des Substrates eine Kontaktierrolle abzuheben, während sie an der anderen Seite noch anliegt. Dadurch kann die Stromzuführung zu dem Substrat durch eine an einer Seite anliegende Kontaktierrolle aufrecht erhalten werden, während die andere Kontaktierrolle von der störenden Beschichtung befreit wird.In modification of the representation from the 1 and 2 can also be provided that in each case opposite of a contact roller a transport roller 120 on the substrate 116 is present, which is not moved or moved or is displaceable. Thus, it is possible to lift off a contact roller on one side of the substrate, while it still rests on the other side. Thereby, the power supply to the substrate can be maintained by a contact roller resting against one side, while the other contacting roller is freed of the interfering coating.

Eine weitere, nicht dargestellte Abwandlung sieht vor, dass sie Lagerungen 24 ähnlich ausgebildet sind wie die Lagerung 34 für den bewegbaren Wellenabschnitt. Anstelle einer zweigeteilten und gelenkig miteinander verbundenen Welle ist eine einzige durchgehende und starre Welle vorgesehen, und durch eine Verschiebeeinrichtung ähnlich der Verschiebeeinrichtung 36 nach 1 wird die gesamte Welle von den Substraten 16 wegbewegt, also sowohl die Transportrollen als auch die Kontaktierrollen entfernt. Dies ist jedoch anhand der 1 leicht vorstellbar.Another variation, not shown, provides for bearings 24 are formed similar to the storage 34 for the movable shaft section. Instead of a two-part and articulated interconnected shaft a single continuous and rigid shaft is provided, and by a displacement device similar to the displacement device 36 to 1 becomes the entire wave from the substrates 16 moved away, so removed both the transport rollers and the Kontaktierrollen. However, this is based on the 1 easy to imagine.

Anstelle des Schraubenfedergelenks 138 nach 3 könnte auch ein elastisches Kunststoff-Element vorgesehen sein oder eine Art flexibler Metallschlauch. Beispielsweise kann anstelle der Schraubenfeder 138 auch ein zwar flexibler, jedoch einigermaßen zur Übertragung von Drehmomenten geeigneter Kunststoffschlauch auf die beide Enden der Wellen aufgezogen und befestigt werden. Auch dieser erlaubt ein Verkippen oder Parallelverschieben der Wellenabschnitte 122 und 132 zueinander. Vorteilhaft sollte darauf geachtet werden, dass beim Abheben des bewegbaren Wellenabschnittes über die Gelenkverbindung zu dem starr gelagerten Wellenabschnitt keine oder nur geringe Abhebekräfte erzeugt werden. Ansonsten würde die hier als nächste vorgesehene Transportrolle in ihrer Anlage an dem Substrat beeinträchtigt oder sogar die an sich starr gelagerte Welle bei den etwas nachgiebigen Lagerungen 134 von dem Substrat wegbewegt, was den Transport der Substrate negativ beeinträchtigt.Instead of the coil spring joint 138 to 3 could also be provided an elastic plastic element or a kind of flexible metal hose. For example, instead of the coil spring 138 Although a flexible, but reasonably suitable for the transmission of torque plastic hose on both ends of the waves are wound and secured. This also allows tilting or parallel displacement of the shaft sections 122 and 132 to each other. Advantageously, care should be taken that when lifting the movable shaft portion via the hinge connection to the rigidly mounted Wel lenabschnitt no or only small Abhebekräfte be generated. Otherwise, the transport roll provided here as the next would be impaired in its contact with the substrate or even the shaft, which is rigidly mounted on itself, in the somewhat yielding bearings 134 moved away from the substrate, which adversely affects the transport of the substrates.

Eine nochmals weitere Alternative ist in 4 dargestellt. Die dort dargestellte Kontaktierrolle 230 sitzt auf einer zuvor bereits erwähnten durchgehenden starren und im wesentlichen gemäß 1 starr in einer Lagerung 234 gelagerten Welle 232. Die Kontaktierrolle 230 besteht aus einem Hülsenabschnitt 241. In dieser Hülse 241 befindet sich eine Innenöffnung 242, durch welche die Welle 232 verläuft. Da die lichte Weite der Innenöffnung 242 deutlich über derjenigen der Welle 232 liegt, bildet sich der Zwischenraum 248. Innenöffnung 242 und Welle 232 sind jeweils kreisrund, so dass die Hülse 241 der Kontaktierrolle 230 um das Maß des Zwischenraums 248 beispielsweise nach oben oder auch nach unten bewegt werden kann, beispielsweise um Unebenheiten auf den Substraten 216 auszugleichen.Another alternative is in 4 shown. The contact roller shown there 230 sits on a previously mentioned continuous rigid and substantially according to 1 rigid in a storage 234 stored wave 232 , The contact roller 230 consists of a sleeve section 241 , In this sleeve 241 there is an interior opening 242 through which the shaft 232 runs. Because the clear width of the inner opening 242 significantly above that of the wave 232 lies, the gap forms 248 , inner opening 242 and wave 232 are each circular, so the sleeve 241 the contact roller 230 around the measure of the gap 248 For example, can be moved up or down, for example, unevenness on the substrates 216 compensate.

Vom Mittelbereich der Hülse 241 steht in etwa rechtwinklig ein Flansch 243 ab. Er geht im Außenbereich in den Außenring 245 über mit einer verbreiterten flachen Außenseite. Wie aus 4 zu erkennen ist, ist hier die Kontaktierrolle 230 einstückig ausgebildet, beispielsweise aus Metall wie Kupfer. Dies gilt im übrigen vorteilhaft auch für die übrigen dargestellten Kontaktrollen. Durch die Länge der Hülse 241 wird trotz der sozusagen schwimmenden Lagerung auf der Welle 232 in gewissem Maß eine Verkippsicherheit gewährleistet.From the middle area of the pod 241 is approximately at right angles a flange 243 from. He goes outside in the outer ring 245 over with a widened flat outside. How out 4 can be seen, here is the Kontaktierrolle 230 integrally formed, for example, metal such as copper. This is also advantageous for the rest of the illustrated contact rollers. By the length of the sleeve 241 becomes despite the so-called floating storage on the shaft 232 guaranteed to a certain extent a Verkippsicherheit.

Beide Enden des Hülsenabschnittes 241 werden von Schraubenfedern 250 übergriffen. Die Schraubenfedern 250 liegen jeweils mit einem entfernten engen Ende 251 direkt auf der Welle 232 auf, vorteilhaft kraft- und reibschlüssig sowie unverrückbar. Diese Verbindung kann beispielsweise durch eine umlaufende Nut in der Welle 232 noch verbessert werden. Zur Kontaktierrolle 230 bzw. zum abstehenden Flansch 243 hin werden die Windungen der Schraubenfedern 250 weiter und übergreifen die Außenbereiche der Hülse 241. Diese kann, wie dargestellt, an ihrer Außenseite abgeflacht sein, um einen kontinuierlichen Anstieg der Weite der Windungen der Schraubenfedern 250 zu ermöglichen. Mit einem weiten Ende 252 liegen Windungen der Schraubenfeder direkt auf der Hülse 241 auf, und zwar bis nahe an den Flansch 243. Die Weite der Windungen 252 kann ebenfalls so ausgebildet sein wie zuvor für die engen Windungen 251 beschrieben. Anstelle der außen anliegenden Schraubenfedern 250 ist es vorstellbar, dass eine Federeinrichtung in der Innenöffnung 242 angeordnet ist, beispielsweise mit radial federnder Wirkung. Dies kann auch eine Art sehr elastischer Schaumstoff odgl. sein, beispielsweise in Schlauch- bzw. Hülsenform. Eine elektrische Kontaktierung zwischen Kontaktierrolle 230 und Leiteranordnung bzw. Welle 232 kann in 4 über die Windungen der Schraubenfedern 250 erfolgen. Bei einer alternativen Feder kann entweder ein frei angeschlossener Leiter zwischen Kontaktierrad und Welle oder Leiteranordnung vorgesehen sein. Alternativ dazu kann die in die Innenöffnung 242 eingebrachte Federeinrichtung elektrisch leitfähig sein, beispielsweise auch aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoff bestehen.Both ends of the sleeve section 241 be from coil springs 250 overlapped. The coil springs 250 each lie with a distant narrow end 251 directly on the shaft 232 on, advantageous force and friction and immovable. This connection can for example by a circumferential groove in the shaft 232 to be improved. To contact roller 230 or to the protruding flange 243 There are the turns of the coil springs 250 continue and overlap the outer areas of the sleeve 241 , This may, as shown, be flattened on its outer side to a continuous increase in the width of the turns of the coil springs 250 to enable. With a long end 252 Windings of the coil spring lie directly on the sleeve 241 on, and close to the flange 243 , The width of the turns 252 can also be designed as before for the tight turns 251 described. Instead of the outside coil springs 250 It is conceivable that a spring device in the inner opening 242 is arranged, for example, with a radially resilient effect. This can also be a kind of very elastic foam or the like. be, for example in tube or sleeve shape. An electrical contact between Kontaktierrolle 230 and conductor assembly or shaft 232 can in 4 over the turns of the coil springs 250 respectively. In an alternative spring either a freely connected conductor between Kontaktierrad and shaft or conductor arrangement can be provided. Alternatively, it can be in the inner opening 242 introduced spring device to be electrically conductive, for example, consist of an electrically conductive plastic.

Um die Kontaktierrolle 230 von der Oberseite der Substrate 216 abzuheben, ist eine Verschiebeeinrichtung 236 vorgesehen. Diese greift mit einem hakenartigen Abschnitt zumindest von einer Seite, vorzugsweise gegenüberliegend von beiden Seiten, unter den Außenring 245 und kann ein Abheben der Kontaktierrolle 230 von den Substraten 216 bewirken. Anstelle einer dargestellten Verschiebeeinrichtung 236 können auch sonstige Einrichtungen die Kontaktierrolle 230 nach oben ziehen.To the contact roller 230 from the top of the substrates 216 take off, is a displacement device 236 intended. This engages with a hook-like portion at least from one side, preferably opposite from both sides, under the outer ring 245 and may be a lifting of the contact roller 230 from the substrates 216 cause. Instead of a shown displacement device 236 Other devices can be the Kontaktierrolle 230 to pull up.

In der seitlichen Darstellung nach 5 ist zu erkennen, wie in der Behandlungskammer 12 der Galvanisiereinrichtung 11 auch noch Lichtröhren 17 vorgesehen sein können, beispielsweise zur Beleuchtung von Solarmodulen als Substrate 16 zur Verbesserung der Behandlung.In the side view after 5 can be seen as in the treatment chamber 12 the electroplating device 11 also light tubes 17 may be provided, for example for the illumination of solar modules as substrates 16 to improve the treatment.

Durch die dargestellten dicken Pfeile wird in 5 veranschaulicht, wie unter Umständen im Wechsel entlang der Durchlaufrichtung der Substrate 16 einzelne Kontaktierrollen 30 von den Substraten 16 abgehoben werden können. Zur Vereinfachung der Darstellung sind hier lediglich Transportrollen 20 an der Unterseite und Kontaktierrollen 30 an der Oberseite der Substrate 16 dargestellt.Through the illustrated thick arrows is in 5 illustrates, as may be changing along the direction of passage of the substrates 16 individual contact rollers 30 from the substrates 16 can be lifted. To simplify the illustration here are only transport rollers 20 at the bottom and contact rollers 30 at the top of the substrates 16 shown.

So ist es beispielsweise möglich, dass abwechselnd jeweils eine Kontaktierrolle 30 angehoben ist und von einer Beschichtung befreit wird, während die nächste sowie die vorhergehende Kontaktierrolle an den Substraten anliegt zur Beschichtung. Dazu ist eine nicht dargestellte Steuerung vorgesehen, welche über die Verschiebeeinrichtung 36 eine Kontaktierrolle 30 abheben kann. Diese Steuerung bewirkt dann auch jeweils über die Verbindung mit der Leiteranordnung 18 das Umkehren der Polarität der Stromzuführung an die entsprechende Kontaktierrolle 30 zum Entfernen der Beschichtung.Thus, it is possible, for example, that in each case one contact roller alternately 30 is raised and is freed from a coating, while the next and the previous contact roller is applied to the substrates for coating. For this purpose, a control, not shown, is provided, which via the displacement device 36 a contact roller 30 can take off. This control then also causes in each case via the connection with the conductor arrangement 18 reversing the polarity of the power supply to the corresponding contacting roller 30 to remove the coating.

Claims

Device for the treatment of substrates ( 16 . 116 . 216 ), in particular electroplating device ( 11 ) for printed circuit boards or solar modules, on a passageway through a treatment chamber ( 12 ), with a treatment medium, such as an electrolyte solution ( 14 ), with transport means for transporting the substrates through the treatment chamber and with contacting means ( 30 . 30 ' . 130 . 230 ) for electrical contacting to the substrates, wherein the transport means at least one rotating shaft ( 22 . 22 ' 122 . 222 ), on the transport wheels ( 20 . 20 ' . 120 . 120 ' ) are arranged for transport of the substrates and wherein the contacting means ( 30 . 30 ' . 130 . 230 ) are arranged and mounted on the shaft and have a circular or ring-like outer side for contacting the substrates ( 16 . 116 . 216 ) by attachment, characterized in that the bearing is formed such that the outer side relative to the central axis of the shaft in the contacting operation can be moved or deflected in the radial direction for lifting the outside of the substrates.

Device according to claim 1, characterized in that the outside ( 245 ) is a circular ring, preferably with a wide outer surface.

Device according to claim 1 or 2, characterized in that the outside ( 245 ) is dimensionally stable and preferably has a continuous contact surface or metal surface, in particular with a continuous metal ring.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the shaft ( 222 ) is formed rigid and continuous, wherein a contacting agent ( 230 ) or its outside ( 245 ) are mounted so movably on the shaft that they are radially deflectable for lifting the outside ( 245 ) of the substrates ( 216 ) at a constant position of the shaft ( 222 ).

Device according to claim 4, characterized in that the storage of the contacting ( 230 ) or the outside ( 245 ) on the shaft ( 222 ' ) is resilient with a basic position in which the shaft and outer side are concentric with each other, wherein in the deflected position the concentricity is canceled and the outside of the substrate ( 216 ) is lifted off.

Device according to claim 5, characterized in that on the contacting means ( 230 ), especially on the outside ( 245 ), a displacement device ( 236 ) is engaged, preferably with permanent engagement, which is displaceable for moving the contacting agent away from the surface of the substrates ( 216 ).

Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that a in the region of the contacting ( 30 . 30 ' . 130 ) or the outer shaft portion ( 32 . 32 ' . 132 ) movable with the rest of the shaft ( 22 . 22 ' . 122 ), in particular with the rest of the shaft in the field of transport ( 20 . 20 ' . 120 ), wherein the movable shaft section ( 32 . 32 ' . 132 ) by a torque transmitting joint ( 38 . 38 ' . 138 ) with the rest of the wave ( 22 . 22 ' . 122 ) is connected to move the movable shaft portion away from the substrates ( 16 . 116 ) in case of further concern of the means of transport ( 20 . 20 ' . 120 ) on the substrates so that the various wave sections ( 22 . 22 ' . 32 . 32 ' . 132 . 132 ' ) are no longer aligned with their longitudinal central axes.

Device according to claim 7, characterized in that the joint is a universal joint ( 38 ) is for parallel displacement of the movable shaft section ( 32 . 32 ' ) away from the substrates ( 16 ).

Device according to claim 7 or 8, characterized in that the movable shaft section ( 32 . 32 ' . 132 ) in a mobile storage ( 34 . 34 ' . 134 ) is stored, which with a traversing device ( 36 . 36 ' . 136 ) can be moved to move the shaft portion.

Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the entire shaft including means of transport and Contacting means is formed liftable from the substrates.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the movable contacting means ( 30 . 30 ' . 130 . 230 ) along a wave ( 22 . 22 ' . 32 . 32 ' . 122 . 132 . 222 ) are provided only once, preferably at an end region of the shaft or an edge region or an outer surface of the substrates ( 16 . 116 . 216 ) seen in the direction of the continuous path.

Device according to claim 11, characterized in that at one end of the shaft ( 22 . 22 ' ) a drive ( 28 ) is provided, preferably at an outside of the treatment chamber ( 12 ) reaching end of the shaft, wherein at the other end of the shaft, the movable contacting means ( 30 . 30 ' ) are provided.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means of transport ( 20 . 20 ' . 120 ) are electrically insulating without electrical contacting to the substrates ( 16 . 116 . 216 ), and preferably made of plastic.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that a plurality of shafts ( 22 . 22 ' . 32 . 32 ' . 122 . 132 . 222 ) with means of transport ( 20 . 20 ' . 120 ) and contacting agents ( 30 . 30 ' . 130 . 230 ) are arranged so close to each other in succession in the direction of the passage path, that one of the waves or shaft sections can be lifted without interrupting the contacting and / or the transport drive.

Method for detaching galvanically deposited metal coatings on all-round contacting means or contacting rollers ( 30 . 30 ' . 130 . 230 ) in an electroplating device ( 11 ), wherein in normal contact operation, the contacting rollers on substrates to be coated ( 16 . 116 . 216 ) are electrically contacting and for removing the coating from the contacting at least one contacting agent is lifted off the substrates and with current ( 13 ) of opposite polarity, and with a device ( 11 ) is carried out according to one of the preceding claims.