DE102005032040A1 - Verteileranordnung zum Verteilen kleiner Fluidvolumina - Google Patents

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure

Abstract

Eine Verteileranordnung zum wahlweisen Verbinden mindestens eines Einlasskanals (22, 28) mit mindestens einem Auslasskanal (28, 22) zum Verteilen kleiner Fluidvolumina umfasst zwei aufeinander liegende Fluidleitschichten (10, 14), in denen jeweils der mindestens eine Einlasskanal (22, 28) bzw. der mindestens eine Auslasskanal (28, 22) so ausgebildet ist, dass sich die Kanäle (22, 28) der beiden Fluidleitschichten (10, 14) beim Aufeinanderlegen derselben in zumindest einem Verbindungsbereich überdecken und in dem Verbindungsbereich an der der jeweils anderen Fluidleitschicht zugekehrten Schichtoberfläche münden, wobei eine der Fluidleitschichten in dem jeweiligen Verbindungsbereich eine die Fluidschicht (14) durchsetzende Durchbrechung (30) hat, eine an der die Durchbrechung (30) aufweisenden Fluidleitschicht (16) auf ihrer der anderen Fluidleitschicht abgewandten Schichtoberfläche anliegende flexible Membran (16), und eine die Membran (16) gegen die Fluidleitschicht (14) spannende Aktuatorschicht (18), in der mindestens ein Steuerkanal (34) für ein Druckfluid ausgebildet ist, der in Flucht mit mindestens einer Durchbrechung (30) in der einen Fluidleitschicht (14) zu der Membranoberfläche geführt ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Verteileranordnung zum wahlweisen Verbinden mindestens eines Einlasskanals mit mindestens einem Auslasskanal zum Verteilen kleiner Fluidvolumina.
  • In analytischen Systemen stellt sich oft die Aufgabe, kleine Volumina von Fluiden wie Proben, Reagenzien oder Spülmedien in matrixartigen Strukturen zu verteilen. Hierzu sind bei den herkömmlichen Strukturen Ventile notwendig, um die verschiedenen Verteilwege freizugeben oder zu schließen. Eine solche Struktur ist beispielsweise eine Sammelleitung, an die über Ankoppelstellen verschiedene nach außen führende Zu- und Ableitungen gekoppelt werden, um die verschiedenen Wege zu realisieren.
  • Solche Strukturen werden bisher in der Regel mit Schlauchsystemen realisiert, die aus mit Formstücken (T-Stücke, Kreuzstücke etc.) verbundenen Schlauchabschnitten bestehen. Die Ventile werden meist mit Hilfe von Stempeln gebildet, welche die Schlauchabschnitte an vorgesehenen Stellen abdrücken können.
  • Diese Ausführungen haben deutliche Nachteile und Schwachstellen. Der Materialeinsatz sowie der Aufwand für den Zusammenbau der Systeme sind sehr hoch. Die auftretende Materialermüdung an den Abdruckstellen der Schläuche erfordert ein regelmäßiges Austauschen derselben. Das Miniaturisierungspotential ist nur gering. Je nach Schlauchquerschnitt werden beim Schaltvorgang erhebliche Volumina verschoben bzw. verdrängt. Beim Einsatz von elektromagnetisch betätigten Stempeln ist eine Geräusch- und Wärmeentwicklung unvermeidbar. Elektromotorisch betätigte Stempel erhöhen den Material- und Ansteueraufwand beträchtlich. Die Schaltzeiten der Ventile können nicht beliebig verkürzt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Verteileranordnung der eingangs genannten Art anzugeben, mit der unter Vermeidung der vorstehend genannten Nachteile mit einem geringen apparativen und betrieblichen Aufwand auch kleinste Fluidvolumina zuverlässig auf unterschiedliche Wege verteilt werden können.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Verteileranordnung der vorstehend genannten Art umfassend zwei aufeinander liegende Fluidleitschichten, in denen jeweils der mindestens eine Einlasskanal bzw. der mindestens eine Auslasskanal so ausgebildet ist, dass sich die Kanäle der beiden Fluidschichten beim Aufeinanderlegen derselben in zumindest einem Verbindungsbereich überdecken und in dem Verbindungsbereich an der der jeweils anderen Fluidleitschicht zugekehrten Schichtoberfläche münden, wobei eine der Fluidleitschichten in dem jeweiligen Verbindungsbereich eine die Fluidleitschicht durchsetzende Durchbrechung hat, eine an der die Durchbrechung aufweisenden Fluidleitschicht auf ihrer der anderen Fluidleitschicht abgewandten Schichtoberfläche anliegende flexible Membran, und eine die Membran gegen die Fluidleitschicht spannende Aktuatorschicht, in der mindestens ein Steuerkanal für ein Druckfluid ausgebildet ist, der in Flucht mit mindestens einer Durchbrechung in der einen Fluidleitschicht zu der Membranoberfläche geführt ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Lösung kann die Verbindung zwischen den in den Fluidleitschichten ausgebildeten Kanälen in dem jeweiligen Verbindungsbereich durch die flexible Membran unterbrochen werden, die durch das Druckfluid durch die Durchbrechung der einen Fluidschicht hindurch gegen die Mündungsöffnung des in der anderen Fluidschicht ausgebildeten Kanals gedrückt werden kann. Diese Lösung hat den Vorteil, dass außer der flexiblen Membran keine bewegten Teile in den Leitungskreislauf für das zu verteilende Fluid ragen. Der Kreis für das die Membranen betätigende Druckfluid ist vollständig und zuverlässig von dem Leitungskreis für das zu verteilende Fluid getrennt. Die Entstehung von Totvolumina in dem Leitungskreis kann weitgehend vermieden werden. Die Zufuhr des Druckfluides, beispielsweise Druckluft kann über sehr kleine beispielsweise elektromagnetisch betriebene Ventile geschaltet werden. Die Verteileranordnung hat dann neben den Anschlüssen für das zu verteilende Fluid selbst nur eine Druckluftzuführung und elektrische Kontakte. Durch die Verstärkerfunktion der Druckluft genügen sehr leistungsschwache und kleine Ventile mit geringer Durchflussrate. Anstelle der elektromagnetischen Ventile können auch nach dem piezoelektrischen Prinzip arbeitende Ventile eingesetzt werden. Wegen des geringen Druckluftbedarfes genügen auch hier kleinste Durchlassquerschnitte.
  • Vorzugsweise sind die Kanäle in den Fluidleitschichten in Form offener Rillen ausgebildet und durch eine Trennmaske abgedeckt, die jeweils im Verbindungsbereich eine Durchbrechung hat. Es genügt dabei eine Trennmaske, die zwischen den beiden Fluidleitschichten eingespannt ist. Diese Lösung erleichtert die Herstellung der Fluidleitschichten, da die Kanäle nicht gebohrt werden müssen und daher auch einen beliebigen Verlauf nehmen können, so lange sie sich nicht kreuzen.
  • Es können aber auch sich kreuzende Leitungen in den Fluidleitschichten ausgebildet werden, in dem in einer der Fluidleitschicht Kanalabschnitte ausgebildet sind, die durch einen in der jeweils anderen Fluidleitschicht ausgebildeten Kanalabschnitt über steuerbare oder nicht steuerbare Verbindungsbereiche verbindbar sind. Auf diese Weise kann beispielsweise ein in einer Fluidleitschicht ausgebildeter Kanal durch den Umweg über die andere Fluidleitschicht „untertunnelt" werden.
  • Die Membran besteht vorzugsweise aus einem Elastomer wie beispielsweise Silikon. Die Fluidleitschichten und die Aktuatorschicht können aus Kunststoff, beispielsweise im Spritzgussverfahren auf einfache Weise hergestellt werden, ohne dass ein anschließendes Bohren oder Nachbearbeiten erforderlich ist.
  • Die erfindungsgemäße Verteileranordnung erfordert einen gegenüber herkömmlichen Lösungen wesentlich reduzierten Materialaufwand. Die Herstellung kann weitgehend automatisiert werden. Verbindungsstellen mit Zufluss- und Abflussleitungen sind nur an der Peripherie der Verteileranordnung vorgesehen. Wie vorstehend beschrieben wurde, können auch komplexe zweilagige Topologien von Kanälen einfach realisiert werden, in dem man die Kanäle durch die Trennmaske in die jeweils andere Fluidleitschicht umleiten kann. Bei entsprechender Gestaltung der Kanäle können diese effektiv mit minimaler Restkontamination gespült werden. Mehrere gleichschaltende Ventile können bequem über einen einzigen Steuerkanal betätigt werden. Eine mögliche Materialermüdung beschränkt sich auf die flexible Membran, wobei auch hier die Gefahr einer Materialermüdung wegen der geringen Hubhöhe und damit der geringen Dehnung der Membran gering ist. Da die Gesamthöhe der aufeinander liegenden Schichten relativ klein gehalten werden kann, kann die gesamte Verteileranordnung bei Bedarf auch leicht temperiert werden.
  • Die folgende Beschreibung erläutert in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles. Es zeigen:
  • 1 eine schematische perspektivische Explosionsdarstellung der die erfindungsgemäße Verteileranordnung bildenden Schichten und Lagen,
  • 2 einen schematischen Querschnitt durch die erfindungsgemäße Verteileranordnung im Bereich einer Verbindungsstelle zwischen den Kanälen der Fluidleitschichten,
  • 3 einen der 2 entsprechenden Schnitt an einer anderen Stelle der Verteileranordnung,
  • 4 eine schematische Darstellung des Kanalschemas einer erfindungsgemäßen Verteileranordnung mit Verbindungsstellen und Anschlussstellen,
  • 5 einen der 2 entsprechenden Schnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform der Erfindung und
  • 6 einen der 2 entsprechenden Schnitt durch eine weitere Ausführungsform der Erfindung.
  • Die erfindungsgemäße Verteileranordnung besteht gemäß 1 im wesentlichen aus einer Anzahl von Schichten oder Platten, die in der Reihenfolge ihrer Aufzählung übereinander gelegt werden:
    eine erste Fluidleitschicht- oder platte 10,
    eine Trennschicht oder Trennmaske 12,
    eine zweite Fluidleitschicht 14,
    eine elastische Membran 16 und
    eine Aktuatorschicht 18.
  • In der der Trennmaske 12 zugewandten Oberfläche 20 der ersten Fluidleitschicht 10 ist ein Kanal 22 in Form einer offenen Rille ausgebildet, der sich von einem Rand der Fluidleitschicht 10 zu einem flach gewölbten offenen Dom 24 erstreckt. In der der Trennmaske 12 zugewandten Oberfläche 26 der zweiten Fluidleitschicht 14 ist ein Kanal 28 in Form einer offenen Rille ausgebildet, die sich von einem Rand der zweiten Fluidleitschicht 14 bis zu einer in dieser ausgebildeten kreisförmigen Durchbrechung 30 erstreckt. Die Anordnung ist so getroffen, dass sich beim übereinander legen der Fluidleitschichten 10 und 14 sowie der zwischen ihnen eingeschlossenen Trennmaske 12 der Dom 24 und die Durchbrechung 30 überdecken. Dies stellt den Verbindungsbereich für die Kanäle 22 und 28 dar. Um sie physisch miteinander zu verbinden, so dass Fluid von einem Kanal in den anderen übertreten kann, ist in der Trennmaske 12 in dem Verbindungsbereich eine Durchbrechung oder Öffnung 32 ausgebildet.
  • In der der Membran 16 zugewandten Oberfläche der Aktuatorschicht 18 ist ein Kanal 34 in Form einer offenen Rille ausgebildet, der von einem Rand der Aktuatorplatte 18 zu einem flach gewölbten Dom 36 führt, der beim aufeinander legen der Schichten oder Platten 10 bis 18 mit der Durchbrechung 30 und dem Dom 24 fluchtet. Dieser Kanal 34 dient zum Zuführen eines Druckfluides, beispielsweise Druckluft, um den über dem Dom 36 liegenden Abschnitt der Membran 16 durch die Durchbrechung 30 in der zweiten Fluidleitschicht 14 hindurch gegen die Trennmaske 12 zu drücken, wodurch die Durchbrechung 32 in der Trennmaske 12 verschlossen wird.
  • Diese Situation ist in 2 dargestellt, welche einen Schnitt durch die zusammengebaute Verteileranordnung entlang den Kanälen 22, 28 und 34 zeigt. Man erkennt, wie durch die über den Kanal 34 zugeführte Druckluft die Membran 16 sich durch die Durchbrechung 30 wölbt und bis in die Durchbrechung 32 der Trennmaske 12 hinein ragt und diese verschließt. Damit ist die Verbindung zwischen den Kanälen 28 und 22 unterbrochen. Wird der Druckluftkanal 34 belüftet, kehrt die Membran 16 aufgrund der Elastizität ihres Materials in die gestreckte Lage zurück, wodurch die Kanäle 28 und 22 über die Durchbrechung 32 in der Trennmaske 12 miteinander verbunden werden.
  • Die Kanäle 22 und 28 können grundsätzlich beliebig ausgerichtet sein, solange sie sich in einem Verbindungsbereich überdecken. Es kann ein Kanal in der einen Fluidleitschicht über mehrere Verbindungsbereiche mit einer Mehrzahl von Kanälen in der anderen Fluidleitschicht verbunden sein oder es können in beiden Fluidleitschichten jeweils mehrere Kanäle ausgebildet sein, wie dies anhand der 4 noch erläutert wird.
  • 3 zeigt in einem der 2 entsprechenden Schnitt eine Möglichkeit, komplexere Kanalstrukturen aufzubauen, bei denen sich Kanäle kreuzen, ohne sich zu berühren oder zu schneiden. Man erkennt in 3 einen quer zu seiner Längsrichtung geschnittenen Kanal 38 und zwei in ihrer Längsrichtung geschnittene Kanalabschnitte 40, die in der ersten Fluidleitschicht 10 ausgebildet sind. Die beiden Kanalabschnitte 40 können in der ersten Fluidleitschicht nicht miteinander verbunden werden, ohne den Kanal 38 zu schneiden. Um eine kreuzungsfreie Verbindung der Kanalabschnitte 40 zu ermöglichen, ist ihnen ein Verbindungskanal 42 zugeordnet, der in der zweiten Fluidleitschicht 14 ausgebildet ist und über entsprechende Durchbrechungen 32 in der Trennmaske 12 die beiden einander zugekehrten Enden der Kanalabschnitte 40 miteinander verbindet. Der Kanal 40 wird mit Hilfe des Verbindungskanalabschnittes 42 auf diese Weise unter dem Kanal 38 hindurch geführt. Bei der in der 3 dargestellten Ausführungsform handelt es sich um eine permanente Verbindung der beiden Kanalabschnitte 40 durch den Verbindungskanalabschnitt 42. Es bestünde jedoch auch die Möglichkeit, die Verbindungsstellen zwischen den Kanalabschnitten 40 und dem Verbindungskanalabschnitt 42 in der gleichen Weise auszubilden, wie dies anhand der 1 und 2 für die Verbindungsstelle zwischen den Kanälen 22 und 28 erläutert wurde, so dass die Verbindung zwischen den Kanalabschnitten 40 wahlweise geschlossen oder geöffnet werden kann.
  • 4 zeigt in schematischer Weise das Schaltbild einer Verteileranordnung mit einer komplexeren Matrix von Kanälen, wobei die Kanäle grundsätzlich in beiden Richtungen durchströmt werden können. Dabei bezeichnen die strichpunktierten Linien die in der Fluidleitschicht 10 ausgebildeten Kanäle und Kanalabschnitte. Die in der zweiten Fluidleitschicht 14 ausgebildeten Kanäle und Kanalabschnitte sind durch Strichfolgen angegeben. Die Kreise bezeichnen steuerbare Verbindungsstellen mit einer Durchbrechung in der Trennmaske 12 und die durchgezogenen Linien zeigen Steuerkanäle für die Zufuhr von Druckfluid zu den jeweiligen Verbindungsbereichen. Die Aus- und Einlässe für die jeweiligen Kanäle liegen an der Peripherie der Verteileranordnung, wo entsprechende Schläuche oder Zuleitungen angeschlossen werden können.
  • Die für die Steuerung des Fluidflusses zu oder von der Verteileranordnung erforderlichen nicht dargestellten Ventile können auch als separate Baugruppe realisiert werden, die mit der Verteileranordnung oder Matrix-Baugruppe durch ein Array von sehr dünnen Schläuchen verbunden ist. Damit können elektrische Störungen, Wärmeeintrag und akustische Abstrahlungen von der Verteileranordnung fern gehalten werden.
  • Die Kanaltopologien in den drei Hauptschichten, nämlich den beiden Fluidleitschichten 10, 12 und der Aktuatorschicht 18 müssen zunächst, wie bereits beschrieben wurde, jeweils kreuzungsfrei sein. Es ist jedoch auch möglich, wie dies anhand der 3 erläutert wurde, ähnlich wie bei elektrischen Leiterplatten „Durchkontaktierungen" von einer Fluidleitschicht in die andere Fluidleitschicht zu realisieren. Dazu muss die Trennmaske an den entsprechenden Stellen Durchbrechungen haben, wobei in der der Membran nahen Fluidleitschicht anstelle der Durchbrechung 30 nur ein nach unten geschlossener Dom ausgebildet ist. Auf diese Weise können praktisch beliebig gestaltete Topologien realisiert werden.
  • Die Fluidleitschichten, die Trennmaske und die Aktuatorschicht sind, wie dies oben bereits beschrieben wurde, vorzugsweise aus einem Kunststoff, beispielsweise Polycarbonat, hergestellt. Die Fluidleitschichten können auch zumindest teilweise aus transparentem Material gefertigt sein. Dies ermöglicht es, an bestimmten Stellen der Flüssigkeitskanäle optische Sensoren anzubringen. Zum elektrischen Anschluss dieser Sensoren kann die Trennmaske selbst als mit Leiterbahnen versehene gedruckte Schaltung ausgeführt sein, wobei die Sensoren als oberflächenmontierbare Bauteile auf die Trennmaske aufgelötet werden. Alternativ hierzu sind auch kapazitive Sensoren denkbar.
  • In ähnlicher Weise kann die als gedruckte Schaltung ausgeführte Trennmaske verschiedene zum Erfassen chemischer oder physikalischer Größen bestimmte Sensoren tragen, die unterschiedliche Analysen der in den Flüssigkeitskanälen befindlichen Substanzen ausführen.
  • Da die erfindungsgemäße Verteileranordnung als in sich geschlossene Baugruppe einfach und preiswert herzustellen ist, kann sie auch bequem als ganzes ausgetauscht werden, wenn dies erforderlich sein sollte.
  • Die in der 5 dargestellte Ausführungsform der Erfindung unterscheidet sich in ihrem grundsätzlichen Aufbau nicht von der in der 2 dargestellten Ausführungsform. Gleiche Teile sind daher auch wieder mit gleichen Bezugszeichen versehen. Bei der Ausführungsform nach 5 sind die von zwei Verbindungsbereichen ausgehenden Kanäle 28 über eine weitere Durchbrechung 30 miteinander verbunden. Der Durchbrechung 30 in der Mitte zwischen den beiden Verbindungsbereichen ist ebenfalls ein Steuerkanal oder Druckluftkanal 34 zugeordnet. Die Trennmaske 12 hat oberhalb dieser mittleren Durchbrechung 30 aber keine Durchbrechung 32.
  • Mit der in der 5 dargestellten Anordnung kann eine dosierende Pumpwirkung erzielt werden. Wird die Membran 16 unter der mittleren Durchbrechung 30 mit Druck beaufschlagt, so wölbt sie sich in den Hohlraum der Durchbrechung 30 hinein, wie dies in 5 dargestellt ist. Dadurch verdrängt die Membran die in dem Hohlraum 30 vorhandene Flüssigkeit in dem dargestellten Ausführungsbeispiel nach links, da hier der Flüssigkeitsweg durch die Öffnung 32 zu dem Kanal 22 des linken Verbindungsbereiches freigegeben ist. Nachdem diese Verdrängung abgeschlossen ist, wird der als Abflusskanal genutzte Kanal 22 geschlossen, indem die Öffnung 32 in dem linken Verbindungsbereich durch die Beaufschlagung der Membran 16 mit Druckluft geschlossen wird. Dann wird der in der 5 rechte Verbindungsbereich durch die Entlastung der Membran geöffnet und danach die Membran 16 in der mittleren Durchbrechung 30 ebenfalls entlastet, so dass sie in ihren gestreckten Zustand zurückkehrt. Durch die dadurch bewirkte Volumenvergrößerung in der Durchbrechung 30 wird Flüssigkeit durch den rechten Kanal 22, die Öffnung 32 und die Durchbrechung 30 des rechten Verbindungsbereiches sowie durch den von diesem ausgehenden Kanal 28 angesaugt. Ein neuer Pumpzyklus kann beginnen. Durch unterschiedliche Durchmesser oder Abmessungen der als Pumpenkammer wirkenden mittleren Durchbrechungen 30 kann das Dosiervolumen der Pumpe in gewissem Umfange dimensioniert werden.
  • Die in der 5 dargestellte Ausführungsform bietet auch die Möglichkeit, die gesamte Anordnung für den einmaligen oder kurzzeitigen Gebrauch zu konzipieren. In diesem Fall wird die mittlere Durchbrechung 30 in Verbindung mit einer belüfteten Steuerleitung 34 als Reservoir für Reagenzien benutzt. Die beim Füllen entstehende Auswölbung der Membranschicht nach unten kann dabei ein gewisses Volumen an Reagenz unter einem Vordruck aufnehmen. Durch Zuführen von Druckmedium zu dem Steuerkanal 34 kann dieses vorher gespeicherte Reagenz dann einer bestimmten Verwendung zugeführt werden.
  • 6 schließlich zeigt eine Ausführungsform, die bei geringen Ansprüchen an die Schaltgeschwindigkeit der Anordnung genutzt werden kann. Hierzu entfällt die an eine äußere Druckmittelquelle anschließbare Steuerleitung. Stattdessen ist lediglich ein abgeschlossener Hohlraum 44 unterhalb der jeweiligen Durchbrechung 30 und der sie nach unten abdichtenden Membran 16 ausgebildet. Dieser Hohlraum ist mit einer geeigneten Flüssigkeit, wie z. B. Alkohol, gefüllt, die bei einer mäßigen Erwärmung rasch verdampft und dadurch einen Druck erzeugt, der die Membran gegen die Durchbrechung in der Trennmaske 12 presst. Zum Zuführen der Verdampfungswärme dient ein Heizelement 46, das in die Aktuatorschicht 18 unterhalb des Hohlraums 44 eingebettet ist.

Claims (13)

  1. Verteileranordnung zum wahlweisen Verbinden mindestens eines Einlasskanals (22, 28) mit mindestens einem Auslasskanal (28, 22) zum Verteilen kleiner Fluidvolumina, gekennzeichnet durch zwei aufeinander liegende Fluidleitschichten (10, 14), in denen jeweils der mindestens eine Einlasskanal (22, 28) bzw. der mindestens eine Auslasskanal (28, 22) so ausgebildet ist, dass sich die Kanäle (22, 28) der beiden Fluidleitschichten (10, 14) beim Aufeinanderlegen derselben in zumindest einem Verbindungsbereich überdecken und in dem Verbindungsbereich an der der jeweils anderen Fluidleitschicht zugekehrten Schichtoberfläche (20, 26) münden, wobei eine der Fluidleitschichten in dem jeweiligen Verbindungsbereich eine die Fluidleitschicht (14) durchsetzende Durchbrechung (30) hat, eine an der die Durchbrechung (30) aufweisenden Fluidleitschicht (16) auf ihrer der anderen Fluidleitschicht abgewandten Schichtoberfläche anliegende flexible Membran (16), und eine die Membran (16) gegen die Fluidleitschicht (14) spannende Aktuatorschicht (18), in der mindestens ein Steuerkanal (34) für ein Druckfluid ausgebildet ist, der in Flucht mit mindestens einer Durchbrechung (30) in der einen Fluidleitschicht (14) zu der Membranoberfläche geführt ist.
  2. Verteileranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanäle (22, 28) in den Fluidleitschichten (10, 14) in Form offener Rillen ausgebildet und durch eine Trennmaske (12) abgedeckt sind, die jeweils im Verbindungsbereich eine Durchbrechung (32) hat.
  3. Verteileranordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine die rillenförmigen Kanäle (22, 28) in beiden Fluidleitschichten (10, 14) abdeckende Trennmaske (12) zwischen den Fluidleitschichten (10, 14) eingespannt ist.
  4. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass in einer der Fluidleitschichten Kanalabschnitte (40) ausgebildet sind, die durch einen in der jeweils anderen Fluidleitschicht ausgebildeten Kanalabschnitt (42) über steuerbare oder nicht steuerbare Verbindungsbereiche verbindbar sind.
  5. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (16) aus einem Elastomer besteht.
  6. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidleitschichten (10, 14) und die Aktuatorschicht (16) aus Kunststoff hergestellt sind.
  7. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Fluidleitschichten (10, 14) aus einem transparenten Material besteht.
  8. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennmaske (12) als Leiterplatte ausgebildet ist.
  9. Verteileranordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Leiterplatte mindestens ein Sensor zum Erfassen von physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften eines die Kanäle (22, 28) durchströmenden Fluids verbunden ist.
  10. Verteileranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass in der der Membran (16) benachbarten Fluidleitschicht (14) mindestens ein Kanal (28, 28) ausgebildet ist, der die Durchbrechungen (30) zweier durch die Membran (16) steuerbarer Verbindungsbereiche miteinander verbindet und der durch eine zur Membran (16) hin offene Aussparung (30) in der der Membran benachbarten Fluidleitschicht (14) unterbrochen ist, wobei dieser Aussparung ein Steuerkanal (34) in der Aktuatorschicht (18) zugeordnet ist.
  11. Verteileranordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung (30) in Form und Abmessung der Durchbrechung (30) eines Verbindungsbereiches entspricht.
  12. Verteileranordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung ein von den Durchbrechungen (30) eines Verbindungsbereiches verschiedenes Volumen hat.
  13. Verteileranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerkanäle als abgeschlossene Hohlräume (44) in der Aktuatorschicht (18) ausgebildet und mit einem leicht verdampfenden Medium gefüllt sind und dass jedem Hohlraum (44) ein einzeln betätigbares Heizelement (46) zugeordnet ist.
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