DE102005014657A1 - Ceramic heating element for sensor has resistive or conductive strip having intermetallic connection, between electrically isolating materials - Google Patents

Ceramic heating element for sensor has resistive or conductive strip having intermetallic connection, between electrically isolating materials Download PDF

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Abstract

A resistive/conductive strip (14) comprising partly of ceramic is located between electrically isolating materials (12a, 12b). The resistive/conductive strip is an intermetallic connection comprising aluminum and another metal such as ruthenium, iron, nickel, palladium or cobalt. The intermetallic connection is coated with platinum, gold or silver.

Description

Die Erfindung betrifft ein keramisches Heizelement und dessen Verwendung nach dem Oberbegriff der unabhängigen Ansprüche.The The invention relates to a ceramic heating element and its use according to the generic term of the independent Claims.

Stand der TechnikState of technology

Es sind keramische Sensorelemente zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in Abgasen von Verbrennungsmotoren bekannt, die aus einem planaren Festelektrolytkörper gebildet sind und elektrochemische Pump- und/oder Nernstzellen aufweisen können.It are ceramic sensor elements for determining the oxygen concentration known in exhaust gases of internal combustion engines, consisting of a planar Solid electrolyte body are formed and have electrochemical pumping and / or Nernstzellen can.

Da keramische Festelektrolytmaterialien erst bei höheren Temperaturen eine ausreichende Ionenleitfähigkeit aufweisen, umfasst ein derartiges Sensorelement weiterhin ein keramisches Heizelement in Form einer zwischen keramischen Isolationsschichten ausgebildeten Widerstandsleiterbahn. Dieses dient der Beheizung des Sensorelementes auf eine Betriebstemperatur von beispielsweise 750 bis 800°C.There ceramic solid electrolyte materials only at higher temperatures sufficient ion conductivity Such a sensor element furthermore comprises a ceramic Heating element in the form of a between ceramic insulation layers trained resistance track. This serves for heating the sensor element to an operating temperature of, for example 750 to 800 ° C.

Aus der DE 198 34 276 A1 ist ein Sensorelement bekannt, dessen Heizeinrichtung zwischen Festelektrolytschichten des Sensorelementes angeordnet ist und eine von einer elektrischen Isolation umgebene Widerstandleiterbahn umfasst. Die Isolation besteht im wesentlichen aus Aluminiumoxid. Durch die Isolation wird die Widerstandsleiterbahn gegenüber den Festelektrolytschichten bzw. den Messelektroden des Sensorelementes sowohl bezüglich einer möglichen Elektronen- als auch gegenüber einer Ionenleitung abgeschirmt, sodass durch den Betrieb der Heizeinrichtung die Funktion des Sensorelementes nicht beeinträchtigt wird. Die Widerstandleiterbahn besteht aus Platin. das in Form eines Platin-Cermets eingesetzt wird.From the DE 198 34 276 A1 a sensor element is known, the heating device is arranged between the solid electrolyte layers of the sensor element and comprises a surrounded by an electrical insulation resistance trace. The insulation consists essentially of alumina. As a result of the insulation, the resistance conductor track is shielded from the solid electrolyte layers or the measuring electrodes of the sensor element both with respect to a possible electron conduction and to an ion conduction, so that the operation of the heating device does not adversely affect the function of the sensor element. The resistance track is made of platinum. which is used in the form of a platinum cermet.

Es sind bisher kaum alternative Materialien zum Aufbau der Widerstandleiterbahn bekannt, da die Widerstandsleiterbahn auch bei den üblichen Betriebstemperaturen des Sensorelementes von über 700°C keine ausgeprägte Oxidation zeigen darf.It So far, there are hardly any alternative materials to build up the resistance trace known, since the resistance track also in the usual Operating temperatures of the sensor element of over 700 ° C no pronounced oxidation may show.

Ein möglicher Ausweg besteht darin, Legierungen edler Platingruppenmetalle mit unedlen Platingruppenmetallen zu verwenden. Dabei wird zwar eine ausreichende Oxidationsbeständigkeit der Widerstandsleiterbahn erreicht; der dabei auftretende Legierungseffekt in Form eines sich erhöhenden spezifischen Widerstandes bzw. einer Reduzierung des Temperaturkoeffizienten der Widerstandsleiterbahn erschwert jedoch die technische Umsetzung. So kann die Widerstandsleiterbahn nur in einer bestimmten, herstellungsbedingten Maximalstärke ausgeführt werden, sodass der angestrebte, relativ geringe Gesamtwiderstand des Heizelementes kaum zu realisieren ist.One potential A way out is to use alloys of noble platinum group metals to use non-noble platinum group metals. This is indeed a sufficient oxidation resistance reaches the resistance track; the occurring alloying effect in the form of an increasing resistivity or a reduction of the temperature coefficient However, the resistance ladder makes the technical implementation difficult. Thus, the resistance track can only in a certain, production-related maximum strength accomplished so that the desired, relatively low total resistance of the heating element is difficult to realize.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Heizelement bereitzustellen, das eine gute Langzeitbeständigkeit zeigt und dennoch einfach und kostengünstig hergestellt werden kann.task the present invention is to provide a heating element, this is a good long-term stability shows and yet can be easily and inexpensively manufactured.

Vorteile der ErfindungAdvantages of invention

Das erfindungsgemäße Heizelement mit den kennzeichnenden Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1 löst in vorteilhafter Weise die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe.The heating element according to the invention with the characterizing features of independent claim 1 solves in an advantageous Way the task underlying the invention.

Das Heizelement weist dabei eine Widerstandsleiterbahn auf, die aufgrund ihrer Materialzusammensetzung eine gute Beständigkeit im Dauerbetrieb zeigt und dennoch verhältnismäßig preisgünstig ausgeführt werden kann. Dies wird erreicht, indem die Widerstandsleiterbahn mindestens eine Verbindung enthält, die bei Kontakt mit Sauerstoff unter Betriebsbedingungen des Heizelementes eine dünne Oxidschicht bildet, die eine geringe Sauerstoff-Diffusionskonstante aufweist. Die sich ausbildende Oxidschicht verhindert ein Eindringen von Sauerstoff in innere Materialbereiche der Widerstandsleiterbahn des Heizelementes und somit deren Oxidation. Auf diese Weise kann ein wirkungsvoller Oxidationsschutz des Materials der Widerstandsleiterbahn erreicht werden.The Heating element has a resistor track, due to their material composition shows a good resistance in continuous operation and yet be carried out relatively inexpensively can. This is achieved by making the resistor trace at least contains a compound when in contact with oxygen under operating conditions of the heating element a thin one Oxide layer forms, which has a low oxygen diffusion constant having. The forming oxide layer prevents penetration of oxygen in inner material areas of the resistance track of the heating element and thus their oxidation. This way you can an effective oxidation protection of the material of the resistance track be achieved.

Sollte es während des Betriebs des Heizelementes, beispielsweise durch Wärmeausdehnung der Widerstandsleiterbahn, zu einem Aufbrechen der Oxidschicht kommen, so tritt an der Rissstelle erneut ein Oxidationsprozess ein, der zu einem Schließen der Oxidschutzschicht führt. Die Oxidschutzschicht ist somit selbstregenerierend.Should it while the operation of the heating element, for example by thermal expansion of the Resistor track, breaking the oxide layer, Thus, an oxidation process occurs again at the fracture site to a closing the Oxide protective layer leads. The oxide protective layer is thus self-regenerating.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des in Anspruch 1 angegebenen Sensorelements möglich.By in the subclaims listed activities are advantageous developments and improvements to claim 1 specified sensor element possible.

So ist es von Vorteil, wenn die Widerstandsleiterbahn des keramischen Heizelementes eine intermetallische Verbindung des Aluminiums mit mindestens einem weiteren Metall enthält. Dabei werden als intermetallische Verbindung insbesondere Verbindungen des Typs M3Al, MAl oder MAl3 eingesetzt, wobei M für das weitere Metall steht. Der Vorteil einer Verwendung von aluminiumhaltigen intermetallischen Verbindungen besteht darin, dass Aluminium zur Ausbildung von festhaftenden Aluminiumoxidschichten neigt, die nur eine geringe Diffusion von Sauerstoff in tiefere Materialschichten zulassen.Thus, it is advantageous if the resistance track of the ceramic heating element contains an intermetallic compound of the aluminum with at least one further metal. Here are used as intermetallic compound, in particular compounds of the type M 3 Al, MAI or MAI 3 , where M is the further metal. The advantage of using aluminum-containing intermetallic compounds is that aluminum tends to form adherent alumina layers that allow only a small diffusion of oxygen into deeper layers of material.

Gegenüber dem Einsatz mischkristalliner Verbindungen besteht der Vorteil der Verwendung von intermetallischen Verbindungen darin, dass diese bedingt durch Ordnungseffekte im Atom-Kristallgitter (Legierungseffekt) einen gegenüber Mischkristallen niedrigeren spezifischen Widerstand zeigen. Der elektrische Widerstand der Widerstandsleiterbahn ist vorteilhafterweise nach erfolgter anfänglicher Ausbildung der Oxidschicht über die restliche Lebensdauer des Heizelementes im wesentlichen konstant.Compared to the Use of mixed-crystalline compounds has the advantage of using intermetallic compounds in that these are due to order effects in the atomic crystal lattice (Alloy effect) one opposite Mixed crystals show lower specific resistance. Of the electrical resistance of the resistance track is advantageously after the initial one Formation of the oxide layer over the remaining life of the heating element substantially constant.

Ein weiterer Vorteil der Verwendung aluminiumhaltiger intermetallischer Verbindungen besteht darin, dass sich bei der Ausbildung der oberflächlichen Oxidschicht Aluminiumoxid bildet, das üblicherweise auch zur elektrischen Isolation des Heizelementes verwendet wird. So trägt die sich ausbildende Oxidschicht zum einen zu einer Verbesserung der Isolation des Heizelementes bei und zum anderen bewirkt sie eine verbesserte Anbindung des Materials der Widerstandleiterbahn an das sie umgebende, keramische Isolationsmaterial.One Another advantage of using aluminum-containing intermetallic Compounds is that in the formation of the superficial Oxide layer forms alumina, which is usually also used for electrical Insulation of the heating element is used. So she wears herself forming oxide layer on the one hand to improve the insulation the heating element at and on the other it causes an improved Connection of the material of the resistor track to the surrounding, ceramic Insulation material.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung liegt die intermetallische Verbindung als Partikel in der Widerstandsleiterbahn vor, die oberflächlich mit Platin, Gold oder Silber beschichtet sind, um so eine Oxidation der in der Widerstandsleiterbahn enthaltenen intermetallischen Verbindung bereits während einer in den Herstellungsprozess des Heizelementes integrierten Wärmebehandlung zu verhindern.In a further advantageous embodiment of the present invention Invention is the intermetallic compound as a particle in the resistance track, the superficial with platinum, gold or silver coated so as to cause oxidation in the resistance trace contained intermetallic compound already during a integrated in the manufacturing process of the heating element integrated heat treatment to prevent.

Zeichnungdrawing

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt 1a einen schematischen Querschnitt durch ein Heizelement gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung nach dessen Herstellung und 1b einen schematischen Querschnitt durch das in 1a dargestellte Heizelement nach Ausbildung einer Oxidschutzschicht.An embodiment of the invention is illustrated in the drawing and explained in more detail in the following description. It shows 1a a schematic cross section through a heating element according to an embodiment of the present invention after its preparation and 1b a schematic cross section through the in 1a illustrated heating element after formation of an oxide protective layer.

1a zeigt einen prinzipiellen Aufbau eines Heizelements gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Heizelement 10 weist beispielsweise eine Mehrzahl elektrisch isolierender keramischer Schichten 12a, 12b auf, die der Isolation einer Widerstandsleiterbahn 14 dienen. Dabei sind die keramischen Schichten 12a, 12b beispielsweise aus porösem Aluminiumoxid ausgeführt, insbesondere aus bariumhaltigem Aluminiumoxid. Die keramischen Schichten 12a, 12b werden dabei als keramische Folien ausgeführt und bilden einen planaren keramischen Körper. 1a shows a basic structure of a heating element according to an embodiment of the present invention. The heating element 10 has, for example, a plurality of electrically insulating ceramic layers 12a . 12b on, the isolation of a resistor track 14 serve. Here are the ceramic layers 12a . 12b for example, made of porous alumina, in particular of barium-containing alumina. The ceramic layers 12a . 12b are carried out as ceramic films and form a planar ceramic body.

Die integrierte Form des keramischen Heizelementes 10 wird durch Zusammenlaminieren der mit der Funktionsschicht der Widerstandsleiterbahn 14 bedruckten keramischen Schichten 12a, 12b und anschließendem Sintern der laminierten Struktur in an sich bekannter Weise hergestellt.The integrated form of the ceramic heating element 10 is laminated by laminating with the functional layer of the resistor trace 14 printed ceramic layers 12a . 12b and then sintering the laminated structure in a manner known per se.

Das Heizelement 10 kann in ein vorzugsweise keramisch ausgeführtes Sensorelement integriert sein und dazu eine Vielzahl weiterer keramischer Folien, insbesondere auch Festelektrolytfolien, aufweisen sowie Messelektroden, Diffusionsbarrieren etc.The heating element 10 can be integrated in a preferably ceramic sensor element and for this purpose have a multiplicity of further ceramic films, in particular also solid electrolyte films, as well as measuring electrodes, diffusion barriers, etc.

Die Widerstandsleiterbahn 14 wird aus einem Material ausgeführt, das mindestens eine Verbindung enthält, die bei Kontakt mit Sauerstoff unter Betriebsbedingungen des Heizelementes eine dünne Oxidschicht 16 bildet, die eine geringe Sauerstoff-Diffusionskonstante aufweist. Die sich ausbildende Oxidschicht 16 verhindert dabei ein Eindringen von Sauerstoff in innere Materialbereiche der Widerstandsleiterbahn des Heizelementes und somit deren Oxidation. Alternativ kann das Material, aus dem die Widerstandsleiterbahn 14 ausgeführt ist, auch vollständig aus der Verbindung gebildet sein, die bei Kontakt mit Sauerstoff unter Betriebsbedingungen des Heizelementes eine dünne Oxidschicht 16 bildet. Der Anteil der oxidbildenden Verbindung am Material der Widerstandsleiterbahn 14 sollte vorzugsweise mindestens 10 Gew.% betragen.The resistance track 14 is made of a material containing at least one compound which on contact with oxygen under operating conditions of the heating element, a thin oxide layer 16 forms, which has a low oxygen diffusion constant. The forming oxide layer 16 prevents penetration of oxygen into inner material areas of the resistance track of the heating element and thus their oxidation. Alternatively, the material from which the resistor trace 14 is also formed completely from the compound, which in contact with oxygen under operating conditions of the heating element, a thin oxide layer 16 forms. The proportion of the oxide-forming compound on the material of the resistance track 14 should preferably be at least 10% by weight.

Die Widerstandleiterbahn 14 enthält als Verbindung, die bei Kontakt mit Sauerstoff unter Betriebsbedingungen des Heizelementes 10 eine dünne Oxidschicht 16 bildet, insbesondere eine intermetallische Verbindung des Aluminiums mit mindestens einem weiteren Metall. Dabei werden als intermetallische Verbindung insbesondere Verbindungen des Typs M3Al, MAl oder MAl3 eingesetzt, wobei M für das weitere Metall steht. Als weiteres Metall eignen sich Platin, Gold, Silber, Palladium, Eisen, Nickel oder Cobalt, insbesondere jedoch Ruthenium.The resistance track 14 Contains as a compound when in contact with oxygen under operating conditions of the heating element 10 a thin oxide layer 16 forms, in particular an intermetallic compound of aluminum with at least one other metal. Here are used as intermetallic compound, in particular compounds of the type M 3 Al, MAI or MAI 3 , where M is the further metal. Another metal suitable are platinum, gold, silver, palladium, iron, nickel or cobalt, but in particular ruthenium.

Anstelle von Aluminium als oxidbildendem Metall oder zusätzlich hierzu kann die intermetallische Verbindung auch Magnesium enthalten. Unter einer intermetallischen Verbindung werden dabei insbesondere Legierungen des oxidbildenden Metalls mit dem mindestens einem weiteren Metall verstanden.Instead of of aluminum as an oxide-forming metal, or in addition thereto, the intermetallic Compound also contain magnesium. Under an intermetallic In this connection, in particular alloys of the oxide-forming Metal understood with the at least one other metal.

Wird als intermetallische Verbindung RuAl eingesetzt, so wird eine besonders gute Anbindung des Materials der Widerstandleiterbahn 14 an die keramischen Schichten 12a, 12b erzielt, da RuAl im Vergleich zu Platin, das üblicherweise als Material für Widerstandsleiterbahnen in Heizelementen eingesetzt wird, ähnliche thermische und mechanische Eigenschaften aufweist.If RuAl is used as the intermetallic compound, then a particularly good connection of the material of the resistance conductor track becomes 14 to the ceramic layers 12a . 12b because RuAl has similar thermal and mechanical properties compared to platinum, which is commonly used as a material for resistive tracks in heating elements.

Zur Herstellung des Heizelementes 10 werden Partikel der intermetallischen Verbindung ggf. mittels einer Kugelmühle aufgemahlen und in eine Siebdruckpaste überführt. Durch Siebdruck wird dann das Material der Widerstandleiterbahn 14 auf den Grünkörper der keramischen Schichten 12a, 12b aufgebracht. Es folgt eine Wärmebehandlung insbesondere in Form eines Sinterprozesses. Da bei Sintertemperaturen von mehr als 800°C die Gefahr einer vorzeitigen Oxidation der intermetallischen Verbindung im Material der Widerstandsleiterbahn 14 besteht, werden die die intermetallische Verbindung enthaltenden Partikel vorzugsweise vor ihrer Verwendung in einer Siebdruckpaste oberflächlich mit Platin, Silber oder Gold beschichtet bzw. bedampft. Auf diese Weise wird eine vorzeitige Oxidation der intermetallischen Verbindung, die dazu führen würde, dass die die intermetallische Verbindung enthaltenden Partikel nur unvollständig mit dem weiteren keramischen Material der Widerstandsleiterbahn 14 versintern würden, während des Herstellungsprozesses unterdrückt.For the production of the heating element 10 If necessary, particles of the intermetallic compound are ground by means of a ball mill and transferred into a screen printing paste. By screen printing then the material of the resistor track 14 on the green body of the ceramic layers 12a . 12b applied. This is followed by a heat treatment, in particular in the form of a sintering process. Since at sintering temperatures of more than 800 ° C, the risk of premature oxidation of the intermetallic compound in the material of the resistance track 14 The particles containing the intermetallic compound are preferably surface-coated or vapor-coated with platinum, silver or gold prior to their use in a screen-printing paste. In this way, a premature oxidation of the intermetallic compound, which would cause the particles containing the intermetallic compound only incomplete with the other ceramic material of the resistor track 14 sintered, suppressed during the manufacturing process.

Wird das Heizelement in Betrieb genommen, so bildet sich bei der ersten Inbetriebnahme, soweit nicht bereits während der Herstellung geschehen, an der Widerstandsleiterbahn 14 oberflächlich eine Oxidschicht 16 aus, die den Zutritt von weiterem Sauerstoff zu oberflächenfernen Bereichen der Widerstandsleiterbahn 14 erschwert bzw. verhindert.If the heating element is put into operation, it forms at the first start-up, if not already done during manufacture, on the resistor track 14 superficially an oxide layer 16 which allows the access of further oxygen to areas of the resistor track which are remote from the surface 14 makes it difficult or impossible.

Dies ist in 1b schematisch dargestellt. Dabei bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Bauteilkomponenten wie in 1a. Es ist erkennbar, dass die Widerstandsleiterbahn 14 oberflächlich eine Oxidschicht 16 aufweist.This is in 1b shown schematically. Here, the same reference numerals designate the same component components as in FIG 1a , It can be seen that the resistance track 14 superficially an oxide layer 16 having.

Während der Ausbildung der Oxidschicht 16 kommt es zu einer minimalen Veränderung des Gesamtwiderstandes der Widerstandsleiterbahn 14 im Bereich von weniger als einem Prozent. Dies kann, falls nötig, bei der Ansteuerung des Heizelementes 10 regelungstechnisch berücksichtigt werden,. Die Widerstandsveränderung tritt reproduzierbar in ähnlichem Umfang bei allen vergleichbar ausgeführten Heizelementen auf.During the formation of the oxide layer 16 There is a minimal change in the total resistance of the resistance track 14 in the range of less than one percent. This can, if necessary, in the control of the heating element 10 be taken into account. The change in resistance occurs reproducibly to a similar extent in all comparable running heating elements.

Das erfindungsgemäße Heizelement ist in elektrochemischen Sensorelementen, die der Bestimmung von Gasen in Gasgemischen wie beispielsweise Sauerstoff, Stickoxide, Schwefeloxide, Ammoniak oder Kohlenwasserstoffe vorzugsweise in Abgasen von Verbrennungsmotoren dienen, einsetzbar, aber auch in sonstigen beheizbaren Vorrichtungen keramischer Art, wie Glühstiftkerzen oder Partikelfiltern. Dazu kann der in den 1a und 1b beschriebene Schichtaufbau weitere Festelektrolyt-, Isolations- oder Funktionsschichten enthalten.The heating element according to the invention is in electrochemical sensor elements, which serve the determination of gases in gas mixtures such as oxygen, nitrogen oxides, sulfur oxides, ammonia or hydrocarbons preferably in exhaust gases of internal combustion engines used, but also in other heatable devices ceramic type, such as glow plugs or particulate filters. This can be in the 1a and 1b described layer structure further Festelektrolyt-, insulation or functional layers included.

Claims (8)

Keramisches Heizelement, insbesondere zur Beheizung eines Sensorelements zur Bestimmung von Gaskomponenten in Gasgemischen, mit mindestens einer Widerstandsleiterbahn (14), die zumindest teilweise von einem keramischen, elektrisch isolierenden Material (12a, 12b) umgeben ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Widerstandsleiterbahn (14) mindestens eine intermetallische Verbindung des Aluminiums mit mindestens einem weiteren Metall enthält. Ceramic heating element, in particular for heating a sensor element for determining gas components in gas mixtures, with at least one resistance conductor track ( 14 ) which is at least partially covered by a ceramic, electrically insulating material ( 12a . 12b ), characterized in that the resistance conductor track ( 14 ) contains at least one intermetallic compound of aluminum with at least one further metal. Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung eine Verbindung des Typs M3Al, MAl oder MAl3 ist, wobei M für das weitere Metall steht.Heating element according to claim 1, characterized in that the intermetallic compound is a compound of the type M 3 Al, MAl or MAl 3 , wherein M is the further metal. Heizelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das weitere Metall Ruthenium, Eisen, Nickel, Palladium oder Cobalt ist.Heating element according to claim 1 or 2, characterized that the other metal ruthenium, iron, nickel, palladium or Cobalt is. Heizelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die die intermetallische Verbindung enthaltenden Partikel oberflächlich mit Platin, Gold oder Silber beschichtet sind.Heating element according to claim 4, characterized in that that the particles containing the intermetallic compound superficially Platinum, gold or silver are coated. Heizelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung im wesentlichen nur in den an die Umgebung angrenzenden Außenbereichen der Widerstandsleiterbahn (14) enthalten ist.Heating element according to one of the preceding claims, characterized in that the intermetallic compound substantially only in the outer regions of the resistance conductor track adjacent to the surroundings ( 14 ) is included. Heizelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das weitere Metall Platin, Gold oder Silber ist.Heating element according to claim 1, characterized in that that the other metal is platinum, gold or silver. Heizelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung im Material der Widerstandsleiterbahn (14) zu mindestens 10 Gew.% enthalten ist.Heating element according to one of the preceding claims, characterized in that the intermetallic compound in the material of the resistance conductor track ( 14 ) is contained at least 10% by weight. Verwendung eines Heizelements nach einem der vorhergehenden Ansprüche in Sensoren zur Bestimmung von Sauerstoff in Abgasen von Verbrennungsmotoren.Use of a heating element according to one of the preceding claims in sensors for the determination of oxygen in exhaust gases of internal combustion engines.
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