DE102005009537A1 - Polarization optical unit for e.g. polarizing diffractive unit, has bars arranged at distance and aligned parallel to each other on quartz glass carrier e.g. substrate, and including refractive index that is same as carrier - Google Patents

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Abstract

The unit has a number of bars (2) that are arranged at a distance and aligned parallel to each other on a quartz glass carrier e.g. substrate (1), where the unit is designed as a binary lattice structure with a lattice depth that is determined by the height of the bars. The bars has a refractive index that is same as the carrier, where the depth takes values between 200 nanometer (nm) and 2000 nm for wavelength range of 100 to 400 nm. An independent claim is also included for a method if manufacturing a polarization optical unit.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf binäre Gitterstrukturen, die in Reflexion und Transmission zur Polarisation von elektromagnetischer Strahlung verschiedener Wellenlängen im UV-Spektralbereich und kürzerer Wellenlängen bei von null Grad ausgehendem, variierendem Einfallswinkel geeignet sind.The Invention relates to binary Lattice structures reflecting in reflection and transmission for polarization of electromagnetic radiation of different wavelengths in the UV spectral range and shorter wavelength at zero degree outgoing, varying angle of incidence suitable are.

Bevorzugte Anwendungsgebiete im Allgemeinen sind polarisierende diffraktive Elemente und im Besonderen Linearpolarisatoren und Polarisationsstrahlteiler.preferred Application areas in general are polarizing diffractive Elements and in particular linear polarizers and polarization beam splitters.

Polarisatoren für den UV-Spektralbereich basieren zum größten Teil auf refraktiven Strahlteilerprismen oder auf dielektrischen Schichtsystemen. Die für diese Systeme erforderlichen Bautiefen sind bei beschränkt zur Verfügung stehendem Raum oft hinderlich. Außerdem limitieren die Kitteigenschaften der Strahlteilerprismen die zur Verfügung stehenden Strahldurchmesser.polarizers for the UV spectral range are based for the most part on refractive beam splitter prisms or on dielectric layer systems. The required for these systems Overall depths are limited to disposal standing room often obstructive. In addition, the Kitteigenschaften limit the Beam splitter prisms available standing beam diameter.

Bekannt ist es auch, mit Hilfe diffraktiver optischer Bauelemente, die periodische Gitterstrukturen aufweisen, eine polarisierende Wirkung zu erzielen. Bevorzugt sind derartige diffraktive Polarisatoren und Polarisationsstrahlteiler als Draht-Gitter-Polarisatoren (wire grid polarizer) aufgebaut, die, wie z. B. in der US 6 122 103 , auf einem Glassubstrat ein Metallgitter tragen.It is also known to achieve a polarizing effect with the aid of diffractive optical components which have periodic grating structures. Preferably, such diffractive polarizers and polarization beam splitters are constructed as wire grid polarizers, which, such. B. in the US 6 122 103 , wear a metal grid on a glass substrate.

Da das Metallgitter strahlungsundurchlässige Bereiche aufweist, ist der Wirkungsgrad limitiert. Ferner müssen aufgrund des wärmeabsorbierenden Metallgitters herabgesetzte Zerstörschwellen, insbesondere bei der Einstrahlung von Laserstrahlung in Kauf genommen werden.There the metal grid has radiopaque regions the efficiency is limited. Furthermore, due to the heat-absorbing metal grid reduced damage thresholds, especially in the irradiation of laser radiation accepted become.

Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, die genannten Nachteile zu vermeiden und Polarisatoren mit einem verbesserten Wirkungsgrad zur Verfügung zu stellen, die für einen erweiterten Bereich von Anwendungen geeignet sind und die in einem weiten Größenspektrum hergestellt werden können.task The invention is therefore to avoid the disadvantages mentioned and polarizers with improved efficiency ask for an extended range of applications are suitable and the in a wide range of sizes can be produced.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch ein polarisationsoptisches Bauelement gelöst, das auf einem Träger eine Vielzahl parallel zueinander ausgerichteter und beabstandet angeordneter Stege enthält, die den gleichen Brechungsindex aufweisen wie der Träger.According to the invention the object is achieved by a polarization-optical component, the on a carrier a plurality of parallel aligned and spaced contains arranged webs, which have the same refractive index as the carrier.

Das polarisationsoptische Bauelement ist als binäre Gitterstruktur mit einer durch die Höhe der Stege bestimmten Gittertiefe ausgebildet, bei der die Gittertiefe und ein aus dem Verhältnis aus Gitterperiode und Breite der Stege gebildeter Füllfaktor als Parameterpaar aus einer Schar von Parameterpaaren bei vorgegebener Wellenlänge und Gitterperiode derart entnommen sind, dass eine binäre Funktion zur alternativen Transmission oder Reflexion von Strahlung unterschiedlicher Polarisation resultiert.The polarization-optical component is called a binary lattice structure with a through the height the webs formed specific grid depth at which the grid depth and one out of proportion fill factor formed from the grating period and the width of the webs as a parameter pair from a group of parameter pairs for a given one wavelength and grating period are taken such that a binary function for alternative transmission or reflection of radiation different Polarization results.

Innerhalb der Schar von Parameterpaaren gibt es eine Vielzahl, für jede vorgegebene Gitterperiode periodisch wiederkehrender Parameterpaare, die eine derartige alternative Strahlausbreitung von Strahlung unterschiedlicher Polarisation verursachen.Within There is a multitude of parameter pairs, for every given one Grating period of periodically recurring parameter pairs, which is a Such alternative beam propagation differs from radiation Cause polarization.

Das Polarisationsgitter besteht vorteilhaft vollständig aus Quarzglas.The Advantageously, the polarization grating is completely made of quartz glass.

Die Gittertiefe, die mit Werten zwischen 200 nm und 2000 nm mehr als das zehnfache der einfallenden Wellenlänge betragen kann, ist maßgeblich für den Polarisationskontrast verantwortlich. Die Gitterperiode liegt in einem Bereich zwischen 50 nm und 700 nm und kann somit Werte annehmen, die kleiner oder wesentlich größer als die einfallende Wellenlänge sind. Das Verhältnis Gitterperiode zur Breite der Stege kann wiederum zwischen 0,1 und 0,9 schwanken.The Lattice depth, with values between 200 nm and 2000 nm more than which can be ten times the incident wavelength is decisive for the polarization contrast responsible. The grating period is in a range between 50 nm and 700 nm and thus can assume values smaller or smaller much larger than the incident wavelength. The relationship Grid period to the width of the webs can turn between 0.1 and 0.9 fluctuate.

Die erfindungsgemäßen polarisationsoptischen Bauelemente sind als binäre Phasengitter mit unterschiedlichen optischen Funktionen ausgestattet und vor allem für Wellenlängen in einem Bereich zwischen 100 nm und 400 nm, bevorzugt jedoch für ausgewählte Wellenlängen von 193 nm und 248 nm herstellbar.The according to the invention polarization optical Components are considered binary Phase grating equipped with different optical functions and especially for wavelength in a range between 100 nm and 400 nm, but preferably for selected wavelengths of 193 nm and 248 nm can be produced.

Vorteilhaft gewährleisten die polarisationsoptischen Bauelemente einerseits das optische Schalten zwischen verschiedenen Gitterordnungen mit veränderlicher Polarisation. Andererseits können unterschiedliche Polarisationseigenschaften in verschiedenen Beugungsordnungen erzeugt werden, was insbesondere bedeutsam ist für die Materialbearbeitung und die optische Lithographie, wo verschiedene Polarisationszustände benötigt werden.Advantageous guarantee the polarization-optical components on the one hand the optical switching between different grids with variable polarization. on the other hand can different polarization properties in different diffraction orders be generated, which is particularly important for material processing and optical lithography, where different polarization states are needed.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Stege zur Effizienzerhöhung hinsichtlich einer entspiegelnden Wirkung dachkantartig spitz zulaufend ausgebildet sind.Further it is advantageous if the webs for efficiency increase in terms an anti-reflective effect are designed like a trough point tapered.

Die obenstehende Aufgabe wird ferner erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung von polarisationsoptischen Bauelementen gelöst, bei dem aus einem monolithischen Quarzglasblock lithographisch parallel zueinander ausgerichtete und auf einem Quarzglasträger stehende Stege mit dazwischen liegenden Gräben herausgearbeitet werden.The The above object is further according to the invention by a process for the preparation of polarization-optical components solved, in which from a monolithic Quartz glass block lithographically aligned parallel to each other and on a quartz glass carrier Standing bridges with intervening trenches are worked out.

Aus dem monolithischen Quarzglasblock wird eine binäre Gitterstruktur mit einer durch die Höhe der Stege bestimmten Gittertiefe erzeugt, wobei die Gittertiefe und ein aus dem Verhältnis aus Gitterperiode und Breite der Stege gebildeter Füllfaktor als Parameterpaar aus einer Schar von Parameterpaaren bei vorgegebener Wellenlänge und Gitterperiode derart entnommen werden, dass eine binäre Funktion zur alternativen Transmission oder Reflexion von Strahlung unterschiedlicher Polarisation resultiert.Out The monolithic quartz glass block is a binary lattice structure with a through the height the webs generated specific grid depth, the grid depth and one out of proportion from filling period and width of the webs formed filling factor than Parameter pair from a group of parameter pairs for a given one wavelength and grating period are taken such that a binary function for alternative transmission or reflection of radiation different Polarization results.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.Further advantageous embodiments are given in the dependent claims.

Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:The Invention will be explained below with reference to the schematic drawing. It demonstrate:

1 eine perspektivische Darstellung eines Ausschnittes aus einer binären Gitterstruktur mit polarisationsabhängigen optischen Eigenschaften 1 a perspective view of a section of a binary grid structure with polarization-dependent optical properties

2a den Fernfeld-Intensitätsverlauf einer, mit einem erfindungsgemäßen polarisationsoptischen Bauelement mit einer Periode von 500 nm, einem Füllfaktor von 0,4 und einer Gittertiefe von 1180 nm erzeugten TE-polarisierten Strahlung 2a the far-field intensity profile of a TE polarized radiation produced with a polarization-optical component according to the invention having a period of 500 nm, a filling factor of 0.4 and a grating depth of 1180 nm

2b den Fernfeld-Intensitätsverlauf einer, mit einem erfindungsgemäßen polarisationsoptischen Bauelement mit einer Periode von 500 nm, einem Füllfaktor von 0,4 und einer Gittertiefe von 1180 nm erzeugten TM-polarisierten Strahlung 2 B the far-field intensity profile of a TM polarized radiation generated with a polarization-optical component according to the invention with a period of 500 nm, a filling factor of 0.4 and a grating depth of 1180 nm

3a die Fernfeld-Intensitätsverteilung transmittierter TE-polarisierter Strahlung bei Verwendung eines erfindungsgemäßen polarisationsoptischen Bauelementes mit einer Periode von 500 nm 3a the far-field intensity distribution of transmitted TE polarized radiation using a polarization-optical component according to the invention with a period of 500 nm

3b die Fernfeld-Intensitätsverteilung transmittierter TM-polarisierter Strahlung bei Verwendung eines erfindungsgemäßen polarisationsoptischen Bauelementes mit einer Periode von 500 nm 3b the far-field intensity distribution of transmitted TM polarized radiation using a polarization-optical component according to the invention with a period of 500 nm

4a die Effizienz der nullten Beugungsordnung in Abhängigkeit von der Gittertiefe und dem Füllfaktor bei einer Gitterperiode von 500 nm und einer Wellenlänge von 193 nm für TE-polarisierte Strahlung 4a the efficiency of the zeroth diffraction order as a function of the grating depth and fill factor at a grating period of 500 nm and a wavelength of 193 nm for TE polarized radiation

4b die Effizienz der nullten Beugungsordnung in Abhängigkeit von der Gittertiefe und dem Füllfaktor bei einer Gitterperiode von 500 nm und einer Wellenlänge von 193 nm für TM-polarisierte Strahlung 4b the efficiency of the zeroth diffraction order as a function of the grating depth and fill factor at a grating period of 500 nm and a wavelength of 193 nm for TM polarized radiation

5 eine modifizierte Gitterstegausbildung 5 a modified grid web education

Fertigungstechnisch werden an sich bekannte lithographische Verfahren angewendet, um aus einem monolithischen Block aus dielektrischem Material, vorzugsweise Quarzglas, erfindungsgemäße polarisationsoptische Bauelemente durch Ätzen herauszuarbeiten, die gemäß 1 auf einem Quarzglasträger 1 eine Vielzahl parallel zueinander ausgerichteter und beabstandet angeordneter Stege 2 aufweisen, zwischen denen sich jeweils ein Graben 3 befindet. Wesentlich ist, dass das Substrat 1 und die Stege 2 aufgrund der Materialgleichheit den gleichen Brechungsindex aufweisen.From a manufacturing point of view, lithographic processes known per se are used in order to work out from a monolithic block of dielectric material, preferably quartz glass, polarization-optical components according to the invention by etching, in accordance with FIG 1 on a quartz glass slide 1 a plurality of parallel aligned and spaced webs arranged 2 between each of which is a trench 3 located. It is essential that the substrate 1 and the footbridges 2 due to the material equality have the same refractive index.

Charakteristische Merkmale eines Polarisationsgitters gemäß 1 sind die Gitterperiode a0, die Grabenbreite b und die durch die Höhe der Stege bestimmte Gittertiefe d. Mit E und H sind der elektrische und der magnetische Feldvektor und mit k der Wellenzahlvektor bezeichnet.Characteristic features of a polarization grating according to 1 are the grating period a 0 , the trench width b and the lattice depth d determined by the height of the webs. E and H denote the electric and magnetic field vectors and k denotes the wavenumber vector.

Die beiden für die Anwendungen in Frage kommenden Polarisationsrichtungen unterscheiden sich derart, dass der E-Feldvektor E bei der einen Polarisationsrichtung senkrecht (TM-polarisiert) und bei der anderen Polarisationsrichtung parallel (TE-polarisiert) zur Längsausdehnung der Gräben 3 schwingt.The two polarization directions which are suitable for the applications differ in such a way that the E field vector E is perpendicular (TM polarized) in one polarization direction and parallel (TE polarized) in the other polarization direction to the longitudinal extent of the trenches 3 swings.

Der Füllfaktor F ergibt sich aus dem Verhältnis von Grabenbreite zu Gitterperiode mit 1 – (b/a0) bzw. aus dem Verhältnis von Gitterperiode a0 zu Stegbreite (a0 – b).The fill factor F results from the ratio of trench width to grating period with 1 - (b / a 0 ) or from the ratio of grating period a 0 to land width (a 0 - b).

2a zeigt bei senkrechtem Strahlungseinfall von TE-polarisierter Strahlung eine auf weniger als 0,05 herabgesetzte Transmission in der nullten Ordnung. Die Effizienz der ersten Ordnungen (dargestellt ist nur die +1. Ordnung) beträgt etwa 40 %. Im Gegensatz dazu weisen die beiden ersten Ordnungen und die nullte Ordnung bei TE-polarisierter Strahlung (2b) eine Effizienz von jeweils 31 % auf. Das Abschwächungsverhältnis der beiden Polarisationskomponenten der polarisierten Strahlung ist besser als 1:1000. 2a shows at normal incidence of radiation of TE polarized radiation to a less than 0.05 reduced transmission in the zeroth order. The efficiency of the first orders (shown is only the +1 order) is about 40%. In contrast, the first two orders and the zeroth order in TE polarized radiation ( 2 B ) have an efficiency of 31% each. The attenuation ratio of the two polarization components of the polarized radiation is better than 1: 1000.

3a und 3b verdeutlichen Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung, wobei einerseits in bedeutsamer Weise z. B. für mikroelektronische Herstellungsverfahren zwischen unterschiedlichen Beleuchtungsmodi umgeschaltet werden kann. Bei Verwendung von TE-polarisierter Strahlung (3a) zeigt sich eine Intensität bei der nullten Beugungsordnung, während bei TM-polarisierter Strahlung (3b) Spots in den beiden ersten Beugungsordnungen auftreten. Andererseits sind diese beiden Spots bei Verwendung von unpolarisierter Ausgangsstrahlung unterschiedlich polarisiert, was z. B. für die Materialbearbeitung mittels Laserschweißen von Vorteil ist. 3a and 3b illustrate applications of the invention, on the one hand in a significant way z. B. for microelectronic manufacturing process between different lighting modes can be switched. When using TE-polarized radiation ( 3a ) shows an intensity at the zeroth order of diffraction, whereas with TM-polarized radiation ( 3b ) Spots occur in the first two orders of diffraction. On the other hand, these two spots are polarized differently when using unpolarized output radiation, which z. B. for material processing by laser welding is advantageous.

Gemäß den 4a und 4b ist es möglich, eine Schar von Parameterpaaren aus Gittertiefe d und Füllfaktor auszuwählen, die die polarisationsabhängige Wellenleitungsbedingung der lamellenartigen binären Gitterstruktur erfüllen.According to the 4a and 4b is it possible? To select a set of parameter pairs of lattice depth d and fill factor that meet the polarization-dependent waveguide condition of the lamellar binary lattice structure.

So kann für eine konstante Gitterperiode von 500 nm und eine Beleuchtungswellenlänge von 193 nm bei der Variation der Gittertiefe d in einem Bereich von 400 nm bis 1700 nm und dem Verhältnis von Gitterperiode a0 zu Stegbreite (a0 – b) (Füllfaktor F) zwischen 0,1 und 0,5 die gewünschte polarisierende Wirkung erreicht werden. Für eine Gittertiefe d von etwa 1450 nm und einem Füllfaktor F von 0,35 zum Beispiel ist ein Abschwächungsverhältnis zwischen den beiden Polarisationsrichtungen größer 1:1000 erreichbar.Thus, for a constant grating period of 500 nm and an illumination wavelength of 193 nm in the variation of the grating depth d in a range of 400 nm to 1700 nm and the ratio of grating period a 0 to land width (a 0 - b) (fill factor F) between 0.1 and 0.5, the desired polarizing effect can be achieved. For example, for a grating depth d of about 1450 nm and a fill factor F of 0.35, an attenuation ratio between the two polarization directions greater than 1: 1000 can be achieved.

In den beiden Kurvendarstellungen gemäß 4a und 4b sind eine Vielzahl von übereinstimmenden Hell-Dunkel-Kombinationen vorhanden, so dass bei fester Wellenlänge (z. B. 193 nm) und vorgegebener Gitterperiode a0 (z. B. 500 nm) eine breite Anzahl von Auswahlmöglichkeiten hinsichtlich der Parameterpaare Gittertiefe d und Füllfaktor F zur Verfügung steht, bei denen z. B. TE-polarisierte Strahlung blockiert und für TM-polarisierte Strahlung Effizienzen zwischen 90 % und 100 erreicht werden oder umgekehrt. Die zur Verfügung stehende Auswahlbreite wiederum gewährleistet eine vorteilhafte technologische Auslegung des Herstellungsprozesses für die polarisationsoptischen Bauelemente.In the two graphs according to 4a and 4b For example, at a fixed wavelength (eg, 193 nm) and given grating period a 0 (eg, 500 nm), there are a wide variety of choices in terms of the grating depth d and fill factor parameter pairs F is available, in which z. B. TE polarized radiation blocked and for TM polarized radiation efficiencies between 90% and 100 are achieved or vice versa. The available selection width in turn ensures an advantageous technological design of the manufacturing process for the polarization-optical components.

Vorteilhaft kann eine Effizienzsteigerung durch eine Modifikation der Stege 2 erreicht werden, indem die einzelnen Stege 2 keine senkrecht zu den Seitenflächen verlaufende Stirnflächen aufweisen, sondern dachkantartig spitz zulaufend ausgebildet sind. Dadurch können effizienzmindernde Fresnel-Verluste vermieden werden. Effizienzen von annähernd 100 % sind so möglich.Advantageously, an increase in efficiency by a modification of the webs 2 be achieved by the individual webs 2 have no perpendicular to the side surfaces extending end surfaces, but are formed like a trough point tapered. As a result, efficiency-reducing Fresnel losses can be avoided. Efficiencies of almost 100% are possible.

Claims (9)

Polarisationsoptisches Bauelement, das auf einem Träger (1) eine Vielzahl parallel zueinander ausgerichteter und beabstandet angeordneter Stege (2) enthält, die den gleichen Brechungsindex aufweisen wie der Träger (1).Polarization optical component mounted on a support ( 1 ) a plurality of parallel aligned and spaced webs arranged ( 2 ), which have the same refractive index as the carrier ( 1 ). Polarisationsoptisches Bauelement nach Anspruch 1, welches als binäre Gitterstruktur mit einer durch die Höhe der Stege (2) bestimmten Gittertiefe ausgebildet ist, bei der die Gittertiefe und ein aus dem Verhältnis aus Gitterperiode und Breite der Stege (2) gebildeter Füllfaktor als Parameterpaar aus einer Schar von Parameterpaaren bei vorgegebener Wellenlänge und Gitterperiode derart entnommen sind, dass eine binäre Funktion zur alternativen Transmission oder Reflexion von Strahlung unterschiedlicher Polarisation resultiert.Polarization optical component according to claim 1, which is a binary lattice structure with a by the height of the webs ( 2 ) lattice depth is formed, in which the grid depth and a ratio of the grating period and width of the webs ( 2 ) formed filling factor as a pair of parameters from a family of parameter pairs at a given wavelength and grating period are taken such that a binary function for alternative transmission or reflection of radiation of different polarization results. Polarisationsoptisches Bauelement nach Anspruch 2, welches als binäres Phasengitter ausgebildet ist.Polarization optical component according to claim 2, which as binary Phase grating is formed. Polarisationsoptisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, welches vollständig aus Quarzglas besteht.Polarization optical component according to one of claims 1 to 3, which is complete made of quartz glass. Polarisationsoptisches Bauelement nach Anspruch 4, bei dem die Gittertiefe für einen Wellenlängenbereich von 100 nm bis 400 nm Werte zwischen 200 nm und 2000 nm bei Gitterperioden zwischen 50 nm und 700 nm und Verhältnissen aus Gitterperiode und Breite der Stege (2) von 0,1 und 0,9 annimmt.Polarization optical component according to claim 4, wherein the grating depth for a wavelength range of 100 nm to 400 nm values between 200 nm and 2000 nm at grating periods between 50 nm and 700 nm and ratios of grating period and width of the webs ( 2 ) of 0.1 and 0.9. Polarisationsoptisches Bauelement nach Anspruch 5, bei dem für eine Wellenlänge von 193 nm und einer Gitterperiode von 500 nm die Gittertiefe 1180 nm und das Verhältnis aus Gitterperiode und Breite der Stege (2) 0,4 beträgt.Polarization-optical component according to Claim 5, in which, for a wavelength of 193 nm and a grating period of 500 nm, the grating depth is 1180 nm and the ratio of grating period and width of the webs ( 2 ) Is 0.4. Polarisationsoptisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Stege (2) zur Effizienzerhöhung hinsichtlich einer entspiegelnden Wirkung dachkantartig spitz zulaufend ausgebildet sind.Polarization optical component according to one of Claims 1 to 6, in which the webs ( 2 ) are designed to increase the efficiency with respect to an anti-reflective effect roof-like pointed. Verfahren zur Herstellung von polarisationsoptischen Bauelementen, bei dem aus einem monolithischen Quarzglasblock lithographisch parallel zueinander ausgerichtete und auf einem Quarzglasträger stehende Stege mit dazwischen liegenden Gräben herausgearbeitet werden.Process for the production of polarization-optical Components in which lithographic from a monolithic quartz glass block parallel to each other and standing on a quartz glass carrier Footbridges with intervening trenches are worked out. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem aus dem monolithischen Quarzglasblock eine binäre Gitterstruktur mit einer durch die Höhe der Stege bestimmten Gittertiefe erzeugt wird und bei dem die Gittertiefe und ein aus dem Verhältnis aus Gitterperiode und Breite der Stege gebildeter Füllfaktor als Parameterpaar aus einer Schar von Parameterpaaren bei vorgegebener Wellenlänge und Gitterperiode derart entnommen werden, dass eine binäre Funktion zur alternativen Transmission oder Reflexion von Strahlung unterschiedlicher Polarisation resultiert.The method of claim 8, wherein the monolithic Quartz glass block a binary Grid structure with a grid depth determined by the height of the bars is generated and at which the grid depth and from the ratio of Grid period and width of the webs formed fill factor as a parameter pair from a bevy of parameter pairs at a given wavelength and Grid period are taken such that a binary function for alternative transmission or reflection of radiation different Polarization results.
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