DE102005007609A1

DE102005007609A1 - Gas supply device for cold leak testing at vacuum device, has housing, attachable on vacuum device`s welded joint to be tested for creating gas space, having inlet and outlet for supply and removal of gases into and from space, respectively

Info

Publication number: DE102005007609A1
Application number: DE200510007609
Authority: DE
Inventors: Felix Dr. Schauer
Original assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Current assignee: Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date: 2005-02-18
Filing date: 2005-02-18
Publication date: 2006-08-31

Abstract

The device has a housing (11) attachable on a welded joint (21) of a vacuum device (20) to be tested for creation of locally limited gas space. The housing includes a gas inlet (13) for supply of gases into the gas space, and a gas outlet (14) for removal of gases from the gas space. The housing includes a recess and is enclosed on all sides by the welded joint of the vacuum device to be tested. Independent claims are also included for the following: (1) a test device for testing leakage at a vacuum device, including a line branch connected with a gas supply device (2) a method of testing a leakage in a vacuum device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Gaszufuhreinrichtung für eine Leckprüfung an einer Vakuumeinrichtung, eine Prüfeinrichtung zur Leckprüfung, die mit einer derartigen Gaszufuhreinrichtung ausgestattet ist, und Verfahren zur Leckprüfung an einer Vakuumeinrichtung mit einer Betriebstemperatur, die in Abhängigkeit von der konkreten Anwendung wählbar ist, insbesondere einer kryotechnischen Einrichtung.The The invention relates to a gas supply device for a leak test a vacuum device, a test device for leak testing, which is equipped with such a gas supply device, and Method for leak testing on a vacuum device with an operating temperature which is in dependence from the concrete application selectable is, in particular a cryogenic device.

Es ist bekannt, dass kryotechnische Einrichtungen mit Betriebstemperaturen nahe dem absoluten Nullpunkt, wie beispielsweise Magnete mit klassischen Supraleitern, zur thermischen Isolation in einem auf Hochvakuum evakuierten Gefäß, dem sog. Kryostaten, eingebaut sein müssen. Das Kühlmittel ist typischerweise flüssiges oder überkritisches Helium. Beispielsweise werden gegenwärtig weltweit eine große Anzahl von Magneten und alle supraleitenden Magnetsysteme von Großforschungsprojekten wie z. B. Teilchenbeschleunigern oder Kernfusionsexperimenten sowie auch die kommerziell in großer Zahl hergestellten Magnete von Kernspintomographen mit flüssigem oder überkritischem Helium auf Temperaturen in der Nähe des absoluten Nullpunktes gekühlt.It is known that cryogenic equipment with operating temperatures near absolute zero, such as classic magnets Superconductors, for thermal insulation in a high vacuum evacuated vessel, the so-called cryostat, must be installed. The coolant is typically liquid or supercritical Helium. For example, at present, a large number are becoming worldwide of magnets and all superconducting magnet systems of large scale research projects such as As particle accelerators or nuclear fusion experiments and also the commercially in large Number of Magnetic Magnetic Resonance Imaging Magnets with Liquid or Supercritical Helium at temperatures nearby cooled absolute zero.

Ein wesentliches Problem beim Betrieb kryotechnischer Einrichtungen ist das Auftreten von Lecks in tiefkalten, heliumführenden Rohren, Behältern oder anderen Teilen der Vakuumeinrichtung, wenn diese Lecks bei Raumtemperatur nicht vorhanden oder nicht detektierbar sind (sog. Kaltlecks). Treten diese Kaltlecks in evakuierten Kryostaten auf, kann das notwendige Hochvakuum ggf. nicht mehr aufrecht erhalten und dadurch der Betrieb der gesamten Anlage unmöglich werden. Eine Ortung solcher Lecks ist meist extrem zeitaufwendig und schwierig. In manchen Fällen müssen ganze Anlagenteile ausgetauscht werden. Besonders kritisch ist die Situation, wenn Kaltlecks an unzugänglichen Stellen der fertigen Anlage auftreten. Dies kann dazu führen, dass ein Großteil der fertigen Einrichtung wieder abgebaut und repariert werden muss, was enorme Verzögerungen und Kosten verursachen kann.One significant problem in the operation of cryogenic facilities is the occurrence of leaks in cryogenic, helium-bearing Pipes, containers or other parts of the vacuum device when these leaks occur Room temperature not available or not detectable (so-called. Cold leaks). If these cold leaks in evacuated cryostat on, can The necessary high vacuum may not be maintained and This makes the operation of the entire system impossible. A location of such Leaks are usually extremely time consuming and difficult. In some cases, whole System parts are exchanged. Particularly critical is the situation if cold spots in inaccessible places occur the finished plant. This can lead to much of the finished device must be dismantled and repaired again, what enormous delays and costs.

Beim Bau von kryotechnischen Anlagen besteht daher ein besonderes Interesse an der Qualitätskontrolle und insbesondere an der Vakuumdichtheit der heliumführenden Komponenten. Besonders gefährdete Stellen sind Schweiß- und Lötverbindungen z.B. von dünnwandigen Behältern, Wärmetauschern oder Rohren.At the Construction of cryogenic plants is therefore of particular interest at the quality control and in particular the vacuum tightness of the helium-carrying Components. Particularly endangered Jobs are welding and solder joints e.g. of thin-walled containers heat exchangers or pipes.

Nach Möglichkeit werden diese Komponenten zwar so konstruiert, dass kritische Stellen später für eine Reparatur zugänglich bleiben. Es lässt sich jedoch nicht vermeiden, dass bei der Montage vakuumdichte Verbindungen, meist Schweißnähte, hergestellt werden müssen, die nicht mehr vor Inbetriebnahme der Anlage unter Betriebsbedingungen getestet werden können. Dies betrifft z. B. Verbindungsschweißnähte von Heliumkühlrohren, die es in größeren Anlagen in großer Anzahl gibt.To possibility While these components are engineered to be critical points later for a repair accessible stay. It leaves but can not avoid that during assembly vacuum-tight connections, mostly welds, made Need to become, not before commissioning the system under operating conditions can be tested. This concerns z. B. joint welds of helium cooling tubes, which it in larger plants in big Number gives.

Aus der Praxis ist das folgende Leckprüfungs-Verfahren bekannt, um schon während der Montage einer kryotechnischen Einrichtung bei lokaler Abkühlung der kritischen Bereiche mit Flüssigstickstoff Kaltlecks zu finden. Ein provisorischer Behälter, z. B. aus Schaumstoff, wird im Bereich der zu testenden Schweißnaht um das Rohr herum gebaut, mit einer handelsüblichen Dichtmasse, einem Schaum oder Klebstoff abgedichtet und mit Flüssigstickstoff gefüllt. Das Rohr wird von innen evakuiert und mit einem Helium-Leckdetektor verbunden. Die kalte Schweißnaht wird dann von außen mit Helium besprüht, wobei man normalerweise zur Gaszufuhr ein dünnes Rohr verwendet, mit dem das Heliumgas in den Flüssigstickstoff eingeblasen wird. Nachteilig an diesem Verfahren ist, dass sichergestellt sein muss, dass Helium an alle Teile der Schweißnaht gelangt. Dies ist schwierig zu kontrollieren und erfordert große Aufmerksamkeit und Verlässlichkeit des Prüfers. Wenn alternativ der Flüssigstickstoff vor dem Test abgelassen oder ausgeblasen wird, so dass die Naht nicht mehr von der Flüssigkeit abgedeckt wird, ergeben sich die folgenden Nachteile. Das Besprühen mit Helium muss sehr schnell erfolgen, bevor sich das Rohr mit der Schweißnaht wieder aufwärmt. Ferner besteht die Gefahr, dass die Naht wegen der Luftfeuchtigkeit sofort vereist und dadurch eventuell vorhandene Lecks verdeckt werden. Es muss dafür gesorgt werden, dass die Schweißnaht ständig unter Stickstoff oder Heliumatmosphäre bleibt. Ähnliche Schwierigkeiten bestehen auch beim lokalen Abkühlen der zu untersuchenden Stelle ohne Flüssigstickstoffbehälter durch Bespritzen mit flüssigem Stickstoff und gleichzeitigem oder unmittelbar darauf folgendem Besprühen mit Helium.Out In practice, the following leak detection method is known to already during the installation of a cryogenic device with local cooling of critical areas with liquid nitrogen To find cold leaks. A provisional container, z. As foam, is built around the pipe in the area of the weld to be tested, with a commercial Sealant, sealed with a foam or adhesive and with liquid nitrogen filled. The tube is evacuated from the inside and with a helium leak detector connected. The cold weld is then from the outside sprayed with helium, wherein One usually uses a thin tube for gas supply, with the the helium gas into the liquid nitrogen blown. The disadvantage of this method is that ensured must be that helium reaches all parts of the weld. This is difficult to control and requires great attention and reliability the examiner. Alternatively, if the liquid nitrogen drained or blown out before the test, leaving the suture no longer covered by the liquid becomes, the following disadvantages arise. The spraying with Helium must be done very quickly, before the pipe with the weld again warms up. Furthermore, there is a risk that the seam due to humidity immediately iced up and thus any existing leaks are covered. It must for it be taken care of that weld constantly remains under nitrogen or helium atmosphere. Similar difficulties exist even with local cooling the site to be examined without liquid nitrogen tank through Splash with liquid Nitrogen and simultaneously or immediately thereafter spray with helium.

Die bekannten Kaltlecksuchverfahren haben daher generell den Nachteil, dass sehr sorgfältig und verlässlich gearbeitet werden muss. Das kann bei großen Anlagen mit Hunderten von Rohrschweißnähten nur unter großem Aufwand gewährleistet werden, wobei dennoch immer eine Restunsicherheit bleibt. Ein weiterer Nachteil dieser Lecksuchverfahren ist, dass sie nicht für Rohre im kalten Zustand unter Helium-Innendruck geeignet sind, wie es den tatsächlichen Betriebsbedingungen normalerweise entspricht. Ein einfaches, genaues und standardmäßiges Verfahren zum lokalen Kaltlecktest von Montageschweißnähten von Rohren unter Innendruck ist bisher nicht bekannt.The known cold leak detection methods therefore generally have the disadvantage that very carefully and reliable has to be worked. This can be done in large installations with hundreds of Pipe welds only under large Effort guaranteed while still leaving residual uncertainty. Another Disadvantage of this leak detection method is that they are not for pipes in the cold state under helium internal pressure are suitable, as it the actual Operating conditions normally corresponds. A simple, accurate and standard procedure for the local cold leak test of assembly welds of pipes under internal pressure is not known yet.

Das Problem der Lecksuche tritt nicht nur beim Betrieb von Vakuumeinrichtungen nahe dem absoluten Nullpunkt auf, sondern allgemein auch bei anderen Vakuumeinrichtungen mit höheren Betriebstemperaturen und insbesondere mit einem komplexen Aufbau, deren Dichtheit erst im fertigen Zustand geprüft werden kann.The problem of leak detection does not just occur in the operation of vacuum devices near absolute zero, but generally also in other vacuum devices with higher operating temperatures and in particular with a complex structure whose tightness can be tested only in the finished state.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Gaszufuhreinrichtung für eine Leckprüfung an einer Vakuumeinrichtung, insbesondere zur Kaltleckprüfung, bereitzustellen, mit der die Nachteile der herkömmlichen Techniken überwunden werden und die insbesondere eine schnelle und zuverlässige Leckprüfung ermöglicht. Die Gaszufuhreinrichtung soll insbesondere zur Leckprüfung an komplexen Vakuumeinrichtungen im betriebsfertigen Zustand ermöglicht werden. Die Aufgabe der Erfindung besteht auch in der Bereitstellung einer Prüfeinrichtung für Vakuumeinrichtungen, die mit einer derartigen Gaszuführungseinrichtung ausgestattet ist. Die Prüfeinrichtung soll leicht und zuverlässig handhabbar sein und einen großen Anwendungsbereich besitzen. Die Aufgabe der Erfindung besteht auch in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Leckprüfung, insbesondere zur Kaltleckprüfung an Vakuumeinrichtungen, das mit hoher Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit selbst an komplexen Vakuumeinrichtungen durchführbar ist.The The object of the invention is an improved gas supply device for one Leak test a vacuum device, in particular for cold leak test to provide with the disadvantages of the conventional Techniques overcome and in particular allows a quick and reliable leak test. The gas supply device should in particular for leak testing Complex vacuum devices are enabled in the ready state. The object of the invention is also to provide a test equipment for vacuum equipment, with such a gas supply device Is provided. The testing device should be light and reliable be manageable and a big one Own scope. The object of the invention is also in providing a method of leak testing, in particular for cold leak testing on vacuum equipment, with high reliability and speed even at complex vacuum devices is feasible.

Diese Aufgabe wird durch eine Gaszufuhreinrichtung, eine Prüfeinrichtung und ein Verfahren zur Leckprüfung mit den Merkmalen der Patentansprüche 1, 10 und 16 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Anwendungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.These Task is by a gas supply device, a test device and a leak detection method with the features of claims 1, 10 and 16 solved. advantageous embodiments and applications of the invention will be apparent from the dependent claims.

Gemäß einem ersten Gesichtspunkt beruht die Erfindung auf der allgemeinen technischen Lehre, zur Leckprüfung an einer Vakuumeinrichtung eine Gaszufuhreinrichtung bereitzustellen, die ein Gehäuse mit einem Gaseinlass und einem Gasauslass aufweist, das auf die Oberfläche eines Teils der Vakuumeinrichtung aufsetzbar ist. Mit der Gaszufuhreinrichtung wird ein lokal begrenzter Gasraum geschaffen, der durch das zu prüfende Teil und das aufgesetzte Gehäuse begrenzt wird. Die Schaffung eines vorbestimmten, die Oberfläche des zu prüfenden Teiles vollständig bedeckenden Gasraumes hat den Vorteil, dass das zu prüfende Teil zuverlässig und unabhängig von den äußeren Temperatur- und/oder Atmosphärenbedingungen lokal mit einem Gas beaufschlagt werden kann. Das Gas kann je nach der konkreten Anwendung der Gaszufuhreinrichtung ein Leckgas oder ein leckgasfreies Trägergas sein.According to one In the first aspect, the invention is based on the general technical Teaching, for leak testing to provide a gas supply device on a vacuum device, the one housing having a gas inlet and a gas outlet facing the surface a part of the vacuum device can be placed. With the gas supply device a local gas space is created by the part to be tested and the attached housing is limited. The creation of a predetermined, the surface of the to be tested Part completely covering gas space has the advantage that the part to be tested reliable and independent from the outside temperature and / or atmospheric conditions can be applied locally with a gas. The gas can vary depending on the concrete application of the gas supply device a leak gas or a leak gas-free carrier gas be.

Vorteilhafterweise kann in dem Gasraum durch die Bereitstellung des Gaseinlasses und des Gasauslasses ein Druck eingestellt werden, der höher als der Druck in der Umgebung des Gehäuses ist. Das Gehäuse kann von dem Gas durchströmt werden, wobei ein Strömungsgleichgewicht zwischen zuströmendem und abströmendem Gas geschaffen wird. Das Gas kann dabei teilweise oder vollständig durch Undichtigkeiten des Gehäuses und/oder Undichtigkeiten zwischen dem Gehäuse und der Oberfläche des zu prüfenden Teiles abströmen. Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass die Berührungsfläche zwischen der Oberfläche des zu prüfenden Teils und dem aufgesetzten Gehäuse und das Gehäuse selbst nicht vakuumdicht sein müssen. Vielmehr kann zwischen den aneinandergrenzenden Seiten des Gehäuses und des zu prüfenden Teils oder durch Undichtigkeiten des Gehäuses selbst, z. B. zwischen Teilen des Gehäuses, Gas durchtreten und dabei Gase (z. B. Luft) oder Flüssigkeiten (z. B. flüssiger Stickstoff) in die Umgebung nach außen drücken. Das zu prüfende Teil der Vakuumeinrichtung kann mit der aufgesetzten Gaszufuhreinrichtung problemlos während der Gaszufuhr und damit während der Lecksuche lo kal z. B. mit flüssigem Stickstoff gekühlt werden, ohne dass die Zuverlässigkeit der Lecksuche beeinträchtigt wird.advantageously, can in the gas space by providing the gas inlet and the gas outlet can be set to a pressure higher than the pressure around the case is. The housing can flows through the gas be, with a flow equilibrium between inflowing and outflowing Gas is created. The gas can partially or completely through Leaks in the housing and / or leaks between the housing and the surface of the to be tested Parting off. A particular advantage of the invention is that the contact surface between the surface of the test to be tested Part and the attached housing and the case do not have to be vacuum tight. Much more can be between the contiguous sides of the case and of the test to be tested Partly or through leaks in the housing itself, z. B. between Parts of the case, Gas and thereby gases (eg air) or liquids (eg liquid Nitrogen) into the environment. The part to be tested the vacuum device can easily with the attached gas supply device while the gas supply and thus during the leak detection lo cal z. B. with liquid Nitrogen cooled without the reliability of the Leak detection impaired becomes.

Mit dem Begriff "Vakuumeinrichtung" wird hier jedes technische Gerät mit einem Hohlkörper, wie z. B. ein Rohr oder Behälter, verstanden, dessen Wand, die in Bezug auf das Auftreten eines Lecks geprüft werden soll, ein Gas oder eine Flüssigkeit von einem Vakuum trennt. Je nach Anwendungsfall kann die Außen- oder Innenseite des Hohlkörpers dazu bestimmt sein, beim Betrieb der Vakuumeinrichtung evakuiert zu sein.With The term "vacuum device" is used here technical device with a hollow body, like z. A pipe or container, understood, whose wall, in relation to the occurrence of a leak checked is to separate a gas or a liquid from a vacuum. Depending on the application, the outside or inside of the hollow body can be determined be evacuated during operation of the vacuum device.

Wenn das Gehäuse gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung einen Gehäusekörper mit einer einseitig sich öffnenden Ausnehmung, z. B. einer Nut, umfasst, können sich die folgenden Vorteile ergeben. Die Gaszufuhreinrichtung erhält einen einfachen und stabilen Aufbau, dessen geometrische Form einfach in Abhängigkeit von der Oberflächenform des zu prüfenden Teils und ggf. dem Verlauf einer kritischen Stelle, wie z. B. einer Schweißnaht gewählt werden kann. Vorteilhafterweise bestehen keine Beschränkungen im Bezug auf die Form des Gehäusekörpers und der Nut. Bevorzugt weist der Gehäusekörper, z. B. in Form eines Quaders, Zylinders oder Ringes, eine durchgehenden Öffnung mit kreisförmigem Querschnitt auf, auf deren Innenseite die Nut als Innennut gebildet ist. Diese Gestaltung ist vorteilhaft an die häufig verwendete Rohrform von Teilen der Vakuumeinrichtung angepasst. Bei Bereichen der Vakuumeinrichtung mit anderen Querschnitten, wie z. B. rechteckigen oder elliptischen Querschnitten, kann die Öffnung im Gehäusekörper einfach angepasst sein. Weist der Bereich mit dem zu prüfenden Teil eine ausgedehnte Ebene oder gekrümmte Oberfläche auf, wie dies bspw. bei einem Behälter oder anderen Teilen der Vakuumeinrichtung der Fall ist, wird die Fläche des Gehäusekörpers passend zur Oberfläche der Vakuumeinrichtung gewählt, so dass das Gehäuse auf die Oberfläche auf setzbar ist. Die passend gebildete Fläche des Gehäusekörpers enthält die genannte Ausnehmung oder Nut, die den Gasraum bildet, von dem das zu prüfende Teil der Vakuumeinrichtung im aufgesetzten Zustand des Gehäuses umgeben ist.If the housing according to a preferred embodiment of the invention, a housing body with a one-sided opening recess, for. As a groove includes, the following advantages may arise. The gas supply device receives a simple and stable structure whose geometric shape simply depends on the surface shape of the part to be tested and possibly the course of a critical point, such as. B. a weld can be selected. Advantageously, there are no restrictions with respect to the shape of the housing body and the groove. Preferably, the housing body, z. B. in the form of a cuboid, cylinder or ring, a through hole with a circular cross section, on the inside of the groove is formed as an inner groove. This design is advantageously adapted to the commonly used tube shape of parts of the vacuum device. In areas of the vacuum device with other cross sections, such. B. rectangular or elliptical cross sections, the opening in the housing body can be easily adapted. Does the area with the part to be tested on an extended plane or curved surface, as for example in a container or other parts of the Va If the vacuum device is the case, the surface of the housing body is chosen to match the surface of the vacuum device, so that the housing can be placed on the surface. The suitably formed surface of the housing body contains said recess or groove, which forms the gas space from which the part to be tested of the vacuum device is surrounded in the mounted state of the housing.

Der Gehäusekörper kann einstückig hergestellt sein. In diesem Fall sind sowohl Anwendungen, bei denen das Gehäuse einseitig auf eine Oberfläche aufgesetzt wird, als auch Anwendungen möglich, bei denen das Gehäuse auf ein Rohr aufgeschoben wird und dort ggf. dauerhaft verbleibt. Alternativ ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, dass das Gehäuse mindestens zwei Gehäuseteile umfasst, die zu dem Gehäusekörper zusammensetzbar sind. Die Gehäuseteile können insbesondere so zusammensetzbar sein, dass im aufgesetzten Zustand das Gehäuse das zu prüfende Teil, z. B. einen Rohrabschnitt, der Vakuumeinrichtung allseitig umschließt. Die Bereitstellung von mehreren Gehäuseteilen, die lösbar miteinander verbunden werden können, besitzt Vorteile in Bezug auf die Flexibilität bei der Anwendung der Gaszufuhreinrichtung und eine leichte Anbringung oder Entfernung der Gaszufuhreinrichtung an oder von bestimmten Teilen der Vakuumeinrichtung.Of the Housing body can one piece be prepared. In this case, both applications are where the housing placed on one side on one surface becomes possible, as well as applications, where the case pushed onto a pipe and where it may remain permanently. Alternatively, according to a preferred embodiment the invention provides that the housing at least two housing parts includes, which can be assembled to the housing body are. The housing parts in particular be composable so that in the attached state, the housing the part to be tested, z. B. a pipe section enclosing vacuum device on all sides. The Provision of several housing parts, the solvable can be connected to each other, has advantages in terms of flexibility in the application of the gas supply device and easy attachment or removal of the gas supply device to or from certain parts of the vacuum device.

Wenn gemäß einer weiteren Modifizierung der Erfindung eine Befestigungseinrichtung vorgesehen ist, mit der das Gehäuse oder die Gehäuseteile an dem zu prüfenden Teil der Vakuumeinrichtung lösbar positionierbar ist, können sich Vorteile für die Stabilität und Betriebssicherheit ergeben. Des Weiteren können die Gehäuseteile mit der Befestigungseinrichtung zusammengehalten werden. Wegen der leichten Bedienbarkeit werden vorzugsweise Schrauben, eine Schlauchklemme, eine Schlauchschelle oder ein Spannring verwendet. Bei Anwendungen der Erfindung, bei denen das Gehäuse einseitig auf eine Oberfläche der Vakuumeinrichtung aufgesetzt wird, kann die Befes tigung bspw. durch Kleben, Schrauben, Klemmen oder Aufdrücken mit Hilfe eines Spannelements erfolgen.If according to a further modification of the invention, a fastening device is provided with the housing or the housing parts the one to be tested Part of the vacuum device detachable can be positioned benefits for the stability and reliability. Furthermore, the housing parts be held together with the fastening device. Because of the light weight Usability are preferably screws, a hose clamp, a hose clamp or a clamping ring used. For applications of Invention in which the housing one-sided on a surface the vacuum device is placed, the attachment can eg. by gluing, screwing, clamping or pressing with the help of a clamping element respectively.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist wenigstens der Gaseinlass, besonders bevorzugt sowohl der Gaseinlass als auch der Gasauslass jeweils mit einer Kopplungseinrichtung ausgestattet, die der lösbaren Ankopplung von Gasleitungen zur Gaszu- oder -abfuhr dienen. Die Kopplungseinrichtung(en) erleichtert(n) die Vorbereitung der Gaszufuhreinrichtung für eine Leckprüfung.According to one another preferred embodiment At least the gas inlet of the invention is particularly preferred both the gas inlet and the gas outlet each with a Coupling device equipped, the releasable coupling of gas lines serve for gas supply or removal. The coupling device (s) facilitates (n) the preparation of the gas supply device for a leak test.

Wenn der Gaseinlass und der Gasauslass des Gehäuses relativ zueinander an entgegengesetzten Enden des Gasraumes angeordnet sind, können sich Vorteile für die Einstellung des o. g. Strömungsüberdrucks im Gasraum ergeben. Vorzugsweise befinden sich der Gaseinlass und der Gasauslass an zwei Positionen (hier: diametrale Positionen genannt), die auf einer maximalen Schnittfläche durch den Gasraum maximale Abstände besitzen.If the gas inlet and the gas outlet of the housing relative to each other can be arranged opposite ends of the gas space Benefits for the setting of the o. g. Flow overpressure in the gas space. Preferably, the gas inlet and are the gas outlet at two positions (here called diametric positions), maximum on a sectional area through the gas space distances have.

Für die Einstellung des Überdrucks im Gasraum kann es ferner von Vorteil sein, wenn der Strömungswiderstand erhöht wird, der bei aufgesetztem Gehäuse zwischen dem Gehäuse und der Oberfläche der Vakuumeinrichtung gegeben ist. Hierzu kann an der Seitenfläche des Gehäuses, die im aufgesetzten Zustand das zu prüfende Teil berührt, eine Dichtung vorgesehen sein, die vorteilhafterweise nicht vakuumdicht sein muss. Alternativ oder zusätzlich kann eine entsprechende Dichtung auch zwischen Einzelteilen des Gehäuses vorgesehen sein.For the setting of overpressure In the gas space, it may also be advantageous if the flow resistance elevated which, with the housing on between the case and the surface the vacuum device is given. This can be done on the side surface of the housing, which in the mounted state touches the part to be tested, a Seal be provided, which advantageously not vacuum-tight have to be. Alternatively or in addition can a corresponding seal also between items of the housing be provided.

Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung wird die genannte Aufgabe durch die Bereitstellung einer Prüfeinrichtung (oder: Lecksucheinrichtung) zur Leckprüfung an einer Vakuumeinrichtung gelöst, welche einerseits die erfindungsgemäße Gaszufuhreinrichtung, die mit einem ersten Leitungszweig verbunden ist, und andererseits einen zweiten Leitungszweig aufweist, der an die Vakuumeinrichtung anschließbar ist. Des Weiteren umfasst die Prüfeinrichtung eine Leckdetektoreinrichtung, die mit einem der Leitungszweige verbunden ist. Mit der Leckdetektoreinrichtung kann die Einführung eines Leckgases von dem jeweils anderen Leitungszweig durch das zu prüfende Teil und den Gasraum der Gaszufuhreinrichtung detektiert werden. Der Begriff „Leitungszweig" bezieht sich hierbei auf eine Leitungsanordnung, durch die das Leckgas oder das Trägergas strömen kann und deren Teil die Gaszufuhreinrichtung oder die Vakuumeinrichtung (oder das zu prüfende Teil der Vakuumeinrichtung) ist. Der erste Leitungszweig verläuft allgemein zwischen einer Gasquelle, wie z. B. einer Leckgas- oder Trägergasquelle, und einem Auslassende, an dem sich ggf. die Leckdetektoreinrichtung und/oder eine anderweitige Auffangeinrichtung befindet. Der zweite Leitungszweig verläuft allgemein zwischen einer Gasquelle, z. B. einer Trägergasquelle, einer Vakuumpumpe und/oder Leckdetektoreinrichtung und dem Innenraum des zu prüfenden Teils der Vakuumeinrichtung.According to one second aspect of the invention, the said object is achieved by the provision of a testing device (or: leak detector) for leak testing on a vacuum device solved, which on the one hand the gas supply device according to the invention, the is connected to a first line branch, and on the other hand a Having second line branch, which is connectable to the vacuum device. Furthermore, the testing device includes a leak detection device connected to one of the legs is. With the leak detection device, the introduction of a Leakage gas from the other line branch through the part to be tested and the gas space of the gas supply means are detected. Of the Term "line branch" refers to this to a conduit arrangement through which the leak gas or the carrier gas can flow and part of the gas supply device or the vacuum device (or the to be tested Part of the vacuum device) is. The first leg is general between a gas source, such. B. a leak gas or carrier gas source, and an outlet end to which, if necessary, the leak detection device and / or another collecting device is located. The second Lines branch runs generally between a gas source, e.g. B. a carrier gas source, a vacuum pump and / or leak detection device and the interior of the test to be tested Part of the vacuum device.

Die Vorteile der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung bestehen in ihrer hohen Betriebszuverlässigkeit und der hohen Flexibilität bei der Anpassung an verschiedene Einbaulagen an einer Vakuumeinrichtung. Die Prüfeinrichtung kann durch die Bereitstellung der Leitungszweige mit den jeweiligen Komponenten einfach aufgebaut werden und die Leckprüfung kann durch Bedienungsfehler kaum beeinflusst werden.The Advantages of the test device according to the invention exist in their high operational reliability and high flexibility in the Adaptation to different mounting positions on a vacuum device. The testing device can by providing the line branches with the respective Components can be easily assembled and the leak test can can hardly be influenced by operating errors.

Gemäß einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung ist der erste Leitungszweig mit einer Leckgasquelle verbunden, von der ein Leckgas, z. B. Helium, dosiert in den Gasraum der Gaszufuhreinrichtung einführbar ist.According to a first embodiment of the Test device according to the invention, the first leg is connected to a leakage gas source, from which a leak gas, for. B. helium, metered into the gas space of the gas supply device is inserted.

Im aufgesetzten Zustand der Gaszufuhreinrichtung strömt das Leckgas in den Gasraum, wo es mit einem Überdruck relativ zum Umgebungsdruck die gesamte Oberfläche des zu prüfenden Teils bedeckt. Wenn an dem zu prüfenden Teil ein Leck vorhanden ist, tritt das Leckgas in die Vakuumeinrichtung über, wo es mit der Leckdetektoreinrichtung im zweiten Leitungszweig erfassbar ist. Diese Ausführungsform ist vorteilhaft, da bei dieser das gesamte zu prüfende Teil vollständig mit reinem Leckgas umgeben ist und dadurch der Lecktest mit sehr hoher Empfindlichkeit durchgeführt werden kann. Außerdem kann durch das relativ gut abgedichtete Volumen des ersten Leitungszweiges und des Gasraumes der Leckgasverbrauch gering gehalten werden.in the attached state of the gas supply device flows the leakage gas in the gas space, where there is an overpressure relative to the ambient pressure, the entire surface of the part to be tested covered. If at the to be tested Part of a leak is present, the leak gas passes into the vacuum device, where it can be detected with the leak detector device in the second line branch is. This embodiment is advantageous because in this the entire part to be tested with completely pure leakage gas is surrounded and thereby the leak test with very high sensitivity carried out can be. Furthermore can by the relatively well sealed volume of the first leg and the gas space of the leakage gas consumption are kept low.

Gemäß einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung ist die Leckgasquelle an den zweiten Leitungszweig angeschlossen, wobei die Passage des Leckgases durch das zu prüfende Teil mit der Leckdetektoreinrichtung im ersten Leitungszweig erfasst wird. Diese Variante ist insbesondere wegen der Möglichkeit vorteilhaft, die Vakuumeinrichtung mit einem Leckgasinnendruck auf Vakuumlecks zu prüfen, was mit den herkömmlichen Techniken zur Lecksuche nur mit großem Aufwand möglich ist.According to one second embodiment the testing device according to the invention the leakage gas source is connected to the second leg, wherein the passage of the leak gas through the part to be tested with the leak detection device is detected in the first leg. This variant is in particular because of the possibility advantageous, the vacuum device with a leakage gas pressure on vacuum leaks to consider, what with the conventional techniques for leak detection only with large Effort possible is.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung besteht darin, dass diese mit einem Testleck ausgestattet sein kann, das mit der Leckdetektoreinrichtung an einem der Leitungszweige angeschlossen ist. Durch die Bereitstellung des Testlecks wird die Kalibrierung der Leckdetektoreinrichtung vereinfacht und die Zuverlässigkeit der Leckprüfung erhöht.One Another advantage of the test device according to the invention is that this can be equipped with a test leak that with the Leak detection device connected to one of the line branches is. By providing the test leak, the calibration becomes the leak detection device simplifies and reliability the leak test increased.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Prüfeinrichtung mit einem Kühlmittelbehälter ausgestattet, in dem das zu prüfende Teil der Vakuumeinrichtung und die Gaszufuhreinrichtung lokal gekühlt werden können. Vorzugsweise bildet der Kühlmittelbehälter ein Reservoir für flüssigen Stickstoff, dessen Volumen geringfügig größer als die Dimensionen des zu prüfenden Teils der Vakuumeinrichtung mit dem aufgesetzten Gehäuse der Gaszufuhreinrichtung ist. Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsform der Erfindung, bei welcher der Kühlmittelbehälter mehrere Behälterteile umfasst, die zu einem Gefäß zur Aufnahme des Kühlmittels zusammensetzbar sind.According to one particularly preferred embodiment The invention is the test device with equipped with a coolant tank, in which the to be tested Part of the vacuum device and the gas supply device are cooled locally can. Preferably forms the coolant tank Reservoir for liquid Nitrogen, whose volume is slightly larger than the dimensions of the to be tested Part of the vacuum device with the attached housing the Gas supply is. Particularly preferred is an embodiment of the invention, wherein the coolant container has a plurality of container parts includes, leading to a receptacle of the coolant are composable.

Verfahrensbezogen wird die oben genannte Aufgabe durch eine Leckprüfung gelöst, bei der zunächst die erfindungsgemäße Gaszufuhreinrichtung auf das zu prüfende Teil der Vakuumeinrichtung aufgesetzt und mit einem ersten Leitungszweig verbunden wird, während die Vakuumeinrichtung mit einem zweiten Leitungszweig verbunden wird. Anschließend wird ein Leckgas, wie z. B. Helium, in einen der beiden Leitungszweige eingeführt und das Vorhandensein des Leckgases in dem jeweils anderen Leitungszweig mit einer Leckdetektoreinrichtung überwacht. Vorzugsweise wird die Gaszufuhreinrichtung an der Vakuumeinrichtung so positioniert, dass das mit Überdruck eingeführte Gas von oben in den Gasraum einströmt und nach unten aus diesem abströmt.Based method the above object is achieved by a leak test, in which first the Gas supply device according to the invention the one to be tested Part of the vacuum device mounted and with a first line branch is connected while the vacuum device connected to a second line branch becomes. Subsequently is a leak gas, such. B. helium, in one of the two line branches introduced and the presence of the leak gas in the respective other line branch monitored with a leak detection device. Preferably the gas supply device is positioned on the vacuum device so that with overpressure introduced Gas flows from the top into the gas space and down from this flows.

Gemäß einer ersten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das Leckgas über den ersten Leitungszweig über die Gaszufuhreinrichtung eingeführt, wobei sich in deren Gasraum ein Überdruck relativ zur Umgebung bildet. Unter der Wirkung des Überdrucks wird Restluft oder ggf. in den Gasraum eingedrungener flüssiger Stickstoff ausgeblasen, bis das zu prüfende Teil, insbesondere eine Schweiß- oder Lötnaht, vollständig einer Leckgasatmosphäre ausgesetzt wird. Über die an die Vakuumeinrichtung angeschlossene Leckdetektoreinrichtung, insbesondere einen Helium-Leckdetektor, kann dann ein eventuell aufgetretenes Kaltleck festgestellt werden.According to one first embodiment the method according to the invention the leak gas is over the first leg over the gas supply device introduced, wherein in the gas space an overpressure relative to the environment forms. Under the effect of overpressure residual air or any liquid nitrogen penetrated into the gas space is blown out, until the to be tested Part, in particular a welding or soldered seam, Completely a leakage gas atmosphere is suspended. about the leak detection device connected to the vacuum device, in particular a helium leak detector, then a possibly occurred Cold leak can be detected.

Gemäß einer zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Leckprüfung in umgekehrter Richtung. Über den ersten Leitungszweig wird in die Gaszufuhreinrichtung ein leckgasfreies Trägergas, wie z. B. Stickstoff, Neon oder ein Gemisch aus beiden, zugeführt, das wieder mit geringem Überdruck Restluft oder flüssigen Stickstoff aus dem Gasraum ausbläst. Das aus dem Gasraum der Gaszufuhreinrichtung durch den Gasauslass abströmende Trägergas wird mit Hilfe der Leckdetektoreinrichtung des ersten Leitungszweiges auf Spuren des Leckgases untersucht, das ggf. von der Innenseite der Vakuumeinrichtung ausgetreten ist. Wenn im Trägergas eine Zunahme des Leckgasgehaltes festgestellt wird, ist ein Kaltleck an dem zu prüfenden Teil gegeben.According to one second embodiment the method according to the invention the leak test takes place in the opposite direction. about the first leg is in the gas supply a leak gas free Carrier gas, such as As nitrogen, neon or a mixture of both, supplied, the again with low overpressure Residual air or liquid Nitrogen blows out of the gas space. From the gas space of the gas supply device through the gas outlet outflowing carrier gas is determined by means of the leak detection device of the first line branch examined for traces of the leak gas, possibly from the inside the vacuum device has leaked. If in the carrier gas a Increase in the leakage gas content is detected is a cold leak at the to be tested Given part.

Beide Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens können erfindungsgemäß kombiniert werden, indem sie aufeinander folgend durchgeführt werden. Hierzu kann eine wahlweise schaltbare Verbindung der in den Leitungszweigen enthaltenen Komponenten mit der Gaszufuhreinrichtung oder der Vakuumeinrichtung vorgesehen sein.Both embodiments the method according to the invention can combined according to the invention be done by being consecutive. This can be a optionally switchable connection of the contained in the line branches Components with the gas supply device or the vacuum device be provided.

Besonders bevorzugt ist die Anwendung der Erfindung bei der Suche nach Kaltlecks. Dies bedeutet, dass sich das zu prüfende Teil während der Leckgaszuführung und der Detektion des Leckgases in einem gekühlten Zustand befindet. Vorteilhafterweise können damit bereits in einer Testphase Kaltlecks erfasst werden, die sonst erst beim Betrieb der Vakuumeinrichtung bei niedrigen Temperaturen auftreten würden. Alternativ kann die Leckprüfung bei Raumtemperatur oder wiederholt bei verschiedenen Temperaturen, insbesondere beim Übergang von der Raumtemperatur zu einer niedrigen Temperatur, bis nahe zum absoluten Nullpunkt durchgeführt werden.Particularly preferred is the application of the invention in the search for cold leaks. This means that the part to be tested is in a cooled state during the leak gas supply and the detection of the leak gas. Advantageously, it is thus possible to detect cold leaks already in a test phase, which otherwise would only be detected during operation of the Va would occur at low temperatures. Alternatively, the leak test may be performed at room temperature or repeatedly at various temperatures, particularly at the transition from room temperature to a low temperature, to near absolute zero.

Wenn bei der erfindungsgemäßen Leckprüfung eine Kalibrierung des Leitungszweiges, in dem die Überwachung des Auftretens des Leckgases erfolgt, vorgesehen ist, kann die Zuverlässigkeit der Leckprüfung vorteilhafterweise erhöht werden.If in the case of the leak test according to the invention Calibration of the line branch, in which the monitoring of the occurrence of the Leakage gas is provided, the reliability can be the leak test advantageously increased become.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden im Folgenden unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:Further Details and advantages of the invention will become apparent below Reference to the attached Drawings described. Show it:

1 und 2: zwei Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung zur Kaltleckprüfung; 1 and 2 Two embodiments of a test device according to the invention for cold leak testing;

3: weitere Einzelheiten einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Gaszufuhreinrichtung; 3 : further details of an embodiment of the gas supply device according to the invention;

4 bis 6: verschiedene Varianten der Anbringung einer erfindungsgemäßen Gaszufuhreinrichtung auf einem Rohr; und 4 to 6 : Various variants of the attachment of a gas supply device according to the invention on a pipe; and

7: eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Gaszufuhreinrichtung auf einer Behälteroberfläche. 7 A further embodiment of the gas supply device according to the invention on a container surface.

Zur Illustration von Ausführungsformen der Erfindung wird im Folgenden beispielhaft auf die Lecksuche an einer Vakuumeinrichtung Bezug genommen, die durch ein evakuiertes oder unter Überdruck verwendetes Rohr oder einen evakuierten oder unter Überdruck verwendeten Behälter gebildet wird, das als zu prüfendes Teil eine Verbindungsstelle mit einer Schweißnaht auf weist. Es wird betont, dass die Umsetzung der Erfindung nicht auf diese Variante beschränkt ist. Durch die Gestaltung des Gehäuses und der Form seiner im aufgesetzten Zustand die Oberfläche der Vakuumeinrichtung berührenden Seitenfläche kann die Erfindung entsprechend an allen Teilen von Vakuumeinrichtungen angewendet werden.to Illustration of embodiments The invention will be described below by way of example for leak detection a vacuum device, which is evacuated by a or under overpressure used pipe or an evacuated or under overpressure used containers which is to be tested as Part a junction with a weld on points. It is emphasized that the implementation of the invention is not limited to this variant. By the design of the housing and the shape of its in the fitted state the surface of the Contacting vacuum device side surface The invention can accordingly be applied to all parts of vacuum equipment be applied.

In 1 ist die erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens unter Verwendung der Prüfeinrichtung 100 für das evakuierte Rohr 20 schematisch illustriert, das als zu prüfendes Teil eine Verbindungsstelle mit einer Schweißnaht 21 aufweist. Das Rohr 20 mit der Schweißnaht 21 wird lokal mit Flüssigstickstoff (LN2) gekühlt. Dieser befindet sich im Behälter 60, der aus mehreren Teilen 61, 62 über dem Rohr zusammengesetzt sein kann. Eine Knetmasse, Kleber oder dgl. 63 dichtet sowohl den Behälter 60 gegen das Rohr 20 als auch die Behälterteile 61, 62 untereinander ab.In 1 is the first embodiment of the method according to the invention using the test device 100 for the evacuated tube 20 schematically illustrates that as the part to be tested a joint with a weld 21 having. The pipe 20 with the weld 21 is cooled locally with liquid nitrogen (LN2). This is located in the container 60 which consists of several parts 61 . 62 can be assembled over the pipe. A plasticine, glue or the like. 63 seals both the container 60 against the pipe 20 as well as the container parts 61 . 62 from each other.

Die erfindungsgemäße Gaszufuhreinrichtung 10 umfasst ein Gehäuse 11 in Form eines Zylinders oder Ringes mit einer Innennut 15. Das Gehäuse 11 ist so auf dem Rohr 20 positioniert, dass die Innennut 15 einen ringförmigen Gasraum 12 über der Schweißnaht 21 bildet. An einem Gaseinlass 13 und einem Gasauslass 14 sind jeweils kapillarförmige Gasleitungen angekoppelt. Ein Ringspalt zwischen dem Rohr 20 und dem Gehäuse 11 ist mit einer Dichtung 16, beispielsweise mit Teflonband oder ebenfalls Knetmasse, abgedichtet. Diese Dichtung muss vorteilhafterweise nicht vakuumdicht sein. Wenn der Ringspalt durch eine Formpassung des Gehäuses 11 mit der Außenform des Rohres 20 eng ausgeführt ist, kann diese zusätzliche Abdichtung auch entfallen. Das Gehäuse 11 ist so montiert, dass der Gaseinlass 13 und der Gasauslass 14 an der obersten bzw. untersten Stelle des Gasraum 12 angeordnet sind.The gas supply device according to the invention 10 includes a housing 11 in the form of a cylinder or ring with an internal groove 15 , The housing 11 is so on the pipe 20 positioned that inner groove 15 an annular gas space 12 above the weld 21 forms. At a gas inlet 13 and a gas outlet 14 each capillary-shaped gas lines are coupled. An annular gap between the pipe 20 and the housing 11 is with a seal 16 , For example, with Teflon tape or plasticine, sealed. This seal advantageously does not have to be vacuum tight. If the annular gap by a form fit of the housing 11 with the outer shape of the tube 20 is tight, this additional seal can also be omitted. The housing 11 is mounted so that the gas inlet 13 and the gas outlet 14 at the top or bottom of the gas space 12 are arranged.

Ein erster Leitungszweig 30 führt von einer Leckgasquelle 31 über ein Ventil 32, das Gehäuse 11 und ein Ventil 33 zu einem Auslassende. Heliumgas wird aus der Leckgasquelle 31 dosiert über das Ventil 32 und den (oberen) Gaseinlass 13 in den Gasraum 12 eingeblasen. Eventuell vorhandener Flüssigstickstoff und nachströmendes Helium werden aus dem (unteren) Gasauslass 14 über das Auslassventil 33 ausgeblasen. Der Heliumüberdruck, der mit den Ventilen 32 und 33 eingestellt wird, wirkt als Gasdichtung und verhindert ein Einströmen von Flüssigstickstoff in den Gasraum 12. Dadurch ist gewährleistet, dass sich die kalte Schweißnaht 21 vollständig in einer He-Atmosphäre befindet.A first line branch 30 leads from a leak gas source 31 via a valve 32 , the case 11 and a valve 33 to an outlet end. Helium gas is from the leakage gas source 31 metered via the valve 32 and the (upper) gas inlet 13 in the gas space 12 blown. Any existing liquid nitrogen and helium will flow out of the (lower) gas outlet 14 via the outlet valve 33 blown out. The helium overpressure associated with the valves 32 and 33 is set, acts as a gas seal and prevents inflow of liquid nitrogen into the gas space 12 , This ensures that the cold weld 21 completely located in a he-atmosphere.

Ein zweiter Leitungszweig 40 verbindet das Rohr 20 über ein Ventil 41 mit dem Leckdetektor 50 der Leckdetektoreinrichtung. Des Weiteren ist über ein weiteres Ventil 42 eine Vakuumpumpe 43 und am entgegengesetzten Ende des Rohres 20 über ein Ventil 44 ein Testleck 51 angeschlossen.A second line branch 40 connects the pipe 20 via a valve 41 with the leak detector 50 the leak detection device. Furthermore, there is another valve 42 a vacuum pump 43 and at the opposite end of the tube 20 via a valve 44 a test leak 51 connected.

Die Detektion eines eventuellen Kaltlecks der Schweißnaht 21 umfasst die folgenden Schritte. Das Rohr 20 wird beispielsweise mit der Vakuumpumpe 43 evakuiert. Wenn der Innendruck des Rohres 20 ausreichend niedrig ist, wird der Leckdetektor 50 über das Ventil 41 an das Rohr 20 angeschlossen. Die Vakuumpumpe 43 wird durch das Ventil 42 zur Verbesserung der Lecksuchempfindlichkeit nach Möglichkeit vom Rohr 20 getrennt. Vor dem Einblasen des Heliums in den Gasraum 12 und/oder nach Abschluss der Prüfung kann die Lecksucheinrichtung mit Hilfe des Testlecks 51, das über das Ventil 44 an das Rohr 20 angeschlossen ist, in an sich bekannter Weise kalibriert werden.The detection of a possible cold leak of the weld 21 includes the following steps. The pipe 20 For example, with the vacuum pump 43 evacuated. When the internal pressure of the pipe 20 is sufficiently low, the leak detector 50 over the valve 41 to the pipe 20 connected. The vacuum pump 43 is through the valve 42 to improve the leak detection sensitivity of the pipe if possible 20 separated. Before blowing the helium into the gas space 12 and / or after completion of the test, the leak detector can be detected using the test leak 51 that's over the valve 44 to the pipe 20 is connected, calibrated in a conventional manner.

In einer vorteilhaften Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens wird Helium schon vor der Abkühlung, das heißt vor dem Einfüllen des Flüssigstickstoffs in den Behälter 60, in den Gasraum 12 geblasen und dabei ein leichter Überdruck erzeugt. Der Leckdetektor 50 kann nach Evakuierung des Rohres 20 schon im warmen Zustand der Schweißnaht 21 zugeschaltet werden. Durch Einfüllen von Flüssigstickstoff in den Behälter 60 wird die Schweißnaht 21 gemeinsam mit dem Gehäuse 11 abgekühlt. Der Vorteil dieser Variante besteht darin, dass einerseits die Schweißnaht 21 über den gesamten Temperaturbereich getestet wird und sie sich andererseits schon im warmen Zustand in Heliumatmosphäre befindet. Dadurch kann sich mit Sicherheit keine Eisschicht, die ein eventuelles Leck abdecken könnte, aus der Luftfeuchtigkeit über der Schweißnaht 21 bilden.In an advantageous variant of the invention According to the invention process helium is already before cooling, that is before filling the liquid nitrogen in the container 60 , in the gas room 12 blown while creating a slight overpressure. The leak detector 50 can after evacuation of the pipe 20 already in the warm state of the weld 21 be switched on. By filling liquid nitrogen into the container 60 becomes the weld 21 together with the housing 11 cooled. The advantage of this variant is that on the one hand the weld 21 is tested over the entire temperature range and on the other hand, it is already in the warm state in helium atmosphere. As a result, no layer of ice that could possibly cover a leak can be sure to come from the humidity above the weld 21 form.

In einer Variante des Testverfahrens bei evakuiertem Rohr oder Behälter kann auf eine Leitung am Gasauslass 14 und auf das Ventil 33 verzichtet werden. Der Helium-Überdruck wird dann nur durch das Ventil 32 eingestellt und das Helium strömt durch die Undichtheiten des Ringes bzw. des Spaltes, vorwiegend aber durch den Gasauslass 14 in den Flüssigstickstoff ab.In a variant of the test procedure with evacuated pipe or container can on a line at the gas outlet 14 and on the valve 33 be waived. The helium overpressure is then only through the valve 32 set and the helium flows through the leaks of the ring or the gap, but mainly through the gas outlet 14 into the liquid nitrogen.

In 2 ist die zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens unter Verwendung der Prüfeinrichtung 100 für das evakuierte Rohr 20 dargestellt. 2 zeigt die erfindungsgemäße Lecksuche an dem Rohr 20 mit Heliumüberdruck im Innenraum. Das Rohr 20 mit der Schweißnaht 21 wird wieder lokal im Bereich der Schweißnaht 21 mit Flüssigstickstoff gekühlt. Der Flüssigstickstoff-Behälter 60 ist durch eine Knetmasse, Kleber oder dgl. 63 provisorisch abgedichtet. Das Gehäuse 11 ist wie oben beschrieben so über dem Rohr 20 angeordnet, dass die Nut 15 den ringförmigen Gasraum 12 über der Schweißnaht 21 bildet. Der Ringspalt zwischen dem Rohr 20 und dem Gehäuse 11 ist beispielsweise mit Teflonband 16 abgedichtet.In 2 is the second embodiment of the method according to the invention using the test device 100 for the evacuated tube 20 shown. 2 shows the leak detection according to the invention on the tube 20 with helium overpressure in the interior. The pipe 20 with the weld 21 becomes local again in the area of the weld 21 cooled with liquid nitrogen. The liquid nitrogen tank 60 is by a plasticine, glue or the like. 63 provisionally sealed. The housing 11 is above the pipe as described above 20 arranged that the groove 15 the annular gas space 12 above the weld 21 forms. The annular gap between the pipe 20 and the housing 11 is for example with Teflon tape 16 sealed.

Bei dieser Ausführungsform der Erfindung führt der erste Leitungszweig 30 von einer Trägergasquelle 34 über ein Ventil 35, das Gehäuse 11 und ein Drosselventil 37 zu dem Leckdetektor 50. Der zweite Leitungszweig 40 umfasst das Rohr 20, das über ein Ventil 45 mit der Leckgasquelle 46 verbunden ist.In this embodiment of the invention, the first leg leads 30 from a carrier gas source 34 via a valve 35 , the case 11 and a throttle valve 37 to the leak detector 50 , The second line branch 40 includes the tube 20 that has a valve 45 with the leak gas source 46 connected is.

Im zweiten Leitungszweig 40 wird das Innere des Rohres 20 aus der Leckgasquelle 46 über das Ventil 45 mit Heliumgas gefüllt und mit einem Druck beaufschlagt. Erfindungsgemäß strömt im ersten Leitungszweig 30 ein Trägergas (beispielsweise Stickstoff, Neon oder ein Gemisch aus beiden) aus der Trägergasquelle 34 über das Ventil 35 und den oberen Gaseinlass 13 in den Gasraum 12. Eventuell vorhandener Flüssigstickstoff wird aus dem unteren Gasauslass 14 über das Auslassventil 36 hinausgedrückt. Der Trägergasüberdruck verhindert ein Einströmen von Flüssigstickstoff in den Gasraum 12 durch Undichtheiten des Ringspaltes oder des Gehäuses 11.In the second leg 40 becomes the interior of the pipe 20 from the leak gas source 46 over the valve 45 filled with helium gas and pressurized. According to flows in the first leg 30 a carrier gas (eg, nitrogen, neon, or a mixture of both) from the carrier gas source 34 over the valve 35 and the upper gas inlet 13 in the gas space 12 , Any existing liquid nitrogen is removed from the lower gas outlet 14 via the outlet valve 36 forced out. The carrier gas overpressure prevents liquid nitrogen from flowing into the gas space 12 due to leaks in the annular gap or housing 11 ,

Mit dem Leckdetektor 50 wird über das Drosselventil 37 das aus dem Gasraum 12 abströmende Trägergas auf Helium aus einem eventuellen Leck der Schweißnaht 21 untersucht. Alternativ dazu kann das Trägergas auch am Auslassende 38 mit einem Leckdetektor 53 über eine Schnüffelsonde 54 auf Helium geprüft werden. Die mit einer gestrichelten Linie markierten Komponenten 53, 54 sind optional als Alternative zu der Komponente 50 vorgesehen. Der Leckdetektor 50 oder 53 kann in beiden Fällen über das Ventil 18 mit dem Testleck 51 kalibriert werden. Die Kalibrierung erfolgt vor dem Füllen des Rohres 20 mit Helium und/oder nach Abschluss der Prüfung und Evakuierung des Rohres 20.With the leak detector 50 is via the throttle valve 37 that from the gas space 12 outgoing carrier gas on helium from a possible leak of the weld 21 examined. Alternatively, the carrier gas may also be at the outlet end 38 with a leak detector 53 via a sniffer probe 54 be tested for helium. The components marked with a dashed line 53 . 54 are optional as an alternative to the component 50 intended. The leak detector 50 or 53 can in both cases via the valve 18 with the test leak 51 be calibrated. The calibration is done before filling the pipe 20 with helium and / or after completion of the test and evacuation of the pipe 20 ,

Das erfindungsgemäße Leckprüfverfahren kann sowohl bei evakuiertem Prüfling als auch bei einem Prüfling unter He-Überdruck bei Rohren oder rohrähnlichen Bauteilen oder Behältern mit allen Durchmessern und Formen, durchgeführt werden, die durch die konkrete Bauart der Vakuumeinrichtung gegeben sind. Dies können zum Beispiel Rechteckrohre, konische Rohre oder auch die Hüllen von Supraleiterkabeln sein. Ferner können auch geschweißte oder gelötete Verbindung von Rohrstücken unterschiedlicher Durchmesser oder Materialien geprüft werden. Die Form des Gehäuses 11 kann vom Anwender entsprechend den gegebenen Bedingungen gewählt werden. Das zu prüfende Teil kann jede beim Aufbau der Vakuumeinrichtung gegebene Oberflächenform, z. B. die Form einer ebenen Platte, einer Zylinderoberfläche, einer Kugeloberfläche oder einer anders gekrümmten Oberfläche, aufweisen.The leak detection method according to the invention can be carried out both with evacuated test specimen and with a specimen under He overpressure in pipes or pipe-like components or containers with all diameters and shapes, which are given by the concrete design of the vacuum device. These can be, for example, rectangular tubes, conical tubes or the sheaths of superconducting cables. Furthermore, welded or soldered connection of pipe sections of different diameters or materials can be tested. The shape of the case 11 can be selected by the user according to the given conditions. The part to be tested can be any given in the construction of the vacuum device surface shape, for. Example, the shape of a flat plate, a cylinder surface, a spherical surface or a different curved surface, have.

Je nach Dichtheit des Gehäuses 11 wird ein Leck- oder Trägergasstrom eingestellt, so dass ein leichter Überdruck im Gasraum 12 aufrecht erhalten wird. Bei Verwendung von Stickstoff als Trägergas kann es bei sehr geringer Strömungsgeschwindigkeit zu einer vollständigen Abkühlung des Gases auf die Temperatur des Flüssigstickstoffs und damit zur Kondensation im Gasraum 12 kommen. Das Kondensat fließt zum unteren Gasauslass 14, wird wieder ausgeblasen und verdampft in der warmen Leitung außerhalb des LN2-Bereiches, bevor es zu den Ventilen 36 oder 37 kommt. Soll die Kondensation, die möglicherweise zu unstabilen Messungen führen kann, vermieden werden, kann man die Trägergasgeschwindigkeit erhöhen und dadurch das Gas im Gasraum 12 auf einer etwas höheren Temperatur halten. Eine andere Möglichkeit ist die Verwendung von Neon oder einem Gemisch aus Stickstoff und Neon als Trägergas, das einen unter der Temperatur des Flüssigstickstoffs liegenden Taupunkt hat.Depending on the tightness of the housing 11 a leakage or carrier gas flow is adjusted, so that a slight overpressure in the gas space 12 is maintained. When using nitrogen as a carrier gas, it can be at a very low flow rate to a complete cooling of the gas to the temperature of the liquid nitrogen and thus for condensation in the gas space 12 come. The condensate flows to the lower gas outlet 14 , is blown out again and vaporizes in the warm line outside the LN2 area, before it reaches the valves 36 or 37 comes. If the condensation, which can possibly lead to unstable measurements, can be avoided, one can increase the carrier gas velocity and thereby the gas in the gas space 12 Keep at a slightly higher temperature. Another possibility is the use of neon or a mixture of nitrogen and neon as the carrier gas, which has a dew point below the temperature of the liquid nitrogen.

Um bei stärkeren Gasströmen durch den Gasraum 12 ein unerwünschtes Aufwärmen der Schweißnaht 21 zu vermeiden, kann die Abkühlung des zugeführten Leck- oder Trägergases durch Vorkühlen in einem separaten Flüssigstickstoff-Behälter oder durch Verlegen eines längeren Teils der Gasleitung 39 zur Trägergaszuführung, beispielsweise in Form von Schleifen, innerhalb des Behälters 60 vorgesehen sein. Da die Gasleitung 39 sehr dünn, z. B. ein Kapillarrohr, sein kann, ist es problemlos möglich, eine ausreichende Leitungslänge zur Vorkühlung im Behälter 60 unterzubringen.For stronger gas flows through the gas space 12 an undesirable warming up of the weld 21 To avoid the cooling of the supplied leak or carrier gas by pre-cooling in a separate liquid nitrogen tank or by laying a longer part of the gas line 39 for carrier gas supply, for example in the form of loops, within the container 60 be provided. Because the gas line 39 very thin, z. B. can be a capillary tube, it is easily possible, a sufficient length of pipe for pre-cooling in the container 60 accommodate.

3 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung mit weiteren Einzelheiten. In diesem Beispiel ist der Ringspalt zwischen dem Gehäuse 11 und der Oberfläche des Rohres 20 mit einer Dichtmasse 16 gedichtet und die Helium bzw. Träger-Gasleitungen sind mit den Gasein- und -auslässen 13 und 14 über handelsübliche Verschraubungen 39.1 verbunden. Die Gasein- und -auslässe 13 und 14 umfassen jeweils eine Bohrung im Gehäusekörper, die von der jeweiligen seitlichen Stirnfläche zur Innennut 15 führt. In die Bohrungen sind als Kopplungseinrichtung 18 Hülsen eingesetzt, mit denen die Gasleitungen 39 verbunden sind. Das Gehäuse 11 ist mit einer Schelle 17 befestigt, die mit weiteren Einzelheiten in den 4 und 5 gezeigt ist. 3 shows a further embodiment of the invention with further details. In this example, the annular gap is between the housing 11 and the surface of the pipe 20 with a sealant 16 sealed and the helium or carrier gas lines are with the gas inlets and outlets 13 and 14 via standard screwed connections 39.1 connected. The gas inlets and outlets 13 and 14 each comprise a bore in the housing body, from the respective lateral end face to the inner groove 15 leads. In the holes are as a coupling device 18 Sleeves used with which the gas lines 39 are connected. The housing 11 is with a clamp 17 attached with more details in the 4 and 5 is shown.

Die konkrete Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gehäuses 11 und der Anschlüsse 13 und 14 kann von den dargestellten Beispielen abweichen. Beispielsweise ist es möglich, dass die Anschlüsse an der Mantelfläche des Ringes und nicht an den Stirnflächen angebracht sind, die zugehörigen Bohrungen in einer anderen Richtung in Bezug auf die Ringachse gebohrt sind, dass das Gehäuse 11 und die Innennut 15 andere Formen haben, oder dass die Ringhälften durch beliebige Klammern zusammengehalten werden.The specific embodiment of the housing according to the invention 11 and the connections 13 and 14 may differ from the examples shown. For example, it is possible that the terminals are mounted on the lateral surface of the ring and not on the end faces, the associated bores are drilled in a different direction with respect to the ring axis that the housing 11 and the inner groove 15 have other shapes, or that the ring halves are held together by any brackets.

4 zeigt ein konkretes Ausführungsbeispiel der Erfindung mit weiteren Einzelheiten. Das Rohr 20 mit der Schweißnaht 21 liegt waagrecht, der Stickstoff im Behälter 60 kühlt lokal sowohl das Rohr 20 als auch die Schweißnaht 21 und ist über die provisorischen Dichtungen 63 gegen das Rohr 20 abgedichtet. Das Gehäuse 11 der Gaszufuhreinrichtung 10 besteht z. B. aus Kupfer, Messing, Stahl, GFK oder einem anderen geeigneten Material, und ist über der Schweißnaht 21 so positioniert, dass diese vollständig im Gasraum 12 angeordnet ist. Der Ringspalt ist beispielsweise mit einem Teflonband 16 oder einer Knetmasse abgedichtet. 4 shows a concrete embodiment of the invention with further details. The pipe 20 with the weld 21 lies horizontally, the nitrogen in the container 60 locally cools both the pipe 20 as well as the weld 21 and is about the provisional seals 63 against the pipe 20 sealed. The housing 11 the gas supply device 10 exists z. B. copper, brass, steel, GRP or other suitable material, and is above the weld 21 positioned so that these are completely in the gas space 12 is arranged. The annular gap is, for example, with a Teflon tape 16 or a putty sealed.

Das Gehäuse 11 besteht aus zwei Gehäuseteilen 11.1, 11.2 (s. Seitenansicht rechts in 4), der Spalt 11.3 zwischen beiden Hälften ist ebenfalls mit Teflon, einer Knetmasse oder dergleichen abgedichtet. Der Gaseinlass 13 und der Gasauslass 14 sind jeweils mit einer Gasleitung 39 verbunden, die in entsprechende Hülsen 18 an beiden Stirnseiten des Gehäuses 11 eingesteckt und gedichtet, eingelötet, eingeschweißt oder eingeklebt ist. Die Anschlüsse können auch eingeschraubt oder ohne Dichtmittel eingesteckt sein. Die Gasleitungen 39 sind Kapillarrohre, die als Leitungen für das Helium oder Trägergas dienen. Die Hülsen 18 sitzen in Bohrungen 19. Diese sind so tief und so angeordnet, dass sie eine Verbindung zwischen den Gasleitungen 39 und dem Gasraum 12 herstellen. Das Gehäuse 11 wird am Rohr 20 vorteilhafterweise immer so gedreht, dass die Bohrung 19 für den Gaseinlass 13 an der höchsten und die Bohrung 19 für den Gasauslass 14 an der tiefsten Stelle des Gasraumes 12 angeordnet sind. Die beiden Gehäuseteile 11.1, 11.2 sind bei diesem Beispiel durch eine Schelle 17 mit einer Schraube 17.1 zusammengeschraubt. Die beiden Gehäuseteile könnten alternativ verschraubt oder durch eine Schlauchklemme, Schlauchschelle, einen Spannring oder dgl. zusammengehalten sein.The housing 11 consists of two housing parts 11.1 . 11.2 (see side view right in 4 ), the gap 11.3 between the two halves is also sealed with Teflon, a plasticine or the like. The gas inlet 13 and the gas outlet 14 are each with a gas line 39 connected in corresponding sleeves 18 on both ends of the housing 11 inserted and sealed, soldered, welded or glued. The connections can also be screwed in or inserted without sealant. The gas pipes 39 are capillary tubes that serve as conduits for the helium or carrier gas. The pods 18 sit in holes 19 , These are so deep and arranged that they connect between the gas pipes 39 and the gas space 12 produce. The housing 11 gets on the pipe 20 advantageously always turned so that the bore 19 for the gas inlet 13 at the highest and the bore 19 for the gas outlet 14 at the lowest point of the gas space 12 are arranged. The two housing parts 11.1 . 11.2 are in this example by a clamp 17 with a screw 17.1 screwed together. The two housing parts could alternatively be screwed or held together by a hose clamp, hose clamp, a clamping ring or the like.

In 5 ist eine weitere Variante der Erfindung dargestellt, die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich der Gaseinlass 13 und der Gasauslass 14 auf einer Seite des Gehäuses 11 befinden. Dabei ist eine Anschlussbohrung, in diesem Beispiel die untere Bohrung 19, tiefer als die Breite des Gasraumes 12. Die Gasleitung 39 ist so weit in die Bohrung 19 eingesetzt, dass die zum Gasraum 12 verbleibende Auslassöffnung auf einen kleinen Bereich diagonal gegenüber dem Gaseinlass 13 beschränkt bleibt. Ein weiterer Unterschied zur Ausführung gemäß 4 besteht darin, dass die Gaszu- und -ableitungen 39 von den Anschlüssen 13 und 14 aus aufgesteckten, tieftemperaturbeständigen Schläuchen, eventuell auch metallischen Wellschläuchen, bestehen. Anstelle der Schläuche könnten alternativ biegsame Rohre z. B. aus weichem Kupfer aufgesteckt und auch durch Teflon, einer Knetmasse oder dgl. gedichtet sein.In 5 a further variant of the invention is shown, which is characterized in that the gas inlet 13 and the gas outlet 14 on one side of the case 11 are located. Here is a connection hole, in this example, the lower hole 19 , deeper than the width of the gas space 12 , The gas line 39 is so far into the hole 19 used that to the gas space 12 remaining outlet opening on a small area diagonally opposite the gas inlet 13 remains limited. Another difference to the design according to 4 is that the gas supply and discharge 39 from the terminals 13 and 14 made of attached, low-temperature-resistant hoses, possibly also metallic corrugated hoses exist. Instead of the hoses could alternatively flexible tubes z. B. of soft copper and also by Teflon, a plasticine or the like. Be sealed.

6 illustriert eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Gaszufuhreinrichtung 10 in Schnittansicht. Die Gaszufuhreinrichtung 10 ist auf ein Rohr 20 aufgesetzt. Die Gehäuseteile 11.1 und 11.2 sind bei dieser Ausführungsform unmittelbar durch Schrauben 17.2 miteinander verbunden. 6 illustrates another embodiment of the gas supply device according to the invention 10 in sectional view. The gas supply device 10 is on a pipe 20 placed. The housing parts 11.1 and 11.2 are in this embodiment directly by screws 17.2 connected with each other.

7 illustriert eine weitere Abwandlung der Erfindung, bei der das Gehäuse 11 der Gaszufuhreinrichtung 10 einseitig auf der Oberfläche eines Behälters 20 aufgesetzt ist. Der Behälter 20 enthält als zu prüfendes Teil 21 eine Schweißnaht, die sich bspw. in Form einer geraden Linie senkrecht zur Zeichenebene in 7 erstreckt. Das Gehäuse 11 weist einen langgestreckten Gehäusekörper mit einer an die Oberflächenform des Behälters 20 angepassten Seitenfläche und einer in neren Ausnehmung 15 zur Bildung des Gasraumes 12 auf. In den Gehäusekörper sind der Gaseinlass und der Gasauslass eingebaut, an welche die Leitungen 39 angeschlossen sind. 7 illustrates a further modification of the invention, in which the housing 11 the gas supply device 10 one-sided on the surface of a container 20 is attached. The container 20 contains as part to be tested 21 a weld which, for example, in the form of a straight line perpendicular to the plane in 7 extends. The housing 11 has an elongated housing body with a to the surface shape of the container 20 adapted side surface and one in ner recess 15 for the formation of the gas space 12 on. In the housing body the gas inlet and the gas outlet are installed, to which the lines 39 are connected.

Das Bezugszeichen 70 verweist auf eine schematisch gezeigte Befestigungseinrichtung, wie z. B. ein Spannelement, mit der das Gehäuse 11 auf die Behälteroberfläche aufgedrückt und in seiner Position festgehalten wird.The reference number 70 refers to a schematically shown fastening device, such. B. a clamping element, with which the housing 11 is pressed onto the container surface and held in position.

Zur Kaltlecksuche ist optional ein Kühlmittelbehälter 60 vorgesehen, der auf der Oberfläche des Behälters 20 abgedichtet aufgesetzt ist.For cold spot search is optional a coolant tank 60 provided on the surface of the container 20 sealed is placed.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale können sowohl einzeln als auch in Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.The in the foregoing description, drawings and claims Features can both individually and in combination for the realization of the invention be significant in their various embodiments.

Claims

Gas supply device ( 10 ) for leak testing on a vacuum device ( 20 ), characterized by a housing ( 11 . 11.1 . 11.2 ), creating a local gas area ( 12 ) to a part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) and a gas inlet ( 13 ) for supplying a gas into the gas space ( 12 ) and a gas outlet ( 14 ) for removing the gas from the gas space ( 12 ) having.

Gas supply device according to claim 1, wherein the housing has a recess ( 15 ), which in the mounted state of the housing ( 11 . 11.1 . 11.2 ) with the surface of the part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) the gas space ( 12 ).

Gas supply device according to claim 2, wherein the housing comprises a ring ( 11 ), on the inside of which as recess a groove ( 15 ) is formed, or a housing body ( 11 ) having a side surface whose shape depends on the shape of the surface of the part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) is selected and in the recess as a groove ( 15 ) is formed.

Gas supply device according to at least one of the preceding claims, in which the housing has a plurality of housing parts ( 11.1 . 11.2 ), which are composable so that the housing ( 11 ) the part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) encloses on all sides.

Gas supply device according to at least one of the preceding claims, in which the housing ( 11 ) or the housing parts ( 11.1 . 11.2 ) on the surface of the part of the vacuum device to be tested with a fastening device ( 17 . 17.1 . 70 ) are releasably fixable.

Gas supply device according to claim 5, in which the fastening device comprises at least one screw ( 17.2 ), a hose clamp, hose clamp, a clamping ring ( 17 ) or a tensioning element ( 70 ).

Gas supply device according to at least one of the preceding claims, in which at the gas inlet ( 13 ) and at the gas outlet ( 14 ) of the housing ( 11 . 11.1 . 11.2 ) each have a coupling device ( 18 ) for connecting gas lines ( 21 ) is provided.

Gas supply device according to at least one of the preceding claims, wherein the gas inlet ( 13 ) and the gas outlet ( 14 ) in the housing ( 11 . 11.1 . 11.2 ) are arranged relative to each other at diametral positions.

Gas supply device according to at least one of the preceding claims, in which the housing ( 11 . 11.1 . 11.2 ) a seal ( 16 ) connected to the surface of the vacuum device ( 20 ) for sealing the gas space ( 12 ) cooperates.

Testing device ( 100 ) for leak testing on a vacuum device ( 20 ), comprising: - a first line branch ( 30 ) connected to the gas supply device ( 10 ) according to at least one of the preceding claims, - a second line branch ( 40 ) connected to a part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ), and - a leak detection device ( 50 . 53 ) connected to one of the line branches ( 30 . 40 ) and with the leakage transport of a leak gas from one of the line branches ( 30 . 40 ) through the part to be tested ( 21 ) to the other of the line branches ( 40 . 30 ) is detectable.

Test device according to Claim 10, in which the first line branch ( 30 ) a leak gas source ( 31 ) and the leak detection device ( 50 ) with the second line branch ( 40 ) connected is.

Test device according to Claim 10, in which the second line branch ( 40 ) a leak gas source ( 46 ) and the leak detection device ( 50 . 53 ) with the first line branch ( 30 ) connected is.

Test device according to at least one of Claims 10 to 12, in which the leak detection device ( 50 ) a test leak ( 51 ) having.

Test device according to at least one of claims 10 to 13, in which the part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) and the gas supply device ( 10 ) in a coolant container ( 60 ) are arranged.

Test device according to Claim 14, in which the coolant container has a plurality of container parts ( 61 . 62 ) which are composable in such a way that the container ( 60 ) the part to be tested ( 21 ) of the vacuum device ( 20 ) encloses on all sides.

Method for leak testing on a part to be tested ( 21 ) a vacuum device ( 20 ), comprising the steps of: positioning the gas supply device ( 10 ) according to at least one of claims 1 to 9 on the vacuum device ( 20 ) such that the part to be tested ( 21 ) on all sides of the gas space ( 12 ), - connection of the gas supply device ( 10 ) with a first line branch ( 30 ) and the vacuum device ( 20 ) with a second line branch ( 40 ), - supply of a leak gas in the first or second line branch ( 30 . 40 ), and - monitoring the occurrence of the leak gas in the respective other, second or first line branch ( 40 . 30 ).

Method according to Claim 16, in which the positioning of the gas supply device ( 10 ) such that the gas inlet ( 13 ) higher than the gas outlet ( 14 ) is arranged.

Method according to one of Claims 16 or 17, in which the leakage gas is introduced into the gas supply device via the first line branch ( 10 ) and in the gas space ( 12 ) an overpressure relative to the environment of the gas supply device ( 10 ) having.

Method according to one of Claims 16 or 17, in which a carrier gas which is free of leakage gas is introduced into the gas supply device via the first line branch ( 10 ) and in the gas space ( 12 ) an overpressure relative to the environment of the gas supply device ( 10 ) having.

Method according to at least one of Claims 16 to 19, in which the part to be tested ( 21 ) during the steps of supplying the leak gas and the monitoring is cooled.

Method according to at least one of claims 16 to 20, wherein the steps of supplying the leak gas and the monitoring are repeated at different temperatures of the part to be tested ( 21 ) be performed.

Method according to at least one of claims 16 to 21, with the further step: - calibration of the line branch, in which the monitoring of the occurrence of the leak gas takes place, using a test leak ( 51 ).