DE102004063860A1

DE102004063860A1 - Workpiece thickness measurement with dynamic pressure nozzle

Info

Publication number: DE102004063860A1
Application number: DE200410063860
Authority: DE
Inventors: Roy Dr. Keipke; Mark Dipl.-Ing. Klaas
Original assignee: Supfina Grieshaber GmbH and Co KG
Current assignee: Supfina Grieshaber GmbH and Co KG
Priority date: 2004-12-30
Filing date: 2004-12-30
Publication date: 2006-07-13
Also published as: WO2006072455A1

Abstract

Vorrichtung zum hochgenauen, indirekten, berührungslosen Messen der Dicke von Werkstücken (5), insbesondere von Wafern, während der Dickenbearbeitung des Werkstücks (5) mittels sehr genau nachgeführter Staudruckdüse (3).Device for the high-precision, indirect, non-contact measurement of the thickness of workpieces (5), in particular of wafers, during the thickness processing of the workpiece (5) by means of a precisely controlled dynamic pressure nozzle (3).

Description

Beim Dünnen bzw. Oberflächenbearbeiten flacher Werkstücke, z. B. beim Polieren, Schleifen oder Ätzen, insbesondere von Wafer, ist es für ein genaues und zielgerichtetes Einstellen der Werkstückdicke erforderlich, diese schon während der Bearbeitung berührungslos zu Messen. In der Praxis ist es häufig nicht möglich, dies mit der erforderlichen Genauigkeit durchzuführen, da die Umgebungsbedingungen und Werkstückgegebenheiten dem entgegenstehen. Optische bzw. laseroptische Verfahren entfallen z. B. wegen starkem Verschmutzen durch Partikelabrieb, umhersprühender Chemikalien oder vieler nicht definierbarer optisch relevanter Schichten zwischen Messsystem und Werkstückoberfläche.At the thin or surface finishing flatter Workpieces, z. As polishing, grinding or etching, in particular of wafers, is it for an accurate and targeted adjustment of the workpiece thickness required this already while the machining contactless to eat. In practice, this is often not possible to perform with the required accuracy, given the environmental conditions and workpiece conditions to oppose that. Optical or laser-optical processes are eliminated z. Due to heavy fouling by particle abrasion, spraying chemicals or many non-definable optically relevant layers between Measuring system and workpiece surface.

Messtaster können durch die Reibung in Schwingungen geraten und hinterlassen Schleifspuren, die auf den Werkstücken, insbesondere auf Wafer, häufig unerwünscht sind und nur durch einen anschließenden, messtechnisch nicht kontrollierten Materialabtrag entfernt werden können. Des weiteren verschleißen die Kontaktflächen der Messtaster, was ebenfalls zum Erhöhen der Ungenauigkeit der Messergebnisse führt.probe can get into vibration due to the friction and leave scratches, on the workpieces, especially on wafers, often undesirable are and only by a subsequent, metrologically not controlled removal of material can be removed. Furthermore, the wear out contact surfaces the probe, which also increases the inaccuracy of the measurement results leads.

Auf induktive Wegsysteme reagieren viele Werkstückwerkstoffe nicht. Zu dieser Gruppe von Werkstücken gehören auch die Wafermaterialien.On inductive travel systems do not react to many workpiece materials. To this Group of workpieces belong also the wafer materials.

Kapazitive Messsysteme reagieren stärker auf die Chemikalien und Wasser, als auf das Werkstückmaterial, insbesondere bei Wafermaterialien.capacitive Measuring systems react more strongly the chemicals and water, as on the workpiece material, especially at Wafer materials.

Herkömmliche Ultraschallsensoren sind durch ihre relativ hohe Wellenlänge zu ungenau. Herkömmliche Staudruckdüsen können berührungslos Abstände zwischen Messobjekt und Staudruckdüsen bestimmen, dies zwar mit hoher Genauigkeit, jedoch nur bei sehr kleinen Messbereichen, häufig wesentlich kleiner als 0,1 mm. Mit dem Messen des Abstandes zwischen Messobjekt und Staudruckdüsen läst sich bei bekannter Position der Düsenspitze und der Werkstückaufspanntischoberfläche die Werkstückdicke berechnen.conventional Ultrasonic sensors are too inaccurate due to their relatively high wavelength. conventional Back pressure nozzles can contactless distances between Determine the measuring object and the dynamic pressure nozzles, although with high accuracy, but only for very small measuring ranges, often much smaller than 0.1 mm. With measuring the distance between Measuring object and dynamic pressure nozzles breaks down at a known position of the nozzle tip and the workpiece clamping table surface the Workpiece thickness to calculate.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein hochpräzises System zum Messen der Dicke flacher Werkstücke, insbesondere von Wafer, bereitzustellen.Of the Invention is based on the object, a high-precision system for measuring the thickness of flat workpieces, in particular of wafers, provide.

Die Erfindung besteht darin, die Dicke von flachen Werkstücken, insbesondere von Wafer, schon während des Bearbeitens, insbesondere beim Polieren, Schleifen oder Ätzen, mit hoher Genauigkeit, berührungslos zu bestimmen.The Invention is the thickness of flat workpieces, in particular from wafers, even while the processing, especially when polishing, grinding or etching, with high accuracy, non-contact to determine.

Dazu wird ein hoch präzises Staudruckdüsenmesssystem verwendet, das auf dem Schlitten einer Führung positioniert ist. Dieser Schlitten wird von einem Aktor angetrieben. Schlitten und Aktor ermöglichen eine hoch präzise Relativbewegung in Richtung der bearbeiteten Werkstückoberfläche so das der Messbereich der Staudruckdüsenmessvorrichtung bis zu mehreren Millimetern oder sogar einigen Zentimetern reichen kann und die erzielte Messunsicherheit im Mikrometerbereich, bzw. Submikrometerbereich, liegt.To becomes a highly precise Back pressure nozzle measuring system used, which is positioned on the carriage of a guide. This Slide is driven by an actuator. Sledge and actuator enable a high precision Relative movement in the direction of the machined workpiece surface so that the Measuring range of the dynamic pressure nozzle measuring device reach up to several millimeters or even a few centimeters can and the achieved measurement uncertainty in the micrometer range, or Submicrometer range, lies.

Die Bereitstellung der Energie für die verwendeten Aktoren kann dabei elektrisch oder fluidisch sein. Ein bevorzugter, hochpräziser, elektrisch angetriebener Aktor ist ein geregelter piezoelektrischer Antrieb.The Providing the energy for the actuators used can be electric or fluidic. A preferred, high-precision, electrically driven actuator is a regulated piezoelectric Drive.

Ein bevorzugter, hochpräziser, fluidisch angetriebener Aktor kann ein mit Flüssigkeit, bevorzugt Wasser, befüllter Balg sein, bevorzugt ein Metallbalg, dessen Befüllung mit einer entsprechenden Volumenstromsteuerung oder -regelung eingestellt wird. Bei Verwenden eines Balges kann bei gleichbleibender Volumenstromsteuerung oder -regelung die Genauigkeit der Positionierbarkeit relativ einfach erhöht werden, in dem der Durchmesser des Balges größer gewählt wird. Bei einer Vergößerung des Durchmessers des Balges wird bei gleichbleibend kleinstem Füllvolumen der Volumenstromsteuerung eine geringere Längsausdehnung des Balges erreicht. Ein Balg wird deshalb bevorzugt, weil er gegenüber Zylindern reibungsfrei arbeitet und damit kein Slipstickverhalten auftritt. Das Slipstickverhalten ist bei Stellwegen im Mikrometerbereich unbedingt zu vermeiden.One more preferably, high-precision, fluidically driven actuator can be a liquid, preferably water, filled Be bellows, preferably a metal bellows, whose filling with a corresponding Volume flow control or regulation is set. When using a bellows can with constant flow control or Control the accuracy of the positioning relatively simple increase, in which the diameter of the bellows is selected to be larger. At a magnification of the Diameter of the bellows is at the same minimum filling volume the volume flow control reaches a lower longitudinal extent of the bellows. A bellows is preferred because it is frictionless with respect to cylinders works and thus no slipstick behavior occurs. The slipstick behavior is absolutely to be avoided for travel ranges in the micrometer range.

Ein flüssiges Fluid wird bevorzugt, weil es praktisch inkompressibel ist und damit eine Volumenstromsteuerung oder -regelung erfolgreich eingesetzt werden kann. Wenn ein Balg eingesetzt wird, kann die erforderliche hochgenaue Messung der Position der Staudruckdüse durch einen weiteren hochpräzisen Sensor erfolgen, bevorzugt ein Wirbelstromsensor, der außerhalb des Bearbeitungsbereiches fixiert sein kann. Das Messsignal dieses Sensors oder des geregelten piezoelektrischen Antriebes, das Messsignal der Staudruckdüse und die Geometrieverhältnisse erlauben mittels eines Rechners eine Bestimmung der Werkstückdicke, sowie das notwendige Nachführen des Schlittens durch die Aktoransteuerung, um den Abstand zwischen Staudruckdüse und Werkstückoberfläche innerhalb des zulässigen Messbereiches der Staudruckdüse zu halten.One liquid Fluid is preferred because it is virtually incompressible and thus a flow control or regulation can be successfully used can. If a bellows is used, the required highly accurate Measurement of the position of the dynamic pressure nozzle by another high-precision sensor take place, preferably an eddy current sensor outside the machining area can be fixed. The measuring signal of this Sensor or the regulated piezoelectric drive, the measuring signal the dynamic pressure nozzle and the geometry relationships allow by means of a computer a determination of the workpiece thickness, as well as the necessary tracking of the slide by the actuator control to the distance between Staudruckdüse and workpiece surface within the permissible measuring range the dynamic pressure nozzle to keep.

Die Staudruckdüse ist während des Messens über dem nicht von der Bearbeitungsscheibe abgedeckten Werkstückteil positioniert. Für das Kontrollieren der Dicke großer Werkstücke, insbesondere von Wafer, können dabei mehrere Sensoren nebeneinander angeordnet werden oder ein Sensor wird bzw. mehrere Sensoren werden während des Bearbeitens über das Werkstück geführt. Besonders vorteilhaft ist es, wenn in diesem Fall der oder die Sensoren über Werkstückradius oder Werkstückdiagonale geführt werden.The dynamic pressure nozzle is positioned during measurement above the workpiece part not covered by the machining disk. For checking the thickness of large workpieces, in particular of wafers, several sensors can be arranged next to each other or a sensor or several sensors are guided during the machining on the workpiece. It is particularly advantageous if, in this case, the sensor or sensors are guided over the workpiece radius or workpiece diagonal.

Werden mit zwei oder mehreren Staudruckdüsen gleichzeitig die Position der Oberfläche des Werkstückaufspanntisches und die Oberfläche des Werkstücks ermittelt, kann die Änderung der Höhenposition des Werkstückaufspanntisches, bzw. die Relativbewegung zwischen Werkstückaufspanntisch und Werkzeug, infolge von Wärmedehnung oder Bearbeitungskräften bei der Werkstückdickenberechnung mit berücksichtigt werden.Become with two or more dynamic pressure nozzles simultaneously the position the surface of the workpiece clamping table and the surface of the workpiece determines the change the height position the workpiece clamping table, or the relative movement between workpiece clamping table and tool, due to thermal expansion or machining forces in the work piece thickness calculation taken into account become.

Bei gleichzeitiger Bearbeitung beider Werkstückstirnseiten, z. B. beim Synchrondoppelseitenschleifen oder -polieren, bei dem ein Werkstückaufspanntisch fehlt, kann die Messvorrichtung ebenfalls verwendet werden, wenn auf der messdüsenabgewandten Werkstückstirnseite genau gegenüber der Messdüse auch eine Staudruckdüse bzw. eine gleiche Messvorrichtung vorhanden ist, die den gleichen Fluiddruck erzeugt. Dadurch entstehen keine Kraftdifferenzen, die zu einem Verwinden des dünnen Werkstücks führen können.at simultaneous processing of both workpiece faces, z. In synchronous double-side grinding or polishing, in which a Werkstückaufspanntisch missing, can the measuring device also be used when facing away from the measuring nozzle Workpiece front side exactly opposite the measuring nozzle also a dynamic pressure nozzle or a same measuring device is present, the same fluid pressure generated. As a result, no force differences, resulting in a Can cause twisting of the thin workpiece.

Alternativ kann an Stelle der zweiten Messdüse eine anderweitige Abstützung dafür sorgen, dass das Werkstück durch den Fluidstrahl der Messdüse nicht weggedrückt wird.alternative can replace the second measuring nozzle another support to make sure that the workpiece through the fluid jet of the measuring nozzle not pushed away becomes.

Um die Messunsicherheit des erfindungsgemäßen Staudruckdüsenmesssystems zu verringern, kann der Messpunkt des Werkstückes vor dem Messen durch eine oder mehrere gasführende Reinigungsdüsen von Flüssigkeit und Abrieb freigeblasen werden, so dass die Messung auf der sauberen Werkstückoberfläche erfolgt.Around the measurement uncertainty of the dynamic pressure nozzle measuring system according to the invention To reduce the measuring point of the workpiece before measuring by a or more gas-carrying cleaning nozzles of liquid and abrasion are blown off, so that the measurement is carried out on the clean workpiece surface.

Das erfindungsgemäße Staudruckdüsenmesssystem erreicht eine Messunsicherheit im Mikrometerbereich, bzw. Submikrometerbereich, und erweitert den zulässigen Messbereich von Staudruckdüsen von einigen zehn Mikrometern auf bis zu mehreren Millimetern oder sogar einigen Zentimetern.The Back pressure nozzle measuring system according to the invention achieves a measurement uncertainty in the micrometer range, or submicrometer range, and extends the permissible Measuring range of dynamic pressure nozzles from a few tens of microns up to several millimeters or even a few centimeters.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen Verfahrens können der nachfolgenden Zeichnung entnommen werden.Further Advantages and advantageous embodiments of the device according to the invention and the method of the invention can to be taken from the following drawing.

Alle in der Zeichnung, deren Beschreibung und den Patentansprüchen genannten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.All in the drawing, the description and the claims mentioned Features can both individually and in any combination with each other invention essential be.

Zeichnungdrawing

Es zeigen:It demonstrate:

a), b) und c) Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Vorrichtungen. a ) b ) and c ) Embodiments of devices according to the invention.

Beschreibung der Ausführungsbeispieledescription the embodiments

In der a) ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum berührungslosen und hochgenauen Bestimmen der Dicke flacher Werkstücke, die in eine Werkzeugmaschine integriert ist, schematisch dargestellt.In the a ) is a first embodiment of a device according to the invention for non-contact and highly accurate determination of the thickness of flat workpieces, which is integrated in a machine tool, shown schematically.

Ein Werkstück 5 ist auf einem Werkstückaufspanntisch 6 fixiert, der wiederum auf einer Antriebsspindel 8 montiert ist.A workpiece 5 is on a workpiece clamping table 6 fixed, in turn, on a drive spindle 8th is mounted.

Oberhalb des Werkstücks 5 ist eine Antriebsspindel 1, welche zum Antrieb einer Schleifscheibe 2 dient, angeordnet. Parallel zur Antriebsspindel 1 ist eine Staudruckdüsennachführeinheit 9 mit einer Staudruckdüse 3, die ein Abstandsmesssystem enthält, angeordnet. Über Signalkabel und Steuerleitungen 11, die nicht alle mit Bezugszeichen versehen wurden, ist eine Maschinensteuerung, die gleichzeitig auch eine Auswerteeinrichtung für die Signale der Staudruckdüsen 3 umfasst, mit den Staudruckdüsen 3 und der Antriebsspindel 1 verbunden.Above the workpiece 5 is a drive spindle 1 , which are used to drive a grinding wheel 2 serves, arranged. Parallel to the drive spindle 1 is a back pressure nozzle follower unit 9 with a dynamic pressure nozzle 3 , which contains a distance measuring system arranged. Via signal cable and control cables 11 , which were not all provided with reference numerals, is a machine control, which at the same time also an evaluation device for the signals of the dynamic pressure nozzles 3 includes, with the back pressure nozzles 3 and the drive spindle 1 connected.

Die Staudruckdüsen 3 sind an einem Ständer 7, der fest mit dem Fundament der Werkzeugmaschine verbunden ist, fixiert. Im ersten Ausführungsbeispiel sind zwei Staudruckdüsen 3 vorhanden, von denen eine auf die Oberfläche des Werkstückaufspanntisches 6 gerichtet ist und die andere auf das Werkstück 5 gerichtet ist. Die auf das Werkstück 5 gerichtete Staudruckdüse 3 ist über eine Staudruckdüsennachführeinheit 9 mit dem Ständer 7 verbunden, während die auf den Werkstückaufspanntisch 6 gerichtete Staudruckdüse 3 starr mit dem Ständer 7 verbunden ist.The dynamic pressure nozzles 3 are on a stand 7 , which is firmly connected to the foundation of the machine tool fixed. In the first embodiment, two back pressure nozzles 3 present, one of which is on the surface of the workpiece clamping table 6 is directed and the other on the workpiece 5 is directed. The on the workpiece 5 directed dynamic pressure nozzle 3 is via a back pressure nozzle follower unit 9 with the stand 7 connected while on the workpiece clamping table 6 directed dynamic pressure nozzle 3 rigid with the stand 7 connected is.

Durch den Vergleich der Ausgangssignale der beiden Staudruckdüsen 3 kann unter Berücksichtigung der Position der Staudruckdüsennachführeinheit, die durch ein internes Positionsmesssystem an die Maschinensteuerung 10 übermittelt wird, die Dicke des Werkstücks 5 bestimmt werden. Außerdem kann durch ein geeignetes Nachführen der Staudruckdüsennachführeinheit 9 oder ein Anheben beziehungsweise Senken des Werkstückaufspanntisches 6 durch in der Figur nicht dargestellte Mittel gewährleistet werden, dass beide Staudruckdüsen 3 immer einen geeigneten Abstand zum Werkstückaufspanntisch 6 beziehungsweise zum Werkstück 5 haben. Dieser Abstand muss innerhalb des Messbereichs der Staudruckdüsen liegen.By comparing the output signals of the two dynamic pressure nozzles 3 can take into account the position of the dynamic pressure nozzle Nachführungseinheit by an internal position measuring system to the machine control 10 is transmitted, the thickness of the workpiece 5 be determined. In addition, by a suitable tracking of the dynamic pressure nozzle Nachführungseinheit 9 or raising or lowering the workpiece clamping table 6 be ensured by means not shown in the figure that both dynamic pressure nozzles 3 always a suitable distance to the workpiece clamping table 6 or to the workpiece 5 to have. This distance must be within the measuring range rich of the dynamic pressure nozzles lie.

In den Ausführungsbeispielen gemäß den b) und c) sind für gleiche Bauteile die gleichen Bezugszeichen verwendet worden und es gilt das bezüglich a) Gesagte entsprechend.In the embodiments according to the b ) and c ) have been used for the same components, the same reference numerals and it applies the respect a ) Said accordingly.

Anders als bei dem Ausführungsbeispiel gemäß a) ist nur eine Staudruckdüse 3 vorhanden. Die Staudruckdüse 3 ist auf das Werkstück 5 gerichtet. An der Spitze der Staudruckdüse 3 ist eine Referenzfläche 15 angeordnet. Ein Abstandssensor 13 ist auf diese Referenzfläche 15 gerichtet, so dass die Verfahrwege der Staudruckdüse 3 mit Hilfe des Abstandssensors 13 einfach und zuverlässig erfasst werden können. Dabei können verschiedene Bauarten von Abstandssensoren 13 eingesetzt werden, da für das Messprinzip des Abstandssensors 13 nicht die gleichen Beschränkungen bezüglich der Umgebungsbedingungen gelten, die für die berührungslose Messung des Werkstücks 5 gelten. Dies liegt zum Einen daran, dass der Abstandssensor das Werkstück nicht berührt und zum Anderen, dass die Bedingungen in der Umgebung des Abstandssensors 13 günstiger sind als die in der Umgebung des Werkstücks während der Bearbeitung.Unlike the embodiment according to a ) is just a back pressure nozzle 3 available. The dynamic pressure nozzle 3 is on the workpiece 5 directed. At the top of the dynamic pressure nozzle 3 is a reference surface 15 arranged. A distance sensor 13 is on this reference surface 15 directed so that the travel paths of the dynamic pressure nozzle 3 with the help of the distance sensor 13 can be detected easily and reliably. Different types of distance sensors can be used 13 be used, as for the measuring principle of the distance sensor 13 not the same environmental restrictions apply to the non-contact measurement of the workpiece 5 be valid. This is due to the fact that the distance sensor does not touch the workpiece and, secondly, that the conditions in the vicinity of the distance sensor 13 cheaper than those in the vicinity of the workpiece during machining.

Zum Nachführen der Staudruckdüse 3 ist ein Faltenbalg 12 vorgesehen, der mit Hilfe einer Volumenstromsteuerung und -regelung mit mehr oder weniger Fluid gefüllt werden kann. Dadurch führt der Balg 12 eine Längenänderung aus, die zum Verfahren der Staudruckdüse 3 genutzt wird.For tracking the dynamic pressure nozzle 3 is a bellows 12 provided, which can be filled by means of a volume flow control and regulation with more or less fluid. This causes the bellows 12 a change in length, which is the method of the dynamic pressure nozzle 3 is being used.

Der Balg 12 ist an ein Gegenlager 14 befestigt, das wiederum an der Befestigungseinrichtung 7 angebracht ist.The bellows 12 is to a counter bearing 14 attached, in turn, to the fastening device 7 is appropriate.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß c) wird das Werkstück 5 beidseitig von je einer Schleifscheibe 2 gleichzeitig bearbeitet. Wegen des symmetrischen Aufbaus sind die unterhalb des Werkstücks 5 befindlichen Bauteile nicht mit Bezugszeichen versehen.In the embodiment according to c ) becomes the workpiece 5 on both sides of one grinding wheel each 2 edited at the same time. Because of the symmetrical structure, they are below the workpiece 5 located components not provided with reference numerals.

Zu beiden Seiten des Werkstücks 5 ist je eine Staudruckdüse 3 vorgesehen, die über eine Nachführeinheit 9 so an das Werkstück 5 herangeführt werden können, dass sich die Staudruckdüse 3 innerhalb ihres Messbereichs befindet.On both sides of the workpiece 5 is ever a back pressure nozzle 3 provided by a tracking unit 9 so to the workpiece 5 can be brought that the back pressure nozzle 3 within its measuring range.

Vorteilhaft an diesem symmetrischen Aufbau ist, dass die von den Staudruckdüsen 3 auf das Werkstück 5 ausgeübten Kräfte sich gegenseitig aufheben.An advantage of this symmetrical structure is that of the dynamic pressure nozzles 3 on the workpiece 5 exerted forces cancel each other out.

Die Lagerung des Werkstücks ist in c) nicht dargestellt.The storage of the workpiece is in c ) not shown.

Claims

Apparatus for non-contact, highly accurate determination of the thickness of flat workpieces ( 5 ), in particular of wafers, already during the processing, in particular during polishing, grinding or etching, characterized in that a dynamic pressure nozzle ( 3 ) is positioned on the carriage of a guide, that this carriage is driven by an actuator, that the carriage by means of the actuator can perform a highly precise relative movement in the direction of the machined workpiece surface, that thereby a signal about the position of the carriage and thus also the dynamic pressure nozzle ( 3 ) as well as a measurement signal of the dynamic pressure nozzle ( 3 ) are passed to an evaluation, and that this evaluation device determines the workpiece thickness with these two signals and taking into account the geometric ratios of the device.

Apparatus according to claim 1, characterized in that the carriage with the aid of the actuator to the workpiece to be measured ( 5 ) is tracked so that the distance between the back pressure nozzle ( 3 ) and workpiece surface within the permissible measuring range of the dynamic pressure nozzle ( 3 ) is held.

Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the actuator and its control is a high-precision, controlled piezoelectric drive, the driving of the required signals to the computer-based machine control ( 10 ).

Device according to claim 1 or 2, characterized in that the actuator is a bellows filled with a fluid, preferably a liquid, in particular water, but not necessarily but preferably a metal bellows, the filling of which takes place with a corresponding volume flow control or regulation, wherein the required high-precision measurement of the position of the dynamic pressure nozzle ( 3 ) by another high-precision sensor ( 13 ), which can be fixed outside the processing area and the required signals to the computer-based machine control ( 10 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the further high-precision sensor ( 13 ) can be inductive.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the further high-precision sensor ( 13 ) may be an eddy current sensor.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the further high-precision sensor ( 13 ) optically or laser-optically can be.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the further high-precision sensor ( 13 ) can be capacitive.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the further high-precision sensor ( 13 ) can be based on ultra or hypersonic sound.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the dynamic pressure nozzle ( 3 ) while measuring over the non of the machining disk ( 2 ) Covered workpiece part can be positioned.

Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that a plurality of dynamic pressure nozzle devices side by side can be arranged.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that one or more dynamic pressure nozzle devices during the processing over the workpiece ( 5 ), in particular via workpiece radius or workpiece diagonal.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that in addition to the / the dynamic pressure nozzle / s which detect the workpiece surface, simultaneously one or more dynamic pressure nozzles ( 3 ) the position of the surface of the workpiece clamping table ( 6 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the dynamic pressure nozzle device is also used in synchronous double-side machining, in particular grinding, polishing and etching, can be used.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that during the synchronous double-side machining on the measuring nozzle side facing away from the workpiece end face opposite the dynamic pressure nozzle ( 3 ) a workpiece support is present, which comprises a roller or ball, a fluid-static bearing, a dynamic pressure nozzle ( 3 ) or another back pressure nozzle device may be.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the dynamic pressure nozzle ( 3 ) and the fluid-static bearing for balancing the same fluid pressure on the workpiece ( 5 ).

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring point of the workpiece ( 5 ) is blown free of liquid and abrasion by one or more gas-carrying cleaning nozzles prior to measurement, so that the measurement is carried out on the clean workpiece surface.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring arrangement is also suitable for measuring thick workpieces ( 5 ) suitable is.

Method for non-contact, highly accurate determination of the thickness of flat workpieces ( 5 ), in particular of wafers, during the machining, in particular during polishing, grinding or etching, characterized by the following method steps: starting a Staudruc kdüse ( 3 ), which is mounted on a movable carriage, to a workpiece to be measured ( 5 ), Simultaneous detection of the position of the carriage and the measuring signal of the dynamic pressure nozzle ( 3 ), Determining the thickness of the workpiece to be measured ( 5 ) taking into account the position of the carriage, the measuring signal of the dynamic pressure nozzle ( 3 ) and the geometry of the measuring system.

Method according to claim 19, characterized in that the dynamic pressure nozzle ( 3 ) the workpiece to be measured ( 5 ) is tracked so that the distance between the back pressure nozzle ( 3 ) and workpiece surface within the permissible measuring range of the dynamic pressure nozzle ( 3 ) remains.