DE102004055709B3 - Temperature chamber for testing electronic components, comprises housing walls with inner and outer cover layers, and an intermediate heat insulating layer - Google Patents

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Abstract

A temperature chamber for testing electronic components, especially IC's, comprises housing walls (7) which have an outer (8) and an inner (9) cover layer, and an intermediate heat insulating layer (10). The cover layers and the heat insulating layers are connected by springs, which pass through the insulating layer. The ends of the springs have threaded plugs into which screws can be screwed to secure the cover layers.

Description

Die Erfindung betrifft eine Temperaturkammer zum Testen von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs, bei bestimmten Temperaturen, mit Gehäusewänden, die eine äußere Decklage, eine innere Decklage und eine dazwischen angeordnete Wärmedämmschicht aufweisen.The The invention relates to a temperature chamber for testing electronic Components, in particular ICs, at certain temperatures, with housing walls, the an outer cover layer, an inner cover layer and a heat-insulating layer arranged therebetween exhibit.

Temperaturkammern dieser Art werden verwendet, um beispielsweise in Handhabungsautomaten für elektronische Bauelemente, sog. Handlern, die Bauelemente innerhalb der Temperaturkammer unter ganz bestimmten Temperaturbedingungen von beispielsweise –60°C bis +160°C zu testen. Die Wände der Temperaturkammer müssen dabei derart gestaltet sein, dass eine möglichst große Wärmedämmung gewährleistet ist, um einen Wärmeübergang vom Inneren der Temperaturkammer nach außen zu verhindern und eine gleichmäßige Temperatur innerhalb der Kammer aufrecht erhalten zu können.Temp This type are used, for example, in handling machines for electronic Components, so-called handlers, the components within the temperature chamber below very specific temperature conditions of, for example -60 ° C to + 160 ° C to test. The walls the temperature chamber must be designed such that the largest possible thermal insulation is guaranteed to heat transfer from Inside the temperature chamber to prevent the outside and one uniform temperature upright within the chamber.

Die beiden Decklagen und die dazwischen angeordnete Wärmedämmschicht der Gehäusewände werden üblicher Weise lose aneinander gefügt und auf rein mechanische Weise miteinander verbunden, da es bei einer Klebeverbindung aufgrund des unterschiedlichen Ausdehnungsverhaltens der einzelnen Lagen zu Verformungen der Gehäusewände kommen könnte. Eine bekannte mechanische Verbindung besteht darin, dass starre Bolzen aus einem PEEK-Kunststoffmaterial in querverlaufenden Durchgangsöffnungen der Wärmedämmschicht eingesetzt werden, die an beiden Enden Gewindehülsen, beispielsweise aus Messing, aufweisen, so dass die Decklagen an den Bolzen festgeschraubt werden können.The both cover layers and the intermediate thermal insulation layer the housing walls become more common Loosely joined together and connected in a purely mechanical way, as it is at a Adhesive bond due to the different expansion behavior the individual layers could lead to deformation of the housing walls. A known mechanical connection is that rigid bolt made of a PEEK plastic material in transverse through holes the thermal barrier coating be used, which at both ends threaded sleeves, for example made of brass, have, so that the cover layers can be screwed to the bolt.

Diese bekannte Lösung ist jedoch relativ teuer, da einerseits das PEEK-Material als solches und auch dessen Bearbeitung teuer ist. Weiterhin ergibt sich über die PEEK-Bolzen eine Wärmebrücke zwischen der Innen- und der Außenseite der Temperaturkammer. Dies ist insbesondere bei sehr tiefen Temperaturen von Nachteil, da es hierdurch einerseits zu lokalen Erwärmungen auf der Innenseite der Temperaturkammer und andererseits zu lokalen Kaltstellen auf der Außenseite der Temperaturkammer kommt, wodurch sich auf der Außenseite Tauwasser bilden kann, das nach unten auf bereits getestete, sich außerhalb der Temperaturkammer befindliche Bauelemente oder auf sonstige Teile des Handlers tropfen kann. Ein weiterer Nachteil des bekannten Wandaufbaus ist, dass aufgrund der starren Verbindung der einzelnen Lagen Vibrationen und Geräusche relativ gut zwischen der Innen- und der Außenseite der Temperaturkammer übertragen werden können.These known solution However, it is relatively expensive because on the one hand the PEEK material as such and also its processing is expensive. Furthermore, results over the PEEK bolt one Thermal bridge between the inside and the outside the temperature chamber. This is especially at very low temperatures disadvantageous because it causes local warming on the inside of the temperature chamber and on the other hand to local Cold spots on the outside the temperature chamber comes out, causing itself on the outside Condensation water can form that has already been tested down to itself outside the temperature chamber located components or other parts of the trader can drip. Another disadvantage of the known wall structure is that due to the rigid connection of the individual layers vibration and noises relatively well transferred between the inside and the outside of the temperature chamber can be.

Aus der DE 203 03 937 U1 sind Anker für eine monolithische Zustellung aus feuerfestem Material, z.B. eines indu striell genutzten, einen Blechmantel aufweisenden Hochtemperaturofens oder einer Außenummantelung einer Brennerlanze oder dergleichen, bekannt. Diese bekannten Anker bestehen aus Metallfedern, die mit ihrem Fußende an der Ofenwandung oder der Brennerlanzenwandung, z.B. durch Schweißung, befestigt werden, und sich in eine feuerfeste Masse hinein erstrecken, in der sie vollständig eingebettet sind.From the DE 203 03 937 U1 are anchors for monolithic delivery of refractory material, such as an indu strial used, a metal jacket having high-temperature furnace or an outer jacket of a burner lance or the like, known. These known anchors are made of metal springs, which are fastened with their foot to the furnace wall or the burner lance wall, for example by welding, and extend into a refractory mass in which they are completely embedded.

Weiterhin ist aus der DE 83 04 116 U1 ein Prüfschrank für elektronische Bauelemente bekannt, dessen Gehäusewand eine äußere Decklage, eine innere Decklage und eine dazwischen angeordnete Isolation aufweist. Spezielle Verbindungsmittel, welche die äußere und innere Decklage miteinander verbinden, gehen aus dieser Druckschrift nicht hervor.Furthermore, from the DE 83 04 116 U1 a test chamber for electronic components known, the housing wall having an outer cover layer, an inner cover layer and an insulation disposed therebetween. Special connecting means, which connect the outer and inner cover layer with each other, are not apparent from this document.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Temperaturkammer der eingangs genannten Art mit Gehäusewänden zu schaffen, die kostengünstig herzustellen sind, die die Gefahr von Wärmebrücken reduziert und die ein verbessertes Vibrations- und Geräuschdämmungsverhalten aufweist.Of the Invention is based on the object, a temperature chamber of initially mentioned type with housing walls too create that cost-effectively which reduces the risk of thermal bridges and which has an improved vibration and Geräuschdämmungsverhalten.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Gegenstand des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.These The object is achieved by the The subject of claim 1 solved. Advantageous embodiments The invention are described in the further claims.

Bei der Temperaturkammer gemäß Anspruch 1 erfolgt die gegenseitige Verbindung der äußeren Decklage, der inneren Decklage und der Wärmedämmschicht mittels einer Mehrzahl von Federn, die sich jeweils zumindest über den überwiegenden Teil der Dicke der Wärmedämmschicht quer durch diese hindurch erstrecken und gegenüberliegende Endabschnitte aufweisen, an denen die äußere und innere Deck lage befestigbar sind, wobei die Federn mittels in die Endabschnitte der Federn eingesetzter Gewindestopfen und in die Gewindestopfen einschraubbarer Schrauben an der äußeren und inneren Decklage befestigbar sind.at the temperature chamber according to claim 1, the mutual connection of the outer cover layer, the inner Cover layer and the thermal barrier coating by means of a plurality of springs, each at least over the major part the thickness of the thermal barrier coating extend transversely therethrough and have opposite end portions, where the outer and inner Deck position can be fastened, wherein the springs by means of the end sections the springs inserted threaded plug and in the threaded plug screw-in screws on the outer and inner cover layer are fastened.

Aufgrund der Federn weist die Temperaturkammer ein wesentlich verbessertes Wärmedämmverhalten im Bereich der Verbindungselemente auf. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn die Federn gemäß einer bevorzugten Ausführungsform voneinander beabstandete Windungen aufweisen, d.h. wenn die einzelnen Windungen durch eine Zugkraft auseinander gezogen werden, da dann zwischen den einzelnen Windungen ein Luftzwischenraum vorhanden ist, der einen guten Wärmeisolator darstellt. In diesem Fall erfolgt die Wärmeleitung vor allem längs der Windungen, wobei die Länge des gewundenen Federdrahtes wesentlich länger ist als dies bei den bekannten Verbindungsbolzen der Fall ist. Doch auch dann, wenn die Federn nicht oder nicht nennenswert auseinander gezogen sind, wird durch die Federn die Wärmeleitung zwischen der Innen- und Außenseite der Temperaturkammer herabgesetzt, da der Federdraht einen kreisrunden Querschnitt aufweist und die einzelnen Windungen nur linienförmig, nicht flächenförmig aneinander liegen und im Übrigen Luft als Isolator vorhanden ist. Auf diese Weise können auch lokale Wärmebrücken und insbesondere auch die Bildung von Tauwasser an der Außenseite der Temperaturkammer verhindert werden. Ein besonderer Vorteil ist weiterhin, dass die Gehäusewände auf sehr kostengünstige Weise herstellbar sind. Weiterhin dämpfen die Federn wirksam die Übertragung von Geräuschen und Vibrationen zwischen der Innen- und Außenseite. Die Federn, die üblicher Weise aus Stahl bestehen, stellen weiterhin zwischen der inneren und äußeren Decklage eine elektrisch leitfähige Verbindung her, so dass im Bereich der inneren Decklage keine zusätzlichen Erdungen erforderlich sind, um eine elektrische Aufladung zu vermeiden und die elektrische Ladung über die äußere Decklage ableiten zu können. Die Gewindestopfen und die in die Gewindestopfen einschraubbaren Schrauben ermöglichen auf einfache und besonders kostengünstige Weise die Befestigung der inneren und äußeren Decklage an den Federn und gleichzeitig auch das Aufbringen der gewünschten Vorspannkraft, mit der die innere und äußere Decklage gegeneinander zusammengezogen werden.Due to the springs, the temperature chamber has a significantly improved thermal insulation behavior in the region of the connecting elements. This is particularly the case when the springs according to a preferred embodiment have spaced apart turns, ie when the individual turns are pulled apart by a tensile force, since then between the individual turns an air gap is present, which is a good heat insulator. In this case, the heat conduction takes place mainly along the turns, the length of the gewun which spring wire is much longer than is the case with the known connecting bolts. But even if the springs are not or not significantly pulled apart, the heat conduction between the inside and outside of the temperature chamber is reduced by the springs, since the spring wire has a circular cross-section and the individual turns are only linear, not flat to each other and otherwise air is present as an insulator. In this way, local thermal bridges and in particular the formation of condensation on the outside of the temperature chamber can be prevented. A particular advantage is further that the housing walls can be produced in a very cost-effective manner. Furthermore, the springs effectively dampen the transmission of noise and vibration between the inside and outside. The springs, which are usually made of steel, continue to produce an electrically conductive connection between the inner and outer cover layer, so that no additional grounding is required in the region of the inner cover layer in order to avoid electrical charging and the electrical charge over the outer Derive cover layer. The threaded plug and the screwed into the threaded plug screws allow a simple and cost-effective manner, the attachment of the inner and outer cover layer to the springs and at the same time applying the desired biasing force with which the inner and outer cover layer are contracted against each other.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Federn im spannungslosen Zustand kürzer als der Abstand zwischen der äußeren und der inneren Decklage. Die Federn können damit in einem auseinander gezogenen und dadurch eine Vorspannung erzeugenden Zustand an der inneren und äußeren Decklage befestigt werden, so dass die Wärmedämmschicht mit einer gewünschten Vorspannung zwischen der inneren und äußeren Decklage eingeklemmt wird.According to one advantageous embodiment the springs in the de-energized state shorter than the distance between the outer and the inner cover layer. The springs can thus be in one apart drawn and thereby a bias generating condition at the inner and outer cover layer be attached so that the thermal barrier coating with a desired Preload clamped between the inner and outer cover layer becomes.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist zwischen der äußeren Decklage und der Wärmedämmschicht und/oder zwischen der inneren Decklage und der Wärmedämmschicht eine Zwischenlage angeordnet, welche Ausnehmungen zur Aufnahme von der Befestigung von Funktionsteilen und/oder der Befestigung der Temperaturkammer an einem außen liegenden Befestigungsrahmen dienenden Haltemitteln, insbesondere Muttern, aufweist, wobei die Dicke der Zwischenlage zumindest im Wesentlichen der Dicke der Haltemittel entspricht. Auf diese Weise ist es auf sehr einfache und kostengünstige Weise möglich, derartige Haltemittel an der der Wärmedämmschicht zugewandten Seite der inneren und/oder äuße ren Decklage vorzusehen, ohne dass die Wärmedämmschicht selbst an den betreffenden Stellen ausgespart werden muss. Die die Haltemittel aufnehmenden Ausnehmungen in den Zwischenlagen können ebenfalls auf einfache Weise in Form von durchgehenden Löchern hergestellt werden, d.h. die Zwischenlagen müssen ebenfalls nicht in komplizierter Weise dreidimensional bearbeitet werden.According to one advantageous embodiment between the outer cover layer and the thermal barrier coating and / or an intermediate layer between the inner cover layer and the thermal barrier coating, which recesses for receiving the attachment of functional parts and / or the attachment of the temperature chamber to an outside Fixing frame serving holding means, in particular nuts, wherein the thickness of the intermediate layer is at least substantially the thickness of the holding means corresponds. That's how it works very simple and inexpensive way possible, Such holding means on the heat-insulating layer side facing the inner and / or outer cover layer provide, without the thermal barrier coating even at the relevant points must be left out. The the Holding means receiving recesses in the liners can also be easily prepared in the form of through holes, i. e. the Liners must also not worked in a complicated way three-dimensional become.

Vorzugsweise sind die Haltemittel von der der Wärmedämmschicht zugewandten Seite der äußeren bzw. inneren Decklage her in diese eingepresst oder mit dieser verschweißt.Preferably are the holding means of the heat-insulating layer facing side the outer or inner liner pressed into this or welded to this.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform bestehen die äußere Decklage aus einem Aluminiumblech und die innere Decklage aus einem auf seiner dem Inneren der Temperaturkammer zugewandten Seite vorzugsweise spiegelnd polierten Edelstahlblech. Das Aluminiummaterial der äußeren Decklage sorgt hierbei für eine gleichmäßige Wärmeverteilung. Die spiegelnd polierte Oberfläche auf der Innenseite der Temperaturkammer reflektiert dagegen die Wärmestrahlung nach innen.According to one advantageous embodiment exist the outer cover layer from an aluminum sheet and the inner cover layer of one on his the interior of the temperature chamber side facing preferably mirror-polished stainless steel sheet. The aluminum material of the outer cover layer provides here for a uniform heat distribution. The mirror-polished surface on the inside of the temperature chamber on the other hand reflects the thermal radiation inside.

Vorzugsweise besteht die Wärmedämmschicht aus einem geschlossenzelligen Hartschaum, der keine Feuchtigkeit aufnimmt.Preferably there is the thermal barrier coating made of a closed-cell rigid foam that does not contain moisture receives.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform besteht die Zwischenlage aus einer Silikonplatte. Eine derartige Silikonplatte hat einerseits eine geringe Wärmeleitfähigkeit und kann andererseits auf sehr einfache Weise bearbeitet werden. Beispielsweise ist es möglich, die erforderlichen Ausnehmungen in den Silikonplatten für die Federn und Haltemittel dadurch herzustellen, dass ein Stapel von mehreren aufeinander gelegten Silikonplatten gebildet und der gesamte Stapel gleichzeitig beispielsweise mit Wasserstrahltechnik bearbeitet wird, um in einem einzigen Arbeitsgang gleichzeitig Ausnehmungen in allen aufeinander liegenden Silikonplatten herzustellen.According to one advantageous embodiment the liner made of a silicone plate. Such a silicone plate on the one hand has a low thermal conductivity and on the other hand can be edited in a very simple way. For example, it is possible the necessary recesses in the silicone plates for the springs and holding means in that a stack of several superimposed silicone plates formed and the entire stack simultaneously processed, for example, with water jet technology, to make recesses in all at once in a single operation produce silicone plates lying on top of each other.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be explained in more detail by way of example with reference to the drawings. It demonstrate:

1: einen Handhabungsautomaten für elektronische Bauelemente mit einer erfindungsgemäßen Temperaturkammer; 1 : an automatic handling machine for electronic components with a temperature chamber according to the invention;

2: einen Vertikalschnitt durch die Temperaturkammer von 1, wobei lediglich einige Funktionsteile im Inneren der Tem peraturkammer schematisch dargestellt sind; 2 a vertical section through the temperature chamber of 1 , wherein only some functional parts inside the temperature chamber are shown schematically;

3: die Einzelheit III von 2 in vergrößerter Darstellung; 3 : the detail III of 2 in an enlarged view;

4: eine perspektivische Darstellung eines Teilbereiches der erfindungsgemäßen Gehäusewand im Bereich einer Feder, teilweise in Explosionsdarstellung; 4 : A perspective view of a portion of the housing wall according to the invention in the region of a spring, partially in explosions presentation;

5: eine der 3 entsprechende Schnittdarstellung einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Gehäusewand; und 5 : one of the 3 corresponding sectional view of a second embodiment of the housing wall according to the invention; and

6: eine der 4 entsprechende Darstellung der zweiten Ausführungsform. 6 : one of the 4 corresponding representation of the second embodiment.

In 1 ist ein Handhabungsautomat 1 (Handler) für elektronische Bauelemente, insbesondere ICs, dargestellt, in dem sich eine strichpunktiert dargestellte Temperaturkammer 2 befindet, um innerhalb der Temperaturkammer 2 bestimmte Temperaturen von beispielsweise –60°C bis +160°C erzeugen und die ICs bei diesen Temperaturen insbesondere auf ihre elektrischen Eigenschaften testen zu können. Der Handhabungsautomat 1 als solcher ist bekannt und wird nicht näher beschrieben.In 1 is an automatic handling machine 1 (Handler) for electronic components, in particular ICs, shown in which a dash-dotted temperature chamber 2 located to within the temperature chamber 2 produce certain temperatures of for example -60 ° C to + 160 ° C and to test the ICs at these temperatures, in particular their electrical properties. The automatic handling machine 1 as such is known and will not be described in detail.

Die Temperaturkammer 2 weist in ebenfalls bekannter Weise, wie auch aus 2 näher ersichtlich, Führungen 3 auf, in denen die nicht näher darstellten elektronischen Bauelemente in die Temperaturkammer 2 eingeführt werden, Singulatoren 4 zum Vereinzeln der elektronischen Bauele mente, Kontaktiereinrichtungen 5 zum Herstellen der elektrischen Verbindungen mit einer nicht näher dargestellten Testvorrichtung, sowie Führungen 6, in denen die elektronischen Bauelemente nach dem Testvorgang wieder aus der Temperaturkammer 2 herausgeführt werden.The temperature chamber 2 also shows in a known manner, as well 2 closer, guides 3 on, in which the unspecified electronic components in the temperature chamber 2 are introduced, singulators 4 for separating the electronic compo elements, contacting 5 for making the electrical connections with a test device, not shown, as well as guides 6 in which the electronic components return to the temperature chamber after the test procedure 2 be led out.

Wie aus den 2 bis 4 ersichtlich, haben die Gehäusewände 7 der Temperaturkammer 2 einen dreilagigen Aufbau und bestehen aus einer äußeren Decklage 8, einer inneren Decklage 9 und einer dazwischen angeordneten Wärmedämmschicht 10. Die äußere Decklage 8 besteht aus einem die Wärme gut verteilenden Aluminiumblech, während die innere Decklage 9 aus einem Edelstahlblech besteht, das auf seiner dem Inneren der Temperaturkammer 2 zugewandten Seite spiegelnd poliert ist, um die Wärmestrahlung nach innen zu reflektieren. Die Wärmedämmschicht 10 besteht aus einem plattenförmigen Hartschaummaterial mit sehr guten Wärmedämmeigenschaften. Damit der Hartschaum keine Feuchtigkeit aufnimmt, ist dieser zweckmäßiger Weise geschlossenzellig ausgebildet.Like from the 2 to 4 Obviously, the housing walls have 7 the temperature chamber 2 a three-layer construction and consist of an outer cover layer 8th , an inner cover layer 9 and an intermediate thermal barrier coating 10 , The outer cover layer 8th consists of a heat dissipating aluminum sheet, while the inner cover layer 9 Made of a stainless steel sheet, which on its the inside of the temperature chamber 2 mirror-polished side to reflect the heat radiation to the inside. The thermal barrier coating 10 consists of a plate-shaped rigid foam material with very good thermal insulation properties. So that the hard foam does not absorb moisture, this is expediently closed-celled.

Die äußere Decklage 8, die innere Decklage 9 und die Wärmedämmschicht 10 sind lose aneinander gefügt und werden durch eine Mehrzahl von mechanischen Befestigungseinrichtungen 11 fest aneinander gehalten.The outer cover layer 8th , the inner cover layer 9 and the thermal barrier coating 10 are loosely joined together and are replaced by a plurality of mechanical fasteners 11 firmly held together.

Diese mechanischen Befestigungseinrichtungen 11 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel identisch ausgebildet und weisen jeweils, wie aus den 3 und 4 hervorgeht, eine Feder 12, Gewindestopfen 13, die in Endabschnitte der Federn 12 eingesetzt sind, sowie fluchtende Schrauben 14, 15 auf, die jeweils von außen her in die Gewindestopfen eingeschraubt werden und dadurch die Dec klagen 8, 9 von gegenüberliegenden Seiten her fest gegen die Wärmedämmschicht drücken und diese dadurch zwischen sich einklemmen.These mechanical fastening devices 11 are identical in the illustrated embodiment and each have, as from the 3 and 4 shows a spring 12 , Threaded plug 13 placed in end sections of the springs 12 are used, as well as aligned screws 14 . 15 on, which are screwed from the outside into the threaded plug and thereby complain the dec 8th . 9 from opposite sides press firmly against the thermal barrier coating and thereby pinch between them.

Die Federn 12 sind in durchgehenden Querbohrungen 16 in die Wärmedämmschicht eingesetzt, wobei der Durchmesser der Querbohrungen 16 in etwa dem Außendurchmesser der Federn 12 entspricht. Bei der Feder 12 handelt es sich um eine auf Zug. beanspruchbare Spiralfeder mit einem im Querschnitt kreisförmigen Federdraht. Die Länge der Feder 12 ist im unbelasteten Zustand, d.h. wenn die einzelnen Windungen aufeinander liegen, kürzer als die Dicke der Wärmedämmschicht 10 und damit kürzer als der Abstand zwischen der äußeren Decklage 8 und der inneren Decklage 9. Dies ermöglicht es, dass die Federn 12 beim Einschrauben der Schrauben 14, 15 auseinander gezogen werden, wodurch eine Vorspannung erzeugt wird, welche die Decklagen 8, 9 aufeinander zu und gegen die Wärmedämmschicht 10 drückt.The feathers 12 are in continuous transverse bores 16 used in the thermal barrier coating, the diameter of the transverse bores 16 in about the outer diameter of the springs 12 equivalent. At the spring 12 it is a train. claimable coil spring with a circular cross-section spring wire. The length of the spring 12 is in the unloaded state, ie when the individual turns lie on each other, shorter than the thickness of the thermal barrier coating 10 and thus shorter than the distance between the outer cover layer 8th and the inner cover layer 9 , This allows the springs 12 when screwing in the screws 14 . 15 be pulled apart, whereby a bias is generated, which the cover layers 8th . 9 towards each other and against the thermal barrier coating 10 suppressed.

Die Gewindestopfen 13 sind in gegenüberliegende Endabschnitte 17 der Federn 12 eingesetzt und erstrecken sich im dargestellten Ausführungsbeispiel über die äußersten drei bis vier Windungen. Die Gewindestopfen 13 können jedoch auch ohne Weiteres andere Längen aufweisen. Weiterhin weisen die Gewindestopfen 13 eine mittige, durchgehende, axiale Gewindebohrung 18 auf, in welche die Schrauben 14, 15 von den gegenüberliegenden Außenseiten der Gehäusewand 7 her eingeschraubt werden können. Hierbei sind die Schrauben 14, 15 durch entsprechende Bohrungen 19 in den Decklagen 8, 9 hindurchgeführt.The threaded plugs 13 are in opposite end sections 17 the springs 12 used and extend in the illustrated embodiment over the outermost three to four turns. The threaded plugs 13 However, they can easily have other lengths. Furthermore, the threaded plug 13 a central, continuous, axial threaded hole 18 on, in which the screws 14 . 15 from the opposite outer sides of the housing wall 7 can be screwed. Here are the screws 14 . 15 through corresponding holes 19 in the cover layers 8th . 9 passed.

Wie aus 3 ersichtlich, ist die äußere Schraube 14 länger als die innere Schraube 15. Hierdurch ist es mög lich, zunächst die innere Schraube 15 in den zugehörigen Gewindestopfen 13 einzuschrauben, bis dieser Gewindestopfen 13 an der inneren Decklage 9 anliegt. Da die Länge der Feder 12 kürzer ist als die Dicke der Wärmedämmschicht 10, liegt das äußere Ende der Feder 12 bzw. der äußere Gewindestopfen 13 noch vertieft innerhalb der Querbohrung 16. Zum Montieren der äußeren Decklage 8 ist daher eine längere Schraube 14 erforderlich, damit die Schraube 14 mit dem äußeren Gewindestopfen 13 in Schraubeingriff gebracht werden kann. Die äußere Schraube 14 kann nun so lange in den Gewindestopfen 13 eingedreht werden, bis dieser an der äußeren Decklage 8 anliegt. Zweckmäßiger Weise weist die Feder 12 eine derartige Federkonstante auf, dass in dieser Endposition genau die gewünschte Zugkraft aufgebracht wird, mit welcher die Wärmedämmschicht 10 zwischen den Decklagen 8, 9 eingeklemmt wird. Es ist jedoch auch ohne Weiteres. möglich, die Schraube 14 und/oder Schraube 15 weniger weit in die Gewindestopfen 13 einzuschrauben, falls die über die Schraubenköpfe auf die Decklagen 8, 9 ausgeübte Kraft reduziert werden soll.How out 3 seen, is the outer screw 14 longer than the inner screw 15 , This makes it possible, first, the inner screw 15 in the associated threaded plug 13 screw in until this threaded plug 13 on the inner cover layer 9 is applied. Because the length of the spring 12 shorter than the thickness of the thermal barrier coating 10 , lies the outer end of the spring 12 or the outer threaded plug 13 still deepened inside the cross hole 16 , For mounting the outer cover layer 8th is therefore a longer screw 14 required for the screw 14 with the outer threaded plug 13 can be brought into screw engagement. The outer screw 14 can now so long in the threaded plug 13 be screwed until this on the outer cover layer 8th is applied. Appropriately, the spring has 12 Such a spring constant, that in this end position exactly the desired te tensile force is applied, with which the thermal barrier coating 10 between the cover layers 8th . 9 is trapped. However, it is also easy. possible, the screw 14 and / or screw 15 less far in the threaded plug 13 if screwed over the screw heads on the cover layers 8th . 9 applied force is to be reduced.

Wie aus 3 ersichtlich, ist die Feder 12 im montierten Endzustand soweit auseinander gezogen, dass die einzelnen Windungen nicht mehr aufeinander liegen und dazwischen ein Luftzwischenraum vorhanden ist. Hierdurch ergibt sich eine besonders geringe Wärmeleitung längs der Befestigungseinrichtungen 11.How out 3 it can be seen, is the spring 12 in the assembled final state pulled apart so far that the individual turns are no longer on top of each other and there is an air gap between them. This results in a particularly low heat conduction along the fasteners 11 ,

In den 5 und 6 ist eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Gehäusewände 7 dargestellt. Die dort gezeigte Gehäusewand 7 ist bezüglich der Decklagen 8, 9, Wärmedämmschicht 10 und mechanischen Befestigungseinrichtungen 11 gleich wie das anhand der 3 und 4 dar gestellte Ausführungsbeispiel ausgebildet, so dass diesbezüglich darauf verwiesen wird. Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel liegen beim zweiten Ausführungsbeispiel die äußere und innere Decklage 8, 9 jedoch nicht direkt an der Wärmedämmschicht 10 an. Vielmehr befindet sich zwischen der äußeren Decklage 8 und der Wärmedämmschicht 10 eine plattenförmige Zwischenschicht 20 und zwischen der inneren Decklage 9 und der Wärmedämmschicht 10 eine plattenförmige Zwischenschicht 21. Die Zwischenschichten 20, 21 können beispielsweise aus Silikon bestehen, da dieses Material einerseits relativ preiswert ist und andererseits innerhalb des Temperaturbereiches von –60° Celsius bis +160° Celsius die gewünschten Eigenschaften beibehält. Die Zwischenschichten 20, 21 liegen ebenfalls lose zwischen der Wärmedämmschicht 10 und der zugeordneten Decklage 8, 9, und werden durch die Vorspannkraft der Feder 12 zwischen der Wärmedämmschicht 10 und der zugeordneten Decklage 8, 9 eingeklemmt.In the 5 and 6 is a further embodiment of the housing walls according to the invention 7 shown. The housing wall shown there 7 is regarding the cover layers 8th . 9 , Thermal barrier coating 10 and mechanical fasteners 11 the same as that on the basis of 3 and 4 formed embodiment, so reference is made in this respect. In contrast to the first embodiment, the outer and inner cover layer are in the second embodiment 8th . 9 but not directly on the thermal barrier coating 10 at. Rather, it is located between the outer cover layer 8th and the thermal barrier coating 10 a plate-shaped intermediate layer 20 and between the inner cover layer 9 and the thermal barrier coating 10 a plate-shaped intermediate layer 21 , The intermediate layers 20 . 21 For example, can be made of silicone, since this material is both relatively inexpensive and on the other hand within the temperature range of -60 ° Celsius to + 160 ° Celsius retains the desired properties. The intermediate layers 20 . 21 are also loosely between the thermal barrier coating 10 and the associated cover layer 8th . 9 , and are due to the biasing force of the spring 12 between the thermal barrier coating 10 and the associated cover layer 8th . 9 trapped.

Die Zwischenschichten 20, 21 dienen dazu, auf einfache Weise Haltemittel in der Form von Muttern 22 zwischen der Wärmedämmschicht 10 und der zugeordneten Decklage 8, 9 aufzunehmen. Hierzu weisen die Zwischenschichten 20, 21 zweckmäßiger Weise eine Dicke auf, die mindestens derjenigen Länge entspricht, um die die Muttern 22 nach innen über die Decklage 8, 9 vorstehen. Hierdurch ist es möglich, in Ausnehmungen 23, die als Durchgangslöcher in der Zwischenschicht 20, 21 ausgebildet sind, die Muttern 22 derart aufzunehmen, dass sie nicht nach innen, d.h. in Richtung der Wärmdämmschicht 10, über die Zwischenlagen 20, 21 vorstehen. In der Wärmedämmschicht 10 müssen daher keine Ausnehmungen zur Aufnahme der Muttern 22 vorgesehen werden, so dass die Herstellung der Wärmedämmschicht 10 vereinfacht und verbilligt wird. Da die Ausnehmungen 23 in der Zwischenschicht 20, 21 als Durchgangsöffnungen gestaltet werden können, können diese ebenfalls auf sehr einfache und kostengünstige Weise, beispielsweise durch Schneiden oder Stanzen, hergestellt werden.The intermediate layers 20 . 21 serve in a simple way holding means in the form of nuts 22 between the thermal barrier coating 10 and the associated cover layer 8th . 9 take. For this purpose, the intermediate layers 20 . 21 expediently has a thickness which corresponds at least to that length, around which the nuts 22 inside over the top layer 8th . 9 protrude. This makes it possible in recesses 23 as through holes in the interlayer 20 . 21 are trained, the nuts 22 absorb so that they are not inward, ie in the direction of the thermal insulation layer 10 , about the liners 20 . 21 protrude. In the thermal barrier coating 10 therefore, do not have recesses for receiving the nuts 22 be provided, so that the production of the thermal barrier coating 10 simplified and cheapened. Because the recesses 23 in the interlayer 20 . 21 can be designed as through holes, they can also be made in a very simple and cost-effective manner, for example by cutting or punching.

Im Bereich der Befestigungseinrichtungen 11 weisen die Zwischenlagen 20, 21 ebenfalls Ausnehmungen 24 auf. Diese Ausnehmungen 24 haben einen derartigen Durchmesser, dass die Federn 12 zusammen mit den Gewindestopfen 13 durch die Ausnehmungen 24 hindurchtreten können.In the field of fasteners 11 have the liners 20 . 21 also recesses 24 on. These recesses 24 have a diameter such that the springs 12 along with the threaded plugs 13 through the recesses 24 can pass through.

Die Muttern 22 weisen im vorliegenden Ausführungsbeispiel jeweils einen axial vorstehenden Zentrierbund auf, mit dem sie in zugeordnete Durchgangsbohrungen 25 der Decklagen 8, 9 eingesetzt werden können. Zur Befestigung der Muttern 22 an der aus Aluminium bestehenden äußeren Decklage 8 ist es beispielsweise möglich, den Zentrierbund in die zugeordnete Durchgangsbohrung 24 einzupressen. Die Befestigung der Mutter 22 an der inneren, aus Edelstahl bestehenden Decklage 9 kann beispielsweise durch Schweißen erfolgen.The nuts 22 have in the present embodiment, in each case an axially projecting centering collar, with which they in associated through holes 25 the top layers 8th . 9 can be used. For fastening the nuts 22 on the existing aluminum outer cover layer 8th For example, it is possible the centering collar in the associated through hole 24 to press. The attachment of the mother 22 on the inner, stainless steel cover layer 9 can be done for example by welding.

Die Muttern 25 dienen zum Halten von Funktionsteilen im Inneren oder außerhalb der Temperaturkammer 2 oder zur Befestigung der Temperaturkammer 2 an Rahmenelementen oder anderen Befestigungsteilen des Handhabungsautomaten 1.The nuts 25 serve to hold functional parts inside or outside the temperature chamber 2 or for fixing the temperature chamber 2 on frame elements or other fastening parts of the handling machine 1 ,

Claims (8)

Temperaturkammer zum Testen von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs, bei bestimmten Temperaturen, mit Gehäusewänden (7), die eine äußere Decklage (8), eine innere Decklage (9) und eine dazwischen angeordnete Wärmedämmschicht (10) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die gegenseitige Verbindung der äußeren Decklage (8), inneren Decklage (9) und Wärmedämmschicht (10) mittels einer Mehrzahl von Federn (12) erfolgt, die sich jeweils zumindest über den überwiegenden Teil der Dicke der Wärmedämmschicht (10) quer durch diese hindurch erstrecken und gegenüberliegende Endabschnitte (17) aufweisen, an denen die äußere und innere Decklage (8, 9) befestigt sind, wobei die Federn (12) mittels in die Endabschnitte (17) der Federn (12) eingesetzten Gewindestopfen (13) und in die Gewindestopfen (13) eingeschraubten Schrauben (14, 15) an der äußeren und inneren Decklage (8, 9) befestigt sind.Temperature chamber for testing electronic components, in particular ICs, at certain temperatures, with housing walls ( 7 ), which has an outer cover layer ( 8th ), an inner cover layer ( 9 ) and an intermediate thermal barrier coating ( 10 ), characterized in that the mutual connection of the outer cover layer ( 8th ), inner cover layer ( 9 ) and thermal barrier coating ( 10 ) by means of a plurality of springs ( 12 ), which in each case at least over the majority of the thickness of the thermal barrier coating ( 10 ) extend transversely therethrough and opposite end portions ( 17 ), on which the outer and inner cover layer ( 8th . 9 ), the springs ( 12 ) by means of in the end sections ( 17 ) of the springs ( 12 ) threaded plug ( 13 ) and into the threaded plugs ( 13 ) screwed in screws ( 14 . 15 ) on the outer and inner cover layer ( 8th . 9 ) are attached. Temperaturkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Federn (12) voneinander beabstandete Windungen aufweisen.Temperature chamber according to claim 1, characterized in that the springs ( 12 ) have spaced turns. Temperaturkammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Federn (12) im spannungslosen Zustand kürzer als der Abstand zwischen der äußeren Decklage (8) und inneren Decklage (9) sind.Temperature chamber according to claim 1 or 2, characterized in that the springs ( 12 ) in the tensionless state shorter than the distance between the outer cover layer ( 8th ) and inner cover layer ( 9 ) are. Temperaturkammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der äußeren Decklage (8) und der Wärmedämmschicht (10) und/oder zwischen der inneren Decklage (9) und der Wärmedämmschicht (10) eine Zwischenlage (20, 21) angeordnet ist, welche Ausnehmungen (23) zur Aufnahme von zur Befestigung von Funktionsteilen und/oder zur Befestigung der Temperaturkammer (2) an einem außenliegenden Befestigungsrahmen dienenden Haltemittel, insbesondere Muttern (22), aufweist, wobei die Dicke der Zwischenlage (20, 21) der Dicke der Haltemittel entspricht.Temperature chamber according to one of the preceding claims, characterized in that between the outer cover layer ( 8th ) and the thermal barrier coating ( 10 ) and / or between the inner cover layer ( 9 ) and the thermal barrier coating ( 10 ) an intermediate layer ( 20 . 21 ) is arranged, which recesses ( 23 ) for receiving for fastening of functional parts and / or for fixing the temperature chamber ( 2 ) on an outer mounting frame serving holding means, in particular nuts ( 22 ), wherein the thickness of the intermediate layer ( 20 . 21 ) corresponds to the thickness of the holding means. Temperaturkammer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltemittel von der der Wärmedämmschicht (10) zugewandten Seite der äußeren oder inneren Decklage (8, 9) her in diese eingepresst oder mit dieser verschweißt sind.Temperature chamber according to claim 4, characterized in that the holding means of the thermal barrier coating ( 10 ) facing side of the outer or inner cover layer ( 8th . 9 ) are pressed into her or welded to this. Temperaturkammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die äußere Decklage (8) aus einem Aluminiumblech und die innere Decklage (9) aus einem, auf seiner dem Inneren der Temperaturkammer (2) zugewandten Seite vorzugsweise spiegelnd polierten, Edelstahlblech besteht.Temperature chamber according to one of the preceding claims, characterized in that the outer cover layer ( 8th ) of an aluminum sheet and the inner cover layer ( 9 ) from one, on its inside the temperature chamber ( 2 ) facing side preferably mirror polished, stainless steel sheet. Temperaturkammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmedämmschicht (10) aus einem geschlossenzelligen Hartschaum besteht.Temperature chamber according to one of the preceding claims, characterized in that the thermal barrier coating ( 10 ) consists of a closed-cell rigid foam. Temperaturkammer nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenlage (20, 21) aus einer Silikonplatte besteht.Temperature chamber according to one of claims 4 to 7, characterized in that the intermediate layer ( 20 . 21 ) consists of a silicone plate.
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