DE102004049580A1

DE102004049580A1 - Verfahren zur Erfassung von Zustandsparametern einer Flüssigkeit

Info

Publication number: DE102004049580A1
Application number: DE200410049580
Authority: DE
Inventors: Bernhard Jakoby; Matthias Buskies; Monika Scherer
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2004-10-12
Filing date: 2004-10-12
Publication date: 2006-04-13
Also published as: WO2006040207A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Viskositätssensoranordnung bzw. ein Verfahren mittels einer Viskositätsssensoranordnung zur Erfassung von Zustandsparamtern einer Flüssigkeit. Dabei ist vorgesehen, dass die Viskositätssensoranordnung einen Volumenschwinger und elektrische Zufuhrleitungen enthält. Der Volumenschwinger ist derart ausgestaltet, dass er einen (Schwing-)Quarz mit wenigstens zwei Quarzelektroden aufweist. Die Quarzelektroden werden mittels elektrischer Kontaktstellen über die elektrischen Zufuhrleitungen mit einer Ansteuerung-/Auswerteelektronik verbunden. Zur Erfassung der Zustandsparameter ist dabei vorgesehen, dass der Volumenschwinger vollständig mit der Flüssigkeit bedeckt ist. Erfindungsgemäß kann mit der beschriebenen Viskositätssensoranordnung sowohl die Viskosität als auch die Permittivität der Flüssigkeit erfasst werden, indem die Ansteuer-/Auswerteelektronik die Erfassung in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers durchführt.

Description

Die Erfindung geht aus von einer Viskositätssensoranordnung bzw. einem Verfahren zur Erfassung von Zustandsparametern einer Flüssigkeit nach den Oberbegriffen der unabhängigen Ansprüchen.

Zur Viskositätsmessung werden seit geraumer Zeit piezoelektrische Dickenscherschwinger, welche beispielsweise aus Quarz hergestellt sind, verwendet. Siehe dazu beispielsweise S. J. Martin et. al., Sens. Act. A 44 (1994) Seiten 209 – 218. Wird ein solcher Dickenscherschwinger in eine viskose Flüssigkeit getaucht, so ändern sich die Resonanzfrequenz der Eigenschwingung und deren Dämpfung in Abhängigkeit von der Viskosität und der Dichte der viskosen Flüssigkeit. Da die Dichte für typische Flüssigkeiten in weit geringerem Maße variiert als die Viskosität, stellt ein derartiges Bauteil praktisch einen Viskositätssensor dar, wie er beispielhaft in der DE 101 12 433 A1 dargestellt ist.

Üblicherweise wird zur Auswertung des piezoelektrischen Dickenscherschwingers eine Oszillatorschaltung verwendet, wie sie in der DE 199 58 769 A1 bzw. der DE 102 03 475 A1 beschrieben wird.

Neben der Viskosität können jedoch auch andere chemische und/oder physikalische Eigenschaften der Flüssigkeit zur Überwachung bzw. Bestimmung des „Flüssigkeitszustands" herangezogen werden. So ermöglicht in dem Sensor gemäß der DE 198 50 799 A1 ein erstes Sensorelement in Form eines Oberflächenschwingers die Bestimmung der Viskosität, während ein zweites Sensorelement mittels einer räumlich separierten Kondensatorstruktur eine Leitfähigkeitsbestimmung der Flüssigkeit zulässt. Der Nachteil von gradientenbedingten Effekten wie beispielsweise Temperatureffekten bei diesem Sensor, wird in einem Sensor gemäß der nicht vorveröffentlichte Schrift DE 103 34 241 A1 mittels einer räumlichen Kombination beider Sensorelemente behoben.

Vorteile der Erfindung

Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Viskositätssensoranordnung bzw. ein Verfahren mittels einer Viskositätssensoranordnung zur Erfassung von Zustandsparameter einer Flüssigkeit. Dabei ist vorgesehen, dass die Viskositätssensoranordnung einen Volumenschwinger und elektrische Zufuhrleitungen enthält. Der Volumenschwinger ist derart ausgestaltet, dass er einen (Schwing-)Quarz mit wenigstens zwei Quarzelektroden aufweist. Die Quarzelektroden werden dabei mittels elektrischer Kontaktstellen über die elektrischen Zufuhrleitungen mit einer Ansteuerung-/Auswerteelektronik verbunden. Zur Erfassung der Zustandsparameter ist dabei vorgesehen, dass der Volumenschwinger vollständig mit der Flüssigkeit bedeckt ist. Erfindungsgemäß kann mit der beschriebenen Viskositätssensoranordnung sowohl die Viskosität als auch die Permittivität der Flüssigkeit erfasst werden, indem die Ansteuer-/Auswerteelektronik die Erfassung in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers durchführt.

Durch eine Erfassung der Viskosität und der Permittivität mit ein und demselben Sensorelement kann eine im Vergleich zu sonstigen Sensoren kompakte Bauform des Sensors erreicht werden. Darüber hinaus können beide Zustandsparameter am selben Ort in der Flüssigkeit erfasst werden, wodurch gradientenbedingte Effekte, insbesondere Temperatureffekte bei schnellen Temperaturänderungen bzw. -schwankungen in der Flüssigkeit, minimiert werden.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die beiden Quarzelektroden unterschiedliche Elektrodenformen aufweisen. So ist beispielsweise denkbar, dass die beiden Quarzelektroden nicht deckungsgleich auf den beiden Seiten des Quarz angebracht sind und/oder das wenigstens eine der Quarzelektroden als Ring oder Kreis ausgestaltet ist.

Optional ist auch möglich, auf einer der Seiten des Quarzes eine weitere Elektrode vorzusehen. An dieser weiteren Elektrode kann eine zusätzliche Kapazitätsmessung durchgeführt werden. Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass die Kapazitätsmessung in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers erfolgt.

Da die Viskosität bei den meisten Flüssigkeiten stark temperaturabhängig ist, ist eine gleichzeitige Erfassung der Temperatur mittels eines Temperatursensors zur Bewertung der Messdaten wünschenswert. So kann die Viskositätssensoranordnung und/oder der Volumenschwinger ein Temperatursensor zugeordnet werden, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass dieser Temperatursensor mit der Ansteuer-/Auswerteeinheit verbunden ist.

Besonders vorteilhaft ist das in der vorliegenden Erfindung beschriebene Verfahren durch die Möglichkeit der simultanen Erfassung der Viskosität und der Permittivität der Flüssigkeit.

In einer Ausgestaltung der Erfindung wird die Viskosität der Flüssigkeit mittels eines Quarzresonators erfasst, der u.a. durch den Volumenschwinger gebildet wird. Dabei wird die Viskosität in Abhängigkeit der viskosen Dämpfung und/oder der Frequenzverschiebung der Resonanzfrequenz des in der Flüssigkeit befindlichen Teils des Quarzresonators erfasst.

Eine Möglichkeit zur Erfassung der Permittivität der Flüssigkeit besteht darin, eine Kapazitätsmessung an einer weiteren Elektrode auf einer Seite des Quarzes durchzuführen. Die Permittivität ergibt sich dann in Abhängigkeit von der so erhaltenen Kapazitätsgröße.

Vorteilhafterweise wird die Permittivität in Abhängigkeit von der am Quarzresonator erfassten Streukapazität bestimmt. Dabei wird sowohl der Volumenschwinger als auch wenigstens ein Teil der Zufuhrleitungen bei der Erfassung der Streukapazität berücksichtigt. Dabei kann vorgesehen sein, dass die derartige Bestimmung der Streukapazitäten usw. die Bestimmung der Permittivität, simultan zur Erfassung der Viskosität durchgeführt wird.

In einer besonderen Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, die Streukapazitäten, von der die Permittivität abgeleitet wird, zu modifizieren. So können von der Gesamt-Streukapazität Teil-Streukapazitäten abgezogen werden, die unabhängig von der Permittivität der Flüssigkeit vorgegeben sind. Übrig bleiben lediglich derartige Teil-Streukapazitäten, die abhängig von der Permittivität sind. Vor diesem Hintergrund können Teil-Streukapazitäten, die den Zufuhrleitungen außerhalb der Flüssigkeit und/oder dem Feld zwischen den Elektroden des Quarzes zugeordnet werden können von der gemessenen Gesamt-Streukapazität abgezogen werden.

Weitere Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen bzw. aus den abhängigen Patentansprüchen.

Zeichnungen

In der 1 ist ein typischer Aufbau eines Quarzresonators in einem Flüssigkeitsbehälter dargestellt. Die 2a und 2b zeigen eine schematische Darstellung der Messanordnung sowie ein elektrisches Ersatzschaltbild des Quarzresonators. Eine Darstellung des die Streukapazität auslösenden Streufeldes am Quarz ist in 3 dargestellt. Eine mögliche Ausgestaltung der Elektroden auf der Quarzscheibe zeigt 4. Dagegen ist in 5 eine Modifikation der elektrischen Anschlüsse dargestellt.

Ausführungsbeispiel
Ausgehend von einer Messanordnung zur Erfassung der Viskosität einer Flüssigkeit, soll im folgenden eine Erfassung der Permittivität mit ein und demselben Sensorelement beschrieben werden. Dazu wird eine typische Viskositätssensoranordnung als Messanordnung verwendet, wie sie beispielsweise aus der Schrift DE 101 12 433 A1 bekannt ist. Darüber hinaus soll jedoch selbstverständlich auch jede andere Ausgestaltung einer entsprechenden Viskositätssensoranordnung mit der vorliegenden Erfindungsidee betrieben werden können.
Die Messanordnung gemäß 1, befindet sich zur Erfassung der Viskosität bzw. anderer Flüssigkeitseigenschaften in einem Behälter 190, der mit einer Flüssigkeit 180, beispielsweise einem Öl aufgefüllt ist. Dabei ist bereits allgemein bekannt, zur Viskositäts- und/oder Dichtemessung piezoelektrische Schwinger, insbesondere Volumenschwinger zu verwenden. Wird ein solcher Volumenschwinger in eine viskose Flüssigkeit getaucht, so ändert sich dessen Resonanzfrequenz der Eigenschwingung und dessen Dämpfung in Abhängigkeit der Viskosität und der Dichte der Flüssigkeit.
Ein Volumenschwinger, beispielsweise ein piezo-elektrischer Quarzkristall 100, ist scheibenförmig ausgebildet und vollständig in die Flüssigkeit 180 in dem Behälter 190 eingetaucht. Der scheibenförmige Quarzsensor 100 besitzt zwei elektrische Kontaktstellen, die beispielsweise als Gold- oder Chromelektroden 110 bzw. 120 ausgebildet sein können. Dabei haben sich bei einer spezifischen Anwendung der Viskositätssensoranordnung in Öl, beispielsweise in Motor- oder Getriebeöl, Gold- oder Chromelektroden als besonders robuste Materialien erwiesen.
Die Quarzelektroden 110 bzw. 120 sind über einen geeigneten Leitklebstoff 135 und Kontaktfedern 130 mit elektrischen Zufuhrleitungen 140 verbunden, die beispielsweise als vergoldete oder verchromte Drähte ausgebildet sind. Auch diese vergoldeten bzw. verchromten Drähte haben sich bei einer spezifischen Anwendung im Motorenöl eines Fahrzeugs als besonders robuste Leitermaterialien erwiesen. Zur mechanischen Aufnahme der piezoelektrischen Quarzscheibe 100 weisen die Kontaktfedern 130 eine geschlitzte Form auf.
Der Leitklebstoff 135 gewährleistet die elektrische und mechanische Kontaktierung der piezoelektrischen Quarzscheibe 100 mit den Kontaktfedern 130 an den auf dem Rand der Quarzelektroden befindlichen Kontaktstellen. Der isotrop elektrisch leitende Klebstoff 135 besteht in einem Ausführungsbeispiel der Erfindung aus Epoxidharz, Phenolharz und/oder Polyimid. Daneben kann das Material des Leitklebstoffes 135 auch auf einer Epoxy-Phenolbasis basieren. Die isotropen Leitklebstoffe 135 sind üblicherweise mit Metallteilchen, vorzugsweise Nickel- und/oder Goldteilchen, in Flake- oder Kugelform bzw. Mischungen versehen, um eine bessere Leitfähigkeit zu erreichen. Dabei können die Nickel- bzw. Goldteilchen eine Teilchengröße von etwa 2 μm bis 20 μm besitzen. Die Konzentration der Nickel- bzw. Goldteilchen in dem Leitklebstoff 8 beträgt in etwa 75 bis 95 Gew.%.
Die elektrischen Zufuhrleitungen 140 können entweder direkt durch die Halterung 150 der Messanordnung mittels isolierten Durchführungen 155 geführt sein, oder durch geeignete Verbindungstechniken, beispielsweise Schweißen, mit entsprechenden Anschlussdrähten 170 an der Wand des Behälters 190 verbunden sein. Entscheidend ist, dass eine elektrische Verbindung der Messanordnung über die Kontaktstellen der Quarzelektroden 110 bzw. 120 und den elektrischen Zufuhrleitungen 140 mit einer Ansteuer-/Auswerteelektronik 199 außerhalb des Behälters 190 für eine elektrische Ansteuerung der Messanordnung und eine anschließende Auswertung der Ergebnisse hergestellt wird, wobei die verwendeten Kontaktstellen, Leitklebstoffe 135 und elektrischen Zufuhrleitungen 140 bezüglich der zu messenden Flüssigkeit 180 resistent sind.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels beschrieben wird, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Weise modifizierbar. So können andere Flüssigkeiten als Öl vermessen werden, wobei in bezug auf diese Flüssigkeit resistente Kontaktstellenmaterialien, Leitklebstoffe mit entsprechenden Metallteilchen und elektrische Zuführleitungsmaterialien zu verwenden sind. Außerdem kann die Messanordnung bestehend aus der Quarzscheibe 100, den Quarzelektroden 110 bzw. 120, sowie den Zuführleitungen 140 ohne einer Beeinträchtigung der Messwertaufnahme mit einer Abdeckung versehen werden, sofern die Quarzscheibe 100 mit der Flüssigkeit 180 in Kontakt treten kann.
Die Auswertung der Messsignale der Messanordnung 200 sei anhand einer schematischen Darstellung in 2a näher erläutert. In dem Behälter 180 befindet sich die Flüssigkeit 180, beispielsweise ein Öl. In die Flüssigkeit 180 ist der mit dem Bezugszeichen 220 bezeichnete Schwinger eingetaucht. Der Schwinger 220 ist mit einer Regelungs- und Auswerteeinheit 199 verbunden, welche über in der 2a nicht dargestellte drahtgebundene oder nicht drahtgebundene Kanäle die Messergebnisse bzgl. der zu messenden Größen der Flüssigkeit 180 weiterzuleiten imstande ist. Für den Quarzresonator, der zur Erfassung der Viskosität bzw. der Dichte der Flüssigkeit 180 verwendet wird, kann ein Ersatzschaltbild gemäß 2b verwendet werden. Dabei entspricht das Schaltsymbol 200 einem Schwingungssystem, bestehend aus dem Schwinger 220 bzw. der Quarzscheibe 100 und der an dem Schwinger angekoppelten Flüssigkeit 180. Dieses Schwingsystem besteht, wie im rechten Teil der 2b dargestellt, aus einem ersten Teil 230 und einem zweiten Teil 240. Während der erste Teil 230 den trockenen Anteil, d.h. den Anteil des Schwingsystems repräsentiert, der nicht mit der Flüssigkeit 180 in Kontakt steht, repräsentiert der zweite Teil 240 den Flüssigkeitsanteil des Schwingungssystems, d.h. den Anteil der mit der Flüssigkeit 180 in Kontakt steht.
Der trockene Anteil 230 und der Flüssigkeitsanteil 240 sind im Sinne einer Serienschaltung verbunden und im rechten Teil der 2b hintereinander angeordnet. Der trockene Anteil 230 umfasst hierbei einen Schwinger 220, dessen Verhalten sich durch eine erste Kapazität C₁, eine erste Induktivität L₁ und einen ersten Widerstand R1 beschreiben lässt. Der Flüssigkeitsanteil 240 umfasst hierbei die an den Schwinger 220 angrenzende Flüssigkeitsschicht bzw. den Anteil der Flüssigkeit 180, welcher durch die mechanischen Schwingungen des Schwingers 220 beeinflusst wird. Das Verhalten der an den Schwinger 220 angekoppelten Flüssigkeitsschicht bzw. des an den Schwinger 220 angekoppelten Anteils der Flüssigkeit 180 lässt sich dabei durch eine zweite Induktivität L₂ und einen zweiten Widerstand R₂ beschreiben.
Der zweite Widerstand R₂ ist näherungsweise proportional zur Quadratwurzel aus dem Produkt der Dichte und der dynamischen Viskosität der Flüssigkeit. Der zweite Widerstand R₂ repräsentiert die viskose Dämpfung durch die Flüssigkeit. Die zweite Induktivität L₂ bewirkt eine Frequenzverschiebung durch die viskose Flüssigkeit, wobei die zweite Induktivität L₂ bei rauen Resonatoroberflächen auch Anteile umfasst, die durch "gefangene" Flüssigkeitsanteile in der rauen Resonatoroberfläche entstehen. Diese Frequenzverschiebung ist ebenfalls näherungsweise proportional zur Quadratwurzel aus dem Produkt der Dichte und der dynamischen Viskosität der Flüssigkeit. Bei bekannter oder hinreichend konstanter Dichte kann der Resonator daher zur Bestimmung der (dynamischen) Viskosität verwendet werden.
Um ein vollständigeres Bild des Flüssigkeitszustands zu erhalten, ist vorgesehen, neben der Viskosität bzw. Dichte auch die Dielektrizitätszahl bzw. Permittivität der Flüssigkeit zu bestimmen. Erfindungsgemäß lässt sich die Permittivität der Flüssigkeit durch eine zusätzliche Auswertung der Streukapazität C₀ des Quarzes mit demselben Sensorelement 220 erfassen. Die Streukapazität C₀ setzt sich dabei aus verschiedenen Anteilen zusammen. So lässt sich der Anteil C_Q identifizieren, der durch das Feld zwischen den beiden Quarzelektroden 110 bzw. 120 durch die Quarzscheibe 100 bestimmt wird. Darüber hinaus erzeugen die Zuführungen 170 bzw. der Teil der Durchführungen 160, der nicht in der Flüssigkeit eingetaucht ist, neben C_Q mit C_Zu einen weiteren einen Anteil, der nicht durch die Flüssigkeit beeinflusst wird. Zieht man diese beiden Anteile C_Q und C_Zu von der Gesamt-Streukapazität C₀ ab, so verbleibt im wesentlichen der Anteil C_Fl der Streukapazität, der durch das Feld der Elektroden, Kontaktfedern und Zufuhrleitungen bestimmt wird, welches durch die Flüssigkeit führt. Somit kann durch die Ermittlung von C_Fl gemäß C~ε_r eine Messgröße ermittelt werden, aus der die Permittivität abgeleitet werden kann.
Durch eine geeignete Modifikation der Quarzelektroden bzw. der Zuführungsleitungen kann die Permittivitätserfassung optimiert werden. So ist in 3 die Situation des elektrischen Feldes 340 zwischen den Quarzelektroden 310 in der Quarzscheibe 320 sowie im Außenraum mit dem Streufeld 330 dargestellt. Werden die Quarzelektroden 310 abweichend von der runden, kreisförmigen Elektrodenform gestaltet, so kann eine Erhöhung des Streufeld-Anteils und somit eine Erhöhung des Wertes von C_Fl erreicht werden. Neben Ausgestaltungen der Quarzelektroden als Ringe oder unterschiedlichen Formen auf beiden Seiten des Quarzes kann auch eine Abweichung von der genauen Überdeckung der beiden Elektroden auf dem Quarz zu einer Erhöhung des Streuanteils durch die Flüssigkeit führen. Darüber hinaus ist auch möglich, eine Elektrode zur Erfassung der Viskosität und die andere zur Erfassung der Permittivität zu optimieren.
Eine weitere Ausgestaltung der Quarzelektroden zur Erfassung der Permittivität ist in 4 dargestellt. Dabei wird auf einer Seite des Quarzes 400 neben der Quarzelektrode 410 eine weitere Elektrode 430 mit einem zusätzlichen Anschluss erzeugt, wobei die Quarzelektrode 410 und die weitere Elektrode 430 durch einen Bereich 440 voneinander (elektrisch) getrennt sind. Über diesen zusätzlichen Anschluss kann eine Kapazitätsmessung durchgeführt werden, woraus sich ebenfalls die Permittivität ableiten lässt. Wie an der 4 zu sehen ist, können auch die beiden Quarzelektroden 410 und 420 auf den beiden Seiten des Quarzes 400 gegeneinander verschoben sein.
Eine weitere Möglichkeit zur Erhöhung des Streufeldes durch die Flüssigkeit wird in 5 gezeigt. So ist möglich, die Zuführungsleitungen 500, die unterhalb der Halterung 150 verlaufen, näher zusammen zu führen bzw. dicker auszugestalten. Daneben ist auch eine Modifikation der elektrischen Durchführung denkbar, beispielsweise, indem eine größere Fläche benutzt wird oder die Durchführungen näher zusammen geführt werden.

Claims

Viskositätssensoranordnung zur Erfassung von Zustandsparametern einer Flüssigkeit, mit – einem Volumenschwinger, der einen Quarz (100, 300, 400) und zwei Quarzelektroden (110, 120, 310, 410, 420) mit elektrischen Kontaktstellen zur Anregung von Volumenschwingungen aufweist, und – elektrischen Zufuhrleitungen (130, 140, 170), die die elektrischen Kontaktstellen mit einer Ansteuer-/Auswerteelektronik (199) verbinden, wobei vorgesehen ist, dass der Volumenschwinger zur Erfassung der Zustandsparameter vollständig mit der Flüssigkeit (180) bedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Viskosität und die Permittivität der Flüssigkeit (180) mittels einer Ansteuer-/Auswerteeinheit in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers erfasst werden.
Viskositätssensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Quarzelektroden (110, 120, 310, 410, 420) unterschiedliche Elektrodenformen aufweisen, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass – die zwei Quarzelektroden nicht deckungsgleich auf den beiden Seiten des Quarzes (100, 300, 400) angebracht sind, und/oder – wenigstens eine der Quarzelektrode als Ring oder als Kreis ausgestaltet ist.
Viskositätssensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Seiten des Quarzes (100, 300, 400) zusätzlich zu der Quarzelektrode (410) eine weitere Elektrode (430) aufweist, wobei vorgesehen ist, dass an der weiteren Elektrode eine Kapazitätsmessung durchführbar ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Kapazitätsmessung in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers erfolgt.
Viskositätssensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Viskositätssensoranordnung einen Temperatursensor aufweist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass der Temperatursensor mit der Ansteuer-/Auswerteeinheit (199) verbunden ist.
Verfahren zur Erfassung der Zustandsparameter einer Flüssigkeit mittels einer Viskositätssensoranordnung, mit – einem Volumenschwinger, der einen Quarz (100, 300, 400) und zwei Quarzelektroden (110, 120, 310, 410, 420) mit elektrischen Kontaktstellen zur Anregung von Volumenschwingungen aufweist, und – elektrische Zufuhrleitungen (130, 140, 170), die die elektrischen Kontaktstellen mit einer Ansteuer-/Auswerteelektronik (199) verbinden, wobei vorgesehen ist, dass der Volumenschwinger zur Erfassung der Zustandsparameter vollständig mit der Flüssigkeit (180) bedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Viskosität und die Permittivität der Flüssigkeit (180) in Abhängigkeit von der Ansteuerung des Volumenschwingers erfasst werden.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Viskosität und die Permittivität der Flüssigkeit simultan erfasst werden.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassung der Viskosität der Flüssigkeit mittels eines den Volumenschwinger umfassenden Quarzresonators erfolgt, wobei die Viskosität in Abhängigkeit von – der viskosen Dämpfung und/oder – der Frequenzverschiebung der Resonanzfrequenz des in der Flüssigkeit (180) befindlichen Teils des Quarzresonators erfasst wird.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Permittivität der Flüssigkeit in Abhängigkeit von der Kapazitätsmessung an einer weiteren Elektrode (430) auf einer Seite des Quarzes (100, 300, 400) erfasst wird.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Permittivität in Abhängigkeit von der Streukapazität (C₀) des aus – dem Volumenschwinger, und – wenigstens einem Teil der Zufuhrleitung bestehenden Quarzresonators erfasst wird, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Permittivität simultan zur Viskosität erfasst wird.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Permittivität in Abhängigkeit einer modifizierten Streukapazität (C_Fl) erfasst wird, wobei vorgesehen ist, die Teil-Streukapazitäten, die den Zufuhrleitungen (170) außerhalb der Flüssigkeit (180) und/oder dem Feld zwischen den Elektroden (310) zugeordnet werden können, von der Gesamt-Streukapazität (C₀) abgezogen wird.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassung der Viskosität und/oder der Permittivität in Abhängigkeit von der Temperatur der Flüssigkeit erfolgt.