DE102004036703B4 - Piezoelectric transformer - Google Patents

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Abstract

Piezoelektrischer Transformator – mit einem Körper (1), der ein piezoelektrisches Material enthält, – mit Elektroden (31, 32, 41, 42), die im Körperinneren angeordnet sind, – mit einer inneren Kontaktschicht (61, 62, 63, 64), die eine Vielzahl der Elektroden (31, 32, 41, 42) auf einer Innenseite einer Isolierschicht (2) elektrisch zusammenführt, – wobei die innere Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) zwischen dem Körper (1) und der Isolierschicht (2) angeordnet ist, die ein glasartiges Material enthält, wobei die Isolierschicht (2) auf die innere Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) aufgebracht ist, – wobei eine Durchkontaktierung (7) der Isolierschicht (2) zwischen der inneren Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) und einer äußeren Kontaktschicht (51, 52, 53, 54) angeordnet ist.Piezoelectric transformer - comprising a body (1) containing a piezoelectric material, - electrodes (31, 32, 41, 42) arranged inside the body, - an inner contact layer (61, 62, 63, 64), a plurality of the electrodes (31, 32, 41, 42) on an inner side of an insulating layer (2) electrically merges, - wherein the inner contact layer (61, 62, 63, 64) between the body (1) and the insulating layer (2 ), which comprises a vitreous material, wherein the insulating layer (2) is applied to the inner contact layer (61, 62, 63, 64), - wherein a via (7) of the insulating layer (2) between the inner contact layer (61 , 62, 63, 64) and an outer contact layer (51, 52, 53, 54) is arranged.

Description

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Transformator mit einem Körper enthaltend ein piezoelektrisches Material.The invention relates to a piezoelectric transformer having a body containing a piezoelectric material.

Aus der Druckschrift US 2 830 274 A ist ein Piezotransformator der eingangs genannten Art bekannt, der einen röhrenförmigen piezoelektrischen Körper aufweist.From the publication US 2,830,274 A a piezotransformer of the aforementioned type is known, which has a tubular piezoelectric body.

Aus der Druckschrift JP 2000-183 417A ist ein piezoelektrischer Transformator bekannt, bei dem ein Isolator aus Glas zwischen zwei nebeneinander angeordneten Außenelektroden vorgesehen ist und die Außenelektroden teilweise bedeckt.From the publication JP 2000-183 417A For example, a piezoelectric transformer is known in which an insulator made of glass is provided between two outer electrodes arranged next to one another and partially covers the outer electrodes.

Aus der Druckschrift US 6 577 044 B1 ist ein piezoelektrischer Transformator bekannt, der von einer isolierenden Polymerschicht bedeckt ist.From the publication US Pat. No. 6,577,044 B1 For example, a piezoelectric transformer covered by an insulating polymer layer is known.

Aus der Druckschrift WO 01/91 276 A1 ist ein Miniatur-Netzteil mit einem Vielschichtaktor bekannt, der von einer Kunststoffisolation umgeben ist.From the publication WO 01/91 276 A1 is a miniature power supply with a multilayer actuator is known, which is surrounded by a plastic insulation.

Aus den Druckschriften DE 42 24 284 A1 und JP 61-234 580 A sind piezoelektrische Wandler bekannt, bei denen Innenelektroden abwechselnd durch galvanisch aufgebrachte Metallniederschläge mit Außenelekektroden verbunden sind und durch ein Isolationsmaterial von den Außenelektroden isoliert sind. Das Isolationsmaterial kann gemäß der DE 42 24 284 A1 ein Glaspulver enthalten.From the pamphlets DE 42 24 284 A1 and JP 61-234 580 A piezoelectric transducers are known in which internal electrodes are alternately connected by galvanically applied metal precipitates with external electrodes and insulated by an insulating material from the external electrodes. The insulating material may according to the DE 42 24 284 A1 contain a glass powder.

Aus der Druckschrift DE 102 07 530 A1 ist ein Piezoaktor bekannt, bei dem eine Außenelektrode in Form einer glasfrittehaltigen Siebdruckpaste augebracht ist.From the publication DE 102 07 530 A1 a piezoelectric actuator is known in which an outer electrode in the form of a glass frit-containing screen printing paste is brought up.

Aus der Druckschrift DE 103 22 947 A1 ist ein Multi-Mode-Volumenwellenfilter bekannt, bei dem Anregungselektroden abwechselnd durch ein Isoliermatieral von einer Eingangselektrode isoliert und mit der Eingangselektrode elektrisch verbunden sind.From the publication DE 103 22 947 A1 For example, a multi-mode bulk wave filter is known in which excitation electrodes are alternately isolated by an insulating material from an input electrode and electrically connected to the input electrode.

Es ist Aufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Transformator anzugeben, der gute Isolationseigenschaften aufweist.It is an object of the invention to provide a piezoelectric transformer having good insulation properties.

Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Transformator nach Patentanspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Transformators sind Gegenstand von Unteransprüchen.This object is achieved by a transformer according to claim 1. Advantageous embodiments of the transformer are the subject of dependent claims.

Gemäß wenigstens eines Ausführungsbeispieles wird ein Piezotransformator angegeben, der einen Körper aufweist, welcher ein piezoelektrisches Material enthält.In accordance with at least one embodiment, a piezoelectric transformer is provided, which has a body which contains a piezoelectric material.

Ein piezoelektrisches Material kann beispielsweise eine Blei-Zirkonat-Titanat-Keramik (PZT) sein.A piezoelectric material may be, for example, a lead zirconate titanate ceramic (PZT).

Hierbei wird unter dem inversen piezoelektrischen Effekt verstanden, dass die piezoelektrische Keramik, die gegebenenfalls zum Einsatz des Bauelementes noch polarisiert werden muss, bei Anlegen eines elektrischen Feldes parallel oder antiparallel oder auch in einem Winkel zur Polarisierungsrichtung eine Verformung erfährt.In this context, the inverse piezoelectric effect is understood to mean that the piezoelectric ceramic, which may still need to be polarized for use of the component, undergoes deformation when an electric field is applied in parallel or in anti-parallel or at an angle to the polarization direction.

Unter dem direkten piezoelektrischen Effekt wird verstanden, dass in dem Körper bei Auftreten von Verformungen eine Spannung abfällt.The direct piezoelectric effect is understood to mean that a voltage drops in the body when deformations occur.

Es können in dem Körper vorteilhafterweise Eingangselektroden vorgesehen sein. Mit Hilfe der Eingangselektroden kann bei Anlegen einer Spannung an den Eingangselektroden eine mechanische Verformung des Körpers hervorgerufen werden.Advantageously, input electrodes may be provided in the body. With the aid of the input electrodes, a mechanical deformation of the body can be caused when a voltage is applied to the input electrodes.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform sind Ausgangselektroden vorgesehen, die in Kontakt mit dem Körper stehen. Mit Hilfe der Ausgangselektroden kann eine bei Verformung des Körpers auftretende elektrische Spannung abgegriffen werden.In another advantageous embodiment, output electrodes are provided which are in contact with the body. By means of the output electrodes, an electrical voltage occurring upon deformation of the body can be tapped.

Die Eingangselektroden und die Ausgangselektroden können auch innerhalb eines Bauelementes miteinander kombiniert werden. Dann kann bei Anlegen einer Wechselspannung an den Eingangselektroden eine periodisch wiederkehrende Deformation des Körpers erzeugt werden. Diese periodisch wiederkehrende Deformation des Körpers kann wiederum in den Ausgangselektroden eine sich periodisch ändernde Spannung hervorrufen. Durch geeignete Anordnung der Elektroden kann erreicht werden, dass die Ausgangsspannung von der Eingangsspannung verschieden ist. In diesem Fall erhält man einen Transformator mit einem dem Verhältnis der Spannungen entsprechenden Übersetzungsverhältnis.The input electrodes and the output electrodes can also be combined with each other within a component. Then, when an alternating voltage is applied to the input electrodes, a periodically recurring deformation of the body can be produced. This periodically recurring deformation of the body may in turn cause a periodically varying voltage in the output electrodes. By suitable arrangement of the electrodes can be achieved that the output voltage is different from the input voltage. In this case, one obtains a transformer with a ratio of the voltages corresponding transmission ratio.

Vorzugsweise sind die Eingangselektroden und die Ausgangselektroden, fortan auch als Elektroden bezeichnet, mit Anschlussleitungen versehen, um die Elektroden mit einer Eingangsspannungsquelle oder mit einem Abgriff für die Ausgangsspannung kontaktieren zu können.Preferably, the input electrodes and the output electrodes, henceforth also referred to as electrodes, are provided with connection lines in order to be able to contact the electrodes with an input voltage source or with an output voltage tap.

Gemäß wenigstens einem Ausführungsbeispiel wird ein piezoelektrischer Transformator angegeben, der einen Körper aufweist, welcher ein piezoelektrisches Material enthält. Die Oberfläche des Körpers ist wenigstens teilweise mit einer Isolierschicht bedeckt, die ein glasartiges Material enthält.According to at least one embodiment, there is provided a piezoelectric transformer having a body containing a piezoelectric material. The surface of the body is at least partially covered with an insulating layer containing a vitreous material.

Das Bedecken der Oberfläche mit einer glasartigen Isolierschicht hat den Vorteil, dass Oberflächenströme auf der Oberfläche des Körpers reduziert werden können, die ansonsten zu einer Oberflächenentladung zwischen den an den Körper anzuschließenden elektrischen Polen führen würde. Dadurch können elektrische Funktionsstörungen vermieden werden. Covering the surface with a vitreous insulating layer has the advantage that surface currents on the surface of the body can be reduced, which would otherwise lead to a surface discharge between the electrical poles to be connected to the body. As a result, electrical malfunctions can be avoided.

In einer anderen Ausführungsform des Transformators sind Elektroden vorgesehen, die mit dem Körper in Kontakt stehen. Zur Kontaktierung der Elektroden ist eine äußere Kontaktschicht vorgesehen, die auf der Außenseite der Isolierschicht angeordnet ist.In another embodiment of the transformer, electrodes are provided which are in contact with the body. For contacting the electrodes, an outer contact layer is provided, which is arranged on the outside of the insulating layer.

Eine solche Kontaktschicht ermöglicht es, dass Elektroden, die im Kontakt mit dem Körper stehen, und die beispielsweise im Innern des Körpers angeordnet sind, von außen her zum Zwecke der Kontaktierung zugänglich sind.Such a contact layer makes it possible for electrodes, which are in contact with the body, and which are arranged, for example, inside the body, to be accessible from the outside for the purpose of contacting.

Gemäß einer anderen Ausführungsform sind Elektroden im Innern des Grundkörpers angeordnet. Ferner ist eine Durchkontaktierung der Isolierschicht zwischen der Kontaktschicht und einer Elektrode vorgesehen. Dadurch kann gewährleistet werden, dass die auf einer Seite der Isolierschicht angeordnete Elektrode von außen her, also von der Außenseite der Isolierschicht her, kontaktiert werden kann.According to another embodiment, electrodes are arranged in the interior of the main body. Further, a via of the insulating layer between the contact layer and an electrode is provided. It can thereby be ensured that the electrode arranged on one side of the insulating layer can be contacted from the outside, that is to say from the outside of the insulating layer.

Eine solche Durchkontaktierung kann beispielsweise hergestellt sein, indem Material der Kontaktschicht oder der Elektrode in die Isolierschicht eindiffundiert ist oder diese verdrängt. Vorzugsweise ist das Material soweit eindiffundiert, dass es zumindest teilweise die Isolierschicht durchquert und so einen Strompfad durch die Isolierschicht hindurch ermöglicht.Such a plated-through hole can be produced, for example, by diffusing material of the contact layer or the electrode into the insulating layer or displacing it. Preferably, the material is diffused so far that it at least partially traverses the insulating layer and thus allows a current path through the insulating layer.

Gemäß einer anderen Ausführungsform ist zwischen der Isolierschicht und dem Grundkörper eine innere Kontaktschicht vorgesehen, die mit Elektroden leitend verbunden ist. Somit ist es möglich, eine Vielzahl von Elektroden auf der Innenseite der Isolierschicht zusammenzuführen und auf der Außenseite der Isolierschicht nur noch den Kontakt von der Innenseite der Isolierschicht nach außen weiterzuführen.According to another embodiment, an inner contact layer is provided between the insulating layer and the base body, which is conductively connected to electrodes. Thus, it is possible to combine a plurality of electrodes on the inside of the insulating layer and to continue on the outside of the insulating layer only the contact from the inside of the insulating layer to the outside.

Dementsprechend ist es in einer anderen Ausführungsform vorgesehen, dass eine Durchkontaktierung der Isolierschicht zwischen der äußeren Kontaktschicht und der inneren Kontaktschicht vorgesehen ist.Accordingly, it is provided in another embodiment that a through-connection of the insulating layer between the outer contact layer and the inner contact layer is provided.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind wenigstens zwei innere Kontaktschichten und wenigstens zwei äußere Kontaktschichten auf einer Seitenfläche des Grundkörpers vorgesehen. Der Abstand der äußeren Kontaktschichten ist dabei größer als der Abstand der inneren Kontaktschichten.According to a further embodiment, at least two inner contact layers and at least two outer contact layers are provided on a side surface of the base body. The distance between the outer contact layers is greater than the distance between the inner contact layers.

Dadurch kann vorteilhafterweise erreicht werden, dass der Abstand der elektrischen Kontakte auf der Oberfläche des Transformators noch zusätzlich vergrößert wird, wodurch die elektrische Isolation verschiedener elektrischer Pole voneinander noch weiter verbessert wird.This can advantageously be achieved that the distance between the electrical contacts on the surface of the transformer is further increased, whereby the electrical insulation of different electrical poles of each other is further improved.

Gemäß einer anderen Ausführungsform weist der Körper mehrere Seitenflächen auf, wobei auf jeder Seitenfläche höchstens eine äußere Kontaktschicht angeordnet ist.According to another embodiment, the body has a plurality of side surfaces, wherein on each side surface at most one outer contact layer is arranged.

Durch eine solche Gestaltung des Transformators kann erreicht werden, dass die äußeren Kontaktschichten einen großen Abstand voneinander haben, wodurch die elektrische Isolation des Bauelements noch zusätzlich verbessert werden kann.Such a design of the transformer can be achieved that the outer contact layers have a large distance from each other, whereby the electrical insulation of the device can be further improved.

Gemäß einer anderen Ausführungsform ist der Körper zusätzlich noch mit einer Schicht aus einem isolierenden organischen Verbundwerkstoff bedeckt.According to another embodiment, the body is additionally covered with a layer of an insulating organic composite material.

Ein organisches Isoliermaterial kann beispielsweise ein Isolierungslack sein oder ein anderes Material dieser Art, das in der Elektronikindustrie üblicherweise als Schutz gegen Durchschlag verwendet wird. Der Vorteil liegt darin, dass diese zusätzliche isolierende Schicht einen besseren Schutz gegen elektrischen Durchschlag zwischen Aussenkontaktierungen bietet.An organic insulating material may be, for example, an insulating varnish or other material of this type commonly used in the electronics industry for protection against breakdown. The advantage is that this additional insulating layer provides better protection against electrical breakdown between external contacts.

Gemäß einer anderen Ausführungsform des Transformators weist der Körper auf der äußeren Oberfläche Vertiefungen auf, die mit dem Material der Isolierschicht gefüllt sind.According to another embodiment of the transformer, the body has recesses on the outer surface which are filled with the material of the insulating layer.

Durch das Auffüllen von offenen Poren, Vertiefungen oder Rissen auf der Oberfläche des Körpers kann eine Vergrößerung und Fortpflanzung dieser Poren, Vertiefungen und Risse und somit ein mechanischer Schaden des Transformators weitgehend verhindert werden.By filling open pores, depressions or cracks on the surface of the body, enlargement and propagation of these pores, depressions and cracks and thus mechanical damage to the transformer can be largely prevented.

Gemäß wenigstens einem Ausführungsbeispiel wird ein piezoelektrischer Transformator angegeben, der in zwei Teile unterteilt ist. Der erste Teil ist der Eingangsteil und der zweite Teil ist der Ausgangsteil. Die beiden Teile sind mechanisch fest miteinander verbunden. Jeder Teil weist innenliegende Elektrodenschichten auf, die es ermöglichen, elektrische Energie in mechanische Energie umzuwandeln und umgekehrt. Vorzugsweise liegen die Innenelektroden senkrecht zur Polarisierungsrichtung des jeweiligen Teils des Transformators. Erst durch die Polarisierung wird die Ausnutzung des piezoelektrischen Effekts ermöglicht. Vorteilhafterweise sind in jedem Teil des Transformators mehrere Elektrodenschichten vorgesehen, wobei jeweils benachbarte Elektrodenschichten einander überlappen und wobei jeweils benachbarte Elektrodenschichten mit unterschiedlichen Polen einer Eingangsspannungsquelle beziehungsweise mit unterschiedlichen Anschlüssen eines Ausgangsspannungsabgriffs verbunden sind. Durch die Verwendung mehrerer Elektroden kann der Platzbedarf des Piezotransformators vermindert werden.In accordance with at least one embodiment, a piezoelectric transformer is disclosed, which is divided into two parts. The first part is the input part and the second part is the output part. The two parts are mechanically firmly connected. Each part has internal electrode layers that allow electrical energy to be converted into mechanical energy and vice versa. Preferably, the internal electrodes are perpendicular to the polarization direction of the respective part of the transformer. Only by the polarization, the utilization of the piezoelectric effect is made possible. Advantageously, in each Part of the transformer provided a plurality of electrode layers, wherein each adjacent electrode layers overlap each other and wherein each adjacent electrode layers are connected to different poles of an input voltage source or with different terminals of a Ausgangspannungsabgriffs. By using several electrodes, the space requirement of the piezotransformer can be reduced.

Ein elektrisches Eingangssignal wird im Eingangsteil des piezoelektrischen Transformators in mechanische Schwingungen des Körpers des Transformators umgewandelt. Aufgrund der mechanischen Kopplung des Eingangsteils und des Ausgangsteils sind beide Teile von der mechanischen Schwingung betroffen. Die Umwandlung der elektrischen Energie in die mechanische Energie erfolgt aufgrund des inversen piezoelektrischen Effekts. Im Ausgangsteil werden die im Eingangsteil erzeugten mechanischen Schwingungen aufgrund des direkten piezoelektrischen Effekts zurück in ein elektrisches Signal verwandelt.An electrical input signal is converted in the input part of the piezoelectric transformer into mechanical vibrations of the body of the transformer. Due to the mechanical coupling of the input part and the output part both parts are affected by the mechanical vibration. The conversion of electrical energy into mechanical energy occurs due to the inverse piezoelectric effect. In the output part, the mechanical vibrations generated in the input part are transformed back into an electrical signal due to the direct piezoelectric effect.

Der piezoelektrische Transformator wird vorzugsweise hergestellt durch Gemeinsamsinterung eines Stapels von übereinanderliegenden Grünfolien, die eine piezoelektrische Keramik enthalten. Zwischen den Grünfolien sind Elektrodenschichten angeordnet, die in Form einer metallhaltigen Paste aufgetragen sind. Dadurch entstehen piezoelektrische Transformatoren mit einer laminierten Struktur, die durch Gemeinsamsinterung hergestellt sind und die somit einen monolithischen Aufbau haben.The piezoelectric transformer is preferably made by sintering a stack of overlying green sheets containing a piezoelectric ceramic. Between the green sheets electrode layers are arranged, which are applied in the form of a metal-containing paste. This results in piezoelectric transformers with a laminated structure, which are produced by common sintering and thus have a monolithic structure.

Aus Kostengründen werden vorzugsweise Kupferelektroden verwendet. Diese erfordern allerdings eine spezielle Prozessführung, da Kupfer aufgrund seines niedrigen Schmelzpunktes und seiner starken Neigung zur Oxidation nicht ohne weiteres mit den einen piezoelektrischen Effekt aufweisenden Keramikmaterialien verarbeitet werden kann.For cost reasons, copper electrodes are preferably used. However, these require special process control because copper, because of its low melting point and its strong tendency to oxidize, can not readily be processed with ceramic materials having a piezoelectric effect.

Durch die hier beschriebene Maßnahme des Bedeckens des Körpers mit einer Isolierschicht kann insbesondere eine gute elektrische Isolation zwischen dem Eingangsteil und dem Ausgangsteil des Transformators erzielt werden. Eine gute Isolation, welche charakterisiert ist durch eine hohe elektrische Durchbruchspannung, ist insbesondere von großer Bedeutung für piezoelektrische Transformatoren, die für Anwendungen bestimmt sind, wo eine Netzspannung an die Eingangsseite des Transformators angelegt ist.By the measure described here of covering the body with an insulating layer, in particular a good electrical insulation between the input part and the output part of the transformer can be achieved. Good insulation, which is characterized by a high electrical breakdown voltage, is particularly important for piezoelectric transformers intended for applications where a mains voltage is applied to the input side of the transformer.

Bei dem elektrischen Durchbruch spielt insbesondere die Oberflächenentladung eine große Rolle. Um die Durchbruchspannung zwischen dem Eingang und dem Ausgang des Transformators zu erhöhen, ist es insbesondere wichtig, die Oberflächenentladung zu minimieren. Zu diesem Zweck ist gemäß der hier beschriebenen Erfindung eine Isolierschicht auf der Oberfläche des Transformators vorgesehen. Eine Isolierschicht, die ein glasartiges Material enthält, hat zwei wesentliche Vorteile:
Der erste Vorteil besteht darin, dass eine gute elektrische Isolation zwischen der Primärseite und der Sekundärseite des Transformators erreicht werden kann.
In particular, the surface discharge plays a major role in the electrical breakdown. In particular, to minimize the breakdown voltage between the input and the output of the transformer, it is important to minimize the surface discharge. For this purpose, according to the invention described herein, an insulating layer is provided on the surface of the transformer. An insulating layer containing a vitreous material has two major advantages:
The first advantage is that a good electrical insulation between the primary side and the secondary side of the transformer can be achieved.

Der zweite Vorteil besteht darin, dass glasartige Materialien harte Werkstoffe sind, die unterhalb der Transformationstemperatur sehr geringfügig verformbar sind und die somit auch die Schwingungen des Körpers, die zum Umwandeln von elektrischer in mechanischer Energie und zurück benötigt werden, nur minimal dämpfen.The second advantage is that vitreous materials are hard materials which are very slightly deformable below the transformation temperature, and thus only minimally dampen the vibrations of the body needed to convert electrical to mechanical energy and back.

Ein weiterer Aspekt der hier beschriebenen Transformatoren besteht darin, dass die Zuverlässigkeit des Transformators während des Betriebs verbessert werden kann. Ein Fehlermechanismus besteht darin, dass Risse bzw. Brüche, die sich durch kleine mechanische Defekte vorzugsweise auf der Oberfläche des Körpers bilden, wachsen können, sich nach innen ausbreiten können und dann zu einer mechanischen Beschädigung des Transformators führen. Ausgangspunkt solcher wachsender, sich fortpflanzender Risse können ebenfalls Poren, Risse oder andere Öffnungen in der Keramik sein, die während des Herstellungsprozesses des Körpers gebildet werden können.Another aspect of the transformers described herein is that the reliability of the transformer during operation can be improved. One failure mechanism is that cracks, which tend to form on the surface of the body due to small mechanical defects, can grow, propagate inwardly, and then result in mechanical damage to the transformer. The starting point of such growing, propagating cracks may also be pores, cracks or other openings in the ceramic which may be formed during the process of manufacturing the body.

Das Wachstum solcher Risse geschieht insbesondere während des Betriebs des Transformators, da das elektrische Feld und mithin die mechanische Spannung in der unmittelbaren Umgebung solcher Defekte deutlich vergrößert ist. Somit ist das Risiko eines mechanischen Ausfalls des Bauelements dort besonders hoch, wo sich Defekte auf der Oberfläche des Transformators befinden. Dies liegt daran, dass das elektrische Feld auf der Oberfläche eine besonders große Inhomogenität und daher auch eine größere Feldstärke aufweist als im Inneren des Materials. Das Auffüllen solcher Risse, Poren oder sonstiger Vertiefungen auf der Oberfläche des Körpers kann also Inhomogenitäten in Bezug auf elektrische Felder und somit auch Inhomogenitäten in Bezug auf mechanische Belastungen vermindern und somit auch die Gefahr des Fortpflanzens von Rissen ins Innere des Körpers reduzieren.The growth of such cracks occurs in particular during the operation of the transformer, since the electric field and thus the mechanical stress in the immediate vicinity of such defects is significantly increased. Thus, the risk of mechanical failure of the device is particularly high where there are defects on the surface of the transformer. This is because the electric field on the surface has a particularly large inhomogeneity and therefore a greater field strength than inside the material. The filling of such cracks, pores or other depressions on the surface of the body can therefore reduce inhomogeneities in terms of electric fields and thus also inhomogeneities with respect to mechanical loads and thus also reduce the risk of propagating cracks into the interior of the body.

Die Isolierschicht kann vorzugsweise den gesamten Körper bedecken.The insulating layer may preferably cover the entire body.

Zur Herstellung der äußeren Kontaktschichten kann zuerst der Körper hergestellt werden, beispielsweise durch Gemeinsamsintern von keramischen Grünfolien mit durch Drucken von metallhaltiger Paste gebildeten Elektrodenschichten. Anschließend wird der Körper mit einem glasartigen Material umgeben und wiederum anschließend wird durch Siebdrucken eine leitende Paste auf der Oberfläche der glasartigen Schicht aufgebracht. Glasartiges Material und Siebdruckpaste werden gemeinsam eingebrannt.For producing the outer contact layers, the body may first be produced, for example, by sintering ceramic green sheets together with electrode layers formed by printing metal-containing paste. Subsequently, the body is surrounded with a vitreous material, and then, in turn, a conductive paste is applied to the surface of the vitreous layer by screen printing. Glassy material and screen printing paste are baked together.

Die Position der äußeren Kontaktschichten wird bei monolithischen oder einschichtigen Transformatoren bestimmt durch die Geometrie der Elektroden. Im Falle von Vielschichttransformatoren, d. h. im Falle von laminierten Transformatoren wird die Position der äußeren Kontaktschicht bestimmt durch diejenigen Positionen, wo die Innenelektroden der Primärseite und der Sekundärseite des Transformators auf die Oberfläche des Körpers gelangen. während der thermischen Fixierung der Elektrodenpaste, die die äußeren Kontaktschichten bildet, und der Isolierschicht, kann eine Diffusion des in der Elektrodenpaste enthaltenden Metalls durch die Isolierschicht, also durch die glashaltige Schicht hindurch erreicht werden, was schließlich zu einer Durchkontaktierung durch die Isolierschicht führt.The position of the outer contact layers in monolithic or single-layer transformers is determined by the geometry of the electrodes. In the case of multilayer transformers, i. H. in the case of laminated transformers, the position of the outer contact layer is determined by those positions where the inner electrodes of the primary side and the secondary side of the transformer reach the surface of the body. During the thermal fixation of the electrode paste, which forms the outer contact layers, and the insulating layer, diffusion of the metal contained in the electrode paste through the insulating layer, that is through the glass-containing layer can be achieved, which finally leads to a via through the insulating layer.

Im Folgenden werden Transformatoren anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert:Transformers will be explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments and the associated figures:

1 zeigt beispielhaft einen piezoelektrischen Transformator in einer perspektivischen Ansicht. 1 shows by way of example a piezoelectric transformer in a perspective view.

2 zeigt einen weiteren beispielhaften piezoelektrischen Transformator in einer perspektivischen Ansicht. 2 shows another exemplary piezoelectric transformer in a perspective view.

3 zeigt einen Ausschnitt des Transformators aus 2 in einer detaillierten Schnittansicht. 3 shows a section of the transformer 2 in a detailed sectional view.

4 zeigt einen Transformator mit quadratischem Grundriss in einer perspektivischen Ansicht. 4 shows a transformer with a square plan in a perspective view.

Elemente, die einander gleichen oder die die gleiche Funktion haben, sind dabei mit den gleichen Bezugszeichen versehen.Elements which are identical to one another or which have the same function are provided with the same reference numerals.

1 zeigt einen Transformator mit einem Körper 1, der hergestellt ist aus einer piezoelektrischen Keramik, beispielsweise einer PZT-Keramik. Er weist einen Eingangsteil 11 und einen Ausgangsteil 12 auf. Jeder dieser Teile enthält eine Vielzahl von Elektroden. Zwischen dem Eingangsteil 11 und dem Ausgangsteil 12 ist eine Isolationsschicht 13 angebracht. Der Eingangsteil 11 und der Ausgangsteil 12 sind mechanisch miteinander gekoppelt durch die Isolierschicht 13. Der Körper 1 ist umgeben von einer Isolierschicht 2, die ein glasartiges Material enthält oder die auch vollständig aus einem glasartigen Material bestehen kann. 1 shows a transformer with a body 1 , which is made of a piezoelectric ceramic, such as a PZT ceramic. He has an entrance part 11 and an output part 12 on. Each of these parts contains a plurality of electrodes. Between the entrance part 11 and the output part 12 is an insulation layer 13 appropriate. The entrance part 11 and the output part 12 are mechanically coupled together by the insulating layer 13 , The body 1 is surrounded by an insulating layer 2 which contains a vitreous material or which may also consist entirely of a vitreous material.

1 soll dabei folgenden Aufbau zeigen:
Auf dem Keramikkörper 1 ist eine Isolierschicht 2 aus Glas aufgebracht. Auf der Isolierschicht 2 sind Aussenelektroden 51, 52, 53, 54 aufgebracht.
1 should show the following structure:
On the ceramic body 1 is an insulating layer 2 made of glass. On the insulating layer 2 are external electrodes 51 . 52 . 53 . 54 applied.

Das glasartige Material kann beispielsweise folgende chemische Zusammensetzung haben: 20,5 gew% B2O3 + 6,8 gew% PbO + 0,3 gew% Sb2O3 + 10,4 gew% SiO2 + 62,0 gew% ZnO. Materialien mit anderen Zusammensetzungen sind ebenfalls möglich, soweit sie isolierend sind.The glassy material may, for example, have the following chemical composition: 20.5% by weight B 2 O 3 + 6.8% by weight PbO + 0.3% by weight Sb 2 O 3 + 10.4% by weight SiO 2 + 62.0% by weight ZnO. Materials with other compositions are also possible, as far as they are insulating.

Durch die Isolierschicht 2 kann eine gute elektrische Isolierung zwischen dem Eingangsteil 11 und dem Ausgangsteil 12 hergestellt werden.Through the insulating layer 2 can be a good electrical insulation between the input part 11 and the output part 12 getting produced.

Der Eingangsteil enthält eine Vielzahl von Eingangselektroden 31, 32. Diese umfassen Eingangselektroden 31 der ersten Sorte, die alle mit einem gemeinsamen äußeren Kontakt 52 kontaktiert sind. Die Eingangselektroden 32 der zweiten Sorte sind mit einem anderen gemeinsamen äußeren Kontakt 51 kontaktiert. Eingangselektroden 31 der ersten Sorte wechseln sich dabei in der Schichtenfolge mit Eingangselektroden 32 der zweiten Sorte ab. Entsprechendes gilt für die Ausgangselektroden 41, 42 im Ausgangsteil des Transformators.The input part contains a plurality of input electrodes 31 . 32 , These include input electrodes 31 the first variety, all with a common external contact 52 are contacted. The input electrodes 32 the second variety are with another common external contact 51 contacted. input electrodes 31 The first variety alternate in the layer sequence with input electrodes 32 of the second variety. The same applies to the output electrodes 41 . 42 in the output part of the transformer.

Am Ausgangsteil 12 ist für die Ausgangselektroden 41 als gemeinsame Kontaktierung die äußere Kontaktfläche 54 vorgesehen. Für die Ausgangselektroden 42 der zweiten Sorte ist als gemeinsamer Kontakt die äußere Kontaktierung 53 vorgesehen.At the exit part 12 is for the output electrodes 41 as common contacting the outer contact surface 54 intended. For the output electrodes 42 the second variety is the outer contact as common contact 53 intended.

Angedeutet in der Figur ist noch eine zusätzliche Isolierschicht 9, die den Körper umgeben kann und die aus einem isolierenden organischen Verbundwerkstoff besteht. An den Stellen der Kontaktierungen 51, 52, 53, 54 weist die Schicht 9 Durchbrüche auf.Indicated in the figure is still an additional insulating layer 9 which can surround the body and which consists of an insulating organic composite material. At the points of contact 51 . 52 . 53 . 54 assigns the layer 9 Breakthroughs on.

2 zeigt ein Bauelement, einen Transformator, der ähnlich aufgebaut ist wie der Transformator aus 1. Im Unterschied zu 1 sind innere Kontaktschichten 61, 62, 63, 64 vorgesehen, mit deren Hilfe die jeweils zu einer Sorte gehörenden Elektroden kontaktiert werden. Die inneren Kontaktschichten 61, 62, 63, 64 sind bedeckt mit der Isolierschicht 2. Zur Kontaktierung der inneren Kontaktschichten sind äußere Kontaktschichten 51, 52, 53, 54 vorgesehen, die auf der Außenseite der Isolierschicht 2 angebracht sind. Im übrigen entspricht der Aufbau des Transformators aus 2 dem des Transformators aus 1. 2 shows a component, a transformer, which is constructed similar to the transformer 1 , In contrast to 1 are inner contact layers 61 . 62 . 63 . 64 provided with the aid of which each belonging to a variety electrodes are contacted. The inner contact layers 61 . 62 . 63 . 64 are covered with the insulating layer 2 , For contacting the inner contact layers are outer contact layers 51 . 52 . 53 . 54 provided on the outside of the insulating layer 2 are attached. Otherwise, the structure of the transformer corresponds to 2 that of the transformer 1 ,

Die inneren Kontaktschichten sorgen also dafür, dass die Elektroden einer Sorte zunächst alle einen gemeinsamen Kontakt erhalten und somit auf gleichem Potential liegen. Die äußere Kontaktschicht wird jeweils dafür verwendet, diesen gemeinsamen Kontakt aus dem Inneren des Bauelements nach außen zu führen, um von dort elektrische Spannungsquellen bzw. Spannungsabgriffe anzuschließen.The inner contact layers thus ensure that the electrodes of a variety initially all receive a common contact and thus are at the same potential. The outer contact layer is used in each case to lead this common contact from the interior of the device to the outside, to connect from there electrical power sources or voltage taps.

Die Polarisierung der jeweils zwischen zwei Elektroden liegenden piezoelektrischen Schicht ist angegeben durch die Pfeile. Aus den 1 und 2 geht hervor, dass benachbarte piezoelektrische Schichten jeweils in entgegengesetzte Richtung polarisiert sind. Insgesamt erfolgt die Polarisierung senkrecht zu den Eingangselektroden 31, 32 bzw. zu den Ausgangselektroden 41, 42 und in Längsrichtung des Körpers 1.The polarization of each lying between two electrodes piezoelectric layer is indicated by the arrows. From the 1 and 2 shows that adjacent piezoelectric layers are each polarized in the opposite direction. Overall, the polarization is perpendicular to the input electrodes 31 . 32 or to the output electrodes 41 . 42 and in the longitudinal direction of the body 1 ,

2 ist noch zu entnehmen, dass der Abstand di der inneren Kontaktschichten kleiner ist als der Abstand da der äußeren Kontaktschichten. Dadurch kann der Isolationswiderstand zwischen den äußeren Kontaktschichten noch mal vorteilhaft vergrößert werden. 2 It can also be seen that the distance di of the inner contact layers is smaller than the distance da the outer contact layers. As a result, the insulation resistance between the outer contact layers can be advantageously increased again.

Angedeutet in der Figur ist noch eine zusätzliche Isolierschicht 9, die den Körper umgeben kann und die aus einem isolierenden organischen Verbundwerkstoff besteht. An den Stellen der Kontaktierungen 51, 52, 53, 54 weist die Schicht 9 Durchbrüche auf.Indicated in the figure is still an additional insulating layer 9 which can surround the body and which consists of an insulating organic composite material. At the points of contact 51 . 52 . 53 . 54 assigns the layer 9 Breakthroughs on.

3 zeigt im einzelnen die Anbindung der Eingangselektroden 31 an die äußere Kontaktschicht 51. Die an die Außenseite des Körpers 1 herausgeführten Eingangselektroden 31 werden zunächst kontaktiert von der inneren Kontaktschicht 61. Diese füllt auch eine Vertiefung 10 auf. Auf die innere Kontaktfläche 61 aufgebracht ist die Isolierschicht 2. Auf der Außenseite der Isolierschicht 2 ist schließlich aufgebracht die äußere Kontaktfläche 51. Mittels der Durchkontaktierung 7 kann eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der äußeren Kontaktschicht 51 und der inneren Kontaktschicht 61 hergestellt werden. Die Kontaktierung 7 wird erzielt durch Eindiffundieren von Metall aus der äußeren Kontaktschicht 51 durch die Isolierschicht 2 hindurch oder in die Isolierschicht 2 hinein. 3 shows in detail the connection of the input electrodes 31 to the outer contact layer 51 , The to the outside of the body 1 led out input electrodes 31 are first contacted by the inner contact layer 61 , This also fills a depression 10 on. On the inner contact surface 61 Applied is the insulating layer 2 , On the outside of the insulating layer 2 Finally, the outer contact surface is applied 51 , By means of the via 7 may be an electrically conductive connection between the outer contact layer 51 and the inner contact layer 61 getting produced. The contact 7 is achieved by diffusing metal from the outer contact layer 51 through the insulating layer 2 through or into the insulating layer 2 into it.

Der Transformator aus 3 ist ähnlich dem in 2.The transformer off 3 is similar to the one in 2 ,

Ferner ist in 3 zu erkennen, dass auch die Isolierschicht 2 in der Lage ist, eine Vertiefung 10 auf der Oberfläche des Körpers des Transformators aufzufüllen und somit für eine glatte Oberfläche des Körpers 1 zu sorgen, womit die Gefahr von Rissen reduziert werden kann.Furthermore, in 3 to realize that even the insulating layer 2 is capable of a recess 10 to fill up on the surface of the body of the transformer and thus for a smooth surface of the body 1 to provide, whereby the danger of cracks can be reduced.

4 zeigt einen piezoelektrischen Transformator mit einem quadratischen Grundriss. Der Eingangsteil 11 befindet sich im oberen Bereich des Transformators. Der Ausgangsteil 12 befindet sich im unteren Teil des Transformators. Der Eingangsteil 11 und der Ausgangsteil 12 sind mechanisch miteinander gekoppelt durch die Isolierschicht 13. 4 shows a piezoelectric transformer with a square plan. The entrance part 11 is located in the upper part of the transformer. The starting part 12 is located in the lower part of the transformer. The entrance part 11 and the output part 12 are mechanically coupled together by the insulating layer 13 ,

Auf jeder Seitenfläche 81, 82, 83, 84 des Körpers 1 ist eine äußere Kontaktschicht 51, 52, 53, 54 angeordnet. Die Kontaktschichten 51, 52 kontaktieren dabei jeweils genau eine Sorte von Ausgangselektroden. Die äußeren Kontaktschichten 53, 54 im Eingangsteil des Transformators kontaktieren dabei jeweils genau eine Sorte der Eingangselektroden. Durch die Positionierung der äußeren Kontaktschichten 51, 52, 53, 54 kann ein maximaler Abstand und somit eine optimale Isolierung der Kontakte voneinander erzielt werden.On every side surface 81 . 82 . 83 . 84 of the body 1 is an outer contact layer 51 . 52 . 53 . 54 arranged. The contact layers 51 . 52 each contact exactly one type of output electrode. The outer contact layers 53 . 54 In each case, exactly one type of input electrode makes contact in the input part of the transformer. By positioning the outer contact layers 51 . 52 . 53 . 54 a maximum distance and thus optimum isolation of the contacts from each other can be achieved.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Körperbody
22
Isolierschichtinsulating
31, 3231, 32
Eingangselektrodeinput electrode
41, 4241, 42
Ausgangselektrodeoutput electrode
51, 52, 53, 5451, 52, 53, 54
äußere Kontaktschichtouter contact layer
61, 62, 63, 6461, 62, 63, 64
innere Kontaktschichtinner contact layer
77
Durchkontaktierungvia
81, 82, 83, 8481, 82, 83, 84
Seitenflächeside surface
99
zusätzliche Schichtadditional layer
1010
Vertiefungdeepening
1111
Eingangsteilintroductory
1212
Ausgangsteiloutput portion
1313
Isolierschichtinsulating
didi
Abstand der inneren KontaktschichtenDistance of the inner contact layers
dathere
Abstand der äußeren KontaktschichtenDistance of the outer contact layers

Claims (6)

Piezoelektrischer Transformator – mit einem Körper (1), der ein piezoelektrisches Material enthält, – mit Elektroden (31, 32, 41, 42), die im Körperinneren angeordnet sind, – mit einer inneren Kontaktschicht (61, 62, 63, 64), die eine Vielzahl der Elektroden (31, 32, 41, 42) auf einer Innenseite einer Isolierschicht (2) elektrisch zusammenführt, – wobei die innere Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) zwischen dem Körper (1) und der Isolierschicht (2) angeordnet ist, die ein glasartiges Material enthält, wobei die Isolierschicht (2) auf die innere Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) aufgebracht ist, – wobei eine Durchkontaktierung (7) der Isolierschicht (2) zwischen der inneren Kontaktschicht (61, 62, 63, 64) und einer äußeren Kontaktschicht (51, 52, 53, 54) angeordnet ist.Piezoelectric transformer - with one body ( 1 ) containing a piezoelectric material, - with electrodes ( 31 . 32 . 41 . 42 ), which are arranged in the interior of the body, - with an inner contact layer ( 61 . 62 . 63 . 64 ) containing a plurality of electrodes ( 31 . 32 . 41 . 42 ) on an inner side of an insulating layer ( 2 ), whereby - the inner contact layer ( 61 . 62 . 63 . 64 ) between the body ( 1 ) and the insulating layer ( 2 ), which contains a vitreous material, wherein the insulating layer ( 2 ) on the inner contact layer ( 61 . 62 . 63 . 64 ) is applied, - wherein a via ( 7 ) of the insulating layer ( 2 ) between the inner contact layer ( 61 . 62 . 63 . 64 ) and an outer contact layer ( 51 . 52 . 53 . 54 ) is arranged. Transformator nach Anspruch 1, bei dem das Material der äußeren Kontaktschicht (51, 52, 53, 54) in die Isolierschicht (2) eindiffundiert ist.Transformer according to Claim 1, in which the material of the outer contact layer ( 51 . 52 . 53 . 54 ) in the insulating layer ( 2 ) has diffused. Transformator nach einem der Ansprüche 1 oder 2, – bei dem eine erste innere Kontaktschicht (61) und eine zweite innere Kontaktschicht (63) auf einer Seitenfläche des Körpers (1) angeordnet ist, – bei dem auf dieser Seitenfläche des Körpers (1) eine erste äußere Kontaktschicht (51) und eine zweite äußere Kontaktschicht (53) angeordnet ist, und – bei dem der Abstand (da) zwischen der ersten und der zweiten äußeren Kontaktschicht (51, 53) größer ist als der Abstand (di) zwischen der ersten und der zweiten inneren Kontaktschicht (61, 63). Transformer according to one of claims 1 or 2, - in which a first inner contact layer ( 61 ) and a second inner contact layer ( 63 ) on a side surface of the body ( 1 ) is arranged, - in which on this side surface of the body ( 1 ) a first outer contact layer ( 51 ) and a second outer contact layer ( 53 ), and - in which the distance (da) between the first and the second outer contact layer ( 51 . 53 ) is greater than the distance (di) between the first and second inner contact layers (FIG. 61 . 63 ). Transformator nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem der Körper (1) mehrere Seitenflächen (81, 82, 83, 84) aufweist, wobei auf jeder Seitenfläche (81, 82, 83, 84) höchstens eine äußere Kontaktschicht (51, 52, 53, 54) angeordnet ist.Transformer according to one of claims 1 or 2, in which the body ( 1 ) several side surfaces ( 81 . 82 . 83 . 84 ), wherein on each side surface ( 81 . 82 . 83 . 84 ) at most one outer contact layer ( 51 . 52 . 53 . 54 ) is arranged. Transformator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem der Körper (1) zusätzlich noch mit einer Schicht (9) aus einem isolierenden, organischen Verbundwerkstoff bedeckt ist.Transformer according to one of Claims 1 to 4, in which the body ( 1 ) additionally with a layer ( 9 ) is covered by an insulating, organic composite material. Transformator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der Körper (1) auf der Außenseite Vertiefungen (10) aufweist, die mit dem Material der Isolierschicht (2) gefüllt sind.Transformer according to one of Claims 1 to 5, in which the body ( 1 ) on the outside recesses ( 10 ), which with the material of the insulating layer ( 2 ) are filled.
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