DE102004032258A1 - Inductive proximity sensor adjusts effect of metallic device on reference and sensor coils to provide same sensitivity for ferro and non-ferromagnetic materials - Google Patents

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Abstract

Inductive proximity sensor has a reference coil (24) and a sensor coil (14) designed so that a defined difference of the damping effect of a metallic neighboring device (32) on the reference and sensor coils is adjusted so that the influence of the neighboring device (32) on a sensor output signal is eliminated. INDEPENDENT CLAIM is also included for compensation method.

Description

Die Erfindung betrifft einen induktiven Näherungssensor, umfassend eine Sensorspuleneinrichtung zur Detektion eines metallischen Targets und eine Referenzspuleneinrichtung mit mindestens einer Spule.The The invention relates to an inductive proximity sensor comprising a Sensor coil device for detecting a metallic target and a reference coil device with at least one coil.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Abgleichen eines induktiven Näherungssensors, welcher eine Referenzspuleneinrichtung und eine Sensorspuleneinrichtung umfaßt, wobei diese gegenüber einer metallischen Umgebungseinrichtung nicht abgeschirmt sind.The The invention further relates to a method for balancing an inductive Proximity sensor, which a reference coil device and a sensor coil device comprises being facing this a metallic environmental device are not shielded.

Aus der DE 196 11 810 C2 ist ein berührungslos arbeitender Näherungsschalter mit einem durch von außen herangeführte Gegenstände beeinflußten Schwingkreis und mit einer Auswerteeinrichtung zur Gewinnung eines Schaltsignals aus einem die Änderung des Schwingungszustandes des Schwingkreises beschreibenden Ausgangssignal bekannt, wobei der Schwingkreis eine Schwingkreisbrücke mit wenigstens zwei Kondensatoren und wenigstens zwei durch die von außen herangeführten Gegenstände unterschiedlich beeinflußbaren Spulen ist. In der Auswerteeinrichtung wird aus der Brückendiagonalspannung und der Eingangsspannung der Schwingkreisbrücke die Brückenübertragungsfunktion gebildet, deren Realteil unabhängig vom Imaginärteil zur Gewinnung des Schaltsignals dient.From the DE 196 11 810 C2 is a contactlessly operating proximity switch with a influenced by externally guided objects resonant circuit and with an evaluation device for obtaining a switching signal from a change in the oscillation state of the resonant circuit descriptive output, the resonant circuit a resonant circuit bridge with at least two capacitors and at least two by the from outside zoom guided objects is different influenced coils. In the evaluation device, the bridge transfer function is formed from the bridge diagonal voltage and the input voltage of the oscillating circuit bridge, the real part of which serves independently of the imaginary part for obtaining the switching signal.

Durch die unterschiedlich beeinflußbaren Spulen ist eine Sensorspuleneinrichtung und eine Referenzspuleneinrichtung gebildet.By the differently influenced coils is a sensor coil device and a reference coil device educated.

Bei induktiven Näherungssensoren ist die Beeinflussung des Schwingkreises abhängig von elektromagnetischen Eigenschaften des metallischen Targets, welches zu detektieren ist. Beispielsweise bedämpfen ferromagnetische Metalle den Schwingkreis stärker, da zusätzliche Energieverluste durch die Umpolung des remanenten Magnetfelds entstehen. Bei paramagnetischen Metallen wird der Schwingkreis weniger stark bedämpft, jedoch wird die Schwingkreisinduktivität wesentlich stärker verändert (insbesondere reduziert) als bei ferromagnetischen Metallen.at inductive proximity sensors is the influence of the resonant circuit dependent on electromagnetic Properties of the metallic target to be detected. For example, dampen ferromagnetic metals, the resonant circuit stronger because additional Energy losses caused by the reversal of the remanent magnetic field. In paramagnetic metals, the resonant circuit is less strong attenuated However, the resonant circuit inductance is much more changed (in particular reduced) than in ferromagnetic metals.

Durch das Vorsehen einer Sensorspuleneinrichtung und einer Referenzspuleneinrichtung läßt sich ein Näherungssensor realisieren, welcher mindestens bezüglich eines Schaltabstands oder eines Schaltabstandsbereiches die gleiche Empfindlichkeit gegenüber einem Gegenstand aus einem ferromagnetischen Material und nicht-ferromagnetischen Material aufweist ("Faktor 1"-Näherungssensor).By the provision of a sensor coil device and a reference coil device let yourself a proximity sensor realize which at least with respect to a switching distance or a switching distance range the same sensitivity to a Object made of a ferromagnetic material and non-ferromagnetic Material has ("factor 1 "-Näherungssensor).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen induktiven Näherungssensor der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß er universell einsetzbar ist.Of the Invention is based on the object, an inductive proximity sensor to improve the type mentioned so that it can be used universally is.

Diese Aufgabe wird bei dem eingangs genannten induktiven Näherungssensor erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Referenzspuleneinrichtung und die Sensorspuleneinrichtung so angeordnet und so ausgebildet sind, daß eine definierte Differenz des Bedämpfungseinflusses einer metallischen Umgebungseinrichtung auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung eingestellt ist, mindestens wenn die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung in einer bestimmten Position zu der Umgebungseinrichtung sind, und daß der Einfluß der Umgebungseinrichtung auf ein Sensorausgangssignal eliminiert ist.These Task is in the aforementioned inductive proximity sensor according to the invention thereby solved, that the Reference coil means and the sensor coil means arranged and are designed so that a defined difference of the damping effect a metallic environmental device on the sensor coil means and the reference coil device is set, at least when the Sensor coil device and the reference coil device in one certain position to the environmental device, and that the influence of the environmental device to a sensor output is eliminated.

Eine metallische Umgebungseinrichtung beeinflußt die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung, wenn diese nicht abgeschirmt sind. Die Umgebungseinrichtung kann beispielsweise Teil einer Anwendung sein oder selber Teil des Näherungssensors sein. Wenn die Bedämpfungseinflußdifferenz (bezogen auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung) definiert eingestellt wird und der entsprechende Differenzwert bekannt ist, dann läßt sich der Bedämpfungseinfluß der metallischen Umgebungseinrichtung hardwaremäßig und/oder softwaremäßig eliminieren, so daß ein Sensorausgangssignal von der metallischen Umgebungseinrichtung nicht beeinflußt wird.A metallic environment affects the sensor coil means and the reference coil means, if not shielded. For example, the environment device may be part of an application or itself part of the proximity sensor be. When the damping influence difference (relative to the sensor coil device and the reference coil device) is defined and the corresponding difference value known is, then lets itself the damping effect of the metallic Environment device hardware and / or eliminate by software, so that one Sensor output signal from the metallic environmental device not affected becomes.

Das Sensorausgangssignal ist dabei ein Signal, welches von einer Auswerteeinrichtung abgegeben wird. Die Auswerteeinrichtung kann intern in einem Gehäuse des induktiven Näherungssensors angeordnet sein oder extern. Das Sensorausgangssignal ist beispielsweise ein Schaltsignal oder ein analoges (Abstands-)Signal.The Sensor output signal is a signal which from an evaluation is delivered. The evaluation device can be located internally in a housing of the inductive proximity sensor be arranged or external. The sensor output signal is for example a switching signal or an analog (distance) signal.

Beispielsweise kann durch entsprechende Anordnung und Ausbildung der Referenzspuleneinrichtung die Bedämpfungseinflußdifferenz auf im wesentlichen Null gestellt werden, so daß der Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung kompensiert ist. Für einen solchen Näherungssensor ist dann die metallische Umgebungseinrichtung "unsichtbar", so daß diese das Detektionsergebnis für den eigentlichen Meßgegenstand, nämlich das metallische Target, im wesentlichen nicht beeinflußt.For example can by appropriate arrangement and design of the reference coil means the damping influence difference be set to substantially zero, so that the damping effect of the environmental device to the sensor coil means and the reference coil means is compensated. For such a proximity sensor is then the metallic environment "invisible", so that this is the detection result for the actual measurement object, namely that metallic target, essentially unaffected.

Bei definiert eingestelltem Bedämpfungseinflußdifferenzwert ist es auch grundsätzlich möglich, daß in einer Auswerteeinrichtung des Näherungssensors beispielsweise eine softwaremäßige Kompensation erfolgt, um so den Einfluß der metallischen Umgebungseinrichtung zu eliminieren.At defined damping Einflußeinflußdifferenzwert it is also possible in principle, that in an evaluation of the approx sensors, for example, a software compensation takes place, so as to eliminate the influence of the metallic environmental device.

Erfindungsgemäß wird ein Näherungssensor bereitgestellt, welcher bezogen auf ein Sensorsignal ein zu detektierendes metallisches Target "sieht", während eine metallische Umgebungseinrichtung "unsichtbar" ist.According to the invention is a Proximity sensor provided, which is based on a sensor signal to be detected metallic Target "sees" while a metallic environmental device is "invisible".

Insbesondere sind die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung so angeordnet und so ausgebildet, daß die Umgebungseinrichtung eine definierte Signaländerungsdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung und der Referenzspuleneinrichtung bewirkt. Das metallische Target beeinflußt die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung und es werden entsprechende Signale erzeugt. Die Umgebungseinrichtung beeinflußt die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung ebenfalls. Wenn die Signaländerungsdifferenz aufgrund der Beeinflussung durch die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung bekannt ist, dann läßt sich dadurch die Beeinflussung aufgrund des metallischen Targets (als eigentlichen Meßgegenstand) ermitteln. Insbesondere ist es vorgesehen, daß die Signaländerungsdifferenz auf im wesentlichen Null eingestellt wird, so daß Änderungen im Sensorsignal des Näherungssensors allein aufgrund von Abstandsänderungen des metallischen Targets zu einer aktiven Sensorfläche bestimmt sind und die Abstandsänderungen ermittelbar sind.Especially are the sensor coil device and the reference coil device arranged and designed so that the environmental device a defined signal change difference between the sensor coil device and the reference coil device causes. The metallic target affects the sensor coil means and the reference coil means and there are corresponding signals generated. The environmental device affects the sensor coil device and the reference coil device as well. When the signal change difference due to the influence of the sensor coil means and the reference coil device is known, then can be thereby the influence due to the metallic target (as actual measurement object) determine. In particular, it is provided that the signal change difference is set to substantially zero, so that changes in the sensor signal of Proximity sensor solely due to distance changes of the metallic target to an active sensor surface are and the distance changes can be determined.

Insbesondere sind die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung so angeordnet und ausgebildet, daß die Umgebungseinrichtung eine definierte Induktivitätsänderungsdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung und der Referenzspuleneinrichtung bewirkt. Der wesentliche Bedämpfungseinfluß der metallischen Umgebungseinrichtung ist eine Induktivitätsänderung an der Sensorspuleneinrichtung und eine Induktivitätsänderung an der Referenzspuleneinrichtung. Der Bedämpfungseinfluß führt auch zu einer (direkten) Güteänderung, wobei die Induktivitätsänderung einen weiteren (in der Regel größeren) Beitrag in der Güteänderung darstellt. Wenn die Differenz dieser Induktivitätsänderungen definiert eingestellt wird und insbesondere auf im wesentlichen Null eingestellt wird, dann läßt sich der Einfluß der metallischen Umgebungseinrichtung auf das Sensorsignal eliminieren. (Bei einem Differenzwert, welcher ungleich Null ist, der jedoch bekannt ist, kann grundsätzlich beispielsweise softwaremäßig und/oder schaltungstechnisch der Einfluß aus dem Sensorsignal eliminiert werden.) Especially are the sensor coil device and the reference coil device arranged and designed so that the environmental device a defined inductance change difference between the sensor coil device and the reference coil device causes. The essential damping effect of the metallic Ambient device is an inductance change at the sensor coil device and an inductance change the reference coil device. The damping effect also leads to a (direct) quality change, where the inductance change another (usually larger) contribution in the quality change represents. When set the difference of these inductance changes defined and in particular is set to substantially zero, then you can the influence of eliminate metallic environmental device to the sensor signal. (For a difference value, which is not equal to zero, but the known is, basically for example, software and / or circuitry the influence be eliminated from the sensor signal.)

Wenn die Einstellung derart ist, daß die Bedämpfungsänderungen nicht gleich oder näherungsweise gleich sind (d.h. die Bedämpfungsänderungsdifferenz zwischen Sensorspuleneinrichtung und Referenzspuleneinrichtung nicht verschwindet), dann ist günstigerweise eine Auswerteeinrichtung vorgesehen, welche ein Sensorausgangssignal erzeugt, in dem der unterschiedliche Bedämpfungseinfluß auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung durch Berücksichtigung der bekannten Bedämpfungseinflußdifferenz herausgerechnet ist. Durch die Vorgabe der definierten Bedämpfungseinflußdifferenz kann die Auswerteeinrichtung aus den Signalen, die sie erhält, den unterschiedlichen Bedämpfungseinfluß herausrechnen und ein Sensorausgangssignal erzeugen, welches um den unterschiedlichen Bedämpfungseinfluß "bereinigt" ist, das heißt es läßt sich eine softwaremäßige Kompensation durchführen. Wenn die Bedämpfungseinflußdifferenz Null ist, ist eine solche Kompensation nicht notwendig.If the setting is such that the Bedämpfungsänderungen not equal or approximate are the same (i.e., the damping change difference between sensor coil device and reference coil device not disappears), then it is convenient an evaluation device is provided, which is a sensor output signal generated in which the different damping effect on the Sensor coil device and the reference coil device through consideration the known attenuation influence difference is calculated out. By specifying the defined attenuation influence difference can the evaluation of the signals it receives, the calculate out different damping effects and generate a sensor output signal which varies by the different Damping influence is "cleaned up", that is, it can be a software compensation carry out. When the damping influence difference Zero, such compensation is not necessary.

Die Bedämpfungseinflußdifferenz läßt sich über die Anordnung der Referenzspuleneinrichtung in einem Gehäuse und/oder die Fläche der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung und/oder die Windungszahl der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung einstellen. Auch weitere Einstellungsmöglichkeiten können vorgesehen sein.The Bedämpfungseinflußdifferenz can be over the Arrangement of the reference coil device in a housing and / or the area the at least one coil of the reference coil device and / or the number of turns of the at least one coil of the reference coil device to adjust. Also other settings can be provided be.

Über Abstand und/oder Winkellage der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung zu einer Gehäuseseite läßt sich der Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung auf die Referenzspuleneinrichtung einstellen und dadurch wiederum die Bedämpfungseinflußdifferenz definiert einstellen.About distance and / or angular position of the at least one coil of the reference coil device a housing side let yourself the damping effect of the environmental device adjust to the reference coil device and thereby turn the Bedämpfungseinflußdifferenz set defined.

Es kann beispielsweise auch vorgesehen sein, daß um die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung mindestens eine Leiterbahnschleife angeordnet ist. Diese kann eine Kurzschlußwindung bilden, über die eine Induktivitätseinstellung für die Referenzspuleneinrichtung möglich ist.It For example, it can also be provided that around the at least one coil the reference coil device at least one conductor loop is arranged. This can form a short circuit turn over the an inductance setting for the reference coil device possible is.

Es ist dann vorteilhaft, wenn ein Abgleichswiderstand in Reihe mit der mindestens einen Leiterbahnschleife geschaltet ist. Dadurch ergibt sich eine weitere Einstellungsmöglichkeit. Es kann dabei auch vorgesehen sein, daß der Abgleichswiderstand extern beeinflußbar ist, um so extern, beispielsweise über einen Teach-In-Vorgang, die Induktivität der Referenzspuleneinrichtung einzustellen und damit wiederum die Induktivitätsänderung aufgrund der Umgebungseinrichtung einstellen zu können. Dadurch wiederum läßt sich die Bedämpfungseinflußdifferenz einstellen.It is advantageous if a balancing resistor in series with the at least one conductor loop is connected. Thereby results in a further setting possibility. It can also be provided be that the Balancing resistance can be influenced externally, so externally, for example via a Teach-in process, the inductance adjust the reference coil device and thus turn the inductance due to the environment setting. Thereby again it is possible set the damping influence difference.

Es kann auch vorgesehen sein, daß die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung teilweise abgedeckt und/oder abgeschirmt ist und dabei insbesondere zu einer Umgebungseinrichtung hin abgeschirmt ist. Beispielsweise ist die entsprechende Abdeckungseinrichtung oder Abschirmungseinrichtung zu einer Montageseite des Näherungssensors hin angeordnet. Dadurch läßt sich wiederum die Induktivität der Referenzspuleneinrichtung definiert einstellen, um so wiederum die Induktivitätsänderung einstellen zu können und die Bedämpfungseinflußdifferenz.It can also be provided that the at least one coil of the reference coil device is partially covered and / or shielded and is shielded in particular to an environmental device out. For example, the corre sponding Covering device or shielding arranged towards a mounting side of the proximity sensor. As a result, in turn, the inductance of the reference coil means can be set defined, so as to be able to adjust the inductance change again and the Einämpfungseinflußdifferenz.

Beispielsweise ist an einem Träger für die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung eine Metallschicht angeordnet, um so für eine Abdeckung bzw. Abschirmung zu sorgen.For example is on a carrier for the least a coil of the reference coil device a metal layer arranged, so for to provide a cover or shielding.

Es kann auch vorgesehen sein, daß eine Abdeckung oder Abschirmung verschieblich ist. Insbesondere ist diese Abdeckung oder Abschirmung von außerhalb eines Gehäuses des induktiven Näherungssensors feststellbar positionierbar. Dadurch läßt sich, je nach Positionierung der Abdeckung bzw. Abschirmung, der Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung einstellen und somit die Bedämpfungseinflußdifferenz einstellen. Die Einstellung kann beispielsweise während eines Teach-in-Vorgangs erfolgen.It can also be provided that a Cover or shield is movable. In particular, this is Cover or shield from outside of a housing of the inductive proximity sensor lockable positionable. This can be, depending on the positioning the cover or shielding, the damping effect of the environmental device adjust and thus the damping effect difference to adjust. The setting may be, for example, during a Teach-in process done.

Ganz besonders vorteilhaft ist es, wenn die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung in einer Differenzschaltung angeordnet sind und/oder eine Differenzauswertung von Signalen der Referenzspuleneinrichtung und der Sensorspuleneinrichtung erfolgt. Dadurch läßt sich die Referenzspuleneinrichtung eben als Referenz nutzen, um so beispielsweise einen Faktor 1-Näherungsschalter zu realisieren.All It is particularly advantageous if the sensor coil device and the reference coil means are arranged in a differential circuit and / or a differential evaluation of signals of the reference coil device and the sensor coil device takes place. This can be done just use the reference coil device as a reference, for example a factor 1 proximity switch too realize.

Die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung können dazu in einer Brückenschaltung angeordnet sein wie beispielsweise einer L-C-Brückenschaltung oder in einer L-R-Brückenschaltung, wie sie in der nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung Nr. 10 2004 020 978.2 vom 22. April 2004 beschrieben ist.The Sensor coil means and the reference coil means can do so in a bridge circuit be arranged such as an L-C bridge circuit or in a L-R-bridge circuit, as stated in the unpublished German Patent Application No. 10 2004 020 978.2 of April 22, 2004 is.

Es ist möglich, daß die metallische Umgebungseinrichtung Teil des Näherungssensors ist und dabei insbesondere einen nichtabschirmenden Teil eines Gehäuses des Näherungssensors bildet.It is possible, that the metallic environmental device is part of the proximity sensor and in the process in particular a non-shielding part of a housing of the Proximity sensor forms.

Es kann auch vorgesehen sein, daß die metallische Umgebungseinrichtung eine Montagebasis für den Näherungssensor bildet. Die metallische Umgebungseinrichtung ist dann Teil einer Anwendung, wie beispielsweise ein Maschinenteil, an dem der Näherungssensor zu montieren ist.It can also be provided that the metallic environment means a mounting base for the proximity sensor forms. The metallic environment is then part of a Application, such as a machine part, where the proximity sensor to assemble.

Um eine unterschiedliche Beeinflussung der Sensorspuleneinrichtung und der Referenzspuleneinrichtung durch das metallische Target (als eigentlicher Meßgegenstand) zu erzielen, sind diese vorzugsweise zueinander beabstandet.Around a different influence on the sensor coil device and the reference coil means through the metallic target (as actual measurement object) to achieve, they are preferably spaced from each other.

Es kann vorgesehen sein, daß die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung parallel beabstandet sind. Es läßt sich dann ein flacher Näherungssensor realisieren.It can be provided that the Sensor coil device and the reference coil device in parallel are spaced. It can be then a flat proximity sensor realize.

Es ist auch möglich, daß die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung oder eine oder mehrere Spulen der Referenzspuleneinrichtung in einem Winkel zueinander angeordnet sind. Dies kann für bestimmte Anwendungen vorteilhaft sein. Beispielsweise läßt sich dadurch ein Näherungssensor realisieren, welcher mehr als eine Montageseite aufweist.It is possible, too, that the Sensor coil device and the reference coil device or a or a plurality of coils of the reference coil means at an angle are arranged to each other. This can be advantageous for certain applications be. For example, can be thereby a proximity sensor realize, which has more than one mounting side.

Es ist dann günstig, wenn die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung in einem Winkel zu einer Montageseite des Näherungssensors angeordnet ist. Je nach Montageseite kann dann die Referenzspuleneinrichtung durch die Umgebungseinrichtung beeinflußt werden, wobei der definierte Differenzwert eingestellt ist.It is then cheap, if the at least one coil of the reference coil device in is arranged at an angle to a mounting side of the proximity sensor. Depending on the mounting side can then be the reference coil device the environmental device are influenced, the defined Difference value is set.

Universelle Einsatzmöglichkeiten ergeben sich, wenn mindestens zwei Montageseiten vorgesehen sind.universal applications arise if at least two mounting sides are provided.

Günstigerweise ist die Referenzspuleneinrichtung bezogen auf eine aktive Sensorfläche hinter der Sensorspuleneinrichtung angeordnet. Die Sensorspuleneinrichtung dient zur Detektion des metallischen Targets, um beispielsweise eine Schaltfunktion bereitzustellen. Damit hier eine große Empfindlichkeit vorliegt, sollte sie in der Nähe eines aktiven Sensorendes angeordnet sein.conveniently, is the reference coil device with respect to an active sensor surface behind the Sensor coil device arranged. The sensor coil device serves to detect the metallic target, for example to provide a switching function. So here is a great sensitivity present, she should be near be arranged an active sensor end.

Aus dem gleichen Grund ist es günstig, wenn die Sensorspuleneinrichtung bezogen auf eine Montageseite des Näherungssensors (in Richtung von der Montageseite zu der Sensorspuleneinrichtung) vor der Referenzspuleneinrichtung angeordnet ist.Out for the same reason it is favorable when the sensor coil device with respect to a mounting side of the Proximity sensor (in the direction from the mounting side to the sensor coil device) the reference coil device is arranged.

Es kann auch vorgesehen sein, daß die Sensorspuleneinrichtung seitlich zu der Referenzspuleneinrichtung angeordnet ist.It can also be provided that the Sensor coil device laterally to the reference coil means is arranged.

Bei einer Ausführungsform ist es vorgesehen, daß die Referenzspuleneinrichtung mindestens teilweise zwischen einem Schaltungsträger und der Sensorspuleneinrichtung angeordnet ist. Dadurch ergibt sich eine leichte Herstellbarkeit. Beispielsweise ist es dadurch auch möglich, die relative Position der Referenzspuleneinrichtung in einem Gehäuse zu ändern, um so auch extern den Bedämpfungseinfluß ändern zu können.at an embodiment it is envisaged that the Reference coil device at least partially between a circuit carrier and the sensor coil device is arranged. This results an easy manufacturability. For example, it is the same possible, change the relative position of the reference coil device in a housing to so also externally change the damping effect can.

Es ist auch möglich, daß die Referenzspuleneinrichtung mindestens teilweise auf einem Schaltungsträger angeordnet ist. Dadurch erleichtert sich die Montage, da sich die Referenzspuleneinrichtung integral auf dem Schaltungsträger (welcher die weiteren Komponenten eines Schwingkreises und eine Auswerteeinrichtung trägt) herstellen läßt.It is also possible for the reference coil device to be arranged at least partially on a circuit carrier. As a result, the assembly, since the reference coil means integrally on the circuit carrier (which the wide ren components of a resonant circuit and an evaluation device carries) can produce.

Weitere Einstellungsmöglichkeiten ergeben sich, wenn die Referenzspuleneinrichtung eine Mehrzahl von Spulen umfaßt. Dadurch ergeben sich Einstellungsmöglichkeiten für die Gesamt-Spulenfläche, die Windungszahlen, die geometrische Anordnung usw. Ferner ist eine Anpassung an bestimmte Anwendungen möglich.Further settings arise when the reference coil means a plurality of Coils included. This results in setting options for the total coil area, the Windungszahlen, the geometric arrangement, etc. Further, a Adaptation to specific applications possible.

Es können dabei mehrere Spulen in einer Ebene angeordnet sein oder unterschiedliche Spulen auch in unterschiedlichen Ebenen angeordnet sein.It can while several coils are arranged in a plane or different Coils may also be arranged in different planes.

Insbesondere sind dann Spulen der Referenzspuleneinrichtung in Reihe geschaltet, um so eine Gesamtinduktivität für die Referenzspuleneinrichtung bereitzustellen. Auch eine zumindest partielle Parallelschaltung ist grundsätzlich möglich.Especially then coils of the reference coil device are connected in series, as a total inductance for the To provide reference coil device. Also at least partial Parallel connection is basically possible.

Es ist auch möglich, daß Spulen der Referenzspuleneinrichtung zu unterschied lichen Seiten des Näherungssensors ausgerichtet sind. Dies kann für bestimmte Anwendungen vorteilhaft sein, beispielsweise für Anwendungen, bei denen der Näherungssensor bündig in eine Ausnehmung oder dergleichen eingebaut wird.It is possible, too, that coils the reference coil means to different union sides of the proximity sensor are aligned. This can be for certain applications, for example for applications, where the proximity sensor flush is installed in a recess or the like.

Für bestimmte Anwendungen ist es vorteilhaft, wenn die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung mit ihrer Windungsachse im wesentlichen parallel zu einer Sensorachse angeordnet ist; insbesondere dann, wenn die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung parallel zueinander ausgerichtet sind und eine Montageseite einer aktiven Sensorfläche parallel gegenüberliegt.For certain Applications, it is advantageous if the at least one coil of the Reference coil device with its winding axis substantially is arranged parallel to a sensor axis; especially then, when the sensor coil means and the reference coil means are aligned parallel to each other and a mounting side of a active sensor surface parallel opposite.

Ein Näherungssensor mit kleinen Abmessungen läßt sich realisieren, wenn die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung eine Flachspule ist. Gleiches gilt grundsätzlich auch, wenn die Spule oder Spulen der Sensorspuleneinrichtung Flachspulen sind.One Proximity sensor with small dimensions can be realize when the at least one coil of the reference coil device a flat coil is. The same applies in principle even if the coil or coils of the sensor coil means are flat coils.

Durch die erfindungsgemäße Lösung läßt sich ein Näherungssensor mit einem quaderförmigen Gehäuse realisieren.By the solution according to the invention can be a proximity sensor realize with a cuboid housing.

Insbesondere ist das Gehäuse nichtabschirmend ausgebildet. Es läßt sich beispielsweise aus einem Kunststoffmaterial herstellen. Dadurch wiederum ist die Herstellung vereinfacht und die Herstellungskosten sind verringert.Especially is the case non-shielding trained. It can be, for example, out produce a plastic material. This, in turn, is the production simplified and the production costs are reduced.

Es kann vorgesehen sein, daß die Bedämpfungsbeeinflussung der Referenzspuleneinrichtung extern einstellbar ist. Ein Nutzer kann dann den Näherungssensor an einer Anwendung so anpassen, daß die metallische Umgebungseinrichtung für den Näherungssensor bezogen auf ein Sensorsignal "unsichtbar" ist. Dies kann beispielsweise im Rahmen eines Teach-In-Vorgangs erfolgen.It can be provided that the Bedämpfungsbeeinflussung the reference coil device is externally adjustable. A user then can the proximity sensor adapt to an application so that the metallic environmental device for the proximity sensor is "invisible" relative to a sensor signal. This can be, for example as part of a teach-in process.

Es ist beispielsweise möglich, die Position der Referenzspuleneinrichtung in einem Gehäuse einzustellen, um eine externe Einstellung der Bedämpfungsbeeinflussung zu ermöglichen.It is possible, for example, to set the position of the reference coil device in a housing, to allow an external adjustment of the damping effect.

Es ist auch denkbar, daß die magnetischen Eigenschaften der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung über die Einstellung einer Position eines Spulenkerns einstellbar sind. Beispielsweise ist der Spulenkern als Ferritkern stiftförmig ausgebildet und seine Stellung ist feststellbar variierbar. Je nach Stellung wiederum ergeben sich unterschiedliche Induktivitätswerte für die Spule oder Spulen. Es ist dann wiederum der Bedämpfungseinfluß einstellbar und dadurch die Bedämpfungseinflußdifferenz.It is also conceivable that the magnetic properties of the at least one coil of the reference coil device via the Setting a position of a bobbin are adjustable. For example the coil core is formed as a ferrite core pin-shaped and his Position can be determined variably. Depending on the position again result in different inductance values for the coil or coils. It then in turn the damping effect is adjustable and thereby the damping influence difference.

Insbesondere ist der Näherungssensor als Faktor 1-Schalter ausgebildet, d. h. als Schalter, bei dem das Detektionsergebnis mindestens bezogen auf einen bestimmten Schaltabstand und einen bestimmten Schaltabstandsbereich unabhängig vom Material des metallischen Targets ist.Especially is the proximity sensor designed as a factor 1 switch, d. H. as a switch, where the Detection result at least related to a specific operating distance and a certain switching distance range regardless of the material of the metallic Targets is.

Der erfindungsgemäße Näherungssensor umfaßt mindestens einen Schwingkreis, welcher durch Annäherung des Targets beeinflußbar ist; der mindestens eine Schwingkreis ist mittels der Sensorspuleneinrichtung und der Referenzspuleneinrichtung gebildet. Beispielsweise umfaßt ein Schwingkreis die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung oder es sind zwei getrennte, aber aneinander gekoppelte Schwingkreise vorgesehen, wobei der eine die Sensorspuleneinrichtung umfaßt und der andere die Referenzspuleneinrichtung.Of the The proximity sensor according to the invention comprises at least a resonant circuit which can be influenced by approaching the target; the at least one resonant circuit is by means of the sensor coil device and the reference coil means. For example, includes a resonant circuit the sensor coil device and the reference coil device or they are two separate but coupled oscillating circuits provided, one of which comprises the sensor coil means and the others, the reference coil device.

Günstigerweise weist die Referenzspuleneinrichtung eine kleinere Spulenfläche auf als die Sensorspuleneinrichtung. Dadurch ergibt sich ein gutes Nutzsignal.conveniently, the reference coil device has a smaller coil area as the sensor coil means. This results in a good signal.

Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, um ein Sensorausgangssignal zu erhalten, welches im wesentlichen unbeeinflußt von der metallischen Umgebungseinrichtung ist.Of the Invention is also based on the object, a method of the initially to provide a sensor output signal, which is substantially unaffected by the metallic environment is.

Dies wird bei dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Referenzspuleneinrichtung so modifiziert wird oder eine Signalauswertung durch eine Auswerteeinrichtung so eingestellt wird, daß ein unterschiedlicher Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung bezogen auf ein Sensorausgangssignal im wesentlichen eliminiert ist.This becomes according to the invention by the method mentioned in the introduction solved, that the Reference coil device is modified or a signal evaluation is adjusted by an evaluation that a different Damping influence of the environmental device to the sensor coil means and the reference coil means substantially eliminated based on a sensor output is.

Es ist dann der unterschiedliche Bedämpfungseinfluß im wesentlichen kompensiert, so daß für ein Differenzsignal der Sensorspuleneinrichtung und der Referenzspuleneinrichtung die metallische Umgebungseinrichtung im wesentlichen "unsichtbar" ist. Die Kompensation kann direkt am Bedämpfungseinfluß erfolgen, so daß Signale der Sensorspuleneinrichtung und Referenzspuleneinrichtung im wesentlichen gleich beeinflußt sind, oder die Kompensation kann rechnerisch durch die Auswerteeinrichtung erfolgen.It is then the different damping effect substantially compensated, so that for a difference signal the sensor coil means and the reference coil means the metallic environmental device is essentially "invisible". The compensation can take place directly at the influence of damping, so that signals the sensor coil means and reference coil means substantially influenced the same are, or the compensation can be calculated by the evaluation respectively.

Der Abgleich wird insbesondere dann durchgeführt, wenn die Sensorspuleneinrichtung in einer bestimmten Position zur metallischen Umgebungseinrichtung ist. Beispielsweise ist der abzugleichende induktive Näherungssensor an der metallischen Umgebungseinrichtung montiert.Of the Adjustment is carried out in particular when the sensor coil device in a certain position to the metallic environment is. For example, the inductive proximity sensor to be adjusted is mounted on the metallic environmental device.

Die Modifikation des Bedämpfungseinflusses kann durch Positionierung der Referenzspuleneinrichtung an einem Gehäuse und/oder Einstellung der Induktivität der Referenzspuleneinrichtung und/oder Einstellung der Abdeckung oder Abschirmung einer oder mehrerer Spulen der Referenzspuleneinrichtung erfolgen. Es läßt sich beispielsweise in einem Teach-In-Vorgang die Referenzspuleneinrichtung so beeinflussen, daß ein bestimmter Bedämpfungseinfluß der metallischen Umgebungseinrichtung eingestellt wird, und zwar derart, daß dieser Bedämpfungseinfluß sich mit dem Bedämpfungseinfluß auf die Sensorspuleneinrichtung kompensiert. Die Referenzspuleneinrichtung ist dazu vorzugsweise von außen modifizierbar, indem beispielsweise deren Position innerhalb eines Gehäuses feststellbar einstellbar ist und/oder die Induktivität einstellbar ist und/oder die Abdeckung bzw. Abschirmung einstellbar ist. Die entsprechenden Einstellungsparameter werden dann modifiziert, bis man eine Kompensation der Bedämpfungseinflüsse erhält.The Modification of the damping effect can by positioning the reference coil means on a casing and / or adjustment of the inductance of the reference coil device and / or Adjusting the cover or shielding one or more coils the reference coil device take place. It can be, for example, in a Teach-in process affect the reference coil device so the existence certain damping effect of the metallic Environment is set, in such a way that this Damping influence with the damping effect on the Sensor coil device compensated. The reference coil device is preferably from the outside modifiable by, for example, their position within a housing is detectably adjustable and / or the inductance adjustable is and / or the cover or shield is adjustable. The corresponding Setting parameters are then modified until a compensation of the Damping influences receives.

Die nachfolgende Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen dient im Zusammenhang mit der Zeichnung der näheren Erläuterung der Erfindung. Es zeigen:The The following description of preferred embodiments is used in conjunction with the drawing of the closer explanation the invention. Show it:

1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines Näherungssensors, welcher auf einer Metallplatte montiert ist; 1 a schematic representation of a first embodiment of a proximity sensor, which is mounted on a metal plate;

2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Näherungssensors; 2 A second embodiment of a proximity sensor according to the invention;

3 ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Näherungssensors; 3 a third embodiment of a proximity sensor according to the invention;

4 ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Näherungssensors; 4 A fourth embodiment of a proximity sensor according to the invention;

5 ein Ausführungsbeispiel einer Leiterschleife (Kurzschlußspule), welche um eine Spule einer Referenzspuleneinrichtung angeordnet ist und 5 an embodiment of a conductor loop (short-circuit coil), which is arranged around a coil of a reference coil device and

6 eine seitliche Schnittansicht eines Spulenträgers. 6 a side sectional view of a bobbin.

Ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Näherungssensors, welches in 1 schematisch gezeigt und dort als Ganzes mit 10 bezeichnet ist, umfaßt ein Gehäuse 12. In diesem Gehäuse 12 ist eine Sensorspuleneinrichtung 14 angeordnet. Diese Sensorspuleneinrichtung 14 weist mindestens eine Spule auf, welche beispielsweise als Flachspule ausgebildet ist, die auf einem Träger 16 angeordnet ist. Die Sensorspuleneinrichtung 14 dient zur Detektion eines metallischen Targets 18. Beispielsweise ist der Näherungssensor 10 als Näherungsschalter ausgebildet, welcher ein Schaltsignal liefert, wenn das Target 18 einen bestimmten Schaltabstand (Abstand zwischen einer aktiven Sensorfläche 20 und dem Target 18) erreicht hat.A first embodiment of a proximity sensor according to the invention, which in 1 shown schematically and there as a whole with 10 is designated, comprises a housing 12 , In this case 12 is a sensor coil device 14 arranged. This sensor coil device 14 has at least one coil, which is formed for example as a flat coil, which on a support 16 is arranged. The sensor coil device 14 serves to detect a metallic target 18 , For example, the proximity sensor 10 designed as a proximity switch which provides a switching signal when the target 18 a certain switching distance (distance between an active sensor surface 20 and the target 18 ) has reached.

Der Näherungssensor 10 ist ein induktiver Näherungssensor. Seine Funktion beruht auf der Wechselwirkung des metallischen Targets 18 mit dem elektromagnetischen Wechselfeld des Näherungssensors 10. In dem Target 18, welches ein metallisches Bedämpfungsmaterial ist, werden durch das elektromagnetische Wechselfeld Wirbelströme induziert, die dem Wechselfeld Energie entziehen. Dadurch wird unter anderem die Höhe der Schwingungsamplitude in einem Oszillator des Näherungssensors 10 reduziert. Diese Änderung wiederum kann ausgewertet werden.The proximity sensor 10 is an inductive proximity sensor. Its function is based on the interaction of the metallic target 18 with the electromagnetic alternating field of the proximity sensor 10 , In the target 18 , which is a metallic damping material, eddy currents are induced by the electromagnetic alternating field, which withdraw energy from the alternating field. As a result, among other things, the height of the vibration amplitude in an oscillator of the proximity sensor 10 reduced. This change in turn can be evaluated.

Das Gehäuse 12 ist nichtabschirmend ausgebildet. Beispielsweise ist das Gehäuse 12 aus einem Kunststoffmaterial hergestellt. Es ist auch grundsätzlich möglich, daß das Gehäuse 12 metallische Teile aufweist, welche nicht geschlossen sind, so daß die Sensorspuleneinrichtung 14 nicht abgeschirmt ist und insbesondere nicht nach hinten bezüglich einer Gehäuseseite 22 abgeschirmt ist, welche der aktiven Sensorfläche 20 gegenüberliegt.The housing 12 is formed nichtabschirmend. For example, the housing 12 made of a plastic material. It is also possible in principle that the housing 12 has metallic parts which are not closed, so that the sensor coil means 14 is not shielded and in particular not backwards with respect to a housing side 22 is shielded which of the active sensor surface 20 opposite.

Das Gehäuse 12 ist beispielsweise quaderförmig mit einem rechteckförmigen Querschnitt ausgebildet.The housing 12 is formed, for example, cuboid with a rectangular cross-section.

In dem Gehäuse 12 ist beabstandet zu der Sensorspuleneinrichtung 14 eine Referenzspuleneinrichtung 24 angeordnet. Die Referenzspuleneinrichtung 24 ist parallel zu der Sensorspuleneinrichtung 14 ausgerichtet und weist beispielsweise eine (Referenz-)Spule auf. Die Spulenachsen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 sind parallel ausgerichtet und liegen im wesentlichen parallel zu einer Sensorachse 26.In the case 12 is spaced from the sensor coil means 14 a reference coil device 24 arranged. The reference coil device 24 is parallel to the sensor coil device 14 aligned and has, for example, a (reference) coil. The coil axes of the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 are aligned in parallel and are substantially parallel to a sensor axis 26 ,

Die Sensorachse 26 steht dabei im wesentlichen senkrecht zu der aktiven Sensorfläche 20 und die Abstandsrichtung zwischen dem Target 18 und dem Näherungssensor 10 ist parallel zur Sensorachse 26.The sensor axis 26 stands substantially perpendicular to the active sensor surface 20 and the distance direction between the target 18 and the proximity sensor 10 is parallel to the sensor axis 26 ,

Die Referenzspuleneinrichtung 24 liegt bezogen auf die aktive Sensorfläche 20 hinter der Sensorspuleneinrichtung 14.The reference coil device 24 lies relative to the active sensor surface 20 behind the sensor coil device 14 ,

Die Fläche der Spule der Referenzspuleneinrichtung 24 ist kleiner als die Fläche der Spule der Sensorspuleneinrichtung 14.The area of the coil of the reference coil device 24 is smaller than the area of the coil of the sensor coil device 14 ,

Die Referenzspuleneinrichtung 24 weist einen anderen Abstand zu dem Target 18 als die Sensorspuleneinrichtung 14 auf. Mittels der Referenzspuleneinrichtung 24 läßt sich ein Näherungssensor bzw. Näherungsschalter realisieren, welcher die gleiche Empfindlichkeit gegenüber einem Gegenstand aus einem ferromagnetischen und nicht-ferromagnetischen Material aufweist ("Faktor 1"-Näherungssensor). Die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 sind dazu in einer Differenzschaltung geschaltet und/oder es wird eine Differenzauswertung von entsprechenden Spulensignalen vorgenommen.The reference coil device 24 has a different distance to the target 18 as the sensor coil means 14 on. By means of the reference coil device 24 can be a proximity sensor or proximity switch realize, which has the same sensitivity to an object made of a ferromagnetic and non-ferromagnetic material ("factor 1" proximity sensor). The sensor coil device 14 and the reference coil device 24 are connected in a differential circuit and / or a differential evaluation of corresponding coil signals is made.

Weitere Schaltungskomponenten des Näherungssensors 10 und insbesondere eine Auswertungseinrichtung sind auf einem Schaltungsträger 28 angeordnet, welcher in dem Gehäuse 12 sitzt. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel sitzt der Schaltungsträger 28 der Gehäuseseite 22 zugewandt. Der Näherungssensor 10 liefert ein Ausgangssignal, welches durch die Auswerteeinrichtung bereitgestellt wird. Es handelt sich dabei insbesondere um ein Schaltsignal oder ein analoges (Abstands-)Signal.Other circuit components of the proximity sensor 10 and in particular an evaluation device are on a circuit carrier 28 arranged, which in the housing 12 sitting. In the embodiment shown, the circuit carrier sits 28 the housing side 22 facing. The proximity sensor 10 provides an output signal which is provided by the evaluation device. This is in particular a switching signal or an analog (distance) signal.

Die Spule der Sensorspuleneinrichtung 14 (Sensorspule) und die Spule der Referenzspuleneinrichtung 24 (Referenzspule) bilden einen Teil eines Schwingkreises, wobei der Rest des Schwingkreises auf dem Schaltungsträger 28 angeordnet ist.The coil of the sensor coil device 14 (Sensor coil) and the coil of the reference coil device 24 (Reference coil) form part of a resonant circuit, the rest of the resonant circuit on the circuit carrier 28 is arranged.

Die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 können beispielsweise in einer Brückenschaltung angeordnet sein. In der nicht vorveröffentlichten deutschen Anmeldung Nr. 10 2004 020 978 vom 22. April 2004 der gleichen Anmelderin ist eine L-R-Brückenschaltung beschrieben, bei der die Spule der Sensorspuleneinrichtung (Sensorspule) und die Spule der Referenzspuleneinrichtung (Referenzspule) mit Widerstandselementen in einer L-R-Brückenschaltung angeordnet sind, wobei ein Spannungsabgriff jeweils im Spulenzweig und im Widerstandszweig der L-R-Brückenschaltung vorgesehen ist. Auf diese Anmeldung wird ausdrücklich Bezug genommen.The sensor coil device 14 and the reference coil device 24 For example, they may be arranged in a bridge circuit. German Patent Application No. 10 2004 020 978 dated April 22, 2004, assigned to the same Applicant, describes an LR bridge circuit in which the coil of the sensor coil device (sensor coil) and the coil of the reference coil device (reference coil) are provided with resistance elements in an LR circuit. Bridge circuit are arranged, wherein a voltage tap is provided in each case in the coil branch and in the resistance branch of the LR bridge circuit. This application is expressly incorporated by reference.

Beispielsweise ist es auch möglich, ein Signal dadurch zu gewinnen, daß bei einem Schwingkreis mit einer Sensorspule und einer Referenzspule ein Schwingkreisspannungssignal und ein Spulenspannungssignal einem subtrahierenden Verstärker zugeführt werden. Dies ist ebenfalls in der genannten nicht vorveröffentlichten Anmeldung beschrieben.For example it is also possible to gain a signal that in a resonant circuit with a sensor coil and a reference coil an oscillating circuit voltage signal and a coil voltage signal is supplied to a subtracting amplifier. This is also described in the aforementioned non-prepublished application.

Es ist beispielsweise auch möglich, den Schwingkreis als Schwingkreisbrücke mit wenigstens zwei Kondensatoren und wenigstens zwei durch von außen herangeführten Gegenstände (Target 18) unterschiedlich beeinflußbaren Spulen auszubilden, nämlich den Spulen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24. In einer Auswerteeinrichtung (welche insbesondere auf dem Schaltungsträger 28 angeordnet ist) kann aus einer Brückendiagonalspannung und der Eingangsspannung der Schwingkreisbrücke die Brückenübertragungsfunktion gebildet werden, deren Realteil unabhängig vom Imaginärteil zur Gewinnung eines Schaltsignals dient. Ein solcher berührungslos arbeitender Näherungsschalter mit einem durch ein von außen herangeführtes Target 18 beeinflußten Schwingkreis und mit einer Auswerteeinrichtung zur Gewinnung eines Schaltsignals aus einem die Änderung des Schwingzustands des Schwingkreises beschreibenden Ausgangssignal ist aus der DE 196 11 810 C2 bekannt, auf die ausdrücklich Bezug genommen wird.For example, it is also possible to use the resonant circuit as a resonant circuit bridge with at least two capacitors and at least two objects brought from the outside (target 18 ) form different influenceable coils, namely the coils of the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 , In an evaluation device (which in particular on the circuit carrier 28 is arranged) can be formed from a bridge diagonal voltage and the input voltage of the resonant circuit bridge, the bridge transfer function whose real part is independent of the imaginary part for obtaining a switching signal. Such a non-contact proximity switch with a by an externally introduced target 18 influenced resonant circuit and having an evaluation device for obtaining a switching signal from a change of the oscillatory state of the resonant circuit descriptive output signal is from DE 196 11 810 C2 known, to which reference is expressly made.

Es kann vorgesehen sein, daß der Näherungssensor 10 selber metallische Teile aufweist wie beispielsweise ein metallisches Gehäuseteil oder an einem Metallteil wie einer Metallplatte 30 montiert werden soll. Solche metallischen Teile bilden eine metallische Umgebungseinrichtung 32, welche aufgrund der nichtabschirmenden Ausbildung des Gehäuses 12 die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 beeinflussen und insbesondere einen Bedämpfungseinfluß ausüben.It can be provided that the proximity sensor 10 itself has metallic parts such as a metallic housing part or on a metal part such as a metal plate 30 should be mounted. Such metallic parts form a metallic environmental device 32 , which due to the non-shielding design of the housing 12 the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 influence and in particular exercise a damping effect.

Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Näherungssensor 10 auf der metallischen Umgebungseinrichtung mit der Gehäuseseite 22 (Montageseite) montiert. Die Umgebungseinrichtung 32 ist beispielsweise ein Maschinenteil einer Anwendung.At the in 1 the embodiment shown is the proximity sensor 10 on the metallic environmental device with the housing side 22 (Mounting side) mounted. The environment 32 is for example a machine part of an application.

Da die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 in Richtung der Sensorachse 26 beabstandet sind, ist der Abstand zwischen der Sensorspuleneinrichtung 14 zu der Umgebungseinrichtung 32 und der Referenzspuleneinrichtung 24 zu der Umgebungseinrichtung 32 unterschiedlich. Der Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung 32 auf Spulen ist ortsabhängig.Since the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 in the direction of the sensor axis 26 are spaced, is the distance between the sensor coil means 14 to the environment facility 32 and the reference coil device 24 to the environment facility 32 differently. The damping effect of the environmental device 32 on coils is location dependent.

Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, daß in Relation zu der Sensorspuleneinrichtung 14 die Referenzspuleneinrichtung 24 so angeordnet und so ausgebildet ist, daß die Änderungsdifferenz in der Bedämpfung zwischen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 aufgrund der metallischen Umgebungseinrichtung 32, wenn der Näherungssensor 10 an dieser montiert ist, definiert eingestellt ist. Die metallische Umgebungseinrichtung 32 übt auf die Sensorspuleneinrichtung 14 einen bestimmten Bedämpfungseinfluß aus und ändert insbesondere die Induktivität der Sensorspuleneinrichtung 14. Ferner übt sie auf die Referenzspuleneinrichtung 24 einen bestimmten – aber im Vergleich zu der Sensorspuleneinrichtung 14 unterschiedlichen – Bedämpfungseinfluß auf die Referenzspuleneinrichtung 24 aus und erzeugt dort eine Induktivitätsänderung. Diese Bedämpfungseinflüsse führen wiederum zu Signaländerungen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 für die Detektion des metallischen Targets 18, bezogen auf den Fall, wenn die Umgebungseinrichtung 32 nicht vorhanden ist.According to the invention it is provided that in relation to the sensor coil means 14 the re Conference coil device 24 is arranged and designed so that the difference in variation in the attenuation between the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 due to the metallic environment 32 when the proximity sensor 10 is mounted on this, defined is set. The metallic environment 32 applies to the sensor coil device 14 a certain damping effect and in particular changes the inductance of the sensor coil device 14 , Further, it applies to the reference coil means 24 a certain - but compared to the sensor coil device 14 different - damping effect on the reference coil device 24 and generates an inductance change there. These damping influences in turn lead to signal changes of the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 for the detection of the metallic target 18 , relative to the case when the environmental device 32 not available.

Erfindungsgemäß wird der Bedämpfungseinfluß so eingestellt, daß mindestens, wenn der Näherungssensor 10 an der Umgebungseinrichtung 32 positioniert ist, d. h. die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 jeweils in einem definierten Abstand zu der Umgebungseinrichtung 32 liegen, eine bekannte Bedämpfungseinflußdifferenz vorliegt und insbesondere eine bekannte Induktivitätsänderungsdifferenz vorliegt. Der Unterschied der Induktivitätsänderungen an der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 ist also bekannt und wird insbesondere eingestellt, und zwar durch Anordnung und Ausbildung der Referenzspuleneinrichtung 24 in Relation zu der Sensorspuleneinrichtung 14. Dadurch ist der Signalunterschied bekannt und kann beispielsweise durch die Auswerteeinrichtung berücksichtigt werden und insbesondere kompensiert werden. Es ist also möglich, den Einfluß der Umgebungseinrichtung 32 herauszurechnen, so daß die Targetdetektionsfunktion des Näherungssensors 10 durch die Umgebungseinrichtung 32 nicht beeinflußt ist und insbesondere die Schaltfunktion des Näherungssensors 10 nicht beeinflußt ist.According to the invention the damping effect is adjusted so that at least when the proximity sensor 10 at the environmental facility 32 is positioned, ie the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 each at a defined distance from the environmental device 32 lie, there is a known Schwämpfungseinflußdifferenz and in particular a known inductance change difference exists. The difference of the inductance changes on the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 is therefore known and is adjusted in particular, by arrangement and design of the reference coil device 24 in relation to the sensor coil means 14 , As a result, the signal difference is known and can be taken into account, for example by the evaluation and in particular compensated. It is therefore possible to influence the environment 32 out, so that the target detection function of the proximity sensor 10 through the environment 32 is not affected and in particular the switching function of the proximity sensor 10 is not affected.

Insbesondere ist es erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 so angeordnet und ausgebildet sind, daß, wenn der Näherungssensor 10 über seine Gehäuseseite 22 (Montageseite) an der Umgebungseinrichtung 32 montiert ist, die Differenz der Bedämpfungseinflüsse auf die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 im wesentlichen Null ist, d. h. die Umgebungseinrichtung 32 an der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 die gleiche Induktivitätsänderung erzeugt, so daß die Differenz der Induktivitätsänderungen an der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 im wesentlichen verschwindet. Dies bedeutet dann, daß der Näherungssensor mit der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 "nach hinten" zu der Umgebungseinrichtung 32 die Umgebungseinrichtung "nicht sieht", da deren Einfluß auf den Schwingkreis des Näherungssensors über die Anordnung und Ausbildung der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 kompensiert ist. Nach "vorne", d. h. an der aktiven Sensorfläche 20, ist der Einfluß des metallischen Targets 18 auf die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 jedoch unterschiedlich, so daß insbesondere ein Näherungssensor bzw. ein Näherungsschalter realisierbar ist, welcher die gleiche Empfindlichkeit gegenüber einem Gegenstand aus einem ferromagnetischen Material und nicht-ferromagnetischen Material aufweist, mindestens bezogen auf einen bestimmten Schaltabstand oder Schaltabstandsbereich des Targets 18 zu der aktiven Sensorfläche 20.In particular, it is provided according to the invention that the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 are arranged and designed so that when the proximity sensor 10 over its housing side 22 (Mounting side) at the environmental facility 32 is mounted, the difference of the damping influences on the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 is substantially zero, ie the environmental device 32 at the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 generates the same inductance change, so that the difference of the inductance changes to the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 essentially disappears. This then means that the proximity sensor with the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 "backwards" to the environment 32 the environmental device "does not see" because their influence on the resonant circuit of the proximity sensor on the arrangement and design of the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 is compensated. After "front", ie at the active sensor surface 20 , is the influence of the metallic target 18 on the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 However, different, so that in particular a proximity sensor or a proximity switch can be realized, which has the same sensitivity to an object made of a ferromagnetic material and non-ferromagnetic material, at least based on a specific switching distance or switching distance range of the target 18 to the active sensor surface 20 ,

Die Einstellung einer definierten Bedämpfungseinflußdifferenz für die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 (und damit für einen Schwingkreis des Näherungssensors 10) läßt sich durchführen, wenn die Umgebungseinrichtung Teil des Näherungssensors 10 ist (in diesem Fall übt die metallische Umgebungseinrichtung eine Vordämpfung aus) oder wenn die Umgebungseinrichtung 32 extern angeordnet ist, zumindest dann, wenn die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 in einem bestimmten Abstand zu der Umgebungseinrichtung 32 positioniert sind.The setting of a defined attenuation influence difference for the sensor coil device 14 and the reference coil device 24 (and thus for a resonant circuit of the proximity sensor 10 ) can be performed when the environmental device is part of the proximity sensor 10 is (in this case, the metallic environmental device exerts a pre-damping) or if the environmental device 32 is arranged externally, at least when the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 at a certain distance from the environment 32 are positioned.

Die Einstellung der Bedämpfungseinflußdifferenz, wenn von einer gegebenen Sensorspuleneinrichtung 14 ausgegangen wird, kann beispielsweise über die Anordnung der Referenzspuleneinrichtung 24 in dem Gehäuse 12 und/oder die Fläche der Spule bzw. Spulen der Referenzspuleneinrichtung 24 und/oder die Windungszahl dieser Spule oder Spulen der Referenzspuleneinrichtung 24 erfolgen. Die Anordnung der Referenzspuleneinrichtung 24 kann über den Abstand zu der Gehäuseseite 22 bzw. zu der Umgebungseinrichtung, wenn diese fester Bestandteil des Näherungssensors 10 ist, und/oder der Winkellage der Spule der Spulen der Referenzspuleneinrichtung 24 bezogen auf die aktive Sensorfläche 20 eingestellt werden.The adjustment of the damping influence difference when from a given sensor coil means 14 is assumed, for example, on the arrangement of the reference coil means 24 in the case 12 and / or the surface of the coil or coils of the reference coil device 24 and / or the number of turns of this coil or coils of the reference coil device 24 respectively. The arrangement of the reference coil device 24 Can over the distance to the housing side 22 or to the environmental device, if this is an integral part of the proximity sensor 10 is, and / or the angular position of the coil of the coils of the reference coil means 24 related to the active sensor surface 20 be set.

Es ist dabei auch möglich, daß die Referenzspuleneinrichtung 24 mehrere (Teil-)Spulen umfaßt, die in unterschiedlichen Abständen und/oder Winkellagen beispielsweise zu der Gehäuseseite 22 angeordnet sind. Dies wird untenstehend noch näher erläutert.It is also possible that the reference coil device 24 comprises a plurality of (partial) coils, which at different distances and / or angular positions, for example, to the housing side 22 are arranged. This will be explained in more detail below.

Eine Bedämpfungsbeeinflussung (zur Einstellung der Bedämpfungseinflußdifferenz) ist auch möglich, wie schematisch in 5 gezeigt, wenn um eine Spule und insbesondere eine (Referenz-)Spule 34 der Referenzspuleneinrichtung 24 eine oder mehrere Leiterbahnschleifen 36 als Kurzschlußwindungen angeordnet sind. Eine solche Leiterbahnschleife kann beispielsweise auch in Reihe mit einem Abgleichswiderstand 38 geschaltet sein. Es läßt sich dadurch ein Bedämpfungseinfluß ausüben und über den Abgleichswiderstand 38 auch einstellen und insbesondere läßt sich die Induktivität einstellen, so daß damit wiederum die Bedämpfungseinflußdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 einstellbar ist und insbesondere so einstellbar ist, daß sie im wesentlichen Null ist.A dampening effect (to Ein adjustment of the damping influence difference) is also possible, as shown schematically in FIG 5 shown when around a coil and in particular a (reference) coil 34 the reference coil device 24 one or more trace loops 36 are arranged as short circuit windings. Such a strip conductor loop can, for example, also in series with a balancing resistor 38 be switched. It can thereby exert a damping effect and the balance resistance 38 also adjust and in particular, the inductance can be adjusted, so that in turn the Schwämpfungseinflußdifferenz between the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 is adjustable and in particular is adjustable so that it is substantially zero.

Eine weitere Einstellungsmöglichkeit besteht darin, eine oder mehrere Spulen der Referenzspuleneinrichtung 24 teilweise abzudecken und/oder abzuschirmen, und zwar bezogen auf die Umgebungseinrichtung 32; dies bedeutet eine Abdeckung bzw. Abschirmung nach "hinten", d. h. zu der Gehäuseseite 22 zu. Diese Abschirmung ist dann bezogen auf den Bedämpfungseinfluß des Targets 18 auf die Referenzspuleneinrichtung 24 nicht wirksam.Another setting possibility is one or more coils of the reference coil device 24 partially cover and / or shield, with respect to the environmental facility 32 ; This means a cover or shielding to "back", ie to the housing side 22 to. This shield is then based on the damping effect of the target 18 to the reference coil device 24 not effective.

Eine solche Abschirmungsmöglichkeit ist schematisch in 6 dargestellt. Dort ist ein Träger 40 für eine Referenzspule 42 in einer schematischen Schnittansicht gezeigt. Der Träger 40 ist mehrschichtig aufgebaut mit einer ersten Schicht 44a, einer zweiten Schicht 44b und einer dritten Schicht 44c. Die Schichten 44a, 44b tragen beispielsweise die Referenzspule 42. Die Schicht 44c weist eine zu der Referenzspule 42 elektrisch isoliert angeordnete Metallschicht 46 auf, welche beispielsweise aus Kupfer hergestellt ist. Diese deckt die Referenzspule 42 nach "hinten", d. h. zu der Gehäuseseite 22 hin, teilweise ab und beeinflußt damit den Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung 32. Dadurch wiederum läßt sich die Bedämpfungseinflußdifferenz insbesondere im Zusammenhang mit der weiteren Anordnung und Ausbildung der Referenzspuleneinrichtung 24 einstellen und insbesondere auf Null einstellen.Such a shielding possibility is schematically shown in FIG 6 shown. There is a carrier 40 for a reference coil 42 shown in a schematic sectional view. The carrier 40 is multi-layered with a first layer 44a , a second layer 44b and a third layer 44c , The layers 44a . 44b For example, carry the reference coil 42 , The layer 44c has one to the reference coil 42 electrically insulated metal layer arranged 46 on, which is made for example of copper. This covers the reference coil 42 to the "back", ie to the housing side 22 out, and thus affects the damping effect of the environmental device 32 , This in turn allows the attenuation influence difference in particular in connection with the further arrangement and design of the reference coil device 24 set and in particular set to zero.

Es kann eine verschiebliche Abdeckung bzw. Abschirmung 47 vorgesehen sein. Die Position dieser Abdeckung bzw. Abschirmung ist extern feststellbar einstellbar, so daß über die Positionierung der Abdeckung bzw. Abschirmung der Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung 32 einstellbar ist. Eine eingestellte Position ist dabei fixierbar, so daß der Bedämpfungseinfluß fixiert ist. Die Einstellung kann in einem Teach-In-Vorgang erfolgen.It can be a sliding cover or shield 47 be provided. The position of this cover or shield is externally detectable adjustable, so that on the positioning of the cover or shield of the damping effect of the environmental device 32 is adjustable. A set position is fixed, so that the damping effect is fixed. The setting can be made in a teach-in process.

Es ist grundsätzlich möglich, daß die definierte Einstellung der Bedämpfungseinflußdifferenz in dem Schwingkreis, bezogen auf die Sensorspuleneinrichtung 14 und die Referenzspuleneinrichtung 24 bei der Herstellung erfolgt und dann fest ist. Dies ist vorteilhaft, wenn die Umgebungseinrichtung Teil des Näherungssensors ist oder wenn die externe Umgebungseinrichtung 32 bekannt ist und auch die Positionierung bekannt ist.It is in principle possible that the defined setting of the damping influence difference in the resonant circuit, based on the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 takes place during manufacture and then is firm. This is advantageous if the environmental device is part of the proximity sensor or if the external environmental device 32 is known and the positioning is known.

Grundsätzlich kann es auch vorgesehen sein, daß die Bedämpfungseinflußdifferenz von außen einstellbar ist. Eine solche Beeinflussung ist beispielsweise über Einstellung des Widerstandswerts des Abgleichswiderstands 38 (siehe 5) möglich. Beispielsweise ist der Widerstandswert des Abgleichswiderstands 38 über einen externen Zugang zu dem Näherungssensor 10 einstellbar. Es ist möglich, eine Teach-In-Funktion vorzusehen.In principle, it can also be provided that the damping influence difference can be set from the outside. Such influence is, for example, via adjustment of the resistance value of the balancing resistor 38 (please refer 5 ) possible. For example, the resistance value of the balancing resistor 38 via an external access to the proximity sensor 10 adjustable. It is possible to provide a teach-in function.

Es ist auch alternativ oder zusätzlich möglich, die Einstellung der Bedämpfungseinflußdifferenz über Änderung der mechanischen Position der Referenzspuleneinrichtung 24 durchzuführen. Dies ist in 1 schematisch gezeigt. Der Näherungssensor 10 weist ein Einstellelement 48 auf, welches extern zugänglich ist. Beispielsweise ist das Einstellelement 48 als Schraube ausgebildet. Ein Träger 50 der Referenzspuleneinrichtung 24 ist parallel zur Sensorachse 26 feststellbar verschieblich in dem Gehäuse 12 angeordnet, wobei die Verschiebungsbewegung durch das Einstellelement 48 betätigbar ist.It is also alternatively or additionally possible to adjust the damping influence difference by changing the mechanical position of the reference coil device 24 perform. This is in 1 shown schematically. The proximity sensor 10 has an adjustment 48 which is externally accessible. For example, the adjusting element 48 designed as a screw. A carrier 50 the reference coil device 24 is parallel to the sensor axis 26 lockable in the housing 12 arranged, wherein the displacement movement through the adjusting element 48 is operable.

Beispielsweise ist das Einstellelement 48 von einer Querseite zugänglich und über einen entsprechenden Umsetzungstrieb 52 kann der Träger 50 an der Führung 54 verschoben werden.For example, the adjusting element 48 accessible from a lateral side and via a corresponding conversion instinct 52 can the carrier 50 at the lead 54 be moved.

Beispielsweise ist eine Einstellbarkeit auch dadurch möglich, daß die (mindestens eine) Referenzspule der Referenzspuleneinrichtung 24 einen Spulenkern wie beispielsweise einen Ferritkern aufweist und die Position des Spulenkerns in der Referenzspule einstellbar ist. Dazu kann ein Einstellelement vorgesehen sein, über das eben dieser Spulenkern weiter in die Referenzspule hineingeschoben werden kann oder aus dieser herausgeschoben werden kann. Je nach Stellung eines solchen beispielsweise stiftförmig oder pilzförmig oder schalenförmig ausgebildeten Spulenkerns ändert sich die Induktivität der Referenzspule, so daß der Bedämpfungseinfluß je nach Stellung des Spulenkerns unterschiedlich ist und somit wiederum die Bedämpfungseinflußdifferenz einstellbar ist.For example, adjustability is also possible in that the (at least one) reference coil of the reference coil device 24 a coil core such as a ferrite core and the position of the bobbin in the reference coil is adjustable. For this purpose, an adjusting element can be provided, via which this coil core can be pushed further into the reference coil or pushed out of it. Depending on the position of such, for example, pin-shaped or mushroom-shaped or shell-shaped coil core, the inductance of the reference coil changes, so that the influence of damping is different depending on the position of the bobbin and thus in turn the Bedämpfungseinflußdifferenz is adjustable.

Auch über die Positionierung der Abdeckung bzw. Abschirmung 47 ist ein Abgleich möglich.Also on the positioning of the cover or shield 47 an adjustment is possible.

Es ist beispielsweise auch möglich, den Bedämpfungseinfluß auf die Referenzspuleneinrichtung 24 – und damit die Bedämpfungseinflußdifferenz an dem Schwingkreis, welche mit der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 24 gebildet ist – dadurch einzustellen, daß eine Mehrzahl von Spulen für die Referenzspuleneinrichtung 24 vorgesehen ist, d. h. daß die Referenzspuleneinrichtung 24 eine Mehrzahl von Teilspulen aufweist.For example, it is also possible to influence the damping effect on the reference coil device 24 - And thus the Bedämpfungseinflußdifferenz on the resonant circuit, which with the sensor coil means 14 and the reference coil device 24 is formed - set by that more number of coils for the reference coil means 24 is provided, that is, that the reference coil means 24 has a plurality of partial coils.

In 2 ist ein zweites Ausführungsbeispiel eines Näherungssensors, welcher als Ganzes mit 56 bezeichnet ist, schematisch gezeigt, wobei dieser eine Mehrzahl von Spulen aufweist. Gleiche Teile wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel gemäß 1 sind dabei mit gleichen Bezugszeichen versehen.In 2 is a second embodiment of a proximity sensor, which as a whole with 56 is indicated, shown schematically, wherein this has a plurality of coils. Same parts as in the first embodiment according to 1 are provided with the same reference numerals.

Es ist eine Referenzspuleneinrichtung 58 vorgesehen, welche auf einem Schaltungsträger 60 für die weiteren Teile des Schwingkreises und für eine Auswerteeinrichtung angeordnet ist. Die Referenzspuleneinrichtung 58 umfaßt dabei eine Mehrzahl von (Teil-)Spulen 62a, 62b, 62c. Dadurch läßt sich die Windungszahl und die Spulenfläche für die Referenzspuleneinrichtung 58 gezielt einstellen, um so wiederum den Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung 32 auf die Referenzspuleneinrichtung 58 gezielt einstellen zu können und infolge davon die Bedämpfungseinflußdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung 14 und der Referenzspuleneinrichtung 58 gezielt auf einen definierten Wert einstellen zu können und insbesondere auf den Wert Null einstellen zu können.It is a reference coil device 58 provided, which on a circuit carrier 60 is arranged for the other parts of the resonant circuit and for an evaluation device. The reference coil device 58 includes a plurality of (sub) coils 62a . 62b . 62c , This allows the number of turns and the coil area for the reference coil device 58 set specifically, so in turn the damping effect of the environment 32 to the reference coil device 58 to be able to set specifically and as a result of the Einämpfungseinflußdifferenz between the sensor coil means 14 and the reference coil device 58 to be able to set specifically to a defined value and in particular to be able to set the value to zero.

Diese Einstellung erfolgt insbesondere bei der Herstellung des Näherungssensors 56. Es ist aber grundsätzlich auch denkbar, daß Teilspulen dort so auf dem Schaltungsträger 60 ausgebildet sind, daß sie von der Referenzspuleneinrichtung 58 entkoppelbar sind, wobei diese Entkoppelbarkeit über einen externen Schaltvorgang wie beispielsweise einen Teach-In-Vorgang möglich sein kann. Dadurch läßt sich extern der Bedämpfungseinfluß auf die Referenzspuleneinrichtung 58 einstellen.This adjustment takes place in particular during the production of the proximity sensor 56 , But it is also conceivable that partial coils there on the circuit board 60 are formed so that they from the reference coil means 58 can be decoupled, this decoupling via an external switching operation such as a teach-in process may be possible. As a result, the influence of damping on the reference coil device can be externally determined 58 to adjust.

Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel liegen die Teilspulen 62a, 62b, 62c in einer Ebene, nämlich in der Ebene des Schaltungsträgers 60. Es kann aber auch grundsätzlich möglich sein, daß unterschiedliche Teilspulen der Referenzspuleneinrichtung in unterschiedlichen Ebenen liegen. Dies wird untenstehend noch erläutert.At the in 2 The embodiment shown partial coils are 62a . 62b . 62c in a plane, namely in the plane of the circuit carrier 60 , However, it may also be possible in principle that different partial coils of the reference coil device lie in different planes. This will be explained below.

Ferner liegen bei den Ausführungsbeispielen gemäß 1 und 2 die Windungsachsen von Spulen der Referenzspuleneinrichtung 24 bzw. 58 im wesentlichen parallel zur Sensorachse 26. Es kann auch vorgesehen sein, daß diese in einem Winkel zu der Sensorachse 26 liegen.Furthermore, according to the exemplary embodiments 1 and 2 the winding axes of coils of the reference coil device 24 respectively. 58 essentially parallel to the sensor axis 26 , It may also be provided that these at an angle to the sensor axis 26 lie.

Bei einem dritten Ausführungsbeispiel, welches in 3 schematisch gezeigt und dort als Ganzes mit 64 bezeichnet ist, ist ein Gehäuse 66 vorgesehen. Der Näherungssensor 64 weist eine aktive Sensorfläche 68 und eine Sensorachse 70 auf, wobei die Sensorachse 70 im wesentlichen senkrecht zu der aktiven Sensorfläche 68 liegt.In a third embodiment, which is in 3 shown schematically and there as a whole with 64 is designated, is a housing 66 intended. The proximity sensor 64 has an active sensor area 68 and a sensor axis 70 on, with the sensor axis 70 substantially perpendicular to the active sensor surface 68 lies.

Der Näherungssensor 64 weist eine erste Montageseite 72 und eine zweite Montageseite 74 auf. Je nach Anwendung kann eine der aktiven Sensorfläche 68 beispielsweise gegenüberliegende Gehäuseseite 76 (welche die Montageseite 72 bildet) an einer Anwendung positioniert werden oder eine Gehäuseseite 78, welche die zweite Montageseite 74 bildet, an einer Anwendung positioniert werden. Die Gehäuseseite 78 liegt beispielsweise parallel zur Sensorachse 70, insbesondere wenn das Gehäuse 66 quaderförmig ausgebildet ist. Bei der Anwendung kann es sich um eine metallische Umgebungseinrichtung 80a bzw. 80b handeln.The proximity sensor 64 has a first mounting page 72 and a second mounting side 74 on. Depending on the application, one of the active sensor surface 68 for example, opposite side of the housing 76 (which the mounting side 72 forms) to be positioned on an application or a housing side 78 which the second mounting side 74 forms, be positioned on an application. The housing side 78 is for example parallel to the sensor axis 70 especially if the case 66 is formed cuboid. The application may be a metallic environmental device 80a respectively. 80b act.

In dem Gehäuse 66 ist eine Sensorspuleneinrichtung 82 zur Detektion eines metallischen Targets 84 angeordnet. Diese ist grundsätzlich gleich ausgebildet wie oben beschrieben. Eine Windungsachse der Sensorspule der Sensorspuleneinrichtung 82 ist im wesentlichen parallel zu der Sensorachse 70 ausgerichtet. Die Sensorspule ist vorzugsweise als Flachspule ausgebildet.In the case 66 is a sensor coil device 82 for the detection of a metallic target 84 arranged. This is basically the same design as described above. A winding axis of the sensor coil of the sensor coil device 82 is substantially parallel to the sensor axis 70 aligned. The sensor coil is preferably designed as a flat coil.

In dem Gehäuse 66 ist ferner eine Referenzspuleneinrichtung 86 angeordnet, welche eine oder mehrere (Referenz-)Spulen umfaßt, die auf einem Träger 88 angeordnet sind. Der Träger liegt dabei in einem Winkel von beispielsweise 45° zu der Sensorachse 70. Eine Windungsachse von (Referenz-)Spulen der Referenzspuleneinrichtung 86 liegt dann in einem entsprechenden Winkel zu der Sensorachse 70.In the case 66 is also a reference coil device 86 arranged, which comprises one or more (reference) coils on a support 88 are arranged. The carrier is at an angle of, for example, 45 ° to the sensor axis 70 , A winding axis of (reference) coils of the reference coil device 86 then lies in a corresponding angle to the sensor axis 70 ,

Die Referenzspuleneinrichtung 86 ist so angeordnet und ausgebildet, daß je nach Anordnung des Näherungssensors 64 an einer Anwendung eine definierte Bedämpfungseinflußdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung 82 und der Referenzspuleneinrichtung 86 eingestellt ist, wobei die Umgebungseinrichtung 80a und/oder 80b eine Bedämpfungsbeeinflussung für die Sensorspuleneinrichtung 82 und die Referenzspuleneinrichtung 86 darstellt.The reference coil device 86 is arranged and designed so that, depending on the arrangement of the proximity sensor 64 at an application, a defined attenuation influence difference between the sensor coil means 82 and the reference coil device 86 is set, the environmental device 80a and or 80b a Bedämpfungsbeeinflussung for the sensor coil device 82 and the reference coil device 86 represents.

Die Referenzspuleneinrichtung 86 kann so angeordnet und ausgebildet sein, daß die definierte Bedämpfungseinflußdifferenz (beispielsweise Null) eingestellt ist, wenn der Näherungssensor 64 mit seiner Montageseite 72 an der Umgebungseinrichtung 80a montiert ist oder mit seiner Montageseite 74 an der Umgebungseinrichtung 80b montiert ist. Vorzugsweise ist die Einstellung derart, daß in beiden Fällen eine definierte Differenz (und insbesondere die Differenz Null) eingestellt ist, so daß ein Nutzer beide Montagemöglichkeiten wählen kann.The reference coil device 86 may be arranged and configured such that the defined attenuation influence difference (for example, zero) is set when the proximity sensor 64 with its mounting side 72 at the environmental facility 80a is mounted or with its mounting side 74 at the environmental facility 80b is mounted. Preferably, the setting is such that in both cases, a defined difference (and in particular the difference zero) is set, so that a user can choose both mounting options.

Es kann auch vorgesehen sein, daß eine definierte Bedämpfungseinflußdifferenz eingestellt ist, wenn sowohl die Umgebungseinrichtung 80a und die Umgebungseinrichtung 80b vorhanden sind und jeweils einen Bedämpfungseinfluß auf die Sensorspuleneinrichtung 82 und die Referenzspuleneinrichtung 86 ausüben.It may also be provided that a defined damping Einflußdifferenz is set when both the environmental device 80a and the surrounding means 80b are present and each have a damping effect on the sensor coil means 82 and the reference coil device 86 exercise.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Näherungssensors, welches in 4 schematisch gezeigt und dort als Ganzes mit 90 bezeichnet ist, weist ein Gehäuse 92 auf. Eine Sensorspuleneinrichtung 94 definiert eine aktive Sensorfläche 96. Ein metallisches Target 98 ist über die Sensorspuleneinrichtung 94 detektierbar. Insbesondere ist ein Schaltabstand vorgebbar.Another embodiment of a proximity sensor, which in 4 shown schematically and there as a whole with 90 is designated, has a housing 92 on. A sensor coil device 94 defines an active sensor area 96 , A metallic target 98 is via the sensor coil device 94 detectable. In particular, a switching distance can be specified.

Die Sensorspuleneinrichtung 94 umfaßt beispielsweise eine (Sensor-)Spule, deren Windungsachse parallel zu einer Sensorachse 100 ausgerichtet ist. Die Sensorachse 100 ist im wesentlichen senkrecht zu der aktiven Sensorfläche 96.The sensor coil device 94 includes, for example, a (sensor) coil whose winding axis is parallel to a sensor axis 100 is aligned. The sensor axis 100 is substantially perpendicular to the active sensor surface 96 ,

Es ist eine Referenzspuleneinrichtung 102 vorgesehen, welche beispielsweise eine erste Teilspule 104, eine zweite Teilspule 106 und eine dritte Teilspule 107 umfaßt. Die beiden Teilspulen 104 und 106 sind parallel ausgerichtet und weisen Windungsachsen auf, welche im wesentlichen zusammenfallen. Die Windungsachsen der beiden Teilspulen 104, 106 liegen bei der in 4 gezeigten Ausführungsform im wesentlichen senkrecht zu der Sensorachse 100. Die Teilspule 107 ist quer dazu orientiert und weist eine Windungsachse auf, welche senkrecht zu den anderen Windungsachsen liegt.It is a reference coil device 102 provided, which, for example, a first part coil 104 , a second partial coil 106 and a third sub-coil 107 includes. The two partial coils 104 and 106 are aligned in parallel and have winding axes, which substantially coincide. The winding axes of the two partial coils 104 . 106 lie at the in 4 embodiment shown substantially perpendicular to the sensor axis 100 , The partial coil 107 is oriented transversely thereto and has a winding axis which is perpendicular to the other winding axes.

Die Teilspule 104 liegt benachbart zu einer Gehäuseseite 108 und die Teilspule 106 liegt benachbart zu einer Gehäuseseite 110, wobei die beiden Gehäuseseiten 108, 110 gegenüberliegen und quer zu der aktiven Sensorfläche 96 liegen. Die Teilspule 107 liegt benachbart zu einer Gehäuseseite 111, welche die beiden Gehäuseseiten 108 und 110 verbindet.The partial coil 104 is adjacent to a housing side 108 and the partial coil 106 is adjacent to a housing side 110 , where the two sides of the housing 108 . 110 opposite and transverse to the active sensor surface 96 lie. The partial coil 107 is adjacent to a housing side 111 , which the two sides of the housing 108 and 110 combines.

Die Sensorspuleneinrichtung 94 liegt seitlich zu den Teilspulen 104, 106, 107 und damit seitlich zu der Referenzspuleneinrichtung 102.The sensor coil device 94 lies laterally to the sub-coils 104 . 106 . 107 and thus laterally to the reference coil device 102 ,

Der Näherungssensor 90 läßt sich in eine Anwendung 112 einbauen, wobei die Anwendung eine metallische Umgebungseinrichtung 114 aufweist, welche eine erste Metallplatte 116 und eine zweite Metallplatte 118 umfaßt. Die Metallplatten 116 und 118 liegen gegenüber. Diese beeinflussen die Referenzspuleneinrichtung 102 und die Sensorspuleneinrichtung 94.The proximity sensor 90 can be in an application 112 install, the application a metallic environment 114 which has a first metal plate 116 and a second metal plate 118 includes. The metal plates 116 and 118 lie opposite. These influence the reference coil device 102 and the sensor coil means 94 ,

Die Referenzspuleneinrichtung 102 ist so angeordnet und ausgebildet und insbesondere sind die Teilspulen 104, 106 und 107 so angeordnet und ausgebildet, daß die Bedämpfungseinflußdifferenz der Umgebungseinrichtung 114 auf die Referenzspuleneinrichtung 102 und die Sensorspuleneinrichtung 94 auf einen definierten Wert eingestellt ist. Dieser definierte Wert kann beispielsweise der Wert Null sein, so daß der Bedämpfungseinfluß kompensiert ist.The reference coil device 102 is arranged and designed, and in particular, the partial coils 104 . 106 and 107 arranged and formed so that the damping influence difference of the environmental device 114 to the reference coil device 102 and the sensor coil means 94 is set to a defined value. This defined value can be, for example, the value zero, so that the damping influence is compensated.

Ansonsten funktioniert der Näherungssensor 90 wie oben anhand der anderen Ausführungsbeispiele beschrieben.Otherwise, the proximity sensor works 90 as described above with reference to the other embodiments.

Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, daß bezogen auf eine vorgegebene Sensorspuleneinrichtung die Referenzspuleneinrichtung definiert angeordnet und ausgebildet wird, um eine bestimmte Bedämpfungseinflußdifferenz zu der Sensorspuleneinrichtung einzustellen. Vorzugsweise wird diese Differenz auf den Wert Null eingestellt. Dadurch "sieht" der Näherungssensor die metallische Umgebungseinrichtung nicht, während er ein zu detektierendes metallisches Target sieht. Nach "vorne", d. h. zu der aktiven Sensorfläche hin, läßt sich also ein Detektionsvorgang durchführen. Nach "hinten", d. h. zu der metallischen Umgebungseinrichtung hin, ist eine Kompensation durchgeführt.It is according to the invention provided that related to a given sensor coil means the reference coil means defined and formed to a certain attenuation influence difference to adjust to the sensor coil device. Preferably, this will Difference set to the value zero. As a result, the proximity sensor "sees" the metallic environmental device while it is a metallic target to be detected sees. After "forward", d. H. to the active one sensor surface down, lets go So perform a detection process. After "back", d. H. to the metallic environment out, a compensation is performed.

Diese Kompensation kann dabei auch, wenn ein bekannter, definierter Wert der Bedämpfungseinflußdifferenz eingestellt ist, über die Auswerteeinrichtung beispielsweise softwaremäßig und/oder schaltungstechnisch erfolgen.These Compensation can also, if a known, defined value the damping influence difference is set, over the evaluation device, for example, software and / or circuit technology respectively.

Es ist dadurch möglich, erfindungsgemäße Näherungssensoren teilbündig auf eine Metallplatte aufzuschrauben, ohne daß eine Abschirmung des Näherungssensors notwendig ist.It is thereby possible Proximity sensors according to the invention partially flush Screw on a metal plate without a shield of the proximity sensor necessary is.

Es ist möglich, die Einstellung des definierten Werts der Bedämpfungseinflußdifferenz bei der Herstellung durchzuführen. Es ist aber auch möglich, eine externe Einstellmöglichkeit für einen hergestellten Näherungssensor vorzusehen, um beispielsweise über einen Teach-In-Vorgang den Gesamteinfluß (d. h. den kombinierten Einfluß auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung) zu "eliminieren". Es läßt sich dann die Beeinflussung der Spulen des Näherungssensors (d. h. Sensorspulen und Referenzspulen) durch Metallteile einer Anwendung oder des Sensors selber eliminieren.It is possible, the setting of the defined value of the damping influence difference to carry out during manufacture. But it is also possible, one external adjustment for one prepared proximity sensor provide, for example, about a teach-in process the overall influence (i.e., the combined influence on the Sensor coil device and the reference coil means) to "eliminate". It can be then influencing the coils of the proximity sensor (i.e., sensor coils and Reference coils) through metal parts of an application or the sensor eliminate yourself.

Insbesondere ist es möglich, einen erfindungsgemäßen Näherungssensor über eine der aktiven Sensorfläche gegenüberliegende Montageseite an einer metallischen Anwendung zu montieren.Especially Is it possible, a proximity sensor according to the invention via a the active sensor surface opposing Mounting side to a metallic application.

Claims (46)

Induktiver Näherungssensor, umfassend eine Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) zur Detektion eines metallischen Targets (18; 84; 98) und eine Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) mit mindestens einer Spule, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) und die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) so angeordnet und so ausgebildet sind, daß eine definierte Differenz des Bedämpfungseinflusses einer metallischen Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) auf die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) eingestellt ist, mindestens wenn die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) in einer bestimmten Position zu der Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) sind, und daß der Einfluß der Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) auf ein Sensorausgangssignal eliminiert ist.Inductive proximity sensor comprising a sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) for the detection of a metallic target ( 18 ; 84 ; 98 ) and a reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) with at least one coil, characterized in that the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) and the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) are arranged and designed so that a defined difference of the damping effect of a metallic environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) on the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is set, at least when the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) in a certain position to the environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ), and that the influence of the environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) is eliminated to a sensor output. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) so angeordnet und ausgebildet sind, daß die Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) eine definierte Signaländerungsdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) bewirkt.Inductive proximity sensor according to Claim 1, characterized in that the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are arranged and designed such that the environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) a defined signal change difference between the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) causes. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) so angeordnet und ausgebildet sind, daß die Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) eine definierte Induktivitätsänderungsdifferenz zwischen der Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und der Referenzspuleneinrichtung (24; 58, 86; 102) bewirkt.Inductive proximity sensor according to Claim 1 or 2, characterized in that the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are arranged and designed such that the environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) a defined inductance change difference between the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 . 86 ; 102 ) causes. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedämpfungsänderungen an der Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und an der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) aufgrund der Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) gleich oder näherungsweise gleich sind.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the attenuation changes at the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and at the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) due to the environment ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) are equal or approximately the same. Induktiver Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Auswerteeinrichtung vorgesehen ist, welche ein Sensorausgangssignal erzeugt, in dem der unterschiedliche Bedämpfungseinfluß auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung durch Berücksichtigung der bekannten Bedämpfungseinflußdifferenz herausgerechnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the claims 1 to 4, characterized in that an evaluation device is provided, which generates a sensor output signal in which the different damping effect on the Sensor coil device and the reference coil device through consideration the known attenuation influence difference is calculated out. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedämpfungseinflußdifferenz über die Anordnung der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 8b; 102) in einem Gehäuse (12; 66; 92) und/oder die Fläche der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung (14; 82; 94) und/oder die Windungszahl der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) eingestellt ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the damping influence difference across the arrangement of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 8b ; 102 ) in a housing ( 12 ; 66 ; 92 ) and / or the surface of the at least one coil of the reference coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and / or the number of turns of the at least one coil of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is set. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand und/oder die Winkellage der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) zu einer oder mehreren Gehäuseseiten (22, 76, 78; 108; 110) eingestellt ist.Inductive proximity sensor according to claim 6, characterized in that the distance and / or the angular position of the at least one coil of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) to one or more housing sides ( 22 . 76 . 78 ; 108 ; 110 ) is set. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß um die mindestens eine Spule (34) der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) mindestens eine Leiterbahnschleife (36) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that around the at least one coil ( 34 ) of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) at least one track loop ( 36 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abgleichswiderstand (38) in Reihe mit der mindestens einen Leiterbahnschleife (36) geschaltet ist.Inductive proximity sensor according to claim 8, characterized in that a balancing resistor ( 38 ) in series with the at least one track loop ( 36 ) is switched. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Spule (42) der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) teilweise abgedeckt und/oder abgeschirmt ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one coil ( 42 ) of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is partially covered and / or shielded. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß an einem Träger (40) für die mindestens eine Spule (42) eine Metallschicht (46) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to claim 10, characterized in that on a support ( 40 ) for the at least one coil ( 42 ) a metal layer ( 46 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine Abdeckung (47) oder Abschirmung (47) verschieblich ist.Inductive proximity sensor according to claim 10 or 11, characterized in that a cover ( 47 ) or shielding ( 47 ) is displaceable. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) in einer Differenzschaltung angeordnet sind und/oder eine Differenzauswertung von Signalen der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) und der Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) erfolgt.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are arranged in a differential circuit and / or a differential evaluation of signals of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) and the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) he follows. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14, 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) in einer Brückenschaltung angeordnet sind.Inductive proximity sensor according to Claim 13, characterized in that the sensor coil device ( 14 . 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are arranged in a bridge circuit. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Umgebungseinrichtung Teil des Näherungssensors ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized that the metallic environmental device is part of the proximity sensor. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Umgebungseinrichtung an einem Gehäuse angeordnet ist oder einen Teil des Gehäuses bildet.Inductive proximity sensor according to claim 15, characterized in that the environmental device on a housing is arranged or forms part of the housing. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Umgebungseinrichtung (32; 80a, 80b; 114) eine Montagebasis für den Näherungssensor bildet.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the metallic environmental device ( 32 ; 80a . 80b ; 114 ) forms a mounting base for the proximity sensor. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) beabstandet zueinander sind.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are spaced from each other. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14) und die Referenzspuleneinrichtung (24; 58) parallel beabstandet sind.Inductive proximity sensor according to Claim 18, characterized in that the sensor coil device ( 14 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ) are spaced parallel. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (82; 94) und die Referenzspuleneinrichtung (86) oder eine oder mehrere Spulen (104, 106, 107) der Referenzspuleneinrichtung (102) in einem Winkel zueinander angeordnet sind.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor coil device ( 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 86 ) or one or more coils ( 104 . 106 . 107 ) of the reference coil device ( 102 ) are arranged at an angle to each other. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung (86) in einem Winkel zu einer Montageseite (72; 74) des Näherungssensors angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one coil of the reference coil device ( 86 ) at an angle to a mounting side ( 72 ; 74 ) of the proximity sensor is arranged. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 20 oder 21, gekennzeichnet durch mindestens zwei Montageseiten (72, 74).Inductive proximity sensor according to claim 20 or 21, characterized by at least two mounting sides ( 72 . 74 ). Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) bezogen auf eine aktive Sensorfläche (20; 68; 96) hinter der Sensorspuleneinrichtung (14; 82) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) relative to an active sensor surface ( 20 ; 68 ; 96 ) behind the sensor coil device ( 14 ; 82 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (14; 82) bezogen auf eine Montageseite (22; 72; 74; 108; 110; 111) des Näherungssensors vor der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor coil device ( 14 ; 82 ) relative to a mounting side ( 22 ; 72 ; 74 ; 108 ; 110 ; 111 ) of the proximity sensor in front of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorspuleneinrichtung (94) seitlich zu der Referenzspuleneinrichtung (102) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of Claims 1 to 24, characterized in that the sensor coil device ( 94 ) laterally to the reference coil device ( 102 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (24) mindestens teilweise zwischen einem Schaltungsträger (28) und der Sensorspuleneinrichtung (14) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the reference coil device ( 24 ) at least partially between a circuit carrier ( 28 ) and the sensor coil device ( 14 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (58) mindestens teilweise auf einem Schaltungsträger (60) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the reference coil device ( 58 ) at least partially on a circuit carrier ( 60 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (58; 102) eine Mehrzahl von Spulen (62a, 62b, 62c; 104, 106, 107) umfaßt.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the reference coil device ( 58 ; 102 ) a plurality of coils ( 62a . 62b . 62c ; 104 . 106 . 107 ). Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Spulen (62a, 62b, 62c) in einer Ebene angeordnet sind.Inductive proximity sensor according to Claim 28, characterized in that a plurality of coils ( 62a . 62b . 62c ) are arranged in a plane. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 28 oder 29, dadurch gekennzeichnet, daß Spulen (104, 106, 107) in unterschiedlichen Ebenen angeordnet sind.Inductive proximity sensor according to claim 28 or 29, characterized in that coils ( 104 . 106 . 107 ) are arranged in different levels. Induktiver Näherungssensor nach einem der Ansprüche 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß Spulen (62a, 62b, 62c; 104, 106) der Referenzspuleneinrichtung in Reihe geschaltet sind.Inductive proximity sensor according to one of Claims 28 to 30, characterized in that coils ( 62a . 62b . 62c ; 104 . 106 ) of the reference coil device are connected in series. Induktiver Näherungssensor nach einem der Ansprüche 27 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß Spulen (104; 106; 107) der Referenzspuleneinrichtung (102) zu unterschiedlichen Seiten (108; 110; 111) des Näherungssensors ausgerichtet sind.Inductive proximity sensor according to one of Claims 27 to 31, characterized in that coils ( 104 ; 106 ; 107 ) of the reference coil device ( 102 ) to different pages ( 108 ; 110 ; 111 ) of the proximity sensor are aligned. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung (24) mit ihrer Windungsachse im wesentlichen parallel zu einer Sensorachse (26) angeordnet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one coil of the reference coil device ( 24 ) with its winding axis substantially parallel to a sensor axis ( 26 ) is arranged. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Spule der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) eine Flachspule ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one coil of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is a flat coil. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gehäuse (12) quaderförmig ausgebildet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that a housing ( 12 ) is cuboid. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gehäuse (12) nichtabschirmend ausgebildet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that a housing ( 12 ) is formed nichtabschirmend. Induktiver Näherungssensor nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (12) aus einem Kunststoffmaterial hergestellt ist.Inductive proximity sensor according to claim 36, characterized in that the housing ( 12 ) is made of a plastic material. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bedämpfungsbeeinflussung der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) extern einstellbar ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the damping influence of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is externally adjustable. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Position der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) in einem Gehäuse (12) einstellbar ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the position of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) in a housing ( 12 ) is adjustable. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die magnetischen Eigenschaften der mindestens einen Spule der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) über die Einstellung einer Position eines Spulenkerns einstellbar sind.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic properties of the at least one coil of the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) are adjustable over the adjustment of a position of a spool core. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Ausbildung, bei der das Detektionsergebnis mindestens bezogen auf einen bestimmten Schaltabstand oder einen bestimmten Schaltabstandsbereich unabhängig vom Material des metallischen Targets ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized by a Training in which the detection result at least based on a certain switching distance or a certain switching distance range independent of Material of the metallic target is. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Schwingkreis, welcher durch Annäherung des Targets (18; 84; 98) beeinflußbar ist, mittels der Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94) und der Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) gebildet ist.Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that at least one resonant circuit, which by approaching the target ( 18 ; 84 ; 98 ) is influenced, by means of the sensor coil means ( 14 ; 82 ; 94 ) and the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) is formed. Induktiver Näherungssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzspuleneinrichtung (24; 58; 86; 102) eine kleinere Spulenfläche aufweist als die Sensorspuleneinrichtung (14; 82; 94).Inductive proximity sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the reference coil device ( 24 ; 58 ; 86 ; 102 ) has a smaller coil area than the sensor coil device ( 14 ; 82 ; 94 ). Verfahren zum Abgleichen eines induktiven Näherungssensors, welcher eine Referenzspuleneinrichtung und eine Sensorspuleneinrichtung umfaßt, wobei diese gegenüber einer metallischen Umgebungseinrichtung nicht abgeschirmt sind, bei dem die Referenzspuleneinrichtung so modifiziert wird oder eine Signalauswertung durch eine Auswerteeinrichtung so eingestellt wird, daß ein unterschiedlicher Bedämpfungseinfluß der Umgebungseinrichtung auf die Sensorspuleneinrichtung und die Referenzspuleneinrichtung bezogen auf ein Sensorausgangssignal im wesentlichen eliminiert ist.Method for adjusting an inductive proximity sensor, which is a reference coil device and a sensor coil device comprises being facing this a metallic environment are not shielded, wherein the reference coil means is modified or one Signal evaluation is set by an evaluation device so the existence different damping effect of the environmental device to the sensor coil means and the reference coil means substantially eliminated based on a sensor output is. Verfahren nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß der Abgleich durchgeführt wird, wenn die Sensorspuleneinrichtung in einer bestimmten Position zur metallischen Umgebungseinrichtung ist.Method according to claim 44, characterized in that that the Adjustment performed when the sensor coil device is in a certain position to the metallic environmental device. Verfahren nach Anspruch 44 oder 45, dadurch gekennzeichnet, daß der Bedämpfungseinfluß auf die Referenzspuleneinrichtung durch Positionierung der Referenzspuleneinrichtung in einem Gehäuse und/oder Einstellung der Induktivität der Referenzspuleneinrichtung und/oder Einstellung der Abdeckung oder Abschirmung einer oder mehrerer Spulen der Referenzspuleneinrichtung erfolgt.A method according to claim 44 or 45, characterized that the Damping effect on the Reference coil device by positioning the reference coil device in a housing and / or adjustment of the inductance of the reference coil device and / or adjustment of the cover or shielding of one or more Coils of the reference coil device takes place.
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