DE102004028381A1 - Differential pressure - Google Patents

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Abstract

Ein Differenzdruckaufnehmer umfasst ein Messwerk mit einer Messzellenkammer, in welcher eine Differenzdruckmesszelle angeordnet ist, welche Differenzdruckmesszelle mit einem ersten mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllten hydraulischen Pfad und einem zweiten mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllten hydraulischen Pfad kommuniziert, wobei der erste hydraulische Pfad mit einer ersten Trennmembran und der zweite hydraulische Pfad mit einer zweiten Trennmembran verschlossen ist und die Trennmembranen mit einem ersten bzw. zweiten Druck beaufschlagbar sind, wobei der Differenzdruckaufnehmer ferner einen Ausgleichskanal zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad und eine Absperrvorrichtung zum Unterbrechen des Ausgleichskanals aufweist.A differential pressure transducer comprises a measuring unit having a measuring cell chamber in which a differential pressure measuring cell is arranged, which differential pressure measuring cell communicates with a first hydraulic path filled with a transfer fluid and a second hydraulic path filled with a transfer fluid, the first hydraulic path having a first separation membrane and the second hydraulic path is closed with a second separation membrane and the separation membranes are acted upon by a first and second pressure, wherein the Differenzdruckaufnehmer further comprises a compensation channel between the first and the second hydraulic path and a shut-off device for interrupting the compensation channel.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Differenzdruckaufnehmer zum Erfassen der Differenz zwischen einem ersten Druck und einem zweiten Druck. Differenzdruckaufnehmer umfassen gewöhnlich ein Messwerk mit einer Messzellenkammer, in welcher eine Differenzdruckmesszelle angeordnet ist, welche Differenzdruckmesszelle mit einem ersten hydraulischen Pfad und einem zweiten hydraulischen Pfad, kommuniziert, wobei der erste hydraulische Pfad mit einer ersten Trennmembran und der zweite hydraulische Pfad mit einer zweiten Trennmembran verschlossen ist, und die Trennmembranen mit dem ersten bzw. zweiten Druck beaufschlagbar sind.The The present invention relates to differential pressure sensors for detection the difference between a first pressure and a second pressure. Differential pressure sensors usually include a measuring unit with a Measuring cell chamber, in which a differential pressure measuring cell arranged is which differential pressure cell with a first hydraulic Path and a second hydraulic path communicates, the first hydraulic path with a first separation membrane and the second hydraulic path is closed with a second separation membrane, and the separation membranes with the first and second pressure acted upon are.

Temperaturschwankungen und die damit einhergehende Volumenausdehnung der Übertragungsflüssigkeit in den beiden hydraulischen Pfaden bewirken temperaturabhängige Auslenkungen der Trennmembranen, welche aufgrund der Trennmembransteifigkeiten, einen Trennmembranfehler bei der Differenzdruckmessung bewirken können. Dies gilt insbesondere dann, wenn die Temperaturfehlerkoeffizienten für den ersten bzw. zweiten hydraulischen Pfad, also das jeweilige Produkt aus Volumen, Wärmeausdehnungskoeffizient, und Membransteifigkeit für den ersten und den zweiten hydraulischen Pfad nicht identisch ist. Es wurden zwar in der Offenlegungsschrift DE 102 34 754 A1 der gleichen Anmelderin Maßnahmen offenbart, wie die Symmetrisierung der fraglichen Produkte grundsätzlich erreicht werden kann, aber aufgrund von Randbedingungen und Toleranzen kann es vorkommen, dass die angestrebte Symmetrisierung als Lösung nicht ohne weiteres realisierbar ist.Temperature fluctuations and the associated volume expansion of the transfer fluid in the two hydraulic paths cause temperature-dependent deflections of the separation membranes, which due to the Trennmembransteifigkeiten, can cause a separation diaphragm error in the differential pressure measurement. This is especially true if the temperature error coefficients for the first and second hydraulic path, ie the respective product of volume, coefficient of thermal expansion, and diaphragm stiffness for the first and the second hydraulic path is not identical. Although there were in the published patent application DE 102 34 754 A1 the same applicant discloses measures how the symmetrization of the products in question can be achieved in principle, but due to boundary conditions and tolerances, it may happen that the desired symmetrization as a solution is not readily feasible.

Die hydraulischen Pfade werden in der Praxis getrennt voneinander befüllt, wobei selbstverständlich das Ziel verfolgt wird, den Messfehler zu minimieren. Dem sind aber aus konstruktiven Randbedingungen und Abweichungen zwischen Ist- und Sollwerten Grenzen gesetzt. Nach dem Abschluss des Befüllens und dem Verschließen der hydraulischen Pfade wird gewöhnlich der Nullpunkt des Differenzdruckaufnehmers festgelegt, indem beide Trennmembranen mit dem gleichen Druck beaufschlagt werden. Es wird gewöhnlich auch die temperaturabhängige Nullpunktverschiebung aufgezeichnet, die sich aufgrund der abweichenden Temperaturfehlerkoeffizienten ergibt. Auf diese Weise kann der Fehler dann elektronisch oder rechnerisch kompensiert werden. Der vorliegenden Erfindung liegt dagegen die Aufgabe zugrunde, den Fehler in seiner Entstehung zu verringern, so dass weniger kompensiert werden muss. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den Differenzdruckaufnehmer gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 1.The hydraulic paths are filled in practice separately from each other, wherein of course that The goal is to minimize the measurement error. But that is from constructive constraints and deviations between actual and set limits. After the completion of filling and closing the hydraulic paths becomes ordinary set the zero point of the differential pressure transducer by both Separating membranes are subjected to the same pressure. It will usually also the temperature-dependent Zero offset recorded due to the deviating Temperature error coefficient results. That way the error can be then be compensated electronically or computationally. The present In contrast, the invention is based on the problem of the error in his Reduce emergence so that less needs to be compensated. The object is achieved by the Differenzdruckaufnehmer according to the independent claim 1.

Der erfindungsgemäße Differenzdruckaufnehmer umfasst ein Messwerk mit einer Messzellenkammer, in welcher eine Differenzdruckmesszelle angeordnet ist, welche Differenzdruckmesszelle mit einem ersten hydraulischen Pfad und einem zweiten hydraulischen Pfad, kommuniziert, wobei der erste hydraulische Pfad mit einer ersten Trennmembran und der zweite hydraulische Pfad mit einer zweiten Trennmembran verschlossen ist, und die Trennmembranen mit einem ersten bzw. zweiten Druck beaufschlagbar sind, wobei der Differenzdruckaufnehmer ferner einen Ausgleichskanal zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad und eine Absperrvorrichtung zum Unterbrechen des Ausgleichskanals aufweist.Of the Differential pressure sensor according to the invention comprises a measuring unit with a measuring cell chamber, in which a Differential pressure measuring cell is arranged, which differential pressure measuring cell with a first hydraulic path and a second hydraulic Path communicates, being the first hydraulic path with a first separation membrane and the second hydraulic path with a second Separation membrane is closed, and the separation membranes with a first and second pressure can be acted upon, wherein the Differenzdruckaufnehmer Further, a compensation channel between the first and the second hydraulic path and a shut-off device for interrupting having the compensation channel.

Der Differenzdruckaufnehmer kann zum kontrollierten Öffnen und Schließen des Ausgleichskanals ein Ventil oder ähnliches aufweisen, beispielsweise ein Nadelventil, eine Madenschraube mit Nadelspitze oder eine Schraube mit einem Schneidring. Sofern der Druckausgleich nur einmal nach der ersten Befüllung der hydraulischen Pfade erfolgen soll, wenn die Befüllung bei geöffnetem Ausgleichskanal erfolgt, dann kann auch eine Verschlusskörper, z.B. eine Kugel, verwendet werden, der beispielsweise mit einer Schraube in eine Presspassung gedrückt wird, wodurch der Verschluss des Ausgleichskanals erfolgt.Of the Differential pressure sensor can be used for controlled opening and closing of the Compensation channels have a valve or the like, for example a needle valve, a needle-headed grub screw or a screw with a cutting ring. If the pressure compensation only once after the first filling The hydraulic paths should be made when filling at open Compensation channel takes place, then a closure body, e.g. a ball, to be used, for example, with a screw pressed into a press fit becomes, whereby the closure of the compensation channel takes place.

Der erfindungsgemäße Druckaufnehmer weist vorzugsweise eine Temperatur T' auf, bei welcher sich die Trennmembranfehler der ersten und der zweiten Trennmembran gegenseitig kompensieren. Die Temperatur T' liegt vorzugsweise in einem Temperaturbereich bei dem mindestens 80% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten, weiter vorzugsweise in einem Temperaturbereich bei dem mindestens 90% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten, und besonders bevorzugt in einem Temperaturbereich bei dem mindestens 95% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten.Of the Pressure transducer according to the invention preferably has a temperature T 'at which the separation membrane defects the first and the second separation membrane compensate each other. The temperature T 'is preferably in a temperature range at least 80% of the maximum separation membrane failure of the first and second separation membranes occur without external pressure difference, more preferably in one Temperature range at least 90% of the maximum separation diaphragm error the first and the second separation membrane without external pressure difference occur, and more preferably in a temperature range at at least 95% of the maximum separation membrane error of the first and the second separation membrane occur without external pressure difference.

Der erfindungsgemäße Druckaufnehmer weist vorzugsweise eine Temperatur T' auf, bei welcher sich die Trennmembranfehler der ersten und der zweiten Trennmembran gegenseitig kompensieren. Die Temperatur T' liegt vorzugsweise in den oberen oder unteren 20% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereiches, weiter bevorzugt in den oberen oder unteren 10% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereiches, und besonders bevorzugt in den oberen oder unteren 5% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereiches.Of the Pressure transducer according to the invention preferably has a temperature T 'at which the separation membrane defects the first and the second separation membrane compensate each other. The temperature T 'is preferably in the upper or lower 20% of that for the differential pressure transducer specified temperature range, more preferably in the upper or lower 10% of the the differential pressure transducer specified temperature range, and more preferably in the upper or lower 5% of that for the differential pressure transducer specified temperature range.

Die beschriebene Lösung bietet den folgenden Vorteil gegenüber dem Stand der Technik. Die hydraulischen Pfade werden bisher getrennt voneinander befüllt, wobei selbstverständlich das Ziel verfolgt wird, den Messfehler zu minimieren. Dem sind aber aus konstruktiven Randbedingungen und Abweichungen zwischen Ist- und Sollwerten Grenzen gesetzt. So können kleinste asymmetrische Befüllungsfehler bereits einen temperaturabhängigen Nullpunktfehler bewirken, der anschließend elektronisch oder rechnerisch zu kompensieren sind. Der Ausgleichskanal bietet nun die Möglichkeit, bei einem identischen externen Druck auf der ersten und der zweiten Trennmembran einen Druckausgleich zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad durchzuführen und damit den Nullpunktfehler zu minimieren.The described solution offers the following advantage over the prior art. The hydraulic paths are previously filled separately, with Of course the goal is to minimize the measurement error. But that is from constructive constraints and deviations between actual and set limits. So can smallest asymmetric filling fault already a temperature-dependent Zero error cause the subsequent electronic or mathematical to compensate. The equalization channel now offers the possibility at an identical external pressure on the first and the second separation membrane a pressure equalization between the first and the second hydraulic Path to perform and thus to minimize the zero error.

Die mit dem Erfindungsgemäßen Druckaufnehmer erzielte Verbesserung lässt sich folgendermaßen abschätzen. Unterstellt man, dass beispielsweise der erste hydraulische Pfad mit einem konstruktionsgemäß vorgesehenen Volumen V1 und der zweite hydraulische Pfad mit einem konstruktionsgemäß vorgesehenen Volumen V2 bei einer Befüllungstemperatur T jeweils mit Masse m1 bzw. m2 Übertragungsflüssigkeit mit einem Ausdehnungskoeffizienten α sei bei einer Befüllungstemperatur T, bei welcher die ρ gegeben ist, befüllt worden. Unter der Annahme eines linearen Zusammenhangs zwischen der Volumenausdenkung der Trennmembran und dem damit verbundenen Trennmembranfehler dp lässt sich eine membranspezifische Konstante für die Steifigkeit angeben. Die Steifigkeit der Trennmembranen sei σ1 bzw. σ2. Die Befüllung der hydraulischen Pfade sei so erfolgt, dass bei T keinerlei Auslenkung der Trennmembranen erfolgt und der Trennmembranfehler dp bei der Temperatur T damit praktisch verschwindet (dp=0). Eine Erhöhung der Temperatur um einen Wert dT gegenüber der Fülltemperatur führt jedoch aufgrund der Volumenausdehnung der Übertragungsflüssigkeit zu einem Trennmembranfehler.The improvement achieved with the pressure transducer according to the invention can be estimated as follows. Assuming that, for example, the first hydraulic path with a volume V 1 provided according to the design and the second hydraulic path with a volume V 2 provided according to design at a filling temperature T with mass m 1 and m 2, respectively, be transfer fluid with an expansion coefficient α at a filling temperature T, at which the ρ is given, has been filled. Assuming a linear relationship between the volumetric coverage of the separation membrane and the associated separation membrane error dp, a membrane-specific constant for stiffness can be given. The rigidity of the separation membranes is σ 1 or σ 2 . The filling of the hydraulic paths was carried out so that at T no deflection of the separation membranes takes place and the separation membrane error dp at the temperature T thus virtually disappears (dp = 0). However, increasing the temperature by a value of dT from the filling temperature results in a separation membrane failure due to the volume expansion of the transfer liquid.

Der jeweilige temperaturabhängige Trennmembranfehler dp(dT) beträgt:

Figure 00040001
The respective temperature-dependent separation membrane error dp (dT) is:
Figure 00040001

Für den Nullpunktfehler Δp(dT) des Differenzdrucks gilt:

Figure 00040002
For the zero point error Δp (dT) of the differential pressure, the following applies:
Figure 00040002

Daraus folgt unter der Annahme dass m1+m2 = m, wobei m die Gesamtmasse der eingefüllten Übertragungsflüssigkeit ist, und V1+V2 = V, wobei V das Gesamtvolumen des ersten und hydraulischen Pfades zusammen ausmacht:

Figure 00050001
From this, it follows that m 1 + m 2 = m, where m is the total mass of the transfer fluid filled, and V 1 + V 2 = V, where V is the total volume of the first and hydraulic path together:
Figure 00050001

Fordert man, dass der Nullpunktfehler für alle dT verschwinden soll, so gilt:

Figure 00050002
If one demands that the zero-point error should disappear for all dT, the following applies:
Figure 00050002

Dies entspricht der Symmetrisierung der Produkte, gemäß der Offenlegungsschrift DE 102 34 754 A1 , für den Fall identischer Füllflüssigkeitsparameter in dem ersten und zweiten hydraulischen Pfad. Wie an den Gleichungen IIa und IIb ersichtlich, muss die Füllflüssigkeitsverteilung auf die beiden hydraulischen Pfade exakt das gleiche Verhältnis aufweisen, wie das Volumenverhältnis der beiden hydraulischen Pfade, wobei sich das Verteilungsverhältnis aus dem Verhältnis der Membransteifigkeiten ergibt.This corresponds to the symmetrization of the products, according to the published patent application DE 102 34 754 A1 in the case of identical fill liquid parameters in the first and second hydraulic paths. As can be seen from equations IIa and IIb, the filling liquid distribution on the two hydraulic paths must have exactly the same ratio as the volume ratio of the two hydraulic paths, the distribution ratio resulting from the ratio of the membrane stiffnesses.

Die vollständige Symmetrisierung ist sehr aufwendig, dagegen ermöglicht die vorliegende Erfindung eine relative Minimierung des Nullpunktfehlers und des Temperaturkoeffizienten Tk des Nullpunktfehlers. Dies erfolgt durch einen Druckausgleich bei einer ausgewählten Temperatur, beispielsweise der Temperatur der maximalen Trennmembranfehler dp(dT).The complete symmetrization is very expensive, however, the present invention allows a relative minimization of the zero error and the temperature coefficient T k of the zero error. This is done by pressure equalization at a selected temperature, for example the temperature of the maximum separation membrane errors dp (dT).

Eine Freigabe des Ausgleichskanals bei einer Temperatur dTAusgleich bewirkt eine Verschiebung des Übertragungsfluids, bis der Nullpunktfehler bei dTAusgleich verschwindet. Ein anschließendes Blockieren des Ausgleichskanals fixiert die erzielte Verteilung des Übertragungsfluids.A release of the compensation channel at a temperature dT compensation causes a shift of the transmission fluid until the zero error disappears at dT compensation . Subsequent blocking of the compensation channel fixes the achieved distribution of the transfer fluid.

Seien beispielsweise die folgenden konstruktiven Randbedingungen gegeben V1=V2= V/2, dann bewirkt der Ausgleich bei dTAusgleich eine Massenverschiebung der Übertragungsflüssigkeit zwischen dem ersten und dem zweiten Volumen, so dass gilt:

Figure 00060001
For example, given the following constructional boundary conditions given V 1 = V 2 = V / 2, then the compensation at dT compensation causes a mass shift of the transfer fluid between the first and second volumes, so that
Figure 00060001

Der Temperaturkoeffizient Tk des Nullpunktfehlers erhält damit die Form:

Figure 00060002
The temperature coefficient T k of the zero error is thus given the form:
Figure 00060002

Dieser Ausdruck zeigt, dass der Temperaturkoeffizient des Nullpunktfehlers um so geringer ist, je höher die Ausgleichstemperatur dTAusgleich war, bei welcher ein Druckausgleich zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad durch den Ausgleichskanal erfolgte, bevor letzterer verschlossen wurde.This expression shows that the higher the compensation temperature dT compensation was, the lower the temperature coefficient of the zero error was, at which a pressure equalization between the first and the second hydraulic path through the compensation channel took place, before the latter was closed.

Wie eingangs erwähnt, geht die obige Abschätzung von konstanten Membransteifigkeiten aus. In den meisten realen Systemen ist diese Annahme jedoch nur in erster Näherung gültig. Stattdessen nimmt die Membransteifigkeit mit der Auslenkung der Trennmembran zu. Dies führt zu einer Abhängigkeit höherer Ordnung des Nullpunktfehlers von der Temperatur. Es ist offensichtlich dass der Vorteil eines Druckausgleichs bei erhöhter Temperatur für Systeme mit Abhängigkeiten höherer Ordnung zwischen Nullpunktfehler und Temperatur noch ausgeprägter ist.As mentioned in the beginning, go the above estimate of constant membrane stiffness. In most real systems However, this assumption is only valid as a first approximation. Instead, that takes Membrane stiffness with the deflection of the separation membrane too. This leads to a dependency higher Order of zero error from the temperature. It is obvious that the advantage of pressure compensation at elevated temperature for systems with dependencies higher Order between zero error and temperature is more pronounced.

Im Ergebnis ist dann der verbleibende rechnerisch oder elektronisch zu kompensierende Nullpunktfehler deutlich verringert.in the Result is then the remaining arithmetically or electronically significantly reduced zero error to be compensated.

Zudem erlaubt es die Erfindung bei der Fertigung der hydraulischen Pfade mit größeren Toleranzen zu arbeiten, denn Asymmetrien aufgrund von größeren kontrollierten Fertigungstoleranzen werden nach der Befüllung ohne weiteres durch den Druckausgleich zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad kompensiert. Auf diese Weise lassen sich Fertigungskosten erheblich reduzieren.moreover allows the invention in the manufacture of hydraulic paths with larger tolerances too work because asymmetries due to larger controlled manufacturing tolerances be after filling easily by the pressure equalization between the first and the compensated second hydraulic path. That way you can Significantly reduce manufacturing costs.

In der obigen Abschätzung war der Einfachheit halber davon ausgegangen worden, dass nach der ursprünglichen Befüllung der hydraulischen Pfade mit Übertragungsflüssigkeit bei der Befüllungstemperatur jeweils ein Membranfehler von Null vorliegt. Darauf kommt es selbstverständlich beim erfindungsgemäßen Differenzdruckaufnehmer nicht an, denn die endgültige Verteilung der Übertragungsflüssigkeit zwischen den Volumina der hydraulischen Pfade stellt sich erst nach dem Druckausgleich über den Ausgleichskanal ein.In the above estimate For the sake of simplicity, it had been assumed that after the original filling the hydraulic paths with transmission fluid at the filling temperature in each case there is a zero membrane error. Of course, that's what comes with it Differential pressure sensor according to the invention not on, because the final one Distribution of the transfer fluid between the volumes of the hydraulic paths is only after the pressure equalization over the equalization channel.

Nach einem weiteren Gesichtspunkt kann die Gesamtmenge der Übertragungsflüssigkeit so gewählt werden, dass die temperaturabhängige Auslenkungen der beiden Trennmembranen so abgestimmt sind, dass die Funktion des Nullpunktfehlers über der Temperatur in dem für den Differenzdruckaufnehmer definierten Temperaturbereich hinreichend genau als Funktion zweiter Ordnung beschrieben werden kann, oder dass die Ableitung des Nullpunktfehlers nach der Temperatur in dem für den Differenzdruckaufnehmer definierten Temperaturbereich eine vorzugsweise monotone Funktion ist.To In another aspect, the total amount of the transfer fluid to be chosen that the temperature-dependent Deflections of the two separation membranes are tuned so that the Function of zero error over the temperature in the for the differential pressure sensor defined temperature range sufficient can be described exactly as a function of second order, or that the derivative of the zero point error according to the temperature in the for the Differential pressure sensor defined temperature range one preferably monotonous function is.

Hierzu ist in einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Differenzdruckaufnehmers die Gesamtmenge der Übertragungsflüssigkeit so auf die Volumina des ersten und zweiten hydraulischen Pfades abgestimmt, dass bei einem Druckausgleich über den Ausgleichskanal bei einer Nulllagenausgleichstemperatur nicht nur der Nullpunktfehler verschwinden würde sondern auch die individuellen Auslenkungen bzw. Trennmembranfehler der ersten und der zweiten Trennmembran vernachlässigbar klein bzw. verschwinden würden. Die Nulllagenausgleichstemperatur liegt in den oberen oder unteren 5% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs, weiter bevorzugt in den oberen oder unteren 2% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs und besonders bevorzugt außerhalb des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs. Der tatsächliche Druckausgleich über den Ausgleichskanal erfolgt jedoch bei einer tatsächlichen Ausgleichstemperatur, die in einem von der Nulllagenausgleichstemperatur abgewandten Endabschnitt des Temperaturbereichs liegt. Der Differenzdruckaufnehmer weist daher eine Verteilung der Übertragungsflüssigkeit zwischen dem ersten und zweiten hydraulischen Pfad auf, die sich bei einem Druckausgleich über den Ausgleichskanal bei einer effektiven Ausgleichstemperatur ergibt, die in einem von der Nulllagenausgleichstemperatur abgewandten Endabschnitt des Temperaturbereichs liegt.For this purpose, in a presently preferred embodiment of the differential pressure sensor according to the invention, the total amount of transmission fluid is matched to the volumes of the first and second hydraulic path that would disappear at a pressure equalization over the equalization channel at a zero position compensation temperature not only the zero error but also the individual deflections or separation diaphragm error the first and the second separation membrane would be negligibly small or disappear. The zero balance temperature is in the upper or lower 5% of the temperature range specified for the differential pressure transducer, more preferably in the upper or lower 2% of the temperature range specified for the differential pressure transducer, and most preferably outside the temperature range specified for the differential pressure transducer. The actual pressure equalization via the compensation channel, however, takes place at an actual compensation temperature, which lies in an end portion of the temperature range facing away from the zero position compensation temperature. The differential pressure transducer therefore has a distribution of the transmission fluid between the first and second hydrauli rule, which results in a pressure equalization via the compensation channel at an effective compensation temperature, which is located in an end portion of the temperature range facing away from the zero position compensation temperature.

Die Erfindung wird nun anhand eines Ausführungsbeispiels in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:The Invention will now be described with reference to an embodiment in the figures illustrated embodiment explained. It shows:

1: ein Diagramm mit den Trennmembranfehlern eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur bei Raumtemperatur mit und ohne Druckausgleich als Funktion der Temperatur; 1 FIG. 2 is a graph of the separation diaphragm errors of a differential pressure transducer with zero-settling temperature at room temperature with and without pressure compensation as a function of temperature; FIG.

2: ein Diagramm mit dem Nullpunktfehler eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur bei Raumtemperatur mit und ohne Druckausgleich als Funktion der Temperatur; 2 a graph showing the zero-point error of a differential pressure transducer with a zero-point compensation temperature at room temperature with and without pressure compensation as a function of temperature;

3: ein Diagramm mit den Trennmembranfehlern eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur am unteren Rand des Messbereichs mit und ohne Druckausgleich am oberen Rand des Messbereichs als Funktion der Temperatur; 3 a graph showing the separation diaphragm errors of a differential pressure sensor with a zero point compensation temperature at the bottom of the measuring range with and without pressure equalization at the upper edge of the measuring range as a function of temperature;

4: ein Diagramm mit dem Nullpunktfehler eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur am unteren Rand des Messbereichs mit und ohne Druckausgleich am oberen Rand des Messbereichs als Funktion der Temperatur; 4 : a graph showing the zero point error of a differential pressure sensor with a zero position compensation temperature at the lower edge of the measuring range with and without pressure equalization at the upper edge of the measuring range as a function of temperature;

5: ein Diagramm mit den Trennmembranfehlern eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur am oberen Rand des Messbereichs mit und ohne Druckausgleich am unteren Rand des Messbereichs als Funktion der Temperatur; 5 FIG. 2 is a graph showing the separation diaphragm errors of a differential pressure sensor with a zero balance temperature at the top of the measurement range with and without pressure equalization at the bottom of the measurement range as a function of temperature; FIG.

6: ein Diagramm mit dem Nullpunktfehler eines Differenzdruckaufnehmers mit einer Nulllagenausgleichstemperatur am oberen Rand des Messbereichs mit und ohne Druckausgleich am unteren Rand des Messbereichs als Funktion der Temperatur; und 6 : a graph showing the zero point error of a differential pressure sensor with a zero position compensation temperature at the upper edge of the measuring range with and without pressure compensation at the lower edge of the measuring range as a function of temperature; and

7: eine schematische Schnittzeichnung durch einen erfindungsgemäßen Differenzdruckaufnehmer. 7 : A schematic sectional view through a differential pressure sensor according to the invention.

Der in 7 gezeigte erfindungsgemäße Differenzdruckaufnehmer umfasst einen im wesentlichen zylindrischen metallischen Grundkörper 1 mit einer ersten Stirnfläche 2 und einer zweiten Stirnfläche 3. An der ersten Stirnfläche ist eine erste Trennmembran 4 unter Bildung einer ersten Membrankammer zwischen der ersten Trennmembran 4 und der ersten Stirnfläche 2 druckdicht befestigt. Zwischen der ersten Membrankammer und einer ersten Seite einer Differenzdruckmesszelle 10, welche in dem Grundkörper angeordnet ist, erstreckt sich ein erster hydraulischer Pfad 6, über den die Differenzdruckmesszelle 10 mit dem in der ersten Membrankammer vorherrschenden ersten Druck beaufschlagbar ist. Entsprechend ist an der zweiten Stirnfläche 3 eine zweite Trennmembran 5 unter Bildung einer zweiten Membrankammer zwischen der zweiten Trennmembran 5 und der zweiten Stirnfläche 3 druckdicht befestigt. Zwischen der zweiten Membrankammer und einer zweiten Seite der Differenzdruckmesszelle 10, welche in dem Grundkörper angeordnet ist, erstreckt sich ein zweiter hydraulischer Pfad 7, über den die Differenzdruckmesszelle 10 mit dem in der zweiten Membrankammer vorherrschenden zweiten Druck beaufschlagbar ist. Das Signal der Differenzdruckmesszelle 10 ist abhängig von der Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck.The in 7 Differential pressure sensor according to the invention shown comprises a substantially cylindrical metallic body 1 with a first end face 2 and a second end face 3 , At the first end face is a first separation membrane 4 forming a first membrane chamber between the first separation membrane 4 and the first end face 2 attached pressure-tight. Between the first diaphragm chamber and a first side of a differential pressure cell 10 , which is arranged in the base body, extends a first hydraulic path 6 , via which the differential pressure measuring cell 10 can be acted upon by the prevailing in the first diaphragm chamber first pressure. Accordingly, at the second end face 3 a second separation membrane 5 forming a second membrane chamber between the second separation membrane 5 and the second end face 3 attached pressure-tight. Between the second diaphragm chamber and a second side of the differential pressure measuring cell 10 , which is arranged in the base body, a second hydraulic path extends 7 , via which the differential pressure measuring cell 10 with the prevailing in the second diaphragm chamber second pressure can be acted upon. The signal of the differential pressure measuring cell 10 depends on the difference between the first pressure and the second pressure.

In der ersten und der zweiten Stirnfläche 2, 3 des Grundkörpers 1 können Membranbetten ausgebildet sein, die hier nicht im Detail dargestellt sind. Die Tiefe der Membranbetten hängt u.a. von der zu erwartenden Auslenkung der Trennmembranen im Messbetrieb ab. Soll die Nulllagenausgleichstemperatur bei der minimalen Betriebstemperatur des Differenzdruckaufnehmers liegen, so ist keine temperaturbedingte Auslenkung der Trennmembranen in Richtung der Membranbetten zu erwarten. Entsprechend flach können die Membranbetten bei dieser Varianten gewählt sein. Wenn die Nulllagenausgleichstemperatur bei der maximalen Betriebstemperatur liegen soll, dann ist es vorteilhaft entsprechend tiefere Membranbetten vorzusehen, da die temperaturabhängigen Auslenkungen der Trennmembranen in Richtung der Membranbetten erfolgt.In the first and second faces 2 . 3 of the basic body 1 membrane beds can be formed, which are not shown here in detail. The depth of the membrane beds depends inter alia on the expected deflection of the separation membranes in measuring operation. If the zero-position compensation temperature is to be at the minimum operating temperature of the differential pressure sensor, then no temperature-induced deflection of the separating membranes in the direction of the membrane beds is to be expected. According flat, the membrane beds can be selected in these variants. If the zero-position compensation temperature should be at the maximum operating temperature, then it is advantageous to provide correspondingly deeper membrane beds, since the temperature-dependent deflections of the separation membranes takes place in the direction of the membrane beds.

In jedem Fall ist zu gewährleisten, dass die Trennmembranen nicht schon aufgrund von Temperaturänderungen zur Anlage am Membranbett kommen, da auf diese Weise die Druckübertragung zum Differenzdruckmesszelle unterbrochen wäre.In every case has to be ensured that the separation membranes are not already due to temperature changes come to rest on the membrane bed, as in this way the pressure transmission to the differential pressure cell would be interrupted.

Zwischen dem ersten hydraulischen Pfad 6 und dem zweiten hydraulischen Pfad 7 erstreckt sich ein Ausgleichskanal 12, welcher mit einer Verschlussschraube 11 druckdicht verschließbar ist. Der Ausgleichskanal 12 kann beispielsweise mit Abschnitten des ersten und/oder zweiten hydraulischen Pfades 6, 7 In einem Fertigungsschritt als durchgehende Bohrung gefertigt werden. Grundsätzlich sind aber hinsichtlich des Verlaufs des Ausgleichskanals und dessen Herstellung keinerlei Beschränkungen gegeben. Es ist lediglich erforderlich, dass er eine Kommunikation zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad ermöglicht, die durch ein geeignetes Absperrelement, beispielsweise eine Verschlussschraube, unterbrochen werden kann.Between the first hydraulic path 6 and the second hydraulic path 7 extends a compensation channel 12 , which with a locking screw 11 pressure-tight sealable. The equalization channel 12 For example, with sections of the first and / or second hydraulic path 6 . 7 Made in one production step as a through hole. Basically, however, there are no restrictions with regard to the course of the compensation channel and its production. It is only necessary that it allows communication between the first and the second hydraulic path, which can be interrupted by a suitable shut-off, such as a screw plug.

Der erste und der zweite hydraulische Pfad 6, 7 weisen jeweils einen ersten bzw. zweiten Füllkanal 8, 9 auf, die sich zur Mantelfläche des Grundkörpers 1 erstrecken. Über die Füllkanäle 8, 9 sind die hydraulischen Pfade mit einer Übertragungsflüssigkeit befüllbar. Die Füllkanäle weisen dem Fachmann geläufige, geeignete Verschlussmittel auf, mit denen die Füllkanäle nach der Befüllung druckdicht abgeschlossen werden.The first and the second hydraulic path 6 . 7 each have a first and second filling channel 8th . 9 on, extending to the lateral surface of the body 1 extend. About the filling channels 8th . 9 the hydraulic paths can be filled with a transfer fluid. The filling channels have the skilled person, suitable closure means with which the filling channels are completed pressure-tight after filling.

Ggf. kann der Differenzdruckaufnehmer zudem eine Überlastkammer mit einer Überlastmembran aufweisen, wobei die Überlastmembran die Überlastkammer teilt und jeweils ein Teil der Überlastkammer mit dem ersten bzw. zweiten hydraulischen Pfad kommuniziert. Im Falle einer Differenzdrucküberlast wird die Überlastmembran ausgelenkt und die Überlastkammer nimmt das Volumen aus der hochdruckseitigen Membrankammer auf, bis die Trennmembran zur Anlage kommt, wodurch ein weiterer Druckanstieg verhindert ist. Einzelheiten hierzu sind dem Fachmann bekannt und müssen hier nicht vertieft werden.Possibly. In addition, the differential pressure transducer can be an overload chamber with an overload diaphragm have, wherein the overload membrane the overload chamber divides and a part of the overload chamber communicates with the first and second hydraulic path, respectively. in the Case of a differential pressure overload becomes the overload membrane deflected and the overload chamber takes up the volume from the high-pressure side diaphragm chamber until the separation membrane comes to rest, causing a further increase in pressure is prevented. Details of this are known in the art and have to not to be deepened here.

Hinsichtlich der Wahl der Differenzdruckmesszelle sind keine Beschränkungen gegebnen. Sie kann nach allen gängigen Messprinzipien arbeiten, beispielsweise resistiv, insbesondere piezoresistiv oder mit Dehnungsmessstreifen, kapazitiv mit Einkammer- oder Zweikammer-Messzellen oder nach einem Resonanzverfahren.Regarding the choice of differential pressure measuring cell are no restrictions gegebnen. It can after all common Measuring principles work, for example resistive, in particular piezoresistive or with strain gauges, capacitive with single-chamber or dual-chamber cells or after a resonance procedure.

Die Auswirkung des Druckausgleichs in dem erfindungsgemäßen Differenzdruckaufnehmer soll nun anhand der 1 bis 6 erläutert werden. 1, 3 und 5 zeigen jeweils die individuellen Trennmembranfehler der beiden Trennmembranen eines Differenzdruckaufnehmers für verschiedene Füllmengen bzw. Nulllagenausgleichstemperaturen. Hierbei stellen die Quadrate und Rauten stets die Trennmembranfehler ohne nachträglichen Druckausgleich dar, während die x-Smbole und +-Symbole die entsprechenden Trennmembranfehler nach erfolgtem Druckausgleich bei ausgelenkten Trennmembranen angeben.The effect of pressure equalization in the differential pressure transducer according to the invention will now be described on the basis of 1 to 6 be explained. 1 . 3 and 5 each show the individual separation membrane errors of the two separation membranes of a differential pressure transducer for different filling quantities or zero position compensation temperatures. Here, the squares and diamonds always represent the Trennmembranfehler without subsequent pressure equalization, while the x-Smbole and + symbols indicate the corresponding separation membrane errors after pressure equalization with deflected separation membranes.

Die entsprechenden Nullpunktfehler sind jeweils den Figuren mit dem nächst höheren Zähler zu entnehmen, also den 2, 4 und 6, wobei die Dreiecke den Nullpunktfehler ohne Druckausgleich und die *-Symbole den Nullpunktfehler nach erfolgten Druckausgleich bei ausgelenkten Trennmembranen zeigen.The corresponding zero point errors are to be taken in each case from the figures with the next higher counter, that is the 2 . 4 and 6 , where the triangles show the zero-point error without pressure compensation and the * symbols show the zero-point error after pressure equalization has been performed on deflected separating membranes.

Das Beispiel der 1 und 2 betrifft eine Befüllung mit einer Füllmenge die einer Nulllagenausgleichstemperatur von etwa Raumtemperatur entspricht. D.h., beide hydraulischen Pfade wurden bei Raumtemperatur mit einer solchen Füllmenge befüllt, dass die Trennmembranen nicht ausgelenkt wurden, dementsprechend verschwand der Trennmembranfehler für beide Trennmembranen bei Raumtemperatur. Die Trennmembranen zeigen ansonsten eine Abhängigkeit zweiter Ordnung von der Temperatur der Übertragungsflüssigkeit. Der Nullpunktfehler ohne Druckausgleich der eine Differenz zweier dieser Kurven ist, hat selbverständlich den gleichen allgemeinen Verlauf. Ein Druckausgleich bei erhöhter Temperatur, hier etwa 125°C, bewirkt eine erhebliche Verringerung des Nullpunktfehlers. Allerdings ist der Verlauf der Steigung der Kurve nicht mehr monoton, und die mathematische Modellierung zur rechnerischen Kompensation des verbleibenden Nullpunktfehlers erfordert einen gewissen Aufwand.The example of 1 and 2 relates to a filling with a filling amount that corresponds to a zero position compensation temperature of about room temperature. That is, both hydraulic paths were filled at room temperature with such a capacity that the separation membranes were not deflected, accordingly, the separation membrane failure for both separation membranes disappeared at room temperature. The separation membranes otherwise show a second-order dependence on the temperature of the transfer liquid. The zero-point error without pressure equalization, which is a difference between two of these curves, obviously has the same general course. A pressure compensation at elevated temperature, here about 125 ° C, causes a significant reduction in the zero error. However, the course of the slope of the curve is no longer monotone, and the mathematical modeling for computational compensation of the remaining zero error requires a certain effort.

Das Ausführungsbeispiel in 3 und 4 vermeidet diese Schwierigkeit, indem die Füllmenge an Übertragungsflüssigkeit auf eine Nulllagenausgleichstemperatur von etwa –20°C abgestimmt ist, welches der unteren Grenze des angestrebten Messbereichs entspricht. Ein Druckausgleich bei etwa 125°C bewirkt dann erstens eine erhebliche Verminderung des Nullpunktfehlers und zweitens einen einfacher modellierbaren Verlauf des Nullpunktfehlers über den gesamten Messbereich.The embodiment in 3 and 4 avoids this difficulty by the filling amount of transmission fluid is tuned to a zero-position compensation temperature of about -20 ° C, which corresponds to the lower limit of the desired measurement range. A pressure equalization at about 125 ° C then causes firstly a significant reduction of the zero error and secondly a simple modelable course of the zero point error over the entire measuring range.

Das Ausführungsbeispiel in 5 und 6 greift den Lösungsansatz des vorigen Ausführungsbeispiels auf und modifiziert ihn, indem die Füllmenge an Übertragungsflüssigkeit auf eine Nulllagenausgleichstemperatur von etwa 100°C abgestimmt ist, welches der oberen Grenze des angestrebten Messbereichs entspricht. Ein Druckausgleich an der unteren Grenze des Messbereichs bei etwa 0°C bewirkt wie zuvor eine erhebliche Verminderung des Nullpunktfehlers sowie einen gutmütigeren Verlauf des Nullpunktfehlers über den gesamten Messbereich.The embodiment in 5 and 6 takes up the solution approach of the previous embodiment and modifies it by the filling amount of transmission fluid is tuned to a zero position compensation temperature of about 100 ° C, which corresponds to the upper limit of the desired measurement range. A pressure equalization at the lower limit of the measuring range at about 0 ° C causes as before a significant reduction in the zero error as well as a more benevolent course of the zero point error over the entire measuring range.

Wenn also ein gut modellierbarer Verlauf für einen reduzierten Nullpunktfehler angestrebt wird, dann ist im Ergebnis die Befüllmenge auf eine Nulllagenausgleichtemperatur an einer ersten Grenze oder nahe der ersten Grenze außerhalb des angestrebten Messbereichs des Differenzdruckaufnehmers abzustimmen, und der Druckausgleich ist anschließend bei einer Temperatur an oder nahe der zweiten Grenze innerhalb oder außerhalb des Messbereichs durchzuführen. Nahe einer Grenze bedeutet beispielsweise nicht mehr als 15 % des Messbereichs von der Grenze entfernt, vorzugsweise nicht mehr als 10% des Messbereichs von der Grenze entfernt und besonders bevorzugt nicht mehr als 5% des Messbereichs von der Grenze entfernt. Der Begriff Messbereich bezieht sich hier auf den für den Differenzdruckaufnehmer im Messbetrieb spezifizierten Temperaturbereich.If So a well modelable course for a reduced zero error is sought, then the result is the filling amount to a Nulllagenausgleichtemperatur at a first border or near the first border outside to match the desired measuring range of the differential pressure transducer, and the pressure compensation is then at a temperature or close to the second limit inside or outside the measuring range. Near For example, a limit does not exceed 15% of the measurement range from the limit, preferably not more than 10% of the measuring range from the border, and more preferably not more than 5% of the measuring range from the limit. The term measuring range refers here to the for Temperature range specified by the differential pressure transducer during measuring operation.

Claims (8)

Differenzdruckaufnehmer, umfassend: ein Messwerk mit einer Messzellenkammer, in welcher eine Differenzdruckmesszelle angeordnet ist, welche Differenzdruckmesszelle mit einem ersten mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllten hydraulischen Pfad und einem zweiten mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllten hydraulischen Pfad kommuniziert, wobei der erste hydraulische Pfad mit einer ersten Trennmembran und der zweite hydraulische Pfad mit einer zweiten Trennmembran verschlossen ist, und die Trennmembranen mit einem ersten bzw. zweiten Druck beaufschlagbar sind, wobei der Differenzdruckaufnehmer ferner einen Ausgleichskanal zwischen dem ersten und dem zweiten hydraulischen Pfad und eine Absperrvorrichtung zum Unterbrechen des Ausgleichskanals aufweist.Differential pressure transducer, comprising: one Measuring unit with a measuring cell chamber in which a differential pressure measuring cell is arranged, which differential pressure measuring cell with a first with a transfer fluid filled hydraulic path and a second with a transmission fluid filled hydraulic path communicates, being the first hydraulic path with a first separation membrane and the second hydraulic path with a second separation membrane is closed, and the separation membranes can be acted upon with a first and second pressure, wherein the Differential pressure sensor also has a compensation channel between the first and second hydraulic path and a shut-off device for interrupting the compensation channel. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 1, wobei die Absperrvorrichtung ein Ventil oder, beispielsweise ein Nadelventil, eine Madenschraube mit Nadelspitze oder eine Schraube mit einem Schneidring umfasst.Differential pressure sensor according to claim 1, wherein the Shut-off device a valve or, for example, a needle valve, a grub screw with a needle tip or a screw with a Cutting ring includes. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 1, wobei die Absperrvorrichtung einen Verschlusskörper umfasst, welcher zum Verschließen des Ausgleichskanals mittels einer Sicherungsvorrichtung in eine Presspassung gedrückt ist.Differential pressure sensor according to claim 1, wherein the Shutting off device comprises a closure body, which is used to close the Equalization channel by means of a securing device in a press fit depressed is. Differenzdruckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei sich bei einer Temperatur T' sich die Trennmembranfehler dp der ersten und der zweiten Trennmembran gegenseitig kompensieren, wobei ferner die Temperatur T' in einem Temperaturbereich liegt, bei dem bezogen auf den Messbereich des Differenzdruckaufnehmers, mindestens 80% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten, vorzugsweise in einem Temperaturbereich bei dem mindestens 90% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten, und besonders bevorzugt in einem Temperaturbereich bei dem mindestens 95% des maximalen Trennmembranfehlers der ersten und der zweiten Trennmembran ohne externe Druckdifferenz auftreten.Differential pressure sensor according to one of the preceding Claims, wherein at a temperature T ', the separation membrane error dp of compensate each other first and the second separation membrane, wherein Further, the temperature T 'in a temperature range is, with respect to the measuring range of the differential pressure transducer, at least 80% of the maximum diaphragm separation error the first and the second separation membrane without external pressure difference occur, preferably in a temperature range at least 90% of the maximum separation diaphragm error of the first and the second Separating membrane without external pressure difference occur, and especially preferably in a temperature range at least 95% of the maximum separation membrane failure of the first and second separation membranes occur without external pressure difference. Differenzdruckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei sich bei einer Temperatur T' sich die Trennmembranfehler dp der ersten und der zweiten Trennmembran gegenseitig kompensieren, und die Temperatur T' in den oberen oder unteren 20% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereiches, bevorzugt in den oberen oder unteren 10% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereiches, und besonders bevorzugt in den oberen oder unteren 5% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs liegt.Differential pressure sensor according to one of the preceding Claims, wherein at a temperature T ', the separation membrane error dp of compensate each other and the first separation membrane, and the Temperature T 'in the upper or lower 20% of the differential pressure transducer specified temperature range, preferably in the upper or lower 10% of the the differential pressure transducer specified temperature range, and more preferably in the upper or lower 5% of that for the differential pressure transducer specified temperature range is. Differenzdruckaufnehmers nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Gesamtmenge der Übertragungsflüssigkeit so auf die Volumina des ersten und zweiten hydraulischen Pfades abgestimmt sind, dass bei einem Druckausgleich über den Ausgleichskanal bei einer Nulllagenausgleichstemperatur nicht nur der Nullpunktfehler verschwinden würde sondern auch die individuellen Auslenkungen bzw. Trennmembranfehler der ersten und der zweiten Trennmembran vernachlässigbar klein sein bzw. verschwinden würden, und die Nulllagenausgleichstemperatur in den oberen oder unteren 5% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs, weiter bevorzugt in den oberen oder unteren 2% des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs und besonders bevorzugt außerhalb des für den Differenzdruckaufnehmer spezifizierten Temperaturbereichs liegt, wobei der Differenzdruckaufnehmer ferner eine Verteilung der Übertragungsflüssigkeit zwischen dem ersten und zweiten hydraulischen Pfad aufweist, die sich bei einem Druckausgleich über den Ausgleichskanal bei einer effektiven Ausgleichstemperatur ergibt, die in einem von der Nulllagenausgleichstemperatur abgewandten Endabschnitt des Temperaturbereichs liegt.Differential pressure sensor according to one of the previous Claims, the total amount of the transfer fluid so on the volumes of the first and second hydraulic path are tuned that at a pressure equalization over the compensation channel at a zero position compensation temperature not only the zero point error would disappear but also the individual deflections or separation membrane errors of first and second separation membrane be negligibly small or disappear would and the zero position compensation temperature in the upper or lower 5% of for the differential pressure transducer specified temperature range, continue preferably in the upper or lower 2% of that for the differential pressure transducer specified temperature range and more preferably outside of for the differential pressure transducer specified temperature range, wherein the differential pressure sensor further comprises a distribution of the transmission fluid between the first and second hydraulic path, the at a pressure equalization over gives the compensation channel at an effective compensation temperature, in an end portion facing away from the zero position compensation temperature the temperature range is. Differenzdruckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Ausgleichskanal mittels der Absperrvorrichtung unterbrochen ist.Differential pressure sensor according to one of the preceding Claims, wherein the compensation channel interrupted by means of the shut-off device is. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 7, wobei der Ausgleichskanal permanent unterbrochen ist.Differential pressure sensor according to claim 7, wherein the Compensation channel is permanently interrupted.
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