DE102004027722A1 - Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung - Google Patents

Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE102004027722A1
DE102004027722A1 DE200410027722 DE102004027722A DE102004027722A1 DE 102004027722 A1 DE102004027722 A1 DE 102004027722A1 DE 200410027722 DE200410027722 DE 200410027722 DE 102004027722 A DE102004027722 A DE 102004027722A DE 102004027722 A1 DE102004027722 A1 DE 102004027722A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pivot shaft
lock
obturator
torque
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200410027722
Other languages
English (en)
Inventor
Mario Dipl.-Wirtsch.-Ing. Röder
Alexander Müller
Andreas Dipl.-Ing. Caspari
Thomas Dipl.-Ing. Vogt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Buehler Alzenau GmbH
Original Assignee
Leybold Optics GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Optics GmbH filed Critical Leybold Optics GmbH
Priority to DE200410027722 priority Critical patent/DE102004027722A1/de
Publication of DE102004027722A1 publication Critical patent/DE102004027722A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/03Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Schleusenvorrichtung für eine in einer Wandung zwischen einem ersten und einem zweiten Rezipienten angeordnete Schleusenöffnung mit einem Absperrorgan, welches in einem Befestigungsbereich mit einer vorgegebenen Länge L an der Schwenkwelle einer Schwenkeinrichtung angeordnet ist, wobei zur Betätigung des Absperrorgans zumindest ein Motor zur Einleitung eines Drehmoments in die Schwenkwelle an zumindest einer in dem Befestigungsbereich des Absperrorgans liegenden Einleitungsstelle vorgesehen ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Schleusenvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des unabhängigen Patentanspruchs.
  • Bei Schleusenventilen von Vakuumkammern, insbesondere für sogenannte Inline-Anlagen zur Substratbeschichtung, treten häufig Probleme bei dem Abdichten der Schleusenventilklappe gegenüber dem Rezipienten auf. Ein wesentlicher Einflussfaktor bei Schleusenventilen mit schwenkbaren Schleusenventilklappen ist dabei eine Verdrehung der Schwenkwelle sowie der Schleusenventilklappe beim Andrücken der Klappe gegen den Rezipienten im Verschlusszustand des Schleusenventils. Die Folge der daraus resultierenden Verformungen ist ein ungleichmäßiger Anpressdruck der Schleusenventilklappe an ein die Schleusenöffnung umfassendes elastisches Dichtungselement, was dazu führt, dass entlang des Verlaufs des Dichtungselements nicht an allen Stellen die zur zuverlässigen Abdichtung notwendige Mindestanpresskraft sichergestellt ist. Ein gängiges, jedoch aufwändiges und kostentreibendes Konzept, um dennoch eine ausreichende Abdichtung zu gewährleisten, besteht darin, sehr groß dimensionierte Bauteile einzusetzen, mit denen ein ausreichend hohes Drehmoment und ein entsprechender Anpressdruck aufgebracht werden kann.
  • Aus der DE-OS 3941 502 ist eine Vorrichtung mit einer Unterdruckkammer und einem beiderseits der Unterdruckkammer vorgesehenen Schleusenventil bekannt. Die Ventilplatte weist eine längliche parallel epipede Form auf, wobei die Ventilplatte mit jeweils drei Lagerböcken fest verbunden ist. Durch die Lagerböcke ist eine Achse hindurchgeführt, die ihrerseits wiederum mit Schwenkhebeln in Verbindung steht und von einem Zahnstangentrieb mit Motor verschwenkbar ist. Die Ventilplatte ist gegenüber dem um ortsfeste Lager bewegbaren Hebel kippbar gehalten, so dass die Dichtflächen der Ventilplatte auf die Dichtfläche am Gehäuse der Unterdruckkammer anpressbar ist. Es hat sich jedoch gezeigt, dass mit diesem bekannten Schleusenventil höchste Anforderungen an die Dichtheit nicht erreicht werden können, weil der erforderliche Dichtring im Verschlusszustand zu ungleichmäßig beansprucht wird und sich die Dichtplatte bzw. die Antriebsachse im Verschlusszustand in einem zu großen Maße durchbiegen. Dieses Problem tritt insbesondere auf, falls die Ventilplatte ein extremes Breiten-/Längenverhältnis aufweist, wie es typisch bei Inline-Anlagen für flache Großflächensubstrate erforderlich ist.
  • Aus der DE 4203 473 A1 ist ferner bereits eine Drehschleuse zum Ein- und/oder Ausbringen eines Substrats von der einen in eine benachbarte Behandlungskammer oder aus dem atmosphärischen Raum in eine Kammer geringeren Drucks bekannt mit einer torartigen, in ortsfesten Lagern gehaltenen Ventilplatte und einem mit dieser in Wirkverbindung stehenden Schließmotor und mit einem die Schleusenöffnung umschließenden rahmenförmigen Dichtelement. Die Ventilplatte ist in einem sich etwa parallel zu ihr erstreckenden Ventilbalken über mindestens ein elastisch verformbares Zwischenglied angelenkt, wobei der Ventilbalken seinerseits zwei zueinander diametral gegenüberliegende Lagerzapfen aufweist, die drehfest mit außerhalb der Kammer vorgesehenen Antriebsmotoren gekoppelt sind. Der Ventilbalken ist als biegesteifes Profil ausgebildet. Ein Nachteil dieser Schleuse ist der hohe konstruktive Aufwand und die Schwierigkeit, eine Partikelkontamination aufgrund einer Torsion der Ventilplatte auszuschließen.
  • Aus der US 5379 984 ist ein Schleusenventil mit einem Ventilkörper, durch den sich ein langer enger Schlitz erstreckt, bekannt. Auf einer Öffnungsseite des Schlitzes ist eine Ventilplatte angeordnet, die sich zu einer schmalen Dichtungskontaktfläche verjüngt. Ein bewegbares Dichtungselement ist vorgesehen, um einen gespreizten Schlauch als dichtende Membran auf die Kontaktfläche aufzulegen. Da das Dichtelement an eine Schwenkachse angelenkt ist, ist es bei dieser vorbekannten Ventilvorrichtung schwierig, einen uniformen Druck entlang des Öffnungsverlaufs zu gewährleisten. So kann dieses Schleusenventil dem Druckunterschied zwischen Vakuum und Atmosphärendruck nur widerstehen, wenn das Ventil so angeordnet ist, dass der Atmosphärendruck schließkraftunterstützend in die Schließrichtung der Ventilklappe wirkt.
  • Aus der US 6263 542 B1 ist ferner eine Klappenanordnung mit einer Schwenklagerung für eine Vakuumkammer bekannt. Der Klappenkörper wird von der Schwenklagerung durch eine aufwändige flexible, beispielsweise federnde Verbindung, entkoppelt. Damit soll ein ungleichmäßiger Andruck der Dichtung, der zu Undichtigkeiten führen könnte, vermieden werden.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung einer gattungsgemäßen Schleusenvorrichtung, bei der eine Verwindung der Schwenkachse vermieden oder reduziert werden und eine einfache und sichere Abdichtung einer in einer Wandung angeordneten Schleusenöffnung erreicht werden kann.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung sind den abhängigen Ansprüchen zu entnehmen.
  • Erfindungsgemäß ist bei einer Schleusenvorrichtung für eine in einer Wandung zwischen einem ersten und zweiten Rezipienten angeordnete Schleusenöffnung mit einem klappenartigen Absperrorgan, welches in einem Befestigungsbereich mit einer vorgegebenen Länge L an der Schwenkwelle einer Schwenkeinrichtung angeordnet ist, vorgesehen, dass zur Betätigung des Absperrorgans zumindest ein Motor zur Einleitung eines Drehmoments in die Schwenkwelle an zumindest einer in dem Befestigungsbereich des Absperrorgans liegenden Einleitungsstelle vorgesehen ist. Da die Einleitung des Drehmoments in dem Bereich der Befestigung des Absperrorgans erfolgt, wird die wirksame Länge für eine Verdrehung der Welle gegenüber einer endseitigen Einleitung von Drehmoment beträchtlich reduziert. Insbesondere bei langen Schwenkwellen schließt das Absperrorgan mit erhöhter Zuverlässigkeit.
  • Besonders bevorzugt ist es, wenn die Einleitungsstelle an oder in der Nähe der Position ½ L der Schwenkwelle vorgesehen ist, da eine Reduktion der Verwindung mit geringem konstruktiven Aufwand erreicht werden kann.
  • Wenn eine Mehrzahl von Einleitungsstellen vorgesehen ist, die gleichmäßig entlang der Länge L der Schwenkwelle verteilt, wird das Drehmoment gleichmäßig in das Absperrorgan eingeleitet, so dass keine wesentliche oder nur eine geringe Verdrehung der Schwenkwelle auftritt.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist die Schwenkwelle als Hohlwelle mit einer feststehenden Achse ausgebildet, wobei der oder die Motoren in der Hohlwelle angeordnet sind. Dies ist platzsparend und im Hinblick auf einen Betrieb der Vorrichtung in einem Vakuum zweckmäßig. Vorzugsweise ist der Motor ein Torque-Motor, der auf hohe Momente und niedrige Drehzahlen ausgelegt ist. Übertragungselemente wie Getriebe können entfallen. Ferner sind bei diesem Motortyp bei stehendem Motor dauerhaft hohe Haltemomente erreichbar.
  • Bei einer Weiterbildung der Erfindung sind in einem Innenbereich der Schwenkwelle Kühlkanäle zur Zirkulation eines Kühlmediums vorgesehen. Bei einer feststehenden Achse ist es vorteilhaft, die Kühlkanäle in der Achse zu führen.
  • In einer alternativen Weiterbildung der Erfindung sind der oder die Motoren in einem vorgegebenen Abstand von der Schwenkwelle angeordnet und koppeln mittels einer Kopplungseinrichtung an. Die Kopplungseinrichtung ist vorzugsweise ein Zahnrad- oder Zahnriemengetriebe. Bei einer Weiterbildung der Erfindung, die vorzugsweise für den Einsatz bei Inline-Systemen mit großflächigen flachen Substraten geeignet ist, ist die Schleusenöffnung als Spaltöffnung ausgebildet. Zweckmäßigerweise kann das Absperrorgan als Rechteckklappe ausgebildet sein.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann mit einer Schwenkwelle von einer Länge von zumindest 150 mm bis zu mehr als 2000 mm ausgestattet sein.
  • Weitere Ausführungsformen und Vorteile der Erfindung sind auch unabhängig von ihrer Zusammenfassung in Patentansprüchen im folgenden ohne Beschränkung der Allgemeinheit anhand von Zeichnungen beschrieben.
  • Es zeigen in stark schematischer Darstellung:
  • 1 eine erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung in einem Horizontalschnitt
  • 2 eine erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung in einem Vertikalschnitt.
  • In den 1 und 2 sind jeweils ein Horizontalschnitt A-A bzw. ein Vertikalschnitt senkrecht zu A-A einer erfindungsgemäßen Schleusenvorrichtung für eine in einer Wandung zwischen einem ersten und einem zweiten Rezipienten angeordneten Schleusenöffnung dargestellt. Bei den Rezipienten handelt es sich um Vakuumkammern. Eine derartige Schleusenvorrichtung wird vorteilhaft bei sogenannten Inline-Systemen zur Herstellung von Substraten für flache Displays eingesetzt. Typischerweise sind derartige Substrate ca. 1 mm dick, rechteckig und haben eine Größe von 1000 × 1200 mm oder mehr. Die Substrate werden hängend in dem Inline-System entlang eines linearen oder U-förmigen Pfades durch eine Anzahl von Vakuumkammern geführt, die durch die Schleusen voneinander separierbar sind. Bedingt durch die Substratdimensionen sind die typischen Schleusenöffnungen charakterisiert durch ein extremes Längen-/Breitenverhältnis. Es versteht sich jedoch, dass die erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung auch für andere Schleusenöffnungsprofile eingesetzt werden kann.
  • Die erfindungsgemäße Schleusenvorrichtung ist aus dünnwandigen und leichten Bauelementen ausführbar und daher besonders geeignet für automatisiertes Substrat-Handling mit einer hohen Durchsatzrate und dementsprechend schneller Taktung der Schleusenventile, da nur geringe Massen bewegt werden müssen.
  • In 1 ist zwischen einer ersten Vakuumkammer VK1 und einer zweiten Vakuumkammer VK2 eine als Rechteckspalt ausgebildete Schleusenöffnung angeordnet, die im vorliegenden Fall einen ersten Spaltbereich 15, der der Vakuumkammer VK1 und einen zweiten Spaltbereich 10, der der Vakkumkammer VK2 zugeordnet ist, umfasst. Zwischen den Vakuumkammern VK1 und VK2 erstreckt sich eine Wandung, die aus einem Verbindungsflansch 1a der Vakuumkammer VK1 und einem Verbindungsflansch 9a der Vakuumkammer VK2 gebildet ist, die jeweils mit einer Kammerwand 1 bzw. 9 der Vakuumkammer VK1 bzw. VK2 verbunden sind. Die Schleusenöffnung kann durch ein als rechteckige Klappe 6 ausgebildetes Absperrorgan im Zusammenwirken mit einer Gegenplatte 6a verschlossen werden. Die Schleusenöffnung wird in dem von dem Spaltbereich 15 gebildeten Bereich von der Gegenplatte 6a umfasst. Die Gegenplatte 6a weist ein verformbares Dichtungselement 7 auf, vorzugsweise einen gummielastischen Rundschnurring, der im Verschlusszustand deformiert wird und eine drucksichere Abdichtung gewährleistet. Die Klappe 6 ist an einer als Hohlwelle ausgebildeten Schwenkwelle 5 angeordnet. Wie aus der 2 zu erkennen ist, weist die Hohlwelle 5 einen Befestigungsbereich mit einer Länge L auf, der sich peripher als Anschlussflansch 5a erstreckt. Die Übertragung von Drehmoment bei einer Bewegung der Klappe 6 von der Hohlwelle 5 erfolgt in diesem Bereich. In der Hohlwelle 5 ist eine starre Achse 2 angeordnet, um die die Hohlwelle 5 eine Rotationsbewegung ausführen kann.
  • Zur Betätigung der Klappe 6 sind Motoren M1 und M2 zur Einleitung eines Drehmoments in die Hohlwelle an in dem Befestigungsbereich des Absperrorgans liegenden Einleitungsstellen vorgesehen. Die Motoren M1 bzw. M2 sind jeweils in der Hohlwelle angeordnet. Der Motor M1 ist ein Innenläufermotor mit einem Stator 3 und einem Läufer bzw. Permanentmagneten 3a, der an der starren Achse 2 befestigt ist. Der Motor M2 ist als Außenläufer mit einem Stator 4 und einem Läufer bzw. Permanentmagneten 4a ausgebildet. Bevorzugt sind die Motoren M1 und M2 als Torque-Motoren ausgebildete bürstenlose Synchronmotoren mit Permanentmagneterregung. Kopplungseinrichtungen wie beispielsweise Getriebe können entfallen, auch wenn hohe Momente und niedrige Drehzahlen erforderlich sind. Die Motoren können wassergekühlt ausgeführt sein. Zur Abdichtung gegen Verschmutzung weist die Hohlwelle 5 Abdichtungen 8 auf, womit eine besonders hohe Funktionssicherheit der Motoren M1 und M2 erreicht werden kann. Da Torque-Motoren ihr größtes Drehmoment bei stehendem Motor aufweisen und dieses auch für längere Zeit halten können, ist eine besonders einfache und sichere Funktion des Absperrorgans bzw. des Schließzustandes der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei dieser Ausführungsform gewährleistet.
  • In einer alternativen Ausbildungsform der Erfindung ist entweder nur eine Einleitungsstelle in den Befestigungsbereich des Absperrorgans oder eine Mehrzahl von Einleitungsstellen vorgesehen. Bevorzugt ist eine Einleitungsstelle an oder in der Nähe der Position ½ L der Schwenkwelle. In einer Weiterbildung der Erfindung sind eine Mehrzahl von Einleitungsstellen vorgesehen, deren Positionierung vorgegebenen Werten des vom Absperrorgan auf das Dichtungselement ausgeübten Anpressdrucks angepasst ist. Dies ist insbesondere bei einem unregelmäßigen Schleusenöffnungsprofil zweckmäßig. Für den Fall einer Mehrzahl von Einleitungsstellen ist es insbesondere bei einem linear gleichmäßigen Öffnungsprofil günstig, diese gleichmäßig entlang der Länge L der Schwenkwelle zu verteilen.
  • In einer weiteren Ausbildungsform der Erfindung sind der oder die Motoren in einem vorgegebenen Abstand von der Schwenkwelle angeordnet und koppeln mittels einer Kopplungseinrichtung an die Schwenkwelle an. Bei dem oder den Motoren kann es sich um pneumatische, hydraulische oder elektrische Antriebe handeln. Bevorzugt ist die Kopplungseinrichtung als Zahnrad- oder Zahnriemengetriebe ausgebildet.
  • M1
    Motor
    M2
    Motor
    VK1
    Vakuumkammer 1
    VK2
    Vakuumkammer 2
    1
    Kammerwand Vakuumkammer 1
    1a
    Verbindungsflansch Vakuumkammer 1
    2
    starre Achse
    3
    Stator
    3a
    Läufer/Permanentmagnet
    4
    Läufer/Permanentmagnet
    4a
    Stator
    5
    Hohlwelle
    5a
    Anschlussflansch
    6
    Klappe
    6a
    Gegenplatte
    7
    Dichtungselement
    8
    Dichtung
    9
    Kammerwand
    9a
    Verbindungsflansch
    10
    Spaltöffnung
    12
    Halterung für Achse
    13
    Kühlwasserdurchführung
    15
    Spaltöffnung

Claims (12)

  1. Schleusenvorrichtung für eine in einer Wandung zwischen einem ersten und einem zweiten Rezipienten angeordnete Schleusenöffnung mit einem Absperrorgan, welches in einem Befestigungsbereich mit einer vorgegebenen Länge L an der Schwenkwelle einer Schwenkeinrichtung angeordnet ist und mit einer mit einem Dichtungselement versehenen Gegenplatte, dadurch gekennzeichnet, dass zur Betätigung des Absperrorgans zumindest ein Motor zur Einleitung eines Drehmoments in die Schwenkwelle an zumindest einer in dem Befestigungsbereich des Absperrorgans liegenden Einleitungsstelle vorgesehen ist.
  2. Schleusenvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einleitungsstelle an oder in der Nähe der Position ½ L der Schwenkwelle vorgesehen ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von vorzugsweise gleichmäßig entlang der Länge L der Schwenkwelle verteilten Einleitungsstellen vorgesehen ist.
  4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwenkwelle als Hohlwelle mit einer feststehenden Achse und der oder die Motoren in der Hohlwelle angeordnet sind.
  5. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Motor ein elektrischer Innenläufertyp ist.
  6. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Motor ein elektrischer Außenläufertyp ist.
  7. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Innenbereich der Schwenkwelle, gegebenenfalls in der feststehenden Achse, Kühlkanäle zur Zirkulation eines Kühlmediums vorgesehen sind.
  8. Vorrichtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der oder die Motoren in einem vorgegebenen Abstand von der Schwenkwelle angeordnet sind und mittels einer Kopplungseinrichtung, vorzugsweise eines Zahnrad- oder Zahnriemengetriebes, an die Schwenkwelle ankoppeln.
  9. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleusenöffnung als Spaltöffnung, vorzugsweise mit einem Längen-/Breitenverhältnis von 10 : 1 oder größer, ausgebildet ist.
  10. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Form des Absperrorgans dem Öffnungsprofil der Schwenköffnung angepasst ist.
  11. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Absperrorgan als Rechteckklappe ausgebildet ist.
  12. Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von Einleitungsstellen vorgesehen ist, deren Positionierung vorgegebenen Werten des vom Absperrorgan auf das Dichtungselement ausgeübten Anpressdrucks angepasst ist.
DE200410027722 2004-06-07 2004-06-07 Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung Withdrawn DE102004027722A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410027722 DE102004027722A1 (de) 2004-06-07 2004-06-07 Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200410027722 DE102004027722A1 (de) 2004-06-07 2004-06-07 Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102004027722A1 true DE102004027722A1 (de) 2006-01-12

Family

ID=35501638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200410027722 Withdrawn DE102004027722A1 (de) 2004-06-07 2004-06-07 Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102004027722A1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2315236B1 (de) Klappen-Transferventil
EP4058703A1 (de) Stellventilanordnung zum einstellen von wenigstens zwei fluidströmen in einem leitungssystem
EP0962299A1 (de) Schmelzeventil
EP1753990B1 (de) Schleusenvorrichtung
DE19834143A1 (de) Vorrichtung zum Verändern der Steuerzeiten von Gaswechselventilen einer Brennkraftmaschine, insbesondere Nockenwellen-Verstelleinrichtung mit Flügelrad
DE102007025516A1 (de) Kugelhahn zum Absperren und steuerbaren Öffnen einer Rohrleitung
DE2047713A1 (de) Dichtschließende Klappe für Kanäle
DE102017200886B4 (de) Lagerdichtungsanordnung für elektronisches Drosselklappensteuerventil
DE102004027722A1 (de) Schleusenvorrichtung mit Schwenkeinrichtung
EP4311961A1 (de) Kugelventil
DE19860637A1 (de) Mehrwegeventil
DE3222117C1 (de) Spannungswellengetriebe
EP2657583A1 (de) Drei-fach-exzentrische Absperrarmatur
DE2918555A1 (de) Anbohrschelle
DE102018120458A1 (de) Luftausströmer für ein Fahrzeug
DE102015106061A1 (de) Ventilanordnung
DE2249601B2 (de) Parallel-Platten-Absperrschieber
DE102007058070A1 (de) Magnetisches Getriebe
DE112007002363T5 (de) Pneumatischer Flügelzellenmotor
DE2235505B1 (de) Doppelpumpenaggregat
DE102015000658B4 (de) Antriebsvorrichtung für ein automatisiertes Garagentor
EP1825587A1 (de) Stelltrieb
EP3235035A1 (de) Ventilvorrichtung in einem kraftfahrzeug
DE102020101617A1 (de) Mehrwegventil für Fluid für eine Gerätezubereitungsvorrichtung, Mehrfluid-Mehrwegventil für eine Gerätezubereitungsvorrichtung und Gerätezubereitungsvorrichtung, insbesondere Kaffeemaschine
DE102022108085A1 (de) Antriebseinheit für kraftfahrzeug-technische Anwendungen

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8105 Search report available
8139 Disposal/non-payment of the annual fee