DE102004015205A1 - Messvorrichtung, Sensoranordnung und Verfahren zur Wegstreckenmessung - Google Patents

Messvorrichtung, Sensoranordnung und Verfahren zur Wegstreckenmessung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung, eine Sensoranordnung sowie ein Verfahren zur Wegstreckenmessung. Die Messvorrichtung weist eine magnetische Betrags-Sensoranordnung (31) zum Erfassen eines Betrages einer magnetischen Feldstärke eines Magnetfeldes (32) einer Erregermagnetanordnung (33), die relativ zu der Betrags-Sensoranordnung (31) beweglich ist, auf. Das Magnetfeld (32) hat eine gerichtete Feldrichtungskomponente (35). Die Betrags-Sensoranordnung (31) wird bei einer Relativbewegung relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) auf einem ersten und einem zweiten Wegabschnitt von ersten und zweiten Anteilen des Magnetfeldes (32) durchdrungen, bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente (35) positiv bzw. negativ ist. Auf dem ersten und dem zweiten Wegabschnitt erzeugt die Betrags-Sensoranordnung (31) erste und zweite von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente (35) abhängige Sensorwerte (48). Eine Korrektureinrichtung (52) ordnet den ersten und zweiten Sensorwerten erste oder zweite Ausgabewerte (53, 54) zu. Es wird vorgeschlagen, dass die Messvorrichtung (30) einen Synchronisierungssensor (36) zur Synchronisierung der Korrektureinrichtung (52) aufweist, wobei der Synchronisierungssensor (36) anhand einer der Erregermagnetanordnung (33) zugeordneten und relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) ortsfesten Referenzmarkierung der Korrektureinrichtung (52) eine Synchronisierungsinformation (58) zur Zuordnung der ersten Sensorwerte (48) zu den ...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Wegstreckenmessung, mit einer magnetischen Betrags-Sensoranordnung zum Erfassen eines Betrages einer magnetischen Feldstärke eines Magnetfeldes einer Erregermagnetanordnung, die relativ zu der Betrags-Sensoranordnung beweglich ist, wobei das Magnetfeld eine gerichtete Feldrichtungskomponente aufweist, wobei die Betrags-Sensoranordnung bei einer Relativbewegung relativ zu der Erregermagnetanordnung auf einem ersten Wegabschnitt von ersten Anteilen des Magnetfeldes, bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente positiv ist, und auf einem zweiten Wegabschnitt von zweiten Anteilen des Magnetfeldes durchdrungen wird, bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente negativ ist, wobei die Betrags-Sensoranordnung auf dem ersten Wegabschnitt erste von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente abhängige Sensorwerte und auf dem zweiten Wegabschnitt zweite von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente abhängige Sensorwerte erzeugt, und wobei die Messvorrichtung eine Korrektureinrichtung enthält oder mit einer Korrektureinrichtung zusammenwirkt, die den ersten und zweiten Sensorwerten erste oder zweite Ausgabewerte zuordnet. Die Erfindung betrifft ferner eine Erregermagnetanordnung hierfür sowie ein entsprechendes Verfahren.
  • Die Messvorrichtung ist z.B. ortsfest, die Erregermagnetanordnung beweglich an einem Aktorglied angeordnet oder umgekehrt.
  • Das Magnetfeld weist beispielsweise zwei zueinander orthogonale Feldrichtungskomponenten auf. Die Betrags-Sensoranordnung, die beispielsweise einen oder mehrere MR-Sensoren (MR = magneto-resistiv) enthält, ist für diese gerichtete Feldrichtungskomponente sensibel und kann deren Betrag, nicht jedoch deren Vorzeichen erfassen. Problematisch wird dies dann, wenn die jeweils von der Betrags-Sensoranordnung gemeldeten Sensorwerte vorzeichenabhängig unterschiedlich sind. Bei einer Relativbewegung zwischen der Betrags-Sensoranordnung und der Erregermagnetanordnung durchdringen beispielsweise auf einem ersten Feldwegabschnitt Anteile des Erregermagnetfeldes die Betrags-Sensoranordnung, die ein positives Vorzeichen aufweisen. Auf einem zweiten Wegabschnitt, der dem ersten Wegabschnitt nachfolgt, ist das Vorzeichen der gerichteten Feldrichtungskomponente negativ. Auf den beiden Wegabschnitten erzeugt die Betrags-Sensoranordnung unterschiedliche Sensorwerte. Dies kann sich beispielsweise auf den jeweiligen Betrag der Sensorwerte aus wirken, aber auch auf den Verlauf der Sensorwerte. Beispielsweise können die Sensorwerte an unterschiedlichen Stellen Maxima, Nulldurchgänge oder dergleichen aufweisen.
  • Üblicherweise wird daher eine Korrektur der Sensorwerte vorgenommen, beispielsweise anhand einer Korrekturtabelle. In der Korrekturtabelle ist beispielsweise jedem Sensorwert ein Korrekturwert, ein absoluter Wegstreckenwert oder dergleichen zugeordnet.
  • Die erstmalige Zuordnung der Sensorwerte zu den Werten der Korrekturtabelle wird üblicherweise bei der Produktion der Messvorrichtung im Rahmen eines sogenannten Kalibrierungsverfahrens vorgenommen. Dazu werden entsprechende Referenzpunkte manuell ermittelt, beispielsweise durch Verstellen eines Aktorglieds mit der Erregermagnetanordnung relativ zu der Betrags-Sensoranordnung. Das Verfahren ist kompliziert. Insbesondere ist es problematisch, die Messvorrichtung später, beispielsweise im Fehlerfall, auszutauschen und eine neue Messvorrichtung am Aktor anzubringen. Diese neue Messvorrichtung muss dann wieder aufwendig neu kalibriert werden.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bei einer Messvorrichtung der eingangs genannten Art eine einfache Kalibrierung zu ermöglichen. Es ist ferner Aufgabe der Erfindung, ein entsprechendes Verfahren bereitzustellen.
  • Die Aufgabe wird durch eine Messvorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, die einen Synchronisierungssensor zur Synchronisierung der Korrektureinrichtung aufweist, wobei der Synchronisierungssensor anhand einer der Erregermagnetanordnung zugeordneten und relativ zu der Erregermagnetanordnung ortsfesten Referenzmarkierung der Korrektureinrichtung eine Synchronisierungsinformation zur Zuordnung der ersten Sensorwerte zu den ersten Ausgabewerten oder zu den zweiten Ausgabewerten übermittelt.
  • Zur Lösung der Aufgabe sind ferner eine Erregermagnetanordnung zur Zusammenwirkung mit einer derartigen Messvorrichtung sowie ein entsprechendes Verfahren vorgesehen.
  • Die Messvorrichtung dient insbesondere zur inkrementellen Wegstreckenmessung. Anhand des Synchronisierungssignals des Synchronisierungssensors ist eine Zuordnung der ersten Sensorwerte zu den ersten Ausgabewerten oder den zweiten Ausgabewerten möglich. Die zweiten Sensorwerte werden dann entsprechend umgekehrt den zweiten oder den ersten Ausgabewerten zugeordnet. Die Synchronisierungsinformation bildet sozusagen die Vorzeichenkomponente, die zur Zuordnung der ersten und zweiten Sensorwerte zu den ersten oder den zweiten Ausgabewerten erforderlich ist. Der Synchronisierungssensor kann beispielsweise ein für die Richtung bzw. das Vorzeichen der gerichteten Feldrichtungskomponente der magnetischen Feldstärke sensibler magnetischer Sensor sein, beispielsweise ein Hall-Sensor. Der magnetische Synchronisierungssensor kann das Magnetfeld von Magneten der Erregermagnetanordnung erfassen, die auch zur Erregung der Betrags-Sensoranordnung vorgesehen sind. Es versteht sich, dass aber auch separate Erregermagneten zur Erregung des magnetischen Synchronisierungssensors vorhanden sein können. Andererseits ist es auch möglich, anstelle eines magnetischen Sensors einen optischen Sensor zu verwenden. Beispielsweise weist die Erregermagnetanordnung abwechselnd magnetische Nordpole und magnetische Südpole auf. Den magnetischen Nordpolen sind dann andersartige optische, beispielsweise hellere Markierungen zur Erregung des optischen Synchronisierungssensors zugeordnet als den magnetischen Südpolen.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen sowie aus der Beschreibung.
  • Die ersten und zweiten Ausgabewerte enthalten zweckmäßigerweise Korrekturwerte zur Korrektur der ersten und zweiten Sensorwerte. Beispielsweise werden die Korrekturwerte zu den jeweiligen Sensorwerten hinzuaddiert bzw. davon abgezogen. Es versteht sich, dass aber auch absolute oder relative Wegstreckenwerte in den Ausgabewerten enthalten sein oder diese bilden können. Beispielsweise sind erste relative Wegstreckenwerte dem ersten Wegabschnitt und zweite relative Wegstreckenwerte dem zweiten Wegabschnitt zugeordnet. Die Wegstre ckenwerte – sowohl die absoluten als auch die relativen – sind zweckmäßigerweise jeweils vollständig oder im Wesentlichen wegproportional zum ersten bzw. zweiten Wegabschnitt.
  • Als vorteilhaft hat sich eine Korrekturtabelle herausgestellt, die einen ersten und einen zweiten Tabellenabschnitt aufweist, in denen die ersten und die zweiten Ausgabewerte enthalten sind. Die ersten und zweiten Ausgabewerte sind jeweils Sensorwerten zugeordnet, z.B. durch eine Erstkalibrierung. In beiden Teilabschnitten finden sich jedoch identische Sensorwerte. Anhand der Synchronisierungsinformation ist es möglich, diejenige Zuordnung von Sensorwert zu Ausgabewert im ersten oder zweiten Tabellenabschnitt zu ermitteln, die bezogen auf das Vorzeichen der gerichteten Feldrichtungskomponente zutreffend ist.
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer Aktoranordnung, die eine erfindungsgemäße Messvorrichtung enthält,
  • 2 eine synoptische Darstellung beispielhafter Verläufe von Sensorwerten und Ausgabewerten einer Betrags-Sensoranordnung sowie eines Synchronisierungssensors durch eine Erregermagnetanordnung der Messvorrichtung gemäß 1,
  • 3 eine Korrekturtabelle der Messvorrichtung gemäß 1 und
  • 47 Ausführungsbeispiele von erfindungsgemäßen Erregermagnetanordnungen.
  • Eine fluidtechnische Aktoranordnung 10 enthält einen Aktor 11, beispielsweise einen pneumatischen Arbeitszylinder, der von einer Steuerungsvorrichtung 12 gesteuert und überwacht wird. Der Aktor 11 ist vorliegend ein Linearantrieb mit einem in Längsrichtung 13 vorwärts bzw. rückwärts (angedeutet durch Pfeile 14, 15) beweglichen Kolben bzw. Aktorglied 16. Die elektrische Steuerungsvorrichtung 12 steuert über eine Leitung 18 einen Antrieb eines Ventils 19, beispielsweise eines 4/2-Wegeventils oder einer sonstigen Ventilanordnung an. In der in 1 gezeigten Stellung des Ventils 19 strömt Fluid, beispielsweise Druckluft, aus einer Fluidversorgungseinrichtung 20 über eine Leitung 21 in eine erste Kammer 22 eines Gehäuses 23 des Arbeitszylinders 11 ein, so dass der Kolben 16 in Richtung eines Endanschlags 24 vorwärts bewegt wird. Durch den sich vorwärts bewegenden Kolben 16 wird Fluid aus einer zweiten Kammer 25, die durch den Kolben 16 von der ersten Kammer 22 getrennt ist, verdrängt und kann über eine Leitung 26 und das Ventil 19 in die Atmosphäre entweichen. Für eine Rückwärtsbewegung 15 wird in entsprechender Weise die zweite Kammer 25 mit Druckluft beaufschlagt und die erste Kammer 22 entlüftet, so dass sich der Kolben 16 in Richtung eines dem Endanschlag 24 entgegengesetzten Anschlags 27 bewegt.
  • Eine Messvorrichtung 30 dient zur inkrementellen Wegstreckenmessung am Aktor 11. Die Messvorrichtung 30 misst vorliegend die jeweilige Längsposition des Aktorglieds bzw. Kolbens 16. Die Messvorrichtung 30 ist vorzugsweise eine Integrierte Baueinheit, die z.B. durch einen elektronischen Chip realisiert ist.
  • Eine Betrags-Sensoranordnung 31 der Messvorrichtung 30 dient zum Erfassen eines richtungsabhängigen Betrages einer magnetischen Feldstärke eines Magnetfeldes 32 einer Erregermagnetanordnung 33, die relativ zu der Betrags-Sensoranordnung 31 beweglich ist. Die Erregermagnetanordnung 33 enthält in Längsrichtung 13 aneinandergereihte Erregermagnete 34, deren Pole sich abwechseln. Die Erregermagnetanordnung ist an einer Kolbenstange 28 des Kolbens 16 angeordnet und erstreckt sich in Längsrichtung 13.
  • Beim Ausfahren bzw. Einfahren der Kolbenstange 28 in das Gehäuse 23 werden die Erregermagnete 34 an der Betrags-Sensoranordnung 31 vorbeibewegt, wobei die Betrags-Sensoranordnung 31 das Magnetfeld 32 misst. Richtung und Feldstärke des Magnetfeldes 32, man könnte auch von mehreren Magnetfeldern 32 in Bezug auf die aneinandergereihten Erregermagnete 34 sprechen, ändern sich bei der Relativbewegung der Erregermagnetanordnung 33 bezüglich der Betrags-Sensoranordnung 31.
  • Die Betrags-Sensoranordnung enthält mindestens einen magnetoresistiven Sensor. Vorzugsweise handelt es sich bei der Betrags-Sensoranordnung 31 um eine bipolare Sensoranordnung, wobei beispielsweise zwei um 90° zueinander versetzt angeordnete magneto-resistive Sensoren vorhanden sind. Man kann auch von einem einzigen Sensor sprechen, der zwei um 90° oder einen sonstigen Phasenversatz versetzte Messkanäle aufweist. Jedenfalls ist die Betrags-Sensoranordnung 31 für eine gerichtete Feldrichtungskomponente des Magnetfeldes 32 sensibel. Beispielsweise erfasst die Betrags-Sensoranordnung die jeweilige Feldstärke der zur Längsrichtung 13 orthogonalen Feldrichtungskomponente 35. Allerdings erfasst die Betrags-Sensoranordnung 31 nur den jeweiligen Betrag dieser Feldrichtungskomponente 35, nicht jedoch deren Vorzeichen. Das Vorzeichen der Feldrichtungskomponente 35 kann jedoch ein Synchronisierungssensor 36 erfassen, dessen Funktionsweise im Zusammenwirken mit der Betrags-Sensoranordnung 31 nachfolgend anhand der 2 näher erläutert wird.
  • Der Kolben 16 bzw. die Kolbenstange 28 sind entlang eines Weges 29 in Längsrichtung 13 hin und her beweglich. Entsprechend der unterschiedlichen Polung der Erregermagnete 34 in Längsrichtung 13 ist der Verstell-Weg 29 in Wegabschnitte 3742 gegliedert, wobei selbstverständlich mehr oder weniger Wegabschnitte in Abhängigkeit von der jeweiligen Anzahl von Erregermagneten 34 möglich sind. Auf jeweils zwei unmittelbar benachbarten Wegabschnitten 3742 ist die gerichtete Feldrichtungskomponente 35 bei ersten und zweiten Anteilen 80, 81 des Magnetfelds 32 einmal positiv und einmal negativ, das heißt, die Feldrichtungskomponente 35 ist auf diesen Wegabschnitten jeweils entgegengesetzt orientiert. Beispielsweise durchdringt die Feldrichtungskomponente 35 die in 2 lediglich schematisch eingezeichnete Betrags-Sensoranordnung 31 bei einem magnetischen Südpol S von unten nach oben und bei einer relativen Längsbewegung der Erregermagnetanordnung 33 bezüglich der Betrags-Sensoranordnung 31 von oben nach unten.
  • Lediglich zu Verdeutlichungszwecken sind elektrische Leiter 43 und 43' eingezeichnet, die, wenn sie durch Strom durchflossen sind, Magnetfelder 32' mit ähnlicher Wirkung wie das Magnetfeld 32 auf die Betrags-Sensoranordnung 31 erzeugen würden. Die Leiter 43', 43 könnten beispielsweise anstelle der Erregermagnetanordnung 33 vorhanden sein bzw. eine Erregermagnetanordnung mit elektrischen Erregermagneten bilden. Diese Variante ist jedoch beim Ausführungsbeispiel nicht realisiert. Sie dient lediglich zu Veranschaulichungszwecken.
  • Die Betrags-Sensoranordnung 31 erzeugt unter dem Einfluss der relativ zu ihr bewegten Erregermagnetanordnung 33 beispielsweise Messwerte 44, 45, die den in 2 gezeigten, im Wesentlichen sinus- bzw. kosinusförmigen Verlauf aufweisen. In 2 ist schematisch dargestellt, dass die Verläufe der Messwerte 44 und 45 unter dem Einfluss magnetischer Nordpole N anders sein können als unter dem Einfluss magnetischer Südpole. Dies ist beispielsweise auf Fertigungstoleranzen bei der Herstellung zurückzuführen. Weitere Fehlerquellen sind z.B. unterschiedliche Sättigungseigenschaften von Sensoren, Abstimmungstoleranzen zwischen der Erregermagnetanordnung 33 und der Betrags-Sensoranordnung 31 oder dergleichen.
  • Aus den Messwerten 44, 45 bildet ein Interpolationsmittel, beispielsweise ein ASIC (Application Specific Integrated Circuit), Sensorwerte 47. Die Interpolationsmittel 46 bilden zweckmäßigerweise einen Bestandteil der Betrags-Sensoranordnung 31, sind jedoch in der 1 aus Gründen der Veranschaulichung separat von dieser eingezeichnet. Die Interpolationsmittel 46 wenden beispielsweise unter anderem ein Arcustangens-Verfahren zur Bildung der Sensorwerte 47 an. Bei unterschiedlichen Verläufen der Messwerte 44, 45 auf den Wegabschnitten 3742, bei denen die Feldrichtungskomponente 35 abwechselnd positiv und negativ ist, sind die Sensorwerte 47 auf diesen Wegabschnitten 3742 jeweils unterschiedlich, das heißt, dass die Interpolationsmittel 46 anhand der Messwerte 44, 45 im Bereich der ersten Wegabschnitte 38, 40, 42 (Einfluss magnetischer Nordpole N) erste Sensorwerte 48 und auf den zweiten Wegabschnitten 37, 39, 41 (Einfluss magnetischer Südpole S) zweite Sensorwerte 49 bilden. In 2 sind die Sensorwerte 47 z.B. als lineare Verläufe eingezeich net, wobei andere Verläufe, insbesondere digital gestufte Verläufe auch möglich sind. Die Interpolationsmittel 46 geben die Sensorwerte 48, 49 beispielsweise als digitale Zählerwerte aus, die z.B. zyklisch absolut wiederkehrend sind.
  • Bedingt durch Nicht-Linearitäten der Betrags-Sensoranordnung 31 sind jedoch die Verläufe der Sensorwerte 48, 49 in der Praxis wesentlich ungleichmäßiger, jedenfalls üblicherweise nicht linear. Dementsprechend können Wegstreckenmittel 50 anhand der Sensorwerte 47 nicht unmittelbar absolute Wegstreckenwerte 51, die dem Verstell-Weg 29 entsprechen, bilden, deren Signalqualität zweckmäßigerweise für eine Positionsregelung des Aktors 11 ausreicht. Die Signalqualität beispielhaft dargestellter, unkorrigierter absoluter Wegstreckenwerte 51' reicht beispielsweise für eine Positionsregelung des Aktors 11 nicht aus.
  • Zur Lösung dieses Problems weist die Messvorrichtung 30 eine Korrektureinrichtung bildende Korrekturmittel 52 auf. Die Korrekturmittel 52 können in Hardware und/oder in Software, z.B. als Programm-Modul, ASIC, FPGA oder dergleichen, realisiert sein. Die Korrekturmittel 52 erzeugen anhand der ersten und zweiten Sensorwerte 48, 49 erste und zweite Ausgabewerte 53, 54. Beim Ausführungsbeispiel repräsentieren die ersten und zweiten Ausgabewerte 53, 54 einen auf jeweils zwei benachbarten Wegstreckenabschnitten 3742 zurückgelegten Weg.
  • Die Ausgabewerte 53, 54 weisen beispielsweise einen linearen Verlauf mit digitalen Zählerwerten GES0–GES611 auf.
  • Die Korrekturmittel 52 ermitteln die Ausgabewerte 53, 54 anhand einer Korrekturtabelle 55, die z.B. in einem vorteilhafterweise zumindest teilweise nicht-flüchtigen Speicher 78 der Messvorrichtung 30, z.B. einem EEPROM (Electrical Erasable Programmable Read Only Memory), gespeichert ist. In der Korrekturtabelle 55 sind die Sensorwerte 47 eingetragen. Die Korrekturtabelle 55 enthält einen ersten und einen zweiten Tabellenabschnitt 56, 57, die den Wegabschnitten 38, 40, 42 bzw. 37, 39, 41 zugeordnet sind. Im Tabellenabschnitt 56 sind beispielsweise die ersten Sensorwerte 48, im zweiten Tabellenabschnitt 57 die zweiten Sensorwerte 49 eingetragen. Die ersten und zweiten Sensorwerte 48, 49 weisen zumindest teilweise identische Werte S0–S255 auf, die z.B. digitalen Zählerwerten entsprechen. Beispielsweise ist der Wert S127 sowohl im Tabellenabschnitt 56 als auch im Tabellenabschnitt 57 vorhanden, das heißt, dass die Sensorwerte 47 auf beispielsweise den Wegabschnitten 38 und 39 jeweils einmal den Wert 5127 aufweisen. Beim Ausführungsbeispiel würde dies beispielsweise bedeuten, dass einem Sensorwert 47 mit dem Wert 5127 entweder der Wert GES127 oder der Wert GES257 der ersten bzw. zweiten Ausgabewerte 53, 54 zugeordnet ist.
  • Für die richtige Zuordnung der ersten und zweiten Sensorwerte 48, 49 zu den Tabellenabschnitten 56 oder 57 mit den ersten bzw. zweiten Ausgabewerten 53, 54 ist der Synchronisierungssensor 36 vorgesehen. Der Synchronisierungssensor 36 erzeugt eine Synchronisierungsinformation 58. Die Synchronisierungsinformation 58 entspricht beispielsweise dem Vorzeichen der gerichteten Feldrichtungskomponente 35. Dies bedeutet beispielsweise, dass die Synchronisierungsinformation 58 auf den Wegabschnitten 38, 40, 42, die den magnetischen Nordpolen der Erregermagnetanordnung 33 zugeordnet sind, positiv, bei den Wegabschnitten 37, 39, 41 negativ ist. Anhand der Synchronisierungsinformation 58 ordnen die Korrekturmittel 52 die ersten Sensorwerte 48 beispielsweise dem ersten Tabellenabschnitt 56 und die zweiten Sensorwerte 49 dem zweiten Tabellenabschnitt 57 (oder umgekehrt) zu.
  • In diesem Zusammenhang muss festgehalten werden, dass es lediglich darauf ankommt, innerhalb eines ersten oder eines zweiten Wegabschnitts 38, 40, 42 bzw. 37, 39, 41 einen eindeutig einmalig im jeweiligen Tabellenabschnitt 56, 57 vorhandenen ersten oder zweiten Sensorwert 48, 49 aufzufinden. Beim Ausführungsbeispiel ist dies beispielsweise bei einem der Maxima 59, 60 der Synchronisierungsinformation 58 gegeben.
  • Es versteht sich, dass auch andere Kriterien zur eindeutigen Auffindung eines Sensorwerts 48, 49 in den Tabellenabschnitten 56, 57 der Korrekturtabelle 55 erfindungsgemäß verwendet werden können. Beispielsweise können die Korrekturmittel 52, sofern ihnen der Messwert 44 und/oder der Messwert 45 übermittelt wird, auch anhand eines oder beider Messwerte 44, 45 eine eindeutige Zuordnung vornehmen. Auch die Messwerte 44, 45 weisen nämlich innerhalb eines ersten oder zweiten Wegabschnitts 38, 40, 42 bzw. 37, 39, 41 eindeutige Werte, beispielsweise eindeutige Maxima bzw. Minima auf.
  • Varianten zu den vorgenannten Ausführungsformen sind ohne weiteres möglich.
  • Beispielsweise kann die Korrekturtabelle Korrekturwerte 61 enthalten, die den Sensorwerten 47 zugeordnet sind. Im ersten Tabellenabschnitt 53 weisen die Korrekturwerte beispielsweise Werte K1-0 bis K1-255, im zweiten Tabellenabschnitt 54 beispielsweise Werte K2-0 bis K2-255 auf. Die Zuordnung der ersten und zweiten Sensorwerte 48, 49 zu den Korrekturwerten 61 in den Tabellenabschnitten 53, 54 erfolgt beispielsweise in der vorgenannten Weise.
  • Beispielsweise können dann die Korrekturmittel 52 anhand der Sensorwerte und der Korrekturwerte die Ausgabewerte 53, 54 erzeugen, beispielsweise durch Addition der Korrekturwerte 61 zu den Sensorwerten 47.
  • Es ist auch möglich, dass die Messvorrichtung 30 der Steuerungsvorrichtung 12 jeweils einen Sensorwert und einen Korrekturwert 47, 61 übermittelt und die Steuerungsvorrichtung 12 einen Positionswert des Kolbens 16 bzw. der Kolbenstange 28 berechnet.
  • Ferner ist es möglich, dass die Messvorrichtung 30 die Synchronisierungsinformation 58 einmalig oder jeweils in Kombination mit einem der Sensorwerte 47 übermittelt, sodass diese anhand einer Korrekturtabelle 62 in der Art der Korrekturtabelle 55 die jeweilige Relativposition der Erregermagnetanordnung 33 bezüglich der Betrags-Sensoranordnung 31 ermittelt.
  • Die Messvorrichtung 30 ist beim Ausführungsbeispiel zur Ermittlung der Wegstreckenwerte 51 ausgestaltet. Die Wegstreckenwerte 51 repräsentieren eine absolute Wegstrecke, die die Kolbenstange 28 und somit die Erregermagnetanordnung 33 entlang des Verstell-Weges 29 zurückgelegt haben. Die Wegstreckenwerte 51 haben beispielsweise Werte ABS0–AB5617, z. B. Millimeterwerte oder dergleichen. Die Messvorrichtung 30 berechnet die Werte ABS0–ABS617 beispielsweise anhand der Sensorwerte 47 in Verbindung mit den Korrekturwerten 61. Die Messvorrichtung 30 berücksichtigt dabei einen Offset bzw. Phasenkorrekturwert 63. Der Phasenkorrekturwert 63 repräsentiert beispielsweise einen Linearabstand zwischen den Ausgabewerten 53, 54, die auf die ersten und zweiten Wegstreckenabschnitte 3742 bezogen sind, und einem Referenzpunkt 77 an der Erregermagnetanordnung 33 bzw. der Kolbenstange 28. Bei dem Referenzpunkt 77 handelt es sich beispielsweise um eine Markierung an der Kolbenstange 28.
  • Zur Initialisierung bzw. Erstzuordnung der Sensorwerte 48, 49 zu den Tabellenabschnitten 56, 57 bzw. den Korrekturwerten 61 und/oder den Ausgabewerten 53, 54 hat sich folgendes Verfahren als vorteilhaft herausgestellt:
    Die Kolbenstange 28 wird beispielsweise bis zum Referenzpunkt 77 in das Gehäuse 23 eingefahren. Sodann wird sie wieder aus dem Gehäuse 23 herausgefahren, bis die Messvorrichtung 30 ein positives oder negatives Maximum 59, 60 bei der Synchronisierungsinformation 58 ermittelt. Bei diesem Maximum 59 oder 60 ermittelt die Messvorrichtung 30 in den Tabellenabschnitten 56 oder 57 den zugehörigen Korrekturwert 61 und/oder den ersten oder zweiten Ausgabewert 53, 54, das heißt die jeweilige Zeile in den Abschnitten 56 oder 57.
  • Die Messvorrichtung 30 ist vorliegend als ein integrales Bauteil realisiert, das die Betrags-Sensoranordnung 31, den Synchronisierungssensor 36 sowie die Interpolationsmittel 46, die Korrekturmittel 52 und die Wegstreckenmittel 50 enthält. Die vorgenannten Mittel 46, 50, 52 sind beispielsweise Software-Module, deren Programmcode durch einen Prozessor 64 der Messvorrichtung 30 ausführbar ist. Es versteht sich, dass jedes der Mittel 46, 50 und 52 auch ein Bestandteil der Steue rungsvorrichtung 12 sein kann, die einen entsprechenden Prozessor zur Ausführung des Programmcodes aufweist.
  • Bei der in 4 näher gezeigten Erregermagnetanordnung 33 sind die Erregermagnete 34 in Längsrichtung 13 aneinandergereiht, wobei beispielsweise jeweils ein magnetischer Nordpol auf einen magnetischen Südpol eines benachbarten Erregermagneten 34 angrenzt. Die Erregermagnete 34, beispielsweise Barium-Ferrit-Magnete, sind auf einem magnetisch leitfähigen, vorliegend durchgehenden Träger 65 angeordnet, beispielsweise aus Stahl, Eisen oder dergleichen. Die Betrags-Sensoranordnung 31 sowie der Synchronisierungssensor 36 sind beispielsweise oberhalb und/oder seitlich neben den Erregermagneten 34 angeordnet, sodass das Magnetfeld 32 die Sensoren 31, 36 durchdringt.
  • Bei einer in 5 dargestellten Erregermagnetanordnung 66 sind Erregermagnete 34' in Längsrichtung 13 aneinandergereiht an einem Träger 67 angeordnet. Der Träger 67 ist quer zur Längsrichtung 13 breiter als die Erregermagnete 34'. Man könnte aber auch sagen, dass ein Bereich 68 des Trägers 67 seitlich, das heißt quer zur Längsrichtung 13, vor die Erregermagnete 34' vorsteht. Dieser Bereich 68 ist dem Synchronisierungssensor 36 zugeordnet. Ausnehmungen 69, von denen jeweils eine einem Magneten 34' zugeordnet ist, bilden Referenzmarkierungen für den Synchronisierungssensor 36. Beispielsweise ermittelt der Synchronisierungssensor 36 anhand der Ausnehmungen 69 abwechselnd Feldschwächungen bzw. Feldverstärkungen.
  • Es versteht sich, dass anstelle der Ausnehmungen 69 beispielsweise auch optische Markierungen vorgesehen sein können, die als Referenzmarkierungen für einen als optischen Sensor ausgestalteten Synchronisierungssensor 36 dienen können.
  • Bei einer Erregermagnetanordnung 70 gemäß 6 sind Erregermagnete 34'' zur Erregung der Betrags-Sensoranordnung 31 sowie Referenz-Magnete 71 vorhanden, die als Referenzmarkierungen zur Erregung des Synchronisierungssensors 36 dienen. Die Referenzmagnete 71 weisen beispielsweise eine doppelte Teilung gegenüber den Erregermagneten 34'' auf oder umgekehrt, das heißt, dass beispielsweise jeweils zwei Referenzmagnete 71 einem Erregermagnet 34'' zugeordnet sind.
  • Bei einer in 7 dargestellten Erregermagnetanordnung 73 sind die Erregermagnete 34'' zur Erregung der Betrags-Sensoranordnung 31 zwischen Trägern 74 und 75 angeordnet. Die Betrags-Sensoranordnung 31 ist beispielweise neben der Erregermagnetanordnung 73 angeordnet, sodass sie von dem seitlich aus der Erregermagnetanordnung 73 austretenden Magnetfeld durchdrungen ist. Der Synchronisierungssensor 36 ist zum Beispiel oberhalb der Erregermagnetanordnung, konkret oberhalb des Trägers 75 angeordnet. Jedem der Erregermagnete 34'' oder jedem der Pole eines Erregermagneten 34'' ist jeweils eine Ausnehmung 76 am oberen Träger 75 zugeordnet. Durch die Ausnehmungen 76 kann das Magnetfeld der Erregermagnete 34'' nach oben durchtreten und den Synchronisierungssensor 36 zur Ausgabe der Synchronisierungsinformation 58 anregen.

Claims (20)

  1. Messvorrichtung zur Wegstreckenmessung, mit einer magnetischen Betrags-Sensoranordnung (31) zum Erfassen eines Betrages einer magnetischen Feldstärke eines Magnetfeldes (32) einer Erregermagnetanordnung (33), die relativ zu der Betrags-Sensoranordnung (31) beweglich ist, wobei das Magnetfeld (32) eine gerichtete Feldrichtungskomponente (35) aufweist, wobei die Betrags-Sensoranordnung (31) bei einer Relativbewegung relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) auf einem ersten Wegabschnitt (38, 40, 42) von ersten Anteilen (80) des Magnetfeldes (32), bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente (35) positiv ist, und auf einem zweiten Wegabschnitt (37, 39, 41) von zweiten Anteilen (81) des Magnetfeldes (32) durchdrungen wird, bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente (35) negativ ist, wobei die Betrags-Sensoranordnung (31) auf dem ersten Wegabschnitt (38, 40, 42) erste von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskompo nente (35) abhängige Sensorwerte (48) und auf dem zweiten Wegabschnitt (37, 39, 41) zweite von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente (35) abhängige Sensorwerte (49) erzeugt, und wobei die Messvorrichtung (30) eine Korrektureinrichtung (52) enthält oder mit einer Korrektureinrichtung (52) zusammenwirkt, die den ersten und zweiten Sensorwerten erste oder zweite Ausgabewerte (53, 54) zuordnet, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung (30) einen Synchronisierungssensor (36) zur Synchronisierung der Korrektureinrichtung (52) aufweist, wobei der Synchronisierungssensor (36) anhand einer der Erregermagnetanordnung (33) zugeordneten und relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) ortsfesten Referenzmarkierung der Korrektureinrichtung (52) eine Synchronisierungsinformation (58) zur Zuordnung der ersten Sensorwerte (48) zu den ersten Ausgabewerten (53) oder zu den zweiten Ausgabewerten (54) übermittelt.
  2. Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und die zweiten Ausgabewerte (53, 54) Korrekturwerte (61) zur Korrektur der ersten und zweiten Sensorwerte (49) und/oder absolute oder relative Wegstreckenwerte aufweisen.
  3. Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und die zweiten Ausgabewerte (53, 54) zu dem ersten und dem zweiten Wegabschnitt (37, 39, 41) jeweils vollständig oder im wesentlichen wegproportional sind.
  4. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzmarkierung durch die Erregermagnetanordnung (33) erzeugt ist.
  5. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Synchronisierungssensor (36) einen für ein Vorzeichen der gerichteten Feldkomponente der magnetischen Feldstärke sensiblen magnetischen Sensor, insbesondere einen Hall-Sensor, enthält.
  6. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Synchronisierungssensor (36) einen optischen Sensor enthält.
  7. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektureinrichtung (52) eine Korrekturtabelle (55) mit einem ersten und einen zweiten Tabellenabschnitt (56, 57) enthält, in denen die ersten und die zweiten Ausgabewerte (53, 54) enthalten sind.
  8. Messvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektureinrichtung (52) die ersten und die zweiten Sensorwerte anhand der Synchronisierungsinformation (58) dem ersten und dem zweiten Tabellenabschnitt (56, 57) der Korrekturtabelle (55) zuordnet.
  9. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Betrags-Sensoranordnung (31) mindestens einen magnetoresistiven Sensor aufweist.
  10. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Betrags-Sensoranordnung (31) mindestens zwei, insbesondere zueinander phasenversetzte Sensoren aufweist.
  11. Messvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Betrags-Sensoranordnung (31) die Sensorwerte anhand von durch die mindestens zwei Sensoren erzeugten Messwerten (44, 45) bildet.
  12. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Erregermagnetanordnung (33) in einer Linearrichtung aneinander gereihte Erregermagnete (34) aufweist.
  13. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie von einem Prozessor ausführbaren Programmcode aufweist.
  14. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie als eine integrale Baueinheit ausgeführt ist.
  15. Erregermagnetanordnung (33) zur Zusammenwirkung mit einer Messvorrichtung (30) mit einer Korrektureinrichtung (52) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die eine Betrags- Sensoranordnung (31) und einen Synchronisierungssensor (36) aufweist, gekennzeichnet durch mindestens einen Erregermagneten für die Betrags-Sensoranordnung (31) und mindestens eine von dem mindestens einen Erregermagneten separaten Referenzmarkierung für den Synchronisierungssensor (36).
  16. Erregermagnetanordnung (33) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere in einer Linearrichtung aneinander gereihte Erregermagnete (34) aufweist.
  17. Aktoranordnung, insbesondere fluidtechnischer Arbeitszylinder oder elektrischer Linearantrieb, mit einer Messvorrichtung (30) nach einem der Ansprüche 1 bis 14 und/oder einer Erregermagnetanordnung (33) nach Anspruch 15 oder 16.
  18. Verfahren zur Wegstreckenmessung mit einer Messvorrichtung (30), die eine magnetische Betrags-Sensoranordnung (31) zum Erfassen eines Betrages einer magnetischen Feldstärke eines Magnetfeldes (32) einer Erregermagnetanordnung aufweist, die relativ zu der Betrags-Sensoranordnung (31) beweglich ist, wobei das Magnetfeld (32) eine gerichtete Feldrichtungskomponente (35) aufweist, wobei die Betrags-Sensoranordnung (31) bei einer Relativbewegung relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) auf einem ersten Wegabschnitt (38, 40, 42) von ersten Anteilen des Magnetfeldes (32), bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente (35) positiv ist, und auf einem zweiten Wegabschnitt (37, 39, 41) von zweiten Anteilen des Magnetfeldes (32) durchdrungen wird, bei denen die gerichtete Feldrichtungskomponente (35) negativ ist, wobei die Betrags-Sensoranordnung (31) auf dem ersten Wegabschnitt (38, 40, 42) erste von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente (35) abhängige Sensorwerte (48) und auf dem zweiten Wegabschnitt (37, 39, 41) zweite von der Feldstärke der gerichteten Feldrichtungskomponente (35) abhängige Sensorwerte (49) erzeugt, und wobei die Messvorrichtung (30) eine Korrektureinrichtung (52) aufweist, die den ersten und zweiten Sensorwerten erste oder zweite Ausgabewerte (53, 54) zuordnet, gekennzeichnet durch die Schritte: – Erzeugen einer Synchronisierungsinformation (58) für die Korrektureinrichtung (52) anhand einer der Erregermagnetanordnung (33) zugeordneten und relativ zu der Erregermagnetanordnung (33) ortsfesten Referenzmarkierung, – Zuordnung der ersten Sensorwerte (48) zu den ersten Ausgabewerten oder zu den zweiten Ausgabewerten (54) anhand der Synchronisierungsinformation (58).
  19. Verfahren nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch: – Ermitteln eines eindeutigen Sensorwertes (S127) in den ersten oder den zweiten Sensorwerten.
  20. Verfahren nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch: Relativbewegung der Sensoranordnung zu der Erregermagnetanordnung (33) zur Ermitteln des eindeutigen Sensorwertes (S127), wobei mindestens ein Messwert der Betrags-Sensoranordnung (31) und/oder des Synchronisierungssensors (36) ausgewertet werden.
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