DE102004006287A1 - Verfahren zur Qualitätskontrolle der Produktion in wenigstens einem Reinraum - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Qualitätskontrolle der Produktion in wenigstens einem Reinraum, in welchem Reinraum verschiedene Vorrichtungen und/oder Personen im Rahmen der aufzunehmenden oder laufenden Produktbearbeitung tätig sind, bei welchem Verfahren alle einen Einfluss auf die Produktqualität, insbesondere eine mögliche Produktkontamination habenden produktionsbezogenen und prozessumgebungsbezogenen Daten über eine übbergeordnete Leitrecheneinrichtung erfasst und prozessbezogen und/oder produktbezogen und/oder chargenbezogen miteinander verknüpft und bei Bedarf ausgegeben werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätskontrolle der Produktion in wenigstens einem Reinraum, in welchem Reinraum verschiedene Vorrichtungen und/oder Personen im Rahmen der aufzunehmenden oder laufenden Produktbearbeitung tätig sind.
  • In Reinräumen werden Produkte hergestellt, die höchst sensibel handzuhaben sind und vor jeglicher Kontamination zu schützen sind. Als Beispiele sind die Herstellung pharmazeutischer Produkte oder die Herstellung elektronischer Halbleiterbauelemente zu nennen. Nachdem die Qualität der in Reinräumen hergestellten Produkte sehr leicht negativ beeinflusst werden kann, wird hinsichtlich der Steuerung der Produktqualität wie auch des Nachweises der Produktqualität ein beachtlich großer, zunehmend auch steigender Aufwand getrieben, nicht zuletzt durch gesetzliche oder institutionelle Anforderungen. In der Vergangenheit zielte die Reinraumtechnik, was die Quelle der Verunreinigungen betrifft, noch primär auf die Kontrolle der Kontamination durch luftgetragene Partikel ab. Im Zuge der Weiterentwicklung reinraumtechnischer Systeme zeigte sich jedoch immer deutlicher, dass andere Kontaminationsfaktoren, wie z.B. die im Reinraum arbeitenden Personen, die dort befindlichen Maschinen oder aber im Reinraum verwendete Verbrauchsmedien, dem Verunreinigungsfaktor Luft gegenüber keinen geringeren Einfluss auf die Reinheit und somit auch auf die Produktqualität haben. Im gleichen Maß, wie die Anforderungen an die Kontrolle reinraumtechnischer Systeme steigen, steigt aber auch der Aufwand, diese Kontrollen durchzuführen und nachvollziehbar die geforderten Qualitätsnachweise zu erbringen. Um diesen Aufwand beherrschbar zu halten, haben die meisten Anwender unterschiedliche Datenverarbeitungssysteme im Einsatz, die für unterschiedliche Pro zessbereiche zuständig sind. Als Beispiel ist die Gebäudeleittechnik zu nennen, im Rahmen welcher beispielsweise eine weitgehende automatische Regelung, Überwachung und Dokumentation aller Prozesse, die beispielsweise mit der Klimatisierung und Luftreinigung, dem Betrieb von Zugangsschleusen, der Zufuhr externer Arbeitsmedien, etc. zusammenhängen. Ein weiterer Bereich ist der der Prozessleittechnik, in dem beispielsweise die Steuerung der im Reinraum befindlichen Maschinen oder dergleichen erfolgt.
  • Bestehende Systeme sind jedoch nichts anderes als Insellösungen, die jeweils nur einen Teilaspekt hinsichtlich der Datenaufzeichnung und Überwachung abdecken. Das heißt, im Rahmen der Gebäudeleittechnik werden zwar verschiedene Daten aufgenommen, jedoch nicht alle relevanten Daten, die Steuerungs- oder Überwachungsbereiche betreffen, die qualitätsbeeinflussend sein können. Auch werden nicht alle Bereiche, in denen Tätigkeiten vorgenommen werden oder in denen Mittel oder Gerätschaften verwendet werden, die in irgendeiner Weise qualitätsbeeinflussend für das im Reinraum hergestellte Produkt sind, überhaupt datentechnisch erfasst oder überwacht.
  • Wenngleich wie beschrieben manche Teilbereiche eine zumindest ansatzweise nachvollziehbare Erfassung qualitätsbeeinflussender Daten zulassen, verbleibt ein beachtlicher unüberwachter Bereich, so dass eine Dokumentation zu Nachweiszwecken für die Produktqualität nur mit sehr großem Aufwand, mitunter auch durch Einsatz papiergestützter Dokumentation oder manuell vorzunehmender Dokumentation oder Auswertungen möglich ist. Selbst wenn bei einem Reinraum mehrere separate Bereiche überwacht werden, so arbeitet jedes Datenerfassungssystem im Rahmen der Überwachung jedoch autark, insbesondere, nachdem die implementierten Systeme häufig unterschiedlich und nicht miteinander kompatibel sind. Es besteht also im Stand der Technik keine Möglichkeit, auf einfache Weise sämtliche Informationen bezüglich des im Reinraum durchzuführenden Herstellungsprozesses, die in irgendeiner Weise einen Einfluss auf die letztendliche Produktqualität haben, zu erfassen, zu dokumentieren und zu Nachweiszwecken auszugeben.
  • Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das es ermöglicht, vor oder während der Produktion Aussagen betreffend während der Produktion auftretende, die Produktqualität beeinflussende Schwierigkeiten treffen zu können.
  • Zur Lösung dieses Problems ist bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, dass alle einen Einfluss auf die Produktqualität, insbesondere eine mögliche Produktkontamination habenden produktionsbezogenen und prozessumgebungsbezogenen Daten über eine übergeordnete Leitrecheneinrichtung erfasst und prozessbezogen und/oder produktbezogen und/oder chargenbezogen miteinander verknüpft und bei Bedarf ausgegeben werden.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, sämtliche die Produktqualität möglicherweise beeinflussenden Faktoren datentechnisch zu erfassen und über eine übergeordnete Leitrechnereinrichtung in den jeweils gewünschten Kontext zu stellen und so dem Anwender zur Verfügung zu stellen. Die Daten werden prozessbezogen (d.h. beispielsweise im Rahmen der Prozessplanung auf den gesamten zu installierenden oder vorgesehenen Herstellungsprozess bezogen), produktbezogen (d.h. auf das einzelne in der laufenden Produktion hergestellte Produkt bezogen), oder chargenbezogen (d.h. auf eine gesamte in der laufenden Produktion hergestellte Charge bezogen) miteinander verknüpft, so dass je nach Anwendungsfall des erfindungsgemäßen Verfahrens stets völlige Transparenz hinsichtlich der sich gegebenenfalls nachteilig auswirkenden Faktoren gegeben ist. Die Leitrechnereinrichtung, die mit Leitrechnereinrichtungen untergeordneter Subsysteme, wie beispielsweise der zentralen Rechnereinrichtung der Gebäudeleittechnik oder der zentralen Rechnereinrichtung der Prozessleittechnik, etc., kommuniziert, nimmt also den gesamten Datenpool auf und ver knüpft diese Daten bei Bedarf, um sie an den Anwender auszugeben. Die Kommunikation zu den Subsystemen erfolgt über geeignete Schnittstellen, so dass Systeme unterschiedlicher Art in das Gesamtsystem eingebunden werden können. Zweckmäßigerweise kommen hier Standardschnittstellen beliebiger Art zum Einsatz. Für den Anwender bedeutet das erfindungsgemäße Verfahren eine hochgradige Transparenz des gesamten laufenden Prozesses wie auch die Möglichkeit, einen neu zu installierenden Gesamtprozess hinsichtlich etwaiger Kontaminationsprobleme im Vorfeld überprüfen zu können.
  • Wird das erfindungsgemäße Verfahren zur laufenden Prozessüberwachung genutzt, so stehen dem Anwender vorteilhaft zu jedem Einzelprodukt oder zu jeder Charge Daten zu allen relevanten Faktoren, die die Produktqualität beeinflussen können, auf Wunsch zusammengefasst zur Verfügung. Der Anwender erhält also beispielsweise Informationen darüber, ob die Qualität der zugeführten Betriebsmedien den Mindesterfordernissen entsprach oder nicht, ob die Partikelkonzentration in der Luft den Mindesterfordernissen entsprach oder nicht, ob sämtliche Klimatisierungsgerätschaften korrekt gearbeitet haben oder nicht, ob die Personenschleusen korrekt gearbeitet haben oder nicht, etc., sowie beispielsweise Informationen dahingehend, ob vorrichtungsspezifische Messwerte, die entweder zu den hergestellten Produkten selbst oder zu den Vorrichtungen selbst aufgenommen wurden und deren Betrieb wiedergeben, den Vorgaben entsprachen oder nicht. Dies bietet dann die Möglichkeit, zu jedem Produkt oder jeder Charge nachvollziehbar zu dokumentieren, dass entweder sämtliche qualitativen Mindestanforderungen hinsichtlich der qualitätsbestimmenden Faktoren erfüllt wurden, oder aber, dass bei Nichterfüllung eines oder mehrerer Faktoren genau analysiert werden kann, wo die Ursache der Qualitätseinbuße zu suchen ist. Hat es beispielsweise während des Prozesses Schwierigkeiten mit der Klimatisierung oder der Luftreinigung gegeben, so werden entsprechende dies ausweisende Daten in den produkt- oder chargenbezogenen Datensatz eingetragen sein, die dies belegen.
  • Wie beschrieben lässt das erfindungsgemäße Verfahren nicht nur eine Qualitätsüberwachung im laufenden Produktionsbetrieb zu, sondern kann auch im Rahmen der Produktionsplanung eingesetzt werden. Wenngleich hierfür keine aktuellen Prozessdaten aufgenommen werden können, nachdem ein Prozess zwangsläufig nicht läuft, jedoch eine Vielzahl von Daten vorliegen, die andere qualitätsbeeinflussende Faktoren beschreiben, wie beispielsweise Daten betreffend das einzusetzende oder zu verwendende Equipment, das einzusetzende Personal, die einzusetzenden Medien, die zu verwendenden Verpackungsmaterialien, etc., kann auch hier eine verlässliche Aussage hinsichtlich etwaiger im geplanten Prozess auftretender kontaminationstechnischer Probleme gemacht werden. Enthalten die Daten beispielsweise Angaben, dass seitens der Klimaanlage, die im neu aufzunehmenden Prozess tätig werden soll, ein ungereinigter Filter vorhanden ist, oder dass einzusetzende Tanks oder Behälter noch nicht gereinigt und sterilisiert wurden, etc., so finden sich derartige Daten im prozessbezogenen Datensatz und können berücksichtigt werden.
  • Wie beschrieben werden die Daten nicht von der Leitrechnereinrichtung selbst aufgenommen, sondern primär von den Leitrecheneinrichtungen untergeordneter Subsysteme, die jeweils separate Prozessbereiche bearbeiten oder steuern. Wenngleich die Möglichkeit besteht, dass im Rahmen der Qualitätsüberwachung laufender Prozesse die Leitrechnereinrichtung die produkt- oder chargenbezogen zu verknüpfenden Daten kontinuierlich von den Subsystemleitrechnereinrichtungen erhält und verknüpft, sieht eine Weiterbildung der Erfindung vor, dass die zu verknüpfenden Daten von der Leitrechnereinrichtung von den den Subsystemen zugeordneten Subsystemrecheneinrichtungen bedarfsweise abgerufen werden, dass also letztlich die Datenverknüpfung bei Bedarf erfolgt. Dies kann beispielsweise nur bei einer echten Anfrage seitens des Anwenders erfolgen, kann aber beispielsweise auch intermittierend erfolgen, z.B. stets dann, wenn eine komplette Charge fertig hergestellt wurde.
  • Im Rahmen der Nachweiserbringung der Einhaltung der geforderten Qualitätsstandards ist nicht nur die Ordnungsgemäßheit des Produktionsprozesses nachzuweisen, vielmehr sind auch häufig unterstützend Dokumente beizuziehen, die entweder eine mögliche Defektanalyse zulassen, oder die die Geeignetheit einer verwendeten Vorrichtung, deren einschlägige Prüfung und Freigabe sowie deren Kalibrierung belegen oder dergleichen. Das heißt, jeder Reinraumbetreiber muss imstande sein, zu jeder Charge sämtliche Dokumente bereitzuhalten und vorzulegen, die erforderlich sind, um durch standardmäßige Prüfroutinen den bestimmungsgemäßen Betrieb aller Reinraumsysteme kontrollieren zu können. Um den Reinraumbetreiber auch diesbezüglich soweit als möglich zu entlasten sieht eine vorteilhafte Weiterbildung des Erfindungsgedankens vor, dass den prozess-, produkt-, und/oder chargenbezogen verknüpften Daten weitere einer möglichen Defektanalyse dienende Dokumentdaten zugeordnet werden. Diese Erfindungsausgestaltung setzt voraus, dass die gegebenenfalls benötigten Nachweisdokumente datentechnisch erfasst sind, so dass sie den verknüpften Daten zugeordnet werden können. Bei diesen Dokumentdaten kann es sich beispielsweise um solche in Form von gegebenenfalls vorrichtungs- oder personenbezogenen Betriebsanweisungen, Abnahmeprotokollen, Routineprüfungsprotokollen, Kalibrieranweisungen, Kalibrierzertifikaten, Personenzugangskontrolldaten, Personenschulungsdaten, früherer Fehleranalysedaten, Daten früher festgestellter Abweichungen von Standard- oder Sollwerten oder Daten früherer Änderungen im Produktionsablauf oder dergleichen handeln. Das heißt, der Anwender erhält bei Abruf beispielsweise chargenbezogener Qualitätskontrolldaten nicht nur sämtliche den abgelaufenen Herstellungsprozess betreffende Daten, sondern auch sämtliche Daten bezüglich etwaiger „Schriftdokumente", die im Rahmen des Qualitätsnachweises von Interesse sein können. Der Stand der Dokumentation, also der Dokumentdaten, muss selbstverständlich gepflegt sein, um sicherzustellen, dass immer der aktuelle Stand der Dokumentation verfügbar ist. Werden also etwaige Änderungen beispielsweise in der Zertifizierung, in Abnahmeprotokollen, an Vorrichtung oder in Betriebsanweisungen oder dergleichen vorgenommen, so sind diese Änderungen in den Dokumentdaten nachzuvollziehen, so dass sie aktuell verfügbar sind, was aufgrund der Nachweispflicht heute in der Regel schon der Fall ist. Aus diesen Dokumenten kann aber auch im Rahmen einer Defektanalyse wichtige Information gewonnen werden, z.B. wenn eine Änderung im Ablauf oder an einer Vorrichtung oder dergleichen vorgenommen wurde, ohne dass diese letztendlich von einer entscheidungsbefugten Person freigegeben wurde, was anhand der Dokumentation zu den entsprechenden Unterlagen zu dem Prozessschritt oder der Vorrichtung erkannt werden kann. Denn in diesem Fall fehlt also beispielsweise ein vorschriftsmäßiger Freigabeeintrag oder eine elektronische Unterschrift oder dergleichen.
  • Wie bereits beschrieben ist das erfindungsgemäße Verfahren bereits zur Planung der Produktion und/oder zur Planung von Änderungen im Produktionsablauf einsetzbar. Zu diesem Zweck werden zweckmäßigerweise vom Leitrechner im Rahmen der Produktionsplanung oder der Änderungsplanung von den Subsystemleitrechnern entsprechende planungsrelevante Daten abgefragt und dem Anwender angezeigt. Die abzufragenden planungsrelevanten Daten richten sich letztlich nach den Vorgaben der geplanten Produktion oder der Änderungen im Produktionsablauf. Das heißt, der Leitrechner analysiert von sich aus, welche Daten er von den Subsystemen abfragen muss. Selbstverständlich besteht auch die Möglichkeit, dass der Anwender gezielt entsprechende Daten abfragt.
  • Bei einem Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens im Rahmen der Qualitätsüberwachung der laufenden Produktion kann erfindungsgemäß eine kontinuierliche Auswertung zumindest eines Teils der kontinuierlich aufgenommenen Daten, insbesondere aufgenommener Messwerte erfolgen und bei Überschreiten definierter Grenzwerte eine Warnung an den Anwender ausgegeben werden. Das erfindungsgemäße Verfahren kommt hier im Rahmen der Produktionsunterstützung zum Einsatz. Werden im Rahmen der Datenaufnahme seitens der Subsysteme kontinuierliche Messwerte, also beispielsweise Laborwerte im Rahmen der Prüfung der hergestellten Produkte oder von Teilprodukten oder von Tests nach Abschluss diverser Fertigungsschritte, etc. aufgenommen, so können diese kontinuierlich ausgewertet werden und im Rahmen der Auswertung mit Sollwerten verglichen werden. Stellt man hierbei fest, dass ein aufgenommener Messwert den Soll- oder Grenzwert überschreitet, kann dem Anwender unmittelbar eine Warnung ausgegeben werden. Die kontinuierliche Datenauswertung ist aber nicht auf Messwerte beschränkt. Beispielsweise kann sich auch im Rahmen der Klimatisierung ein aufgenommener Wert bedenklich ändern, so dass eine Alarmierung angezeigt erscheint.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn anhand kontinuierlich aufgenommener Daten eine den zukünftigen Verlauf prognostizierende Trendanalyse vorgenommen wird, wobei bei einer prognostizierten Überschreitung eines definierten Grenzwerts eine Warnung an den Anwender ausgegeben wird. Es erfolgt also ein kontinuierliches Monitoring der aufgenommenen Daten, um im Rahmen einer Trendermittlung eine Verlaufsprognose vorzunehmen. Zeigt sich, dass der prognostizierte Verlauf gegen einen definierten Grenzwert läuft, so kann im Rahmen der Produktionsunterstützung im Vorfeld bereits eine Warnung ausgegeben werden, so dass der Anwender gegebenenfalls korrigierend eingreifen kann.
  • Bei einem Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens insbesondere im Rahmen der kontinuierlichen Qualitätsüberwachung kann ferner vorgesehen sein, dass dem Anwender zunächst zum gewählten Produkt oder zur gewählten Charge von dem jeweiligen mit der Leitrechnereinrichtung kommunizierenden Subsystemrechnereinrichtung zu den vom jeweiligen Subsystem erfassten Produktions- oder Prozessbereichen eine Statusinformation gegeben wird, anhand welcher ein möglicher in einem Subsystem aufgetretener Fehler erkennbar ist, und der Anwender zur Fehleranalyse die weiteren verknüpften Daten des betroffenen Subsystems abfragen kann. Dem Anwender werden also bei Anforderung nicht sämtliche einzelnen Daten, seien es Messwerte, seien es Daten bezüglich des Betriebs von Aktoren oder Sensoren oder dergleichen oder beliebig andere Daten, gegeben, sondern es wird oder werden ihm lediglich eine oder mehrere Statusinformationen zum erfassten Produktions- oder Prozessbereich gegeben, wobei die Anzahl der Statusinformationen davon abhängt, wie selektiv aufgelöst der Produktions- oder Prozessbereich erfasst wird, d.h., wie viele unterschiedliche Bereichsstrukturen vorhanden sind. Die Anzahl der angezeigten Statusinformationen hängt in gleichem Maße auch von der Granularität der Informationen ab, die für die Beurteilung einer Situation erforderlich ist. Im Rahmen der Gebäudeleittechnik besteht beispielsweise die Möglichkeit, zu dem Gebiet „Klimatisierung" eine Statusinformation zu geben, zu dem Gebiet „Verbrauchmedien" wird eine zweite Statusinformation gegeben, während zu dem Gebiet „Personenschleusen" eine dritte Statusinformation gegeben wird. Die Statusinformation wird auf Basis aller darunter liegenden, zu dem Gebiet erfassten Daten erstellt. Sollte nur ein erfasster Status „negativ" sein, wird die gesamte Statusinformation „negativ", so dass der Anwender sofort erkennen kann, dass in diesem Bereich offensichtlich ein Problem gegeben ist. Er kann dann durch entsprechende Navigation in diesen Bereich gehen und gezielt das Datum auffinden, das negativ ist. Das heißt, er wählt sich quasi von einem Untermenü in das Nächste, bis er den Fehler gefunden hat. Liegt kein Fehler vor, so sind sämtliche Statusinformationen „ok", so dass der Anwender auf einfache Weise einen Komplettüberblick erhält.
  • Der Anwender kann die verknüpften Daten, insbesondere die Statusinformationen jederzeit zu Zwecken einer Routinekontrolle abrufen. Alternativ können ihm die verknüpften Daten, insbesondere die Statusinformationen, aber auch kontinuierlich angezeigt werden.
  • Die aufgenommenen Daten werden zweckmäßigerweise vollständig archiviert, um zu einem späteren Zeitpunkt den gegebenenfalls geforderten Nachweis hinsichtlich der Produktqualität und der Ordnungsgemäßheit des Arbeitsablaufs führen zu können. Werden sämtliche Daten, die aufgenommen werden, zu Dokumentationszwecken archiviert, steigt das zu archivierende Datenvolumen mit der Zeit beachtlich an. Zweckmäßig ist es beispielsweise bei einer chargenbezogenen Verknüpfung, stets die chargenbezogenen verknüpften Daten aufzunehmen und zu archivieren, wodurch das Archivierungsdatenaufkommen reduziert werden kann.
  • Wie beschrieben, können unterschiedlichste Subsysteme vorgesehen sein, die über die übergeordnete Leitrechnereinrichtung erfasst werden. Denkbar sind hier beispielsweise wenigstens ein Gebäudeleittechnikrechner, wenigstens ein Prozessleittechnikrechner, wenigstens ein Dokumentenverwaltungsrechner und gegebenenfalls wenigstens ein Produktprüflaborrechner.
  • Während einleitend die prozess-, produkt- oder chargenbezogene Datenverknüpfung beschrieben wurde, besteht selbstverständlich auch die Möglichkeit, die Daten zusätzlich raumbezogen zu verknüpfen und bereitzustellen, was dann zweckmäßig ist, wenn der Reinraum mehrere abgetrennte, quasi separate Raumabschnitte umfasst, um quasi lokal zu einer besseren Datenauflösung zu gelangen. Auch ist es denkbar, die Daten produktionslinienbezogen zu verknüpfen, wenn in einem Reinraum beispielsweise mehrere parallel laufende Produktionslinien integriert sind.
  • Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus dem im folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiel sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:
  • 1 eine Prinzipskizze eines erfindungsgemäßen Reinraumüberwachungs- und Dokumentationssystems,
  • 2 eine schematische Flussdarstellung hinsichtlich der Datenerfassung und -verknüpfung, und
  • 3 eine schematische Darstellung betreffend eine chargenbezogene Fehlerermittlung.
  • Vorauszuschicken ist, dass es sich bei einem Reinraum nebst zugeordneter Peripherie um ein äußerst komplexes System handelt, in welchem eine Vielzahl an Einzelkomponenten zusammenwirken und mithin die zu erfassenden Daten beliebig komplexer Natur und Zusammensetzung sein können. In der folgenden Darstellung werden lediglich schematisch und grundlegende Ausführungen zur Erläuterung der grundsätzlichen Zusammenhänge und Vorgehensweise im Rahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens gegeben. Selbstverständlich sind die realen Zusammenhänge weitaus komplexer, die dargestellten Zusammenhänge und Abläufe sind also keinesfalls abschließend und in irgendeiner Weise beschränkend zu werten.
  • 1 zeigt in Form einer Prinzipskizze eine Rechnerarchitektur eines Reinraumüberwachungs- und Dokumentationssystems 1, geeignet zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • Gezeigt ist ein zentraler übergeordneter Leitrechner 2, auf den gegebenenfalls über eine oder mehrere externe, in 1 nur gestrichelt gezeigte Abfragerechner 3 zur Datenabfrage zugegriffen werden kann.
  • Dem zentralen Leitrechner 2 sind diverse Subsysteme zugeordnet, auf die der mit den jeweiligen Subsystem-Leitrechnern vernetzte zentrale Leitrechner 2 zugreifen kann. Im gezeigten Beispiel sind insgesamt sechs Subsysteme I, II, III, IV, V und VI vorgesehen, wobei natürlich beliebig mehr Subsysteme je nach Ausprägung des Reinraumsystems integriert sein können.
  • Das Subsystem I ist im gezeigten Beispiel das Gebäudetechnik-Subsystem mit seinem wenigstens einen zugeordneten Gebäudetechnik-Leitrechner 4. Über den Gebäudeleitrechner werden einerseits Steueraufgaben für im Subsystem integrierte Gerätschaften vorgenommen, zum anderen erfolgt aber auch die Erfassung relevanter Daten, die in irgendeiner Weise produktionsbezogen und prozessumgebungsbezogen sind und einen möglichen Einfluss auf eine mögliche Produktkontamination haben können. Exemplarisch ist in 1 der Bereich der Klimatisierung der einzelnen Räume des Reinraumsystems (ein Reinraumsystem kann ein oder mehrere Reinräume umfassen) dargestellt. Hierunter fallen z.B. sämtliche Tätigkeiten im Rahmen der Luftversorgung und Reinigungen im Hinblick auf die Einhaltung der extremen Anforderungen an die Partikelkonzentration im Reinraum und dergleichen. Ferner ist der Bereich der „Stromversorgung" dargestellt, also die Versorgung sämtlicher im Reinraum vorhandener Maschinen, Anlagen, etc. sowie sämtlicher Peripheriegeräte. Genannt ist ferner der Bereich der „Personenschleusen", also der Schleusenbereiche, über die Personen in und aus dem Reinraum gelangen, mit gegebenenfalls zugeordneter Personendekontamination, etc. Diese Auflistung ist selbstverständlich nicht abschließend, es können beliebige weitere Bereiche eingebunden werden, zu denen seitens des Leitrechners über entsprechende den jeweiligen Bereichen zugeordnete Sensorendaten aufgenommen werden. Diese von beliebigen Sensoren, Aktoren, etc. gelieferten Daten werden zeitaufgelöst abgespeichert, um sie zu einem späteren Zeitpunkt zeitaufgelöst weiterverarbeiten zu können.
  • Das Subsystem II betrifft den Bereich der Prozessanlagen und umfasst wenigstens einen Prozessanlagen-Leitrechner 5, über den beispielsweise sämtliche in dem oder den Reinräumen befindliche Arbeitsmaschinen und -geräte, die in irgendeiner Weise der Produktherstellung oder -behandlung dienen, gesteuert werden. Gleichermaßen werden Förderanlagen und ähnliche Gerätschaften, die dem Produkttransport gleich in welcher Herstellungsstufe dienen, gesteuert, etc. Auch diese Aufzäh lung ist naturgemäß nicht abschließend. Auch hier werden über den Prozessanlagen-Leitrechner 5 eine Vielzahl unterschiedlichster maschinen- oder gerätespezifischer Daten, die in irgendeiner Weise prozess- oder prozessumgebungsrelevant sind und einen Einfluss auf die Produktqualität haben können, zeitaufgelöst oder auch bereits chargenbezogen erfasst und gespeichert.
  • Das Subsystem III ist das Personalsystem mit dem Personal-Leitrechner 6. In diesem Leitrechner sind unterschiedlichste Daten zu den im Reinraum arbeitenden Personen abgelegt bzw. werden kontinuierlich zeitaufgelöst erfasst. Hierunter fallen beispielsweise die Namen der überhaupt im Reinraum zulässigerweise arbeitenden Personen, deren Ausbildungsgrad und insbesondere auch der Zeitplan, aus dem erfasst werden kann, welche Personen zu welchem Zeitpunkt im Reinraum tätig waren. Auch bei diesen Daten handelt es sich um relevante Daten, die in irgendeiner Weise Einfluss auf die Produktqualität haben können, da z.B. ein nicht hinreichend fachlich ausgebildeter Bediensteter mangels Kenntnis gegebenenfalls fehlerhaft handeln kann und es aus diesem Grund zu irgendwelchen Qualitätseinbußen kommen kann.
  • Das Subsystem IV ist das Materialsystem, in dem sämtliche Hilfs- und Betriebsstoffe spezifiziert verwaltet und erfasst werden, angefangen von den verwendeten Materialien zur Herstellung der Produkte, im Falle der Herstellung von Arzneimitteln beispielsweise der Ausgangsstoffe, im Falle der Herstellung elektrischer Bauelemente beispielsweise der verwendeten Halbleitermaterialien, Daten zu verwendeten Reinigungs- und Lösemitteln, Suspensionen, Emulsionen, etc., also sämtliche relevanten Daten bezüglich irgendwelcher verwendeter gasförmiger, flüssiger oder fester Mittel, die im Rahmen der Herstellung verwendet werden. Ferner sind in diesem Zusammenhang z.B. Packmittel zu nennen, die dem Einpacken der hergestellten Produkte dienen und naturgemäß ebenfalls kontaminierend sein können. Zu sämtlichen Materialien, etc. werden be liebige Daten hinsichtlich deren Reinheit, der verwendeten Material- oder Teilecharge, dem Zeitpunkt der erstmaligen Verwendung der Charge, etc. erfasst und zeitaufgelöst eingeschrieben, so dass auch diese Daten zu einem späteren Zeitpunkt zeitaufgelöst verarbeitet werden können. Die Datenerfassung und -verwaltung erfolgt auch hier durch wenigstens einen Material-Leitrechner 7. Wichtig ist z.B. auch der Gültigkeitsbereich. So dürfen z.B. Beipackzettel nur im richtigen Ausgabestand verwendet werden (oder auch in der für das Land gültigen Sprache).
  • Das Subsystem V ist das Laborsystem mit wenigstens einem Labor-Leitrechner 8. In diesem Subsystem werden beispielsweise sämtliche Messwerte, die über qualitative Produkteigenschaften Auskunft geben, aufgenommen und verwaltet. Auch diese Messwerte werden zeitaufgelöst oder sofern möglich bereits produkt- oder chargenbezogen aufgenommen und verwaltet.
  • Schließlich ist das Dokumentensubsystem VI gezeigt, das der Dokumentenerfassung und -verwaltung dient. Über wenigstens einen Dokument-Leitrechner 9 erfolgt die Erfassung und Verwaltung beliebiger Dokumentdaten wie beispielsweise von Zertifikaten bezüglich bestimmter verwendeter Maschinen, Kalibrierungsprotokolle, Prüfprotokolle, Fehleranalysedaten, etc., also generell aller relevanter Daten, die in irgendeiner Weise relevant für einen etwaigen Qualitätsnachweis der Produktion bzw. der Produkte bzw. einer Verifizierung des Prozessablaufs dienlich sind.
  • Naturgemäß ist die obige Aufzählung nicht abschließend, 1 gibt lediglich einen einfachen, groben Überblick über denkbare relevante Subsysteme und deren Tätigkeit. In der Praxis hängt deren Konfiguration und die vorgenommenen Handlungen/aufgenommenen Daten davon ab, welcher Art die Produkte sind, die hergestellt werden, wie der gesamte Prozess aufgezogen ist, etc. Sie hängt ebenfalls von der Funktionalität der bereits eingeführten Leitsysteme ab. Diese ist herstellerspezifisch.
  • Sämtliche Subsysteme sind miteinander vernetzt, wobei über geeignete Schnittstellen sicherzustellen ist, dass ein reibungsloser Datentransfer unter den Subsystemen wie auch zum zentralen Leitrechner möglich ist. Zweckmäßigerweise werden Standardschnittstellen eingesetzt, was insbesondere hinsichtlich einer Nachrüstung bereits bestehender Subsysteme zur Konfiguration des erfindungsgemäß vorgeschlagenen, zentral überwachten Systems, wie in 1 dargestellt, zweckmäßig ist.
  • 2 zeigt anhand eines prinzipiellen Ablaufschemas, wie im Rahmen eines Qualitätsnachweises für eine bestimmte Charge relevante Daten zusammengetragen werden.
  • Exemplarisch wird ein Qualitätsnachweis für die Charge x verlangt. Zunächst werden alle chargenbezogenen relevanten Daten der einzelnen Subsysteme zusammengetragen. Dies sind die Daten des Gebäude-Leitrechners 4, des Prozessanlagen-Leitrechners 5, des Personal-Leitrechners 6, des Material-Leitrechners 7 sowie des Labor-Leitrechners 8. Nachdem die Daten allezeit aufgelöst aufgenommen wurden, ist es ohne weiteres möglich, zu der spezifischen Charge x die zeitbezogen richtigen Daten zusammenzutragen. Unter Umständen sind alle Daten bereits chargenbezogen aufgenommen worden. Der Zeitbezug ergibt sich aus dem Start und Ende des Produktionszyklus der Charge x und kann z.B. aus dem elektronischen Batchrecord ermittelt werden. Hierüber können beispielsweise alle das Produkthandling und die Bearbeitung betreffenden Daten erfasst werden. Sofern Daten erfasst werden sollen, die beispielsweise nicht über den elektronischen Batchrecord unmittelbar referenziert werden können, ist ein alternativer Zeitbezug zu ermitteln. Wenn es sich z.B. um eine Kontamination durch luftgetragener Partikel handelt, die zu besorgen ist, ist gegebenenfalls relevant, wie lange sich ein Produkt unverpackt in einem Raum befunden hat. Bei Verpackungslinien kann dieser Zeitraum kürzer sein als die Dauer des Herstellungsschrittes der gesamten Charge x, wohingegen bei unverpackter Ware infolge einer Zwischenlagerung in einem Raum eventuell der Zeitraum auch darüber hinaus gehen kann. In jedem Fall ist auch bezüglich dieser Daten ein Zeitbezug zu generieren, der es ermöglicht, diejenigen relevanten Daten aus dem Datenaufkommen am jeweiligen Leitrechner herauszufiltern, die chargenbezogen für einen Qualitätsnachweis oder dergleichen relevant sind.
  • Parallel zur Erfassung der relevanten Daten wie oben beschrieben werden alle relevanten Dokumentdaten aus dem Dokument-Leitrechner abgerufen. Auch diese Daten sind insoweit zeitaufgelöst, als beispielsweise zu Kalibrier- oder sonstigen Zertifikaten stets deren Gültigkeitsdauer angegeben ist, so dass bezogen zum Zeitraum, innerhalb welchem die Charge x hergestellt wurde, alle zu diesem Zeitpunkt gültigen Zertifikate, Anweisungen, etc. erfasst werden können.
  • Alle erfassten Daten werden nun chargenbezogen zur Charge x miteinander verknüpft und können in beliebig strukturierter Weise dem Anwender ausgegeben werden.
  • 3 zeigt in Form einer Prinzipdarstellung ein mögliches Fehlerermittlungsszenario. Beispielsweise wurde auch hier die Charge x fertiggestellt. Nach Fertigstellung erhält der Anwender entweder automatisch oder auf Abfrage die im Schritt a dargestellten Statusinformationen zu den einzelnen Subsystemen an einem Monitor dargestellt. Im gezeigten Beispiel wurden innerhalb der Datenkonvolute am Prozessanlagen-Leitrechner, am Personal-Leitrechner, am Material-Leitrechner und am Labor-Leitrechner keinerlei Daten festgestellt, die einen Ansatzpunkt für eine mögliche Qualitätseinbuße bieten, d.h., die erfassten Daten entsprechen den Soll-Vorgaben, Abweichungen wurden nicht ermittelt. Die Überprüfung der Daten dahingehend, ob sie den gemachten Soll- oder Zielvorgaben entspre chen, wird beispielsweise von jedem Leitrechner selbst vorgenommen. Im gezeigten Beispiel werden die Datenblöcke der einzelnen Subsysteme, die in Ordnung sind, mit „+" gekennzeichnet. Wie der Figur aber zu entnehmen ist, liegt ein Problem am Gebäude-Leitrechner vor, d.h., innerhalb des dort erfassten Datenvolumens befinden sich Daten, die auf etwaige Schwierigkeiten hinweisen. Infolgedessen ist die Statusinformation zum Gebäude-Datenkonvolut mit „–" gekennzeichnet.
  • Der Anwender kann nun in Form einer Menüführung in jeweils unter dem im Schritt a angezeigten Menü liegende Untermenüs eintauchen. Beispielsweise wählt er nun den Bereich „Gebäude" aus, so dass ihm im Schritt b nähere Informationen in Form eines Untermenüs zu diesem Bereich gegeben werden. Exemplarisch ist hier der Bereich der Stromversorgung sowie der Schleusen angegeben, die dort aufgenommenen Daten sind allesamt in Ordnung, weshalb sie mit „+" als Statusinformation versehen sind. Der weiterhin angegebene Bereich der Klimatisierung beinhaltet jedoch Fehlerdaten, weshalb er mit der Statusinformation „–" gekennzeichnet ist.
  • Im Schritt c wählt der Anwender nun den Bereich „Klimatisierung", und erhält diverse darunter liegende Informationen zu Teilsystemen angezeigt. Ersichtlich sind die Statusinformationen, die Auskunft über die Funktionsfähigkeit der Pumpen und Leitungen im Klimatisierungssystem geben, in Ordnung, sie sind mit der Statusinformation „+" gekennzeichnet. Die aufgenommenen Fehldaten liegen im Bereich des Filtersystems vor, das mit der Statusinformation „–" gekennzeichnet ist.
  • Wird nun der Bereich „Filter" angewählt, so werden dem Anwender beispielsweise die unterschiedlichen Räume, die in das gesamte Reinraumsystem eingebunden sind, zur Auswahl dargestellt, verbunden mit einer Statusinformation, bezogen auf welchem Raum die fehlerhaften Daten ermittelt wurden. Gezeigt sind die Räume A, B, C, wobei die Statusdaten zu den Räumen A und C in Ordnung sind und mit „+" gekennzeichnet sind, wäh rend die Daten zum Raum B offensichtlich die Fehlerdaten enthalten und mit „–" gekennzeichnet sind.
  • Wählt nun der Anwender die näheren Informationen zu „Filter Raum B" an, so erhält er wie im Schritt e angezeigt alle spezifischen Statusinformationen zu den einzelnen im Raum B verwendeten Filtern. Im gezeigten Beispiel sind jeweils zwei Filter für den Lufteingang und zwei Filter für den Luftausgang vorgesehen. Die Filter „Filter 1 Eingang", „Filter 1 Ausgang" und „Filter 2 Ausgang" sind alle in Ordnung befunden worden, sie sind mit „+" gekennzeichnet. Der Fehler liegt offensichtlich am „Filter 2 Eingang", der mit der Statusinformation „–" gekennzeichnet ist.
  • Im Schritt f kann der Anwender nun nähere Informationen zu dem „Filter 2 Eingang" anwählen, wobei er hier konkrete Informationen zur möglichen Fehlerursache bekommt. Gezeigt ist exemplarisch die Information „Reinigungs-Zyklus", in der angegeben ist, ob beispielsweise dieser Filter korrekt gemäß den vormals definierten Reinigungsschritten zu den korrekten Zeitpunkten gereinigt wurde. Nachdem hier ein „+" eingetragen ist, wurde also der Filter ordnungsgemäß gereinigt. Die Reinigungsschritte können beispielsweise durch eine entsprechende Referenzierung auf die entsprechenden im Dokument-Leitrechner abgelegten Betriebsanleitungen erfasst werden.
  • Ferner ist angegeben, ob der Filter „Verschmutzt" ist, was hier der Fall ist, nachdem er mit dem Symbol „–" gekennzeichnet ist. Das heißt, dieser Filter ist aus welchem Grund auch immer während des Betriebs verschmutzt worden. Die Ursache für eine etwaige Qualitätseinbuße seitens der Charge x ist also möglicherweise in dem verschmutzten Filter zu suchen.
  • 3 beschreibt lediglich ein Beispielszenario, das naturgemäß hinsichtlich des Abfrageschemas nicht allzu fein aufgelöst werden kann. Selbstverständlich besteht die Möglichkeit, die Abfragen und Informationszusammenstellung noch wesentlich feiner zu strukturieren, um nicht nur eine grobe Fehlerauflösung vorzunehmen, sondern um den Fehler noch feiner aufzulösen, beispielsweise dahingehend, dass gleichzeitig eine genaue Statusabfrage bezüglich der Zuleitung zu dem verschmutzten Filter erfolgt, um zu erfassen, ob dort eine Kontamination vorliegt, oder noch weitergehend, sofern dies in irgendeiner Weise über geeignete Sensorik erfasst wird.
  • Wie bereits beschrieben dienen obige Beispiele nur dazu, die generelle Datentransparenz in ihrer prozess-, produkt- oder chargenbezogenen Auflösung anschaulich zu machen. Nachdem es hier zentral auf die Reinheit der verwendeten Materialien, Vorrichtungen, etc. ankommt, naturgemäß auch bezogen auf die Reinheit und Sterilität etwaiger Produkthandlingschritte, kann die Auflösung der erfassten Daten natürlich auch unterschiedlich bezogen auf etwaige Reinheitsklassen für Produkte und Herstellungsschritte erfolgen. Es wäre also erforderlich, Reinheitsklassen zu ermitteln, die den einzelnen Produkten und Herstellungsschritten zugeordnet werden können und die die Anforderungen an Räume, Gebäude, Einrichtungen, Ausrüstungen, Personal, Einsatzstoffe, Produkte, Packmittel, Hilfs- und Betriebsmittel oder Hilfs- und Betriebsstoffe sowie das Einschleusen in die entsprechenden Reinheitsklassen beschreiben oder definieren. Diese Reinheitsklassen können dann beispielsweise Basis für alle erforderlichen Prüfungen und damit auch Basis für die Logik des der Datenerfassung zugrunde liegenden Objektmodells und der Applikationslogik sein. Je nach Art des hergestellten Produktes gibt es gegebenenfalls unterschiedliche Anforderungen, die sich insoweit aus der Zuordnung der anzuwendenden Reinheitsklasse(n) ändern kann, gegebenenfalls auch bezogen auf die jeweils abzufragenden Datenpfade.
  • Neben der Ermittlung etwaiger Fehler und der möglichst weitgehenden Bestimmung der Ursache kann das erfindungsgemäße Verfahren auch im Rahmen der Planungsvorbereitung eingesetzt werden. Vor Beginn einer Produktion soll in diesem Zusammen hang geprüft werden, ob die Anlagen oder die gesamte Reinraumarchitektur, die verwendet werden soll, einsatzbereit und qualifiziert ist. Eine umfangreiche Statusüberwachung verhindert wirkungsvoll einen Einsatz falschen Equipments wie beispielsweise nicht sterilisierter oder ungereinigter Filter, Tanks, Behälter, Förderstrecken, etc. Weiterhin wird geprüft, ob alle anderen eingesetzten Ressourcen spezifikationsgerecht zur Verfügung stehen, wie z.B. Räumlichkeiten sowie die dortige Partikelkonzentration, Personal, Betriebsmedien, Verpackungsmaterialien, Einsatzstoffe, etc.
  • Weiterhin kann das erfindungsgemäße Verfahren im Rahmen von Audits oder Qualitätsprüfungen eingesetzt werden, nachdem es ermöglicht, zu einer spezifischen Charge ohne Zeitverzögerung alle qualitätsrelevanten Daten und Informationen anzuzeigen und zu prüfen, ob diese Daten verfügbar und anforderungsgerecht erfasst und realisiert sind.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Qualitätskontrolle der Produktion in wenigstens einem Reinraum, in welchem Reinraum verschiedene Vorrichtungen und/oder Personen im Rahmen der aufzunehmenden oder laufenden Produktbearbeitung tätig sind, bei welchem Verfahren alle einen Einfluss auf die Produktqualität, insbesondere eine mögliche Produktkontamination habenden produktionsbezogenen und prozessumgebungsbezogenen Daten über eine übergeordnete Leitrecheneinrichtung erfasst und prozessbezogen und/oder produktbezogen und/oder chargenbezogen miteinander verknüpft und bei Bedarf ausgegeben werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zu verknüpfenden Daten von der übergeordneten Leitrechnereinrichtung von Subsystemen zugeordneten Subsystemrechnereinrichtungen abgerufen werden.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass den prozess-, produkt- und/oder chargenbezogen verknüpften Daten weitere einer möglichen Defektanalyse dienende Dokumentdaten zugeordnet werden.
  4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Dokumentdaten solche in Form von Betriebsanweisungen, Abnahmeprotokollen, Routineprüfungsprotokollen, Kalibrieranweisungen, Kalibrierzertifikaten, Personenzugangskontrolldaten, Personenschulungsdaten, früherer Fehleranalysedaten, Daten früher festgestellter Abweichungen von Standard- oder Sollwerten oder Daten früherer Änderungen im Produktionsablauf od. dgl..
  5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass vom Leitrechner im Rahmen der Planung der Produktion und/oder der Planung von Änderungen im Produktionsablauf von den Subsystemleitrechnern planungsrelevante Daten abgefragt und dem Anwender angezeigt werden.
  6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der Qualitätsüberwachung der laufenden Produktion eine kontinuierliche Auswertung zumindest eines Teils der kontinuierlich aufgenommenen Daten, insbesondere aufgenommener Messwerte erfolgt und bei Überschreiten definierter Grenzwerte eine Warnung an den Anwender gegeben wird.
  7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass anhand der kontinuierlich aufgenommenen Daten eine den zukünftigen Verlauf prognostizierende Trendanalyse erfolgt, wobei bei einer prognostizierten Überschreitung eines definierten Grenzwerts eine Warnung an den Anwender ausgegeben wird.
  8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Anwender zunächst zum gewählten Produkt oder zur gewählten Charge von dem jeweiligen mit der Leitrechnereinrichtung kommunizierenden Subsystemrechnereinrichtung zu den vom jeweiligen Subsystem erfassten Produktions- oder Prozessbereichen eine Statusinformation gegeben wird, anhand welcher ein möglicher in einem Subsystem aufgetretener Fehler erkennbar ist, und der Anwender zur Fehleranalyse die weiteren verknüpften Daten des betroffenen Subsystems abfragen kann.
  9. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anwender die verknüpften Daten, insbesondere die Statusinformationen jederzeit zu Zwecken einer Routinekontrolle abrufen kann oder dass ihm die verknüpften Daten, insbesondere die Statusinformationen kontinuierlich angezeigt werden.
  10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens die ausgegebenen verknüpften Daten, vorzugsweise alle aufgenommenen Daten zu Dokumentationszwecken archiviert werden.
  11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verknüpfung Daten von wenigstens einem Gebäudeleittechnikrechner, wenigstens einem Prozessleittechnikrechner und wenigstens einem Dokumentenverwaltungsrechner, und gegebenenfalls wenigstens einem Produktprüflaborrechner abgefragt werden.
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DE69219329T2 (de) * 1992-08-04 1997-10-30 Ibm Tragbare abdichtbare unter Druck stehende Behältern zum Speichern von Halbleiterwafern in einer Schützenden gasartigen Umgebung

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