DE102004003329B3 - Method of geometrically measuring a surface covered with a transparent material film especially a fluid film such as for use in surgery where at least two measurements are made for each measurement point - Google Patents

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Abstract

The method involves directing two separate light bundles (4) onto the surface (5) from two starting points spaced a given distance from each other in a reference system (8). For a first measurement, the two light bundles are applied to the surface at a measurement point (6) for coverage. The position of the two light bundles in the reference system is determined to derive the distance of the measurement point from a reference point in the reference system using triangulation. For each measurement point, at least a second measurement is carried out with a different positioning of the two starting points. The distance between the starting points and the reference point is determined taking into account the refraction in the film (7), from the detected positions and the change in starting points.

Description

Technisches AnwendungsgebietTechnical application

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur geometrischen Vermessung einer mit einem transparenten Materialfilm, insbesondere einem Flüssigkeitsfilm, bedeckten Oberfläche, bei dem zwei getrennte Lichtbündel von zwei Ausgangspunkten, die in einem Bezugssystem einen vorgegebenen Abstand zueinander aufweisen, auf die Oberfläche gerichtet werden, die beiden Lichtbündel für eine erste Messung auf der Oberfläche in einem Messpunkt zur Überdeckung gebracht werden und bei Überdeckung im Messpunkt die Lage der beiden Lichtbündel im Bezugssystem erfasst wird, um über Triangulation die Entfernung des Messpunktes zu einem Bezugspunkt des Bezugssystems zu ermitteln.The The present invention relates to a geometric measurement method one with a transparent material film, in particular a liquid film, covered surface, at the two separate light bundles of two starting points, which in a reference system a predetermined Distance apart, be directed to the surface, the two light beam for one first measurement on the surface in a measuring point to cover be brought and covered recorded in the measuring point, the position of the two light bundles in the reference system is going to over Triangulation the distance of the measuring point to a reference point of the reference system.

Die geometrische Vermessung von Oberflächen mit optischen Messverfahren findet in vielen technischen Bereichen Anwendung. Ein besonderes Anwendungsgebiet stellt das Gebiet der Chirurgie dar, auf dem in zunehmendem Umfang Navigationssysteme eingesetzt werden. Dies betrifft insbesondere die minimalinvasive Chirurgie aber auch konventionelle Eingriffe, bspw. bei roboterassistierten Anwendungen. Navigationssysteme ermöglichen eine Orientierung des Chirurgen bei der Führung von Instrumenten innerhalb des menschlichen Körpers, ohne dass der Chirurg eine unmittelbare Wahrnehmung von der Eingriffsstelle haben muss. Viele derartiger Navigationssysteme verwenden präoperativ erstellte, dreidimensionale Bilddaten von Computertomographen oder Magnetresonanztomographen. Weiterhin sind auch intraoperative Messverfahren bekannt, bei denen die Umgebungsinformation während des Eingriffs direkt an der Eingriffsstelle erfasst und zur Navigation dargestellt wird. Beispiele hierfür sind Messverfahren mit optischen 3D-Scannern an der Endoskopspitze, die kontinuierlich ein aktuelles, dreidimensional rekonstruiertes Bild des umgebenden Gewebes von der Endoskopspitze liefern.The geometric measurement of surfaces with optical measuring methods is used in many technical areas. A special Application area represents the field of surgery on which in Increasingly, navigation systems are being used. this concerns especially the minimally invasive surgery but also conventional Interventions, for example in robot-assisted applications. navigation systems enable an orientation of the surgeon in the guidance of instruments within of the human body, without the surgeon having an immediate perception of the intervention site must have. Many such navigation systems use preoperatively created, three-dimensional image data from computed tomography or Magnetic resonance imaging. Furthermore, intraoperative measuring methods are also available known in which the environmental information during the procedure directly detected at the point of intervention and displayed for navigation. Examples of this are measurement methods with optical 3D scanners at the endoscope tip, which is continuously a current, three-dimensional reconstructed Provide image of the surrounding tissue from the endoscope tip.

Neben diesem speziellen medizinischen Anwendungsgebiet lassen sich optische Verfahren zur geometrischen Vermessung einer Oberfläche auch in anderen technischen Bereichen einsetzen, wie bspw. zur Positionierung von Elementen, zur Qualitätssicherung in der Produktion oder im Bereich der technischen Endoskopie.Next This special medical application can be optically Method for geometric measurement of a surface as well in other technical areas, such as for positioning of elements, for quality assurance in production or in the field of technical endoscopy.

Aus der DE 100 37 771 A1 ist ein Verfahren zur geometrischen Vermessung einer Oberfläche bekannt, bei dem zwei getrennte Lichtbündel von zwei Ausgangspunkten, die in einem Bezugssystem einen vorgegebenen Abstand zueinander aufweisen, auf die zu vermessende Oberfläche gerichtet werden. Die beiden Lichtbündel werden anschließend auf dem Objekt in einem Messpunkt zur Überdeckung gebracht. Bei Überdeckung der beiden durch die Lichtbündel erzeugten Lichtflecke auf der Oberfläche wird die Lage der beiden Lichtbündel im Bezugssystem erfasst. Aus der erfassten Lage der Lichtbündel und dem Abstand der beiden Ausgangspunkte zum Zeitpunkt der Überdeckung wird die Entfernung des Messpunktes auf dem Objekt zu einem Bezugspunkt des Bezugssystems ermittelt. Dies kann durch Berechnung mit Triangulation oder auch durch Vergleich mit bereits für die eingesetzte Vorrichtung mittels Triangulation vorberechneten Tabellenwerten erfolgen. Die Druckschrift gibt auch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens an, die sich insbesondere in ein Endoskop integrieren lässt. Durch Vermessung einer Vielzahl von Messpunkten an der Oberfläche lässt sich der Oberflächenverlauf rekonstruieren.From the DE 100 37 771 A1 A method for geometrically measuring a surface is known, in which two separate light bundles are directed from two starting points, which have a predetermined distance from one another in a reference system, onto the surface to be measured. The two light beams are then brought to overlap on the object in a measuring point. When the two light spots produced by the light bundles are covered on the surface, the position of the two light bundles in the reference frame is detected. From the detected position of the light beams and the distance of the two starting points at the time of the overlap, the distance of the measuring point on the object to a reference point of the reference system is determined. This can be done by calculation with triangulation or by comparison with already pre-calculated for the device used by triangulation table values. The document also specifies a device for carrying out the method, which can be integrated in particular into an endoscope. By measuring a large number of measuring points on the surface, the surface profile can be reconstructed.

Gerade beim Einsatz einer derartigen Vorrichtung im Bereich der Chirurgie besteht jedoch das Problem, dass die zu vermessenden Oberflächen während der Operation häufig durch natürliche Körperflüssigkeiten oder Spülflüssigkeiten bedeckt sind. Diese dünnen Flüssigkeitsfilme auf der Oberfläche können die Messung durch Brechungseffekte verfälschen. Das Gleiche gilt für andere Anwendungsgebiete, bspw. bei der technischen Endoskopie oder industriellen Anwendungen mit gefluteten Oberflächen, bei denen die zu vermessenden Oberflächen mit einem dünnen transparenten Materialfilm bedeckt sind.Just when using such a device in the field of surgery However, there is the problem that the surfaces to be measured during the Operation often by natural body fluids or rinsing fluids are covered. This thin one liquid films on the surface can falsify the measurement by refraction effects. The same is true for others Areas of application, for example in technical endoscopy or industrial Applications with flooded surfaces where the ones to be measured surfaces with a thin one transparent material film are covered.

Die DE 44 34 822 C1 beschreibt eine Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Abständen zu reflektierenden Grenzflächen, insbesondere zur berührungslosen Messung der Dicke von Messobjekten aus transparentem Material. Bei dieser Vorrichtung werden zwei gegenläufige Strahlen aus zwei Strahlungsquellen durch zwei Strahlteiler und eine Umlenkeinrichtung schräg auf die Oberfläche des Messobjektes geführt. Die Umlenkeinrichtung besteht aus einem Körper aus transparentem Material mit reflektierenden und brechenden Grenzflächen. Die an der Vorder- und Rückfläche des transparenten Messobjekts reflektierten Teilstrahlen werden durch die Umlenkeinrichtung und die Strahlteiler hindurch auf zwei ortsauflösende Nachweiseinrichtungen gelenkt. Aus den Auftreffpunkten der reflektierten Strahlen lässt sich dann der Abstand zum Messobjekt bzw. die Dicke des transparenten Messobjektes bestimmen.The DE 44 34 822 C1 describes a device for non-contact measurement of distances to reflective interfaces, in particular for non-contact measurement of the thickness of measurement objects made of transparent material. In this device, two counter-rotating beams from two radiation sources are guided by two beam splitters and a deflection obliquely on the surface of the measurement object. The deflector consists of a body of transparent material with reflective and refractive interfaces. The partial beams reflected at the front and rear surfaces of the transparent measurement object are directed by the deflection device and the beam splitters onto two spatially resolving detection devices. From the points of impact of the reflected rays then the distance to the measurement object can be or determine the thickness of the transparent measurement object.

Auch die EP 0 452 665 A2 beschreibt eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Messung der Dicke von transparenten Beschichtungen. Hierbei werden zwei Laser eingesetzt, deren Strahlen auf der Oberfläche der zu vermessenden Schicht überlagert werden. Mit einem CCD-Sensor werden die an der Schicht reflektierte Strahlung des einen Lasers und die an der Schicht gestreute Strahlung des anderen Lasers erfasst. Aus dem erfassten Signal wird dann die Dicke der Schicht abgeleitet.Also the EP 0 452 665 A2 describes an apparatus and method for measuring the thickness of transparent coatings. Here, two lasers are used whose beams are superimposed on the surface of the layer to be measured. With a CCD sensor, the radiation of one laser reflected at the layer and the radiation of the other laser scattered at the layer are detected. From the detected signal, the thickness of the layer is then derived.

Ausgehend von diesem Stand der Technik besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein optisches Messverfahren anzugeben, das die geometrische Vermessung einer mit einem transparenten Materialfilm bedeckten Oberfläche mit hoher Genauigkeit ermöglicht.outgoing from this prior art, the object of the present The invention is to provide an optical measuring method that the geometric measurement of a transparent material film covered surface with high accuracy.

Darstellung der ErfindungPresentation of the invention

Die Aufgabe wird mit dem Verfahren gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens sind Gegenstand der Unteransprüche oder lassen sich aus der nachfolgenden Beschreibung sowie den Ausführungsbeispielen entnehmen.The Task is solved by the method according to claim 1. advantageous Embodiments of the method are the subject of the dependent claims or can be understood from the following description and the embodiments remove.

Bei dem vorliegenden Verfahren zur geometrischen Vermessung einer mit einem transparenten Materialfilm, insbesondere einem Flüssigkeitsfilm, bedeckten Oberfläche werden zwei getrennte Lichtbündel von zwei Ausgangspunkten, die in einem Bezugssystem einen vorgegebenen Abstand zueinander aufweisen, auf die Oberfläche gerichtet. Die beiden Lichtbündel werden für eine erste Messung auf der Oberfläche in einem Messpunkt zur Überdeckung gebracht und die Lage der beiden Lichtbündel im Bezugssystem bei Überdeckung im Messpunkt erfasst. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass für den Messpunkt zumindest eine zweite Messung bei einer definiert anderen Lage der beiden Ausgangspunkte relativ zur Oberfläche durchgeführt wird und aus den erfassten Lagen der Lichtbündel, der definierten Lageänderung der beiden Ausgangspunkte und dem Abstand der beiden Ausgangspunkte die Entfernung des Messpunktes zu einem Bezugspunkt des Bezugssystems unter Berücksichtigung der Lichtbrechung im Materialfilm ermittelt wird. Der vorgegebene Abstand der beiden Ausgangspunkte bleibt selbstverständlich bei der Lageänderung erhalten.at the present method for geometrical measurement of a a transparent material film, in particular a liquid film, covered surface become two separate light bundles of two starting points, which in a reference system a predetermined Distance apart, directed to the surface. The two light bundles will be for one first measurement on the surface in a measuring point to cover brought and the location of the two light bundles in the reference system at coverage recorded at the measuring point. The method is characterized in that for the Measuring point at least one second measurement at a defined other Location of the two starting points is performed relative to the surface and from the detected positions of the light bundles, the defined change in position the two starting points and the distance of the two starting points the distance of the measuring point to a reference point of the reference system considering the refraction of light in the material film is determined. The default Of course, the distance between the two starting points remains the change of position receive.

Für die Vermessung der gesamten Oberfläche werden Messungen an mehreren über die Oberfläche verteilten Messpunkten vorgenommen, wobei je Messpunkt zwei Messungen mit unterschiedlicher Lage der Ausgangspunkte durchgeführt werden. Die Messpunkte müssen dabei nicht explizit vorgegeben sein, bspw. als Markierungen. Die jeweilige Lageänderung der beiden Ausgangspunkte zwischen den beiden Messungen wird definiert vorgenommen, so dass sie für die Auswertung bekannt ist. Eine derartige Lageänderung erfolgt vorzugsweise durch eine Veränderung des Abstandes der Ausgangspunkte zur Oberfläche um eine definierte Distanz. Durch die doppelte Vermessung jedes Messpunktes mit dieser unterschiedlichen Lage der Ausgangspunkte lässt sich der Einfluss der Brechung der Lichtbündel an der Grenzschicht zum transparenten Materialfilm ermitteln und somit der exakte Abstand des Bezugspunktes zur Oberfläche bestimmen. In gleicher Weise kann aus dieser Messung auch die Dicke des transparenten Materialfilms bestimmt werden.For the survey the entire surface Measurements are made at several over distributed the surface Measured points, wherein each measurement point two measurements with different Location of the starting points carried out become. The measuring points must not explicitly specified, for example, as markings. The respective change in position the two starting points between the two measurements is defined made, so they for the evaluation is known. Such a change in position is preferably carried out through a change the distance of the starting points to the surface by a defined distance. By double measuring each measuring point with this different Location of the starting points leaves the influence of the refraction of the light bundles at the boundary layer to determine transparent material film and thus the exact distance the reference point to the surface determine. In the same way, from this measurement, the thickness of the transparent material film.

Somit ermöglicht das vorliegende Verfahren die geometrische Vermessung einer mit einem transparenten Materialfilm bedeckten Oberfläche mit hoher Genauigkeit. Messfehler, die bei dem in der Beschreibungseinleitung genannten Verfahren aufgrund von Brechungseffekten bei gefluteten Oberflächen speziell im direkten Abstand zwischen Vorrichtung und Oberfläche sowie zusätzlich bei schräger Einstrahlung zur Oberfläche durch einen seitlichen Versatz erzeugt werden, können beim vorliegenden Verfahren kompensiert werden. Das Verfahren erweitert somit das Einsatzspektrum derartiger optischer Messsysteme auf Anwendungen mit speziellen Umgebungsbedingungen.Consequently allows the present method, the geometric measurement of a a transparent material film covered surface with high accuracy. Measurement errors, which in the description introduction mentioned methods due to refraction effects in flooded surfaces especially in the direct distance between the device and the surface as well additionally at an angle Radiation to the surface can be generated by a lateral offset, in the present method be compensated. The process thus expands the range of applications such optical measuring systems on applications with special Environmental conditions.

Bei der Konzeption des vorliegenden Verfahrens wurde erkannt, dass die durch einen transparenten Materialfilm auf der Oberfläche verursachte Lichtbrechung durch doppelte Vermessung jedes Messpunktes mit unterschiedlicher Lage der Ausgangspunkte bei der Rekonstruktion der Oberfläche berücksichtigt werden kann. Die Anzahl der aufzulösenden Unbekannten ist bei der doppelten Vermessung jedes Messpunktes geringer als die Anzahl der sich aus der geometrischen Situation ergebenden Gleichungen. Der Brechungskoeffizient des Materialfilms wird dabei als bekannt vorausgesetzt. Dies ist bei den eingangs genannten Anwendungen in der Regel der Fall.at The concept of the present proceedings was recognized to be that caused by a transparent film of material on the surface Refraction by double measurement of each measuring point with different Location of the starting points considered during the reconstruction of the surface can be. The number of unknowns to be resolved is included twice the measurement of each measurement point less than the number the equations resulting from the geometric situation. The refractive index of the material film is known as provided. This is in the applications mentioned in usually the case.

Bei der Bestimmung des Abstandes des Messpunktes vom Bezugspunkt aus den beiden Messungen stellt der Normalenvektor zur Oberfläche des transparenten Materialfilms eine wichtige Größe dar. Vorzugsweise wird dieser. Normalenvektor aus den jeweiligen Gleichungen für die beiden Messungen numerisch bestimmt.When determining the distance of the measuring point from the reference point from the two measurements represents the normal vector to the surface of the transparent material film is an important size. Preferably, this is. Normal vector determined numerically from the respective equations for the two measurements.

In Fällen, in denen die numerische Bestimmung aufgrund von Messungenauigkeiten zu Problemen führt, wird vorzugsweise ein grober Startwert für diesen Normalenvektor vorgegeben, von dem aus die numerische Ermittlung durchgeführt wird. In einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird dieser Startwert aus einer herkömmlichen Vermessung der Oberfläche gewonnen. Hierbei werden zunächst alle Messpunkte mit einer oder beiden Messungen erfasst, im Folgenden auch als Scan bezeichnet, und ohne Berücksichtigung der transparenten Materialschicht über einfache Triangulation aus einer der Messungen ein Oberflächenverlauf ermittelt. Aus diesem Oberflächenverlauf wird für jeden Messpunkt ein vorläufiger Normalenvektor bestimmt. Anschließend wird für jeden Messpunkt auf Basis beider Messungen gemäß dem vorliegenden Verfahren die exakte Entfernungs bestimmung durchgeführt, wobei bei der Bestimmung des Normalenvektors der vorher ermittelte vorläufige Normalenvektor als grober Startvektor vorgegeben wird.In cases in which the numerical determination due to measurement inaccuracies leads to problems a rough starting value is preferably given for this normal vector, from which the numerical determination is performed. In an advantageous Embodiment of the method, this starting value from a conventional Surveying the surface won. Here are first all measuring points recorded with one or both measurements, below also called scan, and without taking into account the transparent Material layer over simple triangulation from one of the measurements a surface course determined. For this surface course is for every measuring point a preliminary one Normal vector determined. Subsequently, based on each measurement point both measurements according to the present Method performed the exact range determination, wherein in the determination of the normal vector, the previously determined preliminary normal vector is specified as a rough start vector.

Bei Einsatz einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, bei der die flächenhafte Abtastung der Oberfläche über einen rotatorischen Antrieb erfolgt, kann die definierte Lageänderung bei der Vermessung jedes Messpunktes auch dadurch hervorgerufen werden, dass die Verbindungsachse zwischen den Ausgangspunkten exzentrisch zur Rotationsachse angeordnet wird. Eine Lageänderung wird dann durch eine leichte Drehung der Rotationsachse erreicht.at Use of a device for carrying out the method, in which the areal Scanning the surface over one rotatory drive is performed, the defined change in position also caused by the measurement of each measuring point be that the connecting axis between the starting points eccentric is arranged to the axis of rotation. A change of position is then by a slight rotation of the axis of rotation achieved.

Vorzugsweise wird beim vorliegenden Verfahren eine Vorrichtung eingesetzt, wie sie aus der bereits dargelegten DE 100 37 771 A1 bekannt ist. Diese Vorrichtung muss lediglich dahingehend erweitert werden, dass eine Verschiebung des Trägerelementes für die beiden Scan-Spiegel um eine definierte Distanz in Richtung der Rotationsachse (z-Achse) ermöglicht wird. Diese Verschiebung kann über einen entsprechenden Antrieb automatisch bei der Durchführung der Messung erfolgen. Weiterhin muss die zugehörige Auswerteeinrichtung entsprechend zur exakten Bestimmung des Abstandes zum Bezugspunkt aus den beiden Messungen gemäß dem vorliegenden Verfahren ausgebildet sein.Preferably, in the present method, a device is used as shown in the already explained DE 100 37 771 A1 is known. This device only has to be expanded so that a displacement of the carrier element for the two scanning mirrors is made possible by a defined distance in the direction of the axis of rotation (z-axis). This shift can be done automatically by a corresponding drive when performing the measurement. Furthermore, the associated evaluation device must be designed in accordance with the present method for the exact determination of the distance to the reference point from the two measurements.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenShort description of drawings

Das vorliegende Verfahren wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit den Zeichnungen nochmals näher erläutert. Hierbei zeigen:The The present method will now be described with reference to an exemplary embodiment explained in more detail in conjunction with the drawings. Hereby show:

1 in schematischer Darstellung den grundsätzlichen Aufbau zur geometrischen Vermessung einer Oberfläche mit einem optischen Messverfahren; 1 a schematic representation of the basic structure for geometrical measurement of a surface with an optical measuring method;

2 die geometrischen Verhältnisse bei der Vermessung einer Oberfläche mit einer transparenten Materialschicht; und 2 the geometric conditions in the measurement of a surface with a transparent material layer; and

3 stark schematisiert einen Ausschnitt aus dem optischen und mechanischen Aufbau einer Vorrichtung zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens. 3 strongly schematized a section of the optical and mechanical structure of an apparatus for performing the present method.

Wege zur Ausführung der ErfindungWays to execute the invention

1 zeigt stark schematisiert den grundsätzlichen Aufbau zur geometrischen Vermessung einer Oberfläche 5 mit einem optischen Messverfahren, wie er in der DE 100 37 771 A1 beschrieben ist. In diesem Beispiel setzt sich die Vermessungsvorrichtung, im Folgenden auch als Scanner bezeichnet, aus zwei jeweils um parallele Rotationsachsen kippbaren Spiegeln 1, 2 zusammen, die auf einem gemeinsamen Trägerelement 3 gelagert sind. Die beiden Spiegel werden mit einem Lichtbündel 4 insbesondere einem Laserstrahl, beleuchtet, der durch die Spiegel auf die zu vermessende Oberfläche 5 gelenkt wird. Durch geeignete Ansteuerung der Spiegel 1, 2 werden die beiden über die Spiegel auf der Oberfläche 5 erzeugten Lichtflecke am gewünschten Messpunkt 6 zur Überlagerung gebracht. Dieser Vorgang wird über eine Kamera kontrolliert. Die räumliche Lage der auf die Oberfläche auftreffenden Lichtbündel 4 ist über die Stellwinkel 11 der Spiegel 1, 2 bekannt. Aus dem bekannten Abstand der Rotationsachsen der Spiegel 1, 2 zueinander, der dem vorgegebenen Abstand der Ausgangspunkte für die auf die Oberfläche 5 gerichteten Lichtbündel 4 entspricht, und der jeweiligen räumlichen Lage der Lichtbündel 4 kann der Abstand zwischen einem Bezugspunkt des Scanners und dem Messpunkt 6 auf der Oberfläche 5 berechnet werden. Dies entspricht der bekannten Triangulationstechnik. 1 shows very schematic the basic structure for geometric measurement of a surface 5 with an optical measuring method, as in the DE 100 37 771 A1 is described. In this example, the measuring device, hereinafter also referred to as scanner, consists of two mirrors which can each be tilted about parallel axes of rotation 1 . 2 Together, on a common support element 3 are stored. The two mirrors come with a light beam 4 in particular a laser beam, illuminated by the mirror on the surface to be measured 5 is steered. By suitable control of the mirror 1 . 2 The two of them are above the mirrors on the surface 5 generated light spots at the desired measuring point 6 brought to the overlay. This process is controlled by a camera. The spatial position of the light bundles striking the surface 4 is about the adjustment angle 11 the mirror 1 . 2 known. From the known distance of the axes of rotation of the mirror 1 . 2 to each other, the predetermined distance of the starting points for the on the surface 5 directed light beam 4 corresponds, and the respective spatial position of the light beam 4 The distance between a reference point of the scanner and the measuring point 6 on the surface 5 be calculated. This corresponds to the known triangulation technique.

Ist jedoch die Oberfläche 6 zusätzlich mit einem transparenten Materialfilm 7, insbesondere einem Flüssigkeitsfilm, überzogen, so liefert die bekannte einfache Triangulationstechnik nicht den korrekten Abstand.Is however the surface 6 additionally with a transparent material film 7 , especially one Liquid film, coated, so the known simple triangulation technique does not provide the correct distance.

Die Verhältnisse in einem derartigen Fall sind anhand der 2 dargestellt. Durch die Brechung an der Oberfläche des Flüssigkeitsfilms 7 sind die Spiegelstellungen gegenüber einem Fall ohne diesen Flüssigkeitsfilm 7 bei Überlappung der beiden durch die Lichtbündel 4 auf der Oberfläche erzeugten Lichtflecke verändert. Der Strahlverlauf der über die Spiegel 1 bzw. 2 abgelenkten Lichtbündel 4 kann im Bezugssystem 8 des Scanners in Vektorschreibweise als Ebenengleichung beschrieben werden: ES1,2 : o →S1,2 + λS1,2·r1 →S1,2 + μS1,2·r2 →S1,2. The conditions in such a case are based on 2 shown. Due to the refraction on the surface of the liquid film 7 are the mirror positions to a case without this liquid film 7 when overlapping the two by the light bundles 4 changed on the surface generated light spots. The beam path over the mirror 1 respectively. 2 deflected light beam 4 can in the reference system 8th of the scanner in vector notation are described as plane equation: e S1,2 : o → S1,2 + λ S1,2 · R1 → S1,2 + μ S1,2 · R2 → S1,2 ,

Der Richtungsvektor r2 →S1,2 ist jeweils von den folgenden Parametern abhängig r2 →S1,2 = f(r1 →S1,2, νF, nF), wobei νF der Brechungskoeffizient des Flüssigkeitsfilms 7 und n →F der Normalenvektor zur Oberfläche ist. Es wird angenommen, dass der Normalenvektor im Messpunkt 6 auf der zu vermessenden Oberfläche 5 kongruent mit den beiden Normalenvektoren der Flüssigkeitsoberfläche ist, an denen die über die Spiegel 1 und 2 abgelenkten Laserstrahlen 4 durch die Oberfläche treten, d. h. die Ebenen sind in diesem Bereich parallel. Diese Annahme kann bei kurzen Messabständen zum Scanner, kleinen Flüssigkeitsschichtdicken und kleinem Spiegelabstand getroffen werden. Auf Basis dieser Annahme können die Koeffizienten λS1,2 und μS1,2 jeweils durch den Abstand des Scannerbezugssystems 8 zur Flüssigkeitsoberfläche H →F oder zu der zu vermessenden Oberfläche H →G mit dem Normalenvektor ausgedrückt werden:

Figure 00110001
wobei βS1 und βS2 die Spiegelwinkel darstellen.The direction vector r2 → S1,2 depends on the following parameters r2 → S1,2 = f (r1 → S1,2 , ν F , n F ) where ν F is the refractive index of the liquid film 7 and n → F is the normal vector to the surface. It is assumed that the normal vector is in the measuring point 6 on the surface to be measured 5 is congruent with the two normal vectors of the liquid surface at which the over the mirror 1 and 2 deflected laser beams 4 through the surface, ie the planes are parallel in this area. This assumption can be made with short measuring distances to the scanner, small liquid layer thicknesses and small mirror distance. Based on this assumption, the coefficients λ S1,2 and μ S1,2 can each be determined by the distance of the scanner reference system 8th to the liquid surface H → F or to the surface to be measured H → G are expressed with the normal vector:
Figure 00110001
where β S1 and β S2 represent the mirror angles.

Aus den letzten beiden Gleichungen lassen sich unter der Annahme der ebenen Oberfläche λS1 durch λS2 und μS1 durch μS1 ausdrücken (oder umgekehrt). Damit stehen bei bekanntem Normalenvektor mit der obigen Ebenengleichung 3 Gleichungen mit 2 Unbekannten zur Verfügung.From the last two equations, assuming the flat surface, λ S1 can be expressed by λ S2 and μ S1 by μ S1 (or vice versa). Thus, with a known normal vector with the above plane equation, 3 equations with 2 unknowns are available.

Dieses Verhältnis reicht jedoch bei unbekanntem Normalenvektor (3 zusätzliche Unbekannte) nicht aus. Zur Lösung dieses Problems wird daher beim vorliegenden Verfahren ein weiterer Scan durchgeführt, bei dem die Scannerspiegel entweder um einen definierten Offset-Betrag entlang der z-Achse verschoben werden oder bei einer Konstruktion, bei der die Verbindungsachse der Spiegel, d.h. das Trägerelement 3, exzentrisch (z.B. in y-Richtung versetzt) zur Rotationsachse 9 des Scanners angebracht ist, eine Rotation um einen definierten Winkel vorgenommen wird. Die Kameraoptik bleibt dabei fixiert, so dass sich die Position des Messpunktes 6 im Kamerabild nicht ändert. Damit stehen zwei Messungen von einem Messpunkt 6 und damit drei weitere Gleichungen für die Lösung des Problems zur Verfügung.However, this ratio is insufficient for an unknown normal vector (3 additional unknowns). To solve this problem, therefore, in the present method, another scan is performed, in which the scanner mirrors are displaced either by a defined offset amount along the z-axis or in a construction in which the connecting axis of the mirror, ie the support member 3 , eccentric (eg offset in y-direction) to the axis of rotation 9 the scanner is mounted, a rotation is made by a defined angle. The camera optics remains fixed so that the position of the measuring point 6 does not change in the camera image. This puts two measurements from one measurement point 6 and thus three more equations for solving the problem.

Der Normalenvektor wird hierbei numerisch angenähert. Dazu können alle möglichen Normalenvektoren durchprobiert werden, bis die Gleichungssysteme eine gemeinsame Lösung haben. Die Beschreibung dieser Lösung kann selbstverständlich auf unterschiedlichen Wegen erfolgen, ebenso wie die Art, in der die Gleichungen aufgelöst werden. Bei einer möglichen Vorgehensweise werden die Gleichungssysteme so zu einer einzigen Gleichung umformuliert, dass bei einer richtigen Wahl des Normalenvektors das Ergebnis dieser Gleichung 0 wird.Of the Normal vector is approximated numerically. All can do this potential Normal vectors are tried until the equation systems a common solution to have. The description of this solution of course done in different ways, as well as the way in which the equations are resolved become. In one possible The equation systems thus become a single equation reformulated that with a proper choice of the normal vector the result of this equation becomes 0.

Durch Messfehler kann in der Praxis das Ergebnis allerdings verzerrt werden, so dass die Gleichung niemals exakt den Wert 0 ergibt. Durch diese Abweichung können auch bei anderen Normalenvektoren die Ergebnisse des Gleichungssystems lokale Minima aufweisen. Eine Unterscheidung der falschen von den richtigen Ergebnissen wird dadurch erschwert. Um diese Problematik zu vermeiden, sollte eine möglichst exakte Auswahl eines Startwertes für den Normalenvektor erfolgen, so dass der Suchvorgang an der richtigen Stelle, d. h. in der Nähe des tatsächlichen Minimums begonnen wird.By Measurement error can be distorted in practice the result, however, so that the equation never exactly gives the value 0. Through this Deviation can also with other normal vectors the results of the equation system have local minima. A distinction of the wrong from the correct results are made more difficult. To this problem should avoid one as possible exact selection of a starting value for the normal vector, so that the search is in the right place, d. H. near the actual Minimums is started.

Dieser Startvektor, d. h. die grobe Richtung des Normalenvektors, wird vorzugsweise aus den Oberflächennormalen der unkompensiert, d. h. als wäre keine Flüssigkeit vorhanden, errechneten und daher verschobenen Oberflächenpunkte angenähert. Mit diesem Startwert und den Gleichungen aus der zusätzlichen Messung lassen sich die tatsächlichen Abstände ohne nähere Kenntnis über die tatsächliche Flüssigkeitsdicke an jedem Messpunkt errechnen. Die Voraussetzung für eine derartige Annäherung des Normalenvektors ist ein Flächenscan, so dass das Messverfahren in diesem Fall eine flächige Mehrpunktmessung voraussetzt.This Start vector, d. H. the rough direction of the normal vector becomes preferably from the surface normals the uncompensated, d. H. as would no liquid present, calculated and therefore shifted surface points approximated. With this starting value and the equations from the additional measurement let the actual distances without further details Knowledge about the actual Liquid thickness calculate each measuring point. The prerequisite for such an approximation of the Normal vector is a surface scan, so that the measuring method in this case requires a surface multipoint measurement.

Aus den entsprechenden Gleichungen lässt sich nicht nur der Abstand zum Messpunkt 6 an der Oberfläche 5 sondern auch die Dicke des Flüssigkeitsfilms 7 ermitteln. Dies eröffnet zahlreiche bisher nicht spezifizierte Anwendungen, bei denen die Dicke eines derartigen Oberflächenfilms gemessen werden soll.From the corresponding equations, not only the distance to the measuring point can be 6 on the surface 5 but also the thickness of the liquid film 7 determine. This opens up numerous hitherto unspecified applications in which the thickness of such a surface film is to be measured.

3 zeigt schließlich ebenfalls schematisiert einen Teil eines Scanners zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens, der aus zwei auf einem Trägerelement 3 angebrachten Spiegeln 1, 2 besteht, die horizontal exakt auf ihrer Rotationsachse von der Scannermitte aus beleuchtet werden. Das gesamte balkenförmig ausgebildete Trägerelement 3 ist um die z-Achse 9 drehbar gelagert, so dass in Kombination mit den Schwenkwinkeln 11 der Spiegel 1, 2 vor dem Scanner ein dreidimensionales Volumen abgetastet werden kann. Ein y-Versatz kann durch eine Rotation um die z-Achse (Feinjustierung) für jeden einzelnen Messpunkt ausgeglichen werden, wobei die Kamera zur Messung der Überlappung fixiert bleibt. 3 Finally, also schematically shows a part of a scanner for carrying out the present method, which consists of two on a support element 3 attached mirrors 1 . 2 which are illuminated horizontally exactly on its axis of rotation from the scanner center. The entire bar-shaped carrier element 3 is around the z axis 9 rotatably mounted, so that in combination with the swivel angles 11 the mirror 1 . 2 in front of the scanner a three-dimensional volume can be scanned. A y-offset can be compensated by rotation around the z-axis (fine adjustment) for each individual measuring point, with the camera remaining fixed to measure the overlap.

Im vorliegenden Beispiel wird die jeweils zweite Messung für jeden Messpunkt durch Versatz des Trägerelementes 3 in z-Richtung erzeugt, wie dies mit dem Pfeil 10 angedeutet ist. Es finden damit zwei unabhängige Winkelmessungen für den gleichen Überlappungspunkt statt. Aus diesen beiden Messungen wird der Normalenvektor aus den gemessenen Winkeln ohne Brechungskompensation zunächst grob errechnet und anschließend mit einem Annäherungsalgorithmus genau bestimmt. Als Ergebnis wird sowohl die Dicke der Flüssigkeitsschicht 7 als auch der Abstand des Scannerbezugspunktes zum Überlappungs- bzw. Messpunkt 6 erhalten.In the present example, the respective second measurement for each measuring point by displacement of the carrier element 3 generated in the z-direction, as indicated by the arrow 10 is indicated. There are thus two independent angle measurements for the same overlap point. From these two measurements, the normal vector is first roughly calculated from the measured angles without refractive compensation and then determined exactly with an approximation algorithm. As a result, both the thickness of the liquid layer 7 as well as the distance of the scanner reference point to the overlapping or measuring point 6 receive.

11
erster Spiegelfirst mirror
22
zweiter Spiegelsecond mirror
33
Trägerelementsupport element
44
Lichtbündellight beam
55
zu vermessende Oberflächeto measuring surface
66
Messpunktmeasuring point
77
transparenter Materialfilmtransparent Footage
88th
Bezugssystemreference system
99
Rotationsachse (z-Achse)axis of rotation (Z-axis)
1010
Verschiebung um die z-Achseshift around the z-axis
1111
Stellwinkelsetting angle

Claims (5)

Verfahren zur geometrischen Vermessung einer mit einem transparenten Materialfilm (7) bedeckten Oberfläche (5), bei dem – zwei getrennte Lichtbündel (4) von zwei Ausgangspunkten, die in einem Bezugssystem (8) einen vorgegebenen Abstand zueinander aufweisen, auf die Oberfläche (5) gerichtet werden, – für eine erste Messung die beiden Lichtbündel (4) auf der Oberfläche (5) in einem Messpunkt (6) zur Überdeckung gebracht werden und – die Lage der beiden Lichtbündel (4) im Bezugssystem (8) bei Überdeckung im Messpunkt (6) erfasst wird, um über Triangulation die Entfernung des Messpunktes (6) zu einem Bezugspunkt des Bezugssystems (8) zu ermitteln, wobei für jeden Messpunkt (6) zumindest eine zweite Messung bei einer definiert veränderten Lage der beiden Ausgangspunkte durchgeführt wird und aus den erfassten Lagen der Lichtbündel (4), der definierten Lageänderung der beiden Ausgangspunkte und dem vorgegebenen Abstand der beiden Ausgangspunkte die Entfernung des Messpunktes (6) zum Bezugspunkt des Bezugssystems (8) unter Berücksichtigung der Lichtbrechung im Materialfilm (7) ermittelt wird.Method for geometric measurement of a transparent material film ( 7 ) covered surface ( 5 ), in which - two separate light bundles ( 4 ) of two starting points in a reference system ( 8th ) a preference distance from one another to the surface ( 5 ), - for a first measurement the two light bundles ( 4 ) on the surface ( 5 ) in a measuring point ( 6 ) are brought to overlap and - the position of the two light bundles ( 4 ) in the frame of reference ( 8th ) at coverage in the measuring point ( 6 ) is detected in order to use triangulation to determine the distance of the measuring point ( 6 ) to a reference point of the reference system ( 8th ), whereby for each measuring point ( 6 ) at least one second measurement is carried out at a defined changed position of the two starting points and from the detected positions of the light bundles ( 4 ), the defined change in position of the two starting points and the predetermined distance of the two starting points, the distance of the measuring point ( 6 ) to the reference point of the reference system ( 8th ) taking into account the refraction of light in the film of material ( 7 ) is determined. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige Lageänderung der beiden Ausgangspunkte zwischen den beiden Messungen durch eine Veränderung des Abstandes der Ausgangspunkte zur Oberfläche (5) um eine definierte Distanz vorgenommen wird.A method according to claim 1, characterized in that the respective change in position of the two starting points between the two measurements by a change in the distance of the starting points to the surface ( 5 ) is made by a defined distance. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweilige Lageänderung der Ausgangspunkte zwischen den beiden Messungen bei Einsatz einer Scannervorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, bei der eine flächenhafte Abtastung der Oberfläche (5) über einen rotatorischen Antrieb erfolgt und eine Verbindungsachse der beiden Ausgangspunkte exzentrisch zur Rotationsachse angeordnet ist, durch eine Drehung der Rotationsachse erreicht wird.A method according to claim 1, characterized in that the respective change in position of the starting points between the two measurements when using a scanner device for performing the method, in which a planar scanning of the surface ( 5 ) takes place via a rotary drive and a connecting axis of the two starting points is arranged eccentrically to the axis of rotation, is achieved by a rotation of the axis of rotation. verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Bestimmung der Entfernung des Messpunktes (6) vom Bezugspunkt aus den beiden Messungen ein Normalenvektor zur Oberfläche des transparenten Materialfilms (7) im Bezugssystem (8) numerisch bestimmt wird.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that in determining the distance of the measuring point ( 6 ) from the reference point from the two measurements a normal vector to the surface of the transparent material film ( 7 ) in the frame of reference ( 8th ) is determined numerically. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass für die numerische Bestimmung des Normalenvektors ein Startvektor herangezogen wird, der eine grobe Richtung des Normalenvektors angibt, wobei der Startvektor durch Berechnung eines Oberflächenverlaufes aus einer der Messungen für eine Vielzahl von Messpunkten (6) ohne Berücksichtigung des Materialfilms (7) und Ableitung der Oberflächennormalen an dem jeweiligen Messpunkt (6) aus dem berechneten Oberflächenverlauf erhalten wird.Method according to Claim 4, characterized in that a start vector is used for the numerical determination of the normal vector, which indicates a rough direction of the normal vector, the start vector being calculated by calculating a surface course from one of the measurements for a multiplicity of measuring points ( 6 ) without consideration of the material film ( 7 ) and derivation of the surface normals at the respective measuring point ( 6 ) is obtained from the calculated surface profile.
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