DE10159437A1

DE10159437A1 - Rotation angle sensor in which the stator or flux concentrator is mounted on the ASIC housing of the evaluation circuit to provide a highly compact sensor design

Info

Publication number: DE10159437A1
Application number: DE2001159437
Authority: DE
Original assignee: AB Elektronik GmbH
Current assignee: AB Elektronik GmbH
Priority date: 2001-12-04
Filing date: 2001-12-04
Publication date: 2003-06-18
Anticipated expiration: 2021-12-05
Also published as: DE10159437B4

Abstract

Rotation angle sensor has a stator or flux concentrator (102, 103) placed on the housing (101) of an ASIC that contains the ASIC integrated circuit. The stator is attached to the housing by gluing or welding or using a thin or thick layer method. The ASIC incorporates a Hall sensor.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels, die wenigstens aufweist

- eine Rotoreinheit mit wenigstens einem Magnetsegment,
- eine Statoreinheit mit wenigstens zwei Flußleitstücken, die unter Belassung wenigstens einer Abstandsausnehmung zueinander angeordnet sind und
- wenigstens eine magnetempfindliche Sensor-Einheit, die in einem integrierten Schaltkreis ASIC mit einem ASIC- Gehäuse und die gegenüber einer der Abstandsausnehmungen angeordnet ist,
- wobei die Rotoreinheit gegenüber der Statoreinheit so angeordnet ist, daß die Flußleitstücke und das Magnetsegment unter Belassung eines Luftspalts wenigstens teilweise zueinander zu bewegen sind.

The invention relates to a device for contactless detection of an angle of rotation, which has at least

a rotor unit with at least one magnet segment,
- A stator unit with at least two flux guide pieces, which are arranged while leaving at least one spacing recess to each other and
at least one magnetically sensitive sensor unit which is arranged in an integrated circuit ASIC with an ASIC housing and which is arranged opposite one of the spacing recesses,
- The rotor unit being arranged opposite the stator unit in such a way that the flux guide pieces and the magnet segment can be moved at least partially relative to one another while leaving an air gap.

Ein Drehwinkelsensor ist aus der WO 95 14 911 A1 bekannt. Er besteht aus einer stationären und einer rotierenden Formation. Die stationäre Formation enthält zwei halbmondförmige Statorelemente, zwischen denen sich eine Abstandsausnehmung befindet, in der ein Hallelement angeordnet ist. Die rotierende Formation weist ein ringförmig ausgebildetes Magnetelement auf, das von einer Halteeinheit gehalten wird und unter Belassung eines Luftspalts um die Statorelemente bewegbar ist. A rotation angle sensor is known from WO 95 14 911 A1. He consists of a stationary and a rotating Formation. The stationary formation contains two crescent-shaped ones Stator elements, between which there is a spacing recess is located, in which a Hall element is arranged. The rotating formation has a ring-shaped formation Magnetic element that is held by a holding unit and leaving an air gap around the stator elements is movable.

Dieser Drehwinkelsensor hat sich bewährt. Allerdings besteht dennoch die Aufgabe, seinen Aufbau und seine Montage zu vereinfachen. This rotation angle sensor has proven itself. However, there is nevertheless the task of assembling and assembling it simplify.

Ein derartiger Drehwinkelsensor ist darüber hinaus aus der WO 98 25 102 A1, DE 197 16 985 A1, DE 199 03 490 A1 bzw. der EP 1 024 267 A2 der Anmelderin bekannt. Such a rotation angle sensor is also from the WO 98 25 102 A1, DE 197 16 985 A1, DE 199 03 490 A1 and the EP 1 024 267 A2 of the applicant is known.

In Fig. 1 ist der Zeichnung ein derartiger Drehwinkelsensor gezeigt. In Fig. 1, such a rotation angle sensor is shown in the drawing.

Bei dem Drehwinkelsensor dreht sich um zwei mandarinenscheibenförmige Flußleitstücke 2, 3, die zwischen sich eine Abstandsausnehmung lassen, ein Ringmagnet 4, der von einer Ringmagnetaufnahme 5 gehalten wird. Mit der Ringmagnetaufnahme ist eine Welle 15 verbunden. Die Welle bewegt sich in einer Buchse 13, die mit einem Sicherungsring 14 abschließt und um die ein O-Ring 16 gelegt ist. In the case of the rotation angle sensor, a ring magnet 4 , which is held by a ring magnet receptacle 5 , rotates around two mandarin-disk-shaped flux guide pieces 2 , 3 , which leave a spacing recess between them. A shaft 15 is connected to the ring magnet receptacle. The shaft moves in a bushing 13 , which ends with a locking ring 14 and around which an O-ring 16 is placed.

In die Abstandsausnehmung zwischen den beiden Flußleitstücken 2, 3 sind zwei Schaltkreise ASIC 1 angeordnet. Jedes ASIC weist eine Hall-Einheit 1.H auf, die mit weiteren Schaltkreiselementen zusammenarbeitet und vorzugsweise in integrierter Schaltkreistechnik ausgeführt ist. Der Schaltkreis mit der Hall-Einheit ist von einem ASIC-Gehäuse umgeben. Two circuits ASIC 1 are arranged in the spacing recess between the two flux guide pieces 2 , 3 . Each ASIC has a Hall unit 1 .H, which works together with other circuit elements and is preferably designed using integrated circuit technology. The circuit with the Hall unit is surrounded by an ASIC housing.

Die Flußleitstücke werden mit Hilfe einer Statorfixierung 6 gehalten. Unter der Statorfixierung dreht sich der Ringmagnet 4, der aus zwei Ringsegmenten 4.1, 4.2 mit entsprechender magnetische Polung ausgebildet ist. The flux guide pieces are held with the aid of a stator fixation 6 . The ring magnet 4 , which is formed from two ring segments 4.1 , 4.2 with corresponding magnetic polarity, rotates under the stator fixation.

Auf der Statorfixierung 6 befindet sich eine Leiterplatte 7, in der die Anschlüsse der beiden ASIC's hineingeführt werden. Darüber hinaus können auf der Leiterplatte 7 weitere Bauelemente 8 angeordnet werden. On the stator fixation 6 there is a circuit board 7 , into which the connections of the two ASICs are inserted. In addition, 7 additional components 8 can be arranged on the circuit board.

Umschlossen ist die Stator- und die Rotoreinheit von einem Gehäuse 9. In dem Gehäuse 9 wird die Buchse 13 gehalten. Darüber hinaus umgibt das Gehäuse 9 einen Flachstecker 11, der von einem Steckereinsatz 12 gehalten wird. The stator and rotor units are enclosed by a housing 9 . The socket 13 is held in the housing 9 . In addition, the housing 9 surrounds a flat plug 11 , which is held by a plug insert 12 .

Der Drehwinkelsensor gemäß Fig. 1 macht deutlich, daß Wege gefunden werden müssen, die das Bauvolumen des Sensors verringern und seine Herstellung vereinfachen. The rotation angle sensor of FIG. 1 makes it clear that ways must be found to reduce the physical volume of the sensor and simplify its manufacturing.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass durch das Aufbringen der Flußleitstücke auf dem ASIC-Gehäuse das Bauvolumen des Sensors auf etwa 1/3 verringert wird. Darüber hinaus lassen sich die Flußleitstücke wesentlich genauer gegenüber der Hall-Einheit positionieren. Dadurch erhöht sich die Messgenauigkeit des miniaturisierten Drehwinkelsensors. The advantages achieved with the invention exist especially in that by the application of the flux guide the ASIC housing the volume of the sensor to about 1/3 is reduced. In addition, the Flußleitteile much more accurate compared to the Hall unit position. This increases the measuring accuracy of the miniaturized angle of rotation sensor.

Die Form der Flußleitstücke kann entsprechend den jeweiligen Einsatzbedingungen ausgebildet werden. Sie kann madarinenscheibenförmig, streifenförmig, segmentförmig oder in einer anderen geometrischen Form ausgebildet werden. The shape of the flux guide pieces can correspond to the respective Operating conditions are trained. she can Madarin disc-shaped, stripe-shaped, segment-shaped or in one other geometric shape.

Hierbei können die Flußleitstücke in Dünn- oder Dickschichttechnik auf dem ASIC-Gehäuse aufgebracht werden. Here, the flux guide pieces in thin or Thick film technology can be applied to the ASIC housing.

Unter Dickschichttechnik wird ein Verfahren zur Herstellung von integrierten Schaltungen verstanden. Mittels Siebdrucktechnik werden leitfähige oder dielektrische Pasten auf Substrate oder Trägerplättchen aufgedruckt. Die Pasten werden bei etwa 500°C eingebrannt und ergeben je nach Zusammensetzung Leiterzüge, Widerstände, Isolationsschichten. Sie können auch ferromagnetische Körper ergeben. Die aufgedruckten Schichten sind etwa 5 bis 10 mm dick und damit etwa zehnmal stärker als die durch Aufdampftechnik hergestellten Schichten nach der Dünnschichttechnik. Thick film technology is a manufacturing process understood by integrated circuits. through Screen printing technology uses conductive or dielectric pastes Printed substrates or carrier plates. The pastes are baked at about 500 ° C and depending on Composition of conductor tracks, resistors, insulation layers. she can also result in ferromagnetic bodies. The printed ones Layers are about 5 to 10 mm thick and thus about ten times stronger than those produced by vapor deposition technology Layers using thin-film technology.

Bei der Dünnschichttechnik werden die elektronischen Bauelemente, ferromagnetischen Körper oder Schaltkreise durch Verfahren der Aufdampftechnik vakuum oder durch Katodenzerstäubung hergestellt. Auf ein Substrat werden durch Masken hindurch Metallfilme oder dielektrische Filme von meist weniger als 1 mm Dicke aufgedampft (Aufdampftechnik). In thin-film technology, the electronic Components, ferromagnetic bodies or circuits through Evaporation technique vacuum or by Sputtering produced. Be on a substrate through masks through metal films or dielectric films of mostly less evaporated as a 1 mm thickness (vapor deposition technique).

Beide Techniken eignen sich hervorragend dazu, Flußleitstücke unterschiedlichster Konfigurationen in kleinster Dicke zu realisieren. Durch die sehr dünnen Schichten reduziert sich das Gewicht der Statoreinheit ganz wesentlich. Both techniques are ideal for Flow guide pieces of various configurations in the smallest thickness realize. The very thin layers reduce the weight of the stator unit quite significantly.

Es ist auch möglich, die Flußleitstücke als Metallscheiben auf dem ASIC-Gehäuse anzuordnen. Die Metallscheiben können dabei geschnitten, gesintert oder gestapelt auf dem ASIC- Gehäuse befestigt werden. Für die Befestigung eignet sich ein Kleben oder ein Verschweißen. It is also possible to use the flux guide pieces as metal disks to be placed on the ASIC package. The metal disks can cut, sintered or stacked on the ASIC Housing are attached. Suitable for attachment gluing or welding.

Das ASIC-Gehäuse selbst kann rechteckig, quadratisch, rund oder in einer anderen geometrischen Form ausgebildet werden. Die ursprüngliche Form des ASIC-Gehäuse ist an und für sich, wie die Fig. 1 zeigt, rechteckig mit entsprechenden Abschrägungen. Durch den Einsatz des ASIC-Gehäuses als Trägerelement für die Flußleitstücke bietet sich vorteilhafterweise die runde Konfiguration an. Um das runde ASIC-Gehäuse mit den entsprechend ausgebildeten Flußleitstücken kann der Ringmagnet unter Belassung eines geringen Luftspalts rotieren. Es ist auch möglich, dass Magnetsegmente entsprechender Konfiguration stehen und sich gegenüber diesen stehenden Magnetsegmenten das ASIC-Gehäuse mit den entsprechend ausgebildeten Flußleitstücken bewegt. In diesem Fall muß die Hall-Einheit nicht unbedingt im Zentrum des ASIC-Gehäuses angeordnet sein, sondern dort, wo es für den funktonstechnischen Aufbau im Miniatur-Drehwinkelsensors erforderlich ist. The ASIC housing itself can be rectangular, square, round or in another geometric shape. The original shape of the ASIC housing is in itself, as shown in FIG. 1, rectangular with corresponding bevels. By using the ASIC housing as a carrier element for the flow guide pieces, the round configuration is advantageous. The ring magnet can rotate around the round ASIC housing with the appropriately designed flux guide pieces, leaving a small air gap. It is also possible that magnet segments of a corresponding configuration are standing and that the ASIC housing with the appropriately designed flux guide pieces moves relative to these standing magnet segments. In this case, the Hall unit does not necessarily have to be arranged in the center of the ASIC housing, but where it is required for the functional construction in the miniature rotation angle sensor.

Das ASIC-Gehäuse kann aus einem magnetisch nicht leitendem Material bestehen. Dieses magnetisch nicht leitende Material kann ein Kunststoff, Keramik, Kupfer, Aluminium sein. The ASIC housing can be made of a magnetically non-conductive Material. This magnetically non-conductive material can be a plastic, ceramic, copper, aluminum.

Im ASIC-Gehäuse kann magnetempfindliche Sensor-Einheit nicht nur eine Hall- sondern auch eine magnetoresistive Einheit angeodnet sein. Magnetic-sensitive sensor unit cannot be used in the ASIC housing just a Hall but also a magnetoresistive unit be ordered

Erfindungsgemäß wird die gestellte Aufgabe darüber hinaus durch die Merkmale des Anspruchs 9 gelöst. Die hiermit erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass nach einer Vielzahl von Jahren überraschend gefunden wurde, dass das ASIC-Gehäuse außer den schützenden Funktionen eines Gehäuses die eine Trägerplatte für die Flußleitstücke übernimmt. Hierdurch verringert sich, wie bereits erwähnt, sehr wesentlich das Bauvolumen des Drehwinkelsensors verbunden mit einer Erhöhung der Meßgenauigkeit. Dadurch, dass sich das Bauvolumen und das Gewicht so drastisch verringern, ist es möglich, einen derartigen Drehwinkelsensor in der Mikromechanik zum Einsatz zu bringen. According to the invention, the task is beyond solved by the features of claim 9. The hereby The advantages achieved are in particular that after a surprising number of years ago it was found that the ASIC package besides the protective functions of a Housing a support plate for the Flußleitteile takes over. As already mentioned, this reduces a great deal essentially the volume of the rotation angle sensor connected with an increase in measuring accuracy. In that the construction volume and weight is so drastically reduced it is possible to use such a rotation angle sensor in the To use micromechanics.

Die Flußleitstücke aus ferromagnetischem Material können hierbei auf das ASIC-Gehäuse geklebt oder geschweißt werden. The flux guide pieces made of ferromagnetic material can are glued or welded onto the ASIC housing.

Die Flußleitstücke können dabei nach dem Dünn- oder Dichtschichtverfahren, wie bereits erwähnt, auf dem ASIC-Gehäuse in entsprechender Konfigurationslage und abmessungsgenau aufgeformt werden. The Flußleitteile can after the thin or Sealing layer process, as already mentioned, on the ASIC housing in appropriate configuration and dimensionally accurate be molded on.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. According to the invention, this object is achieved through the features of Claim 1 solved.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in Fig. 2 und 3 der Zeichnung dargestellt. Es zeigen: An embodiment of the invention is shown in FIGS. 2 and 3 of the drawing. Show it:

Fig. 2 eine Draufsicht auf einen teilweise schematisch dargestellten Drehwinkelsensor, Fig. 2 is a plan view of a partially shown schematically rotation angle sensor,

Fig. 3 einen Schnitt durch einen Drehwinkelsensor gemäß Fig. 2 entlang der Linie III-III und Fig. 3 shows a section through a rotation angle sensor according to FIG. 2 along the line III-III and

Fig. 4a) bis 4b) verschiedene Ausführungsformen eines Magnetsegments. FIG. 4a) different to 4b) embodiments of a magnet segment.

In Fig. 2 ist auf einem ASIC-Gehäuse 101 des in Fig. 1 gezeigten Schaltkreis-ASIC's 1 ein Flußleitstück 102 und diesem gegenüberliegend ein weiteres Flußleitstück 103 aufgebracht. Beide Flußleitstücke sind mandarinenscheibenförmig ausgebildet. Die Ecken zur Abstandsausnehmung 105 können entsprechend gerundet werden, um Konzentrationen des magnetischen Feldes zu verringern, das durch einen um die beiden Flußleitstücke rotierenden Ringmagneten 104 erzeugt wird. Der Ringmagnet 104 besteht aus zwei Ringmagnetsegmenten 104.1 und 104.2, die entgegengesetzt magnetisch gepolt sind. Jedes Ringmagnetsegment besteht aus zwei übereinander angeordneten Segmenten. Die Ringmagnetsegmente 104.1, 104.2, können teilkreisförmig, insbesondere, wie in Fig. 2 gezeigt, halbkreisförmig ausgebildet werden. Anstelle des Ringmagnets 104 kann nur eines der Ringmagnetsegmente 104.1 oder 104.2 zum Einsatz kommen. In Fig. 2, on an ASIC-housing 101 of the circuit ASIC shown in FIG. 1 1 is a pole-piece 102 and opposite thereto is applied a further flux guide 103rd Both river guide pieces are designed in the form of a mandarin slice. The corners to the spacing recess 105 can be rounded accordingly in order to reduce concentrations of the magnetic field which is generated by a ring magnet 104 rotating around the two flux guide pieces. The ring magnet 104 consists of two ring magnet segments 104.1 and 104.2 , which are magnetically polarized in opposite directions. Each ring magnet segment consists of two segments arranged one above the other. The ring magnet segments 104.1 , 104.2 can be designed in the shape of a part circle, in particular, as shown in FIG. 2, in a semi-circle. Instead of the ring magnet 104 , only one of the ring magnet segments 104.1 or 104.2 can be used.

Zwischen dem Ringmagnet 104 und den beiden Flußleitstücken 102, 103 wird ein Luftspalt 106 ausgebildet, wie insbesondere Fig. 3 zeigt. An air gap 106 is formed between the ring magnet 104 and the two flux guide pieces 102 , 103 , as shown in particular in FIG. 3.

Aus Fig. 3 wird darüber hinaus deutlich, dass die beiden Flußleitstücke 102, 103 gegenüber dem an sich sehr schmalen ASIC-Gehäuse 101 sehr dünn ausgebildet werden können. Beide Flußleitstücke können in Dünn- bzw. Dickschichttechnik in der mandarinenförmigen Konfiguration auf dem ASIC-Gehäuse 101 aufgebracht werden. From Fig. 3 it is also clear that the two flux guide pieces 102 , 103 can be made very thin compared to the very narrow ASIC housing 101 . Both flux guide pieces can be applied to the ASIC housing 101 in the mandarin-shaped configuration using thin or thick-film technology.

Die Konfiguration des ASIC-Gehäuses 104 ist an die in Fig. 2 gezeigte Konfiguration nicht gebunden. Das ASIC-Gehäuse kann sowohl rund als auch segmentförmig ausgebildet werden. Es kann sich in seiner Konfiguration den entsprechenden Drehwinkelsensortypen anpassen, die bereits realisiert sind. The configuration of the ASIC package 104 is not tied to the configuration shown in FIG. 2. The ASIC housing can be round or segment-shaped. In its configuration, it can adapt to the corresponding rotation angle sensor types that have already been implemented.

So kann das ASIC-Gehäuse 101 teilringförmig ausgebildet sein. Auf diesem teilringfömig ausgebildeten Gehäuse 101 können die beiden Flußleitstücke ebenfalls teilringförmig aufgebracht sein und zwischen sich die Abstandsausnehmung 105 freilassen. Die Hall-Einheit 1.H kann dabei am Ende zwischen den beiden Flußleitstücken im ASIC-Gehäuse 101 gehalten werden. Hierbei übernimmt die Abstandsausnehmung 105 zugleich die Funktion des Luftspalts 106, in den das Ringmagnetsegment 104.1 oder 104.2 sichelförmig einfährt und hierdurch die entsprechenden Signale erzeugt. The ASIC housing 101 can thus be designed in the form of a partial ring. In this teilringfömig shaped housing 101, the two flux-conducting parts may also be applied partially annular and leaving between them the clearance recess 105th The Hall unit 1 .H can be held in the end between the two flux guide pieces in the ASIC housing 101 . Here, the spacing recess 105 also assumes the function of the air gap 106 , into which the ring magnet segment 104.1 or 104.2 enters in a crescent shape and thereby generates the corresponding signals.

Das Ringmagnetsegment kann aber auch noch andere Ausführungsformen haben, wie die Fig. 4a) bis 4b) zeigen. However, the ring magnet segment can also have other embodiments, as shown in FIGS. 4a) to 4b).

Fig. 4a) zeigt einen rechteckig ausgebildeten Stabmagneten. Er etwa so lag, wie die größte äußere Abstand der Flußleitstücke. Er kann aber auch kürzer ausgebildet werden. Fig. 4a) shows a rectangular bar magnet. It was roughly the same as the greatest external distance between the river guides. But it can also be made shorter.

Fig. 4b) zeigt einen als Kreis ausgebildeten Magneten 124, der aus einer Nord- und einer Süd-Halbscheibe 124.1, 124.2 besteht. Fig. 4b) showing a magnet designed as a circuit 124 composed of a north and a south half disc 124.1, 124.2 exists.

Zur Einsparung teueren Magnetwerkstoffes ist gemäß Fig. 4c) ein Magnetstreifen mit seitlichem Nord- und Südpol, wobei am Nordpol N eine Teilkreisscheibe 134.2 und am Südpol S eine Teilkreisscheibe 134.3 angeordnet ist. In order to save expensive magnet material is shown in Fig. 4c) a magnetic strip with lateral north and south poles, where the north pole N of a graduated circle 134.2 and the south pole S of a partial circular disc is arranged 134.3.

Claims

1. Device for contactless detection of an angle of rotation, which has at least
a rotor unit with at least one magnet segment ( 104.1 , 104.2 ),
a stator unit with at least two flux guide pieces ( 102 , 103 ) which are arranged with at least one spacing recess ( 105 ) in relation to one another and
at least one magnetically sensitive sensor unit ( 101 H), which is arranged in an integrated circuit ASIC ( 1 ) with an ASIC housing ( 101 ) and which is arranged opposite one of the spacing recesses ( 105 ),
wherein the rotor unit is arranged opposite the stator unit in such a way that
the flux guide pieces (( 102 , 103 ) and the magnetic segment ( 104.1 , 104.2 ; 114 ; 124.1 , 124.2 ; 134.1 , 134.2 , 134.3 ) can be moved at least partially towards each other while leaving an air gap ( 106 ),
characterized by
that the flux guide pieces (( 102 , 103 ) on the ASIC housing ( 101 ) of the integrated circuit ASIC ( 1 ) are arranged.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that flux guide pieces ( 102 , 103 ) are designed in the shape of mandarin slices, strips, segments or in another geometric shape.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that flux guide pieces ( 102 , 103 ) are arranged in thin or thick film technology on the ASIC housing ( 101 ).

4. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that flux guide pieces ( 102 , 103 ) are arranged as metal disks on the ASIC housing ( 101 ).

5. The device according to claim 4, characterized in that metal disks are cut, sintered or stacked and attached to the ASIC housing ( 101 ).

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that ASIC housing ( 101 ) is rectangular, square, round or in another geometric shape.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the ASIC housing ( 101 ) consists of a plastic or another magnetically non-conductive material.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that a magnetoresistive unit, a Hall unit ( 101 H) is arranged in the ASIC housing ( 101 ) as a magnetically sensitive sensor unit.

9. Use of an ASIC housing ( 101 ) of an integrated circuit ASIC ( 1 ) with a magnetically sensitive sensor unit ( 101 H), which is arranged opposite one of the spacing recesses ( 105 ) of at least two flux guide pieces ( 102 , 103 ) of a stator unit a rotor unit with at least one magnet segment ( 104.1 , 104.2 ; 114 ; 124.1 , 124.2 ; 134.1 , 134.2 , 134.3 ) is adjustable in such a way that the flux guide pieces ( 102 , 103 ) are attached to the ASIC housing ( 101 ).

10. Use according to claim 9, characterized in that the flux guide pieces ( 102 , 103 ) made of ferromagnetic material are glued or welded onto the ASIC housing ( 101 ).

11. Use according to claim 9 or 10, characterized in that the flux guide pieces ( 102 , 103 ) are applied to the ASIC housing ( 101 ) by the thin or thick layer method.