DE10148679A1 - Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop - Google Patents

Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop

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DE10148679A1 DE2001148679 DE10148679A DE10148679A1 DE 10148679 A1 DE10148679 A1 DE 10148679A1 DE 2001148679 DE2001148679 DE 2001148679 DE 10148679 A DE10148679 A DE 10148679A DE 10148679 A1 DE10148679 A1 DE 10148679A1
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Abstract

Zum Abschalten des Laserstrahls (1) bei einem Laser Scanning Mikroskop, das eine Bildfläche (4) abtastet, wird dieser auf eine nahe der Bildfläche (4) liegende Blende (6) abgelenkt, wenn der Laserstrahl (1) nicht auf die Bildfläche (4) treffen soll.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop mit einer Ablenkeinrichtung, die einen Laserstrahl rasternd über eine Bildfläche führt sowie ein Verfahren zum Betreiben eines Laser Scanning Mikroskopes, bei dem eine Strahlabschaltung eines Laserstrahls erfolgt.
  • In der Laser Scanning Mikroskopie wird ein Flächenbereich eines Objektes punktweise mit einem Laserstrahl rasterartig abgetastet. Dabei wird ein paralleler Laserstrahl mit wenigen Millimetern Durchmesser im allgemeinen mittels einer Ablenkeinrichtung gemäß einem gewünschten Muster rasterartig abgelenkt - z. B. ähnlich einem Elektronenstrahl in einer Brown'schen Röhre. Dieser abgelenkte Laserstrahl wird durch ein optisches System- Scanobjektiv genannt - in einer Zwischenbildebene des Laser Scanning Mikroskopes fokussiert und durch ein Objektiv des Mikroskopes auf bzw. in das Objekt abgebildet. Bei der Strahlablenkung wird eine Objektfläche einstellbarer Größe abgerastert, die aus optischen Gründen eine vorgegebene maximale Abmessung besitzt. Der Laserstrahl überstreicht dabei ein Feld, während er das Objekt abrastert. Je nach Abstand von der Zwischenbildebene ist der Laserstrahl unterschiedlich aufgeweitet.
  • Die fokussierte Laserstrahlung tritt mit dem Objekt in Wechselwirkung und kann als reflektierte oder Fluoreszenzstrahlung denselben Weg, den die beleuchtende Strahlung genommen hat, zurücklaufen.
  • Zwischen Laser und Ablenkeinrichtung befindet sich im allgemeinen ein Strahlenteiler, der die vom Objekt aufgenommene Strahlung je nach Anwendungsfall mehr oder weniger vollständig in einen Detektorstrahlengang lenkt.
  • Im Detektorstrahlengang befinden sich prinzipiell mindestens ein abbildendes System, das die Strahlung in einer weiteren Bildebene fokussiert. In dieser Ebene liegt mindestens eine Pinhole genannte kleine Blende und hinter dieser Blende ein Detektor. Je nach Anwendungsfall können sich im Detektorstrahlengang auch noch weitere Elemente befinden.
  • Da die im negativ unendlichen liegende Taille des Lasers, das Objekt und das Pinhole in optisch konjugierten Ebenen liegen, nennt man solche Anordnungen konfokal. Sie weisen besondere vorteilhafte Abbildungseigenschaften auf.
  • Ein Hauptanwendungsgebiet der konfokalen Laser Scanning Mikroskopie sind Fluoreszenzuntersuchungen, da diese Methode in der Lage ist, eine sehr dünne Schicht eines Objektes aufzulösen. Strahlung, die aus anderen Ebenen herrührt, wird sehr stark gedämpft. Ähnlich verhält es sich bei reflektierenden Objekten. Außerdem wird Streustrahlung, die von Grenzflächen und Fassungen der verwendeten Optikbauteile herrührt, stark unterdrückt.
  • Für diese bekannte Art der Mikroskopie eignen sich deshalb besonders Objekte, die bei Bestrahlung Fluoreszenzeigenschaften zeigen. Besonders fluoreszierende Objekte sind aber lichtempfindlich, d. h. ihre Fähigkeit zu fluoreszieren nimmt mit zunehmender Bestrahlungsdauer ab, so daß man vermeiden möchte, sie unnötig zu bestrahlen, wenn kein Bild aufgenommen wird. Würde die Laserstrahlung während der Positionierung des Objektes und der Einstellung des Mikroskopes ständig das Objekt treffen, so würde man nicht mehr fluoreszierende Spuren oder Löcher in das Objekt "brennen". Dies ist z. B. der Fall, wenn die Lage der Fokusebene auf einen neuen Schnitt eingestellt wird.
  • Es ist deshalb bei Laser Scanning Mikroskopen üblich, den Laserstrahl abzuschalten, wenn keine Bildaufnahme stattfinden soll. Man spricht dabei von "Strahlabschaltung".
  • Prinzipiell könnte man dazu den Laser abschalten. Da dies bei den üblicherweise verwendeten Lasern zu instabilen Betriebsbedingungen und zur Verkürzung der Lebensdauer führt, ist dieses Vorgehen meist nicht zweckmäßig. Eine Abschaltung mittels mechanischer Shutter ist zu langsam.
  • Es ist bekannt zur Strahlabschaltung des Lasers, wenn die Strahlung Bereiche des Objektes träfe, die nicht dargestellt werden sollen, den Strahl mittels akusto-optischen Modulatoren (AOM) oder akusto-optischen, abstimmbaren Filtern (AOTF) abzuschalten. Diese Baueinheiten werden meist im parallelen Teil eines nicht aufgeweiteten Laserstrahles angeordnet und gestatten mit extrem kurzer Reaktionszeit den Laserstrahl ein- und auszuschalten. Solche akusto-optischen Baueinheiten sind jedoch relativ kostenaufwendige Bauteile.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop bzw. ein Verfahren zum Betreiben eines Laser Scanning Mikroskops mit Strahlabschaltung anzugeben, bei dem auf aufwendige akusto-optische Modulatoren verzichtet werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop mit einer Ablenkeinrichtung, die einen Laserstrahl rasternd über ein Objekt führt, wobei der Laserstrahl innerhalb eines Feldes geführt wird, dadurch gelöst, daß eine Blende vorgesehen ist, die neben dem Feld liegt und auf die die Ablenkeinrichtung den Laserstrahl lenkt, wenn er nicht auf das Objekt treffen soll.
  • Die Erfindung nimmt also vom bisherigen Prinzip, den Laserstrahl durch ein steuerbares, immer in Strahlengang liegendes Element derart abzuschalten, so daß er aus diesem Element nicht mehr austritt, Abstand. Stattdessen wird der Laserstrahl auf eine Blende gelenkt, auf der er absorbiert wird. Dazu wird die Ablenkeinrichtung, die ohnehin zum rasternden Ablenken des Laserstrahls ein wesentlicher Bestandteil eines Laser Scanning Mikroskopes ist, geeignet angesteuert. Somit wird die Ablenkeinrichtung dazu verwendet, eine Beleuchtung des Objektes mit dem Laserstrahl zu verhindern. Es erfolgt also keine Abschaltung mehr im üblichen Sinne. Der Laserstrahl wird auf eine außerhalb des Feldes, das der Laserstrahl bei der Abrasterung des Objektes überstreicht, liegende Blende geführt und dort absorbiert. Dann ist der Laserstrahl am Erreichen des Objektes gehindert, und es kann keine Schädigung des Objektes eintreten. Dies wird in Fortführung der eingeführten Terminologie in Zusammenhang mit dieser Erfindung ebenfalls als Strahlabschaltung bezeichnet.
  • Die Geschwindigkeit, mit der diese Strahlabschaltung erfolgt, ist durch die Ablenkeinrichtung vorgegeben, die üblicherweise bei einem Laser Scanning Mikroskop sehr schnell arbeitet, da dies aus anderen Gründen (Zeit zur Aufnahme eines Bildes) ohnehin erforderlich ist.
  • Die Blende, auf die der Laserstrahl zur Strahlabschaltung gerichtet wird, kann prinzipiell im Strahlengang an beliebiger Stelle nach der Ablenkeinrichtung sitzen. Je näher die Blende an der Zwischenbildebene liegt, desto kleiner ist in der Blendenebene der Strahldurchmesser des Laserstrahls und um so rascher erfolgt bei der Strahlabschaltung der Übergang von voller Beleuchtung des Objektes zu voller Strahlabschaltung. An der Zwischenbildebene des optischen Systems hat der Querschnitt des Laserstrahles die Größe des Spotdurchmessers, d. h. die engste Einschnürung. Der Laserstrahl wird dann, wenn er rasternd auf den Rand einer in der Zwischenbildebene liegenden Blende geführt wird, sehr rasch abgeschattet, im Extremfall von einem Bildpunkt zum anderen. Es ist daher vorteilhaft, die Blende so nahe es konstruktiv möglich ist, an bzw. in die Zwischenbildebene des Mikroskopes zu legen.
  • Bei dieser Ausgestaltung ergibt sich nicht nur der Vorteil, daß das Abschalten besonders schnell erfolgt, da der Laserstrahl bei gegebener Ablenkgeschwindigkeit sehr schnell mit dem gesamten Strahlquerschnitt von der Bildfläche auf die Blende überführt werden kann, sondern daß die Blende sehr klein gehalten werden kann, insbesondere nur die Größe des Laserstrahldurchmessers haben muß, da der Laserstrahl einen nahezu minimalen Durchmesser hat, wenn er die Blende trifft. Weiter ist es möglich, das Objekt während der ohnehin im Bild nicht dargestellten Umkehrphasen der Ablenkeinrichtung vor Laserstrahlung zu schützen oder während der Scanpausen.
  • Die Blende muß lediglich so gestaltet sein, daß auf ihr der gesamte Laserstrahl plaziert werden kann. Sie ist dabei so zu gestalten, daß sie mindestens die Fläche abdeckt, auf die die Ablenkeinrichtung dauerhaft einen Strahl richten kann. Prinzipiell genügt somit eine kreisförmige Blende geeigneter Größe, die nahe des Feldes so angeordnet ist, daß die Ablenkeinrichtung den Laserstrahl darauf richten kann. Vorteilhafterweise liegt eine kleine kreisförmige Blende am Ort der sog. Parkposition des Laserstrahles auf die der Laserstrahl in den Scanpausen gerichtet ist, d. h. an einem Ort außerhalb des darzustellenden Feldes.
  • Die Erfindung benutzt zur Strahlabschaltung vorteilhafterweise eine ohnehin vorhandene Ablenkeinrichtung. Deren Ausgestaltung ist dabei weitgehend beliebig, solange sie in der Lage ist, den Laserstrahl auf die neben dem abzutastenden Feld liegende Blende zu richten. In der Regel bewirkt die Ablenkeinrichtung eine zweiachsige Ablenkung. Üblicherweise werden in der Laser Scanning Mikroskopie zwei Kippspiegel verwendet, da damit maximale Freiheit bei der Führung des Laserstrahls über die auf dem Objekt abgerasterte Bildfläche gegeben ist. Bei einer solchen Ablenkeinrichtung, die in der Lage ist den Laserstrahl dauerhaft auf einen Punkt zu richten, genügt ebenfalls eine einfache Kreisblende zur Strahlabschaltung.
  • Bei einer Ablenkeinrichtung mit einem Kipp- und einem rotierenden Polygonspiegel ist dagegen eine linien- bzw. zeilenförmige Blende erforderlich.
  • Eine übliche Scanbewegung startet normalerweise in einer Ecke des auf dem Objekt abgerasterten Bildfensters und führt zur diagonal Gegenüberliegenden. Der nächste Scan beginnt dann wieder am Startpunkt des vorherigen Scans. Um das Objekt zwischen zwei Scanvorgängen vor ungewollter Bestrahlung zu schützen, ist es zu bevorzugen, daß die Blende L-förmig ausgebildet ist und dem Feld an zwei Rändern benachbart liegt, so daß sich die Innenkanten der Blende am Rande des darzustellenden Feldes befinden, da dann der Laserstrahl auf der L-förmigen Blende vom Endpunkt eines Scans zum Startpunkt des nächsten Scans zurückgeführt werden kann, so daß er vor dem Beginn des Scans auf der Blende nahe des Startpunktes für diesen Scan liegt. Dabei führt man den Laserstrahl zunächst parallel einer, dann parallel zur anderen Blendenkante außerhalb des Bildfeldes zur Startposition. Nach dem Abschalten des Laserstrahls ist dann ein wiederholtes Einschalten durch einfaches Führen des Laserstrahls von der Blende auf den Startpunkt möglich. Dies kann sehr schnell erfolgen.
  • In einer anderen Ausgestaltung ist die Blende als das Feld umgebendes Fenster ausgebildet, da dann von jedem Punkt der abgerasterten Bildfläche der kürzestmögliche Abstand zur Blende besteht. Damit kann eine besonders schnelle Abschaltung erreicht werden bzw. der Strahl während der Umkehrphasen abgeschaltet werden.
  • Beim Betrieb eines Laser Scanning Mikroskopes kann es aus untersuchungstechnischen Gründen notwendig sein, die Größe des abgerasterten Feldes zu verkleinern (optoelektronischer Zoom) und/oder die Mitte eines aktuell gescannten Bereiches innerhalb des maximal möglichen Feldes zu verschieben (Offset). Dazu kann die Blende fest dimensioniert der maximalen Größe des abzurasternden Feldes angepaßt sein. Sie kann aber besonders vorteilhaft in Ort und Größe verstellbar ausgeführt werden, so daß sie in Abhängigkeit vom gewählten Ablenkmuster (innerhalb der maximal möglichen Größe des Feldes) angepaßt werden kann. Dazu ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Ränder des Fensters durch verstellbare Lamellen gebildet werden.
  • Die Aufgabe wird bei einem Verfahren zum Betreiben eines Laser Scanning Mikroskops, bei dem ein Objekt mit einem Laserstrahl abgerastert wird, dadurch gelöst, daß der Laserstrahl zur Abschaltung des Laserstrahls auf eine neben einem bei der Objektabrasterung überstrichenen Feld liegende Blende abgelenkt wird, wenn er das Objekt nicht erreichen soll. Dieses Verfahren besitzt die eingangs anhand der Vorrichtung geschilderten Vorteile und ermöglicht eine schnelle Laserstrahlabschaltung. Weiter muß zur Abschaltung lediglich die Ansteuerung der Ablenkeinrichtung geändert werden, eine separate Ansteuerung eines Abschaltelementes entfällt.
  • Bei einem Verfahren, bei dem der Lichtstrahl während eines Scanvorganges von einem Startpunkt auf dem Objekt zu einem Endpunkt geführt wird, ist es zweckmäßig, den Bildstrahl vom Endpunkt auf die Blende zu lenken und auf der Blende zu einem Punkt nahe des Startpunktes zurückzuführen. Dann ist einerseits eine sehr schnelle Abschaltung nach Ende eines Scanvorgangs erreicht. Andererseits ist es möglich, zum Beginn eines Scanvorgangs den Laserstrahl schnell wieder einzuschalten.
  • Prinzipiell kann der Laserstrahl zur Abtastung des Objektes beliebig geführt werden. Eine besonders zweckmäßige Ausgestaltung mit einer schnellen Abrasterung einer rechteckigen Fläche ergibt sich jedoch, wenn der Laserstrahl hin- und hergehend in einer ersten Richtung und senkrecht dazu in einer zweiten Richtung über das Objekt abgelenkt wird.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung noch näher erläutert. In der Zeichnung zeigt:
  • Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Laser Scanning Mikroskops,
  • Fig. 2a-e verschiedene Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Blende,
  • Fig. 3 die erforderliche Form der Blende 2c bei Anordnung außerhalb der Zwischenbildebene,
  • Fig. 4 die prinzipielle Ausgestaltung der Blende 2c zur Berücksichtigung von Zoom und Offset beim Scannvorgang und
  • Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Abtastvorganges mit der Bahn des Laserstrahles gegenüber der Blende und dem dargestellten Bildfeld.
  • In Fig. 1 ist ein Laser Scanning Mikroskop schematisch dargestellt. Ein aus einem Laser oder einer Faser austretender paralleler Laserstrahl 1 wird an einem Hauptstrahlteiler 2 in Richtung einer zweiachsigen Ablenkvorrichtung mit Scanner-(Kipp-)Spiegeln 3 und 4 (x- und y-Achse) reflektiert und in Ruhestellung beider Spiegel in Richtung der optischen Achse zu einem Scanningobjektiv 5 gelenkt. Von diesem als 7b dargestellten Lichtbündel entsteht ein Laserspot in einem Zentrum eines Zwischenbildes 8.
  • Eine gestrichelte Linie 8a in der Ebene des Zwischenbildes 8 stellt die optisch bedingte Größe eines maximal darstellbaren Feldes dar, das der maximalen Größe eines abzurasternden Objektes zugeordnet ist. Der Verlauf des Strahlenbündels 7b ist weiter in Richtung eines Objektivs 9 dargestellt. Von diesem Lichtbündel entsteht schließlich ein kleiner Laserspot auf oder in einem Objekt 10.
  • In die Ebene des Zwischenbildes 8 ist eine erfindungsgemäße Blende 6 in Form eines L (siehe Fig. 2c) angeordnet, deren Funktion noch erläutert wird. Ein Lichtbündel 7a stellt schematisch den Strahlverlauf für den Anfangspunkt eines Scanvorganges dar, während ein Lichtbündel 7c die Lage des Laserstrahles nach der Beendigung eines Scanvorganges zeigt.
  • Die vom Objekt 10 zurückkehrende Strahlung durchläuft in umgekehrter Richtung die Elemente 9, 5, 4, 3 und wird schließlich, je nach Anwendungsfall, am Hauptstrahlteiler 2 teilweise oder nahezu vollständig in einen Detektionsstrahlengang zu einer Optik 11 (Pinholeobjektiv) transmittiert und von dieser Optik 11 in der Ebene einer Blende 12 (Pinhole) fokussiert.
  • Das durch das Pinhole getretene Licht wird schließlich von einem Detektor 13 in elektrische Signale umgewandelt.
  • Die Blende 6 dient zum schnellen Abschalten des Laserstrahls. Dabei wird der Laserstrahl auf die Blende gerichtet. Der Begriff "Abschalten" ist aus Sicht des Objektes 10 zu verstehen, d. h. der Laserstrahl 1 beleuchtet zwar bei Abschaltung die Scanner-Spiegel 3, 4, wird jedoch dann auf der Blende 6 absorbiert, so daß er nicht auf das Objekt 10 fällt.
  • In Fig. 1 sind schematisch drei verschiedene Ablenkungen des Laserstrahls 1 eingezeichnet. Der mit 7a bezeichnete Laserstrahl fällt auf einen Punkt der abzutastenden Bildfläche 4, der der Startpunkt eines Scanvorganges ist. Der mit 7b bezeichnete Laserstrahl befindet sich mitten in einem Scanvorgang. Der mit 7c bezeichnete Laserstrahl ist auf die Blende 6 gerichtet und trifft somit nicht auf das Objekt 10. Dadurch ist eine Abschaltung des Laserstrahls 1 erreicht, bei der das Objekt nicht mit dem Laserstrahl 1 beleuchtet wird.
  • Die Fig. 2a-c zeigen beispielhaft verschiedene Ausgestaltungen der Blende:
  • In Fig. 2a ist eine kreisförmige Blende 14 dargestellt, die nahe der Startposition des Laserstrahles liegt. Damit kann verhindert werden daß die Laserstrahlung während der Einstellvorgänge bzw. in den Scanpausen das Objekt erreicht. Dazu werden die Scannerspiegel so angesteuert, daß die Laserstrahlung ein kleines Stück diagonal nach links oben einen Punkt außerhalb des maximal darstellbaren Feldes, die sog. Parkposition 20 in Fig. 5 und dort die kleine kreisförmige Blende 14 der Fig. 2a trifft.
  • Die Fig. 2b zeigt die auch in der Ausgestaltung der Fig. 1 verwendete L-förmige Blende 6, die das max. darstellbare Feld an zwei Kanten begrenzt. Damit ist verhindert, daß die Laserstrahlung auf dem Rückweg vom Endpunkt 23 in Fig. 5 des abgetasteten Feldes zum Startpunkt das Objekt trifft.
  • Bei einem Scannvorgang mit mäanderförmiger Abtastung eines Scanfeldes (Hin- und Herbewegung des Abtaststrahles in einer Richtung und langsames Fortschreiten in der senkrecht dazu liegenden Richtung) müssen die Scannerspiegel an den Zeilenanfängen und - enden 22 von einer Bewegungsrichtung in die andere umgesteuert werden, wie in Fig. 5 zu sehen ist. In diesen Phasen würden Verzerrungen bei der Bilddarstellung auftreten. Man führt die Scanner deshalb etwas über das maximal darstellbare Feld hinaus und stellt die dabei auftretenden Signale nicht mit dar. Um zu verhindern, daß das Objekt 10 in diesen Umkehrphasen bestrahlt wird, ist die in Fig. 2c gezeigte Blende mit einer quadratischen Öffnung geeignet, so daß der Laserstrahl diese Blende 15 nur für solche Bereiche des abgetasteten Bildfeldes passieren kann, die auch ausreichend verzerrungsfrei dargestellt werden.
  • Beim Abtasten der Objekte ist es üblich, zur vergrößerten Darstellung kleiner Details das abgetastete Feld zu verkleinern, das Bild dieses kleineren Feldes aber in der Größe des vollen Bildes darzustellen (optoelektronischer Zoom). In einem solchen Fall ist es zur Verhinderung der Bestrahlung nicht dargestellter Objektbereiche zweckmäßig, die Blende 15 aus beweglichen geraden Lamellen 16-19 herzustellen, wobei jede Lamelle 16-19 eine Kante des von der Blende 15 freigelassenen Feldes bildet. Diese Lamellen werden dann so eingestellt, daß nur der im Bildfeld darzustellende Bereich 8b freigelassen wird (siehe Fig. 4).
  • Ebenso ist es möglich, daß bei eingestelltem opto-elektronischem Zoom ein Detail außerhalb der Feldmitte interessiert. Durch geeignete Einstellung der Lamellen 16-19 kann ein kleinerer Feldbereich exzentrisch zur Feldmitte ausgewählt werden. Mit der oben beschriebenen Ausgestaltung der Blende 15 ist es ohne weiteres möglich, einen symmetrisch zur neuen Bildmitte 8c liegenden kleineren Objektbereich 8b mit Laserstrahlung zu bestrahlen.
  • Die Möglichkeit zur paßgenauen Einstellung der Lamellen 16-19 für diese Fälle sind vielfältig. Die Parameter für ihren erforderlichen Ort können aus den Ansteuerparametern der Scanner gewonnen werden. Die Verfahrensweise ist aus dem Stand der Technik bekannt.
  • Es ist apparativ nicht in jedem Fall möglich, die Blende 6, 14, 15 exakt in der Zwischenbildebene 8 anzuordnen. Muß man die Blende in einer anderen Ebene positionieren, so hat der Laserstrahl 7a, 7b, 7c noch nicht die engste Einschnürung erreicht. Um in diesem Fall die Randbereiche des dargestellten Objektfeldes mit voller Intensität zu beleuchten, muß die Blende um den Durchmesser des Strahlenbündels am Ort der Blende größer, als das darzustellende Bildfeld gemacht werden und die Bildecken können mit dem Radius des Strahlenbündels in der besagten Ebene gerundet sein. Diese Verhältnisse sind für die Blendenform 15 nach Fig. 2c in Fig. 3 dargestellt.
  • In Fig. 5 ist der Abtastvorgang eines rechteckigen Feldes schematisch dargestellt.
  • Der Laserstrahl ist vor dem Scanvorgang durch entsprechende Ansteuerung der Scannerspiegel in die Parkposition 20 gelenkt. Bei Scanbeginn wird er in die Position 21 zum ersten Punkt des darzustellenden Feldes 8 geführt und gelangt sehr rasch zu dem Umkehrpunkt 22, von dem aus er in entgegengesetzte Richtung zum anderen Umkehrpunkt 22 geführt wird. Diese Umkehrpunkte liegen außerhalb des darzustellenden Feldes. Während des Vorganges der Umsteuerung der Scannerspiegel trifft der Laserstrahl die Blende 15, so daß das Objekt 10 dann nicht bestrahlt wird.
  • Hat der Laserstrahl den letzten Umkehrpunkt 23 am unteren Bildrand erreicht, so wird er außerhalb des darzustellenden Feldes auf der Blende auf einer als 24 dargestellten Bahn in die Parkposition 10 zurückgeführt.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur Strahlabschaltung bei einem Laser Scanning Mikroskop, mit einer Ablenkeinrichtung (3, 4), die einen Laserstrahl (1) rasternd über ein Objekt (10) führt, wobei der Laserstrahl (1) innerhalb eines Feldes (8) geführt wird, gekennzeichnet durch eine Blende (6, 14, 15), die der Ablenkeinrichtung (3, 4) nachgeschaltet neben dem Feld (8) liegt und auf die die Ablenkeinrichtung (2, 3) den Laserstrahl (1) lenkt, wenn er nicht auf das Objekt (10) treffen soll.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ablenkeinrichtung (3, 4) ein Objektiv (5) mit einer Zwischenbildebene (8) nachgeschaltet ist und daß die Blende (6, 14, 15) nahe der Zwischenbildebene liegt.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende (6) L-förmig ausgebildet ist, und dem Feld (8) an zwei Rändern benachbart liegt.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine kreisförmige Blende (14).
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende als das Feld (8) umgebendes Fenster (15) ausgebildet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch verstellbare Lamellen (16-19), die Ränder des Fensters (15) bilden.
7. Verfahren zum Betreiben eines Laser Scanning Mikroskops, bei dem ein Laserstrahl (1) über ein Feld (8) geführt wird, um auf ein Objekt (10) zu fallen dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl (1) zur Strahlabschaltung auf eine neben dem Feld (8) liegende Blende (6, 14, 15) abgelenkt wird, wenn der Laserstrahl (1) nicht auf das Objekt (10) treffen soll.
8. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem der Laserstrahl ausgehend von einem am Rand des Feldes (8) liegenden Startpunkt bis zu einem ebenfalls am Rand des Feldes (8) liegenden Endpunkt (10) geführt und dann auf die Blende (14, 15) und auf dieser bis zu einem Punkt nahe des Startpunktes zurückgeführt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem der Laserstrahl (1) hin- und hergehend in einer ersten Richtung und senkrecht dazu in einer zweiten Richtung scannend über die Bildfläche (4) abgelenkt wird.
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