DE10135220B4 - Drive system and method for determining the bandwidth of such a drive system - Google Patents

Drive system and method for determining the bandwidth of such a drive system

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Abstract

Antriebssystem mit mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik, mit einem Geschwindigkeitsregelkreis (18), in dem der Motor liegt, dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik (10 bis 13) mit mindestens einem Beschleunigungsaufnehmer (B) versehen ist, der in einem weiteren Geschwindigkeitsregelkreis (16) liegt, der dem Geschwindigkeitsregelkreis (18) des Motors kaskadenförmig überlagert ist und ein Netzwerk (17) enthält, das die Beschleunigung (ẍ M ) der Mechanik zur Geschwindigkeit (ẋ M ) integriert und oberhalb der Resonanzfrequenz (ω M ) der Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt. Drive system with at least one motor and a coupled oscillating mechanical system, with a speed control loop (18), in which the engine is located, characterized in that the oscillatory mechanism is provided (10 to 13) with at least one acceleration sensor (B) in another velocity control loop (16), which is cascaded superimposed on the speed control circuit (18) of the engine and contains a network (17), which integrates the acceleration (X M) of the mechanics for the speed (x M) and above the resonant frequency (ω M) of the mechanics the phase reverse rotation created.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Antriebssystem nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zur Bestimmung der Bandbreite eines solchen Antriebssystems nach dem Oberbegriff des Anspruches 6. The invention relates to a drive system according to the preamble of claim 1 and a method for determining the bandwidth of such a drive system according to the preamble of claim. 6
  • Solche Antriebssysteme mit Motor und schwingungsfähiger Mechanik sind typischer Weise im Werkzeugmaschinenbau oder in der Robotertechnik in Form von Kugelrollspindelantrieben, Zahnstangen/Ritzelantrieben oder rotatorischen Antrieben mit Getriebeuntersetzungen anzutreffen. Such drive systems with a motor and an oscillating mechanical system are typically in machine tools or in robotics in the form of ballscrew actuators, rack / pinion drives or rotary drives to meet with gear ratios. Solche Antriebssysteme besitzen aufgrund ihrer angekoppelten mechanischen Massen m über eine nachgiebige Feder c in Form von Getrieben oder Kupplungseinheiten mindestens eine Resonanzfrequenz (Eigenfrequenz) ω M , die sich nach der bekannten Gleichung Such drive systems have at least one resonance frequency (natural frequency) ω M, which according to the known equation due to their coupled mechanical masses m via a resilient spring c in the form of gear or clutch units
    Figure 00010001
    errechnet. calculated.
  • Aus der Literatur (siehe Boelke, K., Analyse und Beurteilung von Lagesteuerungen für numerisch gesteuerte Werkzeugmaschinen, Dr.-Ing. Diss. ISW, Univ. Stuttgart 1977, ISBN 3-540-08217-4, Springer-Verlag, Berlin, New York; Swoboda, W., Digitale Lageregelung für Maschinen mit schwach gedämpften schwingungsfähigen Bewegungsachsen, Dr.-Ing. Diss. ISW, Univ. Stuttgart 1987, ISBN 3-540-18101-6, Springer-Verlag, Berlin, New York) sind Lösungen bekannt, solche Systeme als lage- oder geschwindigkeitsgeregelte Systeme auszulegen. From the literature (see Boelke, K., analysis and assessment of attitude controls for numerically controlled machine tools, Dr.-Ing. Diss. ISW, Univ. Stuttgart 1977, ISBN 3-540-08217-4, Springer-Verlag, Berlin, New York;... Swoboda, W., Digital position control for machines with weakly damped oscillatory motion axes, Dr. Diss ISW, University of Stuttgart 1987, ISBN 3-540-18101-6, Springer-Verlag, Berlin, New York) solutions known to design such systems as a separate position or speed-controlled systems. 1 1 zeigt eine typische Kaskadenschaltung von Geschwindigkeits- und Lageregler mit dem Lageregelungsverstärkungsfaktor K V und dem Verstärkungsfaktor K P des Geschwindigkeitsregelkreises. shows a typical cascade of velocity and position control to the position control gain K v and the gain K P of the speed control loop. Sofern die Bandbreite ω A des Geschwindigkeitsregelkreises des Motors deutlich größer ist als die mechanische Eigenfrequenz ω M , lässt sich das Antriebssystem nach Provided the bandwidth ω A of the speed control circuit of the motor is significantly larger than the mechanical resonance frequency ω M, the drive system can be by 1 1 als ein Modellsystem as a model system 3 3 . , Ordnung ableiten, wobei die schwingungsfähige Mechanik als System Order to derive, wherein the oscillatory mechanics as system 2 2 . , Ordnung in Reihe geschaltet ist mit der Geschwindigkeits-Lagewandlung Procedure is connected in series with the speed-position conversion 1 1 . , Ordnung zu einem Lageregler mit der Regelungsverstärkung K V gemäß Procedure to a position controller with the control gain K V according to 2a 2a . ,
  • Der K V -Faktor sollte möglichst groß sein, da er bei vorgegebener Sollgeschwindigkeit ẋ s über die Gleichung Δx·K V = ẋ s die Regelabweichung der Lage Δx bestimmt und zudem quadratisch die Steifigkeit einer Achse beeinflusst. The K V factor should be as large as it with a specified nominal velocity s X via the equation Ax · K V = ẋ s determines the control deviation of the position .DELTA.x and also square affects the rigidity of an axle.
  • Wie aus dem Bodediagramm für ein solches System nach As from the Bode plot for such a system to 2b 2 B ablesbar ist, kann der K V -Faktor auch als Bandbreite des Lagereglers L R interpretiert werden mit der Dimensionierungs regel K V < 0,3 ω e , wobei ω e durch die schwingungsfähige angekoppelte Mechanik der Achse einer Werkzeugmaschine oder eines Industrieroboters bestimmt ist. is read, the K V factor can also be interpreted as a bandwidth of the position controller L R with the dimensioning rule K V <0.3 ω e, where ω e is determined by the oscillatory coupled mechanism the axis of a machine tool or an industrial robot. Für ω e = 2πf M liegen typische Werte für Werkzeugmaschinen bei f M < 50 Hz und für die Hauptachsen von Industrierobotern bei f M < 20 Hz. Damit lässt sich der K V -Faktor kaum über K V < 0,3·ω e = 0,3·2π·20...50 ≤ 100 s –1 steigern. For ω e = 2.pi.f M are typical values for machine tools at f M <50 Hz for the main axes of industrial robots at f M <20 Hz. Thus, the K V factor can hardly K V <0.3 * ω e = 0.3 · 2π · 20 ... 50 ≤ 100 s -1 increase. Dadurch lassen sich hohe dynamische Genauigkeiten und Störsteifigkeiten des Antriebssystems nicht erreichen. This high dynamic accuracy and Störsteifigkeiten the drive system itself can not be achieved.
  • Eine neue Möglichkeit zur Erzielung höherer K V -Werte bieten die sogenannten „Direktan triebe", bei denen die „Feder c" des tief abgestimmten, mechanischen Schwingers in Form einer Kugelrollspindel oder eines Getriebes ersatzlos ersetzt werden kann durch das direkte Wirkprinzip ohne Übersetzung. A new way to achieve higher K V values offer the so-called "Direktan gear" in which the "spring c" of the low-tuned, the mechanical oscillator in the form of a ball screw or a gear can be replaced without replacement by the direct action principle without translation.
  • Solche „Direktantriebe" sind jedoch erheblich teurer als getriebebehaftete Antriebslösungen und besitzen zudem nur begrenzte Kräfte oder Momente. However, such "direct drive" are considerably more expensive than gear-laden drive solutions and also have only limited forces or moments.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das gattungsgemäße Antriebssystem und das gattungsgemäße Verfahren so auszubilden, dass die Bandbreite ω e des Antriebssystems über die mechanische Eigenfrequenz ω M hinaus erweitert wird. The invention is therefore based on the task of training the generic drive system and the generic method in such a way that the bandwidth ω e of the drive system via the mechanical natural frequency ω M addition is expanded. Diese Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Antriebssystem erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und beim gattungsgemäßen Verfahren erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 6 gelöst. This object is achieved in the generic drive system according to the invention with the characterizing features of claim 1 and the generic method according to the invention with the characterizing features of claim. 6 Beim erfindungsgemäßen Antriebssystem und Verfahren wird die Istgröße der Geschwindigkeit mit Hilfe eines an der schwingungsfähigen Mechanik angekoppelten Beschleunigungsaufnehmers B erfasst, der über ein nachgeschaltetes Netzwerk ( In the inventive drive system and method, the actual value of the speed is detected using a coupled to the oscillatory mechanism accelerometer B, of (on a downstream network 17 17 ) sowohl die Geschwindigkeit als auch oberhalb der Resonanzfrequenz ω M der schwingungsfähigen Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt. ) Both the speed as well as above the resonant frequency ω M of the oscillatory mechanism whose phase reverse rotation created. Dieser Geschwindigkeitsregelkreis wird dem Geschwindigkeits- oder Beschleunigungsregelkreis ( This speed control loop (the velocity or acceleration control loop 18 18 ) des Motors großer Bandbreite kaskadenförmig überlagert. ) Of the motor wide bandwidth cascade superimposed. Damit wird die Dynamik der geschwindigkeitsgeregelten Achse gesteigert und somit kann auch der K V -Faktor erhöht werden. Thus the dynamics of the speed-controlled axis is increased and thus the K V factor can be increased. Auf diese Weise können hohe dynamische Genauigkeiten und Störsteifigkeiten auch bei Antriebssystemen mit schwingungsfähiger Mechanik erreicht werden. In this way, high dynamic accuracy and Störsteifigkeiten can also be achieved with drive systems with oscillating mechanical system.
  • Die Erfindung wird anhand der The invention is based on the 3 3 , . 4 4 und and 5 5 näher erläutert. explained.
  • 3 3 zeigt einen erfindungsgemäßen Vorschubantrieb mit einem zusätzlichen Geschwindigkeitsregler ( shows a feed drive according to the invention with an additional speed control ( 16 16 ) der Mechanik auf der Basis eines Beschleunigungsaufnehmers B. ) Of the mechanism on the basis of an acceleration B.
  • 4 4 zeigt die Amplituden und Phasenbedingungen für den zusätzlichen Geschwindigkeitsregler der Mechanik mit Hilfe eines Bodediagramms. shows the amplitude and phase conditions for the additional speed control of the mechanism with the aid of a Bode diagram.
  • 5 5 zeigt ein Blockschaltbild des zusätzlichen Geschwindigkeitsregelkreises der Mechanik. shows a block diagram of the additional speed control loop of the mechanics.
  • Die kaskadenförmig aufgebauten Geschwindigkeitsregelkreise gemäß The cascading built speed control loops in accordance 3 3 sind als Blockbild in are as block image 5 5 abgebildet und zeigen eine Reihenschaltung des Geschwindigkeitsregelkreises des Motors mit der hochabgestimmten Bandbreite ω A und dem tiefabgestimmten mechanischen System ω M in Reihe mit dem Verstärkungsglied K PM und dem phasendrehenden Glied (1 + T D ·s). ready and show a series circuit of the speed control loop of the engine with the high-tuned bandwidth ω A and the low-tuned mechanical system ω M in series with the reinforcing member K PM and the phase-rotating member (1 + T D · s).
  • Aus Out 4 4 wird deutlich, dass das System mit der tiefabgestimmten Eigenfrequenz ω M die Phasen φ über den Resonanzpunkt ω M um φ = –180° dreht (Phasenkurve it is clear that the system with the low-tuned natural frequency ω M, the phases φ about the resonance point ω M to φ = -180 ° turns (Phase curve 2 2 ). ). Um die Bandbreitenreserve ω A – ω M zum Motorsystem mit der größeren Bandbreite ω A nützen zu können, muß also oberhalb des Resonanzpunktes ω M eine Phasenrückdrehung um φ = +90° erfolgen (Kurven In order to reserve bandwidth ω A - ω M to the motor system with the larger bandwidth ω A use must therefore above the resonance point M ω a phase reverse rotation to φ = + 90 ° done (curves 2 2 + + 3 3 ). ). Diese Phasenrückdrehung erfolgt durch das phasendrehende Glied (1 + T D ·s) gemäß This phase reverse rotation is performed by the phase-rotating member (1 + T D · s) according to 4 4 und and 5 5 mit der Dimensionierung ω M = 1/T D . with the dimensioning ω M = 1 / T D. Damit erhält man den gezeichneten Frequenzgang der Kurve This yields the drawn frequency response curve 3 3 nach to 4 4 . , Die Reihenschaltung von Frequenzgang The series of frequency response 3 3 mit dem Frequenzgang with the frequency response 2 2 des mechanischen Systems ω M führt zum Frequenzgang Σ ω M of the mechanical system leads to the frequency response Σ 2 2 + + 3 3 mit einem Abfall von –20dB/Dek. with a drop of -20 dB / dec. oberhalb der Eigenfrequenz ω M . above the natural frequency ω M. Auf diese Weise wird in der Summe die Phase von –180° auf –90° zurückgedreht (siehe Phasengang gemäß gestrichelter Kurve Σ In this way, the phase of -180 ° to -90 ° is turned back in the sum (see phase transition according to the dashed curve Σ 2 2 + + 3 3 ) und die Verstärkung K PM kann auf den Wert K PM = 0.3 ω A – ω M angehoben werden, um noch mit genügender Phasenreserve der Summenkurve ) And the gain K can PM to the PM value K = 0.3 ω A - ω M are raised to more with sufficient phase margin of the cumulative curve 4 4 = K PM ·Σ = K · Σ PM 2 2 + + 3 3 durch den 0 dB Punkt des Amplitudenganges zu gehen. to go through the 0 dB point of the amplitude response. Dieser Durchtrittspunkt entspricht der Bandbreite ω e des geschlossenen Geschwindigkeitsregelkreises der schwingungsfähigen Mechanik, dh die Verstärkung K PM = ω e , bzw. die Bandbreitenreserve ω e = 0.3 ω A – ω M kann genutzt werden zur Dynamikerweiterung der Anordnung über die Eigenfrequenz ω M der schwingungsfähigen Mechanik hinaus. This passage point corresponds to the bandwidth ω e of the closed speed control loop of the oscillatory mechanism, ie, the gain K PM = ω e, and the bandwidth reserve ω e = 0.3 ω A - ω M can be used for dynamic expansion of the assembly about the natural frequency ω M of the oscillatory mechanics addition.
  • Um die schaltungstechnische Anordnung auch wirkungsvoll realisieren zu können, bedarf es eines rauschfreien Signals für die Geschwindigkeit, da das Signal für die Phasenrückdrehung (1 + T D ·s) differenziert werden muß. To be able to realize the circuitry arrangement effectively, it requires a noise-free signal for the speed because the signal for phase reverse rotation (1 + T D · s) must be differentiated. Die nach dem Stand der Technik übliche Geschwindig keitsberechnung durch Differentiation aus dem Lagesignal ist wegen des Quantisierungsrauschens für diese Aufgabe unbrauchbar. The usual prior art VELOCITY frequency calculation by differentiation of the position signal is unusable because of the quantization noise for this task.
  • Erfindungsgemäß wird das Geschwindigkeitssignal ẋ M durch Integration aus einer Beschleunigungsmessung ẍ M gewonnen, wobei die Differentiation der Geschwindigkeit bereits durch das Beschleunigungssignal selbst repräsentiert wird. According to the invention, the velocity signal is obtained by integration of a × M × M acceleration measurement, wherein the differentiation of the speed is already represented by the acceleration signal itself. Die Signalbildung erfolgt somit auf beste Weise rauschfrei. The signal generation is thus in the best way noise-free.
  • Die Schaltung zur Geschwindigkeitsbildung und Phasenrückdrehung ist entsprechend The circuit for speed and phase formation of reverse rotation is correspondingly 3 3 mit ẋ M (1 + T D ·s) = ẍ M ( 1 / s + T D ) als Netzwerk gestaltet, wobei 1 / s die Integration der Beschleunigung ẍ M zur Geschwindigkeit ẋ M übernimmt und der Proportionalwert T D den Durchtrittspunkt der Differentiation der Geschwindigkeit durch den 0 dB-Punkt des Amplitudenganges nach x M (1 + T D · s) = x M (1 / s + T D) designed as a network, where 1 / s x is the integration of the acceleration M to the velocity x M takes over and the proportional value T D the passage point of differentiation the velocity through the 0 dB point of the amplitude response according to 4 4 bestimmt. certainly.
  • Als Beschleunigungssensor B eignet sich für Antriebssysteme insbesondere ein System, das die Relativbeschleunigung zwischen festen und bewegten Teilen der schwingungsfähigen Mechanik erfasst. As an acceleration sensor B particularly to a system which detects the relative acceleration between fixed and moving parts of the oscillatory mechanism is suitable for drive systems. Zur Messung der Relativbeschleunigung kann beispielsweise ein Beschleunigungssensor nach dem Ferrarisprinzip eingesetzt werden (siehe Pritschow, G., Hiller, B., Hohe Regelgüte durch verbesserte Messsystemauswertung und Beschleunigungssensoren. wt Werkstattstechnik (1998), Heft 10, S. 473...478). To measure the relative acceleration, an acceleration sensor may be used for example according to the Ferraris principle (see Pritschow, G., Hiller, B., High control quality through improved measuring system evaluation and acceleration sensors. Wt Werkstattstechnik (1998), No. 10, pp 473 ... 478) ,
  • Ein Ausführungsbeispiel des Antriebssystems ist in An embodiment of the drive system is in 3 3 beispielhaft dargestellt. exemplified. Das Antriebssystem hat einen Motor The drive system includes a motor 10 10 , der über ein Getriebe Which via a gear 11 11 einen Schlitten a sled 12 12 antreibt. drives. Der Schlitten wird mit einer Kugelrollspindel The carriage is having a ball screw 13 13 translatorisch angetrieben. translationally driven. Ein Lagemeßsystem a position measuring system 14 14 erfaßt die Position des Schlittens detects the position of the carriage 12 12 und ist Teil eines Lageregelkreises and is part of a position control loop 15 15 . , Der vom Lagemeßsystem The position measuring system from 14 14 ermittelte Istwert x i wird mit einem Lagesollwert x s verglichen. actual value determined is compared with a position reference value x s x i. Bei Abweichungen zwischen beiden Werten wird der Schlitten In case of deviations between the two values, the carriage 12 12 nachgestellt. readjusted.
  • Der Differenzwert zwischen Ist- und Sollwert der Lage x s – x i wird multipliziert mit einem Geschwindigkeitsregelungsverstärkungsfaktor K V zum Geschwindigkeitssollwert ẋ MS der Mechanik. The difference value between actual and desired value of the position x s - x i is multiplied by a speed control gain K V for the speed set value x MS of the mechanism.
  • Der Schlitten The sled 12 12 ist mit dem Beschleunigungsaufnehmer B versehen, der im Geschwindigkeitsregelkreis is provided with the acceleration B, of the speed control loop 16 16 der Mechanik liegt. the mechanism is. In der beschriebenen Weise wird der vom Beschleunigungsaufnehmer B gelieferte Beschleunigungswert ẍ M über das Netzwerk In the described manner, the acceleration value provided by the accelerometer B x M over the network 17 17 in den Geschwindigkeitswert ẋ M gewandelt und dem Geschwindigkeitssollwert ẋ MS der Mechanik zur Differenzbildung zugeführt. in the speed value M ẋ converted and supplied to the speed set value x MS of the mechanism for forming the difference.
  • Die Differenz der Geschwindigkeiten ẋ MS und ẋ M werden mit dem Geschwindigkeitsverstärkungsfaktor K PM verstärkt. The difference in the speeds ẋ MS, and X M are amplified by the speed gain K PM. Der verstärkte Wert ẋ S ergibt den Geschwindigkeitssollwert für den Geschwindigkeitsdrehzahlregler des Motors The increased value X S gives the speed command value for the speed of the motor speed controller 10 10 . , Der vom Drehzahlregler des Motors Of the speed controller of the motor 10 10 gelieferte Geschwindigkeitsistwert ẋ i wird in bekannter Weise mit dem Sollwert ẋ s verglichen. supplied velocity value ẋ i is in a known manner with the desired value ẋ s compared. Der Differenzwert wird mit dem Faktor K PA verstärkt und über einen Stromregler und Umrichter als Regelsignal dem Motor The difference value is amplified by the factor K PA and a current controllers and inverters as a control signal to the motor 10 10 zugeführt. fed.
  • Anstelle des Kugelrollspindelantriebs können auch Zahnstangen/Ritzelantriebe oder andere an einen Motor angekoppelte schwingungsfähige Mechaniken vorgesehen sein. and rack / pinion drives or other may be provided on a motor coupled oscillatory mechanisms in place of the ball screw drive.

Claims (7)

  1. Antriebssystem mit mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik, mit einem Geschwindigkeitsregelkreis ( Drive system with at least one motor and a coupled oscillating mechanical system (with a speed control loop 18 18 ), in dem der Motor liegt, dadurch gekennzeichnet , dass die schwingungsfähige Mechanik ( ), In which the engine is located, characterized in that the oscillatory mechanism ( 10 10 bis to 13 13 ) mit mindestens einem Beschleunigungsaufnehmer (B) versehen ist, der in einem weiteren Geschwindigkeitsregelkreis ( ) Is provided with at least one acceleration sensor (B), of (in another velocity control loop 16 16 ) liegt, der dem Geschwindigkeitsregelkreis ( ) Is, the (the speed loop 18 18 ) des Motors kaskadenförmig überlagert ist und ein Netzwerk ( ) Of the engine cascaded superimposed and a network ( 17 17 ) enthält, das die Beschleunigung (ẍ M ) der Mechanik zur Geschwindigkeit (ẋ M ) integriert und oberhalb der Resonanzfrequenz (ω M ) der Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt. ) Which integrates the acceleration (X M) of the mechanics for the speed (x M) and (above the resonant frequency ω M) of the mechanics produced the phase reverse rotation.
  2. Antriebssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Motor ( Drive system according to claim 1, characterized in that the motor ( 10 10 ) ein Lageregler vorgeschaltet ist, und dass der weitere Geschwindigkeitsregelkreis ( ) Is upstream of a position controller, and that the additional velocity control loop ( 16 16 ) diesem Lageregler ( ) This position controller ( 15 15 ) kaskadenförmig unterlagert ist. ) Is subordinate to a cascade.
  3. Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Geschwindigkeitsregler ( Drive system according to claim 1 or 2, characterized in that the further speed control ( 16 16 ) einen Verstärker (K PM ) enthält. ) Includes an amplifier (K PM).
  4. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3; Drive system according to one of claims 1 to 3; dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik ein Getriebe ( characterized in that the oscillatory mechanism (a gear 11 11 ) enthält, ) Which
  5. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4; Drive system according to one of claims 1 to 4; dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik ein nachgiebiges Verbindungselement enthält. characterized in that the oscillatory mechanism includes a flexible connection element.
  6. Verfahren zur Bestimmung der Bandbreite eines Antriebssystems nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bestehend aus mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik mit Hilfe eines Geschwindigkeitsregelkreises, dadurch gekennzeichnet, dass die Istgröße der Geschwindigkeit (ẋ M ) der Mechanik mit Hilfe eines an der schwingungsfähigen Mechanik ( A method for determining the bandwidth of a drive system according to one of claims 1 to 5, comprising at least one motor and a coupled oscillating mechanical system by means of a speed control loop, characterized in that the actual value of the velocity (x M) of the mechanism by means of vibratory to the mechanics ( 10 10 bis to 13 13 ) angekoppelten Beschleunigungsaufnehmers (B) erfasst wird, der über ein nachgeschaltetes Netzwerk ( ) Coupled accelerometer (B) is detected, the (via a downstream network 17 17 ) sowohl die Geschwindigkeit ( 1 / s·ẍ M ) als auch oberhalb der Resonanzfrequenz (ω M ) der schwingungsfähigen Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt, und dass dieser Geschwindigkeitsregelkreis ( ) Both the speed (1 / s * x M) and above the resonant frequency (ω M) of the oscillatory mechanics produced the phase reverse rotation, and that (this speed control loop 16 16 ) dem Geschwindigkeitsregelkreis des Motors kaskadenförmig überlagert wird. ) Is superimposed in cascade to the speed control circuit of the motor.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Beschleunigungsaufnehmer (B) nach dem Ferrarisprinzip arbeitet. A method according to claim 6, characterized in that the acceleration sensor (B) operates on the Ferraris principle.
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