DE10135220B4 - Drive system and method for determining the bandwidth of such a drive system - Google Patents

Drive system and method for determining the bandwidth of such a drive system Download PDF

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Abstract

Antriebssystem mit mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik, mit einem Geschwindigkeitsregelkreis (18), in dem der Motor liegt, dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik (10 bis 13) mit mindestens einem Beschleunigungsaufnehmer (B) versehen ist, der in einem weiteren Geschwindigkeitsregelkreis (16) liegt, der dem Geschwindigkeitsregelkreis (18) des Motors kaskadenförmig überlagert ist und ein Netzwerk (17) enthält, das die Beschleunigung (ẍM) der Mechanik zur Geschwindigkeit (ẋM) integriert und oberhalb der Resonanzfrequenz (ωM) der Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt.Drive system with at least one motor and coupled oscillating mechanism, with a speed control loop (18) in which the engine is located, characterized in that the oscillatory mechanism (10 to 13) is provided with at least one accelerometer (B), which in another speed control loop (16), which is superimposed cascade-wise on the velocity control loop (18) of the motor and contains a network (17) which integrates the acceleration (ẍ M ) of the mechanism of the velocity (ẋ M ) and above the resonance frequency (ω M ) of the mechanism whose phase rotation is generated.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Antriebssystem nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zur Bestimmung der Bandbreite eines solchen Antriebssystems nach dem Oberbegriff des Anspruches 6.The The invention relates to a drive system according to the preamble of the claim 1 and a method for determining the bandwidth of such Drive system according to the preamble of claim 6.

Solche Antriebssysteme mit Motor und schwingungsfähiger Mechanik sind typischer Weise im Werkzeugmaschinenbau oder in der Robotertechnik in Form von Kugelrollspindelantrieben, Zahnstangen/Ritzelantrieben oder rotatorischen Antrieben mit Getriebeuntersetzungen anzutreffen. Solche Antriebssysteme besitzen aufgrund ihrer angekoppelten mechanischen Massen m über eine nachgiebige Feder c in Form von Getrieben oder Kupplungseinheiten mindestens eine Resonanzfrequenz (Eigenfrequenz) ωM, die sich nach der bekannten Gleichung

Figure 00010001
errechnet.Such drive systems with motor and oscillating mechanism are typically found in machine tool or robot technology in the form of ball screw drives, racks / pinion drives or rotary drives with gear ratios. Due to their coupled mechanical masses m, such drive systems have at least one resonance frequency (eigenfrequency) ω M via a yielding spring c in the form of transmissions or clutch units, which results according to the known equation
Figure 00010001
calculated.

Aus der Literatur (siehe Boelke, K., Analyse und Beurteilung von Lagesteuerungen für numerisch gesteuerte Werkzeugmaschinen, Dr.-Ing. Diss. ISW, Univ. Stuttgart 1977, ISBN 3-540-08217-4, Springer-Verlag, Berlin, New York; Swoboda, W., Digitale Lageregelung für Maschinen mit schwach gedämpften schwingungsfähigen Bewegungsachsen, Dr.-Ing. Diss. ISW, Univ. Stuttgart 1987, ISBN 3-540-18101-6, Springer-Verlag, Berlin, New York) sind Lösungen bekannt, solche Systeme als lage- oder geschwindigkeitsgeregelte Systeme auszulegen. 1 zeigt eine typische Kaskadenschaltung von Geschwindigkeits- und Lageregler mit dem Lageregelungsverstärkungsfaktor KV und dem Verstärkungsfaktor KP des Geschwindigkeitsregelkreises. Sofern die Bandbreite ωA des Geschwindigkeitsregelkreises des Motors deutlich größer ist als die mechanische Eigenfrequenz ωM, lässt sich das Antriebssystem nach 1 als ein Modellsystem 3. Ordnung ableiten, wobei die schwingungsfähige Mechanik als System 2. Ordnung in Reihe geschaltet ist mit der Geschwindigkeits-Lagewandlung 1. Ordnung zu einem Lageregler mit der Regelungsverstärkung KV gemäß 2a.From the literature (see Boelke, K., analysis and assessment of attitude control for numerically controlled machine tools, Dr.-Ing. Diss. ISW, University of Stuttgart 1977, ISBN 3-540-08217-4, Springer-Verlag, Berlin, New Swoboda, W., digital position control for machines with weakly damped oscillatory motion axes, Dr.-Ing. Diss. ISW, University of Stuttgart 1987, ISBN 3-540-18101-6, Springer-Verlag, Berlin, New York) are Solutions are known to design such systems as position or speed controlled systems. 1 shows a typical cascade of speed and position controller with the attitude control gain K V and the gain K P of the velocity loop. If the bandwidth ω A of the speed control circuit of the motor is significantly greater than the mechanical natural frequency ω M , the drive system can be after 1 as a model system 3 , Derive order, with the oscillatory mechanics as a system 2 , Order is connected in series with the speed-position conversion 1 , Order to a position controller with the control gain K V according to 2a ,

Der KV-Faktor sollte möglichst groß sein, da er bei vorgegebener Sollgeschwindigkeit ẋs über die Gleichung Δx·KV = ẋs die Regelabweichung der Lage Δx bestimmt und zudem quadratisch die Steifigkeit einer Achse beeinflusst.The K V factor should be as large as it with a specified nominal velocity s X via the equation Ax · K V = ẋ s determines the control deviation of the position .DELTA.x and also square affects the rigidity of an axle.

Wie aus dem Bodediagramm für ein solches System nach 2b ablesbar ist, kann der KV-Faktor auch als Bandbreite des Lagereglers LR interpretiert werden mit der Dimensionierungs regel KV < 0,3 ωe, wobei ωe durch die schwingungsfähige angekoppelte Mechanik der Achse einer Werkzeugmaschine oder eines Industrieroboters bestimmt ist. Für ωe = 2πfM liegen typische Werte für Werkzeugmaschinen bei fM < 50 Hz und für die Hauptachsen von Industrierobotern bei fM < 20 Hz. Damit lässt sich der KV-Faktor kaum über KV < 0,3·ωe = 0,3·2π·20...50 ≤ 100 s–1 steigern. Dadurch lassen sich hohe dynamische Genauigkeiten und Störsteifigkeiten des Antriebssystems nicht erreichen.As can be seen from the Bode diagram for such a system 2 B can be read, the K V factor can also be interpreted as a bandwidth of the position controller L R with the dimensioning rule K V <0.3 ω e , where ω e is determined by the oscillatory coupled mechanics of the axis of a machine tool or an industrial robot. For ω e = 2πf M , typical values for machine tools are f M <50 Hz and for the main axes of industrial robots at f M <20 Hz. Thus, the K V factor can hardly be exceeded by K V <0.3 · ω e = 0.3 · 2π · 20 ... 50 ≤ 100 s -1 increase. As a result, high dynamic accuracies and interference stiffness of the drive system can not be achieved.

Eine neue Möglichkeit zur Erzielung höherer KV-Werte bieten die sogenannten „Direktan triebe", bei denen die „Feder c" des tief abgestimmten, mechanischen Schwingers in Form einer Kugelrollspindel oder eines Getriebes ersatzlos ersetzt werden kann durch das direkte Wirkprinzip ohne Übersetzung.A new way to achieve higher K V values offer the so-called "direct drive", in which the "spring c" of the low-tuned mechanical oscillator in the form of a ball screw or a gearbox can be replaced without replacement by the direct action principle without translation.

Solche „Direktantriebe" sind jedoch erheblich teurer als getriebebehaftete Antriebslösungen und besitzen zudem nur begrenzte Kräfte oder Momente.However, such "direct drives" are considerably more expensive as geared drive solutions and also have only limited powers or moments.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das gattungsgemäße Antriebssystem und das gattungsgemäße Verfahren so auszubilden, dass die Bandbreite ωe des Antriebssystems über die mechanische Eigenfrequenz ωM hinaus erweitert wird. Diese Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Antriebssystem erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und beim gattungsgemäßen Verfahren erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 6 gelöst. Beim erfindungsgemäßen Antriebssystem und Verfahren wird die Istgröße der Geschwindigkeit mit Hilfe eines an der schwingungsfähigen Mechanik angekoppelten Beschleunigungsaufnehmers B erfasst, der über ein nachgeschaltetes Netzwerk (17) sowohl die Geschwindigkeit als auch oberhalb der Resonanzfrequenz ωM der schwingungsfähigen Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt. Dieser Geschwindigkeitsregelkreis wird dem Geschwindigkeits- oder Beschleunigungsregelkreis (18) des Motors großer Bandbreite kaskadenförmig überlagert. Damit wird die Dynamik der geschwindigkeitsgeregelten Achse gesteigert und somit kann auch der KV-Faktor erhöht werden. Auf diese Weise können hohe dynamische Genauigkeiten und Störsteifigkeiten auch bei Antriebssystemen mit schwingungsfähiger Mechanik erreicht werden.The invention is therefore the object of the generic drive system and the generic method in such a way that the bandwidth ω e of the drive system over the mechanical natural frequency ω M is extended beyond. This object is achieved according to the invention in the generic drive system with the characterizing features of claim 1 and in the generic method according to the invention with the characterizing features of claim 6. In the drive system and method according to the invention, the actual size of the speed is detected with the aid of an acceleration pickup B coupled to the oscillatable mechanism which is connected via a downstream network (FIG. 17 ) both the velocity and above the resonance frequency ω M of the oscillatory mechanism whose phase rotation produced. This velocity loop is assigned to the velocity or acceleration control loop ( 18 ) of the motor of large bandwidth cascade superimposed. Thus, the dynamics of the speed-controlled axis is increased and thus also the K V factor can be increased. In this way, high dynamic accuracies and interference stiffness can be achieved even with drive systems with oscillatory mechanics.

Die Erfindung wird anhand der 3, 4 und 5 näher erläutert.The invention is based on the 3 . 4 and 5 explained in more detail.

3 zeigt einen erfindungsgemäßen Vorschubantrieb mit einem zusätzlichen Geschwindigkeitsregler (16) der Mechanik auf der Basis eines Beschleunigungsaufnehmers B. 3 shows a feed drive according to the invention with an additional speed controller ( 16 ) of the mechanics based on an accelerometer B.

4 zeigt die Amplituden und Phasenbedingungen für den zusätzlichen Geschwindigkeitsregler der Mechanik mit Hilfe eines Bodediagramms. 4 shows the amplitudes and phase conditions for the additional speed regulator of mechanics with the aid of a bode diagram.

5 zeigt ein Blockschaltbild des zusätzlichen Geschwindigkeitsregelkreises der Mechanik. 5 shows a block diagram of the additional speed control loop of the mechanics.

Die kaskadenförmig aufgebauten Geschwindigkeitsregelkreise gemäß 3 sind als Blockbild in 5 abgebildet und zeigen eine Reihenschaltung des Geschwindigkeitsregelkreises des Motors mit der hochabgestimmten Bandbreite ωA und dem tiefabgestimmten mechanischen System ωM in Reihe mit dem Verstärkungsglied KPM und dem phasendrehenden Glied (1 + TD·s).The cascaded speed control circuits according to 3 are as a block diagram in 5 and show a series circuit of the velocity loop of the high tuned bandwidth motor ω A and the low tuned mechanical system ω M in series with the gain member K PM and the phase rotating member (1 + T D · s).

Aus 4 wird deutlich, dass das System mit der tiefabgestimmten Eigenfrequenz ωM die Phasen φ über den Resonanzpunkt ωM um φ = –180° dreht (Phasenkurve 2). Um die Bandbreitenreserve ωA – ωM zum Motorsystem mit der größeren Bandbreite ωA nützen zu können, muß also oberhalb des Resonanzpunktes ωM eine Phasenrückdrehung um φ = +90° erfolgen (Kurven 2 + 3). Diese Phasenrückdrehung erfolgt durch das phasendrehende Glied (1 + TD·s) gemäß 4 und 5 mit der Dimensionierung ωM = 1/TD. Damit erhält man den gezeichneten Frequenzgang der Kurve 3 nach 4. Die Reihenschaltung von Frequenzgang 3 mit dem Frequenzgang 2 des mechanischen Systems ωM führt zum Frequenzgang Σ2 + 3 mit einem Abfall von –20dB/Dek. oberhalb der Eigenfrequenz ωM. Auf diese Weise wird in der Summe die Phase von –180° auf –90° zurückgedreht (siehe Phasengang gemäß gestrichelter Kurve Σ2 + 3) und die Verstärkung KPM kann auf den Wert KPM = 0.3 ωA – ωM angehoben werden, um noch mit genügender Phasenreserve der Summenkurve 4 = KPM·Σ2 + 3 durch den 0 dB Punkt des Amplitudenganges zu gehen. Dieser Durchtrittspunkt entspricht der Bandbreite ωe des geschlossenen Geschwindigkeitsregelkreises der schwingungsfähigen Mechanik, d.h. die Verstärkung KPM = ωe, bzw. die Bandbreitenreserve ωe = 0.3 ωA – ωM kann genutzt werden zur Dynamikerweiterung der Anordnung über die Eigenfrequenz ωM der schwingungsfähigen Mechanik hinaus.Out 4 it becomes clear that the system with the deeply tuned natural frequency ω M rotates the phases φ over the resonance point ω M by φ = -180 ° (phase curve 2 ). In order to be able to use the bandwidth reserve ω A - ω M for the motor system with the larger bandwidth ω A , a phase reversal must therefore take place above the resonance point ω M by φ = + 90 ° (curves 2 + 3 ). This phase reversal is effected by the phase-rotating member (1 + T D · s) according to FIG 4 and 5 with the dimensioning ω M = 1 / T D. This gives the drawn frequency response of the curve 3 to 4 , The series connection of frequency response 3 with the frequency response 2 of the mechanical system ω M leads to the frequency response Σ 2 + 3 with a drop of -20dB / dec. above the natural frequency ω M. In this way, the phase is turned back in the sum of -180 ° to -90 ° (see phase response according to dashed curve Σ 2 + 3 ) and the gain K PM can be raised to the value K PM = 0.3 ω A - ω M , in order to still have sufficient phase margin of the cumulative curve 4 = K PM · Σ 2 + 3 to go through the 0 dB point of the amplitude response. This passage point corresponds to the bandwidth ω e of the closed speed control loop of the oscillatory mechanism, ie the gain K PM = ω e , or the bandwidth reserve ω e = 0.3 ω A - ω M can be used to increase the dynamics of the arrangement on the natural frequency ω M of the oscillatory Mechanics out.

Um die schaltungstechnische Anordnung auch wirkungsvoll realisieren zu können, bedarf es eines rauschfreien Signals für die Geschwindigkeit, da das Signal für die Phasenrückdrehung (1 + TD·s) differenziert werden muß. Die nach dem Stand der Technik übliche Geschwindig keitsberechnung durch Differentiation aus dem Lagesignal ist wegen des Quantisierungsrauschens für diese Aufgabe unbrauchbar.In order to be able to realize the circuit arrangement also effectively, a noise-free signal for the speed is required, since the signal for the phase reversal (1 + T D · s) must be differentiated. The usual in the prior art speed calculation by differentiation from the position signal is useless because of the quantization noise for this task.

Erfindungsgemäß wird das Geschwindigkeitssignal ẋM durch Integration aus einer Beschleunigungsmessung ẍM gewonnen, wobei die Differentiation der Geschwindigkeit bereits durch das Beschleunigungssignal selbst repräsentiert wird. Die Signalbildung erfolgt somit auf beste Weise rauschfrei.According to the invention, the velocity signal is obtained by integration of a × M × M acceleration measurement, wherein the differentiation of the speed is already represented by the acceleration signal itself. Signaling is thus noise-free in the best possible way.

Die Schaltung zur Geschwindigkeitsbildung und Phasenrückdrehung ist entsprechend 3 mit ẋM(1 + TD·s) = ẍM( 1 / s + TD) als Netzwerk gestaltet, wobei 1 / s die Integration der Beschleunigung ẍM zur Geschwindigkeit ẋM übernimmt und der Proportionalwert TD den Durchtrittspunkt der Differentiation der Geschwindigkeit durch den 0 dB-Punkt des Amplitudenganges nach 4 bestimmt.The circuit for speeding and phase reversal is corresponding 3 x M (1 + T D · s) = x M (1 / s + T D) designed as a network, where 1 / s x is the integration of the acceleration M to the velocity x M takes over and the proportional value T D the passage point of differentiation the speed through the 0 dB point of the amplitude response 4 certainly.

Als Beschleunigungssensor B eignet sich für Antriebssysteme insbesondere ein System, das die Relativbeschleunigung zwischen festen und bewegten Teilen der schwingungsfähigen Mechanik erfasst. Zur Messung der Relativbeschleunigung kann beispielsweise ein Beschleunigungssensor nach dem Ferrarisprinzip eingesetzt werden (siehe Pritschow, G., Hiller, B., Hohe Regelgüte durch verbesserte Messsystemauswertung und Beschleunigungssensoren. wt Werkstattstechnik (1998), Heft 10, S. 473...478).When Acceleration sensor B is particularly suitable for drive systems a system that measures the relative acceleration between fixed and moving Sharing the vibratory Mechanics captured. For example, to measure the relative acceleration an acceleration sensor according to the Ferraris principle are used (see Pritschow, G., Hiller, B., High control quality through improved measurement system evaluation and acceleration sensors. wt Workshop Technology (1998), Issue 10, P. 473 ... 478).

Ein Ausführungsbeispiel des Antriebssystems ist in 3 beispielhaft dargestellt. Das Antriebssystem hat einen Motor 10, der über ein Getriebe 11 einen Schlitten 12 antreibt. Der Schlitten wird mit einer Kugelrollspindel 13 translatorisch angetrieben. Ein Lagemeßsystem 14 erfaßt die Position des Schlittens 12 und ist Teil eines Lageregelkreises 15. Der vom Lagemeßsystem 14 ermittelte Istwert xi wird mit einem Lagesollwert xs verglichen. Bei Abweichungen zwischen beiden Werten wird der Schlitten 12 nachgestellt.An embodiment of the drive system is in 3 exemplified. The drive system has a motor 10 that has a gearbox 11 a sled 12 drives. The carriage is equipped with a ball screw 13 driven in translation. A position measuring system 14 detects the position of the carriage 12 and is part of a position control loop 15 , The of the Lagemeßsystem 14 actual value determined is compared with a position reference value x s x i. If there are deviations between the two values, the carriage becomes 12 readjusted.

Der Differenzwert zwischen Ist- und Sollwert der Lage xs – xi wird multipliziert mit einem Geschwindigkeitsregelungsverstärkungsfaktor KV zum Geschwindigkeitssollwert ẋMS der Mechanik.The difference value between the actual and setpoint position x s - x i is multiplied by a speed control gain K V to the speed setpoint ẋ MS of the mechanics.

Der Schlitten 12 ist mit dem Beschleunigungsaufnehmer B versehen, der im Geschwindigkeitsregelkreis 16 der Mechanik liegt. In der beschriebenen Weise wird der vom Beschleunigungsaufnehmer B gelieferte Beschleunigungswert ẍM über das Netzwerk 17 in den Geschwindigkeitswert ẋM gewandelt und dem Geschwindigkeitssollwert ẋMS der Mechanik zur Differenzbildung zugeführt.The sled 12 is provided with the accelerometer B, which is in the speed control loop 16 the mechanics lie. In the manner described, the acceleration value ẍ M delivered by the accelerometer B is transmitted via the network 17 converted into the speed value ẋ M and fed to the speed setpoint ẋ MS of the difference mechanism.

Die Differenz der Geschwindigkeiten ẋMS und ẋM werden mit dem Geschwindigkeitsverstärkungsfaktor KPM verstärkt. Der verstärkte Wert ẋS ergibt den Geschwindigkeitssollwert für den Geschwindigkeitsdrehzahlregler des Motors 10. Der vom Drehzahlregler des Motors 10 gelieferte Geschwindigkeitsistwert ẋi wird in bekannter Weise mit dem Sollwert ẋs verglichen. Der Differenzwert wird mit dem Faktor KPA verstärkt und über einen Stromregler und Umrichter als Regelsignal dem Motor 10 zugeführt.The difference of the velocities ẋ MS and ẋ M are amplified by the velocity amplification factor K PM . The amplified value ẋ S gives the speed setpoint for the speed speed controller of the motor 10 , The speed controller of the engine 10 delivered speed actual value ẋ i is compared in a known manner with the setpoint ẋ s . The difference value is amplified by the factor K PA and via a current controller and inverter as a control signal to the motor 10 fed.

Anstelle des Kugelrollspindelantriebs können auch Zahnstangen/Ritzelantriebe oder andere an einen Motor angekoppelte schwingungsfähige Mechaniken vorgesehen sein.Instead of of the ball screw drive can also racks / pinion drives or other coupled to a motor vibratory mechanics be provided.

Claims (7)

Antriebssystem mit mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik, mit einem Geschwindigkeitsregelkreis (18), in dem der Motor liegt, dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik (10 bis 13) mit mindestens einem Beschleunigungsaufnehmer (B) versehen ist, der in einem weiteren Geschwindigkeitsregelkreis (16) liegt, der dem Geschwindigkeitsregelkreis (18) des Motors kaskadenförmig überlagert ist und ein Netzwerk (17) enthält, das die Beschleunigung (ẍM) der Mechanik zur Geschwindigkeit (ẋM) integriert und oberhalb der Resonanzfrequenz (ωM) der Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt.Drive system with at least one motor and coupled oscillating mechanism, with a speed control loop ( 18 ), in which the engine is located, characterized in that the oscillatory mechanism ( 10 to 13 ) is provided with at least one accelerometer (B), which in another speed control loop ( 16 ), the speed loop ( 18 ) of the motor is cascaded superimposed and a network ( 17 ), which integrates the acceleration (ẍ M ) of the mechanics of the velocity (ẋ M ) and generates the phase reversal above the resonance frequency (ω M ) of the mechanism. Antriebssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Motor (10) ein Lageregler vorgeschaltet ist, und dass der weitere Geschwindigkeitsregelkreis (16) diesem Lageregler (15) kaskadenförmig unterlagert ist.Drive system according to claim 1, characterized in that the engine ( 10 ) a position controller is connected upstream, and that the further speed control loop ( 16 ) this position controller ( 15 ) is subordinate cascade-shaped. Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Geschwindigkeitsregler (16) einen Verstärker (KPM) enthält.Drive system according to claim 1 or 2, characterized in that the further speed controller ( 16 ) contains an amplifier (K PM ). Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3; dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik ein Getriebe (11) enthält,Drive system according to one of claims 1 to 3; characterized in that the oscillatory mechanism is a transmission ( 11 contains) Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4; dadurch gekennzeichnet, dass die schwingungsfähige Mechanik ein nachgiebiges Verbindungselement enthält.Drive system according to one of claims 1 to 4; characterized in that the oscillatory mechanism is a yielding Contains connecting element. Verfahren zur Bestimmung der Bandbreite eines Antriebssystems nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bestehend aus mindestens einem Motor und angekoppelter schwingungsfähiger Mechanik mit Hilfe eines Geschwindigkeitsregelkreises, dadurch gekennzeichnet, dass die Istgröße der Geschwindigkeit (ẋM) der Mechanik mit Hilfe eines an der schwingungsfähigen Mechanik (10 bis 13) angekoppelten Beschleunigungsaufnehmers (B) erfasst wird, der über ein nachgeschaltetes Netzwerk (17) sowohl die Geschwindigkeit ( 1 / s·ẍM) als auch oberhalb der Resonanzfrequenz (ωM) der schwingungsfähigen Mechanik deren Phasenrückdrehung erzeugt, und dass dieser Geschwindigkeitsregelkreis (16) dem Geschwindigkeitsregelkreis des Motors kaskadenförmig überlagert wird.Method for determining the bandwidth of a drive system according to one of claims 1 to 5, comprising at least one motor and coupled oscillatory mechanism with the aid of a speed control loop, characterized in that the actual size of the speed (ẋ M ) of the mechanism with the help of one of the oscillatory mechanics ( 10 to 13 ) coupled to the accelerometer (B), which is connected via a downstream network ( 17 ) both the speed (1 / s · ẍ M ) and above the resonant frequency (ω M ) of the oscillatory mechanism generates their phase reversal, and that this speed control loop ( 16 ) is superimposed cascade the speed control circuit of the motor. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Beschleunigungsaufnehmer (B) nach dem Ferrarisprinzip arbeitet.Method according to Claim 6, characterized the accelerometer (B) works according to the Ferraris principle.
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