DE10135100B4 - Verfahren zur Einstellung der optimalen Resonatorlänge für einen modengekoppelten Laseroszillator - Google Patents

Abstract

Verfahren zur Einstellung der optimalen Resonatorlänge für einen modengekoppelten Laseroszillator, wobei ein Anteil der im Resonator umlaufenden Laserstrahlung ausgekoppelt und mit einer Referenzfrequenz beaufschlagt wird und durch Auswertung der ermittelten Frequenzdifferenz die optimale Resonatorlänge bestimmt wird,
dadurch gekennzeichnet, dass
die sich im Resonator einstellende Laserstrahlung mit der Umlauffrequenz (f_RT) eines aktiv modengekoppelten Lasers (1), der sich zunächst im ungekoppelten Zustand befindet, mit einer externen Referenzfrequenz (f_ref), die der späteren Betriebsfrequenz des Modenkopplers (5, 6) entspricht, verglichen wird,
indem die Phasenlage zwischen den in der Laserstrahlung spontan durch unsynchronisierte Überlagerung mehrerer Moden auftretenden Amplitudenschwankungen und dem Referenzsignal mittels Phasendetektoren (8.1, 8.2, 8.3) ermittelt wird und
aus dem Schwebungsspektrum mittels Fouriertransformation ein Wert als Funktion der tatsächlichen Resonatorlänge ermittelt und aufgetragen wird,
danach die Resonatorlänge verändert und die Umlauffrequenz (f_RT) erneut mit der Referenzfrequenz (f_ref) verglichen und aus dem nun auftretenden Schwebungsspektrum mittels einer Fouriertransformation ein neuer...

Description

• Aktiv modengekoppelte Laser werden durch externe Modenkoppler, die mit einer definierten Festfrequenz betrieben werden, zur Erzeugung definierter Laserstrahlung angeregt. Damit ein aktiv modengekoppelter Laseroszillator optimal arbeitet, d. h. stabile und möglichst kurze Impulse hoher Leistung erzeugt, muss die Laserfrequenz, die durch die Umlaufzeit im Resonator bestimmt wird, exakt auf die Frequenz des Modenkopplers abgestimmt werden. Dazu muss die Resonatorlänge sehr präzise eingestellt werden. Dieser Abgleich wurde bisher üblicherweise manuell durchgeführt. Der exakte Abgleich erfordert eine Genauigkeit von < 100 μm bei einer Gesamtlänge von einigen Metern. Da für diesen Abgleich kein Steuersignal zur Verfügung stand und somit die Veränderungsrichtung nicht bestimmt werden konnte, war dies bisher sehr schwierig und zeitaufwändig.
• In der US 5,029,174 A wird für einen nicht modengekoppelten Gaslaser zur Stabilisierung des Laserbetriebs ein Verfahren zur Einstellung einer konstanten optischen Resonatorlänge angegeben. Dabei wird die Laserfrequenz im Resonator mit einer externen Hilfsfrequenz beaufschlagt, die eintretende Schwebungsfrequenz ("beat note" Frequenz) wird ausgewertet und zur Ermittlung der optimalen Resonatorlänge herangezogen, indem in Abhängigkeit vom Auswerteergebnis die Resonatorlänge verändert wird. Dieser Schritt wird wiederholt, bis die Schwebungsfrequenz zu Null wird.
• Der Nachteil dieser Lösung besteht darin, dass bei diesem Verfahren aus den aufgenommenen Schwebungssignalen nicht abgeleitet werden kann, in welcher Richtung und um welchen Betrag die Resonatorlänge verändert werden muss, um das Optimum zu erreichen. Weiterhin muss mit sehr kleiner Schrittweite, üblicherweise einige Mikrometer, gescant werden, da ansonsten der sehr kleine Stabilitätsbereich verfehlt wird. Deshalb wird bei Verwendung des bisherigen Verfahrens insbesondere nach Umbauten im Laserresonator oder nach Wechseln optischer Elemente eine aufwendige Justierprozedur erforderlich.
• Bisher wurde der Stabilitätspunkt des Intensitätssignales durch Abscannen der Resonatorlänge bei eingeschalteten Modulatoren gesucht.
• Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren anzugeben, mit welchem es ermöglicht wird, die optimale Resonatorlänge eines aktiv modengekoppelten Laseroszillators zu ermitteln und automatisch einzustellen.
• Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, indem ein Teil der im Resonator spontan umlaufenden Laserstrahlung (Laserfrequenz), die noch keine Laserimpulse erzeugt, da die Modenkoppler ausgeschaltet sind, ausgekoppelt und einem Phasendetektor zugeführt wird. Mit diesem Phasendetektor wird die Phasenlage zwischen den spontan in der Laserstrahlung auftretenden Intensitätsfluktuationen und einem extern bereitgestellten Referenzsignal ermittelt. Die Frequenz des externen Referenzsignals entspricht genau der Betriebsfrequenz des Modenkopplers. Aus der auftretenden Schwebungsfrequenz zwischen der Umlauffrequenz der Laserstrahlung im Resonator und der Referenzfrequenz kann mittels bekannter Zusammenhänge die Abweichung zwischen der tatsächlichen und der erforderlichen (optimalen) Resonatorlänge numerisch ermittelt werden. Mit Hilfe einer Fouriertransformation wird aus der jeweils ermittelten Schwebungsfrequenz ein Wert als Funktion der tatsächlichen Resonatorlänge ermittelt und für verschiedene nacheinander eingestellte Resonatorlängen aufgetragen, wodurch eine Kurve entsteht die ein deutliches Minimum aufweist. Die Resonatorlänge, bei der die ermittelte Kurve das Minimum erreicht, entspricht der optimal eingestellten Resonatorlänge für die vorgegebene Betriebsfrequenz des Modenkopplers.
• Die automatische Einstellung der optimalen Resonatorlänge erfolgt derart, dass nach jedem Rechenschritt mittels Schrittmotor die Resonatorlänge verändert wird. Nach erfolgter Veränderung der Resonatorlänge wird die sich ebenfalls veränderte Laserfrequenz mit der unveränderten Referenzfrequenz Verglichen. Für jede eingestellte Resonatorlänge wird der aus der Schwebungsfrequenz mittels Fouriertransformation ermittelte Wert erfasst. Ist der zweite Wert kleiner als der erste Wert, so ist die Verstellrichtung richtig und die Resonatorlänge ist in dieser Richtung weiterhin zu verändern. Ist der zweite Wert dagegen größer als der erste Wert, so ist die Verstellrichtung falsch und die Resonatorlänge ist in der entgegengesetzten Richtung zu verändern. Auf diese Weise werden verschiedene Resonatorlängen nacheinander eingestellt und die zugehörigen Werte ermittelt und jeweils mit den zuvor ermittelten Werten verglichen. Wird ein Wert ermittelt, der größer als der vorhergehende Wert ist, ist das Minimum, das der optimalen Resonatorlänge entspricht durchschritten.
• Alternativ kann ein vorgegebener Bereich für die Resonatorlänge durchgescant und die aus der Schwebungsfrequenz mittels Fouriertransformation ermittelten Werte erfasst werden. Die Resonatorlänge, die dem geringsten Wert entspricht, kann nun als die optimale Resonatorlänge eingestellt werden.
• In einer weiteren Ausführungsform kann nach der Ermittlung von mindestens zwei Werten für verschiedene Resonatorlängen durch diese ermittelten und aufgetragenen Werte eine Verbindungslinie gelegt und bis zum Wert Null verlängert werden, wobei an diesem Punkt die optimale Resonatorlänge abgelesen werden kann. Diese Länge kann nun exakt eingestellt werden.
• Wenn danach der Modenkoppler eingeschaltet wird, erzeugt der Laser kurze leistungsstarke Impulse.
• Zur Erhöhung der Genauigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens werden neben der Grundfrequenz der Laserstrahlung ausgewählte Harmonische der Umlauffrequenz in verschiedenen Phasendetektoren mit jeweils einer entsprechend vervielfachten Referenzfrequenz (Referenzsignalen) verglichen. Aus den sich jeweils ergebenden Schwebungsfrequenzen werden mittels Fouriertransformation wiederum die zugehörigen Werte ermittelt und in verschiedenen Kurven erfasst. Diese Kurven weisen unterschiedliche Steilheit auf, wodurch eine exaktere Bestimmung des Minimums ermöglicht wird. Die Resonatorlänge, bei der alle Kurven ein Minimum aufweisen ist die Resonatorlänge, die exakt der vorgegebenen Betriebsfrequenz des Modenkopplers entspricht.
• Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können bereits unter Nutzung des an mindestens zwei Messpunkten der Resonatorlänge aufgenommenen Laseroutputs sowohl der Betrag der notwendigen Korrektur, als auch deren Vorzeichen eindeutig bestimmt werden. Darüber hinaus ist diese Bestimmung auch bei starker Dejustierung der Resonatorlänge mit ausreichender Genauigkeit möglich. Folglich wird der Justierprozess erheblich beschleunigt. Insbesondere erweist sich das vorgeschlagene Verfahren immer dann als sehr hilfreich, wenn nach Austausch von optischen Bauteilen ein Neudesign des Resonators erforderlich wird.
• Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. Die zugehörigen Zeichnungen stellen dar:
• 1: Blockschaltbild der Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
• 2: Darstellung der Schwebungsfrequenz in Abhängigkeit von der Resonatorlänge
• Die 1 beschreibt den Aufbau einer Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. An Hand dieser Einrichtung wird nachfolgend das Verfahren näher beschrieben.
• Der Laseroszillator besteht aus einem blitzlampengepumpten Festkörperlaserstab 1, der in einem Resonator, bestehend aus zwei Reflektoren 2, 3, angeordnet ist. Der Laseroszillator erzeugt Impulszüge mit wählbarer Impulsdauer.
• Ein elektronischer Quarzoszillator 4 erzeugt die Betriebsfrequenz für den akusto-optischen Modenkoppler (AOM) 5, die ebenfalls als Referenzfrequenz f_ref für den Vergleich mit der Umlauffrequenz f_RT genutzt wird.
• Die optische Länge des Laserresonators beträgt in diesem Beispiel ca. 2,7 m.
• Der akusto-optische Modenkoppler (AOM) 5 ist ebenso wie der elektro-optische Modenkoppler (EOM) 6 zwischen den beiden Reflektoren 2, 3 zur Modenkopplung des Laserstrahls angeordnet. Beide Modenkoppler können über entsprechende Schalter 5.1, 6.1 zu- oder abgeschaltet werden.
• Ein Teil der im Laserresonator umlaufenden Laserstrahlung wird über einen Spiegel 7 ausgekoppelt und über jeweils einen weiteren Spiegel 7.1, 7.2, 7.3 jeweils einem Phasendetektor 8.1, 8.2, 8.3 zugeführt. Diesen Phasendetektoren 8.1, 8.2, 8.3 wird ebenfalls das Referenzsignal f_ref zugeführt und durch die Phasendetektoren 8.1, 8.2, 8.3 mit der Umlauffrequenz der ausgekoppelten Laserstrahlung f_RT verglichen.
• Bei einem Laseroszillator mit exakt abgeglichener Resonatorlänge und eingeschalteten Modenkopplern 5, 6 erreicht der Ausgang des Phasendetektors 8.1, 8.2, 8.3 nach einer Einschwingphase einen nahezu konstanten Wert.
• Dieser Laser mit den zwei optischen Modenkopplern 5, 6 reagiert sehr empfindlich auf Abweichungen der Resonatorlänge. Ist die Resonatorlänge des Laseroszillators um mehr als etwa 3 μm verstimmt, werden die Relaxationsschwingungen nicht mehr genügend gedämpft, und der Laser erzeugt chaotische Intensitätsmodulationen während des gesamten Impulszuges. In diesem Zustand ist auch das Ausgangssignal des Phasendetektors 8.1, 8.2, 8.3 vollkommen gestört, und man kann aus diesem Signal keine Information über die aktuelle Resonatorlänge gewinnen.
• Auf Grund einer sich spontan ausprägenden Pikosekunden-Substruktur, die im ungelockten Zustand im Laserausgang beobachtet werden kann, tritt eine spontan ausgeprägte Intensitätsmodulation auf, die das Resultat der Interferenz verschiedener longitudinaler Moden, auch "mode beating" genannt, ist. Die Laserintensität ist mit der Umlauffrequenz des Laserresonators periodisch, d. h. die Frequenz der Intensitätsmodulation entspricht der Umlauffrequenz der Laserstrahlung im Resonator bei ausgeschalteten Modenkopplern 5, 6. Die Umlauffrequenz f_RT ist abhängig von der aktuellen Resonatorlänge. Die Form der resultierenden Modulation ist während viele Umläufe stabil.
• Die grundlegende Idee des Verfahrens zur Bestimmung der optimalen Resonatorlänge besteht darin, die Frequenz dieser spontanen Modulation mit einer Referenzfrequenz eines stabilen Quarzoszillators, die der Betriebsfrequenz des Laseroszillators entspricht, bei abgeschalteten optischen Modulatoren zu vergleichen. Durch Veränderung der Resonatorlänge verändert sich ebenfalls die Umlauffrequenz f_RT, die stets mit der Referenzfrequenz f_ref verglichen wird. In Abhängigkeit von der Differenz beider Frequenzen bildet sich eine Schwebungsfrequenz heraus, die in einem direkten Verhältnis zur Abweichung der aktuellen Resonatorlänge von der optimalen Resonatorlänge steht.
• Im Phasendetektor 8.1 befindet sich eine Photodiode, die über den Spiegel 7.1 mit dem ausgekoppelten Laserstrahl beleuchtet wird und deren elektrisches Ausgangssignal die gleiche Periodizität wie der Laserstrahl selbst zeigt. Der Phasendetektor 8.1 vergleicht die Frequenz dieses Ausgangssignals, die der Umlauffrequenz der Laserstrahlung f_RT im Laserresonator entspricht, mit der entsprechenden Referenzfrequenz f_ref, die durch den Frequenzumsetzer 4.1 erzeugt wird. Ein Bandpass und ein Tiefpass sorgen dafür, dass nur die Differenzfrequenz zwischen der Umlauffrequenz f_RT und der Referenzfrequenz f_ref weiterverarbeitet wird. Das verstärkte Ausgangssignal enthält dann nur noch folgende Komponenten: Uout ~ cos(2π(NfRT – nfref) + φK)
• Dabei ist:

f_RT

die Umlauffrequenz

f_ref

die Referenzfrequenz

φ_K

der relative Phasenunterschied zwischen Umlauffrequenz und Referenzfrequenz

N

ausgewählte Harmonische

n

entsprechend vervielfachte Referenzfrequenz

• Das Ziel des Abgleichs besteht darin, die Schwebungsfrequenz fbeat = fRT – fref zu bestimmen und durch Veränderung der Resonatorlänge zu minimieren. Danach können die Modulatoren 5, 6 mittels der beiden Schalter 5.1, 6.1 eingeschaltet werden und der Laseroszillator 1 erzeugt stabile Impulszüge.
• Um die Prozedur zu automatisieren, bewegt das Rechnersystem 10 mit Hilfe eines Schrittmotors 11 den Laserspiegel 3 über eine vorgewählte Distanz. Pro Wegposition werden die Messwerte der Phasendetektoren 8.1, 8.2, 8.3 mittels Analog-Digital-Converters (ADC) 9 erfasst. Für jeden eingestellten Messpunkt des Resonatorspiegels 3, der einer bestimmten Resonatorlänge entspricht, wird durch das Rechnersystem 10 aus der ermittelten Schwebungsfrequenz mittels Fouriertransformation ein Wert ermittelt, der ein Maß für die Abweichung der tatsächlichen Resonatorlänge von der optimalen Resonatorlänge ist.
• In der 2 sind die Messergebnisse der Frequenzscans für verschiedene Resonatorlängen dargestellt.
• Aufgetragen sind die Werte, die durch das Rechnersystem 10 aus den jeweils ermittelten Schwebungsfrequenzen für verschiedene Resonatorlängen ermittelt wurden. Im gewählten Beispiel betrug der Verstellbereich des Resonatorspiegels 3 insgesamt 2 mm mit 50 Messpunkten, die Schrittweite betrug somit 0,04 mm.
• Aus der auftretenden Schwebungsfrequenz zwischen der Umlauffrequenz der Laserstrahlung im Resonator und der Referenzfrequenz kann mittels bekannter Zusammenhänge für jeden Messpunkt die Abweichung zwischen der tatsächlichen und der erforderlichen (optimalen) Resonatorlänge numerisch ermittelt werden. Mit Hilfe einer Fouriertransformation wird aus der jeweils ermittelten Schwebungsfrequenz ein Wert als Funktion der tatsächlichen Resonatorlänge ermittelt und für verschiedene nacheinander eingestellte Resonatorlängen aufgetragen. Für jeden Messpunkt wurden drei Werte ermittelt, die den unterschiedlichen Schwebungsfrequenzen für die gewählten 1., 9. und 24. Harmonischen der Laserumlauffrequenz entsprechen. Alle drei Kurven weisen ein Minimum auf, bei dem die Schwebungsfrequenz den Wert 0 aufweist, d. h. die Umlauffrequenz der spontanen Laserstrahlung entspricht der Referenzfrequenz und somit der vorgegebenen Betriebsfrequenz des Modenkopplers. Dieser Messpunkt entspricht der exakten Positionierung des Reflektorspiegels 3 und somit der optimalen Resonatorlänge. Die Kurve für die 24. Harmonische, die mit der Referenzfrequenz von 1296 MHz verglichen wurde, weist die größte Steilheit und somit die größte Genauigkeit bei der Bestimmung des Minimums auf.
• Die automatische Einstellung der optimalen Resonatorlänge erfolgt derart, dass nach Ermittlung der Werte für den jeweiligen Messpunkt durch das Rechnersystem 10 mittels Schrittmotor 11 der Resonatorspiegel 3 um ca. 0,04 mm verstellt und somit die Resonatorlänge verändert wird. Nach erfolgter Veränderung der Resonatorlänge wird die sich ebenfalls veränderte Laserfrequenz mit der unveränderten Referenzfrequenz verglichen. Für jede eingestellte Resonatorlänge wird der aus der Schwebungsfrequenz mittels Fouriertransformation ermittelte Wert erfasst. Ist der zweite Wert kleiner als der erste Wert, so ist die Verstellrichtung richtig und die Resonatorlänge ist in dieser Richtung weiterhin zu verändern. Ist der zweite Wert dagegen größer als der erste Wert, so ist die Verstellrichtung falsch und die Resonatorlänge ist in der entgegengesetzten Richtung zu verändern. Auf diese Weise werden verschiedene Resonatorlängen nacheinander eingestellt und die zugehörigen Werte ermittelt und jeweils mit den zuvor ermittelten Werten verglichen. Wird ein Wert ermittelt, der nach bisher immer kleiner werdenden Werten größer als der vorhergehende Wert ist, ist das Minimum, das der optimalen Resonatorlänge entspricht durchschritten.
• In einer anderen Ausführung der Erfindung wird ein vorgegebener Bereich für die Resonatorlänge schrittweise durchgescant und die aus der Schwebungsfrequenz mittels Fouriertransformation ermittelten Werte werden erfasst. Der Messpunkt bei dem der geringste Wert ermittelt wurde, entspricht der exakten Positionierung des Resonatorspiegels 3 für die optimale Resonatorlänge, die somit eingestellt werden kann.
• In einer weiteren Ausführungsform kann nach der Ermittlung der Werte an drei ausgewählten Messpunkten MP1, MP2, MP3 für drei verschiedene Resonatorlängen, die den Positionen des Resonatorspiegels 3 bei 11,2 mm, 11,6 mm sowie 11,88 mm entsprechen, durch diese eine Verbindungslinie gelegt und bis zum Wert Null verlängert werden, wobei an diesem Punkt bei 10,88 mm die exakte Positionierung des Resonatorspiegels 3 für die optimale Resonatorlänge liegt. Diese Länge kann nun exakt eingestellt werden.
• Wenn danach die Modenkoppler 5, 6 eingeschaltet werden, erzeugt der Laser 1 kurze leistungsstarke Impulse.
• Zur Erhöhung der Genauigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens werden neben der Grundfrequenz der Laserstrahlung f_RT ausgewählte Oberwellen der Umlauffrequenz Nf_RT, beispielsweise die 9. und die 24. Harmonische der Umlauffrequenz in verschiedenen Phasendetektoren 8.1, 8.2, 8.3 jeweils mit einer entsprechend vervielfachten Referenzfrequenz (Referenzsignalen) nf_ref verglichen. Damit die ausgekoppelten Laserfrequenzen, die im gewählten Beispiel dem 9-fachen der Umlauffrequenz (486 MHz) sowie dem 24-fachen der Umlauffrequenz (1296 MHz) entsprechen, mit den entsprechenden Referenzfrequenzen verglichen werden können, werden in einem Frequenzumsetzer 4.1 durch Verdopplung und Verdreifachung der Ausgangsfrequenz des Quarzoszillators 4 die notwendigen Referenzfrequenzen erzeugt. In diesem Fall wird eine Referenzfrequenz, die der Grundfrequenz von 54 MHz entspricht, sowie Referenzfrequenzen mit 486 MHz und 1296 MHz erzeugt.
• Im Phasendetektor 8.1 wird die Grundfrequenz der Laserstrahlung Nf_RT (N = 1) mit der entsprechenden Referenzfrequenz f_ref (54 MHz d. h. n = 2) verglichen und aus der sich ergebenden Schwebungsfrequenz wird mittels Fouriertransformation ein erster Wert für den ersten Messpunkt ermittelt und aufgetragen.
• Im Phasendetektor 8.2 wird die 9. Harmonische der Laserstrahlung Nf_RT (N = 9) mit der entsprechenden Referenzfrequenz f_ref (486 MHz d. h. n = 18) verglichen und aus der sich ergebenden Schwebungsfrequenz wird mittels Fouriertransformation ein zweiter Wert für den ersten Messpunkt ermittelt und aufgetragen.
• Im Phasendetektor 8.3 wird die 24. Harmonische der Laserstrahlung Nf_RT (N = 24) mit der entsprechenden Referenzfrequenz f_ref (1296 MHz d. h. n = 48) verglichen und aus der sich ergebenden Schwebungsfrequenz wird mittels Fouriertransformation ein dritter Wert für den ersten Messpunkt ermittelt und aufgetragen.
• Nach Veränderung der Resonatorlänge durch Verstellung des Resonatorspiegels 3 werden analog drei Werte für den zweiten Messpunkt ermittelt und aufgetragen.
• In dieser Weise wird der vorgegebene Bereich für die Resonatorlänge schrittweise durchgescant und die ermittelten Werte werden erfasst, wobei sich drei verschiedene Kurven ergeben. Die drei Kurven weisen unterschiedliche Steilheit auf, wodurch eine exaktere Bestimmung des Minimums ermöglicht wird. Die Resonatorlänge, bei der alle drei Kurven ein Minimum aufweisen ist die Resonatorlänge, die exakt der vorgegebenen Betriebsfrequenz des Modenkopplers entspricht.

Claims (3)

1. Verfahren zur Einstellung der optimalen Resonatorlänge für einen modengekoppelten Laseroszillator, wobei ein Anteil der im Resonator umlaufenden Laserstrahlung ausgekoppelt und mit einer Referenzfrequenz beaufschlagt wird und durch Auswertung der ermittelten Frequenzdifferenz die optimale Resonatorlänge bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die sich im Resonator einstellende Laserstrahlung mit der Umlauffrequenz (f_RT) eines aktiv modengekoppelten Lasers (1), der sich zunächst im ungekoppelten Zustand befindet, mit einer externen Referenzfrequenz (f_ref), die der späteren Betriebsfrequenz des Modenkopplers (5, 6) entspricht, verglichen wird, indem die Phasenlage zwischen den in der Laserstrahlung spontan durch unsynchronisierte Überlagerung mehrerer Moden auftretenden Amplitudenschwankungen und dem Referenzsignal mittels Phasendetektoren (8.1, 8.2, 8.3) ermittelt wird und aus dem Schwebungsspektrum mittels Fouriertransformation ein Wert als Funktion der tatsächlichen Resonatorlänge ermittelt und aufgetragen wird, danach die Resonatorlänge verändert und die Umlauffrequenz (f_RT) erneut mit der Referenzfrequenz (f_ref) verglichen und aus dem nun auftretenden Schwebungsspektrum mittels einer Fouriertransformation ein neuer Wert als Funktion der tatsächlichen Resonatorlänge ermittelt und ebenfalls aufgetragen wird, dieser Verfahrensschritt wiederholt wird, bis die sich ergebende Kurve ein deutliches Minimum aufweist, wobei dieses Minimum der optimalen Resonatorlänge entspricht, die nun eingestellt werden kann.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erhöhung der Genauigkeit ausgewählte Harmonische der Umlauffrequenz (Nf_RT) in verschiedenen Phasendetektoren (8.1, 8.2, 8.3) mit entsprechend vervielfachten Referenzsignalen (nf_ref) verglichen und die auftretenden Schwebungsspektren mittels Fouriertransformation in Werte gewandelt werden und in verschiedenen Kurven aufgetragen werden, wobei der gemeinsame Nullpunkt der Kurven die optimale Resonatorlänge angibt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass nach Ermittlung der Werte aus dem auftretenden Schwebungsspektrum an mindestens zwei verschiedenen Messpunkten (MP1, MP2, MP3) diese aufgetragen werden und durch Verbindung der ermittelten Werte für diese Messpunkte und Verlängerung dieser Verbindungslinie sowohl der Betrag der notwendigen Korrektur der Resonatorlänge als auch deren Vorzeichen eindeutig bestimmt wird.