DE10107794A1

DE10107794A1 - Contact device for electronic components, e.g. for testing purposes, has contact elements with contacts arranged on face with intermediate elastic layers

Info

Publication number: DE10107794A1
Application number: DE2001107794
Authority: DE
Inventors: Hans-Martin Hipp; Burkhard Wolff; Josef Kraemer; Dieter Schuetz
Original assignee: BOS BERLIN OBERSPREE SONDERMAS
Current assignee: BOS BERLIN OBERSPREE SONDERMAS
Priority date: 2001-02-13
Filing date: 2001-02-13
Publication date: 2002-08-14

Abstract

Contact arrangement for electronic components has a contact block (7) with a number of adjoining contacts (4) mounted on contact elements (5) to make contact with electrical connections (2.1) of a component (2) under test. The contact elements are configured as a contact sheet with contacts arranged on a face, in a sandwich like manner with intermediate elastic layers (8). The invention also relates to a corresponding method for producing an inventive contact arrangement.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kontaktiereinrichtung für elektronische Bauteile, insbesondere zu Prüfzwecken, mit wenigstens einem Kontaktblock mit einer Anzahl von Kontakten, die an benachbarten Kontaktelementen angeordnet sind und zum Kontaktieren benachbarter elektrischer Anschlüsse des Bauteils dienen. Sie betrifft weiterhin ein entsprechendes Kontaktelement sowie ein Ver fahren zur Herstellung einer solchen Kontaktiereinrichtung.The present invention relates to a contacting device for electronic Components, in particular for test purposes, with at least one contact block a number of contacts arranged on adjacent contact elements and for contacting adjacent electrical connections of the component serve. It also relates to a corresponding contact element and a Ver drive to manufacture such a contact.

Bei der Herstellung elektronische Bauteile ist es im Rahmen der Qualitätsprüfung erforderlich, die elektrischen Eigenschaften des Bauteils zu erfassen. Hierzu werden die Anschlüsse des Bauteils in der Regel mit den Kontakten einer Prüfeinrichtung in Kontakt gebracht werden, an denen dann nach einem Prüfprogramm bestimmte Spannungs- und/oder Stromsequenzen angelegt werden, um über die erfasste Reaktion des Bauteils hierauf Rückschlüsse hinsichtlich der Qualität des Bauteils zu erlangen. When manufacturing electronic components, it is part of the quality inspection required to record the electrical properties of the component. To do this the connections of the component usually with the contacts of a test facility be brought into contact, on which then determined according to a test program Voltage and / or current sequences are applied to the detected Response of the component to conclusions regarding the quality of the component gain.

Um die Anschlüsse des Bauteils zu kontaktieren werden in der Regel Kontaktier einrichtungen eingesetzt, bei denen dünne Drähte oder Blechstreifen als Kontakt elemente Verwendung finden. Um benachbarte Anschlüsse des Bauteils zu kon taktieren sind diese Drähte oder Blechstreifen dabei kammartig neben einander angeordnet. Um die kammartige Konfiguration der Kontaktelemente, insbesondere deren Abstände zueinander sicherzustellen, sind die Kontaktelemente zur Aus bildung des Kontaktblocks meist abschnittsweise in einen Isolator oder dergleichen eingegossen. Um einen schonenden, möglichst zuverlässigen flächigen Kontakt mit den Bauteilanschlüssen herzustellen, sind die Drähte oder Blechstreifen im Bereich der Kontakte regelmäßig gebogen ausgeführt.In order to contact the connections of the component, contact is usually made devices used where thin wires or metal strips as contact find elements. In order to cone adjacent connections of the component these wires or strips of metal are tacted like a comb next to each other arranged. To the comb-like configuration of the contact elements, in particular To ensure their distances from each other, the contact elements are off Formation of the contact block mostly in sections in an insulator or the like cast. For a gentle, as reliable as possible extensive contact with To make the component connections, the wires or sheet metal strips are in the area the contacts are regularly curved.

Die bekannten Kontaktiereinrichtungen weisen zum einen den Nachteil auf, dass sie relativ aufwändig in ihrer Herstellung sind. So ist es insbesondere bei relativ kleinen Abständen zwischen den einzelnen Kontaktelementen nur mit relativ hohem Aufwand möglich, die Kontaktiereinrichtung mit engen Maßtoleranzen herzustellen. Auch gestaltet sich die Biegeumformung der Kontaktelemente gerade bei kleinen Bauteilabmessungen relativ schwierig.The known contacting devices have the disadvantage that they are relatively complex to manufacture. So it is especially with relatively small ones Distances between the individual contact elements only with a relatively high Effort possible to manufacture the contacting device with narrow dimensional tolerances. The bending deformation of the contact elements is also particularly good for small ones Component dimensions relatively difficult.

Ein weiterer Nachteil liegt darin, dass bei Beschädigung einzelner Kontaktelemente in der Regel die gesamte Kontaktiereinrichtung ausgetauscht werden muss, da eine Reparatur meist zu aufwändig und teuer ist. Ein weiterer Nachteil liegt in der geringen Flexibilität hinsichtlich des Einsatzes der Kontaktiereinrichtungen, die sich üblicherweise nur für einen einzigen Bauteiltyp eignen.Another disadvantage is that if individual contact elements are damaged as a rule, the entire contacting device must be replaced, since one Repairs are usually too time-consuming and expensive. Another disadvantage is that low flexibility with regard to the use of the contacting devices Usually only suitable for a single component type.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, eine Kontaktier einrichtung der eingangs genannten Art, ein Verfahren zu deren Herstellung sowie ein entsprechendes Kontaktelement zur Verfügung zu stellen, welche die oben genannten Nachteile nicht oder zumindest in geringerem Maße aufweisen und insbesondere eine einfache Herstellung sowie einen flexiblen Einsatz der Kon taktiereinrichtung ermöglichen. The present invention is therefore based on the object of a contact establishment of the type mentioned, a process for its manufacture and to provide a corresponding contact element, which the above not have disadvantages mentioned or at least to a lesser extent and in particular simple manufacture and flexible use of the con enable clocking device.

Diese Aufgabe wird ausgehend von einer Kontaktiereinrichtung gemäß dem Ober begriff des Anspruchs 1 durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Weiterhin wird sie ausgehend von einem Kontakt element gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 10 durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 10 angegebenen Merkmale gelöst. Ebenso wird sie ausgehend von einem Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 12 bzw. ausgehend von einem Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 13 durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 12 bzw. 13 angegebenen Merkmale gelöst.This task is based on a contacting device according to the Ober Concept of claim 1 by the in the characterizing part of claim 1 specified features solved. Furthermore, it starts from a contact element according to the preamble of claim 10 by the in the characterizing Part of claim 10 specified features solved. It also goes out starting from a method according to the preamble of claim 12 or of a method according to the preamble of claim 13 by the in characterizing part of claim 12 and 13 specified features solved.

Der vorliegenden Erfindung liegt die technische Lehre zu Grunde, dass man eine besonders einfach herzustellende, flexibel einsetzbare Kontaktiereinrichtung erhält, wenn die Kontaktelemente als Kontaktbleche ausgeführt sind und benachbarte Kontakte jeweils an einer Stirnfläche benachbarter Kontaktbleche ausgebildet sind, die sandwichartig angeordnet sind und dabei durch wenigstens eine Zwischenlage getrennt sind.The present invention is based on the technical teaching that one receives contacting device that is particularly easy to manufacture, can be used flexibly, if the contact elements are designed as contact plates and neighboring ones Contacts are each formed on an end face of adjacent contact plates, which are sandwiched and by at least one intermediate layer are separated.

Unter den Begriff Stirnfläche soll hier die Begrenzungsfläche des Kontaktblechs verstanden werden, die sich senkrecht zur Blechebene über die Dicke des Kontakt blechs erstreckt. Die Anordnung des jeweiligen Kontaktes an einer Stirnfläche des betreffenden Kontaktblechs ermöglicht es, sehr schmale Kontakte auszuführen, deren Breite lediglich durch die Dicke des Kontaktblechs bestimmt ist. Trotzdem können einfacher zu handhabende Kontaktelemente realisiert werden, da das Kontaktblech in seinen übrigen Abmessungen weit größer gewählt werden kann. So lassen sich vergleichsweise großflächige, einfach zu handhabende Kontakt elemente realisieren, an denen dennoch filigrane Kontakte ausgebildet sind.The term end face here means the boundary surface of the contact plate be understood, which are perpendicular to the sheet plane on the thickness of the contact stretches. The arrangement of the respective contact on an end face of the relevant contact plate makes it possible to make very narrow contacts, whose width is only determined by the thickness of the contact plate. Nevertheless contact elements that are easier to handle can be realized since that Contact plate can be chosen much larger in its other dimensions. This allows comparatively large, easy-to-use contacts Realize elements that still have delicate contacts.

Die sandwichartige Anordnung der Kontaktbleche mit einer Zwischenlage zwischen benachbarten ermöglicht es zudem in einfacher Weise, nahezu beliebige Kontakt teilungen, d. h. Abstände zwischen benachbarten Kontakten zu realisieren. Der Abstand zwischen zwei benachbarten Kontakten bestimmt sich alleine durch die Dicke der Zwischenlage und kann daher durch deren Auswahl entsprechend einfach eingestellt werden.The sandwich-like arrangement of the contact plates with an intermediate layer between Neighboring also allows almost any contact in a simple manner divisions, d. H. Realize distances between adjacent contacts. The The distance between two neighboring contacts is determined solely by the Thickness of the liner and can therefore be selected accordingly just be set.

Je nach Gestaltung des elektronischen Bauteils können zwei oder mehr Kontakt elemente zu einem Kontaktblock bzw. Kontaktpaket zusammengefügt sein. Dabei können die Kontaktbleche ebenso wie die Zwischenlagen gleiche oder unterschied liche Dicken aufweisen.Depending on the design of the electronic component, two or more contacts can be made elements to be assembled into a contact block or contact package. there the contact plates as well as the intermediate layers can be the same or different have thicknesses.

Bei der Zwischenlage handelt es sich bevorzugt um einen elektrischen Isolator. Es versteht sich jedoch, dass für bestimmte Anwendungen auch eine elektrisch leitende Verbindung zwischen zwei benachbarten Kontakten erwünscht sein kann, die dann durch eine entsprechende elektrisch leidende Zwischenlage realisiert sein kann. Die Zwischenlage kann durch ein oder mehrere gesonderte Elemente realisiert sein. Sie kann aber auch ganz oder teilweise von einer Beschichtung des Kontakt blechs gebildet sein.The intermediate layer is preferably an electrical insulator. It however, it goes without saying that for certain applications an electrical one conductive connection between two adjacent contacts may be desired which can then be realized by a corresponding electrically suffering intermediate layer can. The intermediate layer can be realized by one or more separate elements his. However, it can also be entirely or partially coated with a contact be formed.

Die Freiheit in der Auswahl der übrigen Abmessungen des Kontaktblechs gestattet es, die Kontaktbleche in einfacher Weise miteinander zu verbinden, da die Kontakt bleche entsprechend große Abmessungen für die Gestaltung einer einfachen Verbindung zur Verfügung stellen können. Hierbei können beliebige Verbindungs arten Anwendung finden. So können die Kontaktbleche und die Zwischenlage beispielsweise miteinander verklebt sein. Bevorzugt ist jedoch eine lösbare Ver bindung vorgesehen, um einzelne, beispielsweise beschädigte Kontaktbleche einfach austauschen zu können.The freedom in the selection of the remaining dimensions of the contact plate allows it to connect the contact plates in a simple manner, since the contact correspondingly large dimensions for the design of a simple Can provide connection. You can use any connection find species application. So the contact sheets and the liner be glued together, for example. However, a detachable Ver is preferred bond provided to individual, for example damaged contact plates easy to exchange.

Bei der lösbaren Verbindung kann es sich beispielsweise um eine Steckverbindung handeln, über welche die Kontaktbleche und die Zwischenlage miteinander und zusätzlich oder alternativ mit einem gesonderten Träger verbunden sind. Es können aber auch andere form- und/oder kraftschlüssige Verbindungen eingesetzt werden.The detachable connection can be, for example, a plug connection act through which the contact plates and the liner with each other and additionally or alternatively are connected to a separate carrier. It can but also other positive and / or non-positive connections can be used.

Bei vorteilhaften Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung sind Spannmittel zum Verspannen der Kontaktbleche zueinander vorgesehen, wobei die Verspannkraft bevorzugt senkrecht zur Ebene der Kontaktbleche wirkt. Eine derartige Verbindung hat neben der einfachen Lösbarkeit zudem den Vorteil, dass die Kontaktbleche zuverlässig zueinander positioniert sind.In advantageous developments of the contacting device according to the invention there are clamping means for clamping the contact plates to one another, the clamping force preferably acts perpendicular to the plane of the contact plates. In addition to being easy to detach, such a connection also has the advantage that the contact plates are reliably positioned to each other.

Bevorzugt ist die Zwischenlage zwischen benachbarten Kontaktblechen zudem derart elastisch verformbar ausgebildet, dass der Abstand zwischen benachbarten Kontaktelementen über die durch die Spannmittel ausgeübte Verspannkraft zwi schen den Kontaktblechen einstellbar ist. Hiermit ist es möglich, eine vorgegebene Teilung, d. h. einen vorgegebenen Abstand zwischen den benachbarten Kontakt elementen zu erzielen, indem einfach die beiden äußeren Kontaktbleche des Kon taktblechpaketes über die Spannmittel auf ein Soll-Maß zusammengepresst wer den. Dies hat neben der einfachen Herstellung den Vorteil, dass sich die Dickento leranzen der Zwischenlagen über das Kontaktblechpaket ausgleichen und somit gleichmäßigere Abstände zwischen den Kontaktbleche erzielt werden.The intermediate layer between adjacent contact plates is also preferred formed so elastically deformable that the distance between adjacent Contact elements between the clamping force exerted by the clamping means the contact plates is adjustable. This makes it possible to set a predefined one Division, d. H. a predetermined distance between the adjacent contacts to achieve elements by simply the two outer contact plates of the Kon baffle plate package via the clamping device to a target dimension the. In addition to the simple manufacture, this has the advantage that the Dickento Compensate tolerances of the intermediate layers via the contact plate package and thus more uniform distances between the contact plates can be achieved.

Die Kontaktelemente und die Zwischenlagen können ohne zusätzliche Positionie rungsmittel aneinander angelegt und miteinander verbunden werden. Hierbei ist lediglich sicherzustellen, dass nach dem Verbinden die erforderliche Positionierung bzw. Ausrichtung der Kontaktbleche bzw. Zwischenlagen eingehalten ist. Bei bevorzugten Varianten der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung sind jedoch erste Positionierungsmittel zum Positionieren der Kontaktbleche relativ zueinander vorgesehen. Diese können von einer einfachen, entsprechend gestalteten Füh rungsschiene gebildet sein, die bezüglich einer zur Ebene der Kontaktbleche senk rechten Bezugsachse sowohl die korrekte translatorische als auch rotatorische Ausrichtung sicherstellt.The contact elements and the intermediate layers can be made without additional positioning be put together and connected together. Here is just make sure that after connecting the required positioning or alignment of the contact plates or intermediate layers is observed. at preferred variants of the contacting device according to the invention are, however first positioning means for positioning the contact plates relative to one another intended. This can be done from a simple, appropriately designed guide tion rail be formed, the lower with respect to the level of the contact plates right reference axis, both the correct translational and rotational Ensures alignment.

Mit der erfindungsgemäßen Gestaltung lässt sich in einfacher Weise ein Baukasten system mit unterschiedlichen Arten und Größen von Kontaktelementen und Zwi schenlagen realisieren, bei dem die Kontaktiereinrichtung entsprechend dem zu kontaktierenden Bauteil zusammengestellt wird. Hierbei ist es dann von besonderen Vorteil, wenn wie oben beschrieben eine einfach lösbare Verbindung zwischen den Kontaktelementen und Zwischenlagen besteht, um die Konfiguration der Kon taktiereinrichtung an eine neue Bauteilart anzupassen.With the design according to the invention, a modular system can be easily obtained system with different types and sizes of contact elements and intermediate Realize in which the contacting device according to the contacting component is put together. Here it is special Advantage if, as described above, an easily detachable connection between the Contact elements and intermediate layers exist to the configuration of the Kon to adapt the clocking device to a new component type.

Bei vorteilhaften Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung sind zum Kontaktieren eines zungenförmigen Anschlusses eines Bauteils von beiden Flachseiten des Anschlusses ein erstes Kontaktelement mit einem ersten Kontakt und ein zweites Kontaktelement mit einem zweiten Kontakt vorgesehen. Der zweite Kontakt ist dabei am freien Ende eines federnden Kontaktarms angeord net, der wiederum derart angeordnet und ausgebildet ist, dass er in seinem ersten, entspannten Zustand den Weg für den Anschluss zum ersten Kontakt frei gibt und in einem zweiten, vorgespannten Zustand die dem ersten Kontakt abgewandte Flachseite mit dem zweiten Kontakt kontaktiert.In advantageous developments of the contacting device according to the invention are for contacting a tongue-shaped connection of a component from a contact element with a first on both flat sides of the connection Contact and a second contact element provided with a second contact. The second contact is arranged at the free end of a resilient contact arm net, which in turn is arranged and designed such that in its first, relaxed state clears the way for connection to the first contact and in a second, pre-stressed state, the one facing away from the first contact Flat side contacted with the second contact.

Diese Gestaltung lässt sich besonders vorteilhaft zusammen mit der vorstehend dargelegten sandwichartigen Gestaltung aus Kontaktblechen einsetzen. Sie stellt jedoch unabhängig von dieser Gestaltung für sich eine eigenständig schutzwürdige erfinderischen Lehre dar.This design can be particularly advantageous together with the above Insert the sandwich-like design out of contact sheets. She poses however, regardless of this design, it is in itself worthy of protection inventive teaching.

Die Gestaltung ermöglicht es, auch bei sehr klein bauenden elektronischen Bautei len mit entsprechend kleinen Anschlüssen zuverlässig hochpräzise Messungen durchzuführen. So müssen elektronische Bauteile bei immer weiter fortschreitender Miniaturisierung in der Regel elektrische Eigenschaften in immer enger werdenden Toleranzbereichen aufweisen. Häufig müssen die Bauteile einer Hochspannungs prüfung und zusätzlich oder alternativ einer Hochstromprüfung unterzogen werden. Weiterhin müssen die Bauteilparameter von Bauteilen, die für den Einsatz in einem breiten Spektrum klimatischer Bedingungen bestimmt sind, der unterschiedlichen thematischen Bedingungen ermittelt werden. Zu diesem Zweck sind meist so genannte Kelvinkontaktierungen erforderlich, welche über zwei Kontaktierungen je Bauteilanschluss eine Messung unter Ausschluss der das Messergebnis verfäl schenden Übergangswiderstände ermöglichen. Mit der erfindungsgemäßen Gestal tung sind solche Kelvinkontaktierungen auch noch bei extrem klein bauenden Bauteilen zuverlässig möglich.The design makes it possible even with very small electronic components len with correspondingly small connections, reliably high-precision measurements perform. For example, electronic components must continue to progress Miniaturization usually electrical properties in increasingly narrow Have tolerance ranges. Often, the components of a high voltage test and additionally or alternatively, a high current test. Furthermore, the component parameters of components that are intended for use in a wide range of climatic conditions are determined, the different thematic conditions can be determined. For this purpose they are mostly like this called Kelvin contacts required, which each via two contacts Component connection a measurement excluding the measurement result enabling transition resistances. With the gestal according to the invention Such Kelvin contacts are still used in extremely small-scale buildings Components reliably possible.

Durch die Konfiguration des Kontaktarms ist es möglich, mit ausschließlich an der Kontaktiereinrichtung angeordneten Kontakten beide Flachseiten des Anschlusses eines elektronischen Bauteils zu Kontaktieren. Der Kontaktarm muss lediglich so angeordnet und ausgebildet sein, dass er sich bei seiner Betätigung, d. h. beim Bewegen aus seinem ersten Zustand in seinen zweiten Zustand an den ersten Kontakt annähert und sich im Betrieb damit dann auch an die dem ersten Kontakt abgewandte Flachseite des Anschlusses elektronischen Bauteils annähert bzw. diese kontaktiert. Hierzu muss der Kontaktarm lediglich eine ausreichende Länge und Anordnung aufweisen, dass sich bei Betätigung des Kontaktarmes ein solcher Abstand und eine solche Zuordnung zwischen dem zweiten Kontakt und dem Momentandrehpunkt des zweiten Kontaktes ergibt, dass sich das Ende des Kon taktarmes mit dem zweiten Kontakt an den ersten Kontakt annähert. Dabei bewegt sich das Ende des Kontaktarmes in den Bereich hinein, der von dem Anschluss an dem Bauteil bei der Annäherung an den ersten Kontakt durchfahren wird.The configuration of the contact arm makes it possible to use only the Contacting device arranged contacts both flat sides of the connection to contact an electronic component. The contact arm just has to be arranged and designed so that when it is operated, d. H. at the Moving from its first state to its second state on the first Contact approximates and then in operation then also to that of the first contact flat side facing away from the connection of the electronic component or contacted them. To do this, the contact arm only needs to be of sufficient length and arrangement that such when operating the contact arm Distance and such an association between the second contact and the The instantaneous pivot point of the second contact shows that the end of the con low-tact with the second contact approaches the first contact. Moving the end of the contact arm into the area from the connector the component is passed through when approaching the first contact.

Das erste und das zweite Kontaktelement sind bevorzugt in einer gemeinsamen Ebene angeordnet, wodurch eine besonders Platz sparende Konfiguration erzielt wird. Diese ist insbesondere bei der Prüfung von Bauteilen mit kleinen Abständen zwischen den Anschlüssen von Vorteil.The first and the second contact element are preferably in a common one Level arranged, which achieves a particularly space-saving configuration becomes. This is particularly important when testing components with small distances between the connections is an advantage.

Besonders vorteilhaft lässt sich die beschriebene Konfiguration mit Kontaktarm realisieren, wenn das zweite Kontaktelement als Kontaktblech mit einem in der Blechebene federnden Kontaktarm ausgeführt ist. Hierbei lassen sich die oben geschilderten Vorteile hinsichtlich der Handhabung sowie der Montage und Justie rung erzielen.The configuration described with a contact arm can be particularly advantageous realize if the second contact element as a contact plate with one in the Sheet metal level resilient contact arm is executed. Here, the above described advantages in terms of handling, assembly and adjustment achieve.

Die Betätigung des Kontaktarmes kann durch gesondert anbetriebene Betätigungs mittel erfolgen. Dies können entsprechende Motoren oder Aktuatoren, beispiels weise Hubmagneten oder dergleichen sein, die auf den Kontaktarm einwirken. Um den Aufwand, insbesondere den Steuerungsaufwand gering zu halten, erfolgt die Betätigung jedoch durch die Greifeinrichtung, welche das zu kontaktierende Bauteil trägt.The actuation of the contact arm can be operated separately medium. This can be appropriate motors or actuators, for example as solenoids or the like, which act on the contact arm. Around the effort, in particular to keep the control effort low, is carried out Actuation, however, by the gripping device, which is the component to be contacted wearing.

Bei bevorzugten Varianten der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung ist daher vorgesehen, dass der Kontaktarm ein erstes Betätigungselement aufweist, das zum Zusammenwirken mit einem mit dem Bauteil bewegten zweiten Betätigungselement vorgesehen ist. Das erste Betätigungselement ist dabei derart von dem zweiten Kontakt entfernt am Kontaktarm angeordnet, dass das zweite Kontaktelement den Anschluss nach seinem Passieren einholt, um die Kontaktierung herzustellen.In preferred variants of the contacting device according to the invention is therefore provided that the contact arm has a first actuating element for Cooperation with a second actuating element moved with the component is provided. The first actuating element is of the second type Contact arranged on the contact arm that the second contact element Catches up after passing through to establish contact.

Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung zeich nen sich dadurch aus, dass sie zum Positionieren der Kontakte bezüglich des Bauelementes zweite Positionierungsmittel aufweisen, die zum Zusammenwirken mit einer das Bauelement tragenden Greifeinrichtung vorgesehen sind. Bei den zweiten Positionierungsmitteln kann es sich um einfache Zentriermittel, wie einen oder mehrere Zentrierstifte oder Zentrierbohrungen handeln, welche mit entspre chenden Gegenelementen an der Greifeinrichtung zusammenwirken und die korrek te Ausrichtung zwischen Greifeinrichtung und Kontaktiereinrichtung und damit auch zwischen Bauteil und Kontaktiereinrichtung sicherstellen.Advantageous further developments of the contacting device according to the invention are characterized by the fact that they are used to position the contacts with respect to the Component have second positioning means that work together are provided with a gripping device carrying the component. Both second positioning means can be simple centering means, such as one or trade several centering pins or centering holes, which correspond with co-operating counter elements on the gripping device and the correct te alignment between gripping device and contacting device and thus also ensure between the component and the contacting device.

Bei weiteren günstigen Varianten der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung sind ein Trägerelement zur Aufnahme der Kontaktelemente sowie Justiermittel zum Einstellen der Raumlage der Kontaktelemente bezüglich des Trägerelements vor gesehen sind. Das Trägerelement lässt sich in einfacher Weise an einer vorgegebe nen Position bezüglich der das Bauteil tragenden Greifeinrichtung anordnen. Mit dem Trägerelement ist es möglich, bei einem Wechsel der Bauteilart unterschiedli che erfindungsgemäße Kontaktiereinrichtungen in einfacher Weise auszutauschen, ohne dass eine erneute Justierung des Trägerelements bezüglich der Greifeinrich tung erfolgen muss. Die erforderliche Justierung kann schon vorab durch eine entsprechende Ausrichtung der Kontaktelemente bezüglich des Trägerelements über die Justiermittel erfolgen. Die Justiermittel können dabei in beliebiger bekann ter Weise ausgestaltet sein. So können beispielsweise Justierschrauben oder dergleichen vorgesehen sein.In further favorable variants of the contacting device according to the invention are a carrier element for receiving the contact elements and adjustment means for Setting the spatial position of the contact elements with respect to the carrier element are seen. The carrier element can be easily predetermined on a Arrange a position with respect to the gripping device carrying the component. With the carrier element, it is possible to change the type of component che to exchange contacting devices according to the invention in a simple manner, without having to readjust the support element with respect to the gripping device tion must take place. The required adjustment can be made in advance by appropriate alignment of the contact elements with respect to the carrier element via the adjustment means. The adjustment means can be known in any ter be designed. For example, adjusting screws or the like may be provided.

Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin ein Kontaktelement für eine Kontaktier einrichtung mit einem Kontakt zum Kontaktieren eines Anschlusses eines elek tronischen Bauteils. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Kontaktelement im wesentlichen eben ausgebildet ist und durch Entfernen von Material aus einem ebenen Blech hergestellt ist, wobei der Kontakt an einer Stirnfläche des Blechs angeordnet ist. Hierdurch ergibt sich ein einfach herzustellendes Kontaktelement, welches in der oben beschriebenen Weise einfach zu handhaben ist.The present invention further relates to a contact element for a contact device with a contact for contacting a connection of an elec tronic component. According to the invention it is provided that the contact element in is essentially flat and by removing material from a Flat sheet is made, the contact on an end face of the sheet is arranged. This results in a contact element that is easy to manufacture, which is easy to handle in the manner described above.

Zur Herstellung des Kontaktelements lassen sich beliebige bekannte Trennverfahren anwenden, mit denen Material aus einem Blech entfernt werden kann. Besonders vorteilhaft lassen sich Drahterosion, Laser- oder Wasserstrahlschneiden aber auch chemische oder elektrochemische Trennverfahren einsetzen. Je nach Größe der zu fertigenden Kontaktbleche lassen sich aber auch rein mechanische Trennverfahren einsetzen.Any known separation method can be used to produce the contact element use to remove material from a sheet. Especially Wire erosion, laser or water jet cutting can also be advantageous use chemical or electrochemical separation processes. Depending on the size of the Manufacturing contact sheets can also be purely mechanical separation processes deploy.

Als Blechwerkstoff lassen sich beliebige elektrisch leitende Materialien einsetzen, die jeweils auf die zu kontaktierenden Anschlüsse des elektronischen Bauteils abgestimmt sein können. Die Abstimmung erfolgt vorzugsweise dahingehend, dass eine besonders gute elektrische Kontaktierung sichergestellt ist.Any electrically conductive materials can be used as sheet material, each on the contacts of the electronic component to be contacted can be coordinated. The coordination is preferably carried out in such a way that a particularly good electrical contact is ensured.

Durch eine oder mehrere geeignete Beschichtungen des Bleches lassen sich die mechanischen und zusätzlich oder alternativ auch die elektrischen Eigenschaften des Kontaktblechs in vorteilhafter Weise beeinflussen. Im übrigen kann auch die Zwischenlage ganz oder teilweise von einer oder mehreren Beschichtungen gebildet sein. Die genannten Beschichtungen können weiterhin sowohl vor als auch nach der endgültigen Formgebung des Kontaktbleches auf dieses aufgebracht werden. By one or more suitable coatings on the sheet, the mechanical and additionally or alternatively also the electrical properties influence the contact plate in an advantageous manner. Otherwise, the Intermediate layer formed entirely or partially by one or more coatings his. The coatings mentioned can continue both before and after the final shape of the contact plate can be applied to this.

Um das Kontaktelement in bzw. an der Kontaktiereinrichtung in einer vorgegebenen Position zu fixieren sind entsprechende Positionierungsmittel vorgesehen, wie sie ebenfalls bereits oben beschrieben wurden. Besonders vorteilhafte, weil einfach herzustellenden Varianten weisen Positionierungsmittel in Form wenigstens einer Ausnehmung auf. Ist nur eine Ausnehmung vorgesehen, so ist diese bevorzugt so gestaltet, dass sie auch eine Verdrehsicherung in der Ebene des Kontaktelements sicherstellt.To the contact element in or on the contacting device in a predetermined Appropriate positioning means are provided to fix the position as they are have also been described above. Particularly advantageous because it is simple Variants to be produced have positioning means in the form of at least one Recess on. If only one recess is provided, this is preferably the case designed that they also prevent rotation in the plane of the contact element ensures.

Die vorliegende Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung einer Kontaktiereinrichtung für elektronische Bauteile, bei dem in einem ersten Schritt die Kontaktelemente hergestellt werden und in einem zweiten Schritt die Kontakt elemente zur Ausbildung eines Kontaktblocks zusammengefügt werden. Erfin dungsgemäß wird in dem ersten Schritt zur gleichzeitigen Herstellung einer Anzahl von Kontaktelementen ein Blechpaket aus geschichteten Kontaktblechen bearbei tet. Hierdurch lassen sich kostengünstig in einem einzigen Arbeitsgang identische Kontaktelemente herstellen.The present invention further relates to a method for producing a Contacting device for electronic components, in which in a first step Contact elements are produced and in a second step the contact elements to form a contact block are assembled. OF INVENTION In accordance with the first step for the simultaneous production of a number of contact elements to process a laminated core made of layered contact plates tet. As a result, identical ones can be inexpensively carried out in a single operation Manufacture contact elements.

Sind in diesem Fall die Zwischenlagen bereits vor den Trennvorgang in das zu bearbeitende Blechpaket eingebracht, kann dieses unmittelbar in dieser Konfigura tion verbleiben und durch die Spannmittel zur Ausbildung des Kontaktblocks zu sammengepresst werden.In this case, the intermediate layers are already in before the separation process Machined sheet metal package introduced, this can directly in this configuration tion remain and through the clamping means to form the contact block be pressed together.

Bei einem weiteren erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung einer Kontaktier einrichtung für elektronische Bauteile werden in einem ersten Schritt die Kontakt elemente hergestellt und in einem zweiten Schritt zur Ausbildung eines Kontakt blocks zusammengefügt. Erfindungsgemäß werden die Kontaktelemente in dem ersten Schritt unter Belassung von Montagehilfsabschnitten aus Kontaktblechen vorgefertigt. Anschließend werden die vorgefertigten Kontaktbleche in dem zweiten Schritt zueinander in der zur Ausbildung der Kontaktiereinrichtung erforderlichen Lage positioniert. Schließlich werden in einem dritten Schritt die Montagehilfs abschnitte entfernt. Hierdurch lassen sich in einfacher Weise Kontaktiereinrichtungen mit besonders filigranen Kontakten, z. B. für Hochfrequenzanwendungen, herstellen, da sich das Handling der Kontaktelemente dank der durch die Montage hilfsabschnitte reduzierte Beschädigungswahrscheinlichkeit deutlich erleichtert.In a further method according to the invention for producing a contact The first step is to set up electronic components elements manufactured and in a second step to form a contact blocks put together. According to the contact elements in the first step leaving assembly aid sections made of contact plates prefabricated. Then the prefabricated contact plates in the second Step to each other in the one required to form the contacting device Position positioned. Finally, in a third step, the assembly aids sections removed. This allows contacting devices to be installed in a simple manner with particularly delicate contacts, e.g. B. for high frequency applications, manufacture, because the handling of the contact elements thanks to the assembly auxiliary sections significantly reduced likelihood of damage.

Bei bevorzugten Varianten des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die vor gefertigten Kontaktbleche in dem zweiten Schritt unter Einfügung von Zwischenla gen zu einem Kontaktblechpaket sandwichartig zusammengefügt, sodass ein Kontaktblock mit den oben geschilderten Vorteilen entsteht. Es versteht sich jedoch, dass bei weiteren Varianten der Erfindung die Zwischenlagen in Form von entsprechenden Beschichtungen schon ganz oder teilweise auf den vorgefertigten Kontaktblechen vorhanden sein können.In preferred variants of the method according to the invention, the above manufactured contact plates in the second step with the insertion of intermediate sandwiched together to form a contact plate package so that a Contact block with the advantages described above is created. It goes without saying however, that in further variants of the invention the intermediate layers in the form of corresponding coatings already in whole or in part on the prefabricated Contact sheets can be present.

Bevorzugt wird das Kontaktblechpaket in dem zweiten Schritt unter elastischer Verformung der Zwischenlagen über Spannmittel auf ein Soll-Maß zusammen gepresst, und die ebenfalls bereits oben dargelegten Vorteile einer solchen Kon figuration zu erzielen.In the second step, the contact sheet stack is preferably made more elastic Deformation of the intermediate layers to a target dimension using clamping devices pressed, and the advantages of such a con to achieve figuration.

Weitere bevorzugte Ausführungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprü chen bzw. der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt. Es zeigen:Further preferred embodiments of the invention result from the subclaims Chen or the following description of preferred exemplary embodiments, which refers to the accompanying drawings. Show it:

Fig. 1 einen schematischen Schnitt durch ein bevorzugtes Ausführungsbei spiel der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung; Fig. 1 shows a schematic section through a preferred Ausführungsbei play of the contacting device according to the invention;

Fig. 2 einen schematischen Schnitt durch die Ausführung aus Fig. 1 entlang Linie II-II; FIG. 2 shows a schematic section through the embodiment from FIG. 1 along line II-II;

Fig. 3 einen schematischen Teilschnitt durch eine weitere bevorzugte Ausführung der erfindungsgemäßen Kontaktiereinrichtung; Figure 3 is a schematic partial section through a further preferred embodiment of the contacting device according to the invention.

Fig. 4 eine Ansicht des Details IV aus Fig. 3; FIG. 4 shows a view of detail IV from FIG. 3;

Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Kontaktelements. Fig. 5 shows an embodiment of a contact element according to the invention.

Die Fig. 1 und 2 zeigen eine Kontaktiereinrichtung 1 zum Prüfen eines elek tronischen Bauteils 2 mit elektrischen Anschlüssen 2.1, die durch Verfahren des Bauteils 2 mittels einer bezüglich der Kontaktiereinrichtung 1 verfahrbaren Greifein richtung 3 mit den Kontakten 4 der Kontaktiereinrichtung 1 in Kontakt gebracht wurden. Figs. 1 and 2 show a contact device 1 for checking an elec tronic component 2 with electrical terminals 2.1, which were prepared by methods of the component 2 by means of a relative to the contacting device 1 movable Greifein device 3 with the contacts 4 of the contact device 1 is brought into contact.

Die Kontakte 4 sind jeweils an einer Stirnfläche eines von einem ebenen Kontakt blech 5 gebildeten Kontaktelements angeordnet. Durch einen Einschnitt 6 im Kontaktblech 5 ist ein in der Ebene des Kontaktblechs 5 beweglicher erster Feder arm 5.1 gebildet, an dessen freien Ende der Kontakt 4 sitzt.The contacts 4 are each arranged on an end face of a contact element formed by a flat contact plate 5 . An incision 6 in the contact plate 5 forms a first spring arm 5.1 which is movable in the plane of the contact plate 5 and at the free end of which the contact 4 is seated.

Im gezeigten Zustand ist dieser erste Federarm 5.1 durch den Anschluss 2.1 des Bauteils 2 leicht aus seiner Normallage ausgelenkt. Die sich auf Grund dieser Auslenkung ergebende elastische Rückstellkraft stellt einen zuverlässigen Kontakt zwischen dem Kontakt 4 und dem Anschluss 2.1 sicher. Der Verfahrweg der Greifeinrichtung 3 bezüglich der Kontaktiereinrichtung sowie die Federkennlinie des ersten Federarms 5.1 sind so gewählt, dass im gezeigten Zustand eine vorgegebe ne Kontaktkraft zwischen dem Kontakt 4 und dem Anschluss 2.1 wirkt. Die Federkennlinie des ersten Federarms 5.1 lässt sich dabei einfach durch einen entsprechenden Querschnittsverlauf des ersten Federarms 5.1 über seine Länge einstellen. Der erste Federarm 5.1 garantiert weiterhin, dass beim Auftreffen des Anschlusses 2.1 auf den Kontakt 4 nur begrenzte Kontaktkräfte auftreten, wo durch wiederum sichergestellt ist, dass weder das Kontaktblech 5 noch die An schlüsse 2.1 hierdurch beschädigt werden.In the state shown, this first spring arm 5.1 is slightly deflected from its normal position by the connection 2.1 of the component 2 . The elastic restoring force resulting from this deflection ensures reliable contact between the contact 4 and the connection 2.1 . The travel path of the gripping device 3 with respect to the contacting device and the spring characteristic of the first spring arm 5.1 are selected such that a predetermined contact force acts between the contact 4 and the terminal 2.1 in the state shown. The spring characteristic of the first spring arm 5.1 can be easily adjusted by a corresponding cross-sectional profile of the first spring arm 5.1 over its length. The first spring arm 5.1 further guarantees that when the connection 2.1 strikes the contact 4, only limited contact forces occur, which in turn ensures that neither the contact plate 5 nor the connections 2.1 are damaged thereby.

Wie Fig. 2 zu entnehmen ist, sind die Kontaktbleche 5 sandwichartig zu einem Kontaktblock 7 zusammengefasst, wobei benachbarte Kontaktbleche 5 jeweils durch eine elastische isolierende Zwischenlage 8 getrennt sind. Die Zwischenlage 8 besteht jeweils aus einer Hauptschicht 8.1 und zwei Distanzschichten 8.2 und 8.3, die jeweils an einem der Kontaktbleche 5 anliegen.As can be seen in FIG. 2, the contact plates 5 are combined in a sandwich-like manner to form a contact block 7 , adjacent contact plates 5 being separated by an elastic, insulating intermediate layer 8 . The intermediate layer 8 consists in each case of a main layer 8.1 and two spacer layers 8.2 and 8.3 , each of which abuts one of the contact plates 5 .

Die Kontaktbleche 5 sind über erste Positionierungsmittel in einem rahmenförmigen Träger 9 positioniert. Diese Positionierungsmittel umfassen dabei elektrisch isolie rende Positionierstifte 10 sowie Spannschrauben 11, welche die Kontaktbleche 5 über Druckplatten 12 mit isolierenden Auflagen 13 zu einem Kontaktblock zu sammenpressen. Die in den Träger 9 eingeschraubten Spannschrauben 11 positio nieren die Kontaktbleche 5 in Längsrichtung der im Träger 9 sitzenden Positionier stifte 10, während die Positionierstifte 10 die Kontaktbleche 5 in allen übrigen Richtungen fixieren. Hierdurch sind die Kontaktbleche 5 auch in ihrer Lage zuein ander fixiert.The contact plates 5 are positioned in a frame-shaped carrier 9 via first positioning means. These positioning means include electrically isolating positioning pins 10 and clamping screws 11 , which compress the contact plates 5 via pressure plates 12 with insulating pads 13 to form a contact block. The screwed into the support 9 clamping screws 11 positio 5 kidney the contact plates in the longitudinal direction of the seated in the carrier 9 positioning pins 10, while the positioning pins 10 fixed in all other directions, the contact sheets. 5 As a result, the contact plates 5 are fixed to each other in their position.

Die gezeigte Konfiguration ermöglicht es, durch Lösen der Spannschrauben 11 sowie zumindest teilweises Entfernen der Positionierstifte 10 einzelne Kontakt bleche 5, Zwischenlagen 8 oder Auflagen 13 auszutauschen. Es versteht sich, dass die Kontaktbleche und die Positionierungsmittel bei anderen Varianten auch so ausgebildet sein können, dass zum Auswechseln der Kontaktbleche, Zwischen lagen oder Auflagen lediglich das Lösen der Spannmittel erforderlich ist und die genannten Elemente dann einfach in Richtung der Greifeinrichtung aus dem Kon taktblock herausgezogen werden können.The configuration shown makes it possible to exchange individual contact plates 5 , intermediate layers 8 or supports 13 by loosening the clamping screws 11 and at least partially removing the positioning pins 10 . It goes without saying that the contact plates and the positioning means in other variants can also be designed such that only the loosening of the clamping means is required to replace the contact plates, intermediate layers or supports and the elements mentioned then simply in the direction of the gripping device from the contact block can be pulled out.

Im gezeigten Beispiel sind für die beiden Kontaktblöcke 7 gemeinsame Zwischenla gen 8, Druckplatten 12 und Auflagen 13 vorgesehen. Es versteht sich jedoch, dass diese Elemente bei anderen Varianten auch gesondert für jeden einzelnen Kontakt block vorgesehen sein können.In the example shown, common intermediate layers 8 , pressure plates 12 and pads 13 are provided for the two contact blocks 7 . However, it is understood that these elements can also be provided separately for each contact block in other variants.

Die Spannschrauben 11 üben über die Druckplatten 12 eine Verspannkraft auf die Kontaktbleche 5 sowie die Zwischenlagen 8 aus, die eine elastische Kompressions verformung der Zwischenlagen 8 bewirkt. Je nachdem, wie groß die Verspannkraft und damit die daraus resultierende elastische Verformung der Zwischenlagen 8 gewählt ist, stellt sich ein bestimmter Abstand zwischen benachbarten Kontakten vier ein. Hierbei gleichen sich auch Dickentoleranzen der Zwischenlagen 8 aus.The clamping screws 11 exert a clamping force on the contact plates 5 and the intermediate layers 8 via the pressure plates 12 , which causes an elastic compression deformation of the intermediate layers 8 . Depending on how large the clamping force and thus the resulting elastic deformation of the intermediate layers 8 is selected, a certain distance between adjacent contacts four is established. Thickness tolerances of the intermediate layers 8 also balance each other out.

Die Abmessungen der Hauptschichten 8.1 der Zwischenlagen 8 und der Haupt schichten 13.1 der Auflagen 13 sind im übrigen so gewählt, dass sie eine seitliche Führung für die Federarme 5.1 bilden und somit ein Abrutschen der Kontakte 4 von den Anschlüssen 2.1 verhindern. Die Distanzschichten 8.2 und 8.3 der Zwischenla gen 8 sowie die Distanzschichten 13.2 der Auflagen 13 stellen sicher, dass die Federarme 5.1 der Kontaktbleche 5 im Normalzustand frei in der Blechebene federn können.The dimensions of the main layers 8.1 of the intermediate layers 8 and the main layers 13.1 of the supports 13 are chosen so that they form a lateral guide for the spring arms 5.1 and thus prevent the contacts 4 from slipping off the connections 2.1 . The spacer layers 8.2 and 8.3 of the intermediate layers 8 and the spacer layers 13.2 of the supports 13 ensure that the spring arms 5.1 of the contact plates 5 can spring freely in the plane of the plate in the normal state.

Die Distanzschichten 8.2 und 8.3 sowie 13.2 sind von Beschichtungen der Kon taktbleche 5 gebildet, die berieits vor deren endgültiger Formgebung auf die ent sprechenden Bleche aufgebracht wurden. Es versteht sich jedoch, dass sie auch erst nach der endgültigen Formgebung aufgebracht werden können oder auch von gesonderten Elementen gebildet sein können. Es versteht sich weiterhin, dass bei anderen Ausführungen der Erfindung an Stelle der mehrschichtigen Zwischenlagen bzw. Auflagen auch entsprechend einstückig ausgebildete Zwischenlagen bzw. Auflagen verwendet werden können.The spacer layers 8.2 and 8.3 and 13.2 are formed by coatings on the contact plates 5 which have already been applied to the corresponding plates before their final shaping. However, it goes without saying that they can also be applied only after the final shaping or can also be formed by separate elements. It goes without saying that, in other embodiments of the invention, instead of the multilayer intermediate layers or supports, correspondingly integrally formed intermediate layers or supports can also be used.

Um den durch das Bauteil 2 vorgegebenen Abstand zwischen benachbarten Kon takten 4 zu erzielen, wird im gezeigten Beispiel über die Spannschrauben 11 ein vorbestimmter Abstand zwischen den beiden äußeren Kontaktblechen 5 eingestellt. Um dies zu erleichtern, sind an dem Träger 9 Justiermarkierungen 14 angebracht. Die Orientierung an diesen Justiermarkierungen 14 stellt im Übrigen sicher, dass sich der Kontaktblock 7 in seiner korrekten Längsposition bezüglich der Positionier stifte 10 befindet. Mit anderen Worten kann über die Spannschrauben 11 auch eine Justierung hinsichtlich der Lage der Kontaktbleche 5 bezüglich des Trägers 9 vorgenommen werden. Es versteht sich jedoch, dass bei anderen Varianten auch gesonderte Justiereinrichtungen vorgesehen sein können, über welche der bzw. die durch gesonderte Spannmittel verspannten Kontaktblöcke in ihrer Lage bezüglich des Trägers justiert werden können. In order to achieve the predetermined distance between adjacent contacts 4 by the component 2 , a predetermined distance between the two outer contact plates 5 is set in the example shown via the clamping screws 11 . In order to facilitate this, adjustment markings 14 are attached to the carrier 9 . The orientation at these alignment marks 14 ensures, moreover, that the contact block 7 is in its correct longitudinal position with respect to the positioning pins 10 . In other words, the tensioning screws 11 can also be used to adjust the position of the contact plates 5 with respect to the carrier 9 . However, it goes without saying that, in other variants, separate adjustment devices can also be provided, by means of which the position of the contact block (s) clamped by separate clamping means can be adjusted with respect to the carrier.

Im gezeigten Beispiel sind zwei Kontaktblöcke 8 vorgesehen, um die Anschlüsse 2.1 zu beiden Seiten des Bauteils 2 zu kontaktieren. Es versteht sich, dass bei anderen Varianten zum Kontaktieren von Bauteilen mit Anschlüssen an mehr oder weniger als zwei Seiten eine entsprechend höhere bzw. geringere Anzahl solcher Kontaktblöcke vorgesehen sein kann.In the example shown, two contact blocks 8 are provided in order to contact the connections 2.1 on both sides of the component 2 . It goes without saying that with other variants for contacting components with connections on more or less than two sides, a correspondingly higher or smaller number of such contact blocks can be provided.

Auf der der Greifeinrichtung 3 abgewandten Seite des Kontaktblechs 5 ist durch einen Einschnitt 15 ein weiterer Federarm 5.2 ausgebildet, der an seinem freien Ende einen Kontakt 5.3 trägt, der ebenfalls an einer Stirnseite des Kontaktblechs 5 angeordnet ist. Dieser Kontakt 5.3 kontaktiert eine leitende Schicht 16.1 einer Leiterplatte 16, die an dem Träger 9 befestigt ist. Über die leitenden Schichten 16.1 der Leiterplatte 16 ist die Verbindung der Kontaktbleche zu der - nicht darge stellten - Prüfschaltung hergestellt.On the side of the contact plate 5 facing away from the gripping device 3, a further spring arm 5.2 is formed by an incision 15 , which carries a contact 5.3 at its free end, which is also arranged on an end face of the contact plate 5 . This contact 5.3 contacts a conductive layer 16.1 of a printed circuit board 16 which is attached to the carrier 9 . About the conductive layers 16.1 of the circuit board 16 , the connection of the contact plates to the - not Darge presented - test circuit is made.

Der jeweilige Federarm 5.2 befindet sich wiederum in einem leicht vorgespannten Zustand, um einen zuverlässigen Kontakt mit ausreichender Kontaktkraft sicherzu stellen. Die Hauptschichten 8.1 bzw. 13.1 der Zwischenlagen 8 bzw. Auflagen 13 gewährleisten wiederum eine seitliche Führung des jeweiligen Federarms 5.2, während die Distanzschichten 8.2, 8.3 bzw. 13.2 der Zwischenlagen 8 bzw. Auflagen 13 wiederum das freie Federn des jeweiligen Federarms 5.2 ermöglichen.The respective spring arm 5.2 is in turn in a slightly pretensioned state in order to ensure reliable contact with sufficient contact force. The main layers 8.1 or 13.1 of the intermediate layers 8 or supports 13 in turn ensure lateral guidance of the respective spring arm 5.2 , while the spacer layers 8.2 , 8.3 or 13.2 of the intermediate layers 8 or supports 13 in turn enable the respective spring arm 5.2 to spring freely.

Auf der der Greifeinrichtung zugewandten Seite ist der Träger 9 mit einen Deckel 17 versehen. Dieser Deckel 17 weist eine Durchgangsöffnung 18 für die Greifein richtung 3 auf. Die Durchgangsöffnung 18 weist zweite Positionierungsmittel in Form eines konischen Abschnitts 18.1 auf. Dieser konische Abschnitt 18.1 wirkt im gezeigten Zustand mit einem konischen Abschnitt 3.1 an der Greifeinrichtung 3 zusammen, um die auf einem Sockel 19 sitzende Kontaktiereinrichtung 1 be züglich der Greifeinrichtung 3 zu positionieren und damit auch die Kontakte 4 bezüglich der Anschlüsse 2.1 des Bauteils 2 zu positionieren.The carrier 9 is provided with a cover 17 on the side facing the gripping device. This lid 17 has a through opening 18 for the Greifein direction 3 . The passage opening 18 has second positioning means in the form of a conical section 18.1 . This conical section 18.1 cooperates in the state shown with a conical section 3.1 on the gripping device 3 in order to position the contacting device 1 seated on a base 19 with respect to the gripping device 3 and thus also to position the contacts 4 with respect to the connections 2.1 of the component 2 ,

Diese Positionierung kann einmalig beim Einrichten bzw. Justieren der Prüfvorrichtung erfolgen. Der Träger 9 kann dann durch entsprechende - nicht dargestellte - Befestigungsmittel an dem Sockel 19 befestigt werden. Bevorzugt ist die Befesti gung des Trägers 9 am Sockel 19 aber so ausgebildet, dass bei jedem Kontaktier vorgang, d. h. für jedes Bauteil eine solche Positionierung erfolgt.This positioning can be done once when setting up or adjusting the test device. The carrier 9 can then be fastened to the base 19 by appropriate fastening means (not shown). Preferably, the fastening of the carrier 9 on the base 19 is designed such that the process occurs with each contacting, ie, for each component, such a positioning takes place.

Fig. 3 und 4 zeigen ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel der erfindungs gemäßen Kontaktiereinrichtung 1', das in seinem grundsätzlichen Aufbau demjeni gen aus den Fig. 1 und 2 entspricht, sodass hier lediglich auf die Unterschiede eingegangen werden soll. FIGS. 3 and 4 show another preferred embodiment of the contacting device according to the Invention 1 ', which in its basic structure Demjéni gene from FIGS. 1 and 2 corresponds to be so that only discussed here on the differences.

Der Unterschied besteht darin, dass die Kontaktiereinrichtung 1' zum Kontaktieren beider Flachseiten des zungenförmigen Anschlusses 2.1' des Bauteils 2' ausgebil det ist, womit beispielsweise eine so genannte Kelvinkontaktierung realisiert werden kann, bei der die Messung der elektrischen Bauteileigenschaften unter Ausschaltung der das Messergebnis verfälschenden Übergangswiderstände möglich ist.The difference is that the contacting device 1 'is designed for contacting both flat sides of the tongue-shaped connection 2.1 ' of the component 2 ', with which, for example, a so-called Kelvin contact can be implemented in which the measurement of the electrical component properties with the elimination of the measurement result falsifying Contact resistance is possible.

Erfindungsgemäß ist hierzu zusätzlich zu dem ersten Kontaktblech 5' ein aus Gründen der Platzersparnis in dessen Ebene benachbart angeordnetes zweites Kontaktblech 20 vorgesehen. Dieses weist einen in der Ebene des zweiten Kontakt blechs 20 federnden Kontaktarm 20.1 auf, an dessen freien Ende an einer Stirn fläche ein zweiter Kontakt 21 angeordnet ist.According to the invention, in addition to the first contact plate 5 ', a second contact plate 20 is provided adjacent to it in order to save space in its plane. This has a in the plane of the second contact plate 20 resilient contact arm 20.1 , at the free end of a face a second contact 21 is arranged on an end face.

Der Kontaktarm 20.1 ist in Fig. 3 in seinem ersten, entspannten Zustand darge stellt, in dem er den Weg für das Bauteil 2' zu den ersten Kontakten 4' freigibt. Das an der als Saugeinrichtung ausgebildeten Greifeinrichtung 3' durch Unterdruck gehaltene Bauteil 2' kann über diese somit ungehindert in Richtung des ersten Kontaktes 4', also in Richtung des Pfeiles 22 verfahren werden.The contact arm 20.1 is shown in Fig. 3 in its first, relaxed state Darge, in which it clears the way for the component 2 'to the first contacts 4 '. The component 2 'held on the gripping device 3 ' designed as a suction device by negative pressure can thus be moved unhindered in the direction of the first contact 4 ', that is to say in the direction of the arrow 22 .

Nachdem der Anschluss 2.1' das freie Ende des Kontaktarms 20.1 passiert hat, gelangt ein an dem Kontaktarm 20.1 angeordneter Bestätigungsvorsprung 20.2 mit einer Anlauffläche 23 an der Greifeinrichtung 3' in Kontakt. Beim weiteren Ver fahren der Greifeinrichtung 3' in Richtung der ersten Kontakte 4' wird der Kontakt arm 20.1 aus seinem - in Fig. 4 durch die Kontur 24 angedeuteten - ersten Zustand ausgelenkt. Der Betätigungsvorsprung 20.2 gleitet dabei in Richtung des Pfeiles 25 über die Anlauffläche 23. Hierbei nähert sich der zweite Kontakt 21 am Kontaktarm 20.1 immer weiter an die dem Kontakt 4' abgewandte Flachseite des Anschlusses 2.1' an. Die Annäherung schreitet dabei so weit fort, dass der Kon taktarm 20.1 in einem zweiten, vorgespannten Zustand den Anschluss 2.1' einge holt hat und diesen mit dem Kontakt 21 auf seiner dem Kontakt 4' abgewandten Flachseite mit einer vorgegebenen Kontaktkraft berührt, wie dies in Fig. 4 darge stellt ist.After the connector 2.1 'the free end of the contact has passed through 20.1, reaches a arranged on the contact arm 20.1 20.2 confirmation projection with a contact surface 23 on the gripping means 3' in contact. As the gripping device 3 'moves further in the direction of the first contacts 4 ', the contact arm 20.1 is deflected from its first state, which is indicated in FIG. 4 by the contour 24 . The actuating projection 20.2 slides in the direction of arrow 25 over the contact surface 23 . Here, the second contact 21 on the contact arm 20.1 continues to approach the flat side of the connection 2.1 'facing away from the contact 4 '. The approach progresses so far that the contact arm 20.1 in a second, prestressed state has caught up with the connection 2.1 'and touches it with the contact 21 on its flat side facing away from the contact 4 ' with a predetermined contact force, as shown in FIG is. 4 Darge.

Die geschilderte Annäherung resultiert zum einen daraus, dass der Kontaktarm 20 so angeordnet ist und eine solche Länge aufweist, dass sich das freie Ende des Kontaktarmes 20.1 mit dem zweiten Kontakt 21 an den ersten Kontakt 4' annä hert. Dabei bewegt sich das freie Ende des Kontaktarmes 20.1 in den Bereich hinein, der von dem Anschluss 2.1' an dem Bauteil 2' bei der Annäherung an den ersten Kontakt 4' durchfahren wird. Hierzu ist der Momentandrehpunkt des zwei ten Kontaktes 21 in Richtung des Pfeiles 22 von dem ersten Kontakt 21 beabstan det. Der Momentandrehpunkt des zweiten Kontaktes 21 liegt bei der gezeigten Konfiguration im Bereich des Endes 26.1 der Ausnehmung 26, durch welche der Kontaktarm an dem Kontaktblech 20 ausgebildet ist.The described approach results, on the one hand, from the fact that the contact arm 20 is arranged and has such a length that the free end of the contact arm 20.1 with the second contact 21 approaches the first contact 4 '. The free end of the contact arm 20.1 moves into the area which is passed through by the connection 2.1 'on the component 2 ' when the first contact 4 'is approached. For this purpose, the instantaneous pivot point of the two th contact 21 in the direction of arrow 22 from the first contact 21 is beabstan det. In the configuration shown, the instantaneous pivot point of the second contact 21 lies in the region of the end 26.1 of the recess 26 , through which the contact arm is formed on the contact plate 20 .

Das geschilderte Einholen des Anschlusses 2.1' durch den Kontakt 21 ergibt sich durch den Abstand zwischen dem Kontakt 21 und dem Betätigungsvorsprung 20.2, der wiederum in einem Abstand zwischen dem Momentandrehpunkt des zweiten Kontaktes 21 und dem zweiten Kontakt 21 resultiert, der größer ist als der Abstand zwischen dem Momentandrehpunkt des zweiten Kontaktes 21 und dem Betätigungsvorsprung 20.2. Hieraus resultiert bei der Betätigung des Kontaktarmes 20.1 eine größere Geschwindigkeit bzw. ein größerer Verfahrweg am freien Ende des Kontaktarms 20.1 als im Bereich des Betätigungsvorsprungs 20.2, die zum beschriebenen Einholen führen.The described retrieval of the connection 2.1 'by the contact 21 results from the distance between the contact 21 and the actuation projection 20.2 , which in turn results in a distance between the instantaneous pivot point of the second contact 21 and the second contact 21 which is greater than the distance between the instantaneous pivot point of the second contact 21 and the actuation projection 20.2 . When the contact arm 20.1 is actuated, this results in a greater speed or a larger travel path at the free end of the contact arm 20.1 than in the region of the actuation projection 20.2 , which lead to the described catching up.

Ein weiterer Unterschied zur Ausführung aus Fig. 1 liegt darin, dass die Kontakt bleche 5' und 20 mit Kontaktbeinen 5.4' bzw. 20.3 versehen sind, über welche sie durch eine Steck- oder Lötverbindung etc. mit einer - nicht dargestellten - Prüf schaltung verbunden werden können. Hierbei können zur Vergrößerung der Ab stände der Kontakte zur Prüfschaltung zwischen benachbarten Kontaktblechen 5' bzw. 20 wechselweise zwischen benachbarten Kontaktblechen 5' bzw. 20 Kon taktbeine 5.4' bzw 20.3 abgetrennt werden.Another difference from the embodiment of FIG. 1 is that the contact plates 5 'and 20 are provided with contact legs 5.4 ' and 20.3 , respectively, via which they are connected by a plug-in or soldered connection etc. to a test circuit (not shown) can be. In this case, to increase the number of contacts from the test circuit between adjacent contact plates 5 'or 20 alternately between adjacent contact plates 5 ' or 20 contact legs 5.4 'or 20.3 can be separated.

Ein zusätzlicher Unterschied zur Ausführung aus Fig. 1 liegt in der unterschiedli chen Gestaltung der ersten Positionierungsmittel. Diese umfassen in Richtung des Pfeiles 22 offene Ausnehmungen 27 bzw. 28 in dem ersten bzw. 2. Kontaktblech 5' bzw. 20. Diese ermöglichen es, einzelne Kontaktbleche 5' bzw. 20 auszutau schen, indem lediglich die Spannmittel gelöst werden und der jeweilige Positionier stift 10.1' entfernt wird und dann das betreffende Kontaktblech entgegen der Richtung des Pfeiles 22 aus dem Kontaktblock 7' herausgezogen wird. Der Positio nierstift 10.2' kann dabei in seinem Sitz im - nicht dargestellten - Träger verbleiben.An additional difference to the embodiment from FIG. 1 lies in the different design of the first positioning means. These include recesses 27 and 28 in the first and second contact plates 5 ′ and 20 that are open in the direction of arrow 22 . These make it possible to replace individual contact plates 5 'or 20 by merely loosening the clamping means and removing the respective positioning pin 10.1 ' and then pulling the contact plate in question out of the contact block 7 'against the direction of arrow 22 . The positioning pin 10.2 'can remain in its seat in the - not shown - carrier.

Im übrigen entspricht die Ausführung aus Fig. 3 in ihrer prinzipiellen Gestaltung derjenigen aus Fig. 1. Insbesondere sind die Abmessungen der Zwischenlagen 8' so gewählt, dass sie eine seitliche Führung für die Kontaktarme 20.1 bilden.Incidentally, the embodiment complies with Fig. 3 in its basic design to that of Fig. 1. In particular, the dimensions of the intermediate layers are 8 'selected so that they form a lateral guide for the contact arms 20.1.

Die vorbeschriebene Ausführung lässt sich besonders vorteilhaft in Verbindung mit der zu Fig. 1 beschriebenen sandwichartigen Anordnung aus Kontaktblechen einsetzen. Es versteht sich jedoch, dass sich diese Gestaltung auf zusammen mit andersartigen Kontaktelementen einsetzen lässt. So können beispielsweise draht förmige Kontaktelemente Anwendung finden, ebenso wie Kontaktelemente aus Blech, bei denen die Kontakte nicht an einer Stirnfläche sondern an einer Flachseite des Blechs angeordnet sind. The embodiment described above can be used particularly advantageously in connection with the sandwich-like arrangement of contact plates described for FIG. 1. However, it goes without saying that this design can be used together with different types of contact elements. For example, wire-shaped contact elements can be used, as can contact elements made of sheet metal, in which the contacts are not arranged on an end face but on a flat side of the sheet.

Fig. 5 zeigt als Ausführungsbeispiel für einen erfindungsgemäßes Kontaktelement ein ebenes Kontaktblech 20, wie es in der Ausführung aus Fig. 3 verwendet wird. FIG. 5 shows, as an exemplary embodiment of a contact element according to the invention, a flat contact plate 20 , as is used in the embodiment from FIG. 3.

Das Kontaktblech 20 ist aus einem ebenen Blech gefertigt, indem in einem ersten Schritt mittels eines Drahterosionsverfahrens Material aus dem Blech entfernt wird. Hierbei wird ein Blechpaket aus geschichteten Blechen bearbeitet, um gleichzeitig eine Anzahl von Kontaktblechen 20 gleicher Kontur herzustellen.The contact plate 20 is made from a flat plate by removing material from the plate in a first step using a wire erosion process. Here, a laminated core made of layered metal sheets is processed in order to simultaneously produce a number of contact sheets 20 of the same contour.

Das Kontaktblech 20 weist einen Kontaktarm 20.1 auf, an dessen freien Ende ein Kontakt 21 an einer Stirnfläche des Kontaktblechs 20 angeordnet ist. Unter den Begriff Stirnfläche ist wie eingangs erwähnt die Begrenzungsfläche des Kontakt blechs 20 zu verstehen, die sich senkrecht zur Blechebene, hier also zur Zeich nungsebene, über die Dicke des Kontaktblechs 20 erstreckt.The contact plate 20 has a contact arm 20.1 , at the free end of which a contact 21 is arranged on an end face of the contact plate 20 . The term end face, as mentioned at the outset, is to be understood as the boundary surface of the contact plate 20 , which extends perpendicular to the sheet plane, here the drawing plane, over the thickness of the contact sheet 20 .

Das Kontaktblech 20 ist in Fig. 5 in einem vorgefertigten Zustand dargestellt, in dem es über während der Bearbeitung im ersten Schritt ausgebildete Stege 29.1 bis 29.4 mit einem Montagehilfsabschnitt 30 verbunden ist. Dieser Montagehilfs abschnitt 30 erleichtert die Handhabung des Kontaktblechs 20 während der Montage in einem zweiten Schritt, in dem die vorgefertigten Kontaktbleche 20 zu dem Kontaktblock 7' zusammengefügt werden. Zudem stellt er sicher, dass der relativ dünne Kontaktarm 20.1 bei der Handhabung nicht beschädigt wird.The contact plate 20 is shown in FIG. 5 in a prefabricated state in which it is connected to an assembly aid section 30 via webs 29.1 to 29.4 formed during the processing in the first step. This assembly aid section 30 facilitates the handling of the contact plate 20 during assembly in a second step in which the prefabricated contact plates 20 are joined together to form the contact block 7 '. It also ensures that the relatively thin contact arm 20.1 is not damaged during handling.

In dem genannten zweiten Schritt werden die Kontaktbleche 20 beim Zusammen fügen zu dem Kontaktblock 7' mittels der in die Ausnehmungen 28 und 31 einge führten Positionierstifte relativ zueinander positioniert. Hierbei werden auch die Zwischenlagen eingefügt. Über die Spannmittel wird das Kontaktblechpaket dann unter elastischer Verformung der Zwischenlagen auf ein Soll-Maß zusammen gepresstIn said second step, the contact plates 20 are put in together to the contact block 7 'is positioned relative to each other by means of inserted in the recesses 28 and 31 led positioning. The intermediate layers are also inserted here. The contact plate assembly is then pressed together to a target dimension with elastic deformation of the intermediate layers via the clamping means

Erst nachdem die Kontaktbleche 20 zu dem Kontaktblock 7' zusammengefügt wurden, werden die Stege 29.1 bis 29.4 beispielsweise mittels eines Lasers durchtrennt und der Montagehilfsabschnitt 30 entfernt. Es versteht sich jedoch, dass auch andere Trennverfahren eingesetzt werden können. Weiterhin versteht es sich, dass die Montagehilfsabschnitte bei anderen Varianten auch zu einem ande ren Zeitpunkt entfernt werden können.Only after the contact plates 20 have been joined to form the contact block 7 'are the webs 29.1 to 29.4 cut, for example by means of a laser, and the assembly aid section 30 removed. However, it goes without saying that other separation processes can also be used. Furthermore, it goes without saying that the mounting aid sections can also be removed at other times in other variants.

Es versteht sich, dass sich das im Zusammenhang mit dem Kontaktblech aus Fig. 5 geschilderte Verfahren auch auf beliebige andere Blechkonturen anwenden lässt.It goes without saying that the method described in connection with the contact plate from FIG. 5 can also be applied to any other plate contours.

Die vorliegende Erfindung wurden vorstehend im Zusammenhang mit der Prüfung elektronischer Bauteile beschrieben. Es versteht sich jedoch, dass die Kontaktie rung der elektronischen Bauteile auch zu anderen Zwecken erfolgen kann. Ins besondere ist es möglich, die kontaktierten elektronischen Bauteile durch Auf prägen entsprechende Ströme bzw. Spannungen über die Kontakte zu bearbeiten, d. h. die Eigenschaften des Bauteils zu verändern.The present invention has been described above in connection with the test described electronic components. However, it is understood that the contact tion of the electronic components can also be done for other purposes. in the In particular, it is possible to open the contacted electronic components shape corresponding currents or voltages to be processed via the contacts, d. H. to change the properties of the component.

Claims

1. Contacting device for electronic components, in particular for testing purposes, with at least one contact block ( 7 ; 7 ') with a number of adjacent contacts ( 4 ; 4 ', 21 ) arranged on adjacent contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) for contacting Adjacent electrical connections ( 2.1 ; 2.1 ') of the component ( 2 ; 2 ), characterized in that the contact elements are designed as contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ), adjacent contacts ( 4 ; 4 ', 21 ) contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) which are arranged on each end face and which are separated by at least one intermediate layer ( 8 ; 8 ') are formed on one end face.

2. Contacting device according to claim 1, characterized in that clamping means ( 11 , 12 ) for bracing the contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) are provided to each other.

3. Contacting device according to claim 2, characterized in that the intermediate layer ( 8 ; 8 ') is designed to be elastically deformable such that the distance between adjacent contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) via that exerted by the tensioning means ( 11 , 12 ) The clamping force between the contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) is adjustable.

4. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that first positioning means ( 10 , 11 , 12 ; 10.1 ', 10.2 ', 27 , 28 , 31 ) for positioning the contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) are provided relative to each other are.

5. Contacting device, in particular according to one of the preceding claims, characterized in that for contacting a tongue-shaped connection ( 2.1 ') of a component ( 2 ') from both flat sides of the connection ( 2.1 ') a first contact element ( 5 ') with a first contact ( 4 ') and a second contact element ( 20 ) with a second contact ( 21 ) are provided, the second contact ( 21 ) being arranged on a resilient contact arm ( 20.1 ) which is arranged and designed such that it is in its first, relaxed state, the way for the terminal (2.1 ') to the first contact (4') freely and in a second, th state pre-spinning the said first contact (4 ') facing away from the flat side of the on-circuit (2.1') with contacted the second contact ( 21 ).

6. Contacting device according to claim 5, characterized in that the second contact element is designed as a contact plate ( 20 ) with a resilient contact arm ( 20.1 ) in the plane of the plate.

7. Contacting device according to claim 5 or 6, characterized in that the contact arm ( 20.1 ) has a first actuating element ( 20.2 ) which is provided for interacting with a second actuating element ( 3 ', 23 ) moved with the component ( 2 ), wherein the first actuating element ( 20.2 ) is arranged away from the second contact ( 21 ) on the contact arm ( 20.1 ) in such a way that the second contact ( 21 ) catches up with the connection ( 2.1 ') after it has passed in order to establish the contact.

8. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that it has for positioning the contacts ( 4 ; 4 ', 21 ) with respect to the component ( 2 ; 2 ') second positioning means ( 18 , 18.1 ) which cooperate with a the component ( 2 ; 2 ') carrying gripping device ( 3 ; 3 ') are provided.

9. Contacting device according to one of the preceding claims, characterized in that a carrier element ( 9 ) for receiving the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) and adjusting means ( 11 , 12 ) for adjusting the spatial position of the contact elements ( 5 ; 5 ' , 20 ) are seen with respect to the carrier element ( 9 ).

10. Contact element for a contacting device, in particular according to one of the preceding claims, with a contact ( 4 ; 4 ', 21 ) for contacting a connection ( 2.1 ; 2.1 ') of an electronic component ( 2 ; 2 '), characterized in that it is essentially flat and is produced by removing material from a flat sheet, the contact ( 4 ; 4 ', 21 ) being arranged on an end face of the sheet.

11. Contact element according to claim 10, characterized in that first positioning means in the form of at least one recess ( 27 , 28 , 31 ) are provided.

12. A method for producing a contacting device ( 1 ; 1 ') for electronic components ( 2 ; 2 '), in particular according to one of claims 1 to 9, in which the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) are produced in a first step and in a second step the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) are joined together to form a contact block ( 7 ; 7 '), characterized in that in the first step for the simultaneous production of a number of contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) a laminated core made from layered contact sheets is machined.

13. A method for producing a contacting device ( 1 ; 1 ') for electronic components ( 2 ; 2 '), in particular according to one of claims 1 to 9, in which the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) are produced in a first step and in a second step the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) are joined to form a contact block ( 7 ; 7 '), characterized in that the contact elements ( 5 ; 5 ', 20 ) are left in the first step Assembly aids sections (301 are prefabricated from contact sheets, the prefabricated contact sheets ( 5 ; 5 ', 20 ) are positioned in the second step relative to one another in the position required to form the contacting device ( 1 ; 1 ') and then in a third step the assembly aids sections 130 ) be removed.

14. The method according to claim 13, characterized in that the prefabricated th contact plates ( 5 ; 5 ', 20 ) are sandwiched together in the second step with the insertion of intermediate layers ( 8 ; 8 ') to form a contact plate package ( 7 ; 7 ').

15. The method according to claim 12 or 14, characterized in that the contact plate package ( 7 ; 7 ') in the second step with elastic deformation of the intermediate layers ( 8 ; 8 ') via clamping means ( 11 , 12 ) pressed to a desired dimension becomes.