DE1010758B

DE1010758B - Compression vacuum gauge

Info

Publication number: DE1010758B
Application number: DES37390A
Authority: DE
Inventors: Georg Engelhardt; Dr-Ing Werner Schmalenberg
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1954-01-30
Filing date: 1954-01-30
Publication date: 1957-06-19

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Kompressionsvakuummeter mit einer den Meßraum abschließenden und in diesen eindringenden Kompressionsflüssigkeit, z. B. Quecksilber. Es sind bereits Kompressionsvakuummeter bekannt, die einen in die Kompressionsflüssigkeit eindringenden Körper haben. Auch gibt es Kompressionsvakuummeter, die mit einem Faltenbalg ausgerüstet sind, der zusammengedrückt oder auseinandergezogen wird. Diese Kompressionsvakuummeter haben den Nachteil, daß sie große Betätigungswege für das z. B. zu hebende bzw. zu senkende Gefäß haben und dabei nur kleine Volumenänderungen aufweisen, was die Meßgenauigkeit und Meßgeschwindigkeit beeinträchtigt. Die Erfindung bezweckt, diese Nachteile zu vermeiden und die Meßgenauigkeit und die Meßgeschwindigkeit bei verringertem Platzbedarf zu verbessern sowie eine große Sicherheit bei der Bedienung zu erreichen.The invention relates to compression vacuum gauges with a measuring space closing off and in this penetrating compression fluid, e.g. B. Mercury. There are already compression vacuum gauges known that have a body penetrating into the compression fluid. Also there is Compression vacuum gauges equipped with bellows that compress or expand will. These compression vacuum gauges have the disadvantage that they have large actuation paths for the z. B. to be raised or lowered vessel and have only small changes in volume, which affects the measurement accuracy and measurement speed impaired. The invention aims to avoid these disadvantages and the measurement accuracy and to improve the measuring speed with a reduced space requirement as well as a large one To achieve safety in operation.

Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß zwei oder mehrere Faltenbälge vorzugsweise konzentrisch ineinander angeordnet sind, von denen mindestens einer als Kompressionsflüssigkeitsbehälter und mindestens einer als Verdrängungskörper ausgebildet ist. Dabei können gemäß der weiteren Erfindung die von den Faltenbälgen begrenzten Räume verschieden groß sein und sich gleichmäßig oder ungleichmäßig beim Zusammendrücken bzw. Auseinanderzieheu der Faltenbälge ändern. Als Faltenbälge kann man auch Metallfaltenbälge verwenden und diese vakuumdicht ζ. Β. durch Schweißen miteinander verbinden. Gemäß der weiteren Erfindung können die Faltenbälge auf der atmosphäriischen Seite gegen Gasdurchtritt noch besonders geschützt sein, was z. B. durch vorteilhafterweise außen angeordnete Gummierung oder Lackierung erreicht werden kann. Werden mehrere Faltenbälge benutzt, so können diese gegenläufig oder aber auch gleichläufig beweglich sein. Das Meßgerät kann ganz oder zum Teil aus Metall, insbesondere aus quecksilberfestem Metall, z. B. aus Stahl oder aus Tombak mit einem z. B. elektrolytisch aufgebrachten Überzug aus quecksilberfestem Werkstoff bestehen. Die Bälge können konzentrisch zueinander angeordnet sein und einen gemeinsamen Halter haben. Die Faltenbälge bzw. ihre Befestigungen oder Haltevorrichtungen können auf Gewindespindeln mit gegenläufigen oder aber auch mit gleichläufigen Gewinden angeordnet sein, die im letzten Fall verschiedene Steigungen haben.This object is achieved according to the invention in that two or more bellows are preferably are arranged concentrically one inside the other, of which at least one is used as a compression fluid container and at least one is designed as a displacement body. According to the further Invention, the spaces delimited by the bellows can be of different sizes and evenly or change unevenly when the bellows are pressed together or pulled apart. as You can also use metal bellows and make them vacuum-tight ζ. Β. by welding connect with each other. According to the further invention, the bellows on the atmospheric Page to be particularly protected against gas penetration, which z. B. by advantageously externally arranged rubber coating or painting can be achieved. If several bellows are used, so they can move in opposite directions or in the same direction. The measuring device can be quite or partly made of metal, in particular of mercury-resistant metal, e.g. B. made of steel or tombac with a z. B. electrolytically applied coating made of mercury-resistant material. The bellows can be arranged concentrically to one another and have a common holder. The bellows or their fastenings or holding devices can be on threaded spindles with counter-rotating or but also be arranged with co-rotating threads, which in the latter case have different pitches.

Ein Ausführungsbeispiel eines Kompressionsvakuummeters nach der Erfindung ist in den Fig. 1 und 2 schematisch dargestellt. Die Fig. 1 zeigt das Meßgerät vor oder nach und die Fig. 2 während der Messung. Der Bügel oder Behälter 1 enthält zwei Faltenbälge 2 und 3. Beide Faltenbälge sind an ihren KompressionsvakuummeterAn embodiment of a compression vacuum gauge according to the invention is shown in FIG and 2 shown schematically. Fig. 1 shows the measuring device before or after and Fig. 2 during the Measurement. The bracket or container 1 contains two bellows 2 and 3. Both bellows are on theirs Compression vacuum gauge

Anmelder:Applicant:

Siemens-SchuckertwerkeSiemens-Schuckertwerke

Akti enges ells ctiaf t,Akti enges ells ctiaf t,

Berlin und Erlangen,Berlin and Erlangen,

Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50

Georg Engelhardt und Dr.-Ing. Werner Schmalenberg,Georg Engelhardt and Dr.-Ing. Werner Schmalenberg,

Berlin-Siemensstadt,
sind als Erfinder genannt wordenBerlin-Siemensstadt,
have been named as inventors

unteren Enden bei 4 miteinander queeksilberdicht verbunden, z. B. verschweißt, und an einem Halter, also z. B. an einer Traverse oder an einem Teller 5, befestigt. Der äußere Faltenbalg 2 ist am unteren Ende des den Kompressionsraum 6 bildenden Zylinders 7 vakuumdicht angeordnet, also z. B. angeschweißt. Der Kompressionsraum 6 ist oben durch einen Deckel 8 abgeschlossen, in den das Anschlußrohr 9 eingeführt ist. Die Meßkapillare 10 ist im Deckel 8 und die Vergleichskapillare 11 an dem Rohr 9, und zwar mit den Rohren 12 bzw. 13 und 14 befestigt. Der Meß-lower ends at 4 connected to each other in a queek-silver-tight, z. B. welded, and on a holder, so z. B. on a traverse or on a plate 5, attached. The outer bellows 2 is arranged in a vacuum-tight manner at the lower end of the cylinder 7 forming the compression chamber 6; B. welded. The compression space 6 is closed at the top by a cover 8 into which the connecting pipe 9 is inserted. The measuring capillary 10 is fastened in the cover 8 and the comparison capillary 11 on the tube 9, specifically with the tubes 12 and 13 and 14, respectively. The measuring

3S rlüssigkeitsvorratsraum besteht aus dem zylindrischen Teil 15 und dem sich nach unten erstreckenden, von den Faltenbälgen 2 und 3 begrenzten hohlzylindrischen Teil 16. Der Innenraum 17 des Faltenbalges 3 wird durch den Deckel 18 nach oben abgeschlossen und bildet den in seinem Volumen veränderlichen Verdrängungskörper.3S fluid reservoir consists of the cylindrical Part 15 and the downwardly extending hollow cylindrical part 16 delimited by the bellows 2 and 3. The interior 17 of the bellows 3 is closed at the top by the cover 18 and forms the variable in its volume Displacement body.

Zum Einstellen des Meßgerätes dient eine Handhabe, z. B. ein Griff oder ein Handrad 19 mit einer im Bügel 1 mit Gewinde geführten Spindel 20, die unten beispielsweise ein Rechtsgewinde 21 hat. Der Teller 5 ist auf der Spindel 20 lose drehbar und durch zwei Anschlagringe 22 und 23 gegen axiales Verschieben auf der Spindel 20 gesichert. Die Spindel 20 hat an ihrem oberen freien Ende ein dem unteren Gewinde 21 entgegengesetztes Gewinde, also in diesem Fall ein Linksgewinde 24 zur Führung und zum Antrieb des mit Innengewinde versehenen zylindrischen Ansatzes 25 des Deckels 18. Wird das Handrad 19 gedreht, so wandert die Spindel 20 nach oben, wobeiA handle is used to set the measuring device, e.g. B. a handle or a hand wheel 19 with an im Bracket 1 with threaded spindle 20, which has a right-hand thread 21 at the bottom, for example. Of the Plate 5 is loosely rotatable on the spindle 20 and by two stop rings 22 and 23 against axial displacement secured on the spindle 20. The spindle 20 has a lower thread at its upper free end 21 opposite thread, so in this case a left-hand thread 24 for guidance and drive of the internally threaded cylindrical projection 25 of the cover 18. If the handwheel 19 is rotated, so the spindle 20 moves upwards, wherein

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gleichzeitig der Deckel 18 in der gleichen Richtung ■ auf der Spindel 20 entlang läuft, "so·" daß der innere' Faltenbalg 3 auseinandergezogen und der äußere Faltenbalg 2 zusammengedrückt wird. Wegen der Addition der "axialen Bewegungen der ' Faltenbälge kann die spezifische Beanspruchung des Faltenbalgmaterials - durch die geringen relativen Längenänderungen der Faltenbälge niedrig .-gehalten werden. Dadurch wird außerdem erreicht, daß das Quecksilber sehr schnell den Kompressionsraum 6 füllt, so· daß die Messung in kürzester Zeit durchgeführt werden kann. Der Kompressionsraum 6 kann aus Glas oder auch aus Stahl sein. Die gegenläufige Bewegung der Faltenbälge der Faltenbalg 2 wird zusammengedrückt,at the same time the lid 18 in the same direction ■ on the spindle runs along 20, "so ·" that the internal 'pulled apart bellows 3 and compressed the outer bellows. 2 Because of the addition of the "axial movements of the bellows", the specific stress on the bellows material can be kept low due to the small relative changes in length of the bellows can be carried out in a very short time. The compression chamber 6 can be made of glass or steel. The opposite movement of the bellows of the bellows 2 is compressed,

der Faltenbalg 3 dagegen auseinandergezogen — vermindert die Füllzeit des Kompressionsraumes 6.the bellows 3, on the other hand, pulled apart - reduces the filling time of the compression space 6.

Durch die Erfindung ist es möglich, große Quecksilbermengen unter sicherem vakuumdichtem Verschluß zu bewegen. Das Meßgerät ist besonders für Messungen kleiner Drucke z. B. bei elektrischen Entladungsgefäßen wie z. B. bei Quecksilberdampfstromrichtergefäßen geeignet.The invention makes it possible to store large quantities of mercury under a secure vacuum-tight seal to move. The measuring device is particularly suitable for measurements of small prints e.g. B. in electrical discharge vessels such as B. suitable for mercury vapor converter vessels.

26 ist ein Ausgleichsbehälter am Rohr 9 für die Verlangsamung der Aufsteigegeschwindigkeit des Quecksilbers am Ende der Vergleichskapillare 11.26 is an expansion tank on pipe 9 for slowing down the ascent rate of the Mercury at the end of the comparison capillary 11.

Claims

Patent claims:

1. Compression vacuum machine with a Measuring chamber final and in this penetrating compression liquid, z. B. mercury, characterized in that two or more bellows are preferably concentric are arranged one inside the other, of which at least one is used as a compression fluid container and at least one is designed as a displacement body.

2. Vacuum meter according to claim 1, characterized in that the bounded by the bellows Rooms are of different sizes.

3. Vacuum meter according to claim 2, characterized in that that the spaces bounded by the bellows change unevenly.

4. Vacuum meter according to claim 2, characterized in that the bellows are metal bellows are.

5. Vacuum meter according to claim 2, characterized in that the bellows are vacuum-tight connected to each other, e.g. B. are welded.

6. Vacuum meter according to claim 5, characterized in that the walls, floors, covers and Connection points of the bellows (weld seams) also on the atmosphere side Gas passage are secured.

7. Vacuum meter according to claim 6, characterized in that the walls etc. are rubberized on the outside are.

8. Vacuum meter according to claim 6, characterized in that that the walls etc. are painted on the outside.

9. Vacuum meter according to claim 1, characterized in that the bellows are in opposite directions Directions are movable.

10. Vacuum meter according to claim 1, characterized in that the bellows in the same Directions are movable.

11. Vacuum meter according to claim 1, characterized in that that the measuring device is wholly or partly made of metal, especially mercury-proof Metal, e.g. B. consists of steel.

12. Vacuum meter according to claim 1, characterized in that the metal bellows made of corrosion-resistant, in particular mercury-proof sheets exist.

13. Vacuum meter according to claim 12, characterized in that the bellows have a common Have attachment.

14. Vacuum meter according to claim 13, characterized in that the bellows fastenings are arranged on one or more threaded spindles with opposing threads.

15. Vacuum meter according to claim 13, characterized in that the bellows fastenings on one or more threaded spindles with co-rotating threads of different strengths Slopes are arranged.

Considered publications: German Patent Nos. 384423, 672 600; U.S. Patent No. 2,383,936; ATM sheet V 1341-3.

1 sheet of drawings