DE10101352A1

DE10101352A1 - Inclination sensor arrangement, particularly for use in motor vehicle as roll sensor, has two surface mounted sensors combined in such a way that inherent offset errors cancel each other out

Info

Publication number: DE10101352A1
Application number: DE2001101352
Authority: DE
Inventors: Bernhard Mattes
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2001-01-13
Filing date: 2001-01-13
Publication date: 2002-07-18
Anticipated expiration: 2021-01-14
Also published as: DE10101352B4

Abstract

Inclination sensor arrangement has a first acceleration sensor (1) with its base surface (1a) in contact with a mounting and contact element (3). The acceleration sensor has an output signal and an inherent offset error. An additional second acceleration sensor (2) is mounted on the contact element with a separation between its base surface (2a) and the contact element for use in compensating system errors caused by the sensor offsets. The second sensor is mounted upside down with respect to the first sensor. While its offset signal has similar sign to that of the first sensor, the acceleration signal has opposite sign. Subtraction of one signal from the other yields a signal equal to double the acceleration signal.

Description

Die Erfindung betrifft eine Neigungssensoranordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 mit einem eine Grundfläche aufwei senden ersten Beschleunigungssensor, welcher ein Ausgangssignal ausgibt, welches einen Offset-Fehler aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche auf einem Befestigungs- und Kontaktierungse lement angeordnet ist.The invention relates to an inclination sensor arrangement according to the Preamble of claim 1 with a base area send first acceleration sensor, which has an output signal outputs which has an offset error and which with its base on a fastening and contacting element is arranged.

Eine derartige Neigungssensoranordnung wird beispielsweise in einem Kraftfahrzeug verwendet, um die Abweichung des Kraftfahr zeugs von der Waagerechten zu erfassen. Aufgrund einer Abwei chung von der Waagerechten lassen sich verschiedene Einstellun gen des Kraftfahrzeugs verändern. So läßt sich insbesondere die Fahrdynamikregelung, die Leuchtweitenregelung und die Überroll sensierung durch Erfassung der Fahrzeugneigung optimieren. Bei den genannten Anwendungen muß die Fahrzeugneigung statisch ge messen werden. Des weiteren werden hohe Anforderungen an die Ge nauigkeit der Erfassung der Fahrzeugneigung gestellt.Such an inclination sensor arrangement is shown, for example, in a motor vehicle used the deviation of the motor vehicle to grasp the horizontal. Due to a deviation Different settings can be made from the horizontal change gen of the motor vehicle. In particular, the Driving dynamics control, headlight range control and rollover optimize the sensation by detecting the inclination of the vehicle. at In the applications mentioned, the vehicle inclination must be static will measure. Furthermore, high demands on the Ge accuracy of the detection of the vehicle inclination.

Um die Forderungen an die Genauigkeit zu erfüllen, können hoch- symmetrische bulk-mikromechanische Beschleunigungssensoren verwendet werden, welche eine sehr gute Genauigkeit hinsichtlich der Abgleichtoleranz, des Temperaturdriftes und der Alterungs drift aufweisen. Bulk-mikromechanische Beschleunigungssensoren sind jedoch relativ teuer.In order to meet the requirements for accuracy, highly symmetrical bulk micromechanical acceleration sensors are used which are very good in terms of accuracy the adjustment tolerance, the temperature drift and the aging exhibit drift. Bulk micromechanical acceleration sensors are relatively expensive, however.

Die bekannten oberflächenmikromechanischen Beschleunigungssenso ren sind zwar kostengünstiger, jedoch ist deren Genauigkeit etwa nur halb so hoch wie die der genannten bulk-mikromechanischen Beschleunigungssensoren. Es ergeben sich daher Probleme beim Einsatz dieser Beschleunigungssensoren zur Erfassung der Fahr zeugneigung.The known surface micromechanical acceleration sensors Ren are cheaper, but their accuracy is about only half as high as that of the bulk micromechanical mentioned Acceleration sensors. There are therefore problems with Use of these acceleration sensors to record the driving compelling pitch.

Ein weiteres Problem bei der Erfassung der Fahrzeugneigung ist, daß eine Offset-Ausregelung nicht möglich ist, da die Fahrzeug neigung auch statisch erfaßt werden muß und eine Offset- Ausregelung bei statisch gemessenen Systemen nie möglich ist. Denn es kann systembedingt nicht unterschieden werden, ob das Fahrzeug geneigt ist, oder ob die Sollwertabweichung von einem Sensorfehler herrührt.Another problem with the inclination of the vehicle is that offset compensation is not possible because the vehicle inclination must also be recorded statically and an offset Regulation with statically measured systems is never possible. Because of the system, it cannot be distinguished whether that Vehicle is inclined, or whether the setpoint deviation from one Sensor error arises.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine eingangs genannte Neigungs sensoranordnung derart auszubilden, daß sie eine erhöhte Genau igkeit aufweist.It is an object of the invention, an inclination mentioned Train the sensor arrangement in such a way that it has an increased accuracy ity.

Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbil dungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.The solution to this problem results from the features of characterizing part of claim 1. Advantageous further education endings of the invention emerge from the subclaims.

Advantages of the invention

Gemäß der Erfindung ist eine Neigungssensoranordnung mit einem ersten eine Grundfläche aufweisenden Beschleunigungssensor, wel cher ein Ausgangssignal ausgibt, welches einen Offset-Fehler aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche auf einem Befesti gungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, dadurch gekenn zeichnet, daß ein zweiter Beschleunigungssensor derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, daß seine Grundfläche von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement abgewandt ist.According to the invention is an inclination sensor arrangement with a first acceleration sensor having a base, wel cher outputs an output signal that has an offset error has, and which with its base on a fastener supply and contacting element is arranged, characterized records that a second acceleration sensor on the Fastening and contacting element is arranged that its Base area of the fastening and contacting element is turned away.

Dadurch, daß ein zweiter Beschleunigungssensor derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, daß sei ne Grundfläche von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement abgewandt ist, das heißt, der zweite Beschleunigungssensor im Prinzip auf dem Kopf auf dem Befestigungs- und Kontaktierungse lement angeordnet ist, lassen sich auf einfache Weise systembe dingte Abweichungen vom tatsächlichen Meßwert eliminieren. Hier zu brauchen die Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssenso ren lediglich subtrahiert zu werden.The fact that a second acceleration sensor on the Fastening and contacting element is arranged that be ne base of the fastening and contacting element is facing away, that is, the second acceleration sensor in the Principle on the head on the fastening and contacting element is arranged, systembe Eliminate any deviations from the actual measured value. here to need the output signals of the two acceleration sensors only to be subtracted.

Da die beiden Beschleunigungssensoren um 180 Grad gedreht auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet sind, sind die beiden Ausgangssignale ebenfalls entgegengesetzt zuein ander. Das heißt, die beiden Ausgangssignale weisen umgekehrte Vorzeichen auf. Hierdurch bewirkt die Subtraktion der beiden Ausgangssignale, daß sich die Beträge der Ausgangssignale addie ren. Zum Erhalt des wahren Ausgangssignals braucht das durch die Subtraktion gewonnene Signal lediglich durch zwei dividiert zu werden.Since the two acceleration sensors turned on by 180 degrees the fastening and contacting element are arranged, the two output signals are also opposite to each other at the. That is, the two output signals are reversed Sign on. This causes the subtraction of the two Output signals that the amounts of the output signals addie ren to get the true output signal Subtraction signal only divided by two become.

Durch die Subtraktion der Ausgangssignale der beiden Beschleuni gungssensoren wird in vorteilhafter Weise erreicht, daß sich die systembedingten Fehler gegeneinander aufheben. Denn im Gegensatz zu den Ausgangssignalen weisen die systembedingten Fehler der Beschleunigungssensoren keine unterschiedlichen Vorzeichen auf, sondern haben dieselbe Richtung und im wesentlichen denselben Betrag.By subtracting the output signals of the two accelerations tion sensors is advantageously achieved that the cancel systemic errors against each other. Because in contrast the system-related errors of the Acceleration sensors do not have different signs, but have the same direction and essentially the same Amount.

In vorteilhafter Weise ist der erste Beschleunigungssensor mit tels Bond-Drähten mit dem Befestigungs- und Kontaktierungsele ment elektrisch verbunden und der zweite Beschleunigungssensor mittels eines leitenden Klebers mit dem Befestigungs- und Kon taktierungselement elektrisch verbunden. Insbesondere durch die Verbindung der Anschlüsse des zweiten Beschleunigungssensors mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement mittels des leiten den Klebers vereinfacht sich der Aufbau der Neigungssensoranord nung sehr.The first acceleration sensor is advantageously also included bond wires with the fastening and contacting element ment electrically connected and the second acceleration sensor by means of a conductive adhesive with the fastening and con clocking element electrically connected. Especially through the Connection of the connections of the second acceleration sensor with the fastening and contacting element by means of the conduct The adhesive simplifies the construction of the inclination sensor arrangement very much.

Als besonders vorteilhaft hat sich die erfindungsgemäße Anord nung bei oberflächenmikromechanischen Beschleunigungssensoren erwiesen, so daß eine Anordnung, bei der die Beschleunigungssen soren oberflächenmikromechanische Beschleunigungssensoren sind, besonders vorteilhaft ist. Hierbei erwies sich die Erfindung bei Beschleunigungssensoren, welche eine Wippe aufweisen, als ganz besonders vorteilhaft. Denn insbesondere bei derartigen Be schleunigungssensoren werden durch die erfindungsgemäße Anord nung systembedingte Fehler sehr gut eliminiert. So läßt sich insbesondere ein durch eine Torsionsfederungsunsymmetrie vorhan dener mechanischer Offset-Fehler gut eliminieren.The arrangement according to the invention has proven to be particularly advantageous with surface micromechanical acceleration sensors proven to be an arrangement in which the accelerometers sensors are surface micromechanical acceleration sensors, is particularly advantageous. Here, the invention proved Acceleration sensors, which have a rocker, as a whole particularly advantageous. Because especially with such Be Acceleration sensors are due to the arrangement according to the invention system-related errors very well eliminated. So you can in particular due to a torsional suspension asymmetry eliminate the mechanical offset error well.

Als besonders vorteilhaft hat sich auch eine Ausführungsform herausgestellt, bei der die Beschleunigungssensoren aus dersel ben Fertigungscharge stammen. Da innerhalb derselben Fertigung scharge die Prozeßtoleranzen im wesentlichen gleich groß sind, sind die systembedingten Fehler ebenfalls im wesentlichen gleich groß, so daß sie sich aufgrund der erfindungsgemäßen Anordnung nahezu vollständig gegeneinander aufheben.An embodiment has also been found to be particularly advantageous emphasized, in which the acceleration sensors dersel ben production batch originate. Because within the same production the process tolerances are essentially the same, the system-related errors are also essentially the same large, so that they are due to the arrangement of the invention almost completely cancel each other out.

Besonders vorteilhaft ist auch eine Ausführungsform der Erfin dung, bei der eine Auswerteelektronik vorhanden ist, mittels welcher die Ausgangssignale beider Beschleunigungssensoren aus gewertet werden. Durch die Verwendung derselben Auswerteelektro nik, welche regelmäßig ein sogenanntes ASIC ist, zur Auswertung beider Ausgangssignale wird auch ein Fehler, der durch die Aus werteelektronik entsteht, eliminiert.An embodiment of the invention is also particularly advantageous dung, in which an evaluation electronics is available, by means of which the output signals from both acceleration sensors get ranked. By using the same evaluation electronics nik, which is regularly a so-called ASIC, for evaluation Both output signals will also be an error caused by the off value electronics arises, eliminated.

Die Verstärkung des Auswerte-ASICs muß so abgeglichen werden, daß die Empfindlichkeitsfehler der Sensorelemente, die im we sentlichen gleich groß sind, kompensiert werden. Dies ist jedoch technisch kein Problem. The gain of the evaluation ASIC must be adjusted in such a way that the sensitivity error of the sensor elements, which we are substantially the same size, are compensated. However, this is technically no problem.

Die Verwendung derselben Auswerteelektronik läßt sich in vor teilhafter Weise mittels eines Multiplexers realisieren. Da der Multiplexer ebenfalls für beide Ausgangssignale verwendet wird, hebt sich ein durch den Multiplexer entstehender Fehler eben falls auf.The use of the same evaluation electronics can be seen in partially realized by means of a multiplexer. Since the Multiplexer is also used for both output signals there is an error arising from the multiplexer if on.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung ist, daß sich Alterungstoleranzen insbesondere hinsichtlich eines Offsets nicht auswirken. Denn die Alterung während eines Fahrzyklus' ist zu vernachlässigen und die durch die Alterung über einen länge ren Zeitraum entstehenden Abweichungen sind bei beiden Beschleu nigungssensoren gleich groß, so daß sich diese Abweichungen bei der erfindungsgemäßen Anordnung aufheben. In derselben Weise hebt sich auch ein Fehler auf, welcher aufgrund von Tempera tureinflüssen entsteht.Another advantage of the arrangement according to the invention is that aging tolerances, particularly with regard to an offset not impact. Because aging is during a driving cycle to be neglected and that by aging for a long time The deviations arising in the case of both accelerators Inclination sensors of the same size, so that these deviations cancel the arrangement according to the invention. In the same way there is also an error that is due to tempera influences the door.

Durch die Verwendung von zwei Beschleunigungssensoren besteht in vorteilhafter Weise die Möglichkeit, daß die Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssensoren zur Feststellung einer vorbe stimmten Abweichung miteinander verglichen werden. Hierdurch wird die Funktionssicherheit, die bei allen sicherheitskriti schen Systemen vorgeschrieben ist, wesentlich erhöht. Denn über schreitet die Abweichung der Ausgangssignale der beiden Be schleunigungssensoren einen vorbestimmten Betrag, bedeutet dies, daß einer der Beschleunigungssensoren defekt ist, wodurch der von der erfindungsgemäßen Neigungssensoranordnung ausgegebene Wert fehlerhaft ist. Somit wird durch die erfindungsgemäße An ordnung nicht nur die Genauigkeit der Neigungserfassung vergrö ßert, sondern auch deren Funktionssicherheit.By using two acceleration sensors there is in advantageously the possibility that the output signals of the two acceleration sensors to detect a vorbe agreed deviation to be compared. hereby is the functional safety that is common to all safety systems is significantly increased. Because about the deviation of the output signals of the two loading steps acceleration sensors a predetermined amount, it means that one of the acceleration sensors is defective, causing the output by the inclination sensor arrangement according to the invention Value is incorrect. Thus, by the invention order not only increases the accuracy of the inclination detection but also their functional reliability.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Er findung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines besonderen Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeich nung.Further details, features and advantages of the present Er invention result from the following description of a particular embodiment with reference to the drawing voltage.

drawing

Es zeigtIt shows

Fig. 1 eine erfindungsgemäß ausgebildete Sensoranordnung in waagerechter Lage, Fig. 1 a according to the invention designed sensor arrangement in a horizontal position,

Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Sensoranordnung in einer von der waagerechten abweichenden Lage und Fig. 2 shows the sensor arrangement shown in Fig. 1 in a position deviating from the horizontal and

Fig. 3 einen Beschleunigungssensor mit einer Wippe. Fig. 3 shows an acceleration sensor with a rocker.

Description of an embodiment

Wie den Fig. 1 und 2 entnommen werden kann, ist auf einem Be festigungs- und Kontaktierungselement 3 ein erster Beschleuni gungssensor 1 mit seiner Grundflache 1a angeordnet, sowie ein zweiter Beschleunigungssensor 2 derart angeordnet, daß seine Grundflache 2a von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 abweist. Die Beschleunigungssensoren 1, 2 sind als Beschleuni gungssensoren 1, 2 mit einer Wippe ausgebildet. Die Anschlüsse des ersten Beschleunigungssensors 1 sind mittels Bond-Drahten 6 mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement verbunden. Die Anschlüsse des zweiten Beschleunigungssensors 2 sind mittels Leitkleber 7 mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 verbunden. Auf beide Beschleunigungssensoren 1, 2 wirkt die Erd beschleunigung 10, welche infolge der waagerechten Anordnung des Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 senkrecht zu den Be schleunigungssensoren 1, 2 wirkt.As can be seen in FIGS. 1 and 2, setting agents on a loading and contacting element 3, a first Accelerati supply sensor 1 with its base surface 1a arranged, and a second acceleration sensor 2 is arranged such that its base surface 2 a of the fastening and Contacting element 3 rejects. The acceleration sensors 1 , 2 are designed as acceleration sensors 1 , 2 with a rocker. The connections of the first acceleration sensor 1 are connected to the fastening and contacting element by means of bond wires 6 . The connections of the second acceleration sensor 2 are connected to the fastening and contacting element 3 by means of conductive adhesive 7 . In both acceleration sensors 1, 2, the earth acts acceleration 10, which due to the horizontal arrangement of the fixing and contact-3 perpendicular to the acceleration sensors Be 1, 2 acts.

Da sich die Beschleunigungssensoren 1, 2 in ihrer Ruhestellung befinden, ist das von Ihnen abgegebene Ausgangssignal null be ziehungsweise hat wegen der fehlenden Auslenkung der Beschleuni gungssensoren 1, 2 denselben Betrag und dieselbe Richtung.Since the acceleration sensors 1, are in their rest position 2, submitted by you output is zero relationship be as has because of the lack of deflection Accelerati supply sensors 1, 2 by the same amount and the same direction.

Bei der in Fig. 2 dargestellten geneigten Lage des Befesti gungs- und Kontaktierungselements 3 weisen die Beschleunigungssensoren 1, 2 eine Auslenkung auf. Aufgrund der Auslenkung gibt der erste Beschleunigungssensor 1 ein Auslenkungs-Ausgangssignal 4 ab. Der zweite Beschleunigungssensor 2 gibt ebenfalls ein Aus lenkungs-Ausgangssignal 5 ab, welches, da der zweite Beschleuni gungssensor 2 wegen der um 180 Grad gedrehten Lage eine zum vom ersten Beschleunigungssensor 1 entgegengesetzte Auslenkung hat, eine zum vom Beschleunigungssensor 1 abgegebenen Auslenkungs- Ausgangssignal 4 entgegengesetzte Richtung hat. Der erste Be schleunigungssensor 1 weist des weiteren ein Fehlersignal 4a auf, welches im vorliegenden Fall dieselbe Richtung wie das Aus lenkungs-Ausgangssignal 4 haben soll. Da der zweite Beschleuni gungssensor 2 aus derselben Fertigungscharge wie der erste Be schleunigungssensor 1 stammt, weist auch der zweite Beschleuni gungssensor 2 ein Fehlersignal 5a auf, welches dieselbe Richtung wie das vom ersten Beschleunigungssensor 1 ausgegebene Fehlersi gnal 4a hat. Bei einer Subtraktion der Ausgangssignale 4, 4a, 5, 5a der Beschleunigungssensoren 1, 2 addieren sich somit das Aus lenkungs-Ausgangssignal 4 des ersten Beschleunigungssensors 1 und das Auslenkungs-Ausgangssignal 5 des zweiten Beschleuni gungssensors 2. Das Fehlersignal 4a des ersten Beschleunigungs sensors 1 und das Fehlersignal 5a des zweiten Beschleunigungs sensors 2 heben sich gegeneinander auf.In the inclined position of the fastening and contacting element 3 shown in FIG. 2, the acceleration sensors 1 , 2 have a deflection. Because of the deflection, the first acceleration sensor 1 emits a deflection output signal 4 . The second acceleration sensor 2 is also a from steering output signal 5 from which, since the second Accelerati supply sensor 2 due to the rotated 180 degrees sheet has a to the first acceleration sensor 1 opposite deflection, one for output by acceleration sensor 1 Auslenkungs- output signal 4 opposite Direction. Be the first acceleration sensor 1 also has an error signal 4 a, which in the present case should have the same direction as the steering output signal 4 . Since the second acceleration sensor 2 comes from the same production batch as the first acceleration sensor 1 , the second acceleration sensor 2 also has an error signal 5 a, which has the same direction as the error signal 4 a output by the first acceleration sensor 1 . When the output signals 4 , 4 a, 5 , 5 a of the acceleration sensors 1 , 2 are subtracted, the deflection output signal 4 of the first acceleration sensor 1 and the deflection output signal 5 of the second acceleration sensor 2 add up. The error signal 4 a of the first acceleration sensor 1 and the error signal 5 a of the second acceleration sensor 2 cancel each other out.

Wie Fig. 3 entnommen werden kann, weisen die Beschleunigungs sensoren 1, 2 eine Wippe 8 auf, welche mittels einer Torsionsfe der 9 auf einer Grundfläche 1a, 2a angeordnet ist. Die Wippe 8 ist somit um eine Schwenkachse 9a schwenkbar.As can be seen in FIG. 3, the acceleration sensors 1 , 2 have a rocker 8 , which is arranged on a base 1 a, 2 a by means of a torsion spring 9 . The rocker 8 is thus pivotable about a pivot axis 9 a.

Die Wippe 8 weist eine sogenannte seismische Masse 11 auf, mit tels welcher die Wippe 8 aus ihrer waagerechten Lage gebracht ist. Aufgrund der Torsionsfeder 9 stellt sich ein Gleichge wichtszustand ein, der den Ruhezustand des Beschleunigungssen sors darstellt.The rocker 8 has a so-called seismic mass 11 , by means of which the rocker 8 is brought out of its horizontal position. Due to the torsion spring 9 , a state of equilibrium sets in, which represents the idle state of the acceleration sensor.

Die Wippe 8 weist des weiteren Plattenelemente 12, 13 auf, wel che gegenüber einem auf der Grundfläche 1a, 2a angebrachten Ge genelement eine Kapazität darstellen. Die beiden Kapazitäten sind in der Figur eingezeichnet und weisen die Bezugszeichen 12a, 13a auf.The rocker 8 also has plate elements 12 , 13 , which represent a capacity compared to a Ge on the base 1 a, 2 a attached Ge element. The two capacitances are shown in the figure and have the reference numerals 12 a, 13 a.

Im Betrieb ist der Beschleunigungssensor so in einem elektri schen Schaltkreis angeordnet und so abgeglichen, daß sich im Ru hezustand, das heißt in einer waagerechten Anordnung der Grund fläche 1a, 2a keine Auslenkungs-Ausgangsspannung einstellt.In operation, the acceleration sensor is arranged in an electrical circuit and calibrated so that at rest, that is, in a horizontal arrangement of the base surface 1 a, 2 a, no deflection output voltage is set.

Ergibt sich aufgrund einer Neigung der Grundfläche 1a, 2a eine Auslenkung der Wippe 8, verändern sich die Kapazitäten 12a, 13a derart, daß sich eine Auslenkungs-Ausgangsspannung einstellt. Es ist offensichtlich, daß bei einer Verschwenkung der Wippe 8 im Uhrzeigersinn die Auslenkungs-Ausgangsspannung ein anderes Vor zeichen aufweist als bei einer Verschwenkung der Wippe 8 entge gen dem Uhrzeigersinn.If there is a deflection of the rocker 8 due to an inclination of the base 1 a, 2 a, the capacitances 12 a, 13 a change such that a deflection output voltage is established. It is obvious that when the rocker 8 is pivoted clockwise, the deflection output voltage has a different sign than when the rocker 8 is pivoted counterclockwise.

Da somit bei der in Fig. 1 und 2 dargestellten Anordnung bei einer Neigung des Befestigungs- und Kontaktierungselements 3 die Wippe 8 des ersten Beschleunigungssensors 1 in entgegengesetzte Richtung verschwenkt wird, als die Wippe 8 des zweiten Beschleu nigungssensors 2, weisen die Auslenkungs-Ausgangsspannungen 4, 5 entgegengesetzte Richtungen auf.Since, therefore, in the arrangement shown in FIGS. 1 and 2 with an inclination of the fastening and contacting element 3, the rocker 8 of the first acceleration sensor 1 is pivoted in the opposite direction than the rocker 8 of the second acceleration sensor 2 , the deflection output voltages 4 , 5 opposite directions.

Claims

1. inclination sensor arrangement with a first a first Grundfla surface ( 1 a) having an acceleration sensor ( 1 ) which outputs an output signal ( 4 ) which has an offset error ( 4 a), and which with its base area ( 1 a) on a be setting agents and contacting element (3) is disposed, since it is arranged by in that a second acceleration sensor (2) in such a way is on the fixing and contacting element (3), that its base (2 a) of the fastening and contacting ( 3 ) is turned away.

2. Tilt sensor arrangement after. Claim 1, characterized in that the first acceleration sensor ( 1 ) by means of bond wires ( 6 ) with the fastening and contacting element ( 3 ) is electrically connected and the second acceleration sensor ( 2 ) by means of a conductive adhesive ( 7 ) with the fastening - And contacting element ( 3 ) is electrically connected.

3. Tilt sensor arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the acceleration sensors ( 1 , 2 ) are surface micromechanical acceleration sensors ( Fig. 3).

4. Tilt sensor arrangement according to claim 3, characterized in that the acceleration sensors ( Fig. 3) have a rocker ( 8 ).

5. Inclination sensor arrangement according to one of claims 1 to 4, characterized in that the acceleration sensors ( 1 , 2 ) come from the same production batch.

6. Tilt sensor arrangement according to one of claims 1 to 5, characterized in that an electronic evaluation unit is present, by means of which the output signals ( 4 , 5 ) of both acceleration sensors ( 1 , 2 ) are evaluated.

7. Tilt sensor arrangement according to claim 6, characterized in that the output signals ( 4 , 5 ) of the acceleration sensors ( 1 , 2 ) are connected to the evaluation electronics by means of a multiplexer.

8. Tilt sensor arrangement according to claim 7, characterized in that the output signals ( 4 , 5 ) of the two acceleration sensors ( 1 , 2 ) are compared with one another to determine a predetermined deviation.