DE10062612A1

DE10062612A1 - Sensor system for measuring fluid flow values is made, using a one piece sensor body, for cost reduction, that is inserted in a pipeline with sensors attached to the outer surface of a thin wall section to obtain the measurements

Info

Publication number: DE10062612A1
Application number: DE10062612A
Authority: DE
Inventors: Eckart Hiss; Stefan Michelsen; Heinz Oostendorf
Original assignee: Sensorentechnologie Gettorf GmbH
Current assignee: Sensorentechnologie Gettorf GmbH
Priority date: 2000-10-18
Filing date: 2000-12-15
Publication date: 2002-05-02
Also published as: DE10062609B4; DE10062609A1

Abstract

Sensor system has a sensor body placed in a pipeline. The sensor body (1) is dumbbell shaped with an intermediate part (5) sandwiched between connecting parts (3, 4). Within the intermediate part is a thin wall section with sensor surfaces (6) with sensor elements connected to the outer wall so that they do not penetrate through the wall. An Independent claim is made for a method for producing a sensor system for use in a pipeline for measuring flow values. The sensor body is made as a single part of a homogenous readily available material.

Description

Das Sensorsystem basiert auf einem rohrförmig ausgebildeten in ein Leitungssystem einfügbaren Sensorkörper, der zusammen mit auf dem Sensorkörper außenwandig aufgebrachten Sensorelementen, einen Strömungszustand erfaßt, der das Innenrohr durchströmt.The sensor system is based on a tubular system insertable sensor body, which together with on the outside of the sensor body applied sensor elements, a flow state detected, the inner tube flows through.

Sensorsysteme der eingangs genannten Art werden in zahlreichen Anwendungen zur Überwachung von Flüssigkeitsströmungen eingesetzt. In der DE 40 17 877 A1 ist ein solcher Sensor beschrieben. Auf einem dünnwandigen Rohr sind außenwandig Temperaturmeßelemente wärmeleitend aufgebracht, wobei ein Meßelement zusätzlich beheizt ist. Die damit auch aufgeheizte Innenwandung des Rohres überträgt die Wärme auf das dieses Rohr durchströmende Medium. Dies führt an den Meßelementen in Abhängigkeit von der Strömungsgeschwindigkeit zu einer Temperaturdifferenz, die für Bestimmung der Strömungsgeschwindigkeit verwendet wird. Dieses dünnwandige Meßrohr ist über Dichtungen mit Prozeßanschlüssen verbunden, an die äußere Rohrsysteme angeschlossen werden können. Um eine Krafteinwirkung auf das dünnwandige Innenrohr zu verhindern, sind beide Prozeßanschlüsse mit einem Außenkörper verbunden, der das innere Meßrohr umschließt. Ein wesentlicher Nachteil dieses Systems besteht darin, daß es aus mindestens vier Einzelteilen besteht, die einzeln gefertigt werden und entsprechend hohe Kosten verursachen. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß unterschiedliche Medien auch unterschiedliche Dichtungen erfordern, wodurch sich eine aufwendige Lagerhaltung ergibt. Auch ist die Druckfestigkeit solcher Systeme durch das erforderliche dünnwandige Rohr begrenzt.Sensor systems of the type mentioned are used in numerous applications used to monitor liquid flows. DE 40 17 877 A1 described such a sensor. On a thin-walled tube are outside walls Temperature measuring elements applied in a heat-conducting manner, one measuring element is additionally heated. The inner wall of the pipe, which is also heated transfers the heat to the medium flowing through this pipe. This leads the measuring elements as a function of the flow velocity Temperature difference used for determining the flow rate becomes. This thin-walled measuring tube is over seals with process connections connected to which external pipe systems can be connected. To one Both are to prevent the application of force on the thin-walled inner tube Process connections connected to an outer body, the inner measuring tube encloses. A major disadvantage of this system is that it is made up of there are at least four individual parts that are manufactured individually and accordingly cause high costs. Another disadvantage is that different Media also require different seals, which is a complex Warehousing results. The compressive strength of such systems is also due to the required thin-walled tube limited.

Derzeit bekannte Systeme, weisen ein oder mehrere der oben genannten Konstruktionsmerkmale und die damit verbundenen Nachteile auf.Currently known systems have one or more of the above Design features and the associated disadvantages.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Sensorsystem und ein Verfahren zu seiner Herstellung anzugeben, das die oben aufgezeigten Nachteile vermeidet, bei dem der Sensorkörper einteilig und vorzugsweise in einem Arbeitsgang automatisch gefertigt wird, wobei auf der Außenwandung des Sensorkörpers der von dem zu erfassenden Medium innenwandig durchströmt ist, die die Strömung erfassenden Meßelemente aufgebracht sind, die die Wandung des Sensorkörpers nicht durchbrechen und wo ein Gehäuse den Sensorkörper umfaßt, das gleichzeitig die Verdrehung des Sensorkörpers gegenüber dem Gehäuse unterbindet.The object of the invention is a sensor system and a method for its Specify production that avoids the disadvantages indicated above, in which the Sensor body in one piece and preferably automatically manufactured in one operation being, on the outer wall of the sensor body that of the to be detected Medium flows through the inner wall, the measuring elements detecting the flow are applied, which do not break through the wall of the sensor body and where a housing comprises the sensor body, which simultaneously rotates the Sensor body prevents against the housing.

Die in Anspruch 1 und 12 aufgezeigten Merkmale führen zur Lösung der gestellten Aufgabe. Die nachgeordneten Ansprüche führen die Erfindung weiterbildend aus. Von besonderer Bedeutung ist die einteilige, hantelförmige Ausbildung des Sensorkörpers, der aus einem homogenen Werkstoff besteht, der keine Durchbrüche für Sensorelemente enthält und der auch keine die Homogenität störenden Schweißverbindungen oder dichtend zusammengefügte Teile aufweist. Durch diese Ausbildung ist eine optimale Korrosionsbeständigkeit für metallische Sensorkörper gewährleistet. Es daher auch möglich, den Sensorkörper aus Werkstoffen zu fertigen, die nur schwer schweißbar sind, die aus Kunststoff bestehen, oder die aus mineralischen Werkstoffen, insbesondere auch Keramiken gefertigt sind. Eine hohe mechanische Festigkeit wird dadurch erreicht, daß, sofern erforderlich, die Wandungsstärke des Innenteils des Sensorkörpers, der Zwischenteil, vorzugsweise rohrförmig ausgebildet ist und an den Stellen in seiner Wandungsstärke reduziert ist, an denen die Sensorelemente angebracht sind. Diese Stellen sind vorzugsweise als Flächen ausgebildet, nachfolgend als Sensorflächen bezeichnet, an denen thermische, optische, akustische oder elektromagnetische Sensoren aufgebracht sind. Werden Mikrowellensensoren verwendet, so besteht der Sensorkörper vorzugsweise aus Kunststoff oder Keramik. Optische Sensoren erfordern einen optisch durchlässigen Sensorkörper, während thermische und akustische Verfahren sehr gut mit metallischen Sensorkörpern arbeiten. The features indicated in claims 1 and 12 lead to the solution of the posed Task. The subordinate claims further develop the invention. The one-piece, dumbbell-shaped design of the Sensor body, which consists of a homogeneous material that has no breakthroughs for sensor elements and which does not interfere with homogeneity Has welded connections or sealed parts. Through this Training is an optimal corrosion resistance for metallic sensor bodies guaranteed. It is therefore also possible to close the sensor body from materials manufacture which are difficult to weld, which are made of plastic, or which mineral materials, especially ceramics. A high Mechanical strength is achieved in that, if necessary, the Wall thickness of the inner part of the sensor body, the intermediate part, preferably is tubular and its wall thickness is reduced at the points, to which the sensor elements are attached. These positions are preferably as Formed surfaces, hereinafter referred to as sensor surfaces on which thermal, optical, acoustic or electromagnetic sensors applied are. If microwave sensors are used, the sensor body is made preferably made of plastic or ceramic. Optical sensors require one optically transparent sensor body during thermal and acoustic processes work very well with metallic sensor bodies.

Für jedes verwendete physikalische Prinzip wird ein gleichartiger Verfahrensablauf zur Herstellung des Sensorkörpers angewendet, wobei lediglich die Besonderheit der einzelnen Sensoren berücksichtigt werden.For each physical principle used, there is a similar procedure used to manufacture the sensor body, only the special feature of individual sensors are taken into account.

Eine Besonderheit der Konstruktion besteht darin, daß die Prozeßanschlüsse einen Schlüsselteil aufweisen, der partiell von einem vorzugsweise zweiteiligen Gehäuse umfaßt ist, das den die Sensorelemente aufnehmenden Zwischenteil des Sensorkörpers gegen Umwelteinflüsse schützt und auch eine auswertende Elektronik aufnehmen kann. Durch die Umfassung des Schlüsselteils, ist es nicht mehr möglich, daß sich der Sensorkörper relativ zum Gehäuse drehen kann. Diese Art der Verdrehsicherung ist nicht auf eine Geometrie eines Schlüsselteils festgelegt. Sie kann auch durch Kleben, asymmetrischen Querschnitt dieses Teils oder Verstiftung erzeugt werden. Der Verfahrensablauf zur Herstellung des Sensorkörpers kann auch in der Weise gestaltet sein, daß ein Sensor-Grundkörper für unterschiedliche sensorische Anwendungen hergestellt ist. Die für die speziellen sensorischen Elemente erforderlichen mechanischen Modifikationen des Zwischenteils des Sensorkörpers, werden dann als letzter mechanischer Verfahrensschritt durchgeführt, wenn bekannt ist, welcher Sensortyp eingesetzt werden muß. Dieses Vorgehen ermöglicht eine äußerst preisgünstige Fertigung des Sensor-Grundkörpers. Durch die in dem Sensorkörper integrierten Schlüsselteile, die vorzugsweise als zwei- oder sechskant ausgebildet sind, ist eine fluchtende, wiederholte Einspannung, z. B. in einer Fräsmaschine möglich, so daß sehr präzise und laufgenaue Flächen auf dem vorzugsweise rohrförmigen Zwischenteil des Sensorkörpers aufgebracht werden können. Eine bevorzugte Konstruktion beim Einsatz akustischer Wandler ergibt sich dadurch, daß je ein akustischer Wandler auf dem Zwischenteil in der Nähe der beiden gegenüberliegenden Schlüsselteile angebracht ist. Die Schlüsselteile haben eine auf die Längeneinheit bezogene Masse, die größer ist als diejenige des Zwischenteils. A special feature of the design is that the process connections unite Have key part, the partial of a preferably two-part housing is included, which the sensor elements receiving the intermediate part of the Protects sensor body against environmental influences and also an evaluating Electronics can accommodate. By surrounding the key part, it is not more possible that the sensor body can rotate relative to the housing. This The type of anti-rotation lock is not restricted to the geometry of a key part. You can also by gluing, asymmetrical cross section of this part or Pinning are generated. The process sequence for producing the sensor body can also be designed in such a way that a sensor base body for different sensory applications is made. The one for the special sensory elements required mechanical modifications of the Intermediate part of the sensor body, then become the last mechanical Process step carried out if it is known which type of sensor is used must become. This procedure enables an extremely inexpensive manufacture of the Sensor body. Through the key parts integrated in the sensor body, the are preferably designed as hexagonal or hexagonal, is an aligned repeated clamping, e.g. B. possible in a milling machine, so that very precise and precisely running surfaces on the preferably tubular intermediate part of the Sensor body can be applied. A preferred construction for Use of acoustic transducers results from the fact that one acoustic transducer each the intermediate part near the two opposite key parts is appropriate. The key parts have a unit of length Mass that is larger than that of the intermediate part.

Der Abstand eines Wandlers zu einem Schlüsselteil wird so gewählt, daß er vielfachen eines Viertels der akustischen Wellenlänge des Wandlers entspricht, die sich in Längsrichtung der inneren Rohrwandung ausbildet.The distance between a transducer and a key part is chosen so that it multiples of a quarter of the acoustic wavelength of the transducer, which is formed in the longitudinal direction of the inner tube wall.

Gleichzeitig wird die Entfernung des Innenabstandes der Schlüsselteile voneinander so bestimmt, daß sich bei Reflexion des akustischen Signales an einem Schlüsselteil am Ort der akustischen Wandler gerade ein minimales Signal ergibt. Damit sind akustische Störungen, die sich durch den Sensorkörper selbst ergeben, auf ein Minimum reduziert, so daß Schalleffekte innerhalb des strömenden Mediums die Störsignale überwiegen. Ähnliche Gesichtspunkte gelten auch, wenn Mikrowellensensoren mit elektrisch nicht leitende Sensorkörpern verwendet sind.At the same time, the distance between the key parts from each other so determined that when the acoustic signal is reflected on a key part gives a minimal signal at the location of the acoustic transducer. With that acoustic disturbances, which result from the sensor body itself Minimum reduced so that sound effects within the flowing medium Interference signals predominate. Similar considerations apply when Microwave sensors with electrically non-conductive sensor bodies are used.

In einer für akustisch, optisch und elektromagnetisch wirkende Sensorelemente besonders wirkungsvollen Ausbildung der Sensorflächen sind diese auf dem Zwischenteil so ausgerichtet, daß ihre Flächen-Normalen mit dem Strömungsvektor, der die den Sensorkörper durchsetzende Strömung in ihrer Geschwindigkeit und Richtung beschreibt, einen von 90° aufweichenden Winkel bildet. Hierdurch wird das sensorische Nutzsignal wesentlich verbessert.In one for acoustic, optical and electromagnetic sensor elements particularly effective training of the sensor surfaces are on the The intermediate part is aligned so that its surface normals match the flow vector, the velocity of the flow passing through the sensor body and Direction describes, forms an angle deviating from 90 °. This will sensory useful signal significantly improved.

Anhand von Anwendungsbeispielen wird die Erfindung näher erläutert.The invention is explained in more detail with the aid of application examples.

Fig. 1 zeigt einen Sensorkörper 1, der Prozeßanschlüsse 3, die mit je einem Schlüsselansatz 4 verbunden sind aufweist. Der Innenbereich des Sensorkörpers, der allgemein als Zwischenteil 5 bezeichnet ist, weist eine Bohrung 2 auf. Sein Außenbereich kann einen runden sechseckigen oder auch davon abweichend ausgebildeten Querschnitt aufweisen. In dem Zwischenteil 5 sind Sensorflächen 6 aufgebracht die eine kleinste Wandungsstärke 11 zur Innenbohrung hin von 0,2 bis 0,8 mm hat. In dem dargestellten Beispiel sind die Sensorflächen gegenüberliegend auf dem Zwischenteil ausgerichtet. Ihre Flächen-Normalen bilden miteinander einen Winkel von 0°. Es ist auch möglich, mehrere Flächen 12 auf dem Zwischenteil vorzusehen deren Normalen von Null abweichen, z. B. Flächen, deren Normalen 14 einen Winkel von 60° miteinander bilden. Diese Anordnung wird vorzugsweise für thermische Sensoren verwendet. Während ein Sensor 6 die Temperatur des durch die Bohrung 2 fließenden Mediums bestimmt, ist ein zweiter Sensor 6 zusätzlich beheizt und erfaßt nicht nur die Temperatur des Mediums, sondern auch die zusätzlich durch die Heizung erzeugte Temperatur. Ein periodisches Einschalten der Heizung ermöglicht die Anwendung nur eines Sensors. Fig. 1 shows a sensor body 1, the process connections 3, which are connected with one key approach has 4. The inner region of the sensor body, which is generally referred to as intermediate part 5 , has a bore 2 . Its outer area can have a round hexagonal cross section or a cross section that is different. In the intermediate part 5 , sensor surfaces 6 are applied which have a smallest wall thickness 11 of 0.2 to 0.8 mm towards the inner bore. In the example shown, the sensor surfaces are aligned opposite one another on the intermediate part. Their surface normals form an angle of 0 ° with each other. It is also possible to provide several surfaces 12 on the intermediate part, the normals of which deviate from zero, e.g. B. surfaces whose normals 14 form an angle of 60 ° with one another. This arrangement is preferably used for thermal sensors. While a sensor 6 determines the temperature of the medium flowing through the bore 2 , a second sensor 6 is additionally heated and detects not only the temperature of the medium but also the temperature additionally generated by the heater. Periodic switching on of the heating enables the use of only one sensor.

In Fig. 2, 3, 4 sind unterschiedliche Querschnitte des Zwischenteils 5 in der Vorderansicht aufgezeigt. Die bevorzugt für die Anbringung von Sensoren bestimmten, beispielhaft mit 6 bezeichneten Teile der Querschnitte, auch als Sensorflächen bezeichnet, können sich als Teiloberflächen des Zwischenteils 5 sowohl über dessen ganze Längenausdehnung hin erstrecken, wie sich auch nur am Ort der auf dem Innenteil 5 aufgebrachten Sensorelemente 9 befinden. In Fig. 2, 3, 4 different cross-sections of the intermediate part 5 are shown in the front view. The parts of the cross-sections, which are preferably intended for the attachment of sensors and are also designated as sensor surfaces by way of example with 6, can extend as partial surfaces of the intermediate part 5 both over its entire length, as well as only at the location of the sensor elements applied to the inner part 5 9 are located.

Fig. 5 zeigt ein zweiteiliges Gehäuse 7, das den Sensorkörper so weit umfaßt, daß der Schlüsselteil 4 und der Prozeßanschluß 3 frei zugänglich sind. In der Vorderansicht hat das Gehäuse nach Fig. 6 im Bereich des Schlüsselteiles dieselbe geometrische Form 13 wie der Schlüsselteil, so daß eine Verdrehung der beiden ineinandergreifenden Teile gegeneinander nicht möglich ist. Das Gehäuse wird durch ein oder mehrere, vorzugsweise Schraubverbindungen 8, zusammengehalten. Fig. 5 shows a two-part housing 7 , which comprises the sensor body so far that the key part 4 and the process connection 3 are freely accessible. In the front view, the housing according to FIG. 6 has the same geometric shape 13 as the key part in the area of the key part, so that it is not possible for the two interlocking parts to be rotated relative to one another. The housing is held together by one or more, preferably screw connections 8 .

Fig. 7 zeigt in der seitlichen Ansicht des Sensorkörpers mögliche Positionierungen von Sensorelementen 9 auf dem Zwischenteil 5, die auf den Sensorflächen aufgebracht sind, wobei sich die Sensorflächen 6 über die ganze Länge des Zwischenteils erstrecken, wie auch nur am Ort der Sensorelemente 9 sind. Die Flächen-Normalen der Sensorflächen 6 sind in dieser Darstellung zueinander parallel und bilden mit dem die Strömung beschreibenden Strömungsvektor 15 einen Winkel von 90°. Je nach gewählter Anwendung können ein oder mehrere der Sensorflächen von der Parallelität untereinander abweichen und/oder zum Strömungsvektor 15 von 90° verschiedene Winkel aufweisen. Fig. 7 shows in the side view of the sensor body possible positionings of sensor elements 9 on the intermediate part 5, which are applied to the sensor surfaces, wherein said sensor surfaces 6 extend over the entire length of the intermediate part as well are only at the location of the sensor elements 9. The surface normals of the sensor surfaces 6 are parallel to one another in this illustration and form an angle of 90 ° with the flow vector 15 describing the flow. Depending on the selected application, one or more of the sensor surfaces can differ from the parallelism with one another and / or have angles different from 90 ° to the flow vector 15 .

Fig. 8 zeigt ein Sensorsystem, bei dem die auf den Sensorflächen 6 aufgebrachten Sensorelemente 9, 10 jeweils zu den Schlüsselteilen 4 hin verschoben sind. In diesem Beispiel ist das Sensorelement 9 ein Ultraschall-Sender, das Sensorelement 10 ein Empfänger. Der Abstand der Sensorelemente 9, 10 zueinander ist so gewählt, daß die akustische Übertragung innerhalb der Wandungen des Zwischenteils 5 durch Interferenzen, die sich durch Reflexionen an dem nahen und fernen Schlüsselteil ergeben, am Ort der Sensorelemente minimiert sind. Die größere Masse des Schlüsselteiles wirkt als Reflektor für Schallsignale, die aus dem Bereich der an die Prozeßanschlüsse angeschlossenen äußeren Rohre kommen. Fig. 8 shows a sensor system in which the force applied to the sensor surfaces 6 sensor elements 9, 10 are shifted to the key parts of 4 out. In this example, sensor element 9 is an ultrasound transmitter, sensor element 10 is a receiver. The spacing of the sensor elements 9 , 10 from one another is selected such that the acoustic transmission within the walls of the intermediate part 5 is minimized at the location of the sensor elements by interference which results from reflections on the near and far key part. The larger mass of the key part acts as a reflector for sound signals that come from the area of the outer pipes connected to the process connections.

Bei sehr starken Störsignalen aus diesem Bereich kann das Gehäuse 7 auch metallisch gefertigt sein, so daß durch die gute akustische Verbindung der Schlüsselflächen und des Gehäuses miteinander ein akustischer Kurzschluß in Bezug auf das innen gelegene sensorische System eintritt. In einer hier nicht dargestellten, sehr wirkungsvollen Anordnung, bilden die Normalen der Sensorflächen 6 mit dem die Strömung beschreibenden Strömungsvektor 15 einen von 90° abweichenden Winkel, wobei die Wirkungsrichtung der Sensorelemente aufeinander zugeneigt ist.In the case of very strong interference signals from this area, the housing 7 can also be made of metal, so that due to the good acoustic connection between the key surfaces and the housing, an acoustic short circuit occurs with respect to the internal sensor system. In a very effective arrangement (not shown here), the normals of the sensor surfaces 6 form an angle deviating from 90 ° with the flow vector 15 describing the flow, the direction of action of the sensor elements being inclined towards one another.

Claims

1. Sensor system, based on a sensor body that can be inserted into a line system with inner bore, which together with on the outside of the sensor body applied sensor elements the flow state of the inner bore flowing medium detected, with a sensor body that is dumbbell-shaped is formed and consists of a homogeneous material, where on the end Sensor body process connections are provided, each with one end attached key part, with a reduced outer diameter of the In between between these two key parts, and with at least one on the surface attached to the intermediate part, on which sensor elements are applied, and where these sensor elements do not break through the wall of the inner bore.

2. Sensor system according to claim 1, characterized in that sensor elements are used, their function on an optical, thermal, acoustic or electromagnetic principle.

3. Sensor system according to claim 1 and 2, characterized in that the Sensor body is comprised of a housing, which is formed in several parts, one part a key part, which is preferably designed as a hexagon or hexagon, includes.

4. Sensor system according to claim 1 to 3, characterized in that on the outside the intermediate part, which is preferably tubular, two each other opposing surfaces for attaching sensors in the way are incorporated that the smallest wall thickness of the intermediate part for Inner bore is 0.2 to 0.8 mm.

5. Sensor body according to claim 4, characterized in that on the surfaces or several temperature measuring elements are applied, at least one Temperature measuring element is additionally heated.

6. Sensor system according to one or more of claims 1 to 5, characterized characterized in that at least one surface towards a key part of the Sensor body is moved.

7. Sensor system according to one or more of claims 1-6, characterized characterized in that microwave sensors are used as sensor elements.

8. Sensor system according to one or more of claims 1-7, characterized gekennzeichent that the sensor system made of metal, plastic or a mineral material, preferably a ceramic, is made.

9. Sensor system according to one or more of claims 1-8, characterized characterized in that the sensor surface normal deviates from 90 ° Forms an angle with the flow vector.

10. Sensor system according to one or more of claims 1-9, characterized characterized in that the key parts of the sensor body one or more Have surfaces.

11. Sensor system according to one or more of claims 1-10, characterized characterized in that one or more sensor surfaces over the whole Extend the length of the intermediate part or only at the location of the the intermediate part applied sensor elements.

12. Method for producing a sensor system based on one in one Line system insertable sensor body with inner bore, which together with on the sensor body applied to the outer wall of the sensor elements, one Flow state of a medium flowing through the inner bore detected with a sensor body, which is preferably made of a rod-shaped material is homogeneously one-piece, machined, in a first step an inner bore is made in the material, with a second step, the free material end creates a process connection, with a third step, the a part of the material opposite the free end of the material a second Process connection created, with a fourth step, one at each material end Key part provides for a fifth step, which is the material thickness of the intermediate the key parts of the inner area, the intermediate part, reduced with a sixth step, the at least two surfaces on the intermediate part for the Attachment of sensor elements provides without the wall for Inner hole is broken.

13. The method according to claim 12, characterized in that two or more Process steps for producing the sensor system in one step are summarized or their order has been changed.

14. The method according to claim 12 and 13, characterized in that sensor elements applied to the intermediate part, which is preferably designed as a tube be, their function on an optical, thermal, acoustic or electromagnetic principle.

15. The method according to claim 12 to 14, characterized in that the sensor body is comprised of a housing which is formed in several parts, part of a Key part includes.

16. The method according to any one of claims 12 to 15, characterized in that the In a last step, the sensor housing with an evaluating the sensor signal Electronics is provided.