DE10033631A1

DE10033631A1 - Device for removing a quartz glass crucible from a mold comprises a bearing body to fix against opposite-lying sections of the wall of the crucible

Info

Publication number: DE10033631A1
Application number: DE2000133631
Authority: DE
Inventors: Johann Leist
Original assignee: Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Current assignee: Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority date: 2000-07-11
Filing date: 2000-07-11
Publication date: 2002-01-31
Anticipated expiration: 2020-07-12
Also published as: DE10033631B4

Abstract

Device for removing a quartz glass crucible from a mold comprises a bearing body (6) to fix against opposite-lying sections (7) of the wall (5) of the crucible. Preferred Features: The bearing body includes a volume (V) with the wall, the volume being bombarded with a pressure difference compared with the atmospheric pressure. The device has several bearing bodies evenly distributed on the periphery of the quartz glass crucible.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelzform mit einem gegen eine Wandung des Quarzglastiegels kraft schlüssig fixierbaren, flexiblen Auflagekörper.The invention relates to a device for removing a quartz glass crucible a melting mold with a force against a wall of the quartz glass crucible conclusively fixable, flexible support body.

Eine solche Vorrichtung, deren Auflagekörper mit einem Saugteller versehen ist, um so einen ausreichenden Kraftschluß zu erreichen, wird in der Praxis vielfach zum Herausheben von Quarzglastiegeln aus der Schmelzform verwendet und zählt somit zum Stand der Technik. Ein mit einem oder auch mehreren Saugtellern ausgestat teter Auflagekörper stellt in der Praxis häufig die einzige praktikable Möglichkeit dar, die zum Herausheben des Quarzglastiegels aus der Schmelzform erforderliche Hubkraft aufzubringen, da die im wesentlichen glatte Oberfläche der Wandung weder Angriffspunkte für ein formschlüssig fixierbares Hubmittel bietet, noch manu elles Herausheben des Quarzglastiegels gestattet. Der hierzu beispielsweise als Teller ausgestaltete Saugkörper wird hierzu auf einem im wesentlichen ebenen Bo den des Tiegels aufgesetzt und anschließend das von dem Saugteller und dem Bo den eingeschlossene Volumen evakuiert. Je nach Größe und Gewicht des Quarz glastiegels kommen hierbei bis zu 6 der Saugteller zum Einsatz.Such a device, the support body is provided with a suction plate to to achieve such a sufficient adhesion is in practice often Lifting quartz glass crucibles out of the melting mold is used and therefore counts the state of the art. One equipped with one or more suction plates In practice, the support body is often the only practicable option the one required to lift the quartz glass crucible out of the melting mold Apply lifting power because of the essentially smooth surface of the wall offers neither points of attack for a form-fit fixable lifting device, nor manu The quartz glass crucible can be lifted out. The example of this as Plate-shaped suction body is for this purpose on an essentially flat Bo put on that of the crucible and then that of the suction plate and the Bo evacuates the enclosed volume. Depending on the size and weight of the quartz glass crucible up to 6 of the suction plates are used.

Als nachteilig hat sich bei dem beschriebenen Stand der Technik herausgestellt, daß der zum Herausheben des Quarzglastiegels erforderliche Anpressdruck für einen zuverlässigen Kraftschluß in der Praxis zugleich auch mit einer unvermeidli chen Beeinträchtigung der Oberflächengüte im Bereich des Auflagekörpers verbun den ist. So sind neben Verschmutzungen durch Abrieb auch Kratzer an der Innenoberfläche des Tiegels nachweisbar, die aufgrund der hohen Qualitätsanforderungen insbesondere an solche Quarzglastiegel, die als Ausgangsprodukt für die Halbleiterfertigung dienen, zu unbrauchbaren Ergebnissen und damit zu Ausschuß führen.It has been found to be disadvantageous in the prior art described that that the contact pressure required to lift the quartz glass crucible for a reliable adhesion in practice at the same time with an inevitable Chen impairment of the surface quality in the area of the support body that is. In addition to soiling from abrasion, there are also scratches on the The inner surface of the crucible is detectable due to the high quality requirements in particular to those quartz glass crucibles that are used as the starting product for the Semiconductor manufacturing serve to useless results and thus to rejects to lead.

Zur Vermeidung des genannten Problems ist bereits daran gedacht worden, den Auflagekörper in einen Randbereich oberhalb einer Schnittlinie des Glastiegels zu positionieren. Dieser Randbereich wird dann in einem nachfolgenden Arbeitsschritt, insbesondere zum Erreichen des Sollmaßes bzw. zur Vermeidung von unsauberen Kanten, abgetrennt und ist somit für die Qualität des Glastiegels unerheblich. Als problematisch hat sich dabei jedoch die ungünstige Wirkrichtung bei der Krafteinlei tung des gegen die Wandung des Tiegels anliegenden Auflagekörpers erwiesen, die dabei nicht senkrecht sondern im wesentlichen parallel zur Auflagefläche des Aufla gekörpers erfolgt. Je nach der erforderlichen Hubkraft führt dies in der Praxis dazu, daß die Saugteller an der Wandung abgleiten bzw. ausgehebelt werden. Erschwe rend kommt hinzu, daß die Wandung, anders als der Boden des Quarzglastiegels, bezüglich der Auflagefläche eine starke Wölbung aufweist, und der nötige Kraft schluß dadurch zusätzlich erschwert wird.To avoid the problem mentioned, it has already been considered Support body in an edge area above a cut line of the glass crucible position. This edge area is then in a subsequent step, in particular to achieve the target size or to avoid unclean Edges, separated and is therefore irrelevant to the quality of the glass crucible. As However, the unfavorable direction of action when applying force has been problematic tion of the support body against the wall of the crucible has been proven not perpendicular but essentially parallel to the contact surface of the support body takes place. Depending on the required lifting force, this leads in practice to that the suction plate on the wall slide off or are levered out. Erschwe In addition, the wall, unlike the bottom of the quartz glass crucible, has a strong curvature with respect to the contact surface, and the necessary force conclusion is thereby made more difficult.

Es sind zur Überwindung des Problems auch bereits Vorrichtungen bekannt, bei denen die Schmelzform schwenkbar ist, um so den hinderlichen Einfluß der Schwerkraft zu verringern oder auch durch Schwenken um 180° derart zu nutzen, daß ein verminderter Kraftschluß für eine zuverlässige Entnahme ausreicht. Auf diese Weise lassen sich Kratzspuren oder Verschmutzungen durch die Saugteller erheblich verringern oder auch vollkommen vermeiden. Aufgrund des erheblichen Aufwandes, der mit einer hierbei erforderlichen Schwenkeinrichtung verbunden ist, scheidet diese Lösung zumindest bei bereits vorhandenen Vorrichtungen aus.Devices are also known for overcoming the problem which the melting mold is pivotable, so the adverse influence of Reduce gravity or use it by swiveling through 180 °, that a reduced adhesion is sufficient for a reliable removal. On this way scratch marks or dirt can be caused by the suction plate reduce significantly or avoid completely. Because of the substantial Effort associated with a swivel device required here this solution is ruled out at least in the case of existing devices.

Vor diesem Hintergrund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Entnahme eines Glastiegels zu schaffen, durch die eine Beeinträchtigung der Oberfläche in dem für die Qualität des Endproduktes entscheidenden Bereich un terhalb einer vorbestimmten Schnitthöhe vermieden wird. Hierbei soll der erforderli che Herstellungsaufwand gering gehalten werden, wobei insbesondere auf eine schwenkbare Schmelzform verzichtet werden kann.Against this background, the invention has for its object a device to create a glass crucible, by which an impairment of Surface in the area decisive for the quality of the end product is avoided below a predetermined cutting height. Here, the required che manufacturing costs are kept low, in particular to one pivotable melting mold can be dispensed with.

Diese Aufgabe wird gelöst mit einer Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Patent anspruchs 1. Die Unteransprüche betreffen besonders zweckmäßige Weiterbildun gen der Erfindung. This object is achieved with a device according to the features of the patent entitlement 1. The sub-claims relate to particularly expedient further training gene of the invention.

Erfindungsgemäß ist also vorgesehen, daß die Vorrichtung mit ihrem Auflagekörper zur kraftschlüssigen Fixierung zugleich gegen einander gegenüberliegende Ab schnitte der Wandung des Quarzglastiegels anlegbar ist. Hierdurch wird es möglich, den für das Herausheben des Quarzglastiegels aus der Schmelzform erforderlichen Kraftschluß zwischen dem Auflagekörper und der Wandung in einem oberhalb der Schnitthöhe befindlichen unkritischen Randbereich herzustellen und damit eine mögliche Beeinträchtigung der Oberfläche auf einen für die Qualitätsanforderungen an den Quarzglastiegel nicht relevanten Abschnitt der Wandung zu beschränken. Der erforderliche Kraftschluß wird dabei im wesentlichen durch die Spreizung auf gebracht, so daß die Kontur der Wandung von untergeordneter Bedeutung ist und die Belastbarkeit der Fixierung nicht beeinflußt. Der Auflagekörper ist an einander gegenüberliegenden Abschnitten verspannt, die hierzu nicht parallel zueinander sein müssen, so daß der erforderliche Kraftschluß auf vergleichsweise großflächige Abschnitte der Wandung verteilt werden kann. Der Herstellungsaufwand kann dabei zugleich vergleichsweise gering gehalten werden, da insbesondere eine schwenk bare Schmelzform entfällt und damit die Anwendbarkeit bei gewöhnlichen Schmelz vorrichtungen ohne weiteres gegeben ist.According to the invention it is therefore provided that the device with its support body for frictional fixation at the same time against opposite Ab cuts the wall of the quartz glass crucible can be created. This makes it possible necessary for lifting the quartz glass crucible out of the melting mold Non-positive connection between the support body and the wall in one above the To produce the uncritical edge area located and thus a possible impairment of the surface on one for the quality requirements to limit the section of the wall that is not relevant to the quartz glass crucible. The required adhesion is essentially due to the spread brought so that the contour of the wall is of secondary importance and does not affect the resilience of the fixation. The support body is against each other opposite sections braced, which are not parallel to each other must be, so that the required adhesion on comparatively large areas Sections of the wall can be distributed. The manufacturing effort can be kept comparatively low at the same time, since in particular a swivel There is no meltable form, which means that it cannot be used with ordinary enamel devices is readily available.

Der Kraftschluß kann hierzu durch eine elastische Verformung des flexiblen Aufla gekörpers erreicht werden, wobei beispielsweise auch die Rückstellkraft eines Fe derelementes oder auch eine selbsttätige Spreizung unter dem Einfluß der nachfol gend aufgebrachten Hubkraft genutzt werden kann. Besonders vorteilhaft ist jedoch eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung, deren Auflagekörper mit der Wandung ein Volumen einschließt, welches zur kraftschlüssigen Verbindung des Auflagekörpers mit der Wandung mit einer Druckdifferenz gegenüber dem Um gebungsdruck beaufschlagbar ist. Hierdurch kann der erforderliche Kraftschluß durch eine Anpassung der hierzu erforderlichen Druckdifferenz optimal auf die je weiligen Eigenschaften des Quarzglastiegels bzw. der Entnahmebedingungen an gepaßt werden. Daher wird der erforderliche Kraftschluß, gegenüber einer rein me chanischen Spreizung, bei der im wesentlichen ein wegabhängiger Kraftschluß ent steht, zuverlässig auch bei einer mehrfach gewölbten Oberfläche der Wandung des Tiegels erreicht. Mehrere Auflagekörper der Vorrichtung können hierzu sowohl zen tral durch eine gemeinsame Pumpe versorgt oder einzeln unabhängig voneinander mit einer jeweils erforderlichen Druckdifferenz beaufschlagt werden. Der Auflage körper kann dabei eine annähernd beliebige Kontur aufweisen, insbesondere sind dabei sowohl gestreckte als auch im wesentlichen kreisförmige Gestaltungen des Auflagekörpers entsprechend der jeweiligen Größe bzw. der Kontur des Quarzgla stiegels problemlos realisierbar und wahlweise zur schnellen Anpassung an ver schiedene Quarzglastiegel auch auswechsebar.The frictional connection can this by an elastic deformation of the flexible Aufla body can be achieved, for example, the restoring force of an Fe derelementes or an automatic spread under the influence of the successor the lifting force applied can be used. However, it is particularly advantageous an embodiment of the device according to the invention, the support body with the wall encloses a volume, which is used for the positive connection of the support body with the wall with a pressure difference compared to the order pressure can be applied. This allows the required adhesion by adapting the required pressure difference optimally to each due to the properties of the quartz glass crucible or the removal conditions be fitted. Therefore, the required adhesion, compared to a pure me chanic spread, in which essentially a path-dependent traction ent stands reliably even with a multi-curved surface of the wall of the Tiegel reached. Several support bodies of the device can both zen tral powered by a common pump or individually independently with a pressure difference required in each case. The edition Body can have an almost arbitrary contour, in particular are both elongated and essentially circular designs of the Support body according to the size or contour of the quartz glass Riegelels can be easily implemented and optionally for quick adaptation to ver Different quartz glass crucibles can also be replaced.

Hierzu ist eine besonders günstige Ausgestaltung der Erfindung dadurch gegeben, daß der Auflagekörper durch Befüllen mit einem Fluid (Druckluft) gegen die Wan dung kraftschlüssig anlegbar ist. Der Auflagekörper kann dadurch in einfacher Wei se mit einem vergleichsweise hohen Druck gegen die Wandung des Quarzglastie gels kraftschlüssig angelegt werden. Dabei eignen sich sowohl im wesentlichen in kompressibie Flüssigkeiten als auch Gase, wobei auch Formtoleranzen des Tiegels mühelos ausgeglichen werden können. Der Auflagekörper wird hierzu zunächst mit geringem Abstand zu der Wandung in den Quarzglastiegel eingeführt und anschlie ßend mit dem Fluid befüllt. Hierzu sind sowohl eine beliebige Anzahl unabhängiger Auflagekörper als auch ein großflächiger und sich über die gegenüberliegenden Abschnitte der Wandung erstreckender Auflagekörper realisierbar.For this purpose, a particularly favorable embodiment of the invention is provided by that the support body by filling with a fluid (compressed air) against the tub application can be frictionally applied. The support body can thereby in simple Wei se with a comparatively high pressure against the wall of the quartz glass gels are applied non-positively. Both are essentially suitable in compressible liquids as well as gases, including shape tolerances of the crucible can be easily balanced. The support body is initially used for this Small distance to the wall inserted in the quartz glass crucible and then filled with the fluid. Any number are independent Support body as well as a large area and over the opposite Sections of the wall-extending support body can be realized.

Demgegenüber ist eine andere besonders zweckmäßige Weiterbildung der Erfin dung dann gegeben, wenn der Auflagekörper durch Evakuierung des zwischen der Wandung und dem Auflagekörper eingeschlossenen Volumens gegen die Wandung kraftschlüssig anlegbar ist. Hierdurch entsteht eine Druckdifferenz innerhalb des eingeschlossenen Volumens gegenüber dem Umgebungsdruck, wobei die hierdurch aufgebrachte, in radialer Richtung wirkende Saugkraft durch die jeweils gegenüber liegenden und im wesentlichen mit der gleichen Saugkraft beaufschlagten Auflage körper ausgeglichen wird. Es entsteht somit eine resultierende, insbesondere radiale Wirkkraft, so daß der Quarzglastiegel im Gegensatz zu druckbefüllten Aufla gekörpern, nicht auf Zugspannung, sondern im wesentlichen auf Druckspannung beansprucht wird und so mühelos aus der Schmelzform entnommen werden kann.In contrast, another particularly useful further training is the Erfin given if the support body is evacuated between the Wall and the support body enclosed volume against the wall can be frictionally applied. This creates a pressure difference within the enclosed volume compared to the ambient pressure, the thereby applied suction force acting in the radial direction by the opposite lying and essentially with the same suction force applied support body is balanced. A resulting, in particular, arises radial force, so that the quartz glass crucible in contrast to pressure-filled Aufla bodies, not on tensile stress, but essentially on compressive stress is claimed and can be easily removed from the enamel mold.

Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung ist dabei dadurch gegeben, daß der Auflagekörper einen mittels der Federkraft eines Federelementes gegen die Wandung vorspannbaren Saugteller hat. Hierdurch kann der Auflagekörper durch das Federelement zunächst in der gewünschten Position an der Wandung fixiert werden, um anschließend den nötigen Kraftschluß zwischen dem Auflagekörper und der Wandung durch die Druckdifferenz herzustellen. Die Handhabung wird dabei insbesondere bei der Verwendung mehrerer Auflagekörper wesentlich erleichtert. A particularly advantageous development of the invention is given by that the support body against the by means of the spring force of a spring element Wall has preloadable suction plates. As a result, the support body can the spring element is first fixed to the wall in the desired position are then to the necessary adhesion between the support body and the wall by the pressure difference. The handling will significantly easier, especially when using several support bodies.

Hierbei kann insbesondere auch ein zentralbetätigbares Federelement für eine be liebige Anzahl der Auflagekörper zum Einsatz kommen.Here, in particular, a centrally operable spring element for a be any number of support bodies can be used.

Dabei ist es besonders zweckmäßig, wenn die Vorrichtung mehrere am Umfang des Quarzglastiegels gleich verteilte gegen die Wandung anlegbare Auflagekörper hat. Hierdurch können die für den notwendigen Kraftschluß erforderlichen Anpresskräfte über den Umfang des Tiegel gleichmäßig aufgebracht werden und dadurch uner wünschte Spannungen in der Wandung des Quarzglastiegels verhindert werden. Hierzu sind insbesondere sich von der Mitte des Tiegels aus radial erstreckende und paarweise gegenüberliegende Auflagekörper geeignet.It is particularly useful if the device several on the circumference of the Quartz glass crucible has evenly distributed support bodies that can be placed against the wall. As a result, the pressing forces required for the necessary adhesion can be achieved be applied evenly over the circumference of the crucible and thereby un desired tensions in the wall of the quartz glass crucible can be prevented. For this purpose, radially extending from the center of the crucible and pairs of opposing support bodies are suitable.

Eine andere ebenfalls sehr empfehlenswerte Ausgestaltung der vorliegenden Erfin dung wird dadurch erreicht, daß der Auflagekörper als eine umlaufend gegen die Wandung anlegbare Dichtung ausgeführt ist. Hierdurch erfordert die Vorrichtung lediglich einen Auflagekörper, der sich hierbei am vollen Umfang des Quarzglastie gels über gegenüberliegende Abschnitte der Wandung erstreckt. Neben einem ver einfachten konstruktiven Aufbau der Vorrichtung wird dadurch auch eine gleichmä ßige Druckverteilung über die verschiedenen Abschnitte der Wandung sichergestellt und somit ein hoher Kraftschluß bei zugleich geringer Beanspruchung der Oberflä che der Wandung sichergestellt. Die Dichtung kann hierzu beispielsweise ringförmig ausgeführt sein, wobei der Kraftschluß mit der Wandung durch eine mechanische Verformung oder aber auch durch Befüllung der hierzu insbesondere als Schlauch ausgeführten Dichtung erreicht wird.Another very recommendable embodiment of the present invention manure is achieved in that the support body as a circumferential against the Wall seal can be created. This requires the device just a support body, which is here on the full circumference of the quartz glass gel extends over opposite sections of the wall. In addition to a ver simple construction of the device is thereby also an even ensured pressure distribution over the different sections of the wall and thus a high adhesion with low stress on the surface surface of the wall. For this purpose, the seal can be ring-shaped, for example be carried out, the frictional connection with the wall by a mechanical Deformation or also by filling this, in particular as a hose executed seal is reached.

Die umlaufende Dichtung kann hierzu an einem ringförmigen Tragkörper angeord net sein, welcher durch eine Öffnung den Zugang zum Boden des Quarzglastiegels ermöglicht. Eine andere besonders wirkungsvolle Ausführungsform der Erfindung ist hingegen dann gegeben, wenn die Vorrichtung mit dem Auflagekörper derart um laufend gegen die Wandung des Tiegelsanlegbar ist, daß dabei zugleich eine Öff nung des Tiegels gegenüber der Umgebung dichtend verschlossen ist. Daher wird das Innere des Quarzglastiegels durch die Vorrichtung ähnlich eines Ver schlussstopfens vollständig eingeschlossen, so daß äußere Einflüsse vom Inneren des Quarzglastiegels gänzlich ferngehalten werden. Somit können Verschmutzun gen oder Beeinträchtigungen der Oberfläche der Wandung zuverlässig ausge schlossen werden. Der nötige Kraftschluß kann einerseits durch eine mechanische Anpresskraft gegen die Wandung, andererseits auch durch Evakuierung des gesamten durch die Vorrichtung im Innenraum des Tiegels eingeschlossenen Volu mens erreicht werden. Die hierdurch bezüglich des Umgebungsdruckes erreichbare Druckdifferenz führt zu einem äußerst wirkungsvollen Kraftschluß, durch den selbst Quarzglastiegel mit einem hohen Eigengewicht mühelos aus der Schmelzform ent nommen werden können.For this purpose, the circumferential seal can be arranged on an annular support body be net, which through an opening access to the bottom of the quartz glass crucible allows. Another particularly effective embodiment of the invention is on the other hand, given when the device with the support body in such a way is continuously against the wall of the crucible that an opening voltage of the crucible is sealed off from the environment. Therefore the inside of the quartz glass crucible through the device similar to a ver stopper completely enclosed, so that external influences from the inside of the quartz glass crucible should be kept entirely away. So pollution can conditions or impairments of the surface of the wall be closed. The necessary adhesion can be done on the one hand by a mechanical Pressing force against the wall, on the other hand also by evacuation of the whole Volu enclosed by the device in the interior of the crucible mens can be reached. The one that can be achieved in relation to the ambient pressure Pressure difference leads to an extremely effective frictional connection, through which itself Easily remove quartz glass crucibles with a high weight from the melting mold can be taken.

Hierzu ist eine besonders einfache Abwandlung der Dichtung dadurch gegeben, daß der Auflagekörper durch eine Druckdifferenz des zwischen der Wandung und dem Auflagekörper eingeschlossenen Volumens gegenüber der Umgebung selbst tätig gegen die Wandung kraftschlüssig anlegbar ist. Hierdurch wird die Vorrichtung lediglich in den Tiegel eingeführt und positioniert, wobei die Dichtung bereits gegen die Wandung dichtend anliegt. Durch die Druckdifferenz, insbesondere durch Eva kuierung des Quarzglastiegels, entsteht ohne weiteres ein ausreichender Kraft schluß, durch den eine belastbare Verbindung zwischen Tiegel und Vorrichtung erreicht wird. Die Vorrichtung kann anschließend nach erfolgtem Druckausgleich problemlos aus dem Tiegel entnommen werden.For this purpose, a particularly simple modification of the seal is given by that the support body by a pressure difference between the wall and the enclosed body volume compared to the environment itself can be positively applied against the wall. This will make the device just inserted and positioned in the crucible, with the seal already against the wall is sealed. By the pressure difference, especially by Eva of the quartz glass crucible, sufficient force is readily created conclusion, through which a resilient connection between the crucible and the device is achieved. The device can then after pressure equalization can be easily removed from the crucible.

Hierbei ist es besonders vorteilhaft, wenn die Vorrichtung mit einem Anschlag aus gestattet ist, der ein Abgleiten des Auflagekörpers entlang der Wandung verhindert. Dieser Anschlag verhindert somit, daß die Druckdifferenz zwischen dem einge schlossenen Volumen und der Umgebung zu einer Verschiebung der Vorrichtung aus ihrer vorbestimmten Position in das Innere des Quarzglastiegels führt. Bei der Evakuierung des Volumens wird dabei das Abgleiten der Vorrichtung verhindert, indem der Anschlag den Randbereich des Tiegels umgreift. Dieser Anschlag ist da bei zweckmäßig auf verschiedene Quarzglastiegelgrößen einstellbar und beispiels weise zum erleichterten Einfügen in den Tiegel von einer Ruheposition in eine Ge brauchsposition beweglich.It is particularly advantageous here if the device is made with a stop is permitted, which prevents the support body from sliding along the wall. This stop thus prevents the pressure difference between the on closed volume and the environment to a displacement of the device leads from their predetermined position into the interior of the quartz glass crucible. In the Evacuation of the volume prevents the device from sliding, by reaching around the edge of the crucible. This attack is there at expediently adjustable to different quartz glass crucible sizes and example way to facilitate insertion into the crucible from a rest position into a Ge working position movable.

Die Erfindung läßt zahlreiche Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips sind drei davon in der Zeichnung dargestellt und werden nach folgend beschrieben. Diese zeigt inThe invention permits numerous embodiments. For further clarification Their basic principle shows three of them in the drawing and are based on described below. This shows in

Fig. 1 in einer geschnittenen Seitenansicht eine erfindungsgemäße Vor richtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelz form, Fig. 1 shows a sectional side view of an inventive pre direction of the removal of a quartz glass crucible of a melt form,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung mit dem Tiegel und der Schmelzform, Fig. 2 is a plan view of that shown in Fig. 1 apparatus with the crucible and the melt form,

Fig. 3 in einer geschnittenen Seitenansicht eine Vorrichtung für die Ent nahme des Tiegels mit einem als umlaufende Dichtung aus geführten Auflagekörper, Fig. 3 shows a sectional side view of an apparatus for the acquisition of the crucible with a Ent as a circumferential seal made of guided supporting body,

Fig. 4 eine Draufsicht auf die in Fig. 3 gezeigte Vorrichtung, Fig. 4 is a plan view of that shown in Fig. 3 device,

Fig. 5 in einer vergrößerten seitlichen Schnittdarstellung eine lediglich abschnittsweise dargestellte weitere Ausführungsform einer Vor richtung mit einem umlaufenden Auflagekörper. Fig. 5 in an enlarged sectional side view of a further embodiment of a device shown only in sections with an encircling support body.

In allen Figuren weisen gleiche Bauteile beziehungsweise Bauteilabschnitte die gleiche Bezifferung auf.In all figures, the same components or component sections have the same numbering.

Fig. 1 zeigt in einer geschnittenen Seitenansicht eine Vorrichtung 1 für die Ent nahme eines Quarzglastiegels 2 aus einer Schmelzform 3. Der Quarzglastiegel 2 ist in der Schmelzform 3 angeordnet und weist eine im wesentlichen glatten Wandung 5 auf, die keinerlei Fixiermöglichkeit für eine formschlüssige Verbindung bietet. In einem oberen Randbereich 4 nimmt die Dicke der Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 kontinuerlich auslaufend ab. Um die erforderliche Hubkraft aufbringen zu können, hat die Vorrichtung 1 mehrere flexible Auflagekörper 6, die jeweils gegen einen Ab schnitt 7 der Wandung 5 anliegen. Die Auflagekörper 6 sind einander gegenüberlie gend am Umfang des Glastiegels 2 gleich verteilt angeordnet, so daß hierdurch eine zuverlässige kraftschlüssige Verbindung erreicht wird. Hierzu wird ein durch den Auflagekörper 6 und die Wandung 5 eingeschlossenes Volumen V mittels einer nicht dargestellten Pumpe evakuiert, so daß durch die so erzeugte Druckdifferenz eine ausreichende Anpresskraft des Auflagekörpers 6 gegen die Wandung 5 er reicht wird. Zur vereinfachten Handhabbarkeit sind die einzelnen Auflagekörper 6 jeweils mittels einer weiteren Vakuumleitung entgegen der Federkraft eines Fe derelementes 8 gegen der Wandung 5 zurücksetzbar, um so die Vorrichtung 1 mü helos durch eine Öffnung 9 des Tiegels 2 einführen und in einfacher Weise oberhalb einer Schnitthöhe 10 und unterhalb des Randbereiches 4 des Quarzglastiegels 2 positionieren zu können. Hierbei sind die Auflagekörper 6 jeweils mit einer Versor gungsleitung 11 in einem gemeinsamen Tragkörper 12 radial verschiebbar geführt und ermöglichen so eine flexible Anpassung an unterschiedliche Formen des Quarzglastiegels 2. Eine mögliche Beeinträchtigung der Wandung 5 des Tiegels 2 durch Verschmutzung oder Kratzer ist durch die Positionierung der Auflagekörper 6 zwischen Randbereich 4 und Schnitthöhe 10, an der in einem nachfolgenden Ar beitsgang Tiegel 2 der abgetrennt wird, für die Qualität des Endproduktes unbeacht lich. Fig. 1 shows a sectional side view of a device 1 for the Ent acquisition of a quartz glass crucible 2 from a melting mold 3rd The quartz glass crucible 2 is arranged in the melting mold 3 and has an essentially smooth wall 5 , which offers no possibility of fixing for a positive connection. In an upper edge region 4 , the thickness of the wall 5 of the quartz glass crucible 2 decreases continuously. In order to be able to apply the required lifting force, the device 1 has a plurality of flexible support bodies 6 , each of which bears against a section 7 of the wall 5 . The support body 6 are arranged opposite each other on the circumference of the glass crucible 2 so that a reliable positive connection is achieved. For this purpose, a volume V enclosed by the support body 6 and the wall 5 is evacuated by means of a pump (not shown), so that a sufficient contact force of the support body 6 against the wall 5 is sufficient due to the pressure difference generated in this way. To simplify handling, the individual support bodies 6 are each resetable by means of a further vacuum line against the spring force of a Fe derelementes 8 against the wall 5 , so as to insert the device 1 easily through an opening 9 of the crucible 2 and in a simple manner above a cutting height 10 and to be able to position below the edge region 4 of the quartz glass crucible 2 . Here, the support body 6 are each guided with a supply line 11 in a common support body 12 so that they can be flexibly adapted to different shapes of the quartz glass crucible 2 . A possible impairment of the wall 5 of the crucible 2 by dirt or scratches is irrelevant for the quality of the end product by the positioning of the support body 6 between the edge region 4 and the cutting height 10 , at which crucible 2 is separated in a subsequent operation.

Die vorstehend beschriebenen Zusammenhänge werden ergänzend auch in Fig. 2 beschrieben. Dabei sind zur besseren Übersichtlichkeit die Vorrichtung 1 mit ledig lich zwei einander gegenüberliegenden Auflagekörpern 6 dargestellt, während die Position weiterer Auflagekörper 6 durch eine gestrichelte Linie lediglich andeu tungsweise wiedergegeben. Die Auflagekörper 6 sind mittels der Versorgungslei tung 11 an dem gemeinsamen Tragkörper 12 radial verschiebbar geführt. Durch das jeweilige Federelement 8 wird dabei bereits eine Anpresskraft des Auflagekörpers 6 gegenüber der Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 erreicht, die eine einfache Posi tionierung ermöglicht und zum Erreichen eines ausreichenden Kraftschlusses für die erforderliche Hubkraft beiträgt. Die Auflagekörper 6 sind durch die Versorgungslei tung 11 mit dem Tragkörper 12 verbunden, wodurch eine gleichmäßige Evakuierung der Auflagekörper 6 mittels des zentralen Tragkörpers 12 erreicht wird.The relationships described above are also described in addition in FIG. 2. The device 1 with single Lich two opposite support bodies 6 are shown for better clarity, while the position of further support body 6 is only indicated by a dashed line. The support body 6 are guided radially displaceably by means of the supply line 11 on the common support body 12 . Through the respective spring element 8 , a contact force of the support body 6 with respect to the wall 5 of the quartz glass crucible 2 is already achieved, which enables simple positioning and contributes to achieving a sufficient force fit for the required lifting force. The support body 6 are connected by the supply line 11 to the support body 12 , whereby a uniform evacuation of the support body 6 is achieved by means of the central support body 12 .

Demgegenüber zeigt Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung 13, bei der die Öffnung 9 des Quarzglastiegels 2 zwischen Randbereich 4 und Schnitthöhe 10 durch die abgewandelte Vorrichtung 13 gegenüber der Umgebung vollständig verschließbar ist. Hierzu hat die Vorrichtung 13 einen Tragkörper 14, der mit einem gegen die Wandung 5 des Tiegels 2 umlaufend anliegenden und als Dichtung ausgeführten Auflagekörper 15 ausgestattet ist. Hierdurch wird ein gegen über der Umgebung abgeschlossenes und durch den Auflagekörper 15 und die Wandung 5 des Glastiegels 2 eingeschlossenes Volumen V begrenzt. Der Auflage körper 15 ist hierzu mittels einer zentralen Versorgungsleitung 16 mit einem Fluid, insbesondere Druckluft, befüllbar und dadurch dichtend gegen die Wandung 5 an legbar. Das eingeschlossene Volumen V kann daher anschließend durch eine Öff nung 17 mittels einer nicht dargestellten Pumpe evakuiert werden, so daß sich durch die Druckdifferenz zwischen dem eingeschlossenen Volumen V und dem Umgebungsdruck der erforderliche Kraftschluß einstellt. Die Vorrichtung 13 ist hier zu mit einem Anschlag 18 ausgestattet, der gegen die Schmelzform 3 anlegbar ist. Ein Abgleiten des Tragkörpers 14 an der Wandung 5 in das Innere des Tiegels 2 wird unter dem Einfluß der Druckdifferenz durch den Anschlag 18 verhindert. Weiterhin hat die Vorrichtung 13 einen Sensor 19 zur Bestimmung der Position der Vor richtung 13 bezogen auf einen Boden 20 des Tiegels 2, durch den insbesondere die zuverlässige Einhaltung einer Position der Vorrichtung 13 oberhalb der Schnitthöhe 10 sichergestellt werden kann.In contrast, FIG. 3 shows another embodiment of a device 13 in which the opening 9 of the quartz glass crucible 2 between the edge region 4 and the cutting height 10 can be completely closed from the surroundings by the modified device 13 . For this purpose, the device 13 has a support body 14 which is equipped with a support body 15 which is circumferential against the wall 5 of the crucible 2 and is designed as a seal. This limits a volume V that is sealed off from the environment and enclosed by the support body 15 and the wall 5 of the glass crucible 2 . The support body 15 is for this purpose by means of a central supply line 16 with a fluid, in particular compressed air, can be filled and thereby sealed against the wall 5 to be placed. The enclosed volume V can therefore be subsequently evacuated through an opening 17 by means of a pump, not shown, so that the required adhesion is established by the pressure difference between the enclosed volume V and the ambient pressure. The device 13 is here equipped with a stop 18 which can be placed against the melting mold 3 . A sliding of the support body 14 on the wall 5 into the interior of the crucible 2 is prevented by the stop 18 under the influence of the pressure difference. Further, the apparatus 13 includes a sensor 19 for determining the position of the pre direction 13 relative to a bottom 20 of the crucible 2 may be ensured by the particular reliable compliance with a position of the device 13 above the cutting height 10th

Die Wirkungsweise der Vorrichtung 13 wird ergänzend auch in Fig. 4 beschrieben, in der die Vorrichtung 13 in einer Draufsicht dargestellt ist. Zu erkennen ist dabei insbesondere der Tragkörper 14 mit demaußenseitig angebrachten Auflagekörper 15, der gegen die Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 umlaufend dichtend anliegt. Die Öffnung 9 des Quarzglastiegels 2 ist somit gegenüber der Umgebung gasdicht verschlossen, so daß der gewünschte Kraftschluß durch Evakuierung des einge schlossenen Volumens problemlos erreicht wird. Aufgrund des mittels der Vorrich tung 13 abgeschlossenen Inneren des Tiegels 2 sind Verunreinigungen an der Wandung 5 zuverlässig ausgeschlossen.The mode of operation of the device 13 is additionally described in FIG. 4, in which the device 13 is shown in a top view. In particular, one can see the support body 14 with the support body 15 attached on the outside, which rests sealingly against the wall 5 of the quartz glass crucible 2 . The opening 9 of the quartz glass crucible 2 is thus sealed gas-tight from the environment, so that the desired frictional connection is easily achieved by evacuation of the enclosed volume. Due to the device 13 closed by the Vorrich interior of the crucible 2 , contamination on the wall 5 are reliably excluded.

Eine gegenüber der Fig. 4 abgewandelte Ausführungsform einer erfindungsgemä ßen Vorrichtung 21 zeigt Fig. 5 in einer vergrößerten seitlichen Schnittdarstellung. Hierbei ist lediglich abschnittsweise ein Tragkörper 22 der Vorrichtung 21 darge stellt, deren als Dichtung ausgeführter Auflagekörper 23 gegen die Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 umlaufend anliegt. Der Auflagekörper 23 ist hierbei derart ausge formt, daß dieser bereits durch das Einsetzten der Vorrichtung 21 in das Innere des Tiegels 2 gegen die Wandung 5 dichtend anliegt. Durch eine anschließende Eva kuierung des von der Vorrichtung 21 und der Wandung 5 eingeschlossenen Volu mens V wird die Dichtung zusätzlich gegen die Wandung 5 gepreßt, wodurch der gewünschte Kraftschluß in einfacher Weise erreicht wird. Eine Befüllung mit einem Fluid oder eine mechanische Verformung des Auflagekörpers 23 ist daher nicht er forderlich.An embodiment of a device 21 according to the invention modified in comparison with FIG. 4 is shown in FIG. 5 in an enlarged lateral sectional view. Here is only a section of a support body 22 of the device 21 Darge provides, the support body 23 designed as a seal abuts against the wall 5 of the quartz glass crucible 2 all around. The support body 23 is in this case shaped such that it already lies sealingly against the wall 5 by inserting the device 21 into the interior of the crucible 2 . By a subsequent evacuation of the enclosed by the device 21 and the wall 5 Volu mens V, the seal is additionally pressed against the wall 5 , whereby the desired adhesion is achieved in a simple manner. Filling with a fluid or mechanical deformation of the support body 23 is therefore not necessary.

Die Erfindung ist nicht auf die in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. So kann die Vorrichtung beispielsweise auch auf unterschiedliche Tie gelformen einstellbar sein oder auch zur erleichterten Handhabung vor Gebrauch in eine Ruhestellung beweglich sein. Weiterhin kann der gewünschte Kraftschluß bei den in den Fig. 3 bis 5 beschriebenen Vorrichtungen gegebenenfalls ohne Eva kuierung des eingeschlossenen Volumens lediglich durch Verspannen der Dichtung gegen einander gegenüberliegende Abschnitte der Wandung erreicht werden. The invention is not restricted to the exemplary embodiments shown in the drawing. For example, the device can also be adjustable to different tie gel shapes or can be moved into a rest position for easier handling before use. Furthermore, the desired adhesion in the devices described in FIGS . 3 to 5, if necessary without evacuation of the enclosed volume, can only be achieved by tightening the seal against opposite sections of the wall.

LIST OF REFERENCE NUMBERS

11

Vorrichtung
contraption

22

Glastiegel
glass pot

33

Schmelzform
melting form

44

Randbereich
border area

55

Wandung
wall

66

Auflagekörper
support body

77

Abschnitt
section

88th

Federelement
spring element

99

Öffnung
opening

1010

Schnitthöhe
cutting height

1111

Versorgungsleitung
supply line

1212

Tragkörper
supporting body

1313

Vorrichtung
contraption

1414

Tragkörper
supporting body

1515

Auflagekörper
support body

1616

Versorgungsleitung
supply line

1717

Öffnung
opening

1818

Anschlag
attack

1919

Sensor
sensor

2020

Boden
ground

2121

Vorrichtung
contraption

2222

Tragkörper
supporting body

2323

Auflagekörper
V Volumen
support body
V volume

Claims

1. Device for removing a quartz glass crucible from a melting mold with a flexible support body which can be non-positively fixed against a wall of the quartz glass crucible, characterized in that the device ( 1 , 13 , 21 ) with its support body ( 6 , 15 , 23 ) for non-positive fixation at the same time against opposite sections ( 7 ) of the wall ( 5 ) of the quartz glass crucible ( 2 ).

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the support body ( 6 , 15 , 23 ) with the wall ( 5 ) includes a volume (V) which for the non-positive connection of the support body ( 6 , 15 , 23 ) with the wall ( 5 ) with a pressure difference against the ambient pressure can be added.

3. Device according to claims 1 or 2, characterized in that the support body ( 15 ) by filling with a fluid against the wall ( 5 ) can be non-positively applied.

4. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the support body ( 6 , 23 ) by evacuation between the wall's ( 5 ) and the support body ( 6 , 23 ) enclosed volume (V) against the wall ( 5 ) can be frictionally applied.

5. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the support body ( 6 ) has a by means of the spring force egg nes spring element ( 8 ) against the wall ( 5 ) biased suction plate.

6. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the device ( 1 ) has several on the circumference of the quartz glass crucible ( 2 ) equally distributed against the wall ( 5 ) can be supported by ( 6 ).

7. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the support body ( 15 , 23 ) is designed as a circumferential seal against the wall ( 5 ).

8. The device according to claim 7, characterized in that the Vorrich device ( 13 , 21 ) with the support body ( 15 , 23 ) so circumferentially against the wall ( 5 ) of the quartz glass crucible ( 2 ) can be applied, which at the same time an opening ( 9 ) of the quartz glass crucible ( 2 ) is sealed off from the environment.

9. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the support body ( 6 , 23 ) by a pressure difference between the wall ( 5 ) and the support body ( 6 , 23 ) enclosed volume (V) against the environment automatically against the wall ( 5 ) can be non-positively applied.

10. The device according to at least one of the preceding claims, characterized in that the device ( 13 , 21 ) with a stop ( 18 ) is permitted, which prevents the support body ( 15 , 23 ) from sliding along the wall ( 5 ).