DE10030007C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von VerbindungenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zum Prüfen der Fe
stigkeit von Verbindungen; insbesondere betrifft die Erfindung ein
Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem Bil
der eines Prüflings aufgenommen werden. Die Erfindung betrifft
weiterhin Vorrichtungen zum Prüfen der Festigkeit von Verbindun
gen; insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Prü
fen der Festigkeit von Verbindungen mit Mitteln zur Aufnahme von
Bildern.
Gattungsgemäße Verfahren und Vorrichtungen kommen bei der Ferti
gung elektrischer bzw. elektronischer Komponenten zum Einsatz.
Speziell bei der automatischen Kontrolle der Qualität von Bond
draht-Verbindungen ist eine berührungslose optische Erfassung der
Verbindungen mit Flächenkameras üblich, wobei die Bilddaten mit
einem Bildverarbeitungssystem automatisch ausgewertet werden.
An diesem Verfahren erweist es sich jedoch als nachteilig, dass
die Qualitätskontrolle keine ausreichende Sicherheit bietet - ein
loser Draht, welcher auf einer Kontaktstelle liegt, kann bei der
Bilderfassung und der Bildauswertung dasselbe Ergebnis liefern,
wie ein Draht mit einer festen Verbindung. Insofern können korrek
te Verbindungen vorgetäuscht werden, was letztlich zu fehlerhaften
Produktionen führen kann.
Ein anderes Verfahren zur Prüfung der Festigkeit einer Bondverbin
dung besteht in einer berührenden mechanischen Prüfung. Dabei er
folgt ein definiertes Ziehen an einem Verbindungsdraht mittels ei
nes Hakens (Pull-Test). Durch die Überwachung des Kraft-Weg-
Verlaufes kann die Qualität der Verbindung beurteilt werden.
Bei diesem Pull-Test ist es zwar praktisch ausgeschlossen, dass
lose Verbindungen irrtümlich als fest Verbindungen identifiziert
werden, jedoch bringt dieses Verfahren andere Nachteile mit sich.
Diese Nachteile bestehen zum Beispiel in einer hohen Prüfdauer pro
Drahtverbindung und in der Gefahr der Bonddrahtzerstörung. Ferner
ist eine präzise Mechanik erforderlich, was die Fertigungskosten
in die Höhe treibt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die genannten Nachteile
des Standes der Technik auszuräumen und insbesondere eine zuver
lässige und zerstörungsfreie Prüfung von Verbindungen zu ermögli
chen.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird gemäß Anspruch 1 durchgeführt,
indem ein erstes Bild eines Prüflings aufgenommen wird, ein zwei
tes Bild eines Prüflings aufgenommen wird, der Prüfling während
der Aufnahme eines der Bilder einem Gasstrom ausgesetzt wird und
das erste Bild mit dem zweiten Bild verglichen wird. Durch den
Gasstrom werden
die losen Bonddrahtverbindungen in Bewegung versetzt, so
dass sich das zweite Bild von dem ersten Bild, welches
ohne Gasstrom aufgenommen wurde, unterscheidet. Der Nach
teil des Standes der Technik, dass lose Bonddrahtverbin
dungen irrtümlich als feste Verbindungen identifiziert
werden, ist somit beseitigt. Ferner kommt es nicht zu ei
ner mechanischen Belastung der Bonddrähte, welche diese
beschädigen könnte, wie es beim Stand der Technik im
Pull-Test der Fall war.
Vorzugsweise erfolgt der Vergleich des ersten Bildes mit
dem zweiten Bild automatisch. Es liegt somit ein automa
tisches Prüfverfahren vor, welches beispielsweise in ei
nen automatischen Fertigungsprozess eingebunden werden
kann.
Besonders vorteilhaft ist es, dass das erste Bild und das
zweite Bild digitalisiert werden, dass das digitalisierte
erste Bild und das digitalisierte zweite Bild in einen
Rechner eingelesen werden, und dass der Vergleich des
ersten Bildes mit dem zweiten Bild mittels eines Algo
rithmus in dem Rechner erfolgt. Somit stehen für das er
findungsgemäße Verfahren die Mittel der modernen Bildver
arbeitung zur Verfügung.
Vorzugsweise umfasst der Algorithmus in dem Rechner eine
Subtraktion des digitalisierten ersten Bildes von dem di
gitalisierten zweiten Bild und/oder des digitalisierten
zweiten Bildes von dem digitalisierten ersten Bild. Da es
um die Unterschiede der mit und ohne Gasstrom aufgenomme
nen Bilder geht, ist eine bildpunktweise Subtraktion der
Grauwerte ein geeignetes Verfahren. Falls durch den Gasstrom
keine Veränderung hervorgerufen wurde, ist das Dif
ferenzbild einheitlich schwarz. Falls sich hingegen die
Lage von Drähten aufgrund des Gasstroms geändert hat, er
scheinen die betreffenden Stellen in dem Differenzbild
heller. Durch Auswertung des Differenzbildes mit Verfah
ren der modernen Bildverarbeitung wird festgestellt, ob
lose Drähte vorhanden sind oder nicht.
Es ist bevorzugt, dass die Aufnahme des ersten Bildes mit
einer Kamera erfolgt, und dass die Aufnahme des zweiten
Bildes mit derselben Kamera erfolgt. Es sind unterschied
liche Kamerasysteme einsetzbar, beispielsweise Flächenka
meras, Zeilenkameras, CCD-Kameras. Nützlich ist jedoch,
dass beide Bildaufnahmen mit derselben Kamera erfolgen;
denn Unterschiede bei der Bildaufnahme verschiedener Ka
meras könnten die Messgenauigkeit verringern. Wenn bei
spielsweise eine empfindlichere Kamera bei der Aufnahme
des ersten Bildes verwendet würde, so wäre das Differenz
bild nach Subtraktion des zweiten Bildes von dem ersten
Bild durchgängig hell, das heißt, es hätte einen Grau
wert, welcher sich von Schwarz unterscheidet, so dass
helle Stellen aufgrund der Drahtbewegung bei vorliegendem
Gasstrom nur schlecht erkannt werden könnten.
Aus demselben Grund ist es nützlich, dass der Prüfling
bei dar Aufnahme des ersten Bildes beleuchtet wird, und
dass bei der Aufnahme des zweiten Bildes dieselbe Be
leuchtung verwendet wird. Eine Änderung der Beleuchtungs
verhältnisse könnte ebenfalls die Auswertung der Bildda
ten erschweren, so dass gleiche Beleuchtungsverhältnisse
zu bevorzugen sind.
Ebenfalls kann es vorteilhaft sein, dass zusätzlich zu
den Vergleichswerten des ersten Bildes mit dem zweiten
Bild das erste Bild und/oder das zweite Bild zur Beurtei
lung der Festigkeit der Verbindungen verwendet werden.
Dies kann beispielsweise aus dem folgenden Grund nützlich
sein. Falls ein Bonddraht falsch angelötet wäre, so hätte
dies zur Folge, dass der Vergleichstest das Ergebnis hät
te, dass kein Fehler vorliegt; denn der Gasstrom wäre
nicht in der Lage, den zwar falsch angelöteten aber fes
ten Draht zu bewegen. Daher ist es nützlich, derartige
Fehler durch Heranziehen der primären Bilder zu erkennen,
beispielsweise durch Vergleich jener Bilder mit in einer
Speichereinrichtung gespeicherten Solldaten.
Ebenfalls kann vorteilhaft sein, wenn die Bewegung an den
Verbindungsstellen mit einer Sensoreinrichtung nachgewie
sen wird. Auf diese Weise ist man nicht ausschließlich
von der Bildverarbeitung abhängig; vielmehr kann das Er
gebnis der Bildverarbeitung durch einen weiteren Test,
nämlich den Nachweis der Bewegung durch eine Sensorein
richtung, verifiziert werden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung be
steht diese nach Anspruch 9 in einem Verfahren zum Prüfen
der Festigkeit von Verbindungen, bei dem ein Prüfling ei
nem Gasstrom ausgesetzt wird, und bei dem eine Bewegung
an den Verbindungsstellen mit einer Sensoreinrichtung
nachgewiesen wird. Man ist also losgelöst von der gesam
ten Bildverarbeitungstechnik in der Lage, lose Drahtver
bindungen mit einer Sensoreinrichtung unter Verwendung
eines Gasstromes nachzuweisen. Auch hier kommt es zu den
erfindungsgemäßen Vorteilen, dass nicht irrtümlich eine
zwar richtig lokalisierte, aber lose Drahtverbindung als
fest identifiziert wird, und dass ferner aufgrund der be
rührungslosen Technik keine mechanische Belastung der
Drähte auftritt.
Es ist bevorzugt, dass als Sensoreinrichtung ein Laser
vibrometer verwendet wird.
Vorzugsweise wird der Gasstrom von einer Düse erzeugt.
Somit kann der Gasstrom definiert und gerichtet einge
stellt werden, so dass er für die jeweiligen Prüflinge
optimal eingestellt werden kann.
Es kann nützlich sein, wenn der Gasstrom durch eine spe
zielle Düsengeometrie beeinflusst wird. Auch hierdurch
lässt sich eine Optimierung im Hinblick auf die zu unter
suchenden Prüflinge durchführen.
Auch kann es vorteilhaft sein, dass der Gasstrom durch
mehrere Düsen erzeugt wird. Somit lassen sich praktisch
beliebige Strömungsprofile erzeugen, um eine zuverlässige
Bewegung beliebiger Drahtverbindungen, zum Beispiel auch
solcher an unzugänglichen Stellen, zu erzeugen.
Vorzugsweise wird der Gasstrom gesteuert oder geregelt,
so dass lose Verbindungen mit unterschiedlichen mechani
schen Eigenschaften zur Bewegung angeregt werden. Es ist
denkbar, dass bei einem bestimmten Gasstrom gewisse Dräh
te zur Bewegung angeregt werden, während andere lose
Drähte, beispielsweise aufgrund anderer Resonanzverhält
nisse, in ihrer Position verharren. Dies ist durch geeig
nete Steuerung oder Regelung des Gasstroms vermeidbar.
Ebenfalls kann es vorteilhaft sein, dass verschiedene Gassorten
verwendet werden. Verschiedene Gassorten mit unterschiedlichen Mo
lekulargewichten könnten unterschiedliche mechanische Wirkungen
entfalten, so dass das Verfahren je nach Aufgabenstellung flexibel
ist.
Ferner kann es vorteilhaft sein, dass lose Verbindungsstellen lo
kalisiert werden. Das Bildverarbeitungssystem ist also nicht nur
in der Lage, das Vorliegen eines Fehlers allgemein festzustellen.
Vielmehr kann auch genau angegeben werden, an welcher Stelle sich
der Fehler befindet, beispielsweise durch Ausgabe einer genauen
Bezeichnung der entsprechenden Verbindungsstelle.
Ferner ist gemäß Anspruch 17 eine Vorrichtung vorgesehen mit Mit
teln zur Aufnahme eines ersten Bildes eines Prüflings, Mitteln zur
Aufnahme eines zweiten Bildes eines Prüflings, Mitteln zum Erzeu
gen eines Gasstroms, dem der Prüfling während der Aufnahme eines
der Bilder ausgesetzt werden kann, und Mitteln zum Vergleichen von
Bildern. Mit dieser Vorrichtung lassen sich die erfindungsgemäßen
Vorteile des Verfahrens umsetzen. Aufgrund der Vergleichsmittel
ist es möglich, die berührungslose Qualitätskontrolle ohne die Ge
fahr von Fehlern bei der Kontrolle durchzuführen.
Bevorzugt weisen die Mittel zur Aufnahme von Bildern mindestens
eine Kamera auf. Eine Kamera kann beispielsweise als Flächenkame
ra, Zeilenkamera oder CCD-Kamera ausgelegt sein.
Es ist bevorzugt, dass die Mittel zum Vergleich von Bildern einen
Rechner aufweisen. Somit lässt sich die Vorrichtung
automatisiert einsetzen, was den Vorzug hat,
dass die Prüfvorrichtung ein Teil einer Fertigungsstrecke
sein kann.
Besonders vorteilhaft ist es, dass Mittel zum Digitali
sieren von Bildern vorgesehen sind. Folglich können digi
tale Bilder verarbeitet werden, so dass digitale Bildver
arbeitungsvorrichtungen einsetzbar sind.
Ferner ist es nützlich, wenn Beleuchtungsmittel vorgese
hen sind. Auf diese Weise lassen sich kontrastreiche Bil
der erzeugen. Ferner lässt sich die Beleuchtung definiert
und unveränderlich einstellen, was den Vergleich der auf
genommenen Bilder erleichtert.
Es kann ferner nützlich sein, wenn eine Sensoreinrichtung
zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle
vorgesehen ist. Man ist auf diese Weise nicht auf die al
leinige Auswertung der Bildverarbeitungseinrichtung ange
wiesen. Unterstützend lässt sich das Messergebnis einer
Sensoreinrichtung nutzen.
Die Erfindung entfaltet sich gemäß Anspruch 23 ferner in
einer Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbin
dungen mit Mitteln zum Erzeugen eines Gasstroms und einer
Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer
Verbindungsstelle. Die Bewegung an einer Verbindungsstel
le lässt sich demnach auch losgelöst von den Ergebnissen
einer Bildbearbeitungseinrichtung durch eine Sensorein
richtung ermitteln.
Vorzugsweise ist die Sensoreinrichtung ein Laservibro
meter.
Es ist vorteilhaft, wenn die Mittel zum Erzeugen eines
Gasstroms mindestens eine Düse aufweisen. Auf diese Weise
lässt sich der Gasstrom formen und somit für die konkrete
Aufgabenstellung optimieren.
Es kann auch nützlich sein, wenn die Mittel zum Erzeugen
eines Gasstroms mehrere Düsen aufweisen. Damit ist eine
größere Flexibilität bei der Einstellung des Gasstroms
gegeben.
Ebenfalls kann es nützlich sein, wenn eine Steuerung oder
eine Regelung vorgesehen ist, über welche der Gasstrom
steuerbar oder regelbar ist. Auf diese Weise lässt sich
den unterschiedlichen mechanischen Verhältnissen an ver
schiedenen Verbindungsstellen Rechnung tragen; der Gas
strom kann für alle unterschiedlichen Verbindungsstellen
während des Prüfverfahrens optimal eingestellt werden.
Der Erfindung liegt die überraschende Erkenntnis zu Grun
de, dass eine berührungslose Qualitätsprüfung möglich
ist, ohne dass die Gefahr besteht, eine lose Verbindungs
stelle zu übersehen. Dies erfolgt durch Einsatz eines
Gasstroms und beispielsweise durch den Vergleich von Bil
dern, die mit und ohne Gasstrom aufgenommen wurden. Die
Bewegung der Drähte an den Verbindungsstellen kann auch
durch andere Sensoreinrichtungen nachgewiesen werden, wo
bei ebenfalls die Vorteile der berührungslosen Qualitäts
prüfung zum Zuge kommt.
Die Erfindung wird nun mit Bezug auf die begleitenden
Zeichnung an Hand einer Ausführungsform beispielhaft be
schrieben.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer erfin
dungsgemäßen Verrichtung.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer erfin
dungsgemäßen Vorrichtung. An einem Prüfling 10 sind zu
prüfende Bonddrähte 12 angeordnet. Der Prüfling 10 wird
von einer Anströmdüse 14 mit einem Gasstrom 16, bei
spielsweise einem Luftstrom, beaufschlagt. Ferner ist ei
ne Beleuchtung 18 vorgesehen, welche Licht 20 auf den
Prüfling aussendet. Der Prüfling 10 liegt im Gesichtsfeld
einer Kamera 22, so dass die Kamera 22 in der Lage ist,
ein Bild des Prüflings 10 mit den Anschlussstellen der
Bonddrähte 12 aufzunehmen. Die Kamera steht mit einem
Bildverarbeitungssystem 24 in Verbindung, welches mit ei
ner Steuerung 26 kommunizieren kann. Ferner kann die Vor
richtung so ausgelegt sein, dass die Steuerung 26 die An
strömdüse 14 beeinflusst. Auf diese Weise kann der Gas
strom 16 der Anströmdüse 14 gesteuert oder geregelt wer
den, vorzugsweise in Abhängigkeit der Daten des Bildver
arbeitungssystems 24.
Die Prüfung des Prüflings 10 erfolgt nun vorzugsweise so,
dass der Prüfling 10 zunächst in das Gesichtsfeld der Ka
mera 22 gebracht wird, wo er von der Beleuchtung 18 beleuchtet
wird. Die Kamera 22 nimmt ein erstes Bild auf,
und dieses wird in digitalisierter Form von dem Bildver
arbeitungssystem 24 verarbeitet. Nachfolgend wird der
Gasstrom 16 der Anströmdüse 14 eingestellt, beispielswei
se veranlasst durch die Steuerung 26. Nun wird ein weite
res Bild des Prüflings 10 von der Kamera 22 aufgenommen,
und auch dieses wird in dem Bildverarbeitungssystem 24
weiter verarbeitet. Durch Differenzbildung und weitere
Auswerteverfahren in dem Bildverarbeitungssystem lässt
sich nun ermitteln, an welchen Stellen des Prüflings 10
lose Bonddrähte 12 vorliegen.
Es lassen sich auch mehr als zwei Bilder von dem Prüfling
unter unterschiedlichen äußeren Bedingungen, beispiels
weise unterschiedliche Strömungsbedingungen, aufnehmen
und in dem Bildverarbeitungssystem 24 verarbeiten, was zu
einer zusätzlichen Prüfsicherheit führt. Ferner können
die in dem Bildverarbeitungssystem 24 zu verarbeitenden
Bilder des Prüflings 10 grundsätzlich in unterschiedli
chen Reihenfolgen aufgenommen werden.
Die in der vorstehenden Beschreibung, in der Zeichnung
sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfin
dung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombi
nation für die Verwirklichung der Erfindung wesentlich
sein.
Claims (27)
1. Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen, bei dem
ein erstes Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,
ein zweites Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,
der Prüfling (10) während der Aufnahme eines der Bilder einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird und
das erste Bild mit dem zweiten Bild verglichen wird.
ein erstes Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,
ein zweites Bild eines Prüflings (10) aufgenommen wird,
der Prüfling (10) während der Aufnahme eines der Bilder einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird und
das erste Bild mit dem zweiten Bild verglichen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild
automatisch erfolgt
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass das erste Bild und das zweite Bild digitalisiert werden,
dass das digitalisierte erste Bild und das digitali sierte zweite Bild in einen Rechner eingelesen werden und
dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild mittels eines Algorithmus in dem Rechner er folgt.
dass das erste Bild und das zweite Bild digitalisiert werden,
dass das digitalisierte erste Bild und das digitali sierte zweite Bild in einen Rechner eingelesen werden und
dass der Vergleich des ersten Bildes mit dem zweiten Bild mittels eines Algorithmus in dem Rechner er folgt.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, dass der Algorithmus in dem Rech
ner eine Subtraktion des digitalisierten ersten Bildes
von dem digitalisierten zweiten Bild und/oder des digita
lisierten zweiten Bildes von dem digitalisierten ersten
Bild umfasst.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme des ersten Bil
des mit einer Kamera (22) erfolgt, und dass die Aufnahme
des zweiten Bildes mit derselben Kamera (22) erfolgt.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfling (10) bei der
Aufnahme des ersten Bildes beleuchtet wird, und dass bei
der Aufnahme des zweiten Bildes dieselbe Beleuchtung (18)
verwendet wird.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass zusätzlich zu den Vergleichswerten des ersten
Bildes mit dem zweiten Bild das erste Bild und/oder das zweite
Bild zur Beurteilung der Verbindungen verwendet werden.
8. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass eine Bewegung an den Verbin
dungsstellen mit einer Sensoreinrichtung nachgewiesen
wird.
9. Verfahren zum Prüfen der Festigkeit von Verbindun
gen, bei dem
ein Prüfling (10) einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird, und
eine Bewegung an der Verbindungsstelle mit einer Sen soreinrichtung nachgewiesen wird.
ein Prüfling (10) einem Gasstrom (16) ausgesetzt wird, und
eine Bewegung an der Verbindungsstelle mit einer Sen soreinrichtung nachgewiesen wird.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet,
dass als Sensoreinrichtung ein Laservibrometer verwendet wird.
11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) von einer
Düse (14) erzeugt wird.
12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) durch eine
spezielle Düsengeometrie beeinflusst wird.
13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) durch meh
rere Düsen erzeugt wird.
14. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass der Gasstrom (16) gesteuert
oder geregelt wird, so dass lose Verbindungen mit unterschiedlichen
mechanischen Eigenschaften zur Bewegung an
geregt werden.
15. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass verschiedene Gassorten ver
wendet werden.
16. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass lose Verbindungsstellen lo
kalisiert werden.
17. Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindungen mit
Mitteln (22) zur Aufnahme eines ersten Bildes eines Prüflings (10),
Mitteln (22) zur Aufnahme eines zweiten Bildes eines Prüflings (10),
Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstroms (16), dem der Prüf ling (10) während der Aufnahme eines der Bilder ausgesetzt werden kann, und
Mitteln (24) zum Vergleichen der ersten und zweiten Bilder.
Mitteln (22) zur Aufnahme eines ersten Bildes eines Prüflings (10),
Mitteln (22) zur Aufnahme eines zweiten Bildes eines Prüflings (10),
Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstroms (16), dem der Prüf ling (10) während der Aufnahme eines der Bilder ausgesetzt werden kann, und
Mitteln (24) zum Vergleichen der ersten und zweiten Bilder.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich
net, dass die Mittel zur Aufnahme von Bildern mindestens
eine Kamera (22) aufweisen.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch ge
kennzeichnet, dass die Mittel (24) zum Vergleich von Bil
dern einen Rechner aufweisen.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, da
durch gekennzeichnet, dass Mittei zum Digitalisieren von
Bildern vorgesehen sind.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 20, da
durch gekennzeichnet, dass Beleuchtungsmittel (18) vorge
sehen sind.
22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 21, da
durch gekennzeichnet, dass eine Sensoreinrichtung zum
Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle vorge
sehen ist.
23. Vorrichtung zum Prüfen der Festigkeit von Verbindun
gen mit
Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstromes und
einer Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle.
Mitteln (14) zum Erzeugen eines Gasstromes und
einer Sensoreinrichtung zum Nachweis einer Bewegung an einer Verbindungsstelle.
24. Vorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet,
dass die Sensoreinrichtung ein Laservibrometer ist.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 24, da
durch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Erzeugen eines
Gasstroms mindestens eine Düse (14) aufweisen.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 25, da
durch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Erzeugen eines
Gasstroms mehrere Düsen aufweisen.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 26, da
durch gekennzeichnet, dass eine Steuerung (26) oder eine
Regelung vorgesehen ist, über welche der Gasstrom (16)
steuerbar oder regelbar ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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DE10030007A1 DE10030007A1 (de) | 2002-01-10 |
DE10030007C2 true DE10030007C2 (de) | 2002-04-18 |
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ID=7646170
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DE (1) | DE10030007C2 (de) |
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