DE10152851A1 - Bildverarbeitungssystem - Google Patents

Bildverarbeitungssystem

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DE10152851A1
DE10152851A1 DE2001152851 DE10152851A DE10152851A1 DE 10152851 A1 DE10152851 A1 DE 10152851A1 DE 2001152851 DE2001152851 DE 2001152851 DE 10152851 A DE10152851 A DE 10152851A DE 10152851 A1 DE10152851 A1 DE 10152851A1
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DE2001152851
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Uwe Rohm
Mike Boepple
Hardy Buerkle
Claus Loercher
Rainer Ott
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Daimler AG
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DaimlerChrysler AG
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    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
    • G06KRECOGNITION OF DATA; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K9/00Methods or arrangements for reading or recognising printed or written characters or for recognising patterns, e.g. fingerprints
    • G06K9/00442Document analysis and understanding; Document recognition
    • G06K9/00476Reading or recognising technical drawings or geographical maps

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Bildverarbeitungssystem zur Erkennung und/oder Prüfung von Bauteilen, bei dem Ist-Geometriedaten, die durch Abtasten der Bauteile gewonnen werden, mit Soll-Geometriedaten verglichen werden, die durch CAD-Daten (8) beschrieben werden. Die im Falle von Änderungen der zu erkennenden bzw. zu prüfenden Bauteile nötige Anpassungsarbeit wird vermindert, indem dem Bildverarbeitungssystem (2, 4, 6) weitere CAD-Daten (10) zugeführt werden, die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, und die Bilderzeugung und -verarbeitung außerdem auf Basis dieser weiteren CAD-Daten durchgeführt werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Abtastsystem zur Erkennung und/oder Prüfung von Bauteilen, bei dem Ist-Geometriedaten, die durch Abtasten der Bauteile gewonnen werden, mit Soll-Geometriedaten verglichen werden, die durch CAD-Daten beschrieben werden.
  • Derartige Abtastsysteme gibt es vor allem im Bereich der auf Bildverarbeitung basierten Systeme für die verschiedensten Anwendungen. Hierbei wird durch die Abtastung der Bildinformation von Gegenständen Information über diese gewonnen. Neben diesen modernen Kamera basierten Abtastsystemen gibt es eine Vielzahl von traditionellen Abtastsystemen zur Generierung von Objektinformationen. Als Beispiel sei hier nur die Prüfung und Vermessung von Objekten mittels mechanischer Tastspitzen angeführt.
  • In bezug auf Kamera basierte optische Abtastsysteme beschreibt die EP-A-0355377 ein Verfahren zur optischen Prüfung von Flachbaugruppen, insbesondere zur Bestückungsanalyse von Leiterplatten, bei dem mittels 3D-Sensoren und durch Abtasten mittels eines Laserscanners die dreidimensionalen Oberflächenkoordinaten der Flachbaugruppe ermittelt werden, einzelne Bauteile anhand geometrischer Kennwerte erkannt werden und anhand eines Soll/Ist-Wertvergleichs zwischen den geometrischen Kennwerten einer der Flachbaugruppe entsprechenden Sollstruktur, die als CAD-Entwurf vorliegen können, und denen der Flachbaugruppe eine Bestückungsanalyse vorgenommen wird.
  • Bildverarbeitungssysteme der oben genannten Art werden in der Produktion allgemein zur Erkennung bzw. Prüfung von Bauteilen eingesetzt, auch um anhand der Ergebnisse der Bildverarbeitung zum Beispiel eine Ablaufsteuerung und Sensorsteuerung von Produktionsrobotern durchzuführen. Wird eine neue Erkennungs-/Prüfaufgabe gestellt, müssen die aufeinander folgend ablaufenden Verarbeitungsprozeduren jedesmal neu zusammengestellt und angepasst werden. Bei Änderungen der zu erkennenden bzw. zu prüfenden Bauteile wird häufig eine erneute Anpassung der Parameter für die Bilderzeugung und -verarbeitung notwendig. Solche Änderungen kommen während der Laufzeit eines Herstellungsprozesses erfahrungsgemäß häufig vor, und die Anpassungen müssen mit hohem Zeitaufwand von hochqualifizierten Fachleuten vorgenommen werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bei Erstellung des Prüfablaufs und bei Änderungen dessen oder bei Änderung der zu erkennenden bzw. zu prüfenden Bauteile nötige Anpassungsarbeit zu vermindern.
  • Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Bildverarbeitungssystem erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass dem Bildverarbeitungssystem weitere CAD-Daten zugeführt werden, die neben der Geometrie auch das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit und/oder die Funktion der Bauteile beschreiben, und dass die Bilderzeugung und -verarbeitung außerdem auf Basis dieser weiteren CAD-Daten durchgeführt wird.
  • Ein erheblicher Teil des bei der Erstellung des Prüfablaufs und bei dessen Änderungen oder bei der Änderung der zu erkennenden bzw. zu prüfenden Bauteile nötigen Aufwands beruht auf dem Umstand, dass die Bauteile unter verschiedenen Abtastbedingungen wie z. B. den Beleuchtungsverhältnissen oder Beobachtungsrichtungen verschieden gut zu erkennen sind. Reflexionen und prinzipielle Unzulänglichkeiten der Abtastorgane sind störende Faktoren, die eine Erkennung und Prüfung der Bauteile erschweren, unter Umständen sogar unmöglich machen können. Daher muss man bei jeder Änderung der zu erkennenden bzw. zu prüfenden Bauteile nicht nur die Soll-Geometriedaten ändern, was verhältnismäßig leicht ist, wenn diese durch vorhandene CAD-Daten beschrieben werden, sondern man muss auch die Abtastbedingungen und die Erkennungsprozeduren im Hinblick auf die neue Erkennungs-/Prüfaufgabe optimieren, um brauchbare Ergebnisse zu erhalten.
  • Die Erfindung macht sich den Umstand zunutze, dass vorhandene CAD-Daten der Bauteile im Allgemeinen nicht nur Soll-Geometriedaten beinhalten, sondern auch Daten, die das Material und die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, wobei die Oberflächenbeschaffenheit zum Beispiel als deren Rauheit und/ oder Welligkeit im jeweiligen Fertigungsstadium angegeben wird. Anhand dieser Daten können die notwendigen Änderungen an der Bilderzeugung und/oder -verarbeitung im Voraus berechnet und daher sehr schnell durchgeführt werden.
  • Zum Beispiel kann man aus den CAD-Daten, die das Material und/ oder die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, das Reflexionsverhalten der Oberflächen berechnen und die Beleuchtungsverhältnisse und/oder Beobachtungsrichtungen ermitteln und einstellen, unter denen der rechnerisch resultierende Kontrast der Bauteile bzw. deren Oberflächen zueinander bzw. zu einem Hintergrund möglichst groß wird.
  • Wenn die Bauteile mit Leuchten oder Laserstrahlen beleuchtet werden, während sie durch irgendwelche optischen Sensoren beobachtet werden, hat man zum Beispiel die Möglichkeit, die Beleuchtungsintensität, die Beleuchtungsrichtung(en) und/oder die Wellenlänge(n) des zur Beleuchtung verwendeten Lichts zu ändern und vorausschauend zu optimieren. Zusätzlich oder alternativ besteht die Möglichkeit, die Richtungen, aus denen die Bauteile beobachtet werden, etwa die Positionen von Kameras, die als optische Sensoren verwendet werden, zu ändern und im Hinblick auf die gestellte Erkennungs-/Prüfaufgabe zu optimieren, ohne eine Vielzahl von Messungen, Versuchen, Dateneingaben und Justierarbeiten vornehmen zu müssen.
  • Nachdem man die Bilderzeugung auf diese Weise optimiert hat, kann man durch Berechnen der Bilddaten, die man unter den optimierten Beleuchtungsverhältnissen und/oder Beobachtungsrichtungen voraussichtlich erhalten wird, auch die Bildverarbeitung vorausschauend anpassen, ohne irgendwelche Messungen, Versuche, Dateneingaben oder Justierarbeiten vornehmen zu müssen.
  • Hierfür benötigt man neben den CAD-Geometriedaten nur die Daten, die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben. Da diese in den CAD-Daten bereits enthalten sind, können die notwendigen Berechnungen ganz oder zumindest teilweise automatisch erfolgen, und zwar schon bevor ein einziger Prototyp hergestellt worden ist, wodurch Umrüst- und Stillstandszeiten erheblich verkürzt werden.
  • Falls die dem System zur Verfügung gestellten CAD-Daten auch Information über die Funktionalität des Bauteils oder Teilen davon enthalten, ist es in vorteilhafter Weise auch möglich optimierende Schritte oder auch alternative Prüfverfahren anhand von Entscheidungstabellen auszuwählen. So kann beispielsweise die Information, dass es sich bei der Vertiefung im Bauteil nicht um eine simple Bohrung sondern um ein Innengewinde handelt, dazu verwendet werden, einen zur Vermessung von Innengewinden besonders vorteilhaften Abtastsensor auszuwählen, welcher für die Abtastung von Bohrlöchern evtl. weniger geeignet wäre.
  • Die Verwendung von CAD-Daten in Bildverarbeitungssystemen ist zwar bekannt, jedoch verwenden die bekannten Bildverarbeitungssysteme ausschließlich CAD-Geometriedaten. Indem bei der Erfindung CAD-Material- und Oberflächenbeschaffenheitsdaten aus der vorangegangenen Konstruktionsphase mit einbezogen werden, kann eine automatische Anpassung von Ablauf- und Prüfparametern eines Bildverarbeitungssystems, das z. B. zur Vollständigkeitskontrolle, Lageerkennung oder Maßhaltigkeitsprüfung verwendet wird, an geänderte Bauteile erfolgen. Die CAD-Material- und Oberflächenbeschaffenheitsdaten können auch zur Auswahl eines passenden Prüfablaufs aus mehreren vorprogrammierten Prüfabläufen herangezogen werden. Die relevanten CAD-Material- und Oberflächenbeschaffenheitsdaten können automatisch aus den CAD-Daten extrahiert und an das Bildverarbeitungssystem weitergegeben werden. Das Bildverarbeitungssystem wählt mit Hilfe dieser Informationen ein passendes Prüfprogramm bzw. einen geeigneten Prüfablauf aus und setzt die variablen Parameter der Algorithmen. Zu diesen Parametern können auch die angepassten Beleuchtungsverhältnisse bzw. Beobachtungsrichtungen gehören, falls das Bildverarbeitungssystem diese automatisch steuern kann.
  • Die Erfindung ermöglicht es, Entwicklungszeiten von Prüfprogrammen zu verkürzen, und der Programmentwickler muss nicht detaillierteste Kenntnisse über die Bildverarbeitungs-Algorithmen des Prüf-, Erkennungs- und Bewertungssystems haben.
  • Weiterhin besteht die Möglichkeit, das erfindungsgemäße Bildverarbeitungssystem an ein übergeordnetes Prozess-Daten-Management-System (PDM-System) anzuschließen, das bei Änderungen des Prüflings automatisch Anpassungen des Prüfprogramms bzw. Prüfablaufs und deren Parameter vornimmt bzw. veranlasst. Es ist in gewinnbringender Weise auch denkbar, dass das Abtastsystem seine Ergebnisdaten an das PDM-System zurückmeldet, so dass dieses in der Lage ist diese Information bei weiteren Berechnungen bzw. Planungen (Beispielsweise von Prüf- oder Fertigungsabläufen) mitzuberücksichtigen.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und aus der folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung, deren einzige Figur eine Prinzipskizze eines Bildverarbeitungssystems zur Erkennung und Prüfung von Bauteilen zeigt.
  • Eine Beleuchtungseinheit 2, z. B. ein Laserstrahlscanner, und eine Aufnahmeeinheit 4, z. B. zwei Kameras für stereoskopische Aufnahmen, die auf ein zu prüfendes Bauteil gerichtet sind, sind mit einer CPU 6 zur Ausführung eines Bildverarbeitungsprogramms verbunden. Die CPU 6 empfängt von einem CAD-System CAD- Geometriedaten 8 sowie weitere CAD-Daten 10, die das Material, aus dem das zu prüfende Bauteil besteht, und/oder die Beschaffenheit zumindest der sichtbaren Oberflächen des Bauteils beschreiben, wobei die Oberflächenbeschaffenheit zum Beispiel als Rauheit oder Welligkeit angegeben wird.
  • Die CPU 6 steuert die Beleuchtungseinheit 2, um mittels der Aufnahmeeinheit 4 ein Bild des Bauteils zu gewinnen, und führt Erkennungs- und Prüfroutinen durch, um z. B. eine Vollständigkeitskontrolle, Lageerkennung oder Maßhaltigkeitsprüfung durchzuführen. Solche Erkennungs- und Prüfroutinen sind im Stand der Technik bekannt und basieren auf einem Vergleich von Ist-Geometriedaten, die durch das optische Abtasten des Bauteils gewonnen werden, mit Soll-Geometriedaten, die durch die CAD-Geometriedaten 8 beschrieben werden.
  • Ändert sich das zu prüfende Bauteil, berechnet die CPU 6 anhand der CAD-Daten 10, die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit des neuen zu prüfenden Bauteils beschreiben, nach den Gesetzen der Optik das Reflexionsverhalten der sichtbaren Oberflächen des Bauteils. Daraus berechnet die CPU 6 weiterhin, wie die Beleuchtungseinheit 2 und die Aufnahmeeinheit 4 gesteuert werden müssen, damit das Bauteil später möglichst kontrastreich erscheint und das Bild keine störenden Reflexionen enthält. Die CPU 6 stellt die Beleuchtungseinheit 2 und die Aufnahmeeinheit 4 entsprechend ein oder gibt Informationen aus, anhand derer ein Bediener die nötigen Einstellungen vornehmen kann. Außerdem passt die CPU 6 das bei der Prüfung auszuführende Bildverarbeitungsprogramm an die geänderten Bedingungen an und speichert es zur späteren Ausführung während der Produktion.

Claims (9)

1. Bildverarbeitungssystem zur Erkennung und/oder Prüfung von Bauteilen, bei dem Ist-Geometriedaten, die durch optisches Abtasten der Bauteile gewonnen werden, mit Soll-Geometriedaten verglichen werden, die durch CAD-Daten beschrieben werden, dadurch gekennzeichnet, dass dem Bildverarbeitungssystem (2, 4, 6) weitere CAD-Daten (10) zugeführt werden, die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit und/oder die Funktion der Bauteile beschreiben, und dass die Bilderzeugung und verarbeitung außerdem auf Basis dieser weiteren CAD-Daten durchgeführt wird.
2. Abtastsystem zur Erkennung und/oder Prüfung von Bauteilen, bei dem Ist-Geometriedaten, die durch optisches Abtasten der Bauteile gewonnen werden, mit Soll-Geometriedaten verglichen werden, die durch CAD-Daten beschrieben werden, dadurch gekennzeichnet, dass dem Bildverarbeitungssystem (2, 4, 6) wietere CAD-Daten (10) zugeführt werden, die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, und dass die Bilderzeugung und -verarbeitung außerdem auf Basis dieser weiteren CAD-Daten durchgeführt wird.
3. Abtastsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die CAD-Daten, die die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, Daten sind, die die Rauheit und/oder Welligkeit von Oberflächen der Bauteile beschreiben.
4. Abtastsystem nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass aus den CAD-Daten (10), die das Material und/oder die Oberflächenbeschaffenheit der Bauteile beschreiben, das Reflexionsverhalten von Oberflächen der Bauteile berechnet wird.
5. Abtastsystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsverhältnisse beim optischen Abtasten der Bauteile auf Basis des berechneten Reflexionsverhaltens eingestellt werden.
6. Abtastsystem nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Richtungen, aus denen die Bauteile beim optischen Abtasten beobachtet werden, auf Basis des berechneten Reflexionsverhaltens eingestellt werden.
7. Abtastsystem nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass Beleuchtungsverhältnisse und/oder Beobachtungsrichtungen ermittelt und eingestellt werden, unter denen der sich rechnerisch ergebende Kontrast der Bauteile bzw. deren Oberflächen zueinander bzw. zu einem Hintergrund möglichst groß wird.
8. Abtastsystem nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtastsystem unter Rückgriff auf Bildinformation arbeitet.
9. Abtastsystem nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Abtastsystem unter Rückgriff auf Information von mechanischen Tastsensoren (Tastspitzen) arbeitet.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10152865B4 (de) * 2001-10-25 2005-12-01 Nordenia Deutschland Gronau Gmbh Multilayer composite plastic film with at least three layers
DE102006009119A1 (de) * 2006-02-24 2007-09-13 Daimlerchrysler Ag 3D-Lageerkennung unter Verwendung komplexen Modellwissens
CN100395759C (zh) * 2003-05-28 2008-06-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 一种基于cad平台的计算机辅助验证系统及方法
DE102008037552A1 (de) 2008-11-14 2010-05-20 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Werkstücken
DE102008014381B4 (de) * 2008-03-17 2010-07-08 Eads Deutschland Gmbh Bildverarbeitungsvorrichtung
DE102014019328A1 (de) * 2014-12-20 2016-06-23 GM Global Technology Operations LLC (n. d. Ges. d. Staates Delaware) Tiefziehen eines Werkstücks

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3906555A1 (de) * 1989-03-02 1989-07-06 Zeiss Carl Fa REFLECTIVE LIGHTING DEVICE
EP0355377A1 (de) * 1988-08-05 1990-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur optischen Prüfung von Flachbaugruppen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0355377A1 (de) * 1988-08-05 1990-02-28 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur optischen Prüfung von Flachbaugruppen
DE3906555A1 (de) * 1989-03-02 1989-07-06 Zeiss Carl Fa REFLECTIVE LIGHTING DEVICE

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BÖHM, J., BRENNER, C., GÜHRING, J., FRITSCH, D.: "CAD-basierte Objekterkennung für ein multisenso- rielles Meßsystem, Mustererkennung 1999, 21. DAGM-Symposium, S. 62-69, Springer-Verlag Teresa de Martino "A Multiple-View CAD Representation for Product Modelling" Intern.Conf. On Shape Modeling and Applications, 1997, Proc., S. 78-85 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10152865B4 (de) * 2001-10-25 2005-12-01 Nordenia Deutschland Gronau Gmbh Multilayer composite plastic film with at least three layers
CN100395759C (zh) * 2003-05-28 2008-06-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 一种基于cad平台的计算机辅助验证系统及方法
DE102006009119A1 (de) * 2006-02-24 2007-09-13 Daimlerchrysler Ag 3D-Lageerkennung unter Verwendung komplexen Modellwissens
DE102008014381B4 (de) * 2008-03-17 2010-07-08 Eads Deutschland Gmbh Bildverarbeitungsvorrichtung
DE102008037552A1 (de) 2008-11-14 2010-05-20 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Werkstücken
DE102008037552B4 (de) * 2008-11-14 2014-04-03 Thyssenkrupp Steel Europe Ag Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Werkstücken
DE102014019328A1 (de) * 2014-12-20 2016-06-23 GM Global Technology Operations LLC (n. d. Ges. d. Staates Delaware) Tiefziehen eines Werkstücks
US10160021B2 (en) 2014-12-20 2018-12-25 GM Global Technology Operations LLC Deep-drawing of a work piece

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